KR101075954B1 - 기판 연마장치 및 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 기판 연마장치 및 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 로딩 타임없이 기판을 연속적으로 연마할 수 있는 기판 연마장치 및 방법에 관한 것이다.

본 발명에 의한 기판 연마장치는 기판을 이동시키는 이송수단; 상기 이송수단의 측면에 설치되는 연마부; 및 연마구간에서 상기 기판을 평탄하게 하는 지지테이블;을 포함한다.

기판. 연속연마. 컨베이어.

Description

기판 연마장치 및 방법{SUBSTATE GRINDING APPARATUS AND METHOD USING THE SAME}

본 발명은 기판 연마장치 및 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 로딩 타임없이 기판을 연속적으로 연마할 수 있는 기판 연마장치 및 방법에 관한 것이다.

일반적으로 평판디스플레이 패널 또는 상기 패널의 소재가 되는 베어 글라스(Bare glass)(이하, '기판'이라 한다)는 에지면이 날카롭기 때문에 공정 중 깨짐이나 크랙 등이 발생된다. 따라서 크랙 등을 방지하기 위하여 날카로운 에지면을 연마하는 공정이 필수적이다.

도 1은 일반적인 기판 연마장치를 도시한 것이다. 도시된 바와 같이, 기판(S)을 진공흡착하는 연마테이블(110)과, 상기 연마테이블(110)에 흡착된 기판의 장변과 단변의 상하 에지면을 연마하는 연마부(120)로 구성된다.

도 2는 도 1에 도시된 연마장치의 작동상태를 도시한 것이다.

연마테이블(110)은 기판을 진공흡착할 수 있도록 진공홀(111)이 형성되어 있고, 연마부(120)는 상기 기판(S)을 사이에 두고 양측에 구비된다.

먼저, 기판(S)을 상기 연마테이블(110)에 로딩하고, 진공홀(111)에 진공을 인가하여 기판을 진공흡착한다((a)참조).

이 상태에서 상기 연마테이블(110)을 상기 한 쌍의 연마부(120)를 통과하여 수평이송한다. 이와 같이 수평이송하는 동안, 연마부(120)가 에지면을 연마하게 된다((b) 및 (c) 참조).

이와 같이 연마가 완료되면, 기판(S)을 언로딩하고, 다시 처음 위치로 되돌아와서 새로운 기판을 로딩한다.

위와 같이 작동되는 종래의 연마장치는 하나의 기판을 연마한 후, 다시 새로운 기판을 받기 위하여 시작위치로 되돌아 오는 시간이 반드시 필요하다. 따라서 다수장의 기판을 연속적으로 연마하지 못하고 단절된다는 문제점이 있다.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 로딩 타임없이 기판을 연속적으로 연마할 수 있는 기판 연마장치 및 방법을 제공함에 있다.

위와 같은 기술적 과제를 해결하기 위하여 본 발명에 의한 기판 연마장치는 기판을 이동시키는 이송수단; 상기 이송수단의 측면에 설치되는 연마부; 및 연마구간에서 상기 기판을 평탄하게 하는 지지테이블;을 포함한다.

또한 상기 이송수단은 컨베이어 벨트인 것이 바람직하다.

또한 상기 컨베이어 벨트는 진공홀이 형성되는 것이 바람직하다.

또한 상기 지지테이블은 상기 연마구간에서 상기 컨베이어 벨트 하부에 구비되는 것이 바람직하다.

또한 상기 지지테이블은 상기 컨베이어 벨트에 형성된 진공홀과 연통되어 연마구간에서 상기 기판을 진공흡착하기 위한 진공홀이 형성되는 것이 바람직하다.

또한 상기 지지테이블에는 진공실링을 위한 실링부가 더 구비되는 것이 바람직하다.

또한 상기 실링부는 상기 지지테이블의 상면 외곽에 형성되는 오링인 것이 바람직하다.

또한 상기 컨베이어 벨트는 상기 기판의 양측 변부를 지지하기 위해 좌우 한 쌍이 구비되는 것이 바람직하다. 특히, 상기 한 쌍의 컨베이어 벨트는 상호 이격거리가 조절되는 것이 더욱 바람직하다.

또한 상기 한 쌍의 컨베이어 벨트 사이에 구비되며, 로딩된 기판을 상기 연마구간까지 이송하는 이송테이블이 더 구비되는 것이 바람직하다.

또한 상기 이송테이블은 상기 기판을 진공흡착하기 위한 진공홀이 형성되는 것이 바람직하다.

또한 상기 이송테이블은 승강구동되는 것이 바람직하다.

또한 상기 이송테이블은 한 쌍이 구비되는 것이 바람직하다.

본 발명에 의한 기판 연마방법은 1) 컨베이어 벨트에 의해 기판을 이송하는 단계; 및 2) 이송되는 상기 기판을 연마구간에서 상기 컨베이어 벨트와 함께 상기 기판을 평탄하게 유지시키는 단계;를 포함한다.

또한 상기 1)단계는 상기 기판을 상기 컨베이어 벨트에 의해 지지한 상태에서 이송테이블에 의해 흡착하여 이송하는 것이 바람직하다.

본 발명에 따르면, 로딩타임없이 기판을 연속적으로 연마할 수 있는 효과가 있다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 의한 기판 연마장치의 구성 및 작용을 설명한다.

도 3 내지 도 5를 참조하면, 본 발명에 의한 기판 연마장치(1)는 기판(P)을 이송시키는 컨베이어 벨트(11)와, 컨베이어 벨트(11) 중앙 측면에 설치되는 연마부(20)와, 연마구간에서 상기 기판(P)을 평탄하게 지지하는 지지테이블(40)과, 이송테이블(31,32)로 구성된다.

상기 컨베이어 벨트(11)는 기판(P)을 연속적으로 이송 또는 지지하기 위한 구성요소로서, 기판을 안정적으로 이송하기 위하여 기판의 양측 변부를 각각 지지하는 한 쌍으로 구성된다. 또한 상기 컨베이어 벨트(11)를 구동하는 벨트구동부(12)가 구비된다. 또한 상기 한 쌍의 컨베이어 벨트는 상호 접근하거나 바깥쪽 방향으로 이동이 가능하다. 즉, 한 쌍의 컨베이어 벨트 사이의 이격거리를 조절할 수 있다. 이와 같이 구성함으로써 다양한 사이즈를 갖는 기판을 모두 처리할 수 있다.

상기 연마부(20)는 기판의 양측 변부를 각각 동시에 연마하기 위하여 한 쌍 의 구비되며, 연마지석과 스핀들로 구성된다.

상기 이송테이블(31,32)은 상기 한 쌍의 컨베이어 벨트(11) 사이에 구비되며, 상기 컨베이어 벨트(11)의 선단에 로딩된 기판을 연마부(20)가 위치하는 연마구간으로 이송하기 위한 구성요소이다. 즉, 상기 컨베이어 벨트(11)만으로도 기판을 이송할 수 있으나, 보다 안정적으로 기판을 공급하기 위한 보조적인 수단이며, 이송테이블(31,32)이 구비되는 경우, 컨베이어 벨트(11)는 상기 기판을 단지 지지만 하게 될 것이다.

상기 이송테이블(31,32)은 기판을 진공흡착하기 위한 진공홀이 형성되며, 승강이 가능하다. 즉, 컨베이어 벨트(11) 선단에 기판이 로딩되면 이송테이블(31,32)은 상승하여 기판을 진공흡착한 상태에서 연마구간으로 이송하고, 이송이 완료되면, 이송테이블(31,32)은 진공을 파기하고 하강하여 원위치로 복귀한다. 한편, 상기 이송테이블 역시 한 쌍으로 구성되는데, 이는 기판의 이송을 연속적으로 하기 위한 것이다. 즉, 어느 하나(31)가 기판을 흡착하여 이송하는 동안, 다른 하나(32)는 원위치로 복귀하여 새로운 기판을 받는다.

도 6은 본 실시예의 연마구간을 확대한 것이다. 도시된 바와 같이, 연마구간에서 컨베이어 벨트(11)의 하부에는 지지테이블(40)이 구비된다. 도 7에 도시된 바와 같이, 상기 지지테이블(40)은 진공흡인력이 인가되는 진공홀(41)이 형성되어 있고, 진공을 실링하기 위한 오링(42)이 상면 외곽과 중심에 십자모양으로 형성되어 있다.

다시 도 6을 참조하면, 컨베이어 벨트(11)에도 진공홀(11a)이 형성되어 있음을 알 수 있다. 따라서 기판이 연마구간에 이송되면, 상기 지지테이블(40)과 컨베이어 벨트(11)에 형성된 진공홀(41,11a)을 통해 인가되는 진공흡인력에 의해 기판이 흡착되는 것이다.

다시 말하면, 연마구간에서 기판(P)과 컨베이어 벨트(11)와 지지테이블(40)은 진공에 의해 밀착되는 것이다. 이와 같이 상호 밀착된 상태에서 컨베이어 벨트(11)는 기판과 함께 계속하여 구동되고, 따라서 지지테이블(40)과는 상대운동이 발생된다. 한편, 컨베이어 벨트(11)와 기판 사이에는 상대운동이 없다. 이와 같이 지지테이블(40)과 컨베이어 벨트(11) 사이에는 상대운동이 있어야 하는데, 상기 오링(42)은 이들 사이의 미끄럼운동을 원활하게 하는 역할도 한다. 즉, 상기 오링(42)은 진공을 실링하기 위한 역할과 함께 지지테이블(40)과 컨베이어 벨트(11) 사이의 미끄럼운동을 원활하게 하는 것이다.

이와 같이 기판은 지지테이블(40)에 의해 연마구간에서 평탄하게 유지되면서 컨베이어 벨트(11)에 의해 수평이동하게 되고, 측면에 위치하는 연마부(20)에 의해 양측 변부의 모서리가 연마되는 것이다.

이하에서는 도 4를 참조하여 본 발명에 의한 연마장치의 작동상태 및 연마방법을 설명한다.

먼저, 로딩부(51)가 연마할 기판(P3)을 흡착하여 컨베이어 벨트(11)의 선단부에 로딩한다.

다음으로, 이송테이블(31,32)이 상승하면서 로딩된 기판(P2)을 흡착하여 연마구간방향으로 이송한다. 이 때, 컨베이어 벨트(11)는 계속하여 구동되고 있는 상태이다.

이와 같은 방법으로 기판(P2)이 연마구간으로 이송되면, 지지테이블(40) 및 컨베이어 벨트(11)에 형성된 진공홀을 통해 진공흡인력이 인가되면 지지테이블(40), 컨베이어 벨트(11) 및 기판(P2)이 밀착되면서 상기 기판은 연마구간에서 평탄하게 유지된다.

이 상태에서도 컨베이어 벨트(11)는 계속하여 구동되고, 이 때 기판(P2)도 함께 이송된다. 그러나 지지테이블(40)과는 미끄럼운동된다. 이와 같이 기판이 이송되면서 연마부(도 3의 20참조)를 이용하여 기판의 양측 변부 모서리를 연마한다.

연마된 기판(P1)은 컨베이어 벨트(11)를 타고 이송되며, 언로딩부(52)에 의해 언로딩된다.

한편, 도 3에 도시된 장치는 기판의 양측 장변을 연마하는 것을 나타낸 것이다. 이로 인해 양측 장변을 연마한 후, 상기 기판을 양측 단변을 연마하는 장치로 로딩하여 양측 단변을 연마한다. 이러한 양측 단변을 연마하는 장치는 도 3에 도시된 장치와 동일하지만, 한 쌍의 컨베이어 벨트 사이의 이격거리가 더 크다는 차이점이 있다.

도 1은 종래 연마장치를 도시한 것이다.

도 2는 도 1에 도시된 연마장치의 작동상태를 순서대로 나타낸 것이다.

도 3 내지 도 7은 본 발명에 의한 연마장치를 나타낸 것이다.

**도면의 주요부분에 대한 부호의 설명**

1: 연마장치 11: 컨베이어 벨트

11a: 진공홀 12: 벨트구동부

20: 연마부 31,32: 이송테이블

40: 지지테이블 41: 진공홀

42: 오링 51: 로딩부

52: 언로딩부

Claims (15)

1. 기판을 이송시키는 컨베이어 벨트;

   상기 컨베이어 벨트의 측면에 설치되는 연마부; 및

   상기 연마부가 설치되는 연마구간에서 상기 컨베이어 벨트의 하부에 위치되어 상기 기판을 진공흡착하여 상기 기판을 평탄하게 하는 지지테이블;을 포함하며,

   상기 지지테이블에는 진공홀과, 진공실링을 위한 실링부가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 기판 연마장치.
2. 삭제
3. 제1항에 있어서,

   상기 컨베이어 벨트는 상기 지지테이블의 진공홀과 연통되도록 진공홀이 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 연마장치.
4. 삭제
5. 삭제
6. 삭제
7. 제1항에 있어서,

   상기 실링부는 상기 지지테이블의 상면 외곽에 형성되는 오링인 것을 특징으로 하는 기판 연마장치.
8. 제1항에 있어서,

   상기 컨베이어 벨트는 상기 기판의 양측 변부를 지지하기 위해 좌우 한 쌍이 구비되는 것을 특징으로 하는 기판 연마장치.
9. 제8항에 있어서,

   상기 한 쌍의 컨베이어 벨트는 상호 이격거리가 조절되는 것을 특징으로 하는 기판 연마장치.
10. 제8항에 있어서,

    상기 한 쌍의 컨베이어 벨트 사이에 구비되며, 로딩된 기판을 상기 연마구간까지 이송하는 이송테이블이 더 구비되는 것을 특징으로 하는 기판 연마장치.
11. 제10항에 있어서,

    상기 이송테이블은 상기 기판을 진공흡착하기 위한 진공홀이 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 연마장치.
12. 제10항에 있어서,

    상기 이송테이블은 승강구동되는 것을 특징으로 하는 기판 연마장치.
13. 제10항에 있어서,

    상기 이송테이블은 한 쌍이 구비되는 것을 특징으로 하는 기판 연마장치.
14. 삭제
15. 삭제

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