KR100693715B1 - 검사장치 - Google Patents

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신지 후지와라
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가부시키가이샤 니혼 마이크로닉스
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Abstract

(과제) 정확하고 또한 신속한 검사를 가능하게 하는 것에 있다.
(해결수단) 표시용 패널의 검사장치는, 장방형의 표시용 패널을 받아서 검사하는 검사 스테이지로서 검사시에 표시용 패널을 경사진 상태로 유지하는 검사 스테이지와, 표시용 패널의 적어도 2개의 변(邊)에 각각 대응한 적어도 2개의 프로브 유니트를 포함하며, 표시용 패널은 70°이상 85°이하, 바람직하게는 80°의 경사각도로 유지한다.

Description

검사장치{INSPECTION APPARATUS}
도 1은 본 발명에 관한 전기적 접속장치를 사용한 검사장치의 일실시예를 나타내는 정면도
도 2는 도 1에 나타내는 검사장치의 우측면도로서 일부 내부를 나타낸 도면
도 3은 도 1에 나타내는 검사장치의 좌측면도로서 일부 내부를 나타낸 도면
도 4는 도 1에 나타내는 검사장치의 정면도로서 캐리어장치를 설명하기 위한 도면
도 5는 도 4의 5-5선 단면도
도 6은 도 4의 6-6선 단면도
도 7은 반송장치에서 사용하는 홀더의 실시예를 나타내는 도면
도 8은 표시용 패널의 휨상태를 설명하기 위한 모식도
* 도면 중 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
10 - 검사장치 12 - 표시용 패널
18 - 본체 베이스 24 - 수수(授受) 스테이지
28 - 검사 스테이지 30 - 프로브장치
36 - 반송장치 38 - 척 톱(chuck top)
60 - 프레임 62,64 - 캐리어
66,68 - 캐리어 이동기구 72,74,84 - 가이드 레일
76,78,86 - 가이드 80 - 캐리어 베이스
82 - 지지암 88,90 - 제 1 및 제 2 암
92 - 결합수단 94 - X홀더
96 - Y홀더 100 - 볼 나사
106 - X이동기구 108 - Y이동기구
110 - X구동원 112,114 - 풀리
116 - 무단 벨트 120 - Y구동원
122 - 샤프트 124 - 너트
130,140,150 - 홀더
본 발명은 장방형의 표시용 패널을 검사하는 검사장치에 관한 것이다.
액정표시패널의 점등(點燈)검사장치와 같이 표시용 패널을 검사하는 검사장치의 하나로서, 장방형의 표시용 패널을 검사 스테이지에 놓고, 이 표시용 패널을 수평면에 대해서 경사지게 한 상태에서 검사를 하는 것이 있다(예를 들면, 특허문 헌 1).
표시용 패널을 경사지게 한 상태에서 검사하면, 표시용 패널을 대략 수직 또는 수평의 상태에서 검사하는 경우에 비해서 검사(특히 육안검사)가 용이하게 되어 검사를 신속하게 할 수 있다.
그러나, 표시용 패널은 그 제작기술이 향상됨에 따라서 대형화되고 있다. 이와 같은 대형의 표시용 패널을 대략 수직 또는 수평의 상태 혹은 경사진 상태로 유지하면, 표시용 패널은 자중에 의해서 크게 휘어지게 된다.
작업자는 크게 휘어진 표시용 패널을 점등검사하기 위해서 표시용 패널을 작동시키더라도 표시용 패널에 얼룩 등이 생겨 정확한 검사를 신속하게 할 수 없다.
(특허문헌 1) 일본국 공개특허 2002-14047호 공보
본 발명의 목적은 정확하고 또한 신속한 검사를 가능하게 하는 것에 있다.
본 발명자들은 대형의 표시용 패널을 특허문헌 1과 같이 경사지게 하였을 때, 수평면에 대한 표시용 패널의 경사각도와 표시용 패널의 휨정도에 대해서 각종의 검토를 한 결과, 수평면에 대한 표시용 패널의 경사각도가 소정의 값일 때에 표시용 패널의 휨정도가 현저하게 적어지게 되는 것을 발견하고 본 발명을 완성하였다.
본 발명에 관한 검사장치는 장방형의 표시용 패널을 받아서 검사하는 검사 스테이지로서 검사시에 표시용 패널을 경사진 상태로 유지하는 검사 스테이지와, 상기 표시용 패널의 적어도 2개의 변(邊)에 각각 대응한 적어도 2개의 프로브 유니트를 포함한다. 상기 표시용 패널은 검사시에 수평면에 대해서 70°이상 85°이하의 경사각도로 유지된다. 상기 경사각도를 80°로 하여도 된다.
표시용 패널은 검사시에 수평면에 대해서 70°이상 85°이하, 바람직하게는 80°의 경사각도로 유지되기 때문에 표시용 패널의 휨량이 적으며, 이 결과 표시용 패널을 경사지게 할 수 있음과 아울러, 정확하고 또한 신속한 검사를 할 수 있다.
검사장치는 미검사의 상기 표시용 패널 또는 검사필의 상기 표시용 패널을 받는 수수(授受) 스테이지와, 상기 미검사의 표시용 패널을 상기 검사시와 같은 경사각도로 유지한 상태로 상기 수수 스테이지에서 상기 검사 스테이지로 이송함과 아울러, 상기 검사필의 표시용 패널을 수평면에 대해서 상기 검사시와 같은 경사각도로 유지한 상태로 상기 검사 스테이지에서 상기 수수 스테이지로 이송하는 캐리어장치를 더 포함하도록 하여도 된다. 이와 같이 하면, 휨량이 적은 상태로 표시용 패널을 캐리어장치로 이송할 수 있으며, 따라서 종래의 캐리어장치를 사용할 수 있다.
상기 캐리어 장치는 상기 표시용 패널의 대향하는 변을 지지하는 패널 지지기구를 가지는 지지기(支持機)와, 상기 지지기를 상기 검사 스테이지와 상기 수수 스테이지로 선택적으로 이동시키는 이동기구를 포함하도록 하여도 된다.
(발명의 실시형태)
이하, 본 발명에 관한 검사장치를 도면을 참조하여 설명한다.
검사장치(10)는 도 1 내지 도 6에 나타낸 바와 같이 장방형을 이루는 표시용 패널(12)의 점등검사장치로 되어 있다. 도시한 예에서는, 장방형을 이루는 표시용 패널(12)은 그 3개의 변(邊)(대향하는 2개의 짧은 변과 1개의 긴 변) 각각에 복수의 전극을 구비하고 있다. 각 변에 형성된 전극은 그 변의 방향(즉, 변의 길이방향)으로 간격을 두고 형성되어 있으며, 또 그 변과 직교하는 방향으로 연장되어 있다.
검사장치(10)는 복수의 장척(長尺)부재와 복수의 판부재에 의해서 제작된 케이싱(14) 내에 점등검사를 위한 각종 기기를 수용하고 있다. 케이싱(14)에는 X방향으로 설치되는 1쌍의 본체 베이스(18)가 경사방향으로 간격을 두고서 지지되어 있다.
검사장치(10)의 전면(前面) 상부는 상부측으로 갈수록 후방측으로 후퇴하는 경사면(16)으로 되어 있다(도 2 참조). 경사면(16)의 각도(θ)는 수평면에 대해서 70°이상 85°이하, 특히 80°의 경사각도로 되어 있다.
도시한 예에서는, 검사장치(10)에 놓여진 표시용 패널(12)과 평행한 면(面)에 있어서, 도 1에서의 좌우방향이 X방향이 되고, 이 X방향에 직각인 도 1에서의 상하방향이 Y방향이 된다. Z방향은 검사장치(10)에 놓여진 표시용 패널(12)에 수직이 되는 방향이다.
검사장치(10)는 이 검사장치(10)에 대해서 표시용 패널(12)을 주고받는 패널 세트부와 표시용 패널(12)을 검사하는 검사부를 포함한다. 일측의 본체 베이스(18)에는 표시용 패널(12)보다 큰 장방형의 개구부(20 및 22)가 각각 패널 세트부 및 검사부에 대응하는 개소에 형성되어 있다.
패널 세트부에는 표시용 패널(12)이 경사지게 놓여지는 수수 스테이지(24)와, 놓여진 표시용 패널(12)을 프리 얼라인먼트하는 2조의 푸셔(26)가 배치되어 있다. 이것에 대해서, 검사부에는 표시용 패널(12)이 경사지게 놓여지는 검사 스테이지(28)(도 3 참조)와, 전기적 접속장치로서 작용하는 프로브장치(30)가 배치되어 있다.
수수 스테이지(24)는 표시용 패널(12)이 수평하게 놓여지도록 복수의 장척부재에 의해서 형성된 패널 받이부(32)와, 놓여진 표시용 패널(12)을 Z방향으로 이동시키도록 패널 받이부(32)를 지지하는 Z스테이지(34)와, Z스테이지(34)를 지지하는 회전 스테이지(35)를 포함한다.
회전 스테이지(35)는 X방향으로 연장되는 축선의 주위로 각도적(角度的)으로 회전 가능하게 지지대(37)에 지지되어 있다. 회전 스테이지(35)를 각도적으로 회전시키는 구동기구는 회전 스테이지(35)에 배치하여도 되고 지지대(37)에 배치하여도 된다.
Z스테이지(34) 및 패널 받이부(32)는 회전 스테이지(35)의 각도적인 회전에 의해서 표시용 패널(12)이 수평이 되는 위치와 이 표시용 패널(12)이 수평면에 대해서 경사지는 위치로 선택적으로 변위된다. 이 변위는 후술하는 반송장치(36)에 대해서 표시용 패널을 주고 받을 때마다 행해진다.
수수 스테이지(24)는 미검사의 표시용 패널을 패널 받이부(32)에 놓을 때와 검사필의 표시용 패널을 패널 받이부(32)에서 제거할 때에, 패널 받이부(32)에 놓여 있는 표시용 패널이 수평이 되는 상태로 유지된다.
이것에 대해서, 수수 스테이지(24)는 미검사의 표시용 패널을 반송장치(36)에 건네 주어 푸셔(26)에 의해서 프리 얼라인먼트를 할 때와 검사필의 표시용 패널을 반송장치(36)로부터 건네 받을 때에, 패널 받이부(32)에 놓여 있는 표시용 패널이 수평면에 대해서 각도(θ)로 경사진 상태로 유지된다.
X방향으로 간격을 둔 푸셔(26)는 X방향으로 설치되는 장척부재에 서로 접근ㆍ이탈하는 방향(X방향)으로 이동 가능하게 배치되며, 도시하지 않은 이동기구에 의해서 X방향으로 이동된다. 이것에 대해서, Y방향으로 간격을 둔 푸셔(26)는 Y방향으로 설치되는 장척부재에 서로 접근ㆍ이탈하는 방향(Y방향)으로 이동 가능하게 배치되며, 도시하지 않은 이동기구에 의해서 Y방향으로 이동된다.
표시용 패널(12)은 각 조(組)의 푸셔(26)가 서로 이간되어 있는 상태에서 이들 푸셔(26) 사이에 사람의 손이나 착탈 로보트에 의해서 배치된다. 배치된 표시용 패널(12)은 각 조의 푸셔(26)가 서로 접근하는 방향으로 이동함에 의해서 수수 스테이지(24)에 대해서 이동하여 검사장치(10)에 대한 프리 얼라인먼트를 한다.
미검사의 표시용 패널(12)은 수평상태로 대기하고 있는 패널 받이부(32)에 배치되어 수수 스테이지(24)에서 푸셔(26)에 의해서 프리 얼라인먼트되고, 회전 스테이지(35)에 의해서 수평면에 대해서 경사각도(θ)로 경사진다. 그 후, 이 표시용 패널(12)은 반송장치(36)(도 1 참조)에 의해서 검사 스테이지(28)로 반송되며, 검사부에서 점등검사를 한다.
경사각도(θ)는 점등검사를 하는 경사각도와 같게 하며, 구체적으로는 70°이상 85°이하, 바람직하게는 80°로 한다.
점등검사는, 도시한 예에서는 작업자의 육안에 의한 육안점등검사이나, 도시하지 않은 비디오 카메라나 화상처리장치 등을 사용하는 자동점등검사이어도 된다. 경사각도(θ)는 구체적으로는 70°이상 85°이하, 바람직하게는 80°로 한다.
검사필의 표시용 패널(12)은 반송장치(36)에 의해서 검사 스테이지(28)에서 수수 스테이지(24)로 반송되며, 그 후 사람의 손이나 착탈 로보트에 의해서 수수 스테이지(24)에서 들어내어져 수납용 카셋트에 수납된다.
검사 스테이지(28)는 표시용 패널(12)이 척 톱(chuck top)(38)의 패널 흡착면에 경사지게 놓여지도록 이 패널 흡착면을 개구부(22)에 대향시키고 있다.
척 톱(38)은 표시용 패널(12)을 진공적으로 흡착하는 복수의 흡착홈을 패널 흡착면에 가지고 있음과 아울러, 표시용 패널(12)을 이것의 배면에서 조명하는 백 라이트 유니트를 내부에 구비하고 있다.
검사 스테이지(28)는 경사지게 놓여진 표시용 패널(12)을 이것과 평행한 X 및 Y의 2방향과 이 표시용 패널(12)에 수직한 Z방향으로 이동시키는 삼차원(X,Y 및 Z) 스테이지(40,42 및 44)를 가지고 있음과 아울러, Z방향으로 연장되는 축선의 주위로 각도적으로 회전시키는 θ스테이지(46)를 구비하고 있다.
검사 스테이지(28)는 Z스테이지(44)에 의해서 척 톱(38)을 프로브장치(30)에 대해서 후퇴(하강)시킨 상태에서 표시용 패널(12)을 반송장치(36)로부터 건네 받고, X 및 Y스테이지(40 및 42)에 의해서 이차원적으로 이동시킴과 아울러 θ스테이지(46)에 의해서 각도적으로 회전시켜서 건네 받은 표시용 패널(12)의 정밀 얼라인먼트를 하고, 표시용 패널(12)의 검사시에 Z스테이지(44)에 의해서 척 톱(38)을 프 로브장치(30)에 대해서 전진(상승)시킨다.
또, 검사 스테이지(28)는 검사필의 표시용 패널(12)을 반송장치(36)에 건네 준 후, 척 톱(38)을 후퇴시킨 상태에서 대기한다.
프로브장치(30)는 가상적인 장방형의 변(邊)에 각각 대응한 4개의 베이스부재(48)와, 3개의 베이스부재(48)에 각각 배치된 3개의 프로브 유니트(50)와, 프로브 유니트(50)의 위치맞춤을 위해서 3개의 베이스부재(48)를 이것에 대응하는 변을 따라서(즉, 변의 길이방향으로) 각각 이동시키는 이동기구(도시생략)를 포함한다.
각 베이스부재(48)는 이것에 대응하는 변의 길이방향으로 긴 판형상을 이루고 있으며, 또 본체 베이스(18)의 이면측에 지지되어 그 일부가 개구부(22)에 노출되어 있다. 인접하는 베이스부재(48)는 서로 맞닿지 않도록 간격을 두고 있다.
프로브 유니트(50)는 대향하는 1쌍의 베이스부재(48)와 이들 베이스부재(48)와 인접하는 1개의 베이스부재(48)에 배치되어 있다. 이것에 대해서, 이동기구는 대향하는 다른 1쌍의 베이스부재(48)와 이들 베이스부재(48)와 인접하는 1개의 베이스부재(48)에 설치되어 있다.
이동기구에 연결되어 있지 않은 베이스부재(48)는 스페이서(도시생략)와 볼트와 같은 복수의 고정구(도시생략)에 의해서 본체 베이스(18)에 이동 불가능하게 부착되어 지지된다.
나머지 각 베이스부재(48)는 리니어 가이드와 같은 가이드 기구(도시생략)에 의해서 대응하는 변의 길이방향으로 이동 가능하게 본체 베이스(18)에 부착되어 지지된다.
각 프로브 유니트(50)는 대응하는 베이스부재(48)에 이것의 길이방향을 따라서 부착된 긴 판형상의 프로브 베이스(52)와, 프로브 베이스(52)에 배치된 복수의 프로브 블록(54)과, 각 프로브 블록(54)에 배치된 복수의 프로브(56)를 구비하고 있다.
프로브 베이스(52)는 베이스부재(48)의 폭방향에 있어서의 가장자리부 중 장방형의 중심측(즉, 선단측)이 되는 가장자리부의 외측에 복수의 나사부재(도시생략)에 의해서 견고하게 부착되어 있다.
각 프로브 블록(54)은 프로브 베이스(52)의 폭방향에 있어서의 선단측의 가장자리부의 외측에 복수의 나사부재(도시생략)에 의해서 견고하게 부착되어 있다. 각 프로브(56)는 선단측을 전방으로 돌출시킨 상태로 프로브 블록(54)의 선단부 하면에 적당한 수단을 사용하여 부착되어 있다.
베이스부재(48)용의 각 이동기구는 본체 베이스(18)에 부착된 모터와, 이 모터에 의해서 회전되는 리드 스쿠르와, 리드 스쿠르에 나사결합된 리드 너트를 포함하는 일반적인 기구를 사용할 수 있다.
각 프로브(56)는 검사 스테이지(28)에 반송된 표시용 패널(12)의 검사시에 척 톱(38)이 상승함에 의해서 표시용 패널(12)의 전극에 누름접촉된다. 이 상태에서 표시용 패널(12)에 그 전극을 통해서 통전된다. 이 때, 표시용 패널(12)은 수평면에 대해서 70°이상 85°이하, 바람직하게는 80°의 경사각도로 유지되어 있기 때문에, 표시용 패널의 휨량이 적어지게 되고, 검사도 보다 정확하게 또한 보다 신속하게 할 수 있다.
반송장치(36)는 Z방향으로 간격을 둔 상태로 1쌍의 본체 베이스(18)에 배치된 X방향으로 이동 가능한 1쌍의 캐리어(62,64)와, 캐리어(62,64)를 X방향으로 각각 이동시키는 1쌍의 캐리어 이동기구(66,68)를 구비하고 있다.
각 본체 베이스(18)에는 2개의 가이드 레일(72,74)이 Z방향으로 간격을 두고서 X방향으로 설치되는 상태로 부착되어 있다. 가이드(76 및 78)는 각각 가이드 레일(72 및 74)에 이동 가능하게 끼워맞춰져 있다.
가이드(76 및 78)는 각각 캐리어(62 및 64)의 양 단부에 부착되어 있다. 따라서, 캐리어(62)는 가이드 레일(72) 및 가이드(76)를 통해서 본체 베이스(18)에 이동 가능하게 지지되어 있고, 캐리어(64)는 가이드 레일(74) 및 가이드(78)를 통해서 본체 베이스(18)에 이동 가능하게 지지되어 있다.
각 캐리어(62 및 64)는 Y방향으로 간격을 두고서 X방향으로 설치되는 1쌍의 지지암(82)을 장방형의 캐리어 베이스(80)에 1쌍의 가이드 레일(84) 및 4개의 가이드(86)에 의해서 Y방향으로 이동 가능하게 배치하고 있다.
1쌍의 가이드 레일(84)은 X방향으로 간격을 두고서 Y방향으로 평행하게 설치되는 상태로 대응하는 각 캐리어 베이스(80)에 부착되어 있다. 4개의 가이드(86)는 양 가이드 레일(84)에 2개씩 Y방향으로 간격을 두고서 Y방향으로 이동 가능하게 끼워맞춰져 있다.
각 지지암(82)은 그 양 단부에 가이드(86)를 부착하고 있다. 따라서, 각 지지암(82)은 캐리어 베이스(80)에 양 단부가 지지되는 거더(girder)형상으로 되어 있다.
각 지지암(82)에는 1쌍의 제 1 암(88)이 X방향으로 간격을 두고서 조립되어 있음과 아울러 제 2 암(90)이 1쌍의 제 1 암(88) 사이에 부착되어 있다. 1쌍의 제 1 암(88)과 제 2 암(90)은 대응하는 지지암(82)에서 상대측의 지지암(82)을 향해서 설치되며, 대응하는 지지암(82)에 캔틸레버식으로 지지되는 거더형상으로 되어 있다.
각 제 1 암(88)은 가이드 레일(92a)과 가이드(92b)를 포함하는 리니어 가이드와 같은 적당한 결합수단(92)에 의해서 대응하는 지지암(82)에 X방향으로 이동 가능하게 조립되어 있다. 각 지지암(82)에 조립된 양 제 1 암(88)은 서로 접근ㆍ이간되는 방향(X방향)으로 이동된다.
각 제 2 암(90)은 대응하는 지지암(82)에 이동 불가능하게 부착되어 있다. 각 제 2 암(90)의 선단측은 이 제 2 암(90)의 기단부에서 X방향에 있어서의 서로 반대방향으로 연장되는 2개의 선단부로 되어 있다.
각 제 1 암(88)은 X홀더(94)를 선단부에 부착하고 있다. 이것에 대해서, 각 제 2 암(90)은 Y홀더(96)를 양 선단부에 X방향으로 간격을 둔 상태로 부착하고 있다. 양 X홀더(94) 및 양 Y홀더(96)는 각각 표시용 패널(12)의 X방향의 양 가장자리부 및 Y방향의 1개의 가장자리부에 맞닿음으로써 공동하여 그 표시용 패널(12)을 지지한다.
X홀더(94) 및 Y홀더(96)는 어느 것이나 표시용 패널(12)을 서로 대향하는 홀더로 협지(挾持)하여 지지하는 것이어도 되고, 표시용 패널(12)을 걸림편에 걸어서 지지하는 것이어도 되고, 또는 표시용 패널(12)을 받이편에 놓아서 지지하는 것이 어도 된다.
각 캐리어 이동기구(66,68)는 X방향으로 설치되는 볼 나사(100)를 본체 베이스(18)에 회전 가능하게 지지시키고, 볼 나사(100)에 나사결합되는 너트(도시생략)를 캐리어 베이스(80)에 부착하고 있다. 볼 나사(100)는 캐리어용 모터(도시생략)에 의해서 회전된다.
캐리어 이동기구(66)의 캐리어용 모터 및 캐리어 이동기구(68)의 캐리어용 모터는 서로 역방향으로 동기하여 회전된다. 따라서, 양 캐리어(62 및 64)는 수수 스테이지(24)에서 검사 스테이지(28)로 또는 그 반대로 각각 이동된다.
캐리어 이동기구(66 및 68)에 의한 표시용 패널(12)의 반송시에는 검사필 및 미검사의 표시용 패널(12 및 12)이 수평면에 대해서 70°이상 85°이하, 바람직하게는 80°의 경사각도(θ)로 유지된 상태로 이동된다. 이것에 의해서 표시용 패널(12)의 휨량이 적고, 검사필의 표시용 패널(12)과 미검사의 표시용 패널(12)이 서로 엇갈려서 지나갈 때에 필요로 하는 서로의 거리를 작게 할 수 있다.
도 8에 나타낸 표시용 패널(외형치수 1050mm×800mm의 소위 51인치 패널)을 예로 하여 이하에 보다 구체적으로 설명한다.
도 8의 (A)에 나타낸 바와 같이 표시용 패널(12)을 수평면에 대해서 90° 각도로 유지한 경우에는, 표시용 패널(12)은 그 Y방향에 있어서의 일측 부분이 Z방향에 있어서의 일측으로 휘어지고 Y방향에 있어서의 타측 부분이 Z방향에 있어서의 타측으로 휘어지는 이른바 S자 형상이 된다. 도 8의 (A)의 예에서는 Z방향의 일측 및 타측으로 각각 0.009㎛ 및 0.016㎛ 휘어진다.
도 8의 (B)에 나타낸 바와 같이 표시용 패널(12)을 수평면에 대해서 90°미만의 경사각도로 유지한 경우에는, 표시용 패널(12)은 그 전체가 Z방향에 있어서의 일측으로 휘어지게 된다. 도 8의 (B)의 예에서는 경사각도가 85°일 때 498.119㎛ 휘어지고, 경사각도가 80°일 때 101.168㎛ 휘어지고, 경사각도가 75°일 때 1479.230㎛ 휘어지고, 경사각도가 70°일 때 1954.760㎛ 휘어진다.
따라서, 캐리어 이동기구(66 및 68)는 표시용 패널(12)을 수평면에 대해서 70°이상 85°이하, 바람직하게는 80°의 경사각도로 유지함으로써, 검사필 및 미검사의 표시용 패널(12)을 이것들의 휨량이 적은 상태로 서로 엇갈려서 지나가게 할 수 있다.
각 암에 있어서, 우선 제 2 암(90 및 90)이 Y이동기구(108 및 108)에 의해서 동기하여 Y방향으로 이동한다. 이어서, 제 1 암(88 및 88)이 각각 X이동기구(106 및 106)에 의해서 X방향으로 동기하여 이동한다.
각 X이동기구(106)는 전동 모터와 같이 역전 가능한 X구동원(110)과, X구동원(110)에 의해서 회전되는 제 1 풀리(112)와, 제 1 풀리(112)에서 X방향으로 간격을 둔 제 2 풀리(114)와, 제 1 및 제 2 풀리(112 및 114)에 걸은 무단 벨트(116)를 포함한다.
상측의 제 1 암(88)은 무단 벨트(116)의 상측 개소에 부착되어 있고, 하측의 제 1 암(88)은 무단 벨트(116)의 하측 개소에 부착되어 있다. 따라서, 양 제 1 암(88 및 88)은 X구동원(110)이 일방향으로 회전되면 서로 접근하는 방향으로 이동되고, 타방향으로 회전되면 서로 이간되는 방향으로 이동된다. 이것에 의해서 양 제 1 암(88 및 88)은 표시용 패널(12)의 파지(把持)와 그 해제를 실행한다.
Y이동기구(108)는 전동 모터와 같이 역전 가능한 Y구동원(120)과, Y구동원(120)에 의해서 X방향으로 연장되는 축선의 주위로 회전되는 샤프트(122)와, 샤프트(122)의 양 단부에 상대적으로 회전 불가능하게 조립된 제 1 풀리(122a,122a)와, 제 1 풀리(122a)에서 Y방향으로 간격을 둔 제 2 풀리(122b,122b)와, 제 1 및 제 2 풀리(122a 및 122b)에 걸은 무단 벨트(122c,122c)를 포함한다.
가이드 레일(72,74 및 84) 및 가이드(76,78 및 86)로서 리니어 가이드를 사용할 수 있다.
도시한 예에서는, 상측의 지지암(82)은 무단 벨트(122c)의 상측 개소에 부착되어 있고, 하측의 지지암(82)은 무단 벨트(122c)의 하측 개소에 부착되어 있다. 따라서, 양 지지암(82 및 82)은 Y구동원(120)이 일방향으로 회전되면 서로 접근하는 방향으로 이동되고, 타방향으로 회전되면 서로 이간되는 방향으로 이동된다. 이것에 의해서 양 지지암(82 및 82)은 표시용 패널(12)의 파지와 그 해제를 실행한다.
검사장치(10)에 있어서는, 검사 스테이지(28)에서 표시용 패널(12)을 검사하는 동안에, 캐리어(62)(또는 64)에 의한 수수 스테이지(24)로의 검사필의 표시용 패널(12)의 반송 및 배치와, 수수 스테이지(24)에서의 검사필의 표시용 패널(12)의 제거와, 수수 스테이지(24)로의 미검사의 표시용 패널(12)의 배치와, 이 미검사의 표시용 패널(12)의 프리 얼라인먼트와, 캐리어(64)(또는 62)로의 그 미검사의 표시용 패널(12)의 배치가 행해진다.
검사가 종료되면, 수수 스테이지(24)측의 미검사의 표시용 패널(12)이 일측 캐리어(62)(또는 64)에 지지되고, 검사 스테이지(28)측의 검사필의 표시용 패널(12)이 타측 캐리어(64)(또는 62)에 지지되고, 이것들이 각각 검사 스테이지(28) 및 수수 스테이지(24)로 반송된다.
캐리어(62 및 64)에 의한 미검사 및 검사필의 표시용 패널(12)의 반송은 각각 캐리어 이동기구(66 및 68)를 서로 역방향으로 회전시킴에 의해서 행해진다.
캐리어(62,64)에 의한 표시용 패널(12)의 파지는, X구동원(110,110) 및 Y구동원(120)을 일방향으로 회전시켜서 X홀더(94,94) 및 Y홀더(96,96)를 서로 접근하는 방향으로 이동시키고, 이것에 의해서 홀더(94,94,96,96)가 표시용 패널(12)의 가장자리부를 지지하도록 함에 의해서 행해진다.
이 결과, 수수 스테이지(24)에서는 캐리어(62 및 64)가 미검사의 표시용 패널(12)을 파지함에 의해서, 이 미검사의 표시용 패널(12)은 센터링되어 프리 얼라인먼트된다.
캐리어(62,64)에 의한 표시용 패널(12)의 반송은, X홀더(94) 및 Y홀더(96)를 각각 X방향의 각 가장자리부의 Y방향으로 간격을 둔 복수 개소 및 Y방향의 각 가장자리부의 X방향으로 간격을 둔 복수 개소에 맞닿게 하여 표시용 패널(12)을 해제 가능하게 지지한 상태에서 행해진다. 따라서, 표시용 패널(12)의 지지가 안정하게 된다.
캐리어(62,64)에 의한 표시용 패널(12)의 해제는, X구동원(110,110) 및 Y구동원(120)을 타방향으로 회전시켜서 X홀더(94,94) 및 Y홀더(96,96)를 서로 이간되 는 방향으로 이동시킴에 의해서 행해진다.
수수 스테이지(24) 및 검사 스테이지(28)는 캐리어(62,64)에 대해서 표시용 패널(12)을 수수할 때마다 패널 받이부(32) 및 척 톱(38)을 Z방향으로 적어도 1회 왕복이동시킨다.
검사장치(10)와 같이 표시용 패널(12)을 장방형의 4개의 변에 각각 대응하는 4개의 가장자리부에서 지지하면, 대형의 패널이라 하더라도 X방향 중앙영역에 있어서의 패널의 만곡 및 Y방향 중앙영역에 있어서의 패널의 만곡이 Y방향 가장자리부의 지지 및 X방향 가장자리부의 지지에 의해서 서로 방지된다. 이 결과, 대형의 패널을 손상시키는 일 없이 안정하게 반송 가능하게 된다.
도 7의 (A),(B),(C),(D)에 나타낸 바와 같이, 홀더(130)는 L자 형상의 홀더편(132)을 L자 형상의 오목부분이 패널 지지측이 되는 상태로, 즉 패널 걸림측이 되는 상태로 제 1 암(88) 또는 제 2 암(90)에 부착하고, 표시용 패널(12)의 낙하를 방지하는 낙하방지편(134)을 홀더편(132)의 하단에 형성된 고정틀(132a)의 패널 걸림측에 형성하고, 표시용 패널(12)에 맞닿는 탄성 블록(136)을 홀더편(132)의 L자 형상의 오목부분에 나사와 같은 고정부재(138)에 의해서 부착하고 있다.
낙하방지편(134)의 두께치수(지면에 수직한 방향에서의 치수)는 각각 홀더편(132)의 그것보다 작다. 탄성 블록(136)은 우레탄 고무와 같은 고무재로 제작되어 있다. 도 1 내지 도 6에 나타낸 실시예에서 사용하는 홀더(94,96)는 홀더(130)이다.
상기한 홀더(130)는 어느 것이나 표시용 패널(12)의 가장자리부를 탄성 블록 (136)에 맞닿게 하여, 표시용 패널(12)을 탄성 블록(136)에 마찰 걸어맞춤되게 함에 의해서 지지한다. 그러나, 홀더는 표시용 패널(12)을 받이편에 놓아서 지지하는 것 등 다른 타입의 것을 사용하여도 된다.
반송장치(36)는 1개의 캐리어(62)(또는 64)를 사용하는 것이어도 된다. 또, 검사 스테이지(28)에 대해서 X방향에 있어서의 양측에 수수 스테이지(24)를 배치한 검사장치인 경우, 표시용 패널을 일측의 수수 스테이지와 검사 스테이지로 반송하는 캐리어와, 타측의 수수 스테이지와 검사 스테이지로 반송하는 캐리어를 구비한 반송장치이어도 된다.
본 발명은 액정 표시패널뿐만 아니라 유리 기판, 유기 EL 등 그 외의 표시용 패널의 전기적 접속장치에도 적용할 수 있다.
본 발명은 상기한 실시예에 한정되는 것이 아니며, 그 취지를 일탈하지 않는 범위 내에서 여러가지로 변경할 수 있다.
이상과 같이, 본 발명의 검사장치에 의하면, 표시용 패널이 검사시에 수평면에 대해서 70°이상 85°이하, 바람직하게는 80°의 경사각도로 유지되기 때문에 표시용 패널의 휨량이 적으며, 이 결과 표시용 패널을 경사지게 할 수 있음과 아울러, 정확하고 또한 신속한 검사를 할 수 있다.

Claims (4)

  1. 장방형의 표시용 패널을 받아서 검사하는 검사 스테이지로서 검사시에 상기 표시용 패널을 경사진 상태로 유지하는 검사 스테이지와,
    상기 표시용 패널의 적어도 2개의 변(邊)에 각각 대응한 적어도 2개의 프로브 유니트를 포함하며,
    상기 검사 스테이지는 검사시에 상기 표시용 패널을 수평면에 대해서 70°이상 85°이하의 경사각도로 유지하는 것을 특징으로 하는 검사장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 검사 스테이지는 검사시에 상기 표시용 패널을 수평면에 대해서 80°의 경사각도로 유지하는 것을 특징으로 하는 검사장치.
  3. 청구항 1에 있어서,
    미검사의 상기 표시용 패널 또는 검사필의 상기 표시용 패널을 받는 수수(授受) 스테이지와,
    상기 미검사의 표시용 패널을 상기 검사시와 같은 경사각도로 유지한 상태로 상기 수수 스테이지에서 상기 검사 스테이지로 이송함과 아울러, 상기 검사필의 표시용 패널을 수평면에 대해서 상기 검사시와 같은 경사각도로 유지한 상태로 상기 검사 스테이지에서 상기 수수 스테이지로 이송하는 캐리어장치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 검사장치.
  4. 청구항 3에 있어서,
    상기 캐리어장치는 상기 표시용 패널의 대향하는 변을 지지하는 패널 지지기구를 가지는 지지기와, 상기 지지기를 상기 검사 스테이지와 상기 수수 스테이지로 선택적으로 이동시키는 이동기구를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사장치.
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