JP5046775B2 - 研磨装置 - Google Patents

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Description

この発明は、液晶パネルや板ガラスなどのガラス基板の各辺のエッジを研磨し、かつコーナーの面取り加工をする研磨装置に関する。
ガラス基板の周囲四辺の各辺のエッジを研磨し、かつ各コーナーを面取り研磨するには、搬送基台のテーブル上にガラス基台を載置したのち、上記の搬送基台を前進走行させながら、走行途中に走行方向に沿う平行する二辺の短辺縁を左右の回転研磨部材によって研磨する。
そして、搬送基台が前進停止すると、保持テーブルを可逆回転させながらガラス基板を旋回させ、この旋回にともない回転研磨によってコーナーの研磨を行なう。
その後にテーブルを90度回転させて搬送基台の走行方向前後に前述の研磨ずみ二辺を位置させると共に、搬送基台を後進走行させながら、走行途中に走行方向に沿う平行する二辺の長辺縁を左右の回転研磨部材によって研磨し、四辺縁とコーナーの研磨ずみガラス基板を搬送基台の後進停止位置で取り出し、次の加工ガラス基板を供給する研磨方式がある。(特許文献1)。
また、搬入兼受渡し装置の支持手段により受取り台上のガラス基板を走行体の保持台上に供給して保持させたのち、保持台の前進走行によって回転砥石によりガラス基板の両側の対向二辺の縁を研磨し、研磨終了後に保持台を90度旋回させたのち、保持台を後進走行させながらガラス基板の残る対向二辺の縁を研磨する。
その後に、搬入兼受渡し装置の支持手段により保持台上の研磨ずみガラス基板を支持して、回転台上に前述の四辺縁の研磨ずみガラス基板を供給したのち、回転台上のガラス基板を旋回させながら、各コーナーを研磨する方式がある(特許文献2)。
特開平10−118907号公報 特開2004−154914号公報
ところで、特許文献1の研磨方式によると、基台の前進にともないガラス基板の一方の二辺を研磨し、基台の前進停止位置で基台のテーブルの旋回によってガラス基板の各コーナーを研磨したのち、基台を後進させながらガラス基板の他方の二辺を研磨するため、基台の後退走行がガラス基板の旋回にともなうコーナーの研磨が終了する迄できない。このため、ガラス基板の辺縁の研磨能率が大幅に低下する問題があった。
また、特許文献2の方式によると、1台の搬入兼受渡し装置の支持手段により受取り台の未研磨のガラス基板の供給と、走行体の保持台上の四辺研磨ずみのガラス基板を上記1台の搬入兼受渡し装置の支持手段により旋回回転台上に払い出す(供給)するようにしてあるので、研磨の一連の作業ができても、1台の搬入兼受渡し装置を使用するため、保持台を有する走行体の前進及び後進が迅速にできず、このため、研磨能率が低下する。
そこで、この発明は、1枚のガラス基板の研磨能率を少しでもアップして、単位時間あたりの研磨生産性を向上した研磨装置を提供することにある。
上記の課題を解決するために、この発明は、走行手段により前後方向に進退走行するように設けた走行体と、この走行体に供給にともない載置するガラス基板を吸引保持手段により保持するように設けた旋回機能付の保持台と、上記走行体の走行路の両側に上記ガラス基板の走行方向に平行する二辺の縁を面取り加工するように設けた接近、離反の移動手段付の辺縁研磨回転砥石と、上記保持台の前進停止位置の直上と払い出し搬出位置との間で進退移動するように設けた移動体と、この移動体に昇降手段により昇降し、かつ旋回手段により旋回すると共に、上記保持台上の辺縁研磨ずみガラス基板を荷受けするように設けた吸引荷受け手段と、上記吸引荷受け手段に荷受けしたガラス基板の各コーナーを研磨するように設けたコーナー研磨回転砥石とからなる構成を採用する。
また、走行手段により前後方向に進退走行するように設けた走行体と、この走行体に供給にともない載置するガラス基板を吸引保持手段により保持するように設けた旋回機能付の保持台と、上記走行体の走行路の両側に上記ガラス基板の走行方向に平行する二辺の縁を面取り加工するように設けた接近、離反の移動手段付の辺縁研磨回転砥石と、上記保持台の後退停止位置の直上とガラス基板の供給側との間で進退移動するように設けた移動体と、この移動体に昇降手段により昇降すると共に、供給ガラス基板を荷受けし、かつ後退停止位置の上記保持台上にガラス基板を荷下ろしする吸引保持手段付の入れ込み保持台と、この入れ込み保持台の移動路の途中に上記ガラス基板の移動を妨げないように設けた退避手段付のガラス基板のコーナー研磨回転砥石からなる構成を採用する。
さらに、走行手段により前後方向に進退走行するように設けた走行体と、この走行体に供給にともない載置するガラス基板を吸引保持手段により保持するように設けた旋回機能付の保持台と、上記走行体の両側に上記ガラス基板の走行方向に平行する二辺の縁を面取り加工するように設けた接近、離反の移動手段付の辺縁研磨回転砥石と、上記保持台の直上とガラス基板の払い出しとの間で進退移動するように設けた移動体と、この移動体に昇降手段により昇降すると共に、上記保持台上のガラス基板を荷受けする吸引保持手段付の払い出し保持台と、この払い出し保持台の移動路の途中に上記ガラス基板の移動を妨げないように設けた退避手段付のガラス基板のコーナー研磨回転砥石とからなる構成を採用する。
すると、ガラス基板の四辺縁の面取り研磨と各コーナーの研磨とが、また各コーナーの研磨と四辺縁の面取り研磨とが極めて能率よく行なうことができる。
以上のように、この発明の研磨装置によれば、後進停止している保持台上にガラス基板を供給することで、保持台の前進時に辺縁研磨回転砥石によりガラス基板の一方の二辺縁を面取り研磨し、保持台の前進終了から後進途中に旋回機能によって保持台を90度旋回させ、保持台の後進終了後保持台を前進させながら、辺縁研磨回転砥石により他方の(残る)二辺縁を面取り研磨し、四辺縁の研磨ずみガラス基板は、保持台の前進停止にともない移動体の前進により待機させてある吸引荷受け手段を昇降手段により降送して保持台上の四辺縁の研磨ずみガラス基板を荷受けすると共に、空の保持台を後進させて次のガラス基板の供給を受けるようにし、その間に旋回手段により吸引荷受手段に保持させてあるガラス基板の二つのコーナー移動体と共にガラス基板を前進させてコーナー研磨砥石にガラス基板の二つのコーナーを当接させて研磨し、次に移動体と共にガラス基板を後退させ、かつ旋回手段により吸引荷受け手段と共に保持ガラス基板を180度回転させたのち、移動体と共にガラス基板を前進させて、ガラス基板の残る二つのコーナーをコーナー研磨砥石に当接させて研磨し、その後に移動体と共にガラス基板を払い出し移動するので、ガラス基板の一方の二辺、次に他方の二辺、そして各コーナーの研磨を能率よく、しかも保持台の無駄のない有効利用により著しく能率のアップをはかることができる。
また、上述の辺縁研磨回転砥石により四辺の辺縁を行なう保持台手前のガラス基板の供給(入れ込み)側や、四辺の辺縁研磨ずみガラス基板の保持台の後方搬出(払い出し)側に設けた移動体の吸引保持機能付の入れ込み保持台や払い出し保持台にガラス基板を荷受けすると共に、この荷受けしたガラス基板を前後方向に移動体により移動させて、まず二つのコーナーを、次に残る二つのコーナーをコーナー研磨回転砥石により研磨するので、上述と同様の保持台の無駄のない有効利用で能率のアップをはかる四辺縁及びコーナーの研磨ができる。
以下、この発明の実施の形態を添付図面に基づいて説明する。
この発明の第1の実施形態では、図1から図5に示すように、走行手段Bにより前後方向に進退走行する走行体1には、人手や入れ込み機による供給にともない載置するガラス基板Aを吸引保持手段Cにより保持する旋回機能D付の保持台2が設けてある。
上記の走行手段Bは、図示の場合二条のレール3と、保持台2の下面両側に設けてレール3にスライド自在に係合したスライダ4と、両端を定位置でフリーに回転するように軸承すると共に、第1モーター5により可逆駆動する雄ネジ6と、保持台2に取付けて雄ネジ6にねじ込んだ雌ネジ7とで構成され、第1モーター5の可逆運転により走行体1を前進、後進走行させるようにしたが、限定されず、その他の構成によって走行体1を前進、後進させてもよい。
上記の吸引保持手段Cは、図示の場合保持台2を中空のボックスにより形成すると共に、保持台2の頂壁に小孔8群を設けて、吸引機(図示省略)による保持台2内を吸引して保持台2に載置したガラス基板Aを吸引により保持し、上記の旋回機能Dは、走行体1上に据え付けたモーター9の回転側に保持台2を支持させておく。
さらに、走行体1の走行路の両側左右には、ガラス基板Aの走行方向に平行する二辺の縁を面取り加工する辺縁研磨回転砥石10が配置してある。
上記の辺縁研磨回転砥石10は、図示の場合上下の対向周縁部を噛み合い状に嵌め込んだ上下間にガラス基板Aを介在させて研磨するようにしたが、限定されず、また左右の辺縁研磨回転砥石10は、ガラス基板Aの左右の辺縁の対向間隔に対応できるように、接近、離反調整できるようになっている。
例えば図示の場合、走行体1の走行路の上を横切る水平材11の両端から中間部迄にレール12を設けて、このレール12にモーターによりそれぞれドライブされる辺縁研磨回転砥石10の軸承支持部材13のスライダ14をスライド自在に係合すると共に、水平材11に雄ネジ15の両端を軸承して、この片方雄ネジ15の片端側に片側の支持部材13に取り付けてある雌ネジ16を、もう片方雄ネジ15のもう片端側にもう片側支持部材13に取り付けてある雌ネジ16をそれぞれねじ込み、数値制御により第2モーター17を可逆運転して、雄ネジ15を駆動することで、両支持部材13,13を接近、離反方向にスライドさせて、両辺縁研磨回転砥石10の対向間隔をガラス基板Aの二辺間の寸法に見合う位置に移動させるようにしてある。
また、保持台1の前進停止位置と払い出し搬出位置との間で進退移動する移動体19を設けると共に、この移動体19には、昇降手段20により昇降し、かつ旋回手段21により旋回すると共に、保持台2上のガラス基板Aを吸引支持する吸引荷受け手段22が設けてある。
上記の移動体19は、図示の場合、保持台1側と払い出し側方向に向く水平材23のレール24に移動体19のスライダ25をスライド自在に係合すると共に、水平材23の両端に雄ネジ26を軸承して、この雄ネジ26に移動体19に取付けた雌ネジ27をねじ込み、第3モーター28の可逆運転により雄ネジ26をドライブして、前後方向に移動体19を走行させるようにしたが、限定されず、その他の手段(構成)によって移動体19を前後方向に走行させることもある。
上記の昇降手段20には、図示の場合シリンダを用い、旋回手段21には、数値制御により運転するモーターを用い、吸引荷受け手段22は、図示の場合水平なプレート29と、このプレート29の下面に、吸引と、吸引の解除可能な吸盤30を配置したが、限定されず、例えば保持台2の方式を採用してもよい。
また、辺縁研磨回転砥石10による辺縁研磨後のガラス基板Aの各コーナーは、コーナー研磨回転砥石31によって研磨される。
上記のコーナー研磨回転砥石31は、ガラス基板Aの両側のコーナーの位置の変位にともないその都度左右(両側)の位置、すなわち、ガラス基板Aの両側縁間の寸法により接近離反調整できるようにしてあり、上記の接近離反調整手段としては、図示の場合、辺縁研磨回転砥石10の取付け支持部材13に取付けてあるが辺縁研磨回転砥石10とは別にコーナー研磨回転砥石31を接近、離反調整するようにしてもよい。
その際、辺縁研磨回転砥石10のレベルよりも高い位置のレベルにコーナー研磨回転砥石31を配置して、辺縁研磨後のガラス基板Aがコーナー研磨回転砥石31に衝突しないように考慮してある。
図中32は辺縁、コーナー研磨ずみガラス基板Aを払い出すベルトコンベヤである。
上記のように構成すると、後退停止している保持台2上にガラス基板Aを載置(供給)して、保持台2にガラス基板Aを吸引保持する。その後に保持台2を走行手段Bの正転運転により前進走行させる。
その際、周知のようにガラス基板Aのコーナー側の印をカメラによって読み取り、この読み取りにともない旋回手段Dにより保持台2を修正の角度回動させて、アライメントする。
次に図6の(イ)に示す保持台2の前進走行にともないガラス基板Aの走行方向に平行する二辺の縁を辺縁を辺縁研磨回転砥石10により研磨し、図6(ロ)に示すように保持台2が前進停止する。
次に走行手段Bの逆転運転により保持台2を図6(ハ)から(ニ)に示す位置迄後退走行させる。その際、図6(ハ)と(ニ)との間で旋回機能Dにより保持台2を90度旋回させて、走行方向に残る二辺が平行するようにする。すなわち、短辺と長辺とを入れ替える。
しかして、走行手段Bの正転運転により図6(ホ)から(ヘ)に示す位置に保持台2の前進走行させながら辺縁研磨回転砥石10により残る二辺縁の研磨を行なう。
保持台2が前進位置で停止すると、直上で待機している吸引荷受手段22を昇降手段20により降送して、保持台2上の四辺縁研磨ずみのガラス基板Aを吸引荷受手段22に荷受けし、荷受け後に昇降手段20により吸引荷受手段22と共にガラス基板Aを上昇させる。その間に、保持台2を後進させて、停止後に空の保持台2上に次のガラス基板Aを供給する。
上記吸引荷受手段22に荷受けされたガラス基板Aは、ます第3モーター28の正転運転により移動体19を図1左方向に後進させて、ガラス基板Aを後進させて、図7(ハ)に示すようにガラス基板Aの一辺側の2つのコーナーをコーナー研磨回転砥石31に当接させてコーナー研磨し、次に、第3モーター28の逆転運転により移動体19と共にガラス基板Aを若干前進移動させ、この間に旋回手段21により吸引荷受手段22と共にガラス基板Aを180度旋回させる。
その後に、第3モーター28を正転運転により移動体19を後退させて、ガラス基板Aの他辺側の2つのコーナーをコーナー研磨回転砥石31に当接させてコーナーを研磨する。
しかして、第3モーター28の逆転運転により移動体19と共にガラス基板Aを前進させ、コンベヤ32の直上に到達すると、昇降手段20によりガラス基板Aと共に吸引荷受手段22を降送し、然るのち、吸引の解除したガラス基板Aをコンベヤ32上に払い出す。
なお、上記コーナーの研磨の際には、次のガラス基板Aの四辺縁の研磨が(図7に示すように)行なわれる。
この発明の第2の実施形態では、図8、9に示すように、第1の実施形態の走行手段Bにより旋回機能D付の吸引保持手段Cを有する保持台2が前後方向に走行し、保持台2の走行路の両側に走行方向に平行する二辺の辺縁を辺縁研磨回転砥石10により面取り研磨する方式の保持台2の後退停止位置の直上とガラス基板Aの供給側との間で進退移動する移動体35には、昇降手段36により昇降すると共に、供給ガラス基板Aを荷受し、かつ後退停止位置の保持台2上にガラス基板Aを荷下ろしする吸引保持手段37付の入れ込み保持台38が設けてある。
上記の移動体35は、図示の場合、前後方向に向く水平材39のレール40に移動体35のスライダ41をスライド自在に係合すると共に、水平材39の両端に両端を回動自在に軸承してある雄ネジ42に移動体35に取付けてある雌ネジ43をねじ込み、第4モーター44の可逆運転により雄ネジ42をドライブすることで、移動体35が進退移動するようにしてあり、昇降手段36には、図示の場合シリンダが用いられ吸引保持手段37は、図示の場合、第1の実施形態と同様のプレート、プレートの下面に取付けた、吸引、吸引解除のできる吸盤とで構成したが、限定されず、保持台2の方式を採用することもできる。
また、後退停止している保持台2の手前には、移動体35の走行路の両側に配置すると共に、接近、離反調整手段E付のガラス基板Aの一辺の両コーナー研磨回転砥石45が設けてある。
上記の接近、離反調整手段Eは、図8、9に示すように、水平材39の上側を横切る門形のフレーム46の水平部分の中央部分から端に向けレール47を設けて、このレール47に左右の支持部材48のスライダ49をスライド自在に係合すると共に、両端を回動自在に軸承した雄ネジ50にそれぞれの支持部材48に取付けてある雌ネジ51をねじ込み、第5モーター52の数値制御による可逆運転によって雄ネジ50をドライブして、両支持部材48を接近、離反スライドさせて、支持部材48に支持させてあるコーナー研磨回転砥石45の間隔をガラス基板Aの一辺の両コーナーの位置に停止させる調整ができるようにしてある。
上述の走行手段B、旋回機能D、吸引保持手段C、保持台2の走行路の両側の辺縁研磨回転砥石10は、第1の実施形態と同様につき構成、作用の説明(四辺の辺縁の研磨)を省略する。
上記のように構成すると、コンベヤ53によって搬入したガラス基板Aが停止すると、昇降手段36により吸引保持手段37が降送されてコンベヤ53上のガラス基板Aを吸引保持する。
保持後に昇降手段36により吸引保持手段37と共にガラス基板Aを上昇させたのち、第4モーター44の運転により移動体35を前進走行させて、図10(イ)に示すように両コーナー研磨回転砥石45、45にガラス基板Aの走行方向側辺の両コーナーを当接させて、移動体35を停止することで、コーナー研磨が行なわれる。
その後に、第5モーター52の運転によってコーナー研磨回転砥石45、45を図10(ロ)に示すように離反させ、この状況下で移動体35を前進走行させて、コーナー研磨回転砥石45間をガラス基板Aが通過すると、移動体35の前進を止める。
然るのち、両コーナー研磨回転砥石45を第5モーター52の運転によって研磨位置に戻し、次いで移動体35を後進させて両コーナー研磨回転砥石45に図10の(ハ)に示すガラス基板Aの後進方向側辺の両コーナーを当接させながら研磨する。
四つのコーナーの研磨ずみガラス基板Aは、後退停止している保持台2の直上に搬入し、搬入後に昇降手段36により保持台2上にガラス基板Aを荷下ろしして受け渡す。
受け渡したガラス基板Aは、第1の実施形態と同様の手順をへて、辺縁研磨回転砥石10により四辺縁の面取り研磨を行なう。
そして、第1の実施形態の旋回手段21のない水平材23、レール24、スライダ25、雄ネジ26、雌ネジ27、第3モーター28、昇降手段20、吸引荷受手段22により構成された払い出し機Fによりコンベヤ32上に、コーナー、辺縁の研磨ずみガラス基板Aを払い出す。
この発明の第3の実施形態では、図11に示すように、第1の実施形態の走行手段Bにより前後方向に走行する旋回機能D付の吸引保持手段Cを有する保持台2上に入れ込み機G(第2の実施形態の移動体35、昇降手段36、吸引保持手段37により構成した方式などによる)により供給したガラス基板Aを保持台2の前進走行の途中に辺縁研磨回転砥石10によりまず二辺縁を面取り研磨し、次いで前進停止した保持台2を後進させると共に、後進途中に旋回機能Dにより保持台2を、90度旋回させる。
そして、再度保持台2を前進走行させながら、ガラス基板Aの残る二辺を辺縁研磨回転砥石10により面取り加工する。この四辺の面取り研磨する構成は、第1の実施形態と同様につき構成の説明を省略する。
四辺研磨ずみガラス基板Aの保持台2が前進停止すると、その直上と前方の搬出間で前後方向に進退移動する移動体61と、この移動体61に昇降手段62により昇降すると共に、保持台2上のガラス基板Aを吸引荷受けする吸引保持手段63とで構成した払い出し機Hが設けてある。
上記移動体61の進退方式は、第2の実施形態と同様につき構成の説明を省略する。
また、吸引保持手段63及び昇降手段62は、第2の実施形態と同様につき構成の説明を省略する。
そして、吸引保持手段63によって吸引保持したガラス基板Aの払い出し走行路の途中の両側には、接近、離反調整手段E付のガラス基板Aの一辺の両コーナー研磨回転砥石65が設けてある。
上記のコーナー研磨回転砥石65の接近、離反調整手段Eは、第2の実施形態と同様につき構成の説明を省略する。
すると、保持台2上の四辺縁の研磨ずみガラス基板Aを吸引保持手段63に荷受けして前方に移動体61を走行させながら、コーナー研磨回転砥石65にガラス基板Aの走行方向側辺の両コーナーを当接することで、コーナー研磨され、研磨後に両コーナー研磨回転砥石65を接近、離反調整手段Eにより離反させて、保持台2と共にガラス基板Aを前方に走行させて通過させ、通過後に両コーナー研磨回転砥石65を接近、離反調整手段Eにより元の位置に戻す。
しかして、移動体61の後進により保持台2と共にガラス基板Aを後進させて、後進方向側辺の両コーナーをコーナー研磨回転砥石65に当接させてコーナーを研磨する。
研磨後に、移動体61を前進させて、コンベヤ66の直上にガラス基板Aが到達すると、昇降手段62によりコンベヤ66上にガラス基板Aを載置したのち、吸引保持手段63による吸引を解除して搬出する。
なお、コーナー研磨装置の手順は、図10と同様である。
第1の実施形態を示す側面図。 同上の平面図。 同上の要部を示す拡大側面図。 同縦断正面図。 同横断平面図。 辺縁研磨工程図。 コーナー研磨工程図。 第2の実施形態を示す側面図。 同上の要部を示す縦断正面図。 コーナー研磨の工程図。 第3の実施形態を示す側面図。
符号の説明
A ガラス基板
B 走行手段
C 吸引保持手段
D 旋回機能
E 接近、離反調整手段
F 払い出し機
G 入れ込み機
H 払い出し機
1 走行体
2 保持台
3 レール
4 スライダ
5 第1モーター
6 雄ネジ
7 雌ネジ
8 小孔
9 モーター
10 辺縁研磨回転砥石
11 水平材
12 レール
13 支持部材
14 スライダ
15 雄ネジ
16 雌ネジ
17 第2モーター
19 移動体
20 昇降手段
21 旋回手段
22 吸引荷受手段
23 水平材
24 レール
25 スライダ
26 雄ネジ
27 雌ネジ
28 第3モーター
29 プレート
30 吸盤
31 コーナー研磨回転砥石
35 移動体
36 昇降手段
37 吸引保持手段
38 保持台
39 水平材
40 レール
41 スライダ
42 雄ネジ
43 雌ネジ
44 第4モーター
45 コーナー研磨回転砥石
46 フレーム
47 レール
48 支持部材
49 スライダ
50 雄ネジ
51 雌ネジ
52 第5モーター
53 コンベヤ
61 移動体
62 昇降手段
63 吸引保持手段
65 コーナー研磨回転砥石

Claims (3)

  1. 走行手段により前後方向に進退走行するように設けた走行体と、この走行体に供給にともない載置するガラス基板を吸引保持手段により保持するように設けた旋回機能付の保持台と、上記走行体の走行路の両側に上記ガラス基板の走行方向に平行する二辺の縁を面取り加工するように設けた接近、離反の移動手段付の辺縁研磨回転砥石と、上記保持台の前進停止位置の直上と払い出し搬出位置との間で進退移動するように設けた移動体と、この移動体に昇降手段により昇降し、かつ旋回手段により旋回すると共に、上記保持台上の辺縁研磨ずみガラス基板を荷受けするように設けた吸引荷受け手段と、上記吸引荷受け手段に荷受けしたガラス基板の各コーナーを研磨するように設けたコーナー研磨回転砥石とからなる研磨装置。
  2. 走行手段により前後方向に進退走行するように設けた走行体と、この走行体に供給にともない載置するガラス基板を吸引保持手段により保持するように設けた旋回機能付の保持台と、上記走行体の走行路の両側に上記ガラス基板の走行方向に平行する二辺の縁を面取り加工するように設けた接近、離反の移動手段付の辺縁研磨回転砥石と、上記保持台の後退停止位置の直上とガラス基板の供給側との間で進退移動するように設けた移動体と、この移動体に昇降手段により昇降すると共に、供給ガラス基板を荷受けし、かつ後退停止位置の上記保持台上にガラス基板を荷下ろしする吸引保持手段付の入れ込み保持台と、この入れ込み保持台の移動路の途中に上記ガラス基板の移動を妨げないように設けた退避手段付のガラス基板のコーナー研磨回転砥石からなる研磨装置。
  3. 走行手段により前後方向に進退走行するように設けた走行体と、この走行体に供給にともない載置するガラス基板を吸引保持手段により保持するように設けた旋回機能付の保持台と、上記走行体の両側に上記ガラス基板の走行方向に平行する二辺の縁を面取り加工するように設けた接近、離反の移動手段付の辺縁研磨回転砥石と、上記保持台の直上とガラス基板の払い出しとの間で進退移動するように設けた移動体と、この移動体に昇降手段により昇降すると共に、上記保持台上のガラス基板を荷受けする吸引保持手段付の払い出し保持台と、この払い出し保持台の移動路の途中に上記ガラス基板の移動を妨げないように設けた退避手段付のガラス基板のコーナー研磨回転砥石とからなる研磨装置。
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