CN106873195B - 探针单元更换装置 - Google Patents

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    • G02FDEVICES OR ARRANGEMENTS, THE OPTICAL OPERATION OF WHICH IS MODIFIED BY CHANGING THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIUM OF THE DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF THE INTENSITY, COLOUR, PHASE, POLARISATION OR DIRECTION OF LIGHT, e.g. SWITCHING, GATING, MODULATING OR DEMODULATING; TECHNIQUES OR PROCEDURES FOR THE OPERATION THEREOF; FREQUENCY-CHANGING; NON-LINEAR OPTICS; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
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    • G02F1/1309Repairing; Testing

Abstract

本发明提供探针单元更换装置,其包括:液晶显示面板检测部,设有用于放置液晶显示面板的工作台,用于对液晶显示面板进行不同种类的多种检测;探针单元装载部,设有根据液晶显示面板的检测种类由不同种类构成的能够移动的多个探针单元;以及探针单元移送部,以能够往复移动的方式设置于液晶显示面板检测部和探针单元装载部之间,用于使设置于探针单元装载部的探针单元移动。通过本发明,可在探针单元装载部装载多个探针单元,可根据液晶显示面板的检测种类装载多个探针单元,在液晶显示面板检测部和探针单元装载部之间可使探针单元向X轴、Y轴及Z轴方向自由移送,通过使探针单元向X轴、Y轴及Z轴方向旋转,可向所需的位置及方向移动探针单元。

Description

探针单元更换装置
技术领域
本发明涉及探针单元更换装置,更详细地涉及可根据需要来更换使用收纳于探针单元装载部的多个探针单元的探针单元更换装置。
背景技术
通常,探针单元更换装置是指,将用于固定显示面板的探针单元、根据显示面板的大小所选择的探针单元自动移送至工作人员所处的地点并进行更换,以便可通过肉眼容易检测显示(包括液晶显示器或平板显示器等)面板是残次品还是优质品。
随着确保批量生产技术,并获得研究开发成果,作为平板显示器(flat paneldisplay)的主力产品的液晶显示装置(薄膜晶体管液晶显示器(TFT-LCD))的大型化和高分辨率化正在快速发展,从而不仅开发出了笔记本电脑(computer),还开发出了大型显示器(monitor)产品,以替代现有的阴极射线管(CRT,cathode ray tube)产品,其在显示器产业中的比重逐渐增大。
在近来的信息化社会,显示器作为视觉信息传递介质,其重要性进一步被强调,尤其,随着所有电子产品的轻、薄、短、小趋势,低耗电化、薄型化、轻量化、高清晰度、便携性的重要性进一步提高。
液晶显示装置是一种既具有可满足平板显示器的这种条件的性能又具有批量生产性的显示装置,因而正在快速推出利用这种液晶显示装置的各种新产品,在电子产业界中,其比重剧增,已达到半导体以上水平,而提升为剧增的新一代主力技术。
这种液晶显示装置会在生产线最终步骤中进行亮灯检测,此时,在特定的检测设备中,利用探针单元来分别进行液晶显示面板的数据线和栅极线的断线检测、颜色检测以及利用显微镜等的肉眼检测等。
在多种液晶显示面板的制备过程中,为了检测液晶显示面板是否有不良等,经过多种形态方式的检测。在进行这种检测时,多种检测都要进行数次,根据其检测种类,使用多种探针单元。
在进行上述液晶显示面板的检测时,将液晶显示面板放在工作台的上部面,并使用于进行检测的探针单元向工作台移动。
之后,使工作台及探针单元中的至少一个向上下、前后、左右方向移动,来进行整列,以使液晶显示面板与探针单元的位置相对应。
上述探针单元与液晶显示面板电连接,通过输出用于检测(或测试)的信号,来对液晶显示面板进行检测。
通过如上所述的检测,进行液晶显示面板的电池检测,此时,根据检测种类,检测装置的探针单元的种类也改变。
即,在检测种类改变的情况下,需要使用与液晶显示面板的电池相对应的探针单元,因而需要更换探针单元。
这种探针单元的更换工作由工作人员手动地进行,因而探针单元的更换工作所需的工作时间长,且存在由于探针单元接触不良而使液晶显示面板的电池破损或受损的问题,还存在进行探针单元的更换工作时,不时地发生工作人员受伤或触电等的安全事故的问题。
例如,在以下专利文献1中公开有“探针单元更换装置”。
以下专利文献1的探针单元更换装置包括:标准分别不同的多个探针单元,在多个探针单元的正面设有具有规定长度的移送用固定板,在多个探针单元的背面以规定间隔设有多个钩;旋转供给装置,在旋转供给装置的各个面安装有上述多个探针单元,旋转供给装置用于使上述多个探针单元旋转规定角度;移送装置,用于借助上述旋转供给装置和设置于上述旋转供给装置的下部面的工作台,来移送选自上述多个探针单元中的一个探针单元;以及工作台,用于在上述旋转供给装置的下部面固定借助上述移送装置供给的上述探针单元。
在以下专利文献2中公开有“显示器玻璃测试基板的更换装置”。
以下专利文献2的“显示器玻璃测试基板的更换装置”包括:测试模块,位于用于搁置玻璃且沿着规定的移送路径移送上述玻璃的平台模块的移送路径上,上述测试模块包括安装有用于进行借助上述平台模块移送的玻璃的检测的测试基板的固定板;搁置模块,包括用于以可装拆的方式搁置测试基板的多个搁置部;以及移送模块,用于向上述固定板移送搁置于上述搁置部的测试基板,或向上述搁置部移送安装于上述固定板的测试基板。
现有技术文献
专利文献
专利文献1:韩国特许登录号第10-1545844号(2015年8月13日登录)
专利文献2:韩国特许登录号第10-1174861号(2012年8月10日登录)
发明内容
要解决的技术问题
专利文献1的“探针单元更换装置”由本申请人提出韩国申请并得到授权,其授权号为韩国特许第10-1545844号,探针单元更换装置可更换长度各不相同的探针单元。
然而,上述“探针单元更换装置”存在根据液晶显示面板电池的检测种类而不能供给及移送探针单元的问题。即,“探针单元更换装置”存在无法将既与大小相同的电池相对应又能根据液晶显示面板电池(CELL)的不同型号而进行不同检测的探针单元移送至电池的接触位置的问题。
专利文献2的“显示器玻璃测试基板的更换装置”中,在搁置模块安装有多个测试基板,从而进行不同的以往的检测,但由于安装在搁置部的测试基板的数量非常受限,因而存在无法借助这种受限的测试基板,根据液晶显示面板电池的检测种类安装多种形态的探针单元的问题。
为了解决如上所述的问题,本发明的目的在于,提供探针单元更换装置,可移送及更换多个探针单元,以便可进行不同种类的检测,并进行多种检测。
本发明的再一目的在于,提供探针单元更换装置,根据液晶显示面板的电池型号,可移送及更换多种探针单元。
本发明的另一目的在于,提供探针单元更换装置,根据液晶显示面板的电池型号,可稳定地移送所装载的多个探针单元。
本发明的还一目的在于,提供探针单元更换装置,自动更换探针单元,不仅可缩短探针单元的更换时间或工作时间,还可防止工作人员的安全事故。
解决问题的技术方案
为了达成如上所述的目的,本发明提供如下的技术方案。
一种本发明的探针单元更换装置,其中,上述探针单元更换装置包括:液晶显示面板检测部,设有用于放置液晶显示面板的工作台,用于对上述液晶显示面板进行不同种类的多种检测;探针单元装载部,设有根据上述液晶显示面板的检测种类由不同种类构成的能够移动的多个探针单元;以及探针单元移送部,以能够往复移动的方式设置于上述液晶显示面板检测部和上述探针单元装载部之间,用于使设置于上述探针单元装载部的上述探针单元移动,上述探针单元移送部在上述液晶显示面板检测部和上述液晶显示面板之间向X轴、Y轴及Z轴方向移动,并能够向上述探针单元的移送方向进行旋转。
根据上述的探针单元更换装置,其中,上述液晶显示面板检测部包括清洁垫,上述清洁垫设置于上述工作台的一侧上部面,用于去除残留于上述探针单元的异物。
根据上述的探针单元更换装置,其中,上述探针单元装载部包括:探针单元升降模块,包括沿着滚珠螺杆进行升降的升降框架,上述滚珠螺杆以能够借助马达的旋转进行升降的方式垂直设置于盖板的内部;以及探针单元装载模块,借助上述探针单元升降模块的升降框架进行升降,用于在上述探针单元装载模块的内部以规定高度间隔装载多个探针单元。
根据上述的探针单元更换装置,其中,上述探针单元升降模块包括:一对滚珠螺杆,以能够借助上述马达的旋转进行旋转的方式垂直设置,借助齿轮箱向上述滚珠螺杆的两侧传递上述马达的旋转力;升降框架,以能够沿着上述一对滚珠螺杆进行升降的方式结合;以及多个线性导轨,垂直设置于上述升降框架的两侧面,用于使上述升降框架稳定地进行升降。
根据上述的探针单元更换装置,其中,上述探针单元升降模块包括:马达,借助施加的电源进行旋转;齿轮箱,设置于上述马达的一侧,向上述齿轮箱的两侧传递上述马达的旋转力;一对旋转轴,以能够旋转的方式设置于上述齿轮箱的两侧面;一对滚珠螺杆,垂直设置于上述旋转轴的各个两端;升降框架,以能够借助上述滚珠螺杆的旋转进行升降的方式结合;一对线性导轨,分别垂直设置于上述升降框架的两侧;以及控制盘,设置于上述盖板,用于控制上述马达的驱动,来使上述升降框架以适当的高度进行升降。
根据上述的探针单元更换装置,其中,上述探针单元装载模块包括:装载框架,以能够使上述多个探针单元水平移动的方式内置有上述多个探针单元,上述装载框架放置于上述升降框架的上部面,来与上述升降框架一同进行升降;以及整列单元,设置于上述装载框架的内部面,用于使装载于上述装载框架的上述多个探针单元进行水平移动。
根据上述的探针单元更换装置,其中,上述整列单元包括:底板,水平设置于上述装载框架;导块,以能够水平移动的方式设置于上述底板的上部面;多个线性导轨,用于使上述导块能够向上述装载框架的内侧水平移动;多个移送辊,设置于上述导块,用于使放置于上述导块的上部面的上述探针单元自由移动;以及多个气缸,以向上述装载框架的内侧水平移动的方式设置于上述导块的一侧,用于使上述导块紧贴于上述探针单元的两侧面。
根据上述的探针单元更换装置,其中,上述整列单元还包括挡止部,上述挡止部用于限制上述探针单元在上述装载框架移动。
根据上述的探针单元更换装置,其中,上述探针单元移送部包括:第一移送模块,用于引出装载于上述装载框架的上述探针单元;旋转模块,在安装借助上述第一移送模块移送的上述探针单元之后,使上述探针单元旋转,以使上述探针单元安装于上述工作台;以及第二移送模块,用于使安装有上述探针单元的旋转模块向上述工作台移送。
根据上述的探针单元更换装置,其中,上述第一移送模块包括:一对皮带传动装置,分别与上述探针单元装载部的两侧相对应;驱动马达,设置于上述皮带传动装置的一端;旋转轴,设置于上述一对皮带传动装置的一端,用于传递上述驱动马达的旋转力;一对移动块,分别以能够借助主动轮(driving pulley)进行移动的方式与上述一对皮带传动装置的一面相结合;以及托架,固定于上述一对移动块之间。
根据上述的探针单元更换装置,其中,上述旋转模块包括:升降单元,能够借助通过设置于上述升降单元的一侧面的马达的旋转而旋转的滚珠螺杆进行升降;以及转盘单元,能够借助设置于上述升降单元的上侧的旋转马达进行旋转。
根据上述的探针单元更换装置,其中,上述升降单元包括:盖板,以形成内部空间的方式固定;马达,设置于上述盖板的一面;齿轮箱,以能够借助上述马达进行旋转的方式设置于上述盖板的内部;滚珠螺杆,借助上述齿轮箱进行旋转;升降块,以能够借助上述滚珠螺杆的旋转进行升降的方式结合;间隔块,能够借助上述升降块进行升降;升降板,固定于上述间隔块的一面;以及加强筋,固定于上述升降板的下端,来使上述转盘单元进行升降。
根据上述的探针单元更换装置,其中,上述转盘单元包括:升降板,以升降的方式设置于上述升降单元的盖板的外部面;上面板,水平固定于上述升降板的上部面;马达,设置于上述上面板;转盘,能够借助上述马达进行旋转;以及多个吸附垫,设置于上述转盘的上部面,用于吸附上述探针单元。
根据上述的探针单元更换装置,其中,上述第二移送模块包括:第一移送单元,向上述工作台的移动位置移动;以及第二移送单元,与上述第一移送单元的下部面正交,用于使安装有上述探针单元的上述旋转模块向上述工作台移动。
根据上述的探针单元更换装置,其中,上述第一移送单元包括:上述第一移送单元包括:固定块,固定于上述旋转模块的一面;第一皮带传动装置,上述固定块以能够移动的方式与上述第一皮带传动装置相结合;以及第一马达,以使上述固定块移动的方式设置于上述第一皮带传动装置的一端。
根据上述的探针单元更换装置,其中,上述第二移送单元包括:一对第二皮带传动装置,向与上述第一移送单元正交的方向设置,用于使上述第一移送单元向上述工作台移动;一对旋转轴,设置于上述一对皮带传动装置之间;齿轮箱,设置于上述一对旋转轴之间;以及第二马达,用于使上述齿轮箱旋转。
发明的有益效果
如上所述,根据本发明的探针单元更换装置,可在探针单元装载部装载多个探针单元,可根据液晶显示面板的检测种类装载多个探针单元,可在液晶显示面板检测部和探针单元装载部之间向X轴、Y轴及Z轴方向自由移送探针单元,通过使探针单元向X轴、Y轴及Z轴方向旋转,可向所需的位置及方向移动探针单元。
根据本发明的探针单元更换装置,可使探针单元与清洁垫相接触,来维持探针单元的清洁,可借助探针单元移送部自动更换探针单元,不仅探针单元的更换工作简便,而且可缩短更换时间。
附图说明
图1表示本发明优选实施例的探针单元更换装置的立体图。
图2表示本发明优选实施例的探针单元更换装置的探针单元的立体图。
图3表示本发明优选实施例的探针单元更换装置的工作台、探针单元装载部及探针单元移送部的立体图。
图4表示本发明优选实施例的探针单元更换装置的液晶显示面板检测部、探针单元装载部及探针单元移送部的立体图。
图5表示设置于本发明优选实施例的探针单元更换装置的液晶显示面板检测部的清洁垫的立体图。
图6表示本发明优选实施例的探针单元更换装置的探针单元装载部的分解立体图。
图7表示本发明优选实施例的探针单元更换装置的探针单元装载部的立体图。
图8表示本发明优选实施例的探针单元更换装置的探针单元移送部的分解立体图。
图9表示本发明优选实施例的探针单元更换装置的探针单元移送部的立体图。
图10表示本发明优选实施例的探针单元移送部的旋转模块的分解立体图。
图11表示本发明优选实施例的探针单元移送部的旋转模块的分解立体图。
图12表示本发明优选实施例的探针单元移送部的旋转模块的剖视图。
附图标记的说明
100-液晶显示面板检测部,110-工作台,112-作业踏板,113-框架,114-栏杆,120-探针单元,130-清洁垫,140-工作台调节装置,200-探针单元装载部,210-探针单元升降模块,220-升降框架,230-控制盘,250-探针单元装载模块,251-装载框架,260-整列单元,300-探针单元移送部,310-第一移送模块,330-旋转模块,350-转盘单元,370-第二移送模块,380-第一移送单元,390-第二移送单元。
具体实施方式
以下,参照附图,详细说明本发明优选实施例的探针单元更换装置。
图1为本发明优选实施例的探针单元更换装置的立体图,图2为示出本发明优选实施例的探针单元更换装置的探针单元的立体图,图3为示出本发明优选实施例的探针单元更换装置的工作台、探针单元装载部及探针单元移送部的立体图,图4为示出本发明优选实施例的探针单元更换装置的液晶显示面板检测部、探针单元装载部及探针单元移送部的立体图。
本发明优选实施例的探针单元更换装置包括:液晶显示面板检测部100,设有用于放置液晶显示面板的工作台110,用于对上述液晶显示面板进行不同种类的多种检测;探针单元装载部200,设有根据上述液晶显示面板的检测种类由不同种类构成的能够移动的多个探针单元120;以及探针单元移送部300,以能够往复移动的方式设置于上述液晶显示面板检测部100和上述探针单元装载部200之间,用于使设置于上述探针单元装载部200的上述多个探针单元120移动。
在本发明实施例的探针单元更换装置中,在用于检测液晶显示面板(未图示)的液晶显示面板检测部100的工作台110设有多个探针单元120,以便进行不同种类的检测,根据液晶显示面板的检测种类,使相应的探针单元120向工作台110移送。
即,液晶显示面板的检测分为清晰度不良和外观不良,清晰度不良有点(Dot)不良、线不良等,外观不良有碎裂、破碎、划痕、异物、线头等不良。清晰度不良是指电池(Cell)单位的不良,外观不良是指在液晶显示面板的生产过程中在移动时被划伤或多种异物附着于液晶显示面板表面而发生的不良,划痕和破碎是由于液晶显示面板的圆点的一部分破碎而当液晶显示面板发光时只有圆点的一部分发亮的现象,线头为异物进入液晶显示面板而产生的现象。
这种液晶显示面板不仅由于圆点或电池的不良,还由于液晶显示面板的划痕、破碎等而发生不良,因而对液晶显示面板进行多种检测。
在这种液晶显示面板的检测过程中,主要利用与液晶显示面板相接触的探针单元120,在探针单元120根据液晶显示面板的检测种类设有不同的形态的探针块121。
上述探针单元120中,在具有规定长度的一个板以规定间隔设有多个探针块,在上述探针块设有与液晶显示面板相接触的引线(lead),上述引线的间隔等根据液晶显示面板的检测种类而不同。
由此,在检测液晶显示面板时,根据检测种类使用设有不同探针块的探针单元120,探针单元120以引线或探针块121的间隔等不同的方式排列。
如图2所示,在上述探针单元120中,在具有规定大小的板的一面以规定间隔设有多个探针块121。
像这样,在本发明的探针单元更换装置中,用于不同种类的检测的探针单元120无需由工作人员手动进行更换,可借助更换装置自动选择所需的探针单元120,来设置于工作台110。
上述多个探针单元120以规定高度装载于探针单元装载部200,这些探针单元120的用途、功能或作用使用于不同种类的检测。
另一方面,在本发明中,“液晶显示面板”应理解为均包括液晶显示器(LCD,liquidcrystal display)、发光二极管(LED,Light Emitting Diode)、有机发光二极管(OLED,Organic Light-Emitting Diode)、有源矩阵有机发光二极管(AMOLED,Active-MatrixOrganic Light-Emitting Diode)等。
在上述液晶显示面板检测部100设有可平放液晶显示面板的工作台110,工作台110划分为多个区域,以便放置多个液晶显示面板。
上述液晶显示面板借助用于移送液晶显示面板的额外的装置或设备供给及排出,工作台110划分为多个区域,以便放置以规定大小切割的液晶显示面板。
如图3所示,工作台110共划分为4个区域,以便放置多个液晶显示面板之后,依次进行检测。
这是为了依次对放置于一个工作台110的液晶显示面板进行检测,来减少液晶显示面板的检测时间。
图5为示出设置于本发明优选实施例的探针单元更换装置的液晶显示面板检测部的清洁垫的立体图。
在上述工作台110的一面设有清洁垫130,上述清洁垫130用于去除从探针单元装载部200移送的探针单元120中所附着的异物或灰尘等。
如图4所示,上述清洁垫130安装于工作台110的一面,清洁垫130设置在与探针单元移送部300相接触的面。
上述清洁垫130具有规定长度,即,与探针单元120的长度相对应的长度,并具有粘结性,以便去除设置于探针块121的引线(未图示)或接触销(未图示)上的异物。上述清洁垫130包括具有粘结性的粘结垫131和用于使上述粘结垫131固定于工作台110的固定框架132。
上述清洁垫130去除设置于探针单元120的探针块121中所附着的异物等,来去除附着于探针块121的异物,以防止异物附着于液晶显示面板。
并且,在工作台110的底面设有工作台调节装置140,上述工作台调节装置140不仅可使工作台110向X轴及Y轴移动,还使工作台110以可调节与探针单元120的接触的方式向Z轴移动。
本发明实施例的探针单元更换装置中,借助探针单元移送部300从探针单元装载部200向工作台110移送探针单元120,因而省略对上述工作台调节装置140的具体说明。
如图1所示,在工作台110的一侧设有作业踏板112,以便工作人员手动地进行探针单元120的更换工作或设置工作等,并且,设有用于坚固地支撑上述作业踏板112的多个框架113。
并且,在作业踏板112的边缘设有用于防止工作人员的坠落等的栏杆114。
并且,在工作台110的上部设有用于检测液晶显示面板的摄像机、用于检测液晶显示面板是否安装在准确的位置的传感器等检测设备或部件,省略对这些检测设备或部件的具体说明。
如图1至图4所示,在工作台110的一侧设有用于移送装载于探针单元装载部200的探针单元120的探针单元移送部300,在上述探针单元移送部300的一侧设有用于装载多个探针单元120的探针单元装载部200。
上述探针单元120装载于探针单元装载部200,探针单元移送部300以使探针单元120在液晶显示面板检测部100和探针单元装载部200之间往复移动的方式移送探针单元120。
由此,装载于探针单元装载部200的探针单元120借助探针单元移送部300向液晶显示面板检测部100移送。在上述探针单元装载部200装载多个探针单元120。
图6为示出本发明优选实施例的探针单元更换装置的探针单元装载部的分解立体图,图7为示出本发明优选实施例的探针单元更换装置的探针单元装载部的立体图。
如图5及图6所示,上述探针单元装载部200包括:探针单元升降模块210,包括沿着滚珠螺杆215进行升降的升降框架220,上述滚珠螺杆215以能够借助马达211的旋转进行升降的方式垂直设置于盖板201的内部;以及探针单元装载模块250,借助上述探针单元升降模块210的升降框架220进行升降,用于在上述探针单元装载模块250的内部以规定高度间隔装载多个探针单元120。
上述探针单元装载部200包括可装载多个探针单元120的、具有适当高度的六面体形状的装载盒。
在上述探针单元装载部200的装载盒以形成六面体的方式固定有多个盖板201,并形成有可引出探针单元120的出入口202,在与上述出入口202相对应的前部面以可旋转的方式设有门(未图示)。
设置于上述探针单元装载部200的内部的探针单元升降模块210包括:马达211,借助施加的电源进行旋转;第一齿轮箱212,设置于上述马达211的一侧,向上述第一齿轮箱212的两侧传递上述马达211的旋转力;一对旋转轴213,以能够旋转的方式设置于上述第一齿轮箱212的两侧面;一对滚珠螺杆215,垂直设置于上述旋转轴213的各个两端;升降框架220,以能够借助上述滚珠螺杆215的旋转进行升降的方式结合;一对线性导轨225,分别垂直设置于上述升降框架220的两侧;以及控制盘230,设置于上述盖板201,用于控制上述马达211的驱动,来使上述升降框架220以适当的高度进行升降。
上述探针单元升降模块210用于使设置于盖板201的内部的探针单元装载模块250进行升降,探针单元升降模块210使设置于探针单元装载模块250的底面的升降框架220以适当的高度进行升降。
在上述探针单元升降模块210的盖板201的内部下侧设有马达211,在上述马达211设有用于使马达211的旋转力双向传递的第一齿轮箱212。
在上述第一齿轮箱212的两侧分别设有旋转轴213,在旋转轴213的末端分别设有第二齿轮箱214,在上述第二齿轮箱214分别垂直地设有可旋转的滚珠螺杆215。
并且,在盖板201的外部设有用于控制马达211的驱动的控制盘230。上述控制盘230控制马达211的驱动,来调节升降框架220的升降,并调节升降框架220的升降高度。
在上述升降框架220的上部面设有用于装载多个探针单元120的探针单元装载模块250。
上述探针单元装载模块250包括:装载框架251,以能够使上述多个探针单元120水平移动的方式内置有上述多个探针单元120,上述装载框架251放置于上述升降框架220的上部面,来与上述升降框架220一同进行升降;以及整列单元260,设置于上述装载框架251的内部面,用于使装载于上述装载框架251的上述多个探针单元120进行水平移动。
在上述探针单元装载模块250以大致正方体形态固定有装载框架251,上述装载框架251呈两面开放的形态。这是为了可通过形成于盖板201的出入口202或门(未图示)进行引出。
在上述装载框架251的两侧内部面分别设有整列单元260。设置上述整列单元260是为了使探针单元120放置于装载框架251的准确的位置,且当借助探针单元移送部300进行移动时,放置于准确的位置。
上述整列单元260包括:底板261,水平设置于上述装载框架251;导块262,以能够水平移动的方式设置于上述底板261的上部面;多个线性导轨263,用于使上述导块262能够向上述装载框架251的内侧水平移动;多个移送辊264,设置于上述导块262,用于使放置于上述导块262的上部面的上述探针单元120自由移动;以及多个气缸265,以向上述装载框架251的内侧水平移动的方式设置于上述导块262的一侧,用于使上述导块262紧贴于上述探针单元120的两侧面。
并且,整列单元260还包括挡止部266,上述挡止部266用于限制上述探针单元120在上述装载框架251移动。
在上述装载框架251的两侧内部面以规定高度间隔固定有多个底板261,在底板261的上部面以可进行水平移动的方式设有大致呈“L”形状的导块262。
上述导块262以可向装载框架251的内侧移动的方式设置,上述导块262分别紧贴于探针单元120的两侧面,从而使探针单元120更加稳定地装载。
在上述导块262的底面设有多个线性导轨263,上述线性导轨263用于使导块262在进行水平移动时在准确的位置进行水平移动。
并且,在导块262以规定间隔以可旋转的方式设有多个移送辊264,上述移送辊264以规定间隔设置于导块262,从而使探针单元120顺畅地移动。
图8为示出本发明优选实施例的探针单元更换装置的探针单元移送部的分解立体图,图9为示出本发明优选实施例的探针单元更换装置的探针单元移送部的立体图。
如图8及图9所示,在上述液晶显示面板检测部100和探针单元装载部200之间设有探针单元移送部300。
上述探针单元移送部300用于向液晶显示面板检测部100移送装载于探针单元装载部200的探针单元120,并向探针单元装载部200移送液晶显示面板检测部100的安装的探针单元120。
上述探针单元移送部300包括:第一移送模块310,用于引出装载于上述装载框架251的上述探针单元120;旋转模块350,在安装借助上述第一移送模块310移送的上述探针单元120之后,使上述探针单元120旋转,以使上述探针单元120安装于上述工作台110;以及第二移送模块370,用于使安装有上述探针单元120的旋转模块350向上述工作台110移送。
即,探针单元移送部300包括:第一移送模块310,用于通过探针单元装载部200的出入口202引出或引入探针单元120;旋转模块330,用于使借助上述第一移送模块310引出的探针单元120旋转,以使探针单元120安装于上述工作台110;以及第二移送模块370,用于向液晶显示面板检测部100的工作台110移送在上述旋转模块330中旋转的探针单元120。
上述探针单元移送部300包括:一对皮带传动装置311,分别与上述探针单元装载部200的两侧相对应;驱动马达312,设置于上述皮带传动装置311的一端;旋转轴313,设置于上述皮带传动装置311的一端,用于传递上述驱动马达312的旋转力;一对移动块314,分别以能够借助主动轮进行移动的方式分别与上述一对皮带传动装置311的一面相结合;以及托架315,固定于上述一对移动块314之间。
在上述探针单元装载部200的一侧设有探针单元移送部300的第一移送模块310。上述第一移送模块310的皮带传动装置311分别与探针单元装载部200的出入口202的两侧相对应。
在这种皮带传动装置311的一端设有主动轮(未图示),在皮带传动装置311的另一端设有从动轮(未图示)。在这种主动轮和从动轮之间连接皮带(未图示),皮带可借助主动轮和从动轮进行移动。
上述皮带传动装置311的一端设有驱动马达312,在驱动马达312设有用于使隔开规定距离的一对皮带传动装置311同时旋转的旋转轴313。
即,旋转轴313使设置于一对皮带传动装置311的主动轮(未图示)同时旋转。
在上述一对皮带传动装置311以可移动的方式结合借助旋转轴313移动的移动块314,在这些移动块314之间固定大致“H”字形状的托架315。
图10为示出本发明优选实施例的探针单元移送部的旋转模块的分解立体图,图11为示出本发明优选实施例的探针单元移送部的旋转模块的分解立体图,图12为示出本发明优选实施例的探针单元移送部的旋转模块的剖视图。
如图10至图12所示,在上述第一移送模块310的下侧设有用于使借助第一移送模块310引出的探针单元120旋转的旋转模块330。
上述旋转模块330包括:升降单元340,能够借助通过设置于升降单元340一侧面的马达342的旋转而旋转的滚珠螺杆344进行升降;以及转盘单元350,能够借助设置于上述升降单元340的上侧的马达352进行旋转。
上述旋转模块330以可水平移动的方式设置于第二移送模块370。
上述旋转模块330包括:升降单元340,设置于第一移送模块310的下侧,以可安装借助第一移送模块310移送的探针单元120的方式进行升降;以及转盘单元350,可稳定地安装上述探针单元120,并使上述探针单元120旋转。
上述升降单元310包括多个盖板341,在盖板341的一面设有马达342,在盖板341内部设有借助马达342进行旋转的齿轮箱343。
并且,在齿轮箱343以可旋转的方式设有借助马达324进行旋转的滚珠螺杆344,在滚珠螺杆344结合借助滚珠螺杆344的旋转进行升降的升降块345。
图11作为示出旋转模块330的分解立体图,示出设置于升降单元340的外部面的升降板347分离的状态。
在上述升降块345的一面固定有间隔块346,上述间隔块346与设置于盖板341外部面的升降板347进行固定。这种升降板347通过将间隔块346固定于升降块345,来与升降块345一同进行升降。
在上述升降板347的下端固定有加强筋348,上述加强筋348固定于间隔块346,上述升降板347固定于转盘单元350的底面。即,间隔块346可随着升降块345的升降,使设置于盖板341外部面的转盘单元350进行升降。
上述转盘单元350设置于升降单元340的上部,转盘单元350被升降单元340的升降板347支撑。这种转盘单元350借助升降单元340以规定高度进行升降,转盘单元350使所放置的探针单元120旋转规定角度。
上述转盘单元350包括:升降板347,以升降的方式设置于上述升降单元340的盖板341的外部面;上面板351,水平固定于上述升降板347的上部面;马达352,设置于上述上面板351;转盘353,能够借助上述马达352进行旋转;以及多个吸附垫354,设置于上述转盘353的上部面,用于吸附上述探针单元120。
在上述转盘单元350中,在升降单元340的升降板347上部面以水平方式固定有上面板351,在上面板351设有马达352,在马达352的上部面以可旋转的方式设有具有规定大小的转盘353。
在上述转盘353以规定间隔设有多个吸附垫354,吸附垫354以具有吸附力的方式与真空泵(未图示)相连接。
上述旋转模块330借助上述第二移送模块370在安装探针单元120的状态下进行移动。
上述第二移送模块370包括:第一移送单元380,向上述工作台110的移动位置移动;以及第二移送单元390,与上述第一移送单元380的下部面正交,用于使安装有上述探针单元120的上述旋转模块330向上述工作台110移动。
上述第二移送模块370通过使旋转模块330向工作台110移动,来使探针单元120向工作台110移动。
在上述第二移送模块370的第一移送单元380按照与第一移送模块310相同的方向设有第一皮带传动装置382,在第一皮带传动装置352的一端设有可使旋转模块330移动的第一马达383。
在上述第一移送单元380的两端分别设有第二移送单元390。上述第二移送单元390包括:一对第二皮带传动装置391,向与上述第一移送单元380正交的方向设置,用于使上述第一移送单元380向上述工作台110移动;一对旋转轴392,设置于上述一对皮带传动装置391之间;齿轮箱393,设置于上述一对旋转轴392之间;以及第二马达394,用于使上述齿轮箱393旋转。
在上述第一皮带传动装置382的两端向正交的方向分别设有第二皮带传动装置391,在这些第二皮带传动装置391之间设有旋转轴392。
在上述旋转轴392的中间位置设有齿轮箱393,在齿轮箱393设有用于使第二皮带传动装置391旋转的第二马达394。
接着,参照图1至图12,对本发明优选实施例的探针单元更换装置的工作方法进行说明。
本发明实施例的探针单元更换装置在将待检测的液晶显示面板放置于液晶显示面板检测部100的工作台110上部面的状态下,根据液晶显示面板的检测种类,更换所要使用的探针单元120。
在上述探针单元装载部200根据检测种类装载多个探针单元120,在液晶显示面板检测部100和探针单元装载部200之间设置用于使装载于探针单元装载部200的探针单元120移送的探针单元移送部300。
上述探针单元移送部300不仅向液晶显示面板检测部100移送装载于探针单元装载部200的探针单元120,还可向探针单元装载部200移送探针单元120,以便再利用在液晶显示面板检测部100中结束工作的探针单元120。
上述液晶显示面板检测部100的工作台110划分为多个区域,以便检测多个液晶显示面板,工作台110例如划分为第一区域、第二区域、第三区域及第四区域。
并且,液晶显示面板检测部100的工作台110可借助工作台调节装置140向X轴、Y轴及Z轴方向进行移动。
并且,在工作台110一侧设置可使工作人员在其中工作的作业踏板112,在作业踏板112上部面设置用于防止工作人员的坠落等的栏杆114。在上述工作台110的一侧设置探针单元120与液晶显示面板相接触之前可去除异物的清洁垫130。
在上述探针单元装载部200,根据液晶显示面板的检测种类或方法设置多种形态的探针单元120。这种探针单元120借助探针单元移送部300在液晶显示面板检测部100和探针单元装载部200之间进行往复移动。
在上述探针单元装载部200的装载框架250装载有多个探针单元120,在上述探针单元装载部200的一侧设有探针单元移送部300的第一移送模块310。
由此,探针单元移送部300的第一移送模块310引出装载于装载框架251的探针单元120。
此时,探针单元装载部200的探针单元装载模块250借助探针单元升降模块210以适当的高度进行升降。上述探针单元升降模块210中,第一齿轮箱212借助马达211进行旋转,第一齿轮箱212使一对旋转轴213旋转,来使设置于旋转轴213的两端的第二齿轮箱214旋转。
上述第二齿轮箱214使垂直设置的滚珠螺杆215旋转,从而设置于滚珠螺杆215的升降框架220进行升降。
上述升降框架220沿着滚珠螺杆215的旋转方向上升或下降,升降框架220借助与线性导轨224相结合的引导块223稳定地进行升降。
这种升降框架220借助设置于探针单元升降模块210的控制盘230适当地调节升降高度,上述控制盘230一边使升降框架220升降,一边使所要引出的探针单元120位于出入口202。
上述探针单元移送部300的第一移送模块310引出升降至出入口202位置的探针单元120。此时,借助第一移送模块310引出探针单元120,探针单元120从探针单元装载模块250放置于第一移送模块310的托架315的上部面。
在第一移送模块310通过出入口202进入之前,上述探针单元装载模块250借助控制盘230以规定的高度向Z轴方向上升。这使第一移送模块310不与装载框架250相碰撞而顺畅地进入。
上述第一移送模块310的托架315向装载框架251的内侧移动,若上述托架315的移动结束,则上述探针单元装载模块250以规定的高度向Z轴方向下降。由此,探针单元120放置于托架315的上部面。
上述托架315在放置探针单元120的状态下向X轴方向后退,托架215向X轴方向移动规定距离之后暂停。
在上述托架215暂停的状态下,探针单元移送部300的旋转模块330向Z轴方向上升。在上述旋转模块330中,升降单元340的马达342旋转,滚珠螺杆344借助上述马达342旋转,与上述滚珠螺杆344相结合的升降块345上升。
间隔块346、升降板347与升降块345一同上升,固定于上述升降板347的转盘单元350上升。
在上述转盘单元350的吸附垫354放置放置于托架315的探针单元120。上述转盘单元350比托架315上升得更高,来放置探针单元120。在这种状态下,第一移送模块310的托架315向X轴方向后退。
上述探针单元120放置于旋转模块330的转盘353,吸附垫354借助真空压力吸附探针单元120来更稳定地放置。
上述旋转模块330借助升降单元340使转盘单元350下降。上述旋转模块330在转盘单元350下降的状态下使转盘单元350旋转。即,转盘单元350借助马达352旋转。上述转盘单元350的转盘353使探针单元120旋转90°。
上述探针单元120借助转盘353的旋转从X轴方向向Y轴方向旋转。上述探针单元120的探针块以朝向工作台110移动的方式旋转。
像这样,在放置于旋转模块330的探针单元120旋转的状态下,旋转模块330借助第二移送模块370向工作台110移动。
上述旋转模块330借助第二移送模块370的第一移送单元380向工作台110的中间位置,即与清洁垫130相接触的位置移动。
上述旋转模块330在向第一移送单元380的中间位置移动的状态下,借助第二移送单元390朝向工作台110移动。
上述第一移送单元380使设置于第一皮带传动装置382的固定块381移动,固定块381沿着第一皮带传动装置382移动,从而使旋转模块330向所要移动的位置移动。
在旋转模块330向与清洁垫130相对应的位置的移动结束的状态下,上述第二移送单元390使旋转模块330向Y轴方向移动。上述第二移送单元390借助第二马达394的驱动使旋转轴392旋转,第二皮带传动装置391借助旋转轴392的旋转使旋转模块330向工作台110移动。
上述旋转模块330借助第二移送单元390向清洁垫130移动,旋转模块330暂时下降。
这是为了去除设置于探针单元120的探针块(未图示)中所残留的异物。
以如上方式去除异物的探针单元120以规定高度上升,探针单元120安装于工作台110。上述探针单元120安装在设置于工作台110的一侧上部面的安装部(未图示),探针单元120与放置于工作台110的液晶显示面板相接触。
上述工作台110一边借助工作台调节装置140向X轴、Y轴、Z轴方向移动,一边与探针单元120相接触。
对此,探针单元120进行根据液晶显示面板的检测种类的检测。
检测结束的上述探针单元120借助第二移送单元390向Y轴方向移动并后退,探针单元120借助第一移送单元380向X轴方向后退。
上述旋转模块330在借助第二移送单元390向Y轴方向后退之后,借助第一移送单元380向X轴方向后退。接着,旋转模块330借助升降单元340使探针单元120向Z轴方向上升,上述探针单元120放置于第一移送模块310。
上述第一移送模块310在将探针单元120放置于托架315的状态下,使探针单元120向探针单元装载模块250内部的整列单元260移动来放置。
上述探针单元120在放置于整列单元260之后,随着移送辊264向装载框架250内侧移动,在探针单元120的移动结束的状态下,导块262借助气缸265移动,来使探针单元120整列在准确的位置。
以上,根据上述实施例具体说明了由本发明人实现的发明,但本发明不局限于上述实施例,在不脱离其要旨的范围内,能够以多种形态变更。

Claims (15)

1.一种探针单元更换装置,其特征在于,包括:
液晶显示面板检测部,设有用于放置液晶显示面板的工作台,用于对上述液晶显示面板进行不同种类的多种检测;
探针单元装载部,其设有根据上述液晶显示面板的检测种类由不同种类构成的能够移动的多个探针单元,且包括探针单元升降模块及探针单元装载模块,所述探针单元升降模块包括沿着滚珠螺杆进行升降的升降框架,上述滚珠螺杆以能够借助马达的旋转进行升降的方式垂直设置于盖板的内部,所述探针单元装载模块借助上述探针单元升降模块的升降框架进行升降,用于在上述探针单元装载模块的内部以规定高度间隔装载多个探针单元;以及
探针单元移送部,以能够往复移动的方式设置于上述液晶显示面板检测部和上述探针单元装载部之间,用于使设置于上述探针单元装载部的上述探针单元移动,
上述探针单元移送部在上述液晶显示面板检测部和上述液晶显示面板之间向X轴、Y轴及Z轴方向移动,并能够向上述探针单元的移送方向进行旋转。
2.根据权利要求1所述的探针单元更换装置,其特征在于,上述液晶显示面板检测部包括清洁垫,上述清洁垫设置于上述工作台的一侧上部面,用于去除残留于上述探针单元的异物。
3.根据权利要求1所述的探针单元更换装置,其特征在于,上述探针单元升降模块包括:
一对滚珠螺杆,以能够借助上述马达的旋转进行旋转的方式垂直设置,借助齿轮箱向上述滚珠螺杆的两侧传递上述马达的旋转力;
升降框架,以能够沿着上述一对滚珠螺杆进行升降的方式结合;以及
多个线性导轨,垂直设置于上述升降框架的两侧面,用于使上述升降框架稳定地进行升降。
4.根据权利要求1所述的探针单元更换装置,其特征在于,上述探针单元升降模块包括:
马达,借助施加的电源进行旋转;
齿轮箱,设置于上述马达的一侧,向上述齿轮箱的两侧传递上述马达的旋转力;
一对旋转轴,以能够旋转的方式设置于上述齿轮箱的两侧面;
一对滚珠螺杆,垂直设置于上述旋转轴的各个两端;
升降框架,以能够借助上述滚珠螺杆的旋转进行升降的方式结合;
一对线性导轨,分别垂直设置于上述升降框架的两侧;以及
控制盘,设置于上述盖板,用于控制上述马达的驱动,来使上述升降框架以适当的高度进行升降。
5.根据权利要求1所述的探针单元更换装置,其特征在于,上述探针单元装载模块包括:
装载框架,以能够使上述多个探针单元水平移动的方式内置有上述多个探针单元,上述装载框架放置于上述升降框架的上部面,来与上述升降框架一同进行升降;以及
整列单元,设置于上述装载框架的内部面,用于使装载于上述装载框架的上述多个探针单元进行水平移动。
6.根据权利要求5所述的探针单元更换装置,其特征在于,上述整列单元包括:
底板,水平设置于上述装载框架;
导块,以能够水平移动的方式设置于上述底板的上部面;
多个线性导轨,用于使上述导块能够向上述装载框架的内侧水平移动;
多个移送辊,设置于上述导块,用于使放置于上述导块的上部面的上述探针单元自由移动;以及
多个气缸,以向上述装载框架的内侧水平移动的方式设置于上述导块的一侧,用于使上述导块紧贴于上述探针单元的两侧面。
7.根据权利要求6所述的探针单元更换装置,其特征在于,上述整列单元还包括挡止部,上述挡止部用于限制上述探针单元在上述装载框架移动。
8.根据权利要求5所述的探针单元更换装置,其特征在于,上述探针单元移送部包括:
第一移送模块,用于引出装载于上述装载框架的上述探针单元;
旋转模块,在安装借助上述第一移送模块移送的上述探针单元之后,使上述探针单元旋转,以使上述探针单元安装于上述工作台;以及
第二移送模块,用于使安装有上述探针单元的旋转模块向上述工作台移送。
9.根据权利要求8所述的探针单元更换装置,其特征在于,上述第一移送模块包括:
一对皮带传动装置,分别与上述探针单元装载部的两侧相对应;
驱动马达,设置于上述皮带传动装置的一端;
旋转轴,设置于上述一对皮带传动装置的一端,用于传递上述驱动马达的旋转力;
一对移动块,分别以能够借助主动轮进行移动的方式与上述一对皮带传动装置的一面相结合;以及
托架,固定于上述一对移动块之间。
10.根据权利要求8所述的探针单元更换装置,其特征在于,上述旋转模块包括:
升降单元,能够借助通过设置于上述升降单元的一侧面的马达的旋转而旋转的滚珠螺杆进行升降;以及
转盘单元,能够借助设置于上述升降单元的上侧的旋转马达进行旋转。
11.根据权利要求10所述的探针单元更换装置,其特征在于,上述升降单元包括:
盖板,以形成内部空间的方式固定;
马达,设置于上述盖板的一面;
齿轮箱,以能够借助上述马达进行旋转的方式设置于上述盖板的内部;
滚珠螺杆,借助上述齿轮箱进行旋转;
升降块,以能够借助上述滚珠螺杆的旋转进行升降的方式结合;
间隔块,能够借助上述升降块进行升降;
升降板,固定于上述间隔块的一面;以及
加强筋,固定于上述升降板的下端,来使上述转盘单元进行升降。
12.根据权利要求10所述的探针单元更换装置,其特征在于,上述转盘单元包括:
升降板,以升降的方式设置于上述升降单元的盖板的外部面;
上面板,水平固定于上述升降板的上部面;
马达,设置于上述上面板;
转盘,能够借助上述马达进行旋转;以及
多个吸附垫,设置于上述转盘的上部面,用于吸附上述探针单元。
13.根据权利要求8所述的探针单元更换装置,其特征在于,上述第二移送模块包括:
第一移送单元,向上述工作台的移动位置移动;以及
第二移送单元,与上述第一移送单元的下部面正交,用于使安装有上述探针单元的上述旋转模块向上述工作台移动。
14.根据权利要求13所述的探针单元更换装置,其特征在于,上述第一移送单元包括:
固定块,固定于上述旋转模块的一面;
第一皮带传动装置,上述固定块以能够移动的方式与上述第一皮带传动装置相结合;以及
第一马达,以使上述固定块移动的方式设置于上述第一皮带传动装置的一端。
15.根据权利要求13所述的探针单元更换装置,其特征在于,上述第二移送单元包括:
一对第二皮带传动装置,向与上述第一移送单元正交的方向设置,用于使上述第一移送单元向上述工作台移动;
一对旋转轴,设置于上述一对第二皮带传动装置之间;
齿轮箱,设置于上述一对旋转轴之间;以及
第二马达,用于使上述齿轮箱旋转。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI714209B (zh) * 2019-08-13 2020-12-21 頌欣機械有限公司 自動化探針取放設備及自動化探針取放機台
CN112379130A (zh) * 2020-11-16 2021-02-19 中国科学技术大学 能够在原位自动切换探针的低温多参量扫描探针显微镜

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101290329A (zh) * 2007-04-17 2008-10-22 日本麦可罗尼克斯股份有限公司 探针单元以及检查装置
CN102193059A (zh) * 2010-02-12 2011-09-21 东京毅力科创株式会社 探针卡的输送机构、探针卡的输送方法和探针装置
CN102929005A (zh) * 2012-09-26 2013-02-13 深圳市华星光电技术有限公司 Tft-lcd基板的探测装置
EP2587272A2 (en) * 2011-10-24 2013-05-01 Samsung Electronics Co., Ltd Probe card handling carriage
CN104919582A (zh) * 2013-01-09 2015-09-16 东京毅力科创株式会社 探针装置和晶片输送系统

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6562636B1 (en) * 1999-07-14 2003-05-13 Aehr Test Systems Wafer level burn-in and electrical test system and method
KR100833285B1 (ko) * 2006-12-27 2008-05-28 세크론 주식회사 프로브카드 운반장치
KR20090026638A (ko) * 2007-09-10 2009-03-13 주식회사 프로텍 오토 프로브 유니트

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101290329A (zh) * 2007-04-17 2008-10-22 日本麦可罗尼克斯股份有限公司 探针单元以及检查装置
CN102193059A (zh) * 2010-02-12 2011-09-21 东京毅力科创株式会社 探针卡的输送机构、探针卡的输送方法和探针装置
EP2587272A2 (en) * 2011-10-24 2013-05-01 Samsung Electronics Co., Ltd Probe card handling carriage
US9081057B2 (en) * 2011-10-24 2015-07-14 Samsung Electronics Co., Ltd. Probe card handling carriage
CN102929005A (zh) * 2012-09-26 2013-02-13 深圳市华星光电技术有限公司 Tft-lcd基板的探测装置
CN104919582A (zh) * 2013-01-09 2015-09-16 东京毅力科创株式会社 探针装置和晶片输送系统

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