CN112830251B - 柔性显示器制造用一批膜分离及检查装置 - Google Patents

柔性显示器制造用一批膜分离及检查装置 Download PDF

Info

Publication number
CN112830251B
CN112830251B CN202010150265.5A CN202010150265A CN112830251B CN 112830251 B CN112830251 B CN 112830251B CN 202010150265 A CN202010150265 A CN 202010150265A CN 112830251 B CN112830251 B CN 112830251B
Authority
CN
China
Prior art keywords
frame
transfer device
guide rail
glass substrate
cutting
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN202010150265.5A
Other languages
English (en)
Other versions
CN112830251A (zh
Inventor
崔英默
尹泳锡
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hansong New Technology Co ltd
Original Assignee
Hansong New Technology Co ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hansong New Technology Co ltd filed Critical Hansong New Technology Co ltd
Publication of CN112830251A publication Critical patent/CN112830251A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN112830251B publication Critical patent/CN112830251B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1303—Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/061—Lifting, gripping, or carrying means, for one or more sheets forming independent means of transport, e.g. suction cups, transport frames
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65B—MACHINES, APPARATUS OR DEVICES FOR, OR METHODS OF, PACKAGING ARTICLES OR MATERIALS; UNPACKING
    • B65B57/00—Automatic control, checking, warning, or safety devices
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65B—MACHINES, APPARATUS OR DEVICES FOR, OR METHODS OF, PACKAGING ARTICLES OR MATERIALS; UNPACKING
    • B65B69/00—Unpacking of articles or materials, not otherwise provided for
    • B65B69/0033—Unpacking of articles or materials, not otherwise provided for by cutting
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/063—Transporting devices for sheet glass
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1306—Details
    • G02F1/1309—Repairing; Testing
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/133305—Flexible substrates, e.g. plastics, organic film
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
    • Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Mathematical Physics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)
  • Electroluminescent Light Sources (AREA)

Abstract

本发明涉及一种柔性显示器制造用一次性分离及检查装置，其特征在于，包括：主导轨(1)，在所述主导轨(1)上行驶上部转移装置；上部转移装置(2)，所述上部转移装置(2)吸附附着于传送玻璃基板上的柔性膜而行驶在主导轨(1)上且在位于其下部的切割部、废基板排出部、光学检查部之间依次反复移动；切割部(3)，分离附着于被移送的传送玻璃基板上的柔性膜；下部转移装置(4)，吸附传送玻璃基板而行驶至废基板排出部；废基板排出部(5)，吸附传送玻璃基板而进行排出；及光学检查部(6)，在柔性膜通过上部转移装置(2)下降而被吸附支撑于膜吸附部(7)的状态下，所述光学检查部(6)前进或后退的同时进行检查。

Description

柔性显示器制造用一批膜分离及检查装置
技术领域
本发明涉及一种柔性显示器制造用一批膜分离及检查装置。更具体地，涉及一种在切割部分离形成有附着于传送玻璃基板上的OLED+TFT层的柔性膜，且在光学检查部(Auto Optical inspection，自动光学检查)一次性检查从传送玻璃基板分离的塑胶膜的装置。
背景技术
近来，作为TV或移动设备中最广泛使用的显示器，多使用LCD和OLED。OLED是能够自发光的元件，因此与需要作为另外光源的背光灯的LCD相比，能够减少显示材料的种类和厚度，因此其使用正在逐渐增加。
另一方面，作为以往OLED方式显示器的基板使用玻璃，从而在经过多个步骤的工艺的情形下在玻璃基板表面形成OLED+TFT层。
经过这样的制造工艺的OLED显示器由于使用玻璃基板，因此存在难以制造柔性曲率型显示器的构造性限制。
近来，以解决这些基于玻璃基板的构造性问题的同时创造新的需求为目的，在公开或发布柔性OLED等的产品作为新的形状因数(Form factor)。
大略看一下柔性OLED显示器的制造工艺，则使用诸如聚酰亚胺的塑料膜材料作为柔性基板使用，且其在玻璃基板等的传送基板上形成聚酰亚胺或诸如此类的柔性塑料膜层，之后，当柔性塑料膜层硬化时，通过后续工艺在其上形成OLED+TFT层。之后，经过以下工艺，即利用激光去除除了传送玻璃基板和塑料膜之间的周边的部分且利用切割装置分离周边的工艺。之后，被分离的塑料膜经过在光学检查装置(AOI，AutoOptical inspection，自动光学检查)检查是否存在异物和表面上的缺陷部位而检查是否存在不良品的工艺。
但是，就如上所述的用于以往的柔性OLED显示器的制造工艺的装置而言，由于切割装置和光学检查装置是分别构成于另外的地点的单独装置，因此当在切割装置切割传送玻璃基板和膜而进行分离后向光学检查装置移动的过程中，存在异物可能附着于被分离的膜上的问题。
另外，由于当在一地点的切割装置完成膜分离操作时，经过再次将分离的膜传送至配置于另一地点的检查装置的作业而进行检查，因此存在整个工作线延长的同时空间利用度也下降的问题。
另外，由于非连续地构成在传送玻璃基板上分离膜，再次检查被分离的膜的工艺，因此存在工艺时间增加而生产性降低的问题。
现有技术文献
非专利文献
(专利文件0001)韩国公开专利公报公开号10-2018-0022103号(2018.03.06。)
(专利文件0002)韩国公开专利公报公开号10-2018-0132008(2018.12.11。)
(专利文件0003)韩国公开专利公报公开号10-2014-0119938(2014.10.13。)
(专利文件0004)韩国公开专利公报公开号10-2017-0015805(2017.02.09。)
发明内容
要解决的问题
为了解决上述问题的本发明的目的在于提供一种用于制造柔性显示器的装置，所述装置通过在有机结合的一个装置中一次性处理分离附着于传送玻璃基板上的柔性膜的工艺、废基板排出工艺及柔性膜检查工艺，从而在切割传送玻璃基板和膜而进行分离后向光学检查部移动的过程中防止异物附着于被分离的膜上。
另外，提供一种通过连续地执行在传送玻璃基板上分离膜且再次检查被分离的膜的工艺而缩短处理时间并提高生产性的装置。
解决问题的方案
执行为了达到上述目的并消除以往的缺陷的课题的本发明，通过提供一种柔性显示器制造用一批膜分离及检查装置(Batch film removal and inspection apparatus)而实现，所述柔性显示器制造用一批膜分离及检查装置，其特征在于，包括：
主导轨，在所述主导轨上行驶上部转移装置；
上部转移装置，所述上部转移装置吸附附着于传送玻璃基板上的柔性膜而行驶在主导轨上且在位于其下部的切割部、废基板排出部、光学检查部之间依次反复移动；
切割部，所述切割部分离附着于被移送的传送玻璃基板上的柔性膜；
下部转移装置，所述下部转移装置吸附在切割部分离柔性膜的传送玻璃基板而沿行驶轨道行驶至废基板排出部；
废基板排出部，所述废基板排出部吸附装载于下部转移装置的传送玻璃基板而进行排出；以及
光学检查部，在柔性膜通过上部转移装置下降而被吸附支撑于膜吸附部的状态下，所述光学检查部前进或后退的同时检查是否存在异物和表面上的缺陷部位。
作为优选的实施例，所述上部传送装置可以由以下方式构成，沿主导轨行驶的导向块配置在两侧端，位于转移装置框架的下部的板状真空吸附板与设置于所述转移装置框架的上部的升降装置结合以进行升降。
作为优选的实施例，所述切割部可以由以下方式构成，与各侧面对应的切割导轨设置于与主导轨下部间隔规定距离安置的支撑框架上，以使能够切割附着于传送玻璃基板上的柔性膜的四个侧面部而进行分离，且各切割导轨上分别设置有切割块以进行直线运动，且在所述各切割块上可以形成有能调节角度的刀。
作为优选的实施例，所述下部转移装置可以由真空吸附板、升降装置及行驶块构成，所述真空吸附板吸附传送玻璃基板的下部面；所述升降装置设置于转移框架的上面，以便升降位于所述升降装置的上部并结合的真空吸附板；所述行驶块设置于转移框架的下部而沿行驶轨道进行直线运动。
作为优选的实施例，所述废基板排出部可以包括格子形状排出框架、多个吸附棒、导轨及马达，所述格子形状排出框架在所述格子形状排出框架的下部以规定间隔设置有多个长孔框架，且在侧方向设置有行驶导轨的行驶块；所述多个吸附棒根据待吸附的传送玻璃基板的大小在所述长孔框架上以调整位置的方式设置；所述导轨设置于轨道支撑框架的上部以引导行驶块，所述轨道支撑框架向主导轨的下部侧方向设置；所述马达设置于导轨的一侧而以皮带传动的方式精密地驱动行驶块。
作为优选实施例，所述长孔框架可以由具备长孔和固定件的方式构成，所述长孔形成于框架内侧，所述固定件在长孔内移动且调节吸附棒的位置。
作为优选的实施例，所述光学检查部可以由传感器框架、导轨、光学传感器构成，所述传感器框架侧面形成有行驶块；所述导轨设置于轨道支撑框架上以引导行驶块，所述轨道支撑框架向着主导轨的下部侧方向设置；所述光学传感器在传感器框架上以规定间隔设置有多个而检查位于下部的柔性膜是否存在异物和表面上的缺陷。
作为优选的实施例，所述柔性膜可以是形成有OLED和TFT层的膜。
发明的效果
具有上述特征的根据本发明的装置，在制造柔性显示器时，以行驶在主导轨上的转移装置吸收附着于传送玻璃基板上的柔性膜(形成有OLED+TFT层的膜)而在切割部、废基板排出部、光学检查部依次移动的情形下在有机地结合了一个装置上一次性的处理分离附着于传送玻璃基板上的柔性膜的工艺、废基板的排出工艺及柔性膜检查工艺的方式构成，从而经过快速且连续地在传送玻璃基板上分离柔性膜并检查的过程，因而在柔性膜的移送过程中减少了引入异物的可能性，因此具有提高总体质量和产量的优点。
另外，通过在有机结合的一个装置上以一次性实现柔性膜分离工艺、废传送玻璃基板的排出工艺及柔性膜检查工艺的方式构成，从而减少工艺时间，且设置装置的空间利用率高，因此具有降低总体制造成本的优点。
另外，当在切割部分离附着于传送玻璃基板上的柔性膜时，能够调节切割刀(Cutting Knife)的角度，从而能够不损坏柔性膜的情形下分离柔性膜，因此具有提高品质的优点。
本发明是具有如上所述各种优点的有用的发明，因此是其的工业用途被寄予厚望的发明。
附图说明
图1是根据本发明的一实施例的一批膜分离及检查装置的立体图。
图2是根据本发明的一实施例的一批膜分离及检查装置的平面图。
图3是根据本发明的一实施例的一批膜分离及检查装置的主视图。
图4是根据本发明的一实施例的一批膜分离及检查装置的侧视图。
图5是根据本发明的一实施例的切割部的局部放大立体图。
图6是表示根据本发明的一实施例的传送玻璃基板和膜的分离构造的示意图。
图7是根据本发明的一实施例的废基板排出部的局部放大立体图。
图8是根据本发明的一实施例的光学检查部的局部放大立体图。
附图标记说明
(1)：主导轨 (2)：上部转移装置
(3)：切割部 (4)：下部转移装置
(5)：废基板排出部 (6)：光学检查部
(7)：膜吸附部 (11)：支撑框架
(21)：导向块 (22)：转移装置框架
(23)：真空吸附板 (24)：升降装置
(25)：伺服马达 (31)：切割导轨
(32)：切割块 (33)：马达
(41)：真空吸附板 (42)：转移框架
(43)：升降装置 (44)：行驶块
(45)：行驶轨道 (51)：排出框架
(52)：吸附棒 (53)：导轨
(54)：马达 (61)：传感器框架
(62)：导轨 (63)：光学传感器
(71)：真空吸附板 (72)：支撑框架
(241)：导轨 (242)：升降块
(311)：支撑框架 (311a)：竖直框架
(321)：刀 (322)：控制杆
(411)：真空孔 (431)：马达
(511)：长孔框架 (511a)：长孔
(511b)：固定件 (512)：行驶块
(531)：轨道支撑框架 (531a)：竖直框架
(611)：行驶块 (621)：轨道支撑框架
(621a)：竖直框架 (711)：真空孔
(G)：传送玻璃基板 (F)：柔性膜
具体实施方式
下面，参考附图具体说明本发明的实施例的构造和其作用。另外，说明本发明时，当认为对于相关的公知功能或构造的具体说明，可能会不必要地模糊本发明的要点时，将省略其详细说明。
图1是根据本发明的一实施例的一批膜分离及检查装置的立体图。图2是根据本发明的一实施例的一批膜分离及检查装置的平面图。图3是根据本发明的一实施例的一批膜分离及检查装置的主视图。图4是根据本发明的一实施例的一批膜分离及检查装置的侧视图。图5是根据本发明的一实施例的切割部的局部放大立体图。图6是表示根据本发明的一实施例的传送玻璃基板和膜的分离构造的示意图。图7是根据本发明的一实施例的废基板排出部的局部放大立体图。图8是根据本发明的一实施例的光学检查部的局部放大立体图。
如图所示，为了制造柔性显示器，本发明的一批膜分离及检查装置是由一次性处理以下过程的方式构成的装置。即，接收所提供的附着于传送玻璃基板G上的柔性膜F(形成有OLED+TFT层的膜)而进行相互分离的过程，检查分离的柔性膜F是否存在缺陷的过程，排出被分离的废传送玻璃基板G的过程。
附着于所述传送玻璃基板G上的柔性膜F处于如下状态，在被供给给本发明装置之前，通过事前预处理工艺，利用激光已除去大部分区域的状态，所述大部分区域是除了沿传送玻璃基板G与柔性膜F之间的周边具有规定宽度的区域之外的大部分区域。
所述柔性塑胶膜，优选为诸如聚酰亚胺的塑胶膜材料。但是，不是仅由聚酰胺限定本发明，而是可以使用能够作为柔性基板使用的高分子塑料或柔性玻璃。
本发明的一批膜分离及检查装置，包括：
主导轨1，在所述主导轨1上行驶上部转移装置；
上部转移装置2，所述上部转移装置2吸附附着于传送玻璃基板G上的柔性膜F(形成有OLED+TFT层的膜)，并行驶在主导轨1上的情形下在位于其下部的切割部、废基板排出部、光学检查部之间依次反复移动；
切割部3，所述切割部3分离附着于被移送的传送玻璃基板G上的柔性膜F；
下部转移装置4，所述下部转移装置4吸附在切割部3分离柔性膜F的传送玻璃基板G而沿行驶轨道行驶至废基板排出部；
废基板排出部5，所述废基板排出部5吸附装载于下部转移装置4的传送玻璃基板G而进行排出；以及
光学检查部6，在柔性膜F通过上部转移装置2下降而被吸附支撑于膜吸附部7的状态下，所述光学检查部6前进或后退的同时检查是否存在异物和表面上的缺陷部位。
形成于所述柔性膜F上的OLED+TFT层通过制造OLED显示器的公知技术形成，且以根据电信号自发光的层的方式构成，在本发明中，省略其具体结构或制造方法。
主导轨1，优选为以使得上部转移装置进行精密的直线运动的方式引导的LM导轨，且与所述主导轨1对应的上部转移装置2的导向块接触以进行直线运动。
所述主导轨1由以下方式构成，具有上部转移装置能够从一侧等待区域直线运动至切割部3、废基板排出部5、光学检查部6及另一侧等待区域程度的长度。
另外，主导轨1由以下方式构成，通过结合于下部的多个支撑框架11支撑荷载。
就上部转移装置2而言，在转移装置框架22的两侧端构成有沿主导轨1行驶的导向块21。导向块21以由直线电机方式驱动的方式构成。直线电机方式导向块的具体构成及工作方式是公知技术，因此省略。另外，导向块21当然可以由以下方式构成，通过公知的各种动力传递方式沿主导轨1进行直线运动。
转移装置框架22的下部形成有板状真空吸附板23。真空吸附板23在下部面形成有多个真空孔(图示略)，当由真空泵(图示略)提供真空时，通过多个真空孔吸附附着于作为吸附对象的传送玻璃基板G上的柔性膜F(形成有OLED+TFT层的膜)。
对形成于真空吸附板的真空孔(图示略)提供真空的真空泵(图示略)等的构造是公知的构造，因此省略具体说明。
所述真空吸附板23由以下方式构成，与设置于转移装置框架22的上部的升降装置24相结合以进行升降。
所述升降装置24由导轨241和升降块242构成，所述导轨241分别附着于真空吸附板上部的四个面上，所述升降块242分别设置于转移装置框架侧面的四个面上以与导轨241对应，且以由电动机25提供驱动力至升降块242而导向块内部的辊(图示略)旋转的同时精密地升降接触的导轨241方式构成。具体构成及工作方式是公知技术，因此省略。另外，所述升降装置24不仅可以以根据一实施例的马达方式升降的方式构成，也可以以由公知的各种动力传递方式升降的方式构成。
根据上述构造，真空吸附板吸附附着于在前工序中制造的传送玻璃基板G上的柔性膜F而沿主轨道1以水平方向直线往返移送或升降装置24驱动时下降或以向上再次回到原位置的方式上升。
所述切割部3由以下方式构成，当在上部转移装置2在主导轨1的一侧等待区域利用真空吸附板23吸附附着于传送玻璃基板G上的柔性膜F而沿主导轨1行驶后静止的状态下，真空吸附板23下降，同时移送至下部的下部转移装置4的真空吸附板41上升而吸附传送玻璃基板G的下部并固定支撑时，所述切割部3工作。
具体地，切割部3由以下方式构成，与各侧面对应的切割导轨31设置于与主导轨1下部间隔规定距离安置的支撑框架311上，以使能够切割附着于传送玻璃基板G上的柔性膜F的四个侧面部而进行分离，且各切割导轨31上分别设置有切割块32以进行直线运动。
另外，由以下方式构成，各切割导轨31的端部设置有马达33而将切割块32以皮带驱动的方式精密地驱动，从而切割块32由切割导轨31引导且进行直线运动。马达，优选由能够控制精密移送的而具有益处的伺服马达构成。与由伺服马达的皮带驱动有关的具体构成及工作方式是公知技术，因此省略。
所述各切割块32上形成有能调节角度的刀321，从而设置于四个切割块的刀对传送玻璃基板和柔性膜之间的每个周边边界面的各侧面进行切割而物理分离传送玻璃基板和柔性膜之间的粘合部。
如上所述，设置于切割部的刀以调节角度的方式构成，从而能够不损坏被分离的柔性膜的情形下进行分离，从而提高品质。角度调节由以下方式进行，降低位于切割块32侧面的控制杆322而以适当的角度旋转调节后，将控制杆322升高到原位置，则调节后的相应角度被固定。
所述支撑框架311以由多个竖直框架311a从地面间隔规定高度的方式设置。
另一方面，如上所述，附着于传送玻璃基板G上的柔性膜F下降以位于由四个切割导轨31形成的中央的四边形作业空间。作业空间的大小具备与下部转移装置4的真空吸附板41的形状对应的大小，从而真空吸盘41上升而吸附传送玻璃基板G的下部，因而进行稳定的固定支撑。
当附着于传送玻璃基板G上的柔性膜F位于如上所述构成的切割部的中央作业空间部时，设置于沿各切割导轨31进行直线运动的切割块32上的刀以规定深度切割传送玻璃基板G与柔性膜F之间的边界面以进行分离作业。此时，刀的长度以与粘合传送玻璃基板G与柔性膜F之间的部分相比大的方式形成而实现完整地分离。由于没有进入刀的部分，从最开始被移送时就以在先前工艺中被分离的状态移送，因此不需要另外的分离作业。
如上所述，当结束由刀的切割分离作业时，就传送玻璃基板G和柔性膜F而言，上部转移装置和下部转移装置在上部和下部分别保持被真空吸附的状态。
之后，当上部转移装置2的真空吸引板上升时，则柔性膜F上升，从而彼此间隔而分离。
当柔性膜F上升时，则下部转移装置4将传送玻璃基板G从切割部移动至废基板排出部5。
下部转移装置4由真空吸附板41、升降装置43及行驶块44构成，所述真空吸附板41吸附传送玻璃基板G的下部面；所述升降装置43设置于转移框架42的上面，以便升降位于所述升降装置43的上部并结合的真空吸附板；所述行驶块44设置于转移框架42的下部而沿行驶轨道45进行直线运动。
所述真空吸附板41由以下方式构成，在上部面形成有多个真空孔411，当由真空泵(图示略)提供真空时，则真空吸附板41吸附并固定支撑作为吸附对象的传送玻璃基板G的下部面。由于提供真空的真空泵(图示略)等的构造是公知的构造，因此省略具体说明。
在本发明的一个实施例中，所述升降装置43由以下方式构成，通过将马达431的旋转力变换成直线升降运动的旋转轴和各种齿轮(图示略)的结合及组合间接地升降，但是，当然也可以由诸如液压缸、气压缸、皮带驱动方式、直线电机等的各种公知方式构成。
所述行驶块44由以下方式构成，以能够沿位于下部的行驶轨道45行驶的直线电机方式驱动。具体构成及工作方式是公知的技术，因此省略。另外，行驶块44当然也可以由以下方式构成，能够以公知的各种动力传递方式沿行驶轨道进行直线运动。
所述行驶轨道45由以下方式构成，以能够使下部转移装置从一侧等待区域行驶至切割部3、废基板排出部5程度的长度，与位于上部的主导轨1以相同方向设置。
废基板排出部5为以下构成，当下部转移装置4移动行驶轨道45后上升吸附传送玻璃基板G的真空吸附板41时，则吸附传送玻璃基板G的上部面而向侧方向排出。此时，当废基板排出部5稳定地吸附传送玻璃基板时，则释放下部转移装置4的真空吸附板的真空。
为此，废基板排出部5，包括：格子形状排出框架51，在所述格子形状排出框架51的下部以规定间隔设置有多个长孔框架511，且在侧方向设置有行驶于导轨的行驶块512；多个吸附棒52，根据待吸附的传送玻璃基板G的大小在所述长孔框架上以调整位置的方式设置；导轨53，设置于轨道支撑框架531的上部以引导行驶块，所述轨道支撑框架531向主导轨1的下部侧方向设置；以及马达54，设置于导轨的一侧而以皮带传动的方式精密地驱动行驶块53。
所述长孔框架511由以下方式构成，具备长孔511a和固定件511b，所述长孔511a形成于框架内侧，所述固定件511b在长孔内移动的情形下调节吸附棒的位置。吸附棒被设置在该固定件上。
所述轨道支撑框架531以由多个竖直框架531a从地面间隔规定高度的方式设置。
向所述吸附棒52提供真空的真空泵(未图示)等的构造是公知的构造，因此省略具体说明。
所述马达，优选为由能够控制精密移送而具有益处的伺服马达构成。与通过伺服马达的皮带驱动有关的具体构成及工作方式是公知技术，因此省略。
光学传感器6由以下方式构成，当上部转移装置2沿主导轨移送柔性膜F后，柔性膜下降而将柔性膜放置于膜吸附部7的真空吸附板2上后，膜吸附部的真空吸附板提供真空而固定时，则作为检查是否存在异物和表面上的缺陷部位的构成多个光学传感器61以规定间隔配置。在本发明的一个实施例中，沿侧方向移动的同时以线检查方式进行检查。
光学检查部6由传感器框架61、导轨62、光学传感器63构成，所述传感器框架61设置有多个光学传感器且侧面形成有行驶块611；所述导轨62设置于轨道支撑框架621以引导行驶块，所述轨道支撑框架621向主导轨1的下部侧方向设置；所述光学传感器63在传感器框架61上以规定间隔设置有多个而检查位于下部的柔性膜是否存在异物和表面上的缺陷。
所述行驶块611由以直线电机方式驱动的方式构成。直线电机方式行驶块的具体构成及工作方式是公知的技术，因此省略。另外，行驶块611当然也可以由以下方式构成，能够以公知的各种动力传递方式沿轨道61进行直线运动。
所述轨道支撑框架621以由多个竖直框架621a从地面间隔规定高度的方式设置。
所述光学传感器63的种类，只要使用具有能够测定是否存在异物和表面上的缺陷部位的像素的公知传感器即可。由光学传感器检测的值，在未图示的控制器或控制部分析以判断是否存在缺陷。省略具体的检测算法和控制方法。
膜吸附部7为吸附在光学检查部6完成检查的柔性膜F的构成，由吸附柔性膜F的下部面的真空吸附板71和支撑真空吸附板71的支撑框架72构成。
在所述真空吸附板71上形成有多个真空孔711，从而在由真空泵(图示略)提供真空时，通过多个真空孔吸附作为吸附对象的柔性膜F。
如上所述构成的本发明的装置，工作顺序如下。
设置于主轨道1的上部转移装置2利用真空吸附板23吸附附着于传送玻璃基板G上的柔性膜F而沿主轨道1从一侧的等待装置移动至切割点3的地点，当真空吸附板23下降而位于四个切割导轨31形成的四边形空间时，下部转移装置4也移动而上升真空吸附板41，从而吸附传送玻璃基板G的下面以进行支撑。
之后，设置于切割部3的切割块32上的刀321切割传送玻璃基板G和柔性膜F之间的粘合边界面以进行分离。
之后，上部转移装置2的真空吸附板23上升的情形下分离柔性膜F，且当上升结束时，上部转移装置2移动至光学检查部6后，当再次下降真空吸附板23而将柔性膜F放置于膜吸附部7的真空吸附板71上时，真空吸附板71吸附下降的柔性膜F以进行固定支撑。之后，上部转移装置2在主轨道1的另一侧等待区域等待。
之后，当光学检查部6的传感器框架61的行驶块611沿导轨62移动时，设置于传感器框架上的多个光学传感器63以线扫描方式对柔性膜F表面的异物或表面缺陷进行光学检查。
另一方面，下部转移装置4与柔性膜F分离，从而将正被固定支撑在真空吸附板41上的传送玻璃基板G沿行驶轨道45移动至废基板排出部5。之后，上升至废基板排出部5的吸附棒52而移交传送玻璃基板。
就由吸附棒52吸附而移交的传送玻璃基板的废基板排出部5而言，排出框架51的行驶块512沿导轨53向侧方向移动而排出传送玻璃基板。
另外，就在光学检查部6完成检查的吸附柔性膜F而言，在膜吸附部7由另外的膜转移装置进行吸附而从光学检查部的区域进行移动。
当完成上述过程时，上部转移装置2沿主导轨1再次移动至最开始所在的一侧等待区域，以吸附附着于新的传送玻璃基板G上的柔性膜F。
本发明不限于上述特定的优选实施例，本领域技术人员当然可以在不脱离权利要求书所要求的本发明的主旨的情况下进行各种变形，并且这些修改都在权利要求的范围内。

Claims (7)

1.一种柔性显示器制造用一批膜分离及检查装置，其特征在于，包括：
主导轨(1)，在所述主导轨(1)上行驶上部转移装置；
上部转移装置(2)，所述上部转移装置(2)吸附附着于传送玻璃基板上的柔性膜而行驶在主导轨(1)上且在位于主导轨(1)下部的切割部、废基板排出部、光学检查部之间依次反复移动；
切割部(3)，所述切割部(3)分离附着于被移送的传送玻璃基板上的柔性膜；
下部转移装置(4)，所述下部转移装置(4)吸附在切割部(3)分离柔性膜的传送玻璃基板而沿行驶轨道行驶至废基板排出部；
废基板排出部(5)，所述废基板排出部(5)吸附装载于下部转移装置(4)的传送玻璃基板而进行排出；以及
光学检查部(6)，在柔性膜通过上部转移装置(2)下降而被吸附支撑于膜吸附部(7)的状态下，所述光学检查部(6)前进或后退的同时检查是否存在异物和表面上的缺陷部位，
所述切割部(3)上与柔性膜各侧面对应的切割导轨(31)设置于在主导轨(1)下部间隔规定距离安置的支撑框架(311)上，以使切割部(3)能够切割附着于传送玻璃基板上的柔性膜的四个侧面部而进行分离，且各切割导轨(31)上分别设置有切割块(32)以进行直线运动，且在所述各切割块(32)上形成有能调节角度的刀(321)。
2.根据权利要求1所述的柔性显示器制造用一批膜分离及检查装置，其特征在于，
所述上部转移装置(2)上沿主导轨(1)行驶的导向块(21)配置在上部转移装置(2)的两侧端，位于转移装置框架(22)的下部的板状真空吸附板(23)与设置于所述转移装置框架(22)的上部的升降装置(24)结合以进行升降。
3.根据权利要求1所述的柔性显示器制造用一批膜分离及检查装置，其特征在于，
所述下部转移装置(4)由真空吸附板(41)、转移框架(42)、升降装置(43)及第一行驶块及行驶轨道(45)构成，所述真空吸附板(41)吸附传送玻璃基板的下部面；所述升降装置(43)设置于转移框架(42)的上面，以便升降位于所述升降装置(43)的上部并结合的真空吸附板；所述第一行驶块设置于转移框架(42)的下部而沿行驶轨道(45)进行直线运动。
4.根据权利要求1所述的柔性显示器制造用一批膜分离及检查装置，其特征在于，
所述废基板排出部(5)包括格子形状排出框架(51)、多个吸附棒(52)、第一导轨及马达(54)，所述格子形状排出框架(51)在所述格子形状排出框架(51)的下部以规定间隔设置有多个长孔框架(511)，且在侧方向设置有行驶在导轨上的第二行驶块；所述多个吸附棒(52)根据待吸附的传送玻璃基板的大小在所述长孔框架上以调整位置的方式设置；所述第一导轨设置于轨道支撑框架(531)的上部以引导行驶块，所述轨道支撑框架(531)向主导轨(1)的下部侧方向设置；所述马达(54)设置于导轨的一侧而以皮带传动的方式精密地驱动第二行驶块。
5.根据权利要求4所述的柔性显示器制造用一批膜分离及检查装置，其特征在于，
所述长孔框架(511)具备长孔(511a)和固定件(511b)，所述长孔(511a)形成于框架内侧，所述固定件(511b)在孔内移动且调节吸附棒的位置。
6.根据权利要求1所述的柔性显示器制造用一批膜分离及检查装置，其特征在于，
所述光学检查部(6)由传感器框架(61)、第二导轨、光学传感器(63)构成，所述传感器框架(61)侧面形成有第三行驶块；所述第二导轨设置于轨道支撑框架(621)上以引导行驶块，所述轨道支撑框架(621)向主导轨(1)的下部侧方向设置；所述光学传感器(63)在传感器框架(61)上以规定间隔设置有多个而检查位于下部的柔性膜是否存在异物和表面上的缺陷。
7.根据权利要求1所述的柔性显示器制造用一批膜分离及检查装置，其特征在于，
所述柔性膜是形成有OLED和TFT层的膜。
CN202010150265.5A 2019-11-22 2020-03-06 柔性显示器制造用一批膜分离及检查装置 Active CN112830251B (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR10-2019-0151472 2019-11-22
KR1020190151472A KR102093949B1 (ko) 2019-11-22 2019-11-22 플렉서블 디스플레이 제조용 일괄 필름 분리 및 검사 장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN112830251A CN112830251A (zh) 2021-05-25
CN112830251B true CN112830251B (zh) 2022-09-09

Family

ID=69958824

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202010150265.5A Active CN112830251B (zh) 2019-11-22 2020-03-06 柔性显示器制造用一批膜分离及检查装置

Country Status (2)

Country Link
KR (1) KR102093949B1 (zh)
CN (1) CN112830251B (zh)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20240003392A (ko) 2022-06-30 2024-01-09 주식회사 쓰리에이솔루션즈 필름 표면검사 장치
CN118032813A (zh) * 2023-09-05 2024-05-14 海安明光光学玻璃科技有限公司 一种3d曲面玻璃aoi检测光源装置及检测方法

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012073036A (ja) * 2010-09-27 2012-04-12 Hitachi High-Technologies Corp ガラス基板欠陥検査装置及びガラス基板欠陥検査方法
KR101396224B1 (ko) * 2012-08-30 2014-05-19 주식회사 에스에프에이 평면 디스플레이용 필름 분리장치
KR20140119938A (ko) 2013-03-29 2014-10-13 코오롱인더스트리 주식회사 플렉서블 디스플레이 기판 및 그의 제조방법
KR102117095B1 (ko) * 2013-08-28 2020-06-01 삼성디스플레이 주식회사 기판 분리 검사 방법, 기판 분리 장치 및 이를 이용한 플렉서블 표시장치 제조 방법
CN104916574B (zh) * 2015-04-22 2017-11-10 四川虹视显示技术有限公司 一种柔性oled脱膜装置
KR102400871B1 (ko) 2015-07-31 2022-05-23 엘지디스플레이 주식회사 플렉서블 표시 장치 및 그의 제조 방법
KR102431202B1 (ko) 2016-08-23 2022-08-11 삼성전자주식회사 대형 롤러블 디스플레이 장치 및 그 제조방법
JP6748920B2 (ja) * 2017-03-13 2020-09-02 日本電気硝子株式会社 ガラスフィルムの製造方法
KR102148429B1 (ko) 2018-11-29 2020-08-27 삼성디스플레이 주식회사 플렉서블 디스플레이 및 이의 제조 방법
KR102098746B1 (ko) * 2019-08-09 2020-04-09 삼성디스플레이 주식회사 캐리어 기판 제거 장치, 표시장치 제조 시스템, 및 표시장치 제조 방법

Also Published As

Publication number Publication date
CN112830251A (zh) 2021-05-25
KR102093949B1 (ko) 2020-03-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN112830251B (zh) 柔性显示器制造用一批膜分离及检查装置
KR20140072931A (ko) 파손 글래스 처리 기능을 포함하는 글래스 이송 시스템 및 방법
KR101991267B1 (ko) 기판 절단 장치
KR20230023606A (ko) 유리판의 제조 장치 및 제조 방법
KR102353465B1 (ko) 기판 분단시스템
CN108025415B (zh) 板状玻璃的制造方法以及制造装置
JP5633487B2 (ja) ガラス板の両サイド加工装置
KR20140058328A (ko) 기판 분단 장치
CN107151091B (zh) 划片设备
KR20180069677A (ko) 기판 절단 장치
JP2007076965A (ja) 分断された基板の仕分け取り上げ装置
US10919795B2 (en) Glass plate bend-breaking machine
CN109824261B (zh) 基板切割装置及基板切割方法
TW201532989A (zh) 劃線裝置
JP2014080336A (ja) 基板分断装置
KR102391570B1 (ko) 기판 분단 시스템
CN211616164U (zh) 一种基片分片设备
CN109422456B (zh) 脆性材料基板的倾斜型断开装置及断开方法
KR102114025B1 (ko) 기판 절단 장치
CN105293039B (zh) 基板移送装置
JP3211649U (ja) 基板の各コーナー、辺縁端面、及び辺縁端面糸面の研磨装置
CN219670372U (zh) 基板玻璃裂片装置
TWI680950B (zh) 玻璃板之折斷機械
KR20190059576A (ko) 기판 절단 장치
CN214558349U (zh) 一种带有自动排序出料功能的软性卷料激光切割机

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant