JP3211649U

JP3211649U - 基板の各コーナー、辺縁端面、及び辺縁端面糸面の研磨装置

Info

Publication number: JP3211649U
Application number: JP2017002160U
Authority: JP
Inventors: 白井　明; 明白井
Original assignee: 株式会社シライテック
Priority date: 2017-05-16
Filing date: 2017-05-16
Publication date: 2017-07-27
Anticipated expiration: 2027-05-16
Also published as: CN207682093U; TWM560975U

Abstract

【課題】一本のライン上で基板の四つのコーナーカット研磨、一方の対の二辺の端面研磨、研磨端面の糸面研磨、他方の対の二辺の端面研磨、研磨端面の糸面研磨を行うことができる基板の各コーナー、辺縁端面、及び辺縁端面糸面の研磨装置を提供する。【解決手段】供給された基板ａを搬入移載装置Ａにより搬送しながら、両側のコーナーカット砥石で四つのコーナーを研磨し、この基板を第１ステージＦに荷受けして搬送しながら、第１端面研磨砥石４１で端面研磨、第１糸面研磨砥石４２で糸面を研磨し、この基板を方向転換装置Ｈで９０°旋回し、旋回後の基板を第２ステージＪに荷受けして走行途中に第２端面研磨砥石８１で端面研磨、第２糸面研磨砥石８２で糸面研磨したので、搬出移載装置で搬出する。【選択図】図１

Description

この考案は、ガラスその他の基板の各コーナーや、基板の辺縁端面及び辺縁端面糸面の研磨装置に関する。

周知のように、ガラスなどの基板の各コーナーには、コーナーカットと称する回転砥石による研磨が必要になる（特許文献１の図９参照）。

また、基板の辺縁端面には、辺縁面全長に亘って回転砥石による研磨が必要になる（特許文献２参照）。

さらに、基板の辺縁端面（両板面側の両コーナー間）に回転砥石による糸面研磨が必要になる（例えば特許文献３及び特許文献４参照）。

特許第５０４６７７５号公報特許第４７４５７４６号公報特開２００６−１１０６４２号公報特許第３４７００５７号公報

ところで、特許文献１の研磨は、基板の各コーナーのカットと称する研磨のみが行われ、特許文献２の研磨は、基板の辺縁端面全長に亘って研磨が行われ、特許文献３及び４の研磨は、辺縁端面の糸面の研磨をそれぞれ個別に行われるようになっているので、各研磨ラインが別々になる。

すると、１本のライン上で各コーナーの研磨、辺縁端面の研磨、そして糸面研磨を行うことができず、非能率的かつ生産性（研磨の）が著しく低下すると共に、勢い大幅なコストアップになる問題があった。
そこでこの考案は、上述の問題を解決した研磨装置を提供することにある。

上記の課題を解決するために、この考案は、前後方向に走行手段を介し走行する搬入走行体と、この搬入走行体の下面側に昇降手段を介し昇降すると共に、下面に搬入基板を保持するように設けた吸引保持手段とで構成した搬入移載装置と、この搬入移載装置の上記搬入走行体の走行路途中に上記吸引保持手段により保持された上記基板の左右両辺の前後コーナーを研磨するように設けた接近、離反の幅寄せ移動手段を有するコーナーカット砥石と、コーナーカットずみ基板を上面に荷受けするテーブルに吸引保持手段を有し、かつ第１走行手段を介し前後方向に進退走行するように設けた第１ステージと、この第１ステージの走行路の左右に上記保持基板の左右両辺の端面を研磨するように設けた第１端面研磨砥石と、この第１端面研磨砥石の前方に研磨ずみ端面の糸面を研磨するように設けた第１糸面研磨砥石と、糸面研磨ずみ基板の搬出位置と前方との間で第２走行手段により進退走行するように設けた第２ステージと、この第２ステージ上に上記研磨ずみ基板を上面に荷受けして下面を吸引するように設けた吸引保持手段付のテーブルと、上記第１ステージの前進停止位置の直上に昇降手段を介し昇降し、かつ旋回手段を介し９０°旋回するように設けた旋回座と、この旋回座の下面に上記基板の上面を吸引するように設けた吸引保持手段とで構成した方向転換装置と、上記第２ステージの前方走行路の途中に上記テーブル上の基板の未研磨両辺端面を研磨するように設けた第２端面研磨砥石と、この第２端面研磨砥石の前方に上記研磨ずみ端面の糸面を研磨するように設けた第２糸面研磨砥石と、上記第２ステージの前進停止位置の直上と前方との間で走行手段により進退走行するように設けた搬出走行体と、この搬出走行体の下面側に昇降手段を介し昇降すると共に、下面に第２ステージのテーブル上の上記基板を保持するように設けた吸引保持手段とで構成した搬出移載装置とからなる構成を採用する。

以上のように、この考案の研磨装置によれば、供給した基板を搬入移載装置の走行体の吸引保持手段で保持して走行させながら、走行途中の基板の各コーナー（四コーナー）を、コーナーカット砥石により研磨したのち、後退停止した第１ステージのテーブルに荷受けして保持し、かつ第１ステージの走行途中に第１端面研磨砥石により左右の二辺（一方の対向）の端面を研磨し、次いで糸面研磨砥石により研磨ずみ端面の糸面を研磨したのち、第１ステージの前進停止にともない第１ステージのテーブル上の二辺の研磨ずみ基板を方向転換装置の旋回座の直下に搬入する。

その後に昇降手段により降下した旋回座に吸引保持手段で保持した基板を荷受けし、次いで昇降手段により上昇した旋回座の９０°旋回により未研磨の残る二辺が左右に位置変更するようにし、然るのち第２ステージの上に基板を受け渡して吸引保持する。

しかして、第２ステージを前方に走行させながら、走行途中に未研磨の左右の二辺縁端面を第２端面研磨砥石により研磨し、次いで第２糸面研磨砥石による研磨端面の糸面研磨処理を行ったのち、搬出移載装置の走行体の吸引保持手段に基板を荷受けして搬出するようにするので、供給した基板の四つのコーナーカット研磨と、一方の対向する辺縁端面の研磨、そして研磨端面の糸面研磨と、その後の残る二辺の対向する辺縁の端面の研磨、そして研磨端面の糸面研磨を一本のライン上で順次能率よく研磨することができる。

すなわち、１枚の基板の各コーナーの研磨と、四辺の辺縁の端面研磨及び研磨ずみ各端面の糸面研磨を１本のライン上で行うことができる。

このため、従来のように、コーナーカット、端面研磨、研磨ずみ端面の糸面研磨を別工程（個別毎に）で行う非能率な研磨と異なり、大幅な能率向上をはかると共に、勢い大幅なコストカットになって、安価に供給できるなどのすぐれた効果がある。

この考案の実施形態を示す側面図である。同上の一部切欠平面図である。同上のコーナーカット砥石の部分を示す一部切欠拡大側面図である。同上のコーナーカット砥石の幅寄せ移動手段を示す一部切欠拡大正面図である。コーナーカット砥石による研磨を示す拡大平面図である。コーナーカット砥石による研磨を示す拡大平面図である。基板の左右端面の研磨を示す一部切欠拡大正面図である。同上による端面研磨を示す拡大平面図である。同上の正面図である。基板の端面糸面研磨を示す一部切欠正面図である。糸面研磨を示す拡大正面図である。同上の側面図である。第１ステージの部分を示す拡大正面図である。第２ステージの部分を示す拡大正面図である。第２ステージの部分での基板の端面研磨を示す一部切欠拡大正面図である。第２ステージの部分での糸面研磨を示す一部切欠拡大正面図である。搬出移載装置を示す側面図である。基板の加工手順を示す平面図である。

次に、この考案の実施の形態を図１から図１８に基づいて説明する。
図１から図４に示すＡは、ガラス基板ａの搬入移載装置である。

上記の搬入移載装置Ａは、図示の場合、前後方向の水平なフレーム１と、このフレーム１の前後方向の両端間に設けたレール２と、このレール２にスライド自在に係合したスライダ３を有する搬入走行体４と、この走向体４から下方に突出するプレート５の板面に設けた並列縦レール６と、このレール６に上下のスライダ７をスライド自在に係合した縦長なアーム８と、このアーム８の下端に下面に基板ａの上面を吸引するよう設けた吸引保持手段Ｂと、走行体４を前後方向に走行させる走行手段Ｃと、アーム８を昇降させる昇降手段Ｄとで構成されている。

上記の走行手段Ｃは、図示の場合、フレーム１の両端内に組み込んで両端を軸承した雄ネジ１２と、走向体４に支持して雄ネジ１２にねじ込んだ雌ネジ１３と、雄ネジ１２を可逆駆動するモーター１４とで構成され、モーター１４の可逆駆動により走行体４を前後方向に走行させるようにしたが、限定されず、その他の方式、例えばリニアモーター方式を採用することもある。

上記の昇降手段Ｄは、図示の場合、プレート５の片面に上下端を軸承した雄ネジ１５と、この雄ネジ１５にねじ込んでアーム８に支持した雌ネジ１６と、雄ネジ１５を可逆駆動するモーター１７とで構成され、モーター１７の可逆駆動によりアーム８を昇降させるようにしたが限定されず、その他の方式、例えばリニアモーター方式を採用することもある。

上記の吸引保持手段Ｂは、図示の場合、アーム８の下端に設けてある中空な水平ボックス９と、このボックス９の底壁下面に点在的な配置で、かつボックス９内に連通するように設けた吸盤１０（吸盤以外に吸引バー方式を採用することもある）とで構成され、ボックス９内の吸引にともない吸盤１０によりローラコンベヤ１１で供給された基板ａを吸引保持手段Ｂを降送して荷受け保持し、荷受け保持した基板ａを昇降手段Ｄの上昇作用にともない引き上げる。

その後に、走行手段Ｃにより搬入走行体４を前方に走行させて、ボックス９の吸盤１０により吸引保持してある基板ａを前方に搬出する。

また、搬出基板ａの走行路の左右両側には、接近、離反の幅寄せ移動手段Ｅを有するコーナーカット砥石２１、２１が設けてあり、移動手段ＥにはアライメントカメラＳ₁が設けてある。

上記の幅寄せ移動手段Ｅは、図４に示すように、基板ａの走行方向に対し直角なレール２２と、このレール２２に柱材２３の下端ベース２４の下面に設けてスライド自在に係合したスライダ２５と、レール２２に平行して両端を軸承した雄ネジ２６と、この雄ネジ２６にねじ込んでベース２４に支持させた雌ネジ２７と、雄ネジ２６を可逆駆動するモーター２８とで構成され、コーナーカット砥石２１のモーター２９を柱材２３に支持する。

すると、モーター２８の運転により雄ネジ２６を可逆駆動することで、レール２２をガイドとしてスライダ２５と共に柱材２３を進退スライドさせながら、柱材２３の支持コーナーカット砥石２１が接近、離反方向にスライドしながら、基板ａのコーナーを図５、６に示すようにカットするようになっているが、Ｒコーナーの加工もできる。
勿論、コーナーカット砥石２１の接近、離反は、上述の方式に限定されない。

なお、柱材２３に据え付けてあるアライメントカメラＳ₁によりコーナーカットの位置が正確になるように旋回モーター１０１によりボックス９を可逆旋回させて基板ａをアライメントする。

上記コーナーカットずみ基板ａが搬入移載装置Ａの前端側で停止すると、ボックス９の下側に後退停止して待機し、かつ前方との間で進退移動する第１ステージＦを設けておく。

上記の第１ステージＦは、図１、３、１０に示すように、搬入移載装置Ａの前端部直下から前方に向くレール３１と、このレール３１にスライド自在に係合するように座板３２の下面両側に設けたスライダー３３と、レール３１に沿わせると共に、両端を軸承した雄ネジ３４と、この雄ネジ３４にねじ込んで座板３２に支持した雌ネジ３５と、雄ネジ３４を可逆駆動するモーター３６とで走行手段Ｇを構成し、この走行手段Ｇの運転により第１ステージＦが前後方向に進退走行するようになっている。

そして、座板３２上には、上面に搬入移載装置Ａの吸盤１０により吸引保持された基板ａを、昇降手段Ｄにより降下させて荷受けするテーブル３７が設けてあると共に、このテーブル３７の上面には、基板ａの吸引保持手段としての中空のテーブル内を吸引し、テーブル３７の頂壁の無数の小孔３８により吸引保持するようになっている。

なお、座板３２の両側の受材３９により基板ａの両側縁手前（内側）の下面を受け止めて安定よく基板ａを荷受けするようになっている。

また、図２、図７に示すように、第１ステージＦのテーブル３７上に荷受けした基板ａの走行路の両側には、基板ａの左右両辺縁の端面を研磨する第１端面研磨砥石４１が、この第１端面研磨砥石４１の前方には、基板ａの研磨ずみ端面の（両板面側縁の）糸面を研磨する第１糸面研磨砥石４２が設けてある。

上記の第１端面研磨砥石４１は、上下方向の高さ調整と、幅寄せ調整とが可能になっており、その方式（幅寄せ）は、図７に示すように、座板３２の両側外方にレール３１を横切る方向のレール４３を設けて、このレール４３にスライドベース４４の下面に設けてあるスライダ４５をスライド自在に係合すると共に、レール４３に沿う雄ネジ４６の両端を軸承して、この雄ネジ４６にねじ込んだ雌ネジ４７をスライドベース４４に支持し、そして、雄ネジ４７の片端をモーター４８で可逆駆動し、またスライドベース４４の基板ａの対向面に縦方向のレール４９を設けて、このレール４９に第１端面研磨砥石４１を有するモーター５０の取付座５１の上下に設けてあるスライダ５２をスライド自在に係合すると共に、スライドベース４４に雄ネジ５３の上下端を軸承し、雄ネジ５３にねじ込んだ雌ネジ５４を取付座５１に支持し、雄ネジ５３の片端をモーター５５でドライブする。

すると、モーター４８の運転による左右のスライドベース４４が接近、離反スライドして、第１端面研磨砥石４１の幅寄せ調整が、また、モーター５５の運転により取付座５１と共に第１端面研磨砥石４１が昇降して、高さ調整ができる。

この第１端面研磨砥石４１により走行途中の基板ａの左右両辺の端面を、図８、９に示すように研磨することができる。
図中５６は、基板ａのコーナーカット部、Ｐ₁はコーナーカット形状、辺研磨量、糸面研磨幅を測定するカメラである。

また、第１端面研磨砥石４１の上流側にアライメントカメラＳ₂を配置し、このアライメントカメラＳ₂によるアライメントマークの読み取りにともない基板ａの辺縁が正常な位置になるよう基板ａの吸引第１ステージＦのテーブル３７を旋回モーター１０２により可逆駆動してアライメントするようになっている。

なお、モーターによりドライブされる第１糸面研磨砥石４２は、図１２、１３に示すように、櫛歯状で、並列突条と溝条とか交互に噛み合うようにし、噛み合う周縁間（図１１参照）に基板ａの辺縁面板面上下縁を臨ませて、糸面を研磨するようにしたが、限定されず、その他の砥石で糸面を研磨することもできる。
図中５８は糸面カット部である。

なお、上記の第１糸面研磨砥石４２の幅寄せ調整及び高さ調整の方式（構成）は、第１端面研磨砥石４１の幅寄せ調整及び高さ調整と同様につき詳細な説明を省略する。

さらに、前進停止における第１ステージＦ上の端面研磨及び糸面研磨ずみの基板ａは、第１ステージＦのテーブル３７上から取り上げ、次いで図１３に示す９０°旋回する方向転換装置Ｈに受け渡すようになっている。

上記受け渡し後の空の第１ステージＦは、後退させて次の受け渡し位置に戻って退避する。

なお、第１ステージＦが退避した状況下にあっては、方向転換装置Ｈの直下に進退走行する第２ステージＪが後退して待機するようになっている。

上記第２ステージＪの進退走行方式（構成）は、第１ステージＦの走行手段Ｇと同様の方式につき詳細な説明を省略する。

なお、第２ステージＪには、第１ステージＦと同様に上面に荷受けした二辺の処理（研磨）ずみ基板ａの下面（荷受け面）を吸引保持機能付のテーブル３７がある（詳細な説明は、第１ステージＦのテーブル３７と同様につき省略する）。

上記の方向転換装置Ｈは、図１３に示すように、左右方向に向く水平な支持部材６１と、この支持部材６１から前後方向に突出するアーム６２を介し上部を支持して前後で対向するプレート６３と、この両プレート６３の対向内側面に設けた並列縦レール６４と、昇降体６５の前後面上下に設けてレール６４にスライド自在に係合したスライダ６６と、昇降体６５の昇降手段としての例えば図示支持部６７に据え付けた可逆運転のモーター６７と、このモーター６７の出力軸に上端を連結し、下端を昇降体６５に軸承した雄ネジ６８と、この雄ネジ６８にねじ込んで昇降体６５に支持した雌ネジ６９と、昇降体６５の下面に据え付けた９０°旋回のモーター７０の下側に共に旋回するテーブル７１と、このテーブル７１の下面側に多数個配置して昇降体６５の降下にともないテーブル３７上（第２ステージＪの）の基板ａを吸引荷受けする吸盤７２とで構成し、吸盤７２により吸引荷受けしたテーブル３７上の基板ａとモーター６７の運転にともない昇降体６５と共に上昇すると共に、モーター７０の９０°旋回により共にテーブル７１及び基板ａを９０°旋回させて方向転換する。すなわち、左右に位置した端面研磨及び糸面研磨ずみ二辺が前後に位置するよう（未研磨の二辺が左右に位置するよう）に方向転換する。

方向転換後の基板ａは、方向転換装置Ｈのモーター６７の運転により昇降体６５と共にテーブル７１を降下させて、空の待機第２ステージＪのテーブル３７上に受け渡し、テーブル３７上に基板ａを吸引保持する。

なお、図１７中、第２ステージＪのテーブル３７には、受け渡した基板ａを吸引保持する構成（図３に示すように中空の吸引テーブル３７で、テーブル３７の頂壁に吸引小孔３８を）を省略したが、第２ステージＪのテーブル３７にも吸引保持機能を設けておく。

受け渡し後のテーブル７１は、モーター６７の運転により上昇待機させておく。
しかして、基板ａの受け取り第２ステージＪを前方に走行させる。

上記第２ステージＪの走行路の両側には、基板ａの未研磨の端面を研磨する第２端面研磨砥石８１が、次に研磨端面の糸面を研磨する第２糸面研磨砥石８２が設けてある。

この第２端面研磨砥石８１及び第２糸面研磨砥石８２の幅寄せ調整や高さ調整の方式（構造）は、第１端面研磨砥石４１及び第１糸面研磨砥石４２と同様につき詳細な説明を省略する。

すると、第２ステージＪの走行途中において、まず残る二辺の端面研磨し（図８、９参照）、次いで残る二辺の糸面研磨を行うことができる。
なお、第２糸面研磨砥石８２により研磨した糸面は、カメラＰ₂により測定検査する。

また、第２端面研磨砥石８１の上流側にアライメントカメラＳ₃を配置し、このアライメントカメラＳ₃によるアライメントマークの読み取りにともない基板ａの辺縁が正常な位置になるよう旋回モーター１０３により第２ステージＪのテーブル３７を可逆駆動してアライメントする。

次に、第２ステージＪが前方で停止すると、第２ステージＪ上の全ての処理ずみ基板ａを搬出移載装置Ｋにより取り上げ、そして搬出する。搬出された基板ａの搬出方向の指定がある場合、搬出移載装置Ｋ又はローラコンベヤで転向してもよい。

上記の搬出移載装置Ｋは、搬入移載装置Ａと同様に水平なフレーム１のレール２にスライダ３を係合して上記フレーム１の両端間で往復走行する走行体４と、この走行体４から下方に突出するプレート５の板面に設けた並列縦レール６と、このレール６に上下のスライダ７をスライド自在に係合した縦長なアーム８と、このアーム８の下端に下面に基板ａの上面を吸引するように設けた吸引保持手段Ｂと、走行体４を前後方向に走行させる走行手段Ｃと、アーム８を昇降させる昇降手段Ｄとで構成されている。

上記の吸引保持手段Ｂ、走行手段Ｃ及び昇降手段Ｄの構成は、搬入移載装置Ａの構成と同様につき詳細な説明を省略する。

四つのコーナーカットずみ、四辺の端面研磨及び四辺の端面の糸面研磨ずみ基板ａの搭載した第２ステージＪが搬出移載装置Ｋの後端側で待機すると、ボックス９が基板ａの直上に位置するように走行体４が後退停止する。

この状況下で昇降手段Ｄによりボックス９を降下させて、ボックス９の下面にテーブル３７上の基板ａを吸引荷受けし、その後に、昇降手段Ｄによりボックス９を上昇させて基板ａを取り上げる。

基板ａを取り上げた空の第２ステージＪは、次の旋回ずみ基板ａを荷受けするように後退させる。

一方、基板ａを保持した搬出移載装置Ｋは、走行手段Ｃにより吸引保持手段Ｂと共に保持基板ａを前方に走行させ、その後に昇降手段Ｄにより基板ａと共に吸引保持手段Ｂを降送し、吸引の解除された基板ａは、ローラコンベヤＬによって搬出する。

上記のように構成すると、図１８の（イ）に示すように基板ａを搬入すると、（イ）から（ロ）に示す基板ａの搬入にともない、コーナーカット砥石２１により基板ａの搬入方向左右の二辺のコーナー、次いで残る二辺のコーナーを順次カットする。

この基板ａを第１ステージＦで荷受けして前方に搬送する途中に、まず第１端面研磨砥石４１により端面研磨、次いで第１糸面研磨砥石４２により研磨端面の糸面研磨を行い、その後に方向転換装置Ｈにより二辺研磨処理ずみの基板ａを９０°旋回（図１８の実線から鎖線に示すように）する。

そして、９０°旋回後の基板ａを第２ステージＪに荷受けして（図（ハ）に示す）、搬送する。

その搬送中に残る未研磨の二辺の端面を第２端面研磨砥石８１で研磨し、次いで第２糸面研磨砥石８２で糸面研磨するので、図１８（ニ）に示す搬出払い出し位置に送り出された基板ａは、各コーナーの研磨、四辺の端面及び糸面研磨が行われ、この一連の研磨を１本のライン上で順次能率よく行うことができる。

Ａ搬入移載装置
ａ基板
Ｂ吸引保持手段
Ｃ走行手段
Ｄ昇降手段
Ｅ幅寄せ移動手段
Ｆ第１ステージ
Ｇ走行手段
Ｈ方向転換装置
Ｊ第２ステージ
Ｋ搬出移載装置
Ｌローラコンベヤ
Ｐ₁、Ｐ₂、Ｐ₃ カメラ
Ｓ₁、Ｓ₂、Ｓ₃ アライメントカメラ
１フレーム
２レール
３スライダ
４搬入走行体
５プレート
６レール
７スライダ
８アーム
９ボックス
１０吸盤
１１ローラコンベヤ
１２雄ネジ
１３雌ネジ
１４モーター
１５雄ネジ
１６雌ネジ
１７モーター
２１コーナーカット砥石
２２レール
２３柱材
２４ベース
２５スライダ
２６雄ネジ
２７雌ネジ
２８モーター
２９モーター
３１レール
３２座板
３３スライダ
３４雄ネジ
３５雌ネジ
３６モーター
３７テーブル
３８小孔
３９受材
４１第１端面研磨砥石
４２第１糸面研磨砥石
４３レール
４４スライドベース
４５スライダ
４６雄ネジ
４７雌ネジ
４８モーター
４９レール
５０モーター
５１取付座
５２スライダ
５３雄ネジ
５４雌ネジ
５５モーター
５６コーナーカット部
５８糸面カット部
６１支持部材
６２アーム
６３プレート
６４レール
６５昇降体
６６スライダ
６８雄ネジ
６９雌ネジ
７０モーター
７１テーブル
７２吸盤
８１第２端面研磨砥石
８２第２糸面研磨砥石
１０１、１０２、１０３旋回モーター

Claims

前後方向に走行手段を介し走行する搬入走行体と、この搬入走行体の下面側に昇降手段を介し昇降すると共に、下面に搬入基板を保持するように設けた吸引保持手段とで構成した搬入移載装置と、この搬入移載装置の上記搬入走行体の走行路途中に上記吸引保持手段により保持された上記基板の左右両辺の前後コーナーを研磨するように設けた接近、離反の幅寄せ移動手段を有するコーナーカット砥石と、コーナーカットずみ基板を上面に荷受けするテーブルに吸引保持手段を有し、かつ第１走行手段を介し前後方向に進退走行するように設けた第１ステージと、この第１ステージの走行路の左右に上記保持基板の左右両辺の端面を研磨するように設けた第１端面研磨砥石と、この第１端面研磨砥石の前方に研磨ずみ端面の糸面を研磨するように設けた第１糸面研磨砥石と、糸面研磨ずみ基板の搬出位置と前方との間で第２走行手段により進退走行するように設けた第２ステージと、この第２ステージ上に上記研磨ずみ基板を上面に荷受けして下面を吸引するように設けた吸引保持手段付のテーブルと、上記第１ステージの前進停止位置の直上に昇降手段を介し昇降し、かつ旋回手段を介し９０°旋回するように設けた旋回座と、この旋回座の下面に上記基板の上面を吸引するように設けた吸引保持手段とで構成した方向転換装置と、上記第２ステージの前方走行路の途中に上記テーブル上の基板の未研磨両辺端面を研磨するように設けた第２端面研磨砥石と、この第２端面研磨砥石の前方に上記研磨ずみ端面の糸面を研磨するように設けた第２糸面研磨砥石と、上記第２ステージの前進停止位置の直上と前方との間で走行手段により進退走行するように設けた搬出走行体と、この搬出走行体の下面側に昇降手段を介し昇降すると共に、下面に第２ステージのテーブル上の上記基板を保持するように設けた吸引保持手段とで構成した搬出移載装置とからなる基板の各コーナー、辺縁端面、及び辺縁端面糸面の研磨装置。