KR102093949B1 - 플렉서블 디스플레이 제조용 일괄 필름 분리 및 검사 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 플렉서블 디스플레이 제조용 일괄 필름 분리 및 검사 장치에 관한 것으로, 그 목적은 메인 가이드레일에서 주행하는 이재장치가 반송유리기판 위에 부착된 플렉서블필름을 흡착하여 커팅부, 폐기판 배출부, 광학검사부를 순차적으로 이동하면서 반송유리기판과 플렉서블필름의 분리 공정, 폐 기판의 배출 공정 및 플렉서블필름 검사공정을 유기적으로 결합된 하나의 장치에서 일괄 처리하도록 구성된 장치를 제공하는데 있다.
본 발명의 구성은 상부 이재장치가 주행하는 메인가이드레일(1)과; 반송유리기판 위에 부착된 플렉서블필름을 흡착하여 메인가이드레일(1)을 주행하면서 커팅부, 폐기판 배출부, 광학검사부간을 순차적으로 반복 이동하는 상부 이재장치(2)와; 이송된 반송유리기판과 플렉서블필름간을 분리하는 커팅부(3)와; 반송유리기판을 흡착하여 폐기판 배출부까지 주행하는 하부 이재장치(4)와; 반송유리기판을 흡착하여 배출하는 폐기판 배출부(5)와; 상부 이재장치(2)에 의해 플렉서블필름(F)이 하강하여 필름흡착부(7)에 흡착지지된 상태에서 전후진 하면서 검사하는 광학검사부(6);를 포함하여 구성된 플렉서블 디스플레이 제조용 일괄 필름 분리 및 검사 장치를 발명의 특징으로 한다.

Description

플렉서블 디스플레이 제조용 일괄 필름 분리 및 검사 장치{Batch film removal and inspection apparatus for flexible display manufacturing}

본 발명은 플렉서블 디스플레이 제조용 일괄 필름 분리 및 검사 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 반송유리기판 위에 부착된 OLED+TFT층이 형성된 플렉서블필름을 커팅부에서 분리하고, 반송유리기판에서 분리된 플라스틱 필름을 광학검사부(Auto Optical inspection, 자동광학검사)에서 일괄 검사하는 장치에 관한 것이다.

최근 TV 또는 모바일 장치에 가장 많이 사용되는 디스플레이로는 LCD와 함께 OLED가 많이 사용된다. OLED는 자체발광이 가능한 소자여서 별도의 광원인 백라이트가 필요한 LCD에 비해 디스플레이 소재 종류와 두께를 줄일 수 있어서 점차/ 그 사용이 증가되고 있는 실정이다.

한편, 종래 OLED 방식 디스플레이의 기판으로는 유리가 사용되어 여러 단계의 공정을 거치면서 유리기판 표면에 OLED+TFT층을 형성하였다.

이와 같은 제조공정을 거친 OLED 디스플레이는 유리기판을 사용하기 때문에 유연한 곡률형 디스플레이를 제조하기 어렵다는 구조적 한계를 가지고 있다.

최근에는 이러한 유리기판 기반의 구조적 문제점을 해결하면서 새로운 수요를 창출하기 위한 목적으로 새로운 폼 팩터(Form factor)로서 플렉서블 OLED와 같은 제품이 공개되거나 출시되고 있다.

개략적으로 플렉서블 OLED 디스플레이의 제조공정을 보면 폴리이미드와 같은 플라스틱 필름 소재를 플렉서블 기판으로 사용한 것으로, 유리 기판과 같은 반송 기판 상에 폴리이미드 또는 이와 같은 플렉서블한 플라스틱 필름층을 형성하고, 이후 플렉서블한 플라스틱 필름층이 경화되면 후속 공정을 통해 그 위에 OLED+TFT층을 형성한다. 그 다음 레이저를 이용하여 반송유리기판과 플라스틱 필름 간의 둘레를 제외한 부분을 탈착시키고, 둘레는 커팅장치를 이용해 분리하는 공정을 거친다, 이후 분리된 플라스틱 필름은 광학검사장치(AOI, Auto Optical inspection, 자동광학검사)에서 이물질 유무와 표면상 결점부위 등을 검사하여 불량품 여부를 검사하는 공정을 거친다.

하지만 상기와 같은 종래의 플렉서블 OLED 디스플레이의 제조공정에 사용되는 장치는 커팅장치와 광학검사장치가 각각 별도의 장소에 구성된 단독 장치로 되어 있어서, 커팅장치에서 반송유리기판과 필름을 커팅하여 분리한 후 광학검사장치로 이동하는 과정에서 분리된 필름에 이물질이 부착될 수 있다는 문제점이 있다.

또한 일 지점의 커팅장치에서 필름을 분리하는 작업이 종료되면 다시 분리된 필름을 타 지점에 배치된 검사장치로 이송하는 작업을 거쳐 검사를 진행하게 됨으로써 전체적인 작업 동선이 길어지면서 공간활용도도 떨어진다는 문제점이 있다.

또한 반송유리기판에서 필름을 분리하고 다시 분리된 필름을 검사하는 공정이 비연속적으로 이루어져 공정시간이 증가되어 생산성이 감소된다는 문제점이 있다.

한국 공개특허공보 공개번호 10-2018-0022103(2018.03.06.) 한국 공개특허공보 공개번호 10-2018-0132008(2018.12.11.) 한국 공개특허공보 공개번호 10-2014-0119938(2014.10.13.) 한국 공개특허공보 공개번호 10-2017-0015805(2017.02.09.)

상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은 플렉서블 디스플레이를 제조하기 위한 장치에 있어서, 반송유리기판에 부착된 플렉서블필름을 분리하는 공정, 폐 기판의 배출 공정 및 플렉서블필름 검사 공정을 유기적으로 결합된 하나의 장치에서 일괄 처리하도록 하여 반송유리기판과 필름을 커팅하여 분리한 후 광학검사부로 이동하는 과정에서 분리된 필름에 이물질의 부착을 방지하는 장치를 제공하는데 있다.

또한 반송유리기판에서 필름을 분리하고 다시 분리된 필름을 검사하는 공정을 연속적으로 수행하여 공정시간을 축소하고, 생산성을 증가시키는 장치를 제공하는 데 있다.

상기한 바와 같은 목적을 달성하고 종래의 결점을 제거하기 위한 과제를 수행하는 본 발명은 상부 이재장치가 주행하는 메인가이드레일과;

반송유리기판 위에 부착된 플렉서블필름을 흡착하여 메인가이드레일을 주행하면서 그 하부에 위치하는 커팅부, 폐기판 배출부, 광학검사부간을 순차적으로 반복 이동하는 상부 이재장치와;

이송된 반송유리기판 위에 부착된 플렉서블필름을 분리하는 커팅부와;

커팅부에서 플렉서블필름이 분리된 반송유리기판을 흡착하여 폐기판 배출부까지 주행레일을 따라 주행하는 하부 이재장치와;

하부 이재장치에 적재된 반송유리기판을 흡착하여 배출하는 폐기판 배출부와;

상부 이재장치에 의해 플렉서블필름이 하강하여 필름흡착부에 흡착지지된 상태에서 전후진 하면서 이물질 유무와 표면상 결점부위를 검사하는 광학검사부;를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 플렉서블 디스플레이 제조용 일괄 필름 분리 및 검사 장치를 제공함으로써 달성된다.

바람직한 실시예로, 상기 상부 이재장치는 메인가이드레일을 따라 주행하는 가이드블록이 양측단에 구성되고, 이재장치프레임의 하부에 위치한 판형 진공흡착판이 상기 이재장치프레임의 상부에 설치된 승하강장치와 결합되어 승하강하게 구성될 수 있다.

바람직한 실시예로, 상기 커팅부는 반송유리기판 위에 부착된 플렉서블필름의 4면 측면부를 커팅하여 분리할 수 있게 각측면에 대응하는 커팅가이드레일이 메인가이드레일 하부와 일정간격 이격되어 위치한 지지프레임 상에 설치되고, 각 커팅가이드레일에는 각각 커팅블록이 설치되어 직선운동을 하게 구성되며, 상기 각 커팅블록에는 각도 조절되는 나이프가 형성될 수 있다.

바람직한 실시예로, 상기 하부 이재장치는 반송유리기판의 하부면을 흡착하는 진공흡착판과; 상부에 위치하여 결합된 진공흡착판을 승하강시키도록 이재프레임 상면에 설치된 승하강수단과; 이재프레임 하부에 설치되어 주행레일을 따라 직선운동하는 주행블록으로 구성될 수 있다.

바람직한 실시예로, 상기 폐기판 배출부는 장공프레임이 하부에 일정간격으로 복수개 설치되고 측방향에는 가이드레일을 주행하는 주행블록가 설치된 격자형태 배출프레임과; 흡착할 반송유리기판의 크기에 따라 상기 장공프레임에서 위치조절되어 설치된 복수개의 흡착봉과; 메인가이드레일의 하부 측방향으로 설치된 레일지지프레임 상부에 설치되어 주행블록을 가이드하도록 구성된 가이드레일과; 가이드레일의 일측에 설치되어 주행블록을 벨트드라이브 방식으로 정밀하게 구동시키는 모터;를 포함하여 구성될 수 있다.

바람직한 실시예로, 상기 장공프레임은 프레임 내측에 형성된 장공과, 장공 내에서 이동하면서 흡착봉의 위치를 조절하는 고정구가 구비되어 구성될 수 있다.

바람직한 실시예로, 상기 광학검사부는, 측면에는 주행블록이 형성된 센서프레임과; 메인가이드레일의 하부 측방향으로 설치된 레일지지프레임에 설치되어 주행블록을 가이드하도록 구성된 가이드레일과; 센서프레임에 일정간격으로 복수개 설치되어 하부에 위치한 플렉서블 필름의 이물질 유무와 표면상 결점을 검출하는 광학센서;로 구성될 수 있다.

바람직한 실시예로, 상기 플렉서블필름은 OLED과 TFT층이 형성된 필름일 수 있다.

상기와 같은 특징을 갖는 본 발명에 따른 장치는 플렉서블 디스플레이를 제조시 메인 가이드레일상에서 주행하는 이재장치가 반송유리기판 위에 부착된 플렉서블필름(OLED+TFT층이 형성된 필름)을 흡착하여 커팅부, 폐기판 배출부, 광학검사부를 순차적으로 이동하면서 반송유리기판에 부착된 플렉서블필름을 분리하는 공정, 폐 반송유리기판의 배출 공정 및 플렉서블필름을 검사하는 공정을 유기적으로 결합된 하나의 장치에서 일괄적으로 처리하도록 구성되어 신속하고 연속적으로 플렉서블필름을 반송유리기판에서 분리하고 검사과정을 거치게 됨으로써 플렉서블필름의 이송과정에서 이물질 유입 가능성이 감소하여 전체적인 품질 및 수율이 상승된다는 장점을 가진다.

또한 유기적으로 결합된 하나의 장치에서 일괄적으로 플렉서블필름 분리 공정, 폐 반송유리기판의 배출 공정 및 플렉서블필름 검사 공정이 이루어지도록 구성되어 공정시간이 감소하고, 장치를 설치하는 공간활용도도 높아 전체적인 제조비용이 절감된다는 장점을 가진다.

또한 커팅부에서 반송유리기판에 부착된 플렉서블필름을 분리시 커팅 나이프(Cutting Knife)의 각도 조절이 가능하여 플렉서블필름에 무리를 주지 않으면서 분리가 가능하여 품질이 상승된다는 장점을 가진다.

본 발명은 상기와 같은 다양한 장점을 가진 유용한 발명으로 산업상 그 이용이 크게 기대되는 발명인 것이다.

도 1은 본 발명의 한 실시예에 따른 일괄 필름 분리 및 검사 장치의 사시도이고,
도 2는 본 발명의 한 실시예에 따른 일괄 필름 분리 및 검사 장치의 평면도이고,
도 3은 본 발명의 한 실시예에 따른 일괄 필름 분리 및 검사 장치의 정면도이고,
도 4는 본 발명의 한 실시예에 따른 일괄 필름 분리 및 검사 장치의 측면도이고,
도 5는 본 발명의 한 실시예에 따른 커팅부의 일부 확대 사시도이고,
도 6은 본 발명의 한 실시예에 따른 반송유리기판과 필름의 분리 구조를 보인 예시도이고,
도 7은 본 발명의 한 실시예에 따른 폐기판 배출부의 일부 확대사시도이고,
도 8은 본 발명의 한 실시예에 따른 광학검사부의 일부 확대사시도이다.

이하 본 발명의 실시 예인 구성과 그 작용을 첨부도면에 연계시켜 상세히 설명하면 다음과 같다. 또한 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지기능 혹은 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명은 생략한다.

도 1은 본 발명의 한 실시예에 따른 일괄 필름 분리 및 검사 장치의 사시도이고, 도 2는 본 발명의 한 실시예에 따른 일괄 필름 분리 및 검사 장치의 평면도이고, 도 3은 본 발명의 한 실시예에 따른 일괄 필름 분리 및 검사 장치의 정면도이고, 도 4는 본 발명의 한 실시예에 따른 일괄 필름 분리 및 검사 장치의 측면도이고, 도 5는 본 발명의 한 실시예에 따른 커팅부의 일부 확대 사시도이고, 도 6은 본 발명의 한 실시예에 따른 반송유리기판과 필름의 분리 구조를 보인 예시도이고, 도 7은 본 발명의 한 실시예에 따른 폐기판 배출부의 일부 확대사시도이고, 도 8은 본 발명의 한 실시예에 따른 광학검사부의 일부 확대사시도이다.

도시된 바와 같이 본 발명 일괄 필름 분리 및 검사 장치는 플렉서블 디스플레이를 제조하기 위하여 반송유리기판(G) 위에 부착된 플렉서블필름(F)(OLED+TFT층이 형성된 필름)을 제공받아 서로간을 분리하고, 분리된 플렉서블필름(F)은 불량여부를 검사하고, 분리된 폐 반송유리기판(G)은 반출시키는 과정이 일괄처리되도록 구성된 장치이다.

상기 반송유리기판(G) 위에 부착된 플렉서블필름(F)은 본 발명 장치에 공급되기 전에 사전 전처리 공정을 통해 레이저를 이용하여 반송유리기판(G)과 플렉서블필름(F) 간의 둘레를 따라 일정한 폭을 가지는 영역을 제외한 대부분의 영역은 탈착된 상태이다.

상기 플렉서블한 플라스틱 필름은 바람직하게는 폴리이미드와 같은 플라스틱 필름 소재이다. 하지만 폴리아미드만 본 발명을 한정하는 것은 아니고 플렉서블 기판으로 사용할 수 있는 고분자 플라스틱이나 플렉서블한 유리가 사용될 수 있다.

본 발명 일괄 필름 분리 및 검사 장치 구성은, 상부 이재장치가 주행하는 메인가이드레일(1)과;

반송유리기판(G) 위에 부착된 플렉서블필름(F)(OLED+TFT층이 형성된 필름)을 흡착하여 메인가이드레일(1)을 주행하면서 그 하부에 위치하는 커팅부, 폐기판 배출부, 광학검사부간을 순차적으로 반복 이동하는 상부 이재장치(2)와;

이송된 반송유리기판(G) 위에 부착된 플렉서블필름(F)을 분리하는 커팅부(3)와;

커팅부(3)에서 플렉서블필름(F)이 분리된 반송유리기판(G)을 흡착하여 폐기판 배출부까지 주행레일을 따라 주행하는 하부 이재장치(4)와;

하부 이재장치(4)에 적재된 반송유리기판(G)을 흡착하여 배출하는 폐기판 배출부(5)와;

상부 이재장치(2)에 의해 플렉서블필름(F)이 하강하여 필름흡착부(7)에 흡착지지된 상태에서 전후진 하면서 이물질 유무와 표면상 결점부위를 검사하는 광학검사부(6);를 포함하여 구성된다.

상기 플렉서블필름(F)에 형성된 OLED+TFT층은 OLED 디스플레이를 제조하는 공지의 기술을 통해 형성되어 전기신홍 의해 자체 발광하도록 구성된 층으로 본 발명에서는 이에 대한 구체적인 구조나 제조방법은 생략한다.

메인가이드레일(1)은 바람직하게는 상부이재장치가 정밀하게 직선 운동되도록 가이드하는 LM가이드로 이와 대응하는 상부 이재장치(2)의 가이드블럭이 접촉하여 직선운동을 하게 된다.

상기 메인가이드레일(1)은 상부이재장치가 일측 대기장소에서 커팅부(3), 폐기판 배출부(5), 광학검사부(6) 및 타측에 대기장소까지 직선운동할 수 있을 정도의 길이를 가지게 구성한다.

또한 메인가이드레일(1)은 하부에 결합된 다수의 지지프레임(11)에 의해 하중이 지지되도록 구성된다.

상부 이재장치(2)는 메인가이드레일(1)을 따라 주행하는 가이드블록(21)이 이재장치프레임(22)의 양측단에 구성된다. 가이드블록(21)은 리니어모터방식으로 구동하게 구성된다. 리니어모터방식 가이드블록의 구체적인 구성 및 작동방식은 공지의 기술이므로 생략한다. 또한 가이드블록(21)은 공지의 다양한 동력전달 방식으로 메인가이드레일(1)을 따라 직선 운동할 수 있도록 구성할 수 있음은 물론이다.

이재장치프레임(22)의 하부에는 판형 진공흡착판(23)이 구성된다. 진공흡착판(23)은 하부면에 다수의 진공홀(도시생략)이 형성되어 진공펌프(도시생략)에 의해 진공이 제공되면 흡착 대상물인 반송유리기판(G) 위에 부착된 플렉서블필름(F)(OLED+TFT층이 형성된 필름)을 다수의 진공홀을 통해 흡착하게 된다.

진공흡착판에 형성된 진공홀(도시생략)에 진공을 제공하는 진공펌프(도시생략) 등의 구성은 공지의 구성이므로 구체적인 설명은 생략한다.

상기 진공흡착판(23)은 이재장치프레임(22)의 상부에 설치된 승하강장치(24)와 결합되어 승하강하게 구성된다.

상기 승하강장치(24)는 진공흡착판의 상부 4면에 각각 부착된 가이드레일(241)과 이에 대응하도록 이재장치프레임의 측면 4면에 각각 설치된 승하강블록(242)으로 구성되고, 모터(25)에 의해 구동력이 승하강블록(242)에 제공되어 가이드블록 내부에 있는 롤러(도시생략)가 회전하면서 접촉된 가이드레일(241)을 정밀하게 승하강시키게 구성된다. 구체적인 구성 및 작동방식은 공지의 기술이므로 생략한다. 또한 상기 승하강장치(24)는 한 실시예에 따른 모터 방식 뿐만 아니라 공지의 다양한 동력전달 방식에 의해 승하강하도록 구성할 수 있음은 물론이다.

상기와 같은 구성에 의해 진공흡착판은 이전공정에서 제작된 반송유리기판(G) 위에 부착된 플렉서블필름(F)을 흡착하여 메인가이드레일(1)을 따라 수평방향으로 직선 왕복 이송하거나 승하강장치(24)가 구동시 하강하거나 다시 상부로 원위치하도록 상승하게 된다.

상기 커팅부(3)는 상부 이재장치(2)가 메인가이드레일(1)의 일측 대기장소에서 진공흡착판(23)을 이용해 반송유리기판(G) 위에 부착된 플렉서블필름(F)을 흡착하여 메인가이드레일(1)을 따라 주행 후 정지한 상태에서 진공흡착판(23)이 하강하고, 동시에 하부로 이송한 하부 이재장치(4)의 진공흡착판(41)이 상승하여 반송유리기판(G)의 하부를 흡착하여 고정지지하면 작동하게 구성된다.

구체적으로 커팅부(3)는 반송유리기판(G) 위에 부착된 플렉서블필름(F)의 4면 측면부를 커팅하여 분리할 수 있게 각측면에 대응하는 커팅가이드레일(31)이 메인가이드레일(1) 하부와 일정간격 이격되어 위치한 지지프레임(311) 상에 설치되고, 각 커팅가이드레일(31)에는 각각 커팅블록(32)이 설치되어 직선운동을 하게 구성된다.

또한 각 커팅가이드레일(31)의 끝단에는 모터(33)가 설치되어 커팅블록(32)을 벨트드라이브 방식으로 정밀하게 구동시켜 커팅가이드레일(31)에 의해 가이드되면서 직선운동을 하도록 구성된다. 모터는 바람직하게는 서보모터로 구성하는 것이 정밀 이송을 제어할 수 있어 좋다. 서보모터에 의한 벨트드라이브 구동 관련 구체적인 구성 및 작동 방식은 공지의 기술이므로 생략한다.

상기 각 커팅블록(32)에는 각도 조절되는 나이프(321)가 형성되어 반송유리기판과 플렉서블필름간의 둘레 경계면 마다 4개의 커팅블록에 설치된 나이프가 각 측면을 커팅하여 반송유리기판과 플렉서블필름간의 접착부를 물리적으로 분리하게 된다.

상기와 같이 커팅블록에 설치된 나이프가 각도 조절되도록 구성함으로써 분리된 플렉서블필름에 무리를 주지 않으면서 분리가 가능하여 품질이 상승하게 된다. 각도조절은 커팅블록(32)의 측면에 위치한 조절레버(322)를 내려 회전시켜 적절한 각도로 조절한 후 조절레버(322)를 원위치로 올리면 조절된 해당각도가 고정되게 된다.

상기 지지프레임(311)은 복수개의 수직프레임(311a)에 의해 지면으로부터 일정높이 이격되어 설치된다.

한편, 상기와 같이 4개의 커팅가이드레일(31)이 형성하는 중앙의 4각 작업 공간에는 반송유리기판(G) 위에 부착된 플렉서블필름(F)이 하강하여 위치하게 된다. 작업 공간의 크기는 하부 이재장치(4)의 진공흡착판(41)의 형상에 대응하는 크기로 구비되어 진공흡착판(41)이 상승하여 반송유리기판(G)의 하부를 흡착하여 안정적으로 고정지지하게 된다.

상기와 같이 구성된 커팅부의 중앙 작업공간부에 반송유리기판(G) 위에 부착된 플렉서블필름(F)이 위치하게 되면 각 커팅가이드레일(31)을 따라 직선운동하는 커팅블록(32)에 설치된 나이프가 반송유리기판(G)과 플렉서블필름(F) 사이의 경계면을 일정 깊이로 커팅하여 분리작업을 하게 된다. 이때 나이프의 길이는 반송유리기판(G)과 플렉서블필름(F)간을 접착하고 있는 부분보다 크게 형성하여 완전한 분리가 이루어지게 한다. 나이프가 진입하지 않는 부분은 처음 이송될때부터 선행 공정에서 분리된 상태로 이송되기 때문에 별도의 분리작업이 필요하지 않다.

상기와 같이 나이프에 의한 커팅 분리작업이 종료되었을 때 반송유리기판(G)과 플렉서블필름(F)은 각각 상부이재장치와 하부이재장치가 상부와 하부에서 진공흡착된 상태를 유지한다.

이후 상부 이재장치(2)의 진공흡착판이 상승하면 플렉서블필름(F)이 상승하여 서로 이격되어 분리된다.

플렉서블필름(F)이 상승하면 하부 이재장치(4)는 반송유리기판(G)을 커팅부에서 폐기판 배출부(5)로 이동하게 된다.

하부 이재장치(4)는 반송유리기판(G)의 하부면을 흡착하는 진공흡착판(41)과; 상부에 위치하여 결합된 진공흡착판을 승하강시키도록 이재프레임(42) 상면에 설치된 승하강수단(43)과; 이재프레임(42) 하부에 설치되어 주행레일(45)을 따라 직선운동하는 주행블록(44)으로 구성된다.

상기 진공흡착판(41)은 상부면에 다수개의 진공홀(411)이 형성되어 진공펌프(도시생략)에 의해 진공이 제공되면 흡착 대상물인 반송유리기판(G)의 하부면을 흡착하여 고정지지하도록 구성된다. 진공을 제공하는 진공펌프(도시생략) 등의 구성은 공지의 구성이므로 구체적인 설명은 생략한다.

상기 승하강수단(43)은 본 발명의 한 실시예에서는 모터(431) 회전력을 직선 승하강 운동으로 변환해주는 회전축과 다양한 기어(도시생략)들의 결합 및 조합에 의해 간접적으로 승하강 하도록 구성하였지만 유압 실린더, 공압실린더, 벨트구동방식, 리니어모터 등과 같은 다양한 공지의 방식으로 구성할 수 있음은 물론이다.

상기 주행블록(44)은 하부에 위치한 주행레일(45)을 따라 주행할 수 있는 리니어모터방식으로 구동하게 구성된다. 구체적인 구성 및 작동방식은 공지의 기술이므로 생략한다. 또한 주행블록(44)은 공지의 다양한 동력전달 방식으로 주행레일을 따라 직선 운동할 수 있도록 구성할 수 있음은 물론이다.

상기 주행레일(45)은 하부 이재장치가 일측 대기장소에서 커팅부(3), 폐기판 배출부(5)까지 주행할 수 있을 정도의 길이로 상부에 위치한 메인가이드레일(1)과 동일한 방향으로 설치되어 구성된다.

폐기판 배출부(5)는 하부 이재장치(4)가 주행레일(45)을 이동 한 다음 반송유리기판(G)을 흡착하고 있는 진공흡착판(41)을 상승시키키면 반송유리기판(G)의 상부면을 흡착하여 측방향으로 배출시키는 구성이다. 이때 폐기판 배출부(5)가 반송유리기판을 안정적으로 흡착시키면 하부 이재장치(4)의 진공흡착판 진공은 해제시킨다.

이를 위한 폐기판 배출부(5)의 구성은 장공프레임(511)이 하부에 일정간격으로 복수개 설치되고 측방향에는 가이드레일을 주행하는 주행블록(512)가 설치된 격자형태 배출프레임(51)과; 흡착할 반송유리기판(G)의 크기에 따라 상기 장공프레임에서 위치조절되어 설치된 복수개의 흡착봉(52)과; 메인가이드레일(1)의 하부 측방향으로 설치된 레일지지프레임(531) 상부에 설치되어 주행블록을 가이드하도록 구성된 가이드레일(53)과; 가이드레일의 일측에 설치되어 주행블록(53)을 벨트드라이브 방식으로 정밀하게 구동시키는 모터(54);를 포함하여 구성된다.

상기 장공프레임(511)은 프레임 내측에 형성된 장공(511a)과, 장공 내에서 이동하면서 흡착봉의 위치를 조절하는 고정구(511b)가 구비된다. 이 고정구에 흡착봉이 설치되게 된다.

상기 레일지지프레임(531)은 복수개의 수직프레임(531a)에 의해 지면으로부터 일정높이 이격되어 설치된다.

상기 흡착봉(52)에 진공을 제공하는 진공펌프(도시생략) 등의 구성은 공지의 구성이므로 구체적인 설명은 생략한다.

상기 모터는 바람직하게는 서보모터로 구성하는 것이 정밀 이송을 제어할 수 있어 좋다. 서보모터에 의한 벨트드라이브 구동 관련 구체적인 구성 및 작동 방식은 공지의 기술이므로 생략한다.

광학검사부(6)는 상부 이재장치(2)가 메인가이드레일을 따라 플렉서블필름(F)을 이송 후 진공흡착판(23)이 하강하여 필름흡착부(7)의 진공흡착판에 플렉서블필름을 내려놓은 후 필름흡착부의 진공흡착판에 진공이 제공되어 고정되면, 이물질 유무와 표면상 결점부위를 검사하는 구성으로 복수개의 광학센서(61)가 일정간격으로 구성된다. 본 발명의 한 실시예에서는 측방향으로 이동하면서 라인검사 방식으로 검사하게 된다.

광학검사부(6)는 복수개의 광학센서가 설치되고 측면에는 주행블록(611)이 형성된 센서프레임(61)과; 메인가이드레일(1)의 하부 측방향으로 설치된 레일지지프레임(621)에 설치되어 주행블록을 가이드하도록 구성된 가이드레일(62)과; 센서프레임(61)에 일정간격으로 복수개 설치되어 하부에 위치한 플렉서블 필름의 이물질 유무와 표면상 결점을 검출하는 광학센서(63);로 구성된다.

상기 주행블록(611)은 리니어모터방식으로 구동하게 구성된다. 리니어모터방식 주행블록의 구체적인 구성 및 작동방식은 공지의 기술이므로 생략한다. 또한 주행블록(611)은 공지의 다양한 동력전달 방식으로 가이드레일(61)을 따라 직선 운동할 수 있도록 구성할 수 있음은 물론이다.

상기 레일지지프레임(621)은 복수개의 수직프레임(621a)에 의해 지면으로부터 일정높이 이격되어 설치된다.

상기 광학센서(63)의 종류는 이물질 유무와 표면상 결점부위를 측정할 수 있는 해상력을 가진 공지의 센서를 사용하면 된다. 광학센서에서 검출된 값은 미도시된 컨트롤러 또는 제어부에서 해석하여 결점여부를 판단하게 된다. 구체적인 검출 알고리즘이나 제어방법은 생략한다.

필름흡착부(7)는 광학검사부(6)에서 검사가 종료된 플렉서블필름(F)을 흡착하는 구성으로, 플렉서블필름(F)의 하부면을 흡착하는 진공흡착판(71)과; 진공흡착판(71)을 지지하는 지지프레임(72)으로 구성된다.

상기 진공흡착판(71)에는 복수개의 진공홀(711)이 형성되어 진공펌프(도시생략)에 의해 진공이 제공되면 흡착 대상물인 플렉서블필름(F)을 다수의 진공홀을 통해 흡착하게 된다.

상기와 같이 구성된 본 발명 장치의 작동 순서는 다음과 같다.

메인가이드레일(1)에 설치된 상부 이재장치(2)가 진공흡착판(23)을 이용하여 반송유리기판(G) 위에 부착된 플렉서블필름(F)을 흡착하여 메인가이드레일(1)을 따라 일측 대기장치에서 커팅부(3) 지점까지 이동하고, 진공흡착판(23)이 하강하여 4개의 커팅가이드레일(31)이 이루는 4각공간부에 위치하면, 하부 이재장치(4)도 이동하여 진공흡착판(41)을 상승시켜 반송유리기판(G)의 하면을 흡착하여 지지하게 된다.

이후 커팅부(3)의 커팅블록(32)에 설치된 나이프(321)가 반송유리기판(G)과 플렉서블필름(F)간의 접착경계면을 커팅하여 분리시키게 된다.

이후 상부 이재장치(2)의 진공흡착판(23)이 상승하면서 플렉서블필름(F)을 분리하고, 상승이 끝나면 상부 이재장치(2)는 광학검사부(6)까지 이동후, 다시 진공흡착판(23)을 하강시켜 플렉서블필름(F)을 필름흡착부(7)의 진공흡착판(71)에 내려놓으면 진공흡착판(71)이 하강한 플렉서블필름(F)을 흡착하여 고정지지하게 된다. 이후 상부 이재장치(2)는 메인가이드레일(1)의 타측 대기장소에서 대기하게 된다.

이후 광학검사부(6)의 센서프레임(61)의 주행블록(611)이 가이드레일(62)을 따라 이동하면 센서프레임에 설치된 복수개의 광학센서(63)들이 라인스캔 방식으로 플렉서블필름(F)의 표면의 이물질 또는 표면 결점을 광학적으로 검사하게 된다.

한편, 하부 이재장치(4)는 플렉서블필름(F)과 분리되어 진공흡착판(41)에 고정지지중인 반송유리기판(G)을 주행레일(45)을 따라 폐기판 배출부(5)까지 이동시킨다. 이후 폐기판 배출부(5)의 흡착봉(52)까지 상승시켜 반송유리기판을 인계한다.

반송유리기판을 흡착봉(52)으로 흡착하여 인계받은 폐기판 배출부(5)는 배출프레임(51)의 주행블록(512)이 가이드레일(53)을 따라 측방향으로 이동하여 반송유리기판을 배출시킨다.

또한 광학검사부(6)에서 검사가 종료된 플렉서블필름(F)은 필름흡착부(7)에서 별도의 필름이재장치가 흡착하여 광학검사부의 영역에서 이동시키게 된다.

이와 같은 과정이 종료되면 상부 이재장치(2)는 메인가이드레일(1)을 따라 다시 최초 위치한 일측 대기장소로 이동하여 새로운 반송유리기판(G) 위에 부착된 플렉서블필름(F)을 흡착하게 된다.

본 발명은 상술한 특정의 바람직한 실시 예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형실시가 가능한 것은 물론이고, 그와 같은 변경은 청구범위 기재의 범위 내에 있게 된다.

(1) : 메인가이드레일 (2) : 상부 이재장치
(3) : 커팅부 (4) : 하부 이재장치
(5) : 폐기판 배출부 (6) : 광학검사부
(7) : 필름흡착부 (11) : 지지프레임
(21) : 가이드블록 (22) : 이재장치프레임
(23) : 진공흡착판 (24) : 승하강장치
(25) : 서보모터 (31) : 커팅가이드레일
(32) : 커팅블록 (33) : 모터
(41) : 진공흡착판 (42) : 이재프레임
(43) : 승하강수단 (44) : 주행블록
(45) : 주행레일 (51) : 배출프레임
(52) : 흡착봉 (53) : 가이드레일
(54) : 모터 (61) : 센서프레임
(62) : 가이드레일 (63) : 광학센서
(71) : 진공흡착판 (72) : 지지프레임
(241) : 가이드레일 (242) : 승하강블록
(311) : 지지프레임 (311a) : 수직프레임
(321) : 나이프 (322) : 조절레버
(411) : 진공홀 (431) : 모터
(511) : 장공프레임 (511a) : 장공
(511b) : 고정구 (512) : 주행블록
(531) : 레일지지프레임 (531a) : 수직프레임
(611) : 주행블록 (621) : 레일지지프레임
(621a) : 수직프레임 (711) :진공홀
(G) : 반송유리기판 (F) : 플렉서블필름

Claims (8)

1. 상부 이재장치가 주행하는 메인가이드레일(1)과;
   반송유리기판 위에 부착된 플렉서블필름을 흡착하여 메인가이드레일(1)을 주행하면서 그 하부에 위치하는 커팅부, 폐기판 배출부, 광학검사부간을 순차적으로 반복 이동하는 상부 이재장치(2)와;
   이송된 반송유리기판(G) 위에 부착된 플렉서블필름(F)을 분리하는 커팅부(3)와;
   커팅부(3)에서 플렉서블필름(F)이 분리된 반송유리기판(G)을 흡착하여 폐기판 배출부까지 주행레일을 따라 주행하는 하부 이재장치(4)와;
   하부 이재장치(4)에 적재된 반송유리기판을 흡착하여 배출하는 폐기판 배출부(5)와;
   상부 이재장치(2)에 의해 플렉서블필름(F)이 하강하여 필름흡착부(7)에 흡착지지된 상태에서 전후진 하면서 이물질 유무와 표면상 결점부위를 검사하는 광학검사부(6);를 포함하여 구성하되,
   
   상기 커팅부(3)는 반송유리기판(G) 위에 부착된 플렉서블필름(F)의 4면 측면부를 커팅하여 분리할 수 있게 각측면에 대응하는 커팅가이드레일(31)이 메인가이드레일(1) 하부와 일정간격 이격되어 위치한 지지프레임(311) 상에 설치되고, 각 커팅가이드레일(31)에는 각각 커팅블록(32)이 설치되어 직선운동을 하게 구성되며, 상기 각 커팅블록(32)에는 각도 조절되는 나이프(321)가 형성된 것을 특징으로 하는 플렉서블 디스플레이 제조용 일괄 필름 분리 및 검사 장치.
   
2. 청구항 1에 있어서,
   상기 상부 이재장치(2)는 메인가이드레일(1)을 따라 주행하는 가이드블록(21)이 양측단에 구성되고, 이재장치프레임(22)의 하부에 위치한 판형 진공흡착판(23)이 상기 이재장치프레임(22)의 상부에 설치된 승하강장치(24)와 결합되어 승하강하게 구성된 것을 특징으로 하는 플렉서블 디스플레이 제조용 일괄 필름 분리 및 검사 장치.
   
3. 삭제
4. 청구항 1에 있어서,
   상기 하부 이재장치(4)는 반송유리기판(G)의 하부면을 흡착하는 진공흡착판(41)과; 상부에 위치하여 결합된 진공흡착판을 승하강시키도록 이재프레임(42) 상면에 설치된 승하강수단(43)과; 이재프레임(42) 하부에 설치되어 주행레일(45)을 따라 직선운동하는 주행블록(44)으로 구성된 것을 특징으로 하는 플렉서블 디스플레이 제조용 일괄 필름 분리 및 검사 장치.
   
5. 청구항 1에 있어서,
   상기 폐기판 배출부(5)는 장공프레임(511)이 하부에 일정간격으로 복수개 설치되고 측방향에는 가이드레일을 주행하는 주행블록(512)가 설치된 격자형태 배출프레임(51)과; 흡착할 반송유리기판(G)의 크기에 따라 상기 장공프레임에서 위치조절되어 설치된 복수개의 흡착봉(52)과; 메인가이드레일(1)의 하부 측방향으로 설치된 레일지지프레임(531) 상부에 설치되어 주행블록을 가이드하도록 구성된 가이드레일(53)과; 가이드레일의 일측에 설치되어 주행블록(53)을 벨트드라이브 방식으로 정밀하게 구동시키는 모터(54);를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 플렉서블 디스플레이 제조용 일괄 필름 분리 및 검사 장치.
   
6. 청구항 5에 있어서,
   상기 장공프레임(511)은 프레임 내측에 형성된 장공(511a)과, 장공 내에서 이동하면서 흡착봉의 위치를 조절하는 고정구(511b)가 구비되어 구성된 것을 특징으로 하는 플렉서블 디스플레이 제조용 일괄 필름 분리 및 검사 장치.
   
7. 청구항 1에 있어서,
   상기 광학검사부(6)는, 측면에는 주행블록(611)이 형성된 센서프레임(61)과; 메인가이드레일(1)의 하부 측방향으로 설치된 레일지지프레임(621)에 설치되어 주행블록을 가이드하도록 구성된 가이드레일(62)과; 센서프레임(61)에 일정간격으로 복수개 설치되어 하부에 위치한 플렉서블 필름의 이물질 유무와 표면상 결점을 검출하는 광학센서(63);로 구성된 것을 특징으로 하는 플렉서블 디스플레이 제조용 일괄 필름 분리 및 검사 장치.
   
8. 청구항 1에 있어서,
   상기 플렉서블필름은 OLED과 TFT층이 형성된 필름인 것을 특징으로 하는 플렉서블 디스플레이 제조용 일괄 필름 분리 및 검사 장치.

Images