CN212449662U - 液晶面板自动检测系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种液晶面板自动检测系统，包括：机台，具有第一装载位及第二装载位；API检测组件，用于对液晶面板进行缺陷检测；VCOM检测组件，用于对液晶面板进行VCOM检测；第一载运组件，对应所述第一装载位及所述API检测组件设置，用于载运液晶面板在所述第一装载位与所述API检测组件之间来回运动；第二载运组件，对应所述第二装载位及所述VCOM检测组件设置，用于载运液晶面板在所述第二装载位与所述VCOM检测组件之间来回运动；上下料机械手，用于将液晶面板从所述第一装载位搬运至所述第二装载位。上述液晶面板自动检测系统，实现自动对液晶面板进行缺陷检测和VCOM检测，有利于减少检测人员的劳动强度，有效提高批量生产的效率。

Description

液晶面板自动检测系统

技术领域

本实用新型涉及液晶面板检测技术领域，特别是涉及一种液晶面板自动检测系统。

背景技术

薄膜晶体管液晶显示器作为平板显示器(Flat Panel Display，简称FPD)的一种主流器件,薄膜晶体管液晶显示器(Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display，简称TFT-LCD)技术自20世纪90年代开始迅速发展并逐步成熟，被市场广泛接受使用。液晶显示器具有高清晰、低功耗、轻薄、电磁干扰小等特点，由于自身较为突出的优点，液晶显示器已经被广泛的应用到电脑、平板电脑、手机、车载屏等领域。

随着液晶显示器的广泛应用，在生产过程中对液晶面板的检测需求也日渐增多。对于缺陷不良品的检测。在传统工艺中，工厂内主要用的还是人工用肉眼观察的方法检测，这种方法受到很多因素的影响，例如:工人眼睛疲劳、生产车间光线问题等；而对于VCOM(Common Voltage，公共电极电压)检测，则需要检测人员手动重反复移动检测探头，这在批量生产时效率不高。

实用新型内容

基于此，有必要针对目前传统技术的问题，提供一种液晶面板自动检测系统。

一种液晶面板自动检测系统，包括：

机台，具有第一装载位及第二装载位；

API检测组件，用于对液晶面板进行缺陷检测；

VCOM检测组件，用于对液晶面板进行VCOM检测；

第一载运组件，对应所述第一装载位及所述API检测组件设置，用于载运液晶面板在所述第一装载位与所述API检测组件之间来回运动；

第二载运组件，对应所述第二装载位及所述VCOM检测组件设置，用于载运液晶面板在所述第二装载位与所述VCOM检测组件之间来回运动；

上下料机械手，用于将液晶面板从所述第一装载位搬运至所述第二装载位。

上述液晶面板自动检测系统，工作时，第一载运组件将液晶面板从第一装载位载运至API检测组件处，API检测组件对液晶面板进行缺陷检测，检测完后，第一载运组件载运液晶面板返回至第一装载位11，上下料机械手将第二载运组件上检测完的液晶面板从第一装载位搬运至位于第二装载位上的第二载运组件上，第二载运组件将液晶面板从第二装载位从第二装载位载运至VCOM检测组件，VCOM检测组件对对液晶面板进行VCOM检测，检测完后，第二装载位载运液晶面板返回至第二装载位，实现自动对液晶面板进行缺陷检测和VCOM检测，有利于减少检测人员的劳动强度，有效提高批量生产的效率。

在其中一个实施例中，还包括的第一CCD组件及第二CCD组件，所述第一CCD组件设于所述第一装载位与所述API检测组件之间，所述第二CCD组件设于所述第二装载位与所述VCOM检测组件之间。

在其中一个实施例中，所述机台上还具有入料转接工位及出料转接工位，所述第一转接工位位于所述第一装载位的上游，所述出料转接工位位于所述第二装载位的下游，所述上下料机械手还用于将所述入料转接工位上的液晶面板搬运至所述第一装载位上、将所述第二装载位上的液晶面板搬运至所述出料转接工位上。

在其中一个实施例中，所述上下料机械手包括固定架、沿Y轴滑设在所述固定架上的上料组件、中转组件和下料组件；所述上料组件用于将所述入料转接工位上的液晶面板搬运至所述第一装载位上；所述中转组件位于所述上料组件与所述下料组件之间，所述中转组件用于将所述第一装载位上的液晶面板搬运至所述第二装载位上；所述下料组件用于将所述第二装载位上的液晶面板搬运至所述出料转接工位上。

在其中一个实施例中，所述上料组件包括吸盘组件、用于驱动所述吸盘组件沿Z轴运动的Z轴模组、用于驱动所述吸盘组件做圆周运动的旋转模组、用于驱动所述吸盘组件沿X轴运动的X轴模组、以及用于驱动所述吸盘组件沿Y轴运动的Y轴模组。

在其中一个实施例中，所述机台上还具有上料工位及下料工位，所述上料工位位于所述入料转接工位的上游，所述下料工位位于出料转接工位的下游；所述液晶面板自动检测系统还包括入料转接组件及出料转接组件，所述入料转接组件用于将所述上料工位上的液晶面板转移至所述入料转接工位上，所述出料转接组件用于将所述出料转接工位上的液晶面板转移至所述下料工位上。

在其中一个实施例中，还包括入料组件及出料组件，所述入料组件用于将液晶面板转移至所述上料工位上，所述出料组件用于将所述下料工位上的液晶面板进行转移。

在其中一个实施例中，所述API检测组件包括机架、安装在所述机架上的Z轴运动模块、以及连接所述Z轴运动模块的检测相机。

在其中一个实施例中，所述VCOM检测组件包括支架、安装在所述支架上的Z轴移动模块、以及连接Z轴移动模块的检测探头。

在其中一个实施例中，所述第一载运组件包括载台、安装在所述载台上的点灯治具、连接所述载台的UVW平台、以及用于驱动所述载台沿X轴运动的X轴模块。

附图说明

图1为本实用新型的液晶面板自动检测系统的俯视图；

图2为图1的液晶面板自动检测系统的立体图；

图3为图2的液晶面板自动检测系统的API检测组件的结构示意图；

图4为图2的液晶面板自动检测系统的VCOM检测组件的结构示意图；

图5为图2的液晶面板自动检测系统的第一载运组件及第一CCD组件的结构示意图；

图6为图2的液晶面板自动检测系统的上下料机械手的结构示意图；

图7为图2的液晶面板自动检测系统的入料组件的结构示意图；

图8为图2的液晶面板自动检测系统的安装架、第一CCD组件及第二CCD组件的结构示意图。

附图中各标号的含义为：

机台10，第一装载位11，第二装载位12，入料转接工位13，出料转接工位14，上料工位15，下料工位16，API检测组件20，机架21，Z轴运动模块22，检测相机23，VCOM检测组件30，支架31，Z轴移动模块32，检测探头33，第一载运组件40，载台41，点灯治具42，UVW平台43，第一导轨44，第二导轨45，第二载运组件50，上下料机械手60，固定架61，上料组件62，中转组件63，下料组件64，吸盘组件65，Z轴模组66，旋转模组67，X轴模组68，入料转接组件70，出料转接组件80，入料组件90，支撑架91，X轴驱动模块92，Z轴驱动模块93，吸盘94，出料组件100，安装架110，滑轨111，第一CCD组件120，CC模块121，第二CCD组件130。

具体实施方式

为了便于理解本实用新型，下面将对本实用新型进行更全面的描述。但是，本实用新型可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本实用新型的公开内容的理解更加透彻全面。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本实用新型。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。相反，当元件被称作“直接在”另一元件“上”时，不存在中间元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的。

请参考图1至图8，为本实用新型一实施方式的液晶面板自动检测系统，用于对液晶面板进行检测。请参考图1及图2，液晶面板自动检测系统包括机台10、安装在机台10上的API检测组件20、安装在机台10上的VCOM检测组件30、安装在机台10上的第一载运组件40、安装在机台10上的第二载运组件50、安装在上下料机械手60。机台10具有第一装载位11及第二装载位12，第二装载位12位于第一装载位11下游的一侧。API检测组件20用于对液晶面板进行缺陷检测。VCOM检测组件30设于API检测组件20下游的一侧，VCOM检测组件30用于对液晶面板进行VCOM检测。第一载运组件40对应第一装载位11及API检测组件20设置，第一载运组件40用于载运液晶面板在第一装载位11与API检测组件10之间来回运动。第二载运组件50对应第二装载位12及VCOM检测组件30设置，用于载运液晶面板在第二装载位12与VCOM检测组件20之间来回运动。上下料机械手60用于将液晶面板从第一装载位11搬运至第二装载位12。

为便于理解，设机台10的纵向为X轴方向、机台10的横向为Y轴方向、及机台10的竖向为Z轴方向。

在本实施例中，第一装载位11的数量为四个，第二装载位12的数量为两个。

进一步地，机台10还具有入料转接工位13、出料转接工位14、上料工位15及下料工位16，入料转接工位13位于第一装载位11上游一侧，上料工位15位于入料转接工位13上游一侧，可以理解地，入料转接工位13位于第一装载位11与入料转接工位13之间。出料转接工位14位于第二装载位12下游的一侧，下料工位16位于出料转接工位14下游的一侧，可以理解地，出料转接工位14位于第二装载位12与下料工位16之间。可以理解地，料工位15、入料转接工位13、第一装载位11、第二装载位12、出料转接工位14及下料工位16沿Y轴依次排列分布。

请参考图3，具体地，API检测组件20包括机架21、安装在机架21上的Z轴运动模块22、以及连接Z轴运动模块22的检测相机23，机架21安装在机台10上，Z轴运动模块22用于驱动检测相机23沿Z轴运动，以调节检测相机23与液晶面板之间的焦距，检测相机23用于检测液晶面板的表面缺陷。工作时，第一载运组件40将载运液晶面板载运至检测相机23的正下方，检测相机23通过对液晶面板进行拍照并判断液晶面板的表面是否存在缺陷。进一步地，检测相机23为71M高分辨率CCD。具体到本实施例中，Z轴运动模块22的数量为四个，检测相机23的数量为四个，四组检测相机23可同时进行工作，从而API检测组件20一次性同时对四个液晶面板进行缺陷检测。

请参考图1及图2，VCOM检测组件30与API检测组件20设于机台10的同一侧，且VCOM检测组件30与API检测组件20沿Y轴并列设置。请参考图4，VCOM检测组件30包括支架31、安装在支架31上的Z轴移动模块32、以及连接Z轴移动模块32的检测探头33，支架31安装在机台10上，Z轴移动模块32用于驱动检测探头33沿Z轴运动，以调节检测探头33与液晶面板之间的距离，检测探头33用于对液晶面板进行VCOM检测。工作时，第二载运组件50将液晶面板载运至检测探头33的正下方，检测探头33对液晶面板进行VCOM检测。具体到本实施例中，Z轴移动模块32及检测探头33的数量为两个，两个检测探头33可同时进行工作，从而VCOM检测组件30可一次性同时对两个液晶面板进行VCOM检测。

请参考图5，第一载运组件40包括载台41、安装在载台42上的点灯治具42、连接载台41的UVW平台43、以及用于驱动载台41沿X轴运动的X轴模块，点灯治具42用于装夹液晶面板，UVW平台43用于将点灯治具42点亮。进一步地，第一载运组件40还包括第一导轨44及第二导轨45，第一导轨44沿Z轴延伸设置，第一导轨44的数量为两个，两个第一导轨44相对间隔设置，第二导轨45沿Z轴延伸设置，第二导轨45的数量为两个，两个第二导轨45相对间隔设置，且两个第二导轨45设于两个第一导轨44之间，载台41滑设在第一导轨44上，UVW平台43滑设在第二导轨45上。第二载运组件50的结构与第一载运组件40的结构相同，此处不再详细介绍。具体到实施例中，第一载运组件40的数量为四个，四个第一载运组件40分别与四个API检测组件20的检测相机23对应设置。第二载运组件50的数量为两个，两个第二载运组件50分别与VCOM检测组件30的两个检测探头33对应设置。可以理解地，四个第一载运组件40与两个第二载运组件50设于机台10远离VCOM检测组件30及API检测组件20的一侧，且四个第一载运组件40与两个第二载运组件50沿Y轴并列设置。

请参考图1及图2，上下料机械手60还用于将入料转接工位13上的液晶面板搬运至第一装载位11上、将第二装载位12上的液晶面板搬运至出料转接工位14上。具体地，上下料机械手60包括固定架61、沿Y轴滑设在固定架61上的上料组件62、中转组件63和下料组件64。固定架61安装在机台10上。上料组件62用于将入料转接工位13上的液晶面板搬运至第一装载位11上。中转组件63位于上料组件62与下料组件64之间，中转组件63用于将第一装载位11上的液晶面板搬运至第二装载位12上。下料组件64用于将第二装载位12上的液晶面板搬运至出料转接工位14上。

请参考图6，进一步地，上料组件62包括吸盘组件65、用于驱动吸盘组件65沿Z轴运动的Z轴模组66、用于驱动吸盘组件65做圆周运动的旋转模组67、用于驱动吸盘组件65沿X轴运动的X轴模组68、以及用于驱动吸盘组件65沿Y轴运动的Y轴模组，吸盘组件65用于吸取液晶面板。进一步，吸盘组件65连接旋转模组67，旋转模组67连接Z轴模组66，Z轴模组66连接X轴模组68，X轴模组68连接Y轴模组，Y轴模组连接固定架61。具体到本实施例中，Y轴模组为直线电机组件。中转组件63及下料组件64的结构与上料组件62的结构相同。

请参考图1及图2，在一些实施例中，液晶面板自动检测系统还包括入料转接组件70，入料转接组件70安装在机台10上，入料转接组件70对应入料转接工位13及上料工位15设置，入料转接组件70用于将上料工位15上的液晶面板转移至入料转接工位13上。

在一些实施例中，液晶面板自动检测系统还包括出料转接组件80，出料转接组件80安装在机台10上，出料转接组件80对应出料转接工位14及下料工位16，出料转接组件80用于将出料转接工位14上的液晶面板转移至下料工位16上。可以理解地，入料转接组件70与出料转接组件80沿Y轴设置在机台10的相对两端。

在一些实施例中，液晶面板自动检测系统还包括入料组件90，入料组件90安装在机台10上并对应上料工位15设置，入料组件90用于将液晶面板转移至上料工位15上。可以理解地，工作时，入料组件90抓取将上一个工序工位上完成的液晶面板转移至上料工位15上。请参考图7，具体地，入料组件90包括支撑架91、安装在支撑架91上的X轴驱动模块92、连接Z轴驱动模块92的Z轴驱动模块93、以及连接Z轴驱动模块93的吸盘94。支撑架91安装在机台10上，X轴驱动模块92用于驱动Z轴驱动模块93及吸盘94沿X轴运动，Z轴驱动模块93用于驱动吸盘94沿Z轴运动，即Z轴驱动模块93用于驱动吸盘94上下运动，实现吸盘94对液晶面板进行吸放动作。

请参考图1及图2，在一些实施例中，晶面板自动检测系统还包括出料组件100，出料组件100安装在机台10上并对应下料工位16设置，出料组件100用于将下料工位16上的液晶面板进行转移。可以理解地，工作时，出料组件100抓取下料工位16上的液晶面板转移至下一个工序的工位上。

请参考图1及图8，在一些实施例中，液晶面板自动检测系统还包括安装架110、第一CCD组件120、第二CCD组件130。安装架110第一CCD组件120设于第一装载位11与API检测组件20之间，从而第一装载位11、第一CCD组件120及API检测组件20沿X轴依次布置，即第一载运组件40对应第一装载位11、第一CCD组件120及API检测组件20设置，第一CCD组件120用于识别第一载运组件40上液晶面板上的Mark点(位置识别点)。第二CCD组件130设于第二装载位12与VCOM检测组件30之间，从而第二CCD组件130、第二载运组件50及VCOM检测组件30沿X轴依次布置，第二载运组件50对应第二装载位12、第二CCD组件及VCOM检测组件30设置，第二CCD组件130用识别第二载运组件50上液晶面板上的Mark点。具体到本实施例中，第一CCD组件120的数量为四个，第二CCD组件130的数量为两个。

具体地，安装架110上设置有滑轨111，滑轨111沿Y轴延伸设置，第一CCD组件120滑设在滑轨111上，从而可通过作动CCD组件120沿滑轨111滑设以调节CCD组件120在Y轴方向的位置。进一步地，第一CCD组件120包括两个CC模块121。第二CCD组件130的结构与第一CCD组件120的结构相同，此处不再详细介绍。

请参考图5，对缺陷检测进行视觉标定对位时，具体步骤为：1、将点灯治具42安装在载台41上，将液晶面板安装在点灯治具42上，X轴模块将载台41上驱动至第一CCD组件120的正下方，第一CCD组件120对点灯治具42上的液晶面板进行拍照。2、根据对位CCD软件图像界面来看，调整第一CCD组件120的安装位置，使图像mark显示清晰且在图像虚拟交叉线中央。3、将第一CCD组件120锁紧在安装架110上，确定好第一CCD组件120的安装位置。4、将载台41退回至第一装载位11，拆下点灯治具42。5、将载台41移动到API检测组件20处，松开UVW平台43的固定螺丝，再与载台41连接在一起。6、在UVW平台42上装上特定的带有产品mark标定板机构，然后将载台41和UVW平台42移动到第一CCD组件120的正下方。7.根据第一CCD组件120视野中反馈的图像信息，调整标定板的高度和产品mark在视野中的位置，使mark在视野中清晰且在图像虚拟交叉线中央。VCOM检测对缺陷检测进行视觉标定对位的步骤同于对缺陷检测进行视觉标定对位的步骤。

请参考图1及图2，液晶面板自动检测系统的工作步骤如下；

1、入料组件90将从上一个工序完成抓取的液晶面板转移至位于上料工位15上的入料转接组件70上。

2、入料转接组件70移动至入料转接工位13。

3、上下料机械手60的上料组件62将入料转接组件70上的液晶面板从料转接工位13抓取至位于第一装载位11的第一载运组件40上的点灯治具42上。

4、第一载运组件40载运液晶面板运动至第一CCD组件120的正下方。

5、第一CCD组件120识别液晶面板上的Mark点，即第一CCD组件120对液晶面板进行精对位。

6、第一载运组件40载运液晶面板运动至API检测组件20的检测相机23的正下方。

7、API检测组件20的检测相机23对液晶面板进行光学视觉自动检测，即多液晶面板进行缺陷检测。

8、第一载运组件40载运液晶面板返回至第一装载位11。

9、上下料机械手60的中转组件63将第一装载位11上的液晶面板抓取至位于第二装载位12的第二载运组件50上。

10、第二载运组件50载运液晶面板至第二CCD组件130的正下方。

11、第二CCD组件130识别液晶面板上的Mark点，即第二CCD组件130对液晶面板进行精对位。

12、第二载运组件50载运液晶面板至VCOM检测组件30的检测探头33的正下方。

13、VCOM检测组件30的检测探头33对液晶面板进行ACOM检测。

14、第二载运组件50载运液晶面板返回至第二装载位12。

15、上下料机械手60的下料组件64将第二装载位12上完成检测的液晶面板抓取至位于出料转接工位14上的出料转接组件80上。

16、出料转接组件80将液晶面板从出料转接工位14移动至下料工位16。

17、出料组件100将出料转接组件80上的液晶液晶面板从下料工位16转移至下一个工序的工位上。

本实用新型的液晶面板自动检测系统，工作时，第一载运组件40将液晶面板从第一装载位11载运至API检测组件20处，API检测组件20对液晶面板进行缺陷检测，检测完后，第一载运组件40载运液晶面板返回至第一装载位11，上下料机械手60将第二载运组件50上检测完的液晶面板从第一装载位11搬运至位于第二装载位12上的第二载运组件50上，第二载运组件50将液晶面板从第二装载位12从第二装载位12载运至VCOM检测组件30，VCOM检测组件30对对液晶面板进行VCOM检测，检测完后，第二装载位12载运液晶面板返回至第二装载位12，实现自动对液晶面板进行缺陷检测和VCOM检测，有利于减少检测人员的劳动强度，有效提高批量生产的效率。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (10)

1.一种液晶面板自动检测系统，其特征在于，包括：

机台，具有第一装载位及第二装载位；

API检测组件，用于对液晶面板进行缺陷检测；

VCOM检测组件，用于对液晶面板进行VCOM检测；

第一载运组件，对应所述第一装载位及所述API检测组件设置，用于载运液晶面板在所述第一装载位与所述API检测组件之间来回运动；

第二载运组件，对应所述第二装载位及所述VCOM检测组件设置，用于载运液晶面板在所述第二装载位与所述VCOM检测组件之间来回运动；

上下料机械手，用于将液晶面板从所述第一装载位搬运至所述第二装载位。

2.根据权利要求1所述的液晶面板自动检测系统，其特征在于，还包括的第一CCD组件及第二CCD组件，所述第一CCD组件设于所述第一装载位与所述API检测组件之间，所述第二CCD组件设于所述第二装载位与所述VCOM检测组件之间。

3.根据权利要求1所述的液晶面板自动检测系统，其特征在于，所述机台上还具有入料转接工位及出料转接工位，所述入料转接工位位于所述第一装载位的上游，所述出料转接工位位于所述第二装载位的下游，所述上下料机械手还用于将所述入料转接工位上的液晶面板搬运至所述第一装载位上、将所述第二装载位上的液晶面板搬运至所述出料转接工位上。

4.根据权利要求3所述的液晶面板自动检测系统，其特征在于，所述上下料机械手包括固定架、沿Y轴滑设在所述固定架上的上料组件、中转组件和下料组件；所述上料组件用于将所述入料转接工位上的液晶面板搬运至所述第一装载位上；所述中转组件位于所述上料组件与所述下料组件之间，所述中转组件用于将所述第一装载位上的液晶面板搬运至所述第二装载位上；所述下料组件用于将所述第二装载位上的液晶面板搬运至所述出料转接工位上。

5.根据权利要求4所述的液晶面板自动检测系统，其特征在于，所述上料组件包括吸盘组件、用于驱动所述吸盘组件沿Z轴运动的Z轴模组、用于驱动所述吸盘组件做圆周运动的旋转模组、用于驱动所述吸盘组件沿X轴运动的X轴模组、以及用于驱动所述吸盘组件沿Y轴运动的Y轴模组。

6.根据权利要求3所述的液晶面板自动检测系统，其特征在于，所述机台上还具有上料工位及下料工位，所述上料工位位于所述入料转接工位的上游，所述下料工位位于出料转接工位的下游；所述液晶面板自动检测系统还包括入料转接组件及出料转接组件，所述入料转接组件用于将所述上料工位上的液晶面板转移至所述入料转接工位上，所述出料转接组件用于将所述出料转接工位上的液晶面板转移至所述下料工位上。

7.根据权利要求6所述的液晶面板自动检测系统，其特征在于，还包括入料组件及出料组件，所述入料组件用于将液晶面板转移至所述上料工位上，所述出料组件用于将所述下料工位上的液晶面板进行转移。

8.根据权利要求1所述的液晶面板自动检测系统，其特征在于，所述API检测组件包括机架、安装在所述机架上的Z轴运动模块、以及连接所述Z轴运动模块的检测相机。

9.根据权利要求1所述的液晶面板自动检测系统，其特征在于，所述VCOM检测组件包括支架、安装在所述支架上的Z轴移动模块、以及连接Z轴移动模块的检测探头。

10.根据权利要求1所述的液晶面板自动检测系统，其特征在于，所述第一载运组件包括载台、安装在所述载台上的点灯治具、连接所述载台的UVW平台、以及用于驱动所述载台沿X轴运动的X轴模块。

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