JP2004154914A - 研磨装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】ガラス基板の四辺とコーナーとの研磨を能率よく行なう。
【解決手段】前後方向に進退走行する走行体Ｂと、この走行体に載置ガラス基板を吸引保持手段により保持する旋回機能付の保持台２と、走行体の走行路の両外側にガラス基板の走行方向に平行する二辺の縁を面取り加工する第１回転砥石と、後退停止した走行体の一側手前と他側前方とに走行体からそれぞれ一定の距離を存して設けたガラス基板の受取り台Ｄ及び吸引保持手段を有する旋回機能付の回転台Ｅと、この回転台の近傍に設けたガラス基板のコーナーのカット用第２回転砥石２８と、左右方向に進退走行する走行部材４２と、この走行部材の両端部に設けて受取り台及び旋回保持台上のガラス基板を支持する適宜の支持手段４３とからなる搬入兼受渡し装置Ｆと、旋回台上のガラス基板を適宜の支持手段４３により支持して搬出するように設けた搬出装置Ｇとからなる研磨装置を採用する。
【選択図】 図２
【解決手段】前後方向に進退走行する走行体Ｂと、この走行体に載置ガラス基板を吸引保持手段により保持する旋回機能付の保持台２と、走行体の走行路の両外側にガラス基板の走行方向に平行する二辺の縁を面取り加工する第１回転砥石と、後退停止した走行体の一側手前と他側前方とに走行体からそれぞれ一定の距離を存して設けたガラス基板の受取り台Ｄ及び吸引保持手段を有する旋回機能付の回転台Ｅと、この回転台の近傍に設けたガラス基板のコーナーのカット用第２回転砥石２８と、左右方向に進退走行する走行部材４２と、この走行部材の両端部に設けて受取り台及び旋回保持台上のガラス基板を支持する適宜の支持手段４３とからなる搬入兼受渡し装置Ｆと、旋回台上のガラス基板を適宜の支持手段４３により支持して搬出するように設けた搬出装置Ｇとからなる研磨装置を採用する。
【選択図】 図２
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、液晶パネルや板ガラスのエッジを研磨し、かつコーナーの面取り加工するガラス基板の研磨装置に関する。
【０００２】
【従来の技術及びその課題】
ガラス基板の各辺縁の面取り加工やコーナーの面取り加工する従来技術としては、例えば特願平１１−３２４９３号に示すように、走行体の保持台に板ガラスを載置して保持したのち、走行体を前進走行させる。
【０００３】
すると、走行路の両側の回転砥石により板ガラスの一方の対向二辺の側縁が研磨される。
【０００４】
次いで走行体の前進停止後に保持台を９０度旋回させたのち、走行体を後退走行させる。
【０００５】
すると、走行路の両側の回転砥石により板ガラスの他方の対向（残る）二辺の側縁が研磨される。
【０００６】
なお、走行体の走行途中に保持台を９０度旋回させて、旋回以前に板ガラスの一方の対向二辺の側縁を、旋回以後に板ガラスの他方の対向二辺の側縁を回転砥石により研磨する。
【０００７】
上記のような研磨方式によると、板ガラスの四辺の側縁の研磨のみで、板ガラスのコーナーの研磨を行なう場合、別途の場所（工程）でコーナーの研磨を行なうので、板ガラスの移載などにより非能率的になって大幅なコストアップになる。
【０００８】
そこで、特願２００１−３８２７３０に示すように、走行体の保持台に板ガラスを載置して保持させたのち、走行体を前進走行させて走行路の両側の回転砥石により板ガラスの一方の対向二辺の側縁を研磨し、次いで前進停止した走行体の保持台を旋回させながらコーナー用回転砥石により板ガラスの各コーナーを研磨し、然るのち走行体を後退走行させながら走行路の両側の回転砥石により板ガラスの他方の対向（残る）二辺の側縁を研磨する。
【０００９】
すると、前述のような別途コーナーの研磨工程が不要になる。
【００１０】
然しながら、上記のような研磨方式によると、走行体の前進、前進停止後の保持台の旋回、走行体の後退停止後に研磨ずみ板ガラスを取り下ろして、保持台に次の板ガラスの供給を受けるので、保持台の稼働率が著しく低下する問題があった。
【００１１】
そこで、この発明は、ガラス基板の四辺縁の研磨とコーナーの研磨とが極めて能率よく行なうことができるようにする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するために、この発明は、適宜の走行手段により前後方向に進退走行するように設けた走行体と、この走行体に載置ガラス基板を吸引保持手段により保持するように設けた旋回機能付の保持台と、上記走行体の走行路の両外側に上記ガラス基板の走行方向に平行する二辺の縁を面取り加工するように設けた第１回転砥石と、後退停止した上記走行体の一側手前と他側前方とに前記走行体からそれぞれ一定の距離を存して設けたガラス基板の受取り台及び吸引保持手段を有する旋回機能付の回転台と、この回転台の近傍に設けたガラス基板のコーナーのカット用第２回転砥石と、適宜の走行手段により左右方向に進退走行する走行部材と、この走行部材の両端部に設けて上記受取り台及び旋回保持台上のガラス基板を支持する適宜の支持手段とからなる搬入兼受渡し装置と、上記旋回台上のガラス基板を適宜の支持手段により支持して搬出するように設けた搬出装置とからなる研磨装置を採用する。
【００１３】
【発明の実施の形態】
この発明の実施の形態を添付図面に基づいて説明する。
【００１４】
この発明の実施形態では、図１から図５に示すように、Ｂは適宜の走行手段Ｃにより前後方向に進退走行する走行体で、この走行体Ｂには、載置したガラス基板Ａを吸引保持方式により保持する旋回機能１付の保持台２が設けてある。
【００１５】
上記の走行手段Ｃは、図示の場合二条の平行するレール３に走行体Ｂの下面両側に設けてあるスライダ４を係合してガイドすると共に、第１モーター５により定位置でフリーに回転する雄ネジ６を軸承して、走行体Ｂの下面に取付けてある雌ネジ７を雄ネジ６にねじ込んで構成する。
【００１６】
上記の保持台２は、図示の場合、走行体Ｂ上に設けた旋回座８上に上面に無数の小孔群を有する吸引ボックス９を据え付けると共に、吸引ボックス９内を吸引することで保持台２に載置したガラス基板Ａを吸引保持し、上記の旋回機能１は、図示の場合第２モーター１０により駆動する小径の歯車１１と旋回座８の外周に設けてある大径の歯車１２とを噛み合わせて旋回させるようにしてある。
【００１７】
また、走行体Ｂの走行路の両側には、保持台２に吸引保持したガラス基板Ａの両側縁面の上縁と下縁とを面取り研磨するそれぞれ前後一対の第１回転砥石１３、１３が設けてある。
【００１８】
上記の第１回転砥石１３、１３は、ガラス基板Ａの幅寸法に応じて（検出幅の数値制御により）調整できるようになっている。
【００１９】
上記の調整は、図１及び図３に示すように、レール１４に左右のベース１５の裏面スライダ１６をスライド自在に係合すると共に、中央から両端に逆ネジを設けた定位置での軸承雄ネジ１７を第３モーター１８により可逆駆動し、左右のベース１５にそれぞれ取付けた雌ネジ１９の片方を雄ネジ１７の一端側に、もう片方を雄ネジ１７の他端側にそれぞれねじ込み、左右のベース１５、１５にモーター２０により回動する第１回転砥石１３、１３を据え付ける。
【００２０】
すると、ガラス基板Ａの幅を適宜の検出手段により検出し、そして数値制御によって第３モーター１８の運転より雄ネジ１７を可逆駆動すると、左右のベース１５、１５を接近、離反方向に移動させながら、左右の第１回転砥石１３、１３の対向間（位置）を調整することができる。
【００２１】
なお、左右の第１回転砥石１３、１３は、ベース１５に対するモーター２０の据え付け角度を自由に調整できて（図示省略）、ガラス基板Ａの面取り角度が所望の角度になるようにしてある。
【００２２】
また、後退停止している走行体Ｂの一側手前と他側前方とには、一定の等間隔を存してガラス基板Ａの受取り台Ｄと、ガラス基板の吸引保持手段付旋回機能１付の回転台Ｅとが設けてある。
【００２３】
上記受取り台Ｄは、図示の場合上面がフラットな中空ボックス２１により形成し、このボックス２１上に人手や入れ込み機によってガラス基板Ａを載置するようになっている。
【００２４】
その際、ボックス２１の頂壁に無数の小孔群を設けて、ボックス２１内を吸引することで供給ずみガラス基板Ａを搬出する迄安定よく保持することができるようになっている。
【００２５】
上記回転台Ｅは、座台２２にフリーな回転軸２３を軸承して、この回転軸２３の上端に頂壁に無数の小孔群を有する吸引ボックス２４を据え付けて、この吸引ボックス２４上にガラス基板Ａが供給されたのち、吸引ボックス２４内を吸引して吸引ボックス２４上にガラス基板Ａを安定よく保持するようになっている。
【００２６】
そして、旋回機能１は、保持台２の吸引ボックス９と同様に第４モーター２５により駆動する小径の歯車２６と、回転軸２３の外周に設けた大径の歯車２７とを噛み合わせて構成する。
【００２７】
さらに、回転台Ｅの近傍には、ガラス基板Ａのコーナーをカット（研磨）する第２回転砥石２８が設けてある。
【００２８】
上記の第２回転砥石２８は、ガラス基板Ａの寸法に応じて前後、左右に数値制御によって移動できるようにしてある。
【００２９】
上記の移動方式としては、例えば図１及び図２に示すように、レール２９にスライダ（図示省略）を係合して前後方向にスライドする左右方向に長い水平なフレーム３０と、このフレーム３０の長手方向に沿うレール３１にスライド自在に係合したベース３２と、このベース３２に据え付けた第２回転砥石２８の駆動用第５モーター３３と第６モーター３４によって定位置で可逆駆動するそれぞれの（縦方向と横方向との）雄ネジ３５にねじ込んでフレーム３０とベース３２とに支持させた雌ネジ３６とで構成し、一方の雄ネジ３５の駆動によってフレーム３０を前後方向に、もう一方の雄ネジ３５の駆動によってベース３２を左右方向にそれぞれ移動させてガラス基板Ａのコーナーの旋回軌道上に第２回転砥石２８の停止位置を数値制御によって位置決めを行なうようにしている。
【００３０】
なお、コーナー研磨用の第２回転砥石２８は、図示の１個に限定されず、特願２００１−３８２７３０のように２個配置することもある。
【００３１】
また、適宜の走行手段４１によって左右方向に進退走行する走行部材４２と、この走行部材４２の両端に設けて受取り台Ｄ及び走行体Ｂの旋回保持台２上のガラス基板Ａを同時に支持し、かつ走行部材４２の前進走行にともない受取り台Ｄ上のガラス基板Ａを旋回保持台２上に、旋回保持台２上のガラス基板Ａを回転台Ｅ上に受け渡す適宜の支持手段４３とで構成した搬入兼受渡し装置Ｆが設けてある。
【００３２】
上記の走行部材４２は、例えば図示の場合、フレーム５４の長手方向に沿うレール４４と、このレール４４にスライダ４５を係合して左右方向にスライドする移動部材４６と、この移動部材４６に中間を取付けた水平なアーム４７とで構成され、上記の走行部材４２の走行手段４１は、例えば図示の場合、レール４４に平行して定位置でフリーに回転するように軸承した雄ネジ４８と、この雄ネジ４８の可逆駆動用のモーター４９と、スライダ４６に取付けて雄ネジ４８にねじ込んだ雌ネジ５０とで構成してある。
【００３３】
上記の支持手段４３は、例えば図示の場合アーム４７の両端部下側に筒体と軸材との嵌装ガイド部材５１によって上下方向に案内され、かつシリンダ５２の作用によって昇降する水平部材５３と、このそれぞれの水平部材５３に両端を軸承すると共に、中央から両端部に逆ネジを設けた雄ネジ５５と、この雄ネジ５５を可逆駆動するモーター５６と、水平部材５３に沿うレール条とスライダとの不回転ガイド５７によってスライド自在に設けた二条のスライダ５８と、この各スライダ５８に取付けて雄ネジ５５の両端側にそれぞれねじ込んだ雌ネジ５９と、この各雌ネジ５９に上端を固定した挟持アーム６０とで構成し、モーター５６の運転により雄ネジ５５を回動すると、雌ネジ５９の接近方向の移動にともない対向の挟持アーム６０、６０の先端によりガラス基板Ａの対向辺縁を挟持する。
【００３４】
その際、図４に示すように、ガラス基板Ａの四辺の縁を四本の挟持アーム６０に挟持して安定した支持を行なうようにしたが、かならずしも限定されず、上記挟持方式にかえて吸引（吸盤による）支持手段を採用してもよい。
【００３５】
また、図３及び図５に示すように、走行体Ｂの前進移動側の挟持アーム６０をスライダ５８にピン６１を介し起伏自在に取付け、挟持アーム６０とスライダ５８とに両端を回動自在に取付けたシリンダ６２の作用により挟持アーム６０を上方に逃がす（ガラス基板Ａの吸引ボックス９への供給後ただちに）ことによって、挟持アーム６０の離反、離反後シリンダ５２によって水平部材５３と共に挟持アーム６０を上昇させて退避させる以前に、走行体Ｂをただちに前進走行させることができる。
【００３６】
さらに、コーナーのカット（研磨）ずみ回転台Ｅ上のガラス基板Ａは、適宜の支持手段４３によって前方の搬出点、例えば図示のベルトコンベヤ６３に搬出装置Ｇを介し搬出するようになっている。
【００３７】
上記の支持手段４３付の搬出装置Ｇは、ガラス基板Ａを挟持する搬入兼搬出装置Ｇと同様の構成につき構成の説明を省略する。
【００３８】
要するに、回転台Ｅ上のガラス基板Ａを搬出するもので、吸引（吸盤による）方式などで搬出することもできる。
【００３９】
次に、研磨方法を説明する。
【００４０】
図６に示すように受取り台Ｄのボックス２１上に供給されたガラス基板Ａは、搬入兼受渡し装置Ｆの前進方向の反対側支持手段４３により支持され、搬入兼受渡し装置Ｆの前進走行にともない走行体Ｂの保持台２の直上迄ガラス基板Ａを搬入し、保持台２の吸引ボックス９にガラス基板Ａを吸引支持させる。
【００４１】
空の搬入兼受渡し装置Ｆは、後退復帰させる。
一方、空の受取り台Ｄのボックス２１上には、次のガラス基板Ａが供給される。
【００４２】
上記保持台２上に供給されたガラス基板Ａは、走行手段Ｃの運転による保持台２の前進走行にともない第１回転砥石１３、１３により両側の一方対向二辺の縁が研磨され、研磨終了後に、図７に示すように保持台２を旋回機能によって９０度旋回し、然るのち、走行手段Ｃの運転によって保持台２を後退走行させる。
【００４３】
すると、第１回転砥石１３により、ガラス基板Ａの残る二辺、すなわち他方対向二辺の縁が研磨されて、後退停止位置に保持台２が戻る。
【００４４】
その後に、搬入兼受渡し装置Ｆの前進方向側の支持手段４３により保持台２上の研磨ずみガラス基板Ａを支持し、かつ前進方向の反対側の支持手段４３により受取り台Ｄ上のガラス基板Ａを支持したのち、搬入兼渡し装置Ｆを前進させて、保持台２に次の研磨ガラス基板Ａを、回転台Ｅに四辺縁の研磨ずみガラス基板Ａを供給（図８に示すように）する。
【００４５】
保持台２上のガラス基板Ａは、図９に示すように前述と同様に走行体Ｂの前進走行、旋回機能による９０度旋回、次いで走行体Ｂの後退走行によって四辺の縁を研磨する。
【００４６】
一方、回転台Ｅ上のガラス基板Ａは、吸引ボックス２９によって吸引支持させたのち、旋回機能１によりボックス２９と共にガラス基板Ａを旋回させながら、第２回転砥石２８によってガラス基板Ａの各コーナーを研磨する。
【００４７】
コーナーの研磨ずみガラス基板Ａは、搬出装置Ｇによってベルトコンベヤ６３上に取り下ろして搬出（図１０に示すように）する。
【００４８】
なお、ガラス基板Ａの搬入、搬出移動を、ガラス基板Ａのマークをカメラによって読み取りながら一辺を基準として一定のライン上を移動するように（受取り台Ｄから保持台２に、保持台２から回転台Ｅに）しておくとよい。
【００４９】
【発明の効果】
以上のように、この発明の研磨装置によれば、搬入兼受渡し装置によって受取り台上のガラス基板を走行体の保持台上に、保持台上の四辺縁の研磨ずみガラス基板を回転台上にそれぞれ供給し、走行体の往復走行と保持台の旋回とでガラス基板の四辺縁の研磨の間に回転台の旋回によってガラス基板の各コーナーの研磨を行なうので、ガラス基板の四辺縁の研磨からコーナーの研磨迄の一連の作業能率を大幅にアップすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の実施の形態を示す一部切欠平面図
【図２】同上の一部切欠正面図
【図３】同一部切欠側面図
【図４】挟持アームの配置を示す拡大平面図
【図５】同上の一部切欠側面図
【図６】研磨工程の平面図
【図７】同研磨工程の平面図
【図８】同研磨工程の平面図
【図９】同研磨工程の平面図
【図１０】同研磨工程の平面図
【符号の説明】
Ａ ガラス基板
Ｂ 走行体
Ｃ 走行手段
Ｄ 受取り台
Ｅ 回転台
Ｆ 搬入兼受渡し装置
Ｇ 搬出装置
１ 旋回機能
２ 保持台
３ レール
４ スライダ
５ 第１モーター
６ 雄ネジ
７ 雌ネジ
８ 旋回座
９ 吸引ボックス
１０ 第２モーター
１１、１２ 歯車
１３ 第１回転砥石
１４ レール
１５ ベース
１６ スライダ
１７ 雄ネジ
１８ 第３モーター
１９ 雌ネジ
２０ モーター
２１ ボックス
２２ 座台
２３ 回転軸
２４ 吸引ボックス
２５ 第４モーター
２６、２７ 歯車
２８ 第２回転砥石
２９ レール
３０ フレーム
３１ レール
３２ ベース
３３ 第５モーター
３４ 第６モーター
３５ 雄ネジ
３６ 雌ネジ
４１ 走行手段
４２ 走行部材
４３ 支持手段
４４ レール
４５ スライダ
４６ 移動部材
４７ アーム
４８ 雄ネジ
４９ モーター
５０ 雌ネジ
５１ ガイド部材
５２ シリンダ
５３ 水平部材
５４ フレーム
５５ 雄ネジ
５６ モーター
５７ ガイド
５８ スライダ
５９ 雌ネジ
６０ 挟持アーム
６１ ピン
６２ シリンダ
６３ コンベヤ
【発明の属する技術分野】
この発明は、液晶パネルや板ガラスのエッジを研磨し、かつコーナーの面取り加工するガラス基板の研磨装置に関する。
【０００２】
【従来の技術及びその課題】
ガラス基板の各辺縁の面取り加工やコーナーの面取り加工する従来技術としては、例えば特願平１１−３２４９３号に示すように、走行体の保持台に板ガラスを載置して保持したのち、走行体を前進走行させる。
【０００３】
すると、走行路の両側の回転砥石により板ガラスの一方の対向二辺の側縁が研磨される。
【０００４】
次いで走行体の前進停止後に保持台を９０度旋回させたのち、走行体を後退走行させる。
【０００５】
すると、走行路の両側の回転砥石により板ガラスの他方の対向（残る）二辺の側縁が研磨される。
【０００６】
なお、走行体の走行途中に保持台を９０度旋回させて、旋回以前に板ガラスの一方の対向二辺の側縁を、旋回以後に板ガラスの他方の対向二辺の側縁を回転砥石により研磨する。
【０００７】
上記のような研磨方式によると、板ガラスの四辺の側縁の研磨のみで、板ガラスのコーナーの研磨を行なう場合、別途の場所（工程）でコーナーの研磨を行なうので、板ガラスの移載などにより非能率的になって大幅なコストアップになる。
【０００８】
そこで、特願２００１−３８２７３０に示すように、走行体の保持台に板ガラスを載置して保持させたのち、走行体を前進走行させて走行路の両側の回転砥石により板ガラスの一方の対向二辺の側縁を研磨し、次いで前進停止した走行体の保持台を旋回させながらコーナー用回転砥石により板ガラスの各コーナーを研磨し、然るのち走行体を後退走行させながら走行路の両側の回転砥石により板ガラスの他方の対向（残る）二辺の側縁を研磨する。
【０００９】
すると、前述のような別途コーナーの研磨工程が不要になる。
【００１０】
然しながら、上記のような研磨方式によると、走行体の前進、前進停止後の保持台の旋回、走行体の後退停止後に研磨ずみ板ガラスを取り下ろして、保持台に次の板ガラスの供給を受けるので、保持台の稼働率が著しく低下する問題があった。
【００１１】
そこで、この発明は、ガラス基板の四辺縁の研磨とコーナーの研磨とが極めて能率よく行なうことができるようにする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するために、この発明は、適宜の走行手段により前後方向に進退走行するように設けた走行体と、この走行体に載置ガラス基板を吸引保持手段により保持するように設けた旋回機能付の保持台と、上記走行体の走行路の両外側に上記ガラス基板の走行方向に平行する二辺の縁を面取り加工するように設けた第１回転砥石と、後退停止した上記走行体の一側手前と他側前方とに前記走行体からそれぞれ一定の距離を存して設けたガラス基板の受取り台及び吸引保持手段を有する旋回機能付の回転台と、この回転台の近傍に設けたガラス基板のコーナーのカット用第２回転砥石と、適宜の走行手段により左右方向に進退走行する走行部材と、この走行部材の両端部に設けて上記受取り台及び旋回保持台上のガラス基板を支持する適宜の支持手段とからなる搬入兼受渡し装置と、上記旋回台上のガラス基板を適宜の支持手段により支持して搬出するように設けた搬出装置とからなる研磨装置を採用する。
【００１３】
【発明の実施の形態】
この発明の実施の形態を添付図面に基づいて説明する。
【００１４】
この発明の実施形態では、図１から図５に示すように、Ｂは適宜の走行手段Ｃにより前後方向に進退走行する走行体で、この走行体Ｂには、載置したガラス基板Ａを吸引保持方式により保持する旋回機能１付の保持台２が設けてある。
【００１５】
上記の走行手段Ｃは、図示の場合二条の平行するレール３に走行体Ｂの下面両側に設けてあるスライダ４を係合してガイドすると共に、第１モーター５により定位置でフリーに回転する雄ネジ６を軸承して、走行体Ｂの下面に取付けてある雌ネジ７を雄ネジ６にねじ込んで構成する。
【００１６】
上記の保持台２は、図示の場合、走行体Ｂ上に設けた旋回座８上に上面に無数の小孔群を有する吸引ボックス９を据え付けると共に、吸引ボックス９内を吸引することで保持台２に載置したガラス基板Ａを吸引保持し、上記の旋回機能１は、図示の場合第２モーター１０により駆動する小径の歯車１１と旋回座８の外周に設けてある大径の歯車１２とを噛み合わせて旋回させるようにしてある。
【００１７】
また、走行体Ｂの走行路の両側には、保持台２に吸引保持したガラス基板Ａの両側縁面の上縁と下縁とを面取り研磨するそれぞれ前後一対の第１回転砥石１３、１３が設けてある。
【００１８】
上記の第１回転砥石１３、１３は、ガラス基板Ａの幅寸法に応じて（検出幅の数値制御により）調整できるようになっている。
【００１９】
上記の調整は、図１及び図３に示すように、レール１４に左右のベース１５の裏面スライダ１６をスライド自在に係合すると共に、中央から両端に逆ネジを設けた定位置での軸承雄ネジ１７を第３モーター１８により可逆駆動し、左右のベース１５にそれぞれ取付けた雌ネジ１９の片方を雄ネジ１７の一端側に、もう片方を雄ネジ１７の他端側にそれぞれねじ込み、左右のベース１５、１５にモーター２０により回動する第１回転砥石１３、１３を据え付ける。
【００２０】
すると、ガラス基板Ａの幅を適宜の検出手段により検出し、そして数値制御によって第３モーター１８の運転より雄ネジ１７を可逆駆動すると、左右のベース１５、１５を接近、離反方向に移動させながら、左右の第１回転砥石１３、１３の対向間（位置）を調整することができる。
【００２１】
なお、左右の第１回転砥石１３、１３は、ベース１５に対するモーター２０の据え付け角度を自由に調整できて（図示省略）、ガラス基板Ａの面取り角度が所望の角度になるようにしてある。
【００２２】
また、後退停止している走行体Ｂの一側手前と他側前方とには、一定の等間隔を存してガラス基板Ａの受取り台Ｄと、ガラス基板の吸引保持手段付旋回機能１付の回転台Ｅとが設けてある。
【００２３】
上記受取り台Ｄは、図示の場合上面がフラットな中空ボックス２１により形成し、このボックス２１上に人手や入れ込み機によってガラス基板Ａを載置するようになっている。
【００２４】
その際、ボックス２１の頂壁に無数の小孔群を設けて、ボックス２１内を吸引することで供給ずみガラス基板Ａを搬出する迄安定よく保持することができるようになっている。
【００２５】
上記回転台Ｅは、座台２２にフリーな回転軸２３を軸承して、この回転軸２３の上端に頂壁に無数の小孔群を有する吸引ボックス２４を据え付けて、この吸引ボックス２４上にガラス基板Ａが供給されたのち、吸引ボックス２４内を吸引して吸引ボックス２４上にガラス基板Ａを安定よく保持するようになっている。
【００２６】
そして、旋回機能１は、保持台２の吸引ボックス９と同様に第４モーター２５により駆動する小径の歯車２６と、回転軸２３の外周に設けた大径の歯車２７とを噛み合わせて構成する。
【００２７】
さらに、回転台Ｅの近傍には、ガラス基板Ａのコーナーをカット（研磨）する第２回転砥石２８が設けてある。
【００２８】
上記の第２回転砥石２８は、ガラス基板Ａの寸法に応じて前後、左右に数値制御によって移動できるようにしてある。
【００２９】
上記の移動方式としては、例えば図１及び図２に示すように、レール２９にスライダ（図示省略）を係合して前後方向にスライドする左右方向に長い水平なフレーム３０と、このフレーム３０の長手方向に沿うレール３１にスライド自在に係合したベース３２と、このベース３２に据え付けた第２回転砥石２８の駆動用第５モーター３３と第６モーター３４によって定位置で可逆駆動するそれぞれの（縦方向と横方向との）雄ネジ３５にねじ込んでフレーム３０とベース３２とに支持させた雌ネジ３６とで構成し、一方の雄ネジ３５の駆動によってフレーム３０を前後方向に、もう一方の雄ネジ３５の駆動によってベース３２を左右方向にそれぞれ移動させてガラス基板Ａのコーナーの旋回軌道上に第２回転砥石２８の停止位置を数値制御によって位置決めを行なうようにしている。
【００３０】
なお、コーナー研磨用の第２回転砥石２８は、図示の１個に限定されず、特願２００１−３８２７３０のように２個配置することもある。
【００３１】
また、適宜の走行手段４１によって左右方向に進退走行する走行部材４２と、この走行部材４２の両端に設けて受取り台Ｄ及び走行体Ｂの旋回保持台２上のガラス基板Ａを同時に支持し、かつ走行部材４２の前進走行にともない受取り台Ｄ上のガラス基板Ａを旋回保持台２上に、旋回保持台２上のガラス基板Ａを回転台Ｅ上に受け渡す適宜の支持手段４３とで構成した搬入兼受渡し装置Ｆが設けてある。
【００３２】
上記の走行部材４２は、例えば図示の場合、フレーム５４の長手方向に沿うレール４４と、このレール４４にスライダ４５を係合して左右方向にスライドする移動部材４６と、この移動部材４６に中間を取付けた水平なアーム４７とで構成され、上記の走行部材４２の走行手段４１は、例えば図示の場合、レール４４に平行して定位置でフリーに回転するように軸承した雄ネジ４８と、この雄ネジ４８の可逆駆動用のモーター４９と、スライダ４６に取付けて雄ネジ４８にねじ込んだ雌ネジ５０とで構成してある。
【００３３】
上記の支持手段４３は、例えば図示の場合アーム４７の両端部下側に筒体と軸材との嵌装ガイド部材５１によって上下方向に案内され、かつシリンダ５２の作用によって昇降する水平部材５３と、このそれぞれの水平部材５３に両端を軸承すると共に、中央から両端部に逆ネジを設けた雄ネジ５５と、この雄ネジ５５を可逆駆動するモーター５６と、水平部材５３に沿うレール条とスライダとの不回転ガイド５７によってスライド自在に設けた二条のスライダ５８と、この各スライダ５８に取付けて雄ネジ５５の両端側にそれぞれねじ込んだ雌ネジ５９と、この各雌ネジ５９に上端を固定した挟持アーム６０とで構成し、モーター５６の運転により雄ネジ５５を回動すると、雌ネジ５９の接近方向の移動にともない対向の挟持アーム６０、６０の先端によりガラス基板Ａの対向辺縁を挟持する。
【００３４】
その際、図４に示すように、ガラス基板Ａの四辺の縁を四本の挟持アーム６０に挟持して安定した支持を行なうようにしたが、かならずしも限定されず、上記挟持方式にかえて吸引（吸盤による）支持手段を採用してもよい。
【００３５】
また、図３及び図５に示すように、走行体Ｂの前進移動側の挟持アーム６０をスライダ５８にピン６１を介し起伏自在に取付け、挟持アーム６０とスライダ５８とに両端を回動自在に取付けたシリンダ６２の作用により挟持アーム６０を上方に逃がす（ガラス基板Ａの吸引ボックス９への供給後ただちに）ことによって、挟持アーム６０の離反、離反後シリンダ５２によって水平部材５３と共に挟持アーム６０を上昇させて退避させる以前に、走行体Ｂをただちに前進走行させることができる。
【００３６】
さらに、コーナーのカット（研磨）ずみ回転台Ｅ上のガラス基板Ａは、適宜の支持手段４３によって前方の搬出点、例えば図示のベルトコンベヤ６３に搬出装置Ｇを介し搬出するようになっている。
【００３７】
上記の支持手段４３付の搬出装置Ｇは、ガラス基板Ａを挟持する搬入兼搬出装置Ｇと同様の構成につき構成の説明を省略する。
【００３８】
要するに、回転台Ｅ上のガラス基板Ａを搬出するもので、吸引（吸盤による）方式などで搬出することもできる。
【００３９】
次に、研磨方法を説明する。
【００４０】
図６に示すように受取り台Ｄのボックス２１上に供給されたガラス基板Ａは、搬入兼受渡し装置Ｆの前進方向の反対側支持手段４３により支持され、搬入兼受渡し装置Ｆの前進走行にともない走行体Ｂの保持台２の直上迄ガラス基板Ａを搬入し、保持台２の吸引ボックス９にガラス基板Ａを吸引支持させる。
【００４１】
空の搬入兼受渡し装置Ｆは、後退復帰させる。
一方、空の受取り台Ｄのボックス２１上には、次のガラス基板Ａが供給される。
【００４２】
上記保持台２上に供給されたガラス基板Ａは、走行手段Ｃの運転による保持台２の前進走行にともない第１回転砥石１３、１３により両側の一方対向二辺の縁が研磨され、研磨終了後に、図７に示すように保持台２を旋回機能によって９０度旋回し、然るのち、走行手段Ｃの運転によって保持台２を後退走行させる。
【００４３】
すると、第１回転砥石１３により、ガラス基板Ａの残る二辺、すなわち他方対向二辺の縁が研磨されて、後退停止位置に保持台２が戻る。
【００４４】
その後に、搬入兼受渡し装置Ｆの前進方向側の支持手段４３により保持台２上の研磨ずみガラス基板Ａを支持し、かつ前進方向の反対側の支持手段４３により受取り台Ｄ上のガラス基板Ａを支持したのち、搬入兼渡し装置Ｆを前進させて、保持台２に次の研磨ガラス基板Ａを、回転台Ｅに四辺縁の研磨ずみガラス基板Ａを供給（図８に示すように）する。
【００４５】
保持台２上のガラス基板Ａは、図９に示すように前述と同様に走行体Ｂの前進走行、旋回機能による９０度旋回、次いで走行体Ｂの後退走行によって四辺の縁を研磨する。
【００４６】
一方、回転台Ｅ上のガラス基板Ａは、吸引ボックス２９によって吸引支持させたのち、旋回機能１によりボックス２９と共にガラス基板Ａを旋回させながら、第２回転砥石２８によってガラス基板Ａの各コーナーを研磨する。
【００４７】
コーナーの研磨ずみガラス基板Ａは、搬出装置Ｇによってベルトコンベヤ６３上に取り下ろして搬出（図１０に示すように）する。
【００４８】
なお、ガラス基板Ａの搬入、搬出移動を、ガラス基板Ａのマークをカメラによって読み取りながら一辺を基準として一定のライン上を移動するように（受取り台Ｄから保持台２に、保持台２から回転台Ｅに）しておくとよい。
【００４９】
【発明の効果】
以上のように、この発明の研磨装置によれば、搬入兼受渡し装置によって受取り台上のガラス基板を走行体の保持台上に、保持台上の四辺縁の研磨ずみガラス基板を回転台上にそれぞれ供給し、走行体の往復走行と保持台の旋回とでガラス基板の四辺縁の研磨の間に回転台の旋回によってガラス基板の各コーナーの研磨を行なうので、ガラス基板の四辺縁の研磨からコーナーの研磨迄の一連の作業能率を大幅にアップすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の実施の形態を示す一部切欠平面図
【図２】同上の一部切欠正面図
【図３】同一部切欠側面図
【図４】挟持アームの配置を示す拡大平面図
【図５】同上の一部切欠側面図
【図６】研磨工程の平面図
【図７】同研磨工程の平面図
【図８】同研磨工程の平面図
【図９】同研磨工程の平面図
【図１０】同研磨工程の平面図
【符号の説明】
Ａ ガラス基板
Ｂ 走行体
Ｃ 走行手段
Ｄ 受取り台
Ｅ 回転台
Ｆ 搬入兼受渡し装置
Ｇ 搬出装置
１ 旋回機能
２ 保持台
３ レール
４ スライダ
５ 第１モーター
６ 雄ネジ
７ 雌ネジ
８ 旋回座
９ 吸引ボックス
１０ 第２モーター
１１、１２ 歯車
１３ 第１回転砥石
１４ レール
１５ ベース
１６ スライダ
１７ 雄ネジ
１８ 第３モーター
１９ 雌ネジ
２０ モーター
２１ ボックス
２２ 座台
２３ 回転軸
２４ 吸引ボックス
２５ 第４モーター
２６、２７ 歯車
２８ 第２回転砥石
２９ レール
３０ フレーム
３１ レール
３２ ベース
３３ 第５モーター
３４ 第６モーター
３５ 雄ネジ
３６ 雌ネジ
４１ 走行手段
４２ 走行部材
４３ 支持手段
４４ レール
４５ スライダ
４６ 移動部材
４７ アーム
４８ 雄ネジ
４９ モーター
５０ 雌ネジ
５１ ガイド部材
５２ シリンダ
５３ 水平部材
５４ フレーム
５５ 雄ネジ
５６ モーター
５７ ガイド
５８ スライダ
５９ 雌ネジ
６０ 挟持アーム
６１ ピン
６２ シリンダ
６３ コンベヤ
Claims (1)
- 適宜の走行手段により前後方向に進退走行するように設けた走行体と、この走行体に載置ガラス基板を吸引保持手段により保持するように設けた旋回機能付の保持台と、上記走行体の走行路の両外側に上記ガラス基板の走行方向に平行する二辺の縁を面取り加工するように設けた第１回転砥石と、後退停止した上記走行体の一側手前と他側前方とに前記走行体からそれぞれ一定の距離を存して設けたガラス基板の受取り台及び吸引保持手段を有する旋回機能付の回転台と、この回転台の近傍に設けたガラス基板のコーナーのカット用第２回転砥石と、適宜の走行手段により左右方向に進退走行する走行部材と、この走行部材の両端部に設けて上記受取り台及び旋回保持台上のガラス基板を支持する適宜の支持手段とからなる搬入兼受渡し装置と、上記旋回台上のガラス基板を適宜の支持手段により支持して搬出するように設けた搬出装置とからなる研磨装置。
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