TWM560975U - 基板之各角落、邊緣端面、及邊緣端面微倒角之研磨裝置 - Google Patents

Abstract

本創作之課題為在一條生產線上進行基板四個角落裁切之研磨、一邊相對二邊之端面研磨與研磨端面之微倒角研磨、及另一邊相對二邊之端面研磨與研磨端面之微倒角研磨。

本創作之解決手段為將被供給之基板a以搬入移載裝置A搬送，同時以兩側角落裁切砥石研磨四個角落，並將該基板於第1段台F接收並搬送，同時以第1端面研磨砥石41端面研磨，並以第1微倒角研磨砥石42微倒角研磨，將該基板以方向轉換裝置H迴旋90°，將迴旋後之基板接收至第2段台J，並在移動途中以第2端面研磨砥石81端面研磨，並以第2微倒角研磨砥石82微倒角研磨，之後以搬出移載裝置搬出。

Description

基板之各角落、邊緣端面、及邊緣端面微倒角之研磨裝置

本案係關於玻璃與其他基板之各角落、基板之邊緣端面、及邊緣端面微倒角之研磨裝置。

如公知，玻璃等基板之各角落需由旋轉砥石研磨，係稱為角落裁切(參照專利文獻1之圖9)。

又，基板之邊緣端面中需以旋轉砥石在邊緣面全長研磨(參照專利文獻2)。

又，基板之邊緣端面(兩板面側之兩角落間)需由旋轉砥石微倒角研磨(例如參照專利文獻3及專利文獻4)。

[先前技術文獻]

[專利文獻]

專利文獻1：日本專利第5046775號公報。 專利文獻2：日本專利第4745746號公報。 專利文獻3：日本特開2006-110642號公報。 專利文獻4：日本專利第3470057號公報。

[新型所欲解決之課題]

但專利文獻1之研磨僅進行稱為基板各角落裁切之研磨，專利文獻2之研磨則在基板之邊緣端面全長研磨，專利文獻3及4之研磨則分別個別進行邊緣端面之微倒角研磨，故各研磨線會分開。

如此一來，無法在1條生產線上完整進行各角落之研磨、邊緣端面之研磨、及微倒角研磨，無效率且(研磨的)生產性顯著降低，並有成本大幅提升之問題。因此，本案係提供解決上述問題之研磨裝置。

[用以解決課題之手段]

為了解決上述課題，本案所採用構成包括： 搬入移動體，係在前後方向透過移動手段而移動； 搬入移載裝置，係於該搬入移動體之下面側透過昇降手段昇降，並以於下面保持搬入基板之方式設置的吸引保持手段所構成； 角落裁切砥石，係具有接近、分離之橫移移動手段，該接近、分離之橫移移動手段係以在該搬入移載裝置之上述搬入移動體移動路徑途中研磨以上述吸引保持手段所保持上述基板之左右兩邊之前後角落之方式設置； 第1段台，係於在上面接收經角落裁切基板之桌台具有吸引保持手段，且以透過第1移動手段在前後方向進退移動之方式設置； 第1端面研磨砥石，係以在該第1段台移動路徑之左右研磨上述保持基板左右兩邊端面之方式設置； 第1微倒角研磨砥石，係以在該第1端面研磨砥石前方研磨經研磨端面之微倒角之方式設置； 第2段台，係以在經微倒角研磨基板之搬出位置與前方之間藉由第2移動手段而進退移動之方式設置； 附有吸引保持手段之桌台，係於該第2段台上，以上面接收上述經研磨基板且吸引下面之方式設置； 迴旋座，係以於上述第1段台之前進停止位置正上方透過昇降手段昇降，且透過迴旋手段迴旋90°之方式設置； 方向轉換裝置，係以吸引保持手段所構成，該吸引保持手段係以於該迴旋座下面吸引上述基板上面之方式設置； 第2端面研磨砥石，係以於上述第2段台之前方移動路徑途中研磨上述桌台上之基板之未研磨兩邊端面之方式設置； 第2微倒角研磨砥石，係以於該第2端面研磨砥石前方研磨上述經研磨端面之微倒角之方式設置； 搬出移動體，係以在上述第2段台之前進停止位置之正上方與前方之間藉由移動手段而進退移動之方式設置； 搬出移載裝置，係在該搬出移動體之下面側透過昇降手段昇降，並以於下面保持第2段台之桌台上之上述基板之方式設置之吸引保持手段所構成。

[新型之效果]

如上述，根據本案之研磨裝置，可將供給基板藉由搬入移載裝置之移動體之吸引保持手段保持並移動，並在移動途中將基板之各角落(四角落)以角落裁切砥石研磨後，於後退停止之第1段台的桌台上接收保持，且在第1段台移動途中以第1端面研磨砥石研磨左右二邊(一邊之對向)之端面，接著以微倒角研磨砥石研磨經研磨端面之微倒角後，在第1段台停止前進同時，將第1段台之桌台上的經二邊研磨之基板搬入至方向轉換裝置之迴旋座正下方。

其後於以昇降手段降下的迴旋座接收以吸引保持手段保持之基板，接著藉由以昇降手段上升之迴旋座而迴旋90°，使未研磨殘留二邊變更位置至左右，然後移轉基板至第2段台上並吸引保持。

然後使第2段台移動至前方，並在移動途中將未研磨之左右二邊緣端面以第2端面研磨砥石研磨，接著以第2微倒角研磨砥石進行研磨端面之微倒角研磨處理後，將基板接收至搬出移載裝置之移動體之吸引保持手段並搬出，故可於一條生產線上有效率地依序進行所供給基板之四個角落裁切研磨、一邊之對向邊緣端面之研磨與研磨端面之微倒角研磨、及其後剩餘二邊之對向邊緣端面之研磨與研磨端面之微倒角研磨。

亦即，可於一條生產線上進行1片基板之各角落研磨、四邊之邊緣端面研磨、及經研磨各端面之微倒角研磨。

因此，相異於以往從角落裁切、端面研磨、經研磨端面之微倒角研磨皆以個別步驟(分別個別進行)進行之無效率研磨，可大幅提高效率並大幅降底成本，具有可低成本供給等優異效果。

接著根據圖1~18說明本案之實施形態。

圖1~4所示A為玻璃基板a之搬入移載裝置。

上述搬入移載裝置A，圖示之情形係以前後方向之水平框架1、於該框架1之前後方向兩端間所設置的軌道2、具有於該軌道2自由滑動地接合之滑件3之搬入移動體4、設置於從該移動體4下方突出之板5之板面之並列縱軌道6、於該軌道6將上下之滑件7自由滑動地接合之縱長臂8、於該臂8下端以下面吸引基板a上面之方式設置之吸引保持手段B、使移動體4在前後方向移動之移動手段C、及使臂8昇降之昇降手段D而構成。

上述移動手段C，圖示之情形係以組裝至框架1兩端內並軸承兩端之公螺釘12、支持於移動體4並栓入公螺釘12之母螺釘13、及使公螺釘12可逆驅動之馬達14而構成，並以馬達14之可逆驅動使移動體4在前後方向移動，但並不限定於此，亦可採用其他方式，例如線性馬達方式。

上述昇降手段D，圖示之情形係以於板5單面軸承上下端之公螺釘15、栓入該公螺釘15並支持於臂8之母螺釘16、及使公螺釘15可逆驅動之馬達17而構成，並以馬達17之可逆驅動使臂8昇降，但並不限定於此，亦可採用其他方式，例如線性馬達方式。

上述吸引保持手段B，圖示之情形係以設置於臂8下端之中空水平盒9、及點狀配置於該盒9底壁下面且以連通至盒9內之方式設置之吸盤10(除了吸盤以外亦可採用吸引條方式)而構成，在盒9內吸引同時藉由吸盤10將輥輸送帶11所供給之基板a以吸引保持手段B降送並接收保持，並將接收保持之基板a以昇降手段D之上升作用拉升。

其後以移動手段C使搬入移動體4移動至前方，以盒9之吸盤10將吸引保持之基板a搬出至前方。

又，搬出基板a之移動路徑其左右兩側中設置角落裁切砥石21，該角落裁切砥石21具有接近、分離之橫移移動手段E，在移動手段E設置具有對準相機S1。

上述橫移移動手段E係如圖4所示，以與基板a移動方向呈直角之軌道22、設置於柱材23之下端基底24下面且可於軌道22自由滑動地接合之滑件25、平行於軌道22並軸承於兩端之公螺釘26、栓入該公螺釘26並支持於基底24之母螺釘27、及使公螺釘26可逆驅動之馬達28而構成，角落裁切砥石21之馬達29支持於柱材23。

如此一來，以馬達28之運轉使公螺釘26可逆驅動，藉此以軌道22為引導使滑件25與柱材23一起進退滑動，並使柱材23之支持角落裁切砥石21在接近、分離方向滑動，同時將基板a之角落如圖5、6所示般裁切，但也可進行圓角加工。

當然，角落裁切砥石21之接近、分離並不限定於上述方式。

又，藉由安裝於柱材23之對準相機S1，以使角落裁切位置正確之方式藉由迴旋馬達101使盒9可逆迴旋並對準基板。

設置第1段台F，係於上述經角落裁切基板a停止於搬入移載裝置A之前端側時，於盒9下側後退停止並待機，且在與前方之間進退移動。

上述第1段台F係如圖1、3、10所示，係以由搬入移載裝置A之前端部正下方往前方之軌道31、以於該軌道31可自由滑動地接合之方式設置於座板32下面兩側之滑件33、沿著軌道31並軸承兩端之公螺釘34、栓入該公螺釘34並支持於座板32之母螺釘35、及使公螺釘34可逆驅動之馬達36而構成移動手段G，以該移動手段G之運轉使第1段台F在前後方向進退移動。

接著，在座板32上設置有桌台37，係將以搬入移載裝置A之吸盤10吸引保持上面之基板a以昇降手段D降低並接收，同時該桌台37之上面中，作為基板a之吸引保持手段而由中空桌台內部吸引並以桌台37頂壁之大量小孔38吸引保持。

又，以座板32兩側之受材39接收基板a之兩側緣前(內側)之下面，並安定地接收基板a。

又，如圖2、7所示，在於第1段台F之桌台37上接收之基板a之移動路徑兩側設置有第1端面研磨砥石41，該第1端面研磨砥石41係研磨基板a左右兩邊緣端面，並在該第1端面研磨砥石41之前方設置有第1微倒角研磨砥石42，該第1微倒角研磨砥石42係研磨基板a之經研磨端面(兩板面側緣)之微倒角。

上述第1端面研磨砥石41可調整上下方向之高度及調整橫移，其方式(橫移)係如圖7所示，於座板32兩側外側設置橫跨軌道31方向之軌道43，於該軌道43使設置於滑動基底44下面之滑件45自由滑動地接合，同時軸承沿著軌道43之公螺釘46兩端，將栓入該公螺釘46之母螺釘47支持於滑動基底44，接著使公螺釘47一端以馬達48可逆驅動，並於滑動基底44之對向面設置縱向之軌道49，於該軌道49使滑件52自由滑動地接合，該滑件52係設置於具有第1端面研磨砥石41之馬達50之安裝座51上下端，同時於滑動基底44軸承公螺釘53之上下端，將栓入公螺釘53之母螺釘54支持於安裝座51，並將公螺釘53一端以馬達55進行運轉。

如此一來，以馬達48運轉使左右滑動基底44接近、分離滑動並調整第1端面研磨砥石41之橫移，又，以馬達55運轉使安裝座51與第1端面研磨砥石41一起昇降並調整高度。

可以該第1端面研磨砥石41如圖8、9所示般研磨移動途中之基板a之左右兩邊端面。

圖中56係基板a之角落裁切部，P1為測定角落裁切形狀、邊研磨量、及微倒角研磨寬度之相機。

又，將對準相機S2配置於第1端面研磨砥石41上游側，以該對準相機S2讀取對準標記，同時以使基板a邊緣成為正確位置之方式，將基板a之吸引第1段台F之桌台37藉由迴旋馬達102可逆驅動並對準。

又，以馬達運轉之第1微倒角研磨砥石42係如圖12、13所示般為櫛齒狀，並列突條與溝條交互咬合，將基板a之邊緣面板面上下緣置於咬合周緣間(參照圖11)並進行微倒角研磨，但並不限定於此，亦可以其他砥石研磨微倒角。

微倒角裁切部58如圖11所述。

又，上述第1微倒角研磨砥石42之調整橫移及調整高度之方式(構成)係與第1端面研磨砥石41之調整橫移及調整高度方式相同，因此省略詳細說明。

又，停止前進中之第1段台F上經端面研磨及微倒角研磨之基板a，係由第1段台F之桌台37上拿起，接著交付至如圖13所示可迴旋90°之方向轉換裝置H。

上述交付後淨空之第1段台F係後退退回至下一個進行交付之位置。

又，在第1段台F退回狀況下，於方向轉換裝置H正下方進退移動之第2段台J係後退並待機。

上述第2段台J之進退移動方式(構成)係與第1段台F之移動手段G相同，因此省略詳細說明。

又，第2段台J中，與第1段台F同樣地具有桌台37，該桌台37附有於上面吸引保持所接收經二邊處理(研磨)之基板a下面(接收面)的功能(詳細說明與第1段台F之桌台37相同，因此省略)。

上述方向轉換裝置H係如圖13所示，以面向左右方向之水平固定構件61、藉由從該固定構件61向前後方向突出之臂62支持上部且前後對向之板63、設置於該兩板63之對向內側面之並列縱軌道64、設置於昇降體65前後面上下並於軌道64自由滑動地接合之滑件66、作為昇降體65之昇降手段之例如安裝於圖示支持部67之可逆運轉之馬達67、將上端連接至該馬達67之輸出軸並將下端軸承於昇降體65之公螺釘68、栓入該公螺釘68並支持於昇降體65之母螺釘69、可與安裝於昇降體65下面之迴旋90°之馬達70下側一起迴旋之迴旋座71、大量配置於該迴旋座71下面側並隨著昇降體65降下而吸引接收桌台37上(第1段台F的)之基板a之吸盤72而構成，藉由吸盤72將吸引接收桌台37上之基板a隨著馬達67運轉與昇降體65一起上升，同時藉由馬達70之90°迴旋，使迴旋座71及基板a同時迴旋90°並進行方向轉換。亦即，將位於左右之經端面研磨及微倒角研磨之二邊以位於前後之方式(未研磨二邊位於左右)轉換方向。

轉換方向後之基板a係藉由方向轉換裝置H之馬達67運轉而與昇降體65同時降低迴旋座71，交付至淨空之待機第2段台J之桌台37上，將基板a吸引保持於桌台37上。

又，圖17雖於第2段台J之桌台37省略吸引保持所交付基板a之構成(如圖3所示，在中空吸引桌台37中於桌台37頂壁之吸引小孔38)，但第2段台J之桌台37也設置有吸引保持功能。

交付後之迴旋座71係藉由馬達67之運轉而上升待機。

然後將收取基板a之第2段台J移動至前方。

在上述第2段台J之移動路徑兩側設置有第2端面研磨砥石81而對基板a之未研磨端面進行研磨，接著設置有第2微倒角研磨砥石82而對端面之微倒角進行研磨。

該第2端面研磨砥石81及第2微倒角研磨砥石82之調整橫移與調整高度之方式(構造)係與第1端面研磨砥石41及第1微倒角研磨砥石42相同，因此省略詳細說明。

如此一來，於第2段台J移動途中，先進行剩餘二邊之端面研磨(參照圖8、9)，接著進行剩餘二邊之微倒角研磨。

又，以第2微倒角研磨砥石82研磨之微倒角係以相機P2進行測定檢査。

又，於第2端面研磨砥石81之上游側配置對準相機S3，以該對準相機S3讀取對準標記，同時以使基板a邊緣成為正確位置之方式，藉由迴旋馬達103可逆驅動第2段台J之桌台37並對準。

接著，第2段台J在前方停止時，以搬出移載裝置K拿起第2段台J上所有經處理之基板a並搬出。有指定所搬出基板a之搬出方向時，可以搬出移載裝置K或輥輸送帶進行轉向。

上述搬出移載裝置K係與搬入移載裝置A同樣地，以於水平框架1之軌道2接合滑件3並於上述框架1兩端間來回移動之移動體4、設置於從該移動體4下方突出之板5之板面上之並列縱軌道6、於該軌道6將上下之滑件7自由滑動地接合之縱長臂8、於該臂8下端以下面吸引基板a上面之方式設置之吸引保持手段B、使移動體4在前後方向移動之移動手段C、及使臂8昇降之昇降手段D。

上述吸引保持手段B、移動手段C及昇降手段D之構成係與搬入移載裝置A之構成相同，因此省略詳細說明。

第2段台J搭載有經過四角落裁切、四邊端面研磨、及四邊端面微倒角研磨之基板a，該第2段台J於搬出移載裝置K後端側待機時，移動體4會後退停止使盒9位於基板a正上方。

該狀況下，以昇降手段D使盒9降低並於盒9下面吸引接收桌台37上之基板a，其後以昇降手段D使盒9上升並拿起基板a。

拿起基板a之淨空之第2段台J係以接收下一個經迴旋之基板a之方式後退。

另一方面，保持基板a之搬出移載裝置K係藉由移動手段C與吸引保持手段B一起將保持基板a移動至前方，其後藉由昇降手段D與基板a一起降送吸引保持手段B，解除吸引之基板a係以輥輸送帶L搬出。

若以上述方式構成，如圖18之(Ⅰ)所示將基板a搬入後，如圖(Ⅰ)至(Ⅱ)所示，隨著基板a之般入而藉由角落裁切砥石21依序裁切基板a搬入方向左右二邊角落、及剩餘二邊角落。

於將該基板a以第1段台F接收並搬送至前方途中，首先以第1端面研磨砥石41進行端面研磨，接著以第1微倒角研磨砥石42進行研磨端面之微倒角研磨，其後以方向轉換裝置H使經二邊研磨處理之基板a迴旋90°(如圖18之實線至虛線所示)。

接著將迴旋90°後之基板a接收至第2段台J(如圖18(Ⅲ)所示)並搬送。

其搬送中將剩餘未研磨二邊之端面以第2端面研磨砥石81研磨，接著以第2微倒角研磨砥石82微倒角研磨，故如圖18(Ⅳ)所示，送出至搬出位置之基板a係經過各角落之研磨、四邊之端面及微倒角研磨，該一連串研磨可在1條生產線上依序有效率地進行。

A‧‧‧搬入移載裝置

a‧‧‧基板

B‧‧‧吸引保持手段

C‧‧‧移動手段

D‧‧‧昇降手段

E‧‧‧橫移移動手段

F‧‧‧第1段台

G‧‧‧移動手段

H‧‧‧方向轉換裝置

J‧‧‧第2段台

K‧‧‧搬出移載裝置

L‧‧‧輥輸送帶

P₁、P₂、P₃‧‧‧相機

S₁、S₂、S₃‧‧‧對準相機

1‧‧‧框架

2‧‧‧軌道

3、7、25、33、45、52、66‧‧‧滑件

4‧‧‧搬入移動體

5、63‧‧‧板

6、22、31、43、49、64‧‧‧軌道

8、62‧‧‧臂

9‧‧‧盒

10、72‧‧‧吸盤

11‧‧‧輥輸送帶

12、15、26、34、46、53、68‧‧‧公螺釘

13、16、27、35、47、54、69‧‧‧母螺釘

14、17、28、29、36、48、50、55、70‧‧‧馬達

21‧‧‧角落裁切砥石

23‧‧‧柱材

24‧‧‧基底

32‧‧‧座板

37‧‧‧桌台

38‧‧‧小孔

39‧‧‧受材

41‧‧‧第1端面研磨砥石

42‧‧‧第1微倒角研磨砥石

44‧‧‧滑動基底

51‧‧‧安裝座

56‧‧‧角落裁切部

58‧‧‧微倒角裁切部

61‧‧‧支持構件

65‧‧‧昇降體

71‧‧‧迴旋座

81‧‧‧第2端面研磨砥石

82‧‧‧第2微倒角研磨砥石

101、102、103‧‧‧迴旋馬達

圖1係表示本案實施形態之側面圖。 圖2係同上之部分切面平面圖。 圖3係表示同上角落裁切砥石部分之部分切面擴大側面圖。 圖4係表示同上角落裁切砥石之橫移移動手段之部分切面擴大正面圖。 圖5係表示角落裁切砥石之研磨之擴大平面圖。 圖6係表示角落裁切砥石之研磨之擴大平面圖。 圖7係表示基板左右端面之研磨之部分切面擴大正面圖。 圖8係表示同上端面研磨之擴大平面圖。 圖9係同上之正面圖。 圖10係表示基板端面微倒角研磨之部分切面正面圖。 圖11係表示微倒角研磨之擴大正面圖。 圖12係同上之側面圖。 圖13係表示第1段台部分之擴大正面圖。 圖14係表示第2段台部分之擴大正面圖。 圖15係表示第2段台部分之基板端面研磨之部分切面擴大正面圖。 圖16係表示第2段台部分之微倒角研磨之部分切面擴大正面圖。 圖17係表示搬出移載裝置之側面圖。 圖18係表示基板加工順序之平面圖。

Claims (1)

1. 一種基板之各角落、邊緣端面、及邊緣端面微倒角之研磨裝置，係包括： 搬入移動體，係在前後方向透過移動手段而移動； 搬入移載裝置，係於該搬入移動體之下側透過昇降手段昇降，且該搬入移載裝置之下方係經由保持搬入基板之方式設置的吸引保持手段所構成； 角落裁切砥石，係具有接近、分離之橫移移動手段，接近、分離之該橫移移動手段係以在該搬入移載裝置之該搬入移動體移動路徑途中，研磨該吸引保持手段所保持該基板之左右兩邊之前後角落之方式設置； 第1段台，係於上方接收經角落裁切基板之附有吸引保持手段的第1桌台，且以透過第1移動手段在前後方向進退移動之方式設置； 第1端面研磨砥石，係以在該第1段台移動路徑之左右，研磨該基板左右兩邊端面之方式設置； 第1微倒角研磨砥石，係以在該第1端面研磨砥石前方，研磨經研磨端面之微倒角之方式設置； 第2段台，係以在經微倒角研磨該基板之搬出位置與前方之間，藉由第2移動手段而進退移動之方式設置； 附有吸引保持手段之第2桌台，係於該第2段台上，以上方接收經研磨之該基板且吸引下面之方式設置； 迴旋座，係以於該第1段台之前進停止位置正上方透過昇降手段昇降，且透過迴旋手段迴旋90°之方式設置； 方向轉換裝置，係以吸引保持手段所構成，該吸引保持手段係以於該迴旋座下面吸引上述基板上面之方式設置； 第2端面研磨砥石，係以於該第2段台之前方移動路徑途中，研磨該第2桌台上之該基板之未研磨兩邊端面之方式設置； 第2微倒角研磨砥石，係以於該第2端面研磨砥石前方，研磨經研磨端面之微倒角之方式設置； 搬出移動體，係以在該第2段台之前進停止位置之正上方與前方之間，藉由移動手段而進退移動之方式設置；以及 搬出移載裝置，係在該搬出移動體之下方透過昇降手段昇降，且該搬出移載裝置之下方係經由保持該第2段台之該第2桌台上之該基板之方式設置之吸引保持手段所構成。