JP4270142B2 - ガラス基板の製造方法及びその装置 - Google Patents
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Description
2A 上流側搬送手段
2B 下流側搬送手段
2X 旋回手段
3 ガラス基板
3a 端面
4 研削手段
4a 粗砥石
4b 微細砥石
5 搬送ベルト
5a 吸引孔
7 負圧発生手段
7a 真空チャンバ
7b 真空ポンプ
Claims (7)
- ガラス基板を搬送しながら、その搬送方向と平行なガラス基板の辺の端面を研削する研削工程を含むガラス基板の製造方法において、
前記研削工程では、前記搬送方向と平行に複数本が並列に配列された搬送ベルト上に前記ガラス基板を負圧により吸着保持するとともに、複数本の前記搬送ベルトのうち、中央側に配列された前記搬送ベルトの方が、その両側方に配列された前記搬送ベルトよりも前記ガラス基板を強い負圧でもって吸着保持するようにした状態で、複数本の前記搬送ベルトを走行させることにより前記ガラス基板を搬送しながら、その搬送経路の側方に配設された研削手段により前記ガラス基板の辺の端面を研削することを特徴とするガラス基板の製造方法。 - ガラス基板を搬送する搬送手段と、該搬送手段により搬送されるガラス基板の周縁のうち搬送方向に平行な辺の端面を研削する研削手段とを有するガラス基板の製造装置において、
前記搬送手段は、搬送ベルトと、該搬送ベルトに形成された複数の吸引孔を通じて該搬送ベルト上に前記ガラス基板を吸着保持するための負圧を発生する負圧発生手段とを有し、前記搬送ベルト上に前記ガラス基板を吸着保持して搬送しながら、その搬送経路の側方に配設された研削手段により前記ガラス基板の端面を研削するように構成されており、
前記搬送ベルトは、前記ガラス基板の搬送方向と平行に複数本が並列に配列されるとともに、該複数本の前記搬送ベルトのうち、中央側に配列された前記搬送ベルトの方が、その両側方に配列された前記搬送ベルトよりも前記ガラス基板を強い負圧でもって吸着保持するように構成されていることを特徴とするガラス基板の製造装置。 - 前記負圧発生手段は、上面側に開口部を有する真空チャンバと、該真空チャンバ内を負圧状態にする真空発生源とを有し、前記搬送ベルトが前記真空チャンバの開口部を覆いながら走行するように構成されていることを特徴とする請求項2に記載のガラス基板の製造装置。
- 前記真空チャンバは、前記搬送方向に複数の室に分割されてなり、その分割間隔が搬送すべきガラス基板の搬送方向寸法の1/2以下であることを特徴とする請求項3に記載のガラス基板の製造装置。
- 前記研削手段は、前記ガラス基板の端面を研削する研削面が断面略円弧状の凹部をなす砥石を有していることを特徴とする請求項2〜4のいずれかに記載のガラス基板の製造装置。
- 前記研削手段は、前記搬送経路の側方に沿って粗さの異なる複数個の砥石を配列してなることを特徴とする請求項2〜5のいずれかに記載のガラス基板の製造装置。
- 前記研削手段は、前記搬送方向に平行な前記ガラス基板の2辺の端面に対して研削可能となるように、前記搬送経路の両側方に対向して配置されてなることを特徴とする請求項2〜6のいずれかに記載のガラス基板の製造装置。
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