KR102142828B1

KR102142828B1 - Pcb용 서스플레이트 연마장치의 연계이송수단

Info

Publication number: KR102142828B1
Application number: KR1020200031295A
Authority: KR
Inventors: 조성해
Original assignee: 조성해
Priority date: 2020-03-13
Filing date: 2020-03-13
Publication date: 2020-08-07

Abstract

본 발명은 PCB용 서스(SUS, Steel Use Stainless)플레이트 연마장치의 연계이송수단에 관한 것이다. 보다 상세하게는, PCB용 서스플레이트 연마장치에서, 서스플레이트 표면의 연마 정밀도를 점진적으로 높여가면서 가공할 수 있도록, 복수의 연마장치에 대하여 연마정밀도가 각각 다르게, 또한 연마 정밀도가 점점 높아지게 설치한 후, 복수의 연마장치 각각에 서스플레이트를 차례로 통과시켜 연마시키기 위하여, 연마장치들이 서로 인접한 부분에서, 다음 연마장치로 서스플레이트를 연계하여 이송시킬 수 있는 연계이송수단에 관한 것이다. 즉 서스플레이트를 복수의 연마장치에 순차적으로 통과시키면서 연속공정으로 연마할 수 있는 연마시스템에서, 하나의 연마장치에서 연마된 서스플레이트를, 인접하여 설치되어 있는 다음 연마장치로 연계하여 이송할 수 있도록 하는 연계이송수단에 관한 것이다.

Description

PCB용 서스플레이트 연마장치의 연계이송수단 {Moving Device of Polishing Apparatus for PCB SUS Plate}

전자통신기술의 발전으로 스마트폰이나 태블릿PC, 노트북 컴퓨터 또는 디지털 카메라 등의 각종 전자통신기기들은 다양한 센싱 기능과 멀티미디어 기능을 탑재하고 있는데, 이러한 센싱 및 멀티미디어 기능의 실현을 위한 핵심 부품으로써 각종 센서모듈과 화상입력수단인 초소형 카메라 모듈 등의 중요성이 더욱 높아지고 있다. 특히 스마트폰은 휴대가 용이하도록 작은 사이즈를 가지면서도 다양한 기능구현이 필요할 뿐만 아니라 선명한 멀티미디어 컨텐츠를 즐기고자 하는 소비자의 욕구 등을 감안하여 초소형이면서도 고성능을 발휘하는 각종 센서모듈과 고화질의 초소형 카메라모듈 등을 포함해야 하는 요구가 더욱 증가하고 있다.

이와 같이 초소형의 센서모듈이나 카메라모듈은 각종 센서칩 또는 CCD나 CMOS의 이미지 센서 칩을 소정패턴의 회로가 인쇄된 얇은 필름상의 PCB에 접합하여 제작하게 되는데, 그 동작의 안정성을 담보하기 위해서는 전원을 공급함과 동시에 신호를 전달하는 PCB의 역할이 매우 중요하다. 한편 초소형의 센서 또는 카메라 모듈용 PCB는 제작의 편의상 일정크기의 필름원판 상에 다수 개의 단위 PCB를 한꺼번에 인쇄한 다음, 낱개로 절단하여 제작하는 어레이 방식을 취하는 것이 일반적이다. 이와 같은 어레이 PCB는 두께가 매우 얇고 유연하기 때문에 각각의 단위 PCB에 대한 센서 칩들의 접합 시, 평탄도가 좋지 않으면 접합 불량이 빈발하고, 이는 결국 센서모듈의 불량으로 이어지는 문제를 초래하여 왔다. 이와 같은 문제를 해결하기 위하여, 접착제가 이재된 금속박판 위에 어레이 PCB를 접합함으로써 센서 칩과의 접합 시 어레이 PCB의 평탄도를 향상시키는 방법이 사용되고 있기도 하다. 이 때 사용되는 금속박판으로는 일명 서스(SUS, Steel Use Stainless)플레이트라고 불리우는 스테인레스 플레이트가 적용된다.

서스플레이트는 어레이 PCB의 평탄도를 개선하기 위하여 PCB와 접합되는 것이기 때문에, 서스플레이트 자체의 표면 평탄도와 정밀도가 매우 높게 가공되어야 한다. 따라서 매우 고운 표면 거칠기를 가지는 연마포나 연마석으로 마무리되어야 한다. 그러나 연마작업에 있어 표면 거칠기가 매우 고운 연마석이나 연마포로만 가공하게 되는 경우, 시간이 매우 오래 걸릴 뿐만 아니라 오히려 평탄도가 좋아지지 않게 되는 문제점이 있으며, 연마석이나 연마포의 낭비가 심해지는 문제점도 발생하게 된다. 따라서 표면 거칠기가 거칠은 연마석이나 연마포로부터 점진적으로 고와지는 연마포로 교체해 가면서 연마작업을 해주어야 한다.

도 1은 종래기술에 의한 서스플레이트 연마장치의 일 실시예를 보여주는데, 도 1에서 보는 바와 같이 서스플레이트(40)를 연마테이블(15)위에 올려놓고, 연마포(polishing cloth)로 이루어진 연마벨트가 무한궤도에 의하여 회전되는 벨트형 연마수단(30)으로 연마하도록 함으로써 상기 서스플레이트(40)를 연마하도록 하는 것이다. 이 때 상기 연마테이블(15) 또는 상기 연마수단(30)은 앞뒤 방향으로 왕복하도록 함으로써 상기 서스플레이트(40)의 모든 표면이 골고루 연마되도록 하게 된다. 그리고 각각 다른 표면 거칠기를 가지는 연마벨트로 교체해 가면서 상기 서스플레이트(40)의 표면이 점점 더 정밀한 평탄도 및 정밀도를 갖도록 연마하도록 해 왔다. 그러나 이렇게 하나의 연마장치에서 연마벨트를 교체해 가면서 상기 서스플레이트(40)를 연마하는 경우 연마벨트를 교체하는 과정에서 또는 상기 서스플레이트(40)에 대한 연마가 끝난 후 다른 서스플레이트(40)로 교체하는 과정에서 연마장치를 일시적으로 정지시켜야 하기 때문에 중단 없는 연속공법으로 연마를 수행할 수 없다는 단점이 있어왔고 이로 인하여 연마공정에 지나치게 많은 시간 및 노력과 비용이 소요되는 문제점이 있어왔다.

이와 같은 종래기술의 단점을 해소하기 위하여, 각각의 표면 거칠기가 다른 복수의 연마수단을 연속적으로 설치하고 그 밑에 서스플레이트를 차례대로 통과시키면서 연마시키는 방법이 개발되어 사용되기도 하였다. 즉 도 2에서 보는 바와 같이 이송컨베이어(20)를 따라 일련의 벨트형 연마수단(30) 또는 원통형 연마수단(31)을 복수로 배치하고 이송컨베이어(20)를 따라 이송되는 서스플레이트(40)에 대하여 표면 거칠기가 각각 다른 벨트형 연마수단(30) 및 원통형 연마수단(31)을 이용하여 차례대로 가공을 하도록 하는 것이다. 그러나 이와 같이 하는 경우 연마과정에서 이송컨베이어(20)의 이송벨트가 하방으로 처지기 때문에 연마벨트가 서스플레이트(40)에 충분히 압착되지 못하여 연마효율이 저하되는 문제가 있다. 물론 이송컨베이어(20)의 이송벨트 밑에 별도의 지지대 또는 지지롤러 등을 설치하게 되는 경우 연마효율이 다소 좋아지기는 하지만 근본적인 문제해결책이 되지는 못하게 된다. 뿐만 아니라 연마과정에서 서스플레이트(40)가 정위치를 일탈한다든가 하는 문제가 있어 연마불량이 다수 발생하는 문제도 있어왔다.

연속공정으로 연마대상물을 가공할 수 있는 또 다른 종래기술로서, 연마테이블 위에 서스플레이트를 안착시킨 후, 연마테이블 자체를 이동시켜 각각 다른 연마수단 밑으로 순차적으로 이동시키는 기술이 있다. 도 3은 이를 도시한 것인데, 도 3에서 보는 바와 같이, 안착수단(41)이 서스플레이트(40)를 연마테이블(51) 위에 안착시키면, 연마테이블(51)이 장착된 연마지그(50)가 이송레일(52)을 따라서 이송되고, 연마지그(50)가 각각의 연마수단(60) 하방으로 이동하게 되면 각각의 연마수단(60)이 연마테이블(51) 위에 안착된 서스플레이트(40)를 연마시키게 된다. 그리고 연마테이블(51)이 장착된 연마지그(50)가 각각의 연마수단(60) 모두를 차례대로 통과하게 되면 서스플레이트(40)에 대한 가공이 모두 종료되고, 연마테이블(51) 위에 있던 서스플레이트(40)는 회수수단(42)에 의하여 회수되게 된다. 그러나 이러한 종래기술의 경우, 연마테이블(51)이 회수수단(42)을 통과한 후, 연마테이블(51)이 장착된 연마지그(50)를 회수하여 다시 안착수단(41) 쪽으로 이송해야 하기 때문에 이를 위한 회수절차를 수동으로 이행하거나, 회수레일(미도시) 등을 설치하여 다시 처음으로 돌아오도록 해야 하기 때문에 공장면적이 넓어야 되는 문제점이 있어왔다.

뿐만 아니라 위에서 살펴 본 종래기술들을 사용하여 PCB용 서스플레이트 연마시스템을 구축하는 경우, 생산할 제품의 추가 또는 변경으로 인하여 연마공정이 추가되거나 축소 또는 변경되는 경우에는, 설비 전체를 재설계하여 재구축해야 하므로 새로운 제품군을 위한 공정변경 등에 유연하게 대처할 수 없고 비용이 많이 소요되는 문제점이 있어서, 운용과정에서 공정변경에 유연하게 대응될 수 있는 장치의 마련이 요구되고 있는 실정이다,

본 발명에 의한 PCB용 서스플레이트 연마장치의 연계이송수단은, 서스플레이트에 대한 연마공정을 수행함에 있어, 연마할 서스플레이트를 연마장치에 공급하거나, 연마가 완료된 서스플레이트를 연마장치로부터 회수하는 동안에도 연마공정 수행이 중단되는 일이 없도록, 연속공정으로 서스플레이트를 연마하도록 하고, 이를 통하여 단시간 내에 대량생산이 가능한 PCB용 서스플레이트 연마장치의 구현이 가능하도록 이에 사용될 수 있는 연계이송수단을 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명의 또 다른 목적은 연속적으로 배치되는 복수의 연마장치에 서스플레이트를 순차적으로 통과시킴으로써 연속공정으로 연마가 가능한 PCB용 서스플레이트 연마장치를 제공하고 이를 위하여 사용될 수 있는 연계이송수단을 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명의 또 다른 목적은 각각의 연마장치는 독립적으로 운전되는 반면, 각각의 연마장치 간에 연계할 수 있는 수단을 가지도록 함으로써 가공공정을 추가하거나 축소하는 경우에도 단순히 연마장치를 추가하거나 제거하기만 하는 방법으로 변경되도록 함으로써, 공정변경에 따른 설비의 확장 및 축소가 유연한 PCB용 서스플레이트 연마시스템을 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명의 또 다른 목적은 연속적으로 배치되는 복수의 연마장치를 통하여 순차적으로 서스플레이트를 연마할 때, 서스플레이트를 컨베이어 벨트 위로 이동시키지 않고, 단단한 재질로 된 연마베드 위에서 플레이트캐리어가 왕복하여 이동하도록 함으로써, 서스플레이트가 플레이트캐리어 위에 안정적으로 안착된 상태에서 연마되도록 하고, 이를 통하여 서스플레이트의 연마품질을 균일하게 유지시킬 수 있는 PCB용 서스플레이트 연마장치와 이를 위하여 사용될 수 있는 연계이송수단을 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명의 또 다른 목적은 연속적으로 배치되는 복수의 연마장치에서 플레이트캐리어가 이동하도록 하되, 각각의 연마장치 내에서만 이동하도록 함으로써, 이동되는 플레이트캐리어를 다시 처음 연마장치로 옮겨놓을 필요가 없고, 이로 인하여 설치면적을 줄일 수 있는, 연속공정으로 연마가 가능한 PCB용 서스플레이트 연마장치와 이를 위하여 사용될 수 있는 연계이송수단을 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명의 또 다른 목적은 연속적으로 배치되는 복수의 연마장치 각각에서 연마가 끝난 서스플레이트를 다음에 위치한 연마장치의 플레이트캐리어 위로 수평 이동시켜 안정적으로 안착시킬 수 있는, PCB용 서스플레이트 연마장치의 연계이송수단을 제공하는 데 있다.

본 발명의 또 다른 목적은 공급컨베이어에 서스플레이트를 안착시키면, 연속적으로 배치되는 복수의 연마장치 각각 중 첫 번째 연마장치부터 순차적으로 통과하면서 연마공정이 수행되어 마지막 연마장치까지 진행한 뒤에는 연마가 완료된 서스플레이트가 회수컨베이어를 통하여 회수될 수 있는 PCB용 서스플레이트 연마장치와 이를 위하여 사용될 수 있는 연계이송수단을 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명의 또 다른 목적은, 서스플레이트의 형태가 사각 또는 원형이든 기타 어떠한 형태이더라도 안정적으로 연계 이동시킬 수 있는 구조를 가지는 PCB용 서스플레이트 연마장치의 연계이송수단을 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명의 또 다른 목적은, 연마장치 각각에 포함된 플레이트캐리어에 있어서, 연계이송수단에 의하여 서스플레이트가 이송되어 오면, 서스플레이트를 안정적으로 안착시켜 고정시킬 수 있는 수단을 가지는 PCB용 서스플레이트 연마장치와 이를 위하여 사용될 수 있는 연계이송수단을 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명의 또 다른 목적은, 연마장치 각각에 포함된 플레이트캐리어에 있어서, 연마가 끝난 서스플레이트가 연계이송수단에 의하여, 다음에 위치한 연마장치의 플레이트캐리어로 수평 이동될 때 서스플레이트를 들어 올려줌으로써 서스플레이트가 원활하게 연계이송될 수 있도록 하는, PCB용 서스플레이트 연마장치를 제공하고 이를 위하여 사용될 수 있는 연계이송수단을 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

상술한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 의한 PCB용 서스플레이트 연마장치의 연계이송수단은, 연마장치에서 연마된 서스플레이트를, 인접하여 설치되어 있는 다음 연마장치로 연계하여 이송하는 연계이송수단으로서, 상기 연마장치는, 연마베드, 플레이트캐리어 및 연마드럼을 포함하며, 상기 플레이트캐리어는, 상기 연마베드 위에서, 상기 연마베드의 시작지점인 제1지점과 상기 연마베드의 끝 지점인 제2지점 사이를 반복하여 왕복 이동하되, 상기 제1지점에서 상면 위에 안착되는 상기 서스플레이트를 상기 제2지점까지 이송한 후, 상기 서스플레이트가 상기 다음 연마장치로 이송되면 상기 제1지점으로 되돌아가며, 상기 연마드럼은, 상기 연마베드 위쪽 일정 높이에서, 상기 플레이트캐리어의 상면 위에 안착되어 상기 제1지점에서 상기 제2지점으로 이송되는 상기 서스플레이트의 윗면을 연마하며, 상기 연계이송수단은, - 표면에 복수의 탄성돌기를 가지는 이송벨트 및 상기 이송벨트를 회전 이동시키는 한 쌍의 회전드럼으로 이루어진 무한궤도 형상으로서, - 상기 제2지점의 위쪽 중 상기 플레이트캐리어의 상면보다 높은 위치에 위치하며, - 상기 플레이트캐리어의 상면 위에 안착되어 상기 제2지점으로 이송되어 온 상기 서스플레이트를, 상기 다음 연마장치의 제1지점에 도착하여 있는 다음 플레이트캐리어의 상면 위에 수평 이동시켜 안착시키되, 상기 이송벨트의 회전에 따라 이동하는 상기 복수의 탄성돌기에 의하여 상기 서스플레이트를 수평 이동시키는 것을 특징으로 하는 것이 바람직하다.

또한 상술한 특징들에 더하여 상기 탄성돌기는 - 상기 서스플레이트의 윗면에 접촉되어 눌려질 경우, 상기 이송벨트의 진행 반대방향으로 휘어지면서, 상기 서스플레이트에 대하여 아랫방향 및 상기 이송벨트의 진행방향으로 미는 힘을 발생시키며, - 상기 서스플레이트의 측면 중, 상기 이송벨트의 진행방향과 직각인 측면에 접촉하는 경우 상기 서스플레이트에 대하여 상기 이송벨트의 진행방향으로 미는 힘을 발생시키는 것을 특징으로 하는, PCB용 서스플레이트 연마장치의 연계이송수단으로 하는 것도 바람직하다.

뿐만 아니라 이러한 특징들에 더하여 상기 플레이트캐리어는, - 상단표면을 덮어서 고정되는 흡착패드를 포함하며, - 상기 흡착패드는, 중심에 통기공을 가지는 흡착판을 하나 이상 포함하며, - 상기 제1지점에서 상기 서스플레이트가 상기 흡착패드 위에 안착되면 상기 통기공으로 공기를 흡입하여, 상기 서스플레이트가 상기 흡착패드에 흡착 및 고정되도록 한 상태에서 상기 제2지점까지 이동하였다가, - 상기 제2지점에 도달하면 상기 통기공으로 공기를 분출하여, 상기 서스플레이트가 상기 흡착패드 위 일정높이로 부양되도록 하고, - 상기 서스플레이트가 부양된 후 상기 연계이송수단에 의하여 상기 다음 연마장치로 이송되면, 상기 통기공으로 공기를 계속하여 분출하면서 상기 제1지점으로 되돌아가는 것을 특징으로 하는, PCB용 서스플레이트 연마장치의 연계이송수단으로 하는 것도 바람직하다.

또한 상술한 특징들에 더하여 상기 플레이트캐리어는, 제1챔버, 제2챔버, 공기흡입관, 공기공급관, 흡입펌프 및 공급펌프를 포함하며, 상기 제1챔버는, 상기 상단표면의 하부에 위치하며, 상기 제2챔버는, 상기 제1챔버의 하부에 위치하며, 상기 상단표면과 상기 제2챔버 사이에는, 상기 제1챔버를 관통하는 통기파이프가 위치하며, 상기 통기파이프에는, 중심에 상기 통기공을 가지는 통기호스가 삽입되며, 상기 통기파이프 및 상기 통기호스의 중간에는, 상기 제1챔버로부터 상기 통기호스 내부로 공기가 공급되는 공급공이 하나 이상 형성되며, 상기 공기흡입관은, 상기 제2챔버와 상기 흡입펌프의 사이에 연결되며, 상기 공기공급관은, 상기 제1챔버와 상기 공급펌프의 사이에 연결되며, 상기 흡입펌프는, 상기 플레이트캐리어가 상기 제1지점에 도달하여 상기 서스플레이트가 상기 흡착패드 위에 안착되면 상기 제2챔버로부터 공기를 흡입하며, 상기 공급펌프는 상기 플레이트캐리어가 상기 제2지점에 도달하면 상기 제1챔버에 대하여 공기를 공급하는 것을 특징으로 하는, PCB용 서스플레이트 연마장치의 연계이송수단으로 하는 것도 바람직하다.

또한 상술한 특징들에 더하여, 상기 통기호스는 상기 통기파이프의 길이보다 길게 형성되어 상기 제2챔버쪽으로 돌출된 종단을 가지며, 상기 통기호스 중 상기 돌출된 종단의 외주면에는, 상기 통기호스의 외경보다 크게 단턱이 형성된 고정돌기가 포함된 것을 특징으로 하는, PCB용 서스플레이트 연마장치의 연계이송수단으로 하는 것도 바람직하며, 이에 더하여 상기 플레이트캐리어 중 상기 상단표면의 일단에는 상기 흡착패드의 상단으로부터 일정높이로 돌출된 지지턱이 있으며, 상기 일정높이는 상기 서스플레이트의 두께보다 작은 것을 특징으로 하는, PCB용 서스플레이트 연마장치의 연계이송수단으로 하는 것도 바람직하다.

또한 상술한 특징들 모두에 더하여 상기 연마장치는 복수이며, 복수의 연마장치 각각은 인접하여 설치되어 있으며, 상기 복수의 연마장치 중 첫 번째 연마장치의 제1지점 옆에는, 상기 첫 번째 연마장치에 상기 서스플레이트를 공급하는 공급컨베이어가 설치되며, 상기 공급컨베이어 중 상기 첫 번째 연마장치에 인접한 쪽의 위쪽에는 상기 연계이송수단이 설치되며, 상기 공급컨베이어의 위쪽에 설치되는 상기 연계이송수단은, 상기 공급컨베이어로 공급되는 상기 서스플레이트를, 상기 첫 번째 연마장치의 제1지점에 위치한 플레이트캐리어 위로 수평 이동시켜 안착시키며, 상기 복수의 연마장치 중 마지막 연마장치의 제2지점 옆에는, 상기 마지막 연마장치에서 연마된 서스플레이트를 회수하는 회수컨베이어가 설치되며, 상기 마지막 연마장치에 포함된 상기 연계이송수단은, 상기 마지막 연마장치의 제2지점까지 이송되어 온 상기 서스플레이트를 상기 회수컨베이어 위로 수평 이동시켜 안착시키는 것을 특징으로 하는, PCB용 서스플레이트 연마장치의 연계이송수단으로 하는 것도 가능하다.

이상에서 살펴 본 바와 같이 본 발명에 의한 PCB용 서스플레이트 연마장치의 연계이송수단은, 복수의 연마장치를 순차적으로 배치하고, 서스플레이트를 차례로 통과시키면서 연마할 수 있도록 함으로써, 일련의 연속공정을 통하여 서스플레이트를 연마할 수 있기 때문에, 연마장치에 서스플레이트를 공급 및 회수를 하는 동안에도 연마공정의 수행이 중단되는 일이 없고 이로 인하여 단시간 내에 대량생산이 가능한 연마장치를 제공할 수 있는 효과가 있다.

또한 본 발명은, 연속적으로 배치되는 복수의 연마장치를 통하여 순차적으로 서스플레이트를 연마할 때, 서스플레이트를 컨베이어 벨트 위로 이동시키지 않고, 각각의 연마베드 위에서 플레이트캐리어가 왕복하여 이동하도록 함으로써, 서스플레이트가 안정적으로 안착된 상태에서 연마되도록 할 수 있고, 이를 통하여 서스플레이트의 연마품질을 균일하게 유지시킬 수 있는 효과가 있다.

뿐만 아니라, 같이 본 발명에 의한 PCB용 서스플레이트 연마장치의 연계이송수단은, 복수의 연마장치 사이에 서스플레이트를 전달해 주는 수단이어서, 각각의 연마베드 위에서는 각각의 플레이트캐리어가 왕복하여 이동하더라도, 연마장치 각각에서 연마가 끝난 서스플레이트를 다음에 위치한 연마장치의 플레이트캐리어로 수평 이동시켜 안착시킬 수 있기 때문에 각각의 연마장치에 서스플레이트를 순차적으로 통과시킬 수 있으며, 이를 통하여 연속연마가 가능하게 하는 효과가 있다.

또한 연속적으로 배치되는 복수의 연마장치에서 플레이트캐리어가 이동하도록 하되, 각각의 연마장치 내에서만 이동하도록 함으로써 이동되는 플레이트캐리어를 다시 처음 연마장치로 옮겨놓을 필요가 없고, 이로 인하여 설치면적을 줄일 수 있는 효과가 있다.

또한 각각의 연마장치는 독립적으로 운전되는 반면, 각각의 연마장치간에 서스플레이트를 연계이송해주는 연계이송수단을 가지고 있기 때문에 연마공정을 추가하거나 축소하는 경우에도 단순히 연마장치를 추가하거나 제거하기만 하면 되므로 설비의 확장 및 축소가 얼마든지 가능한 효과가 있다.

그리고 공급컨베이어에 서스플레이트를 안착시키면, 연속적으로 배치되는 복수의 연마장치 각각 중 첫 번째 연마장치부터 순차적으로 통과하면서 연마공정이 수행되고, 마지막 연마장치까지 진행한 뒤에는 연마가 완료된 서스플레이트가 회수컨베이어를 통하여 회수될 수 있도록 하였기 때문에 첫 번째 연마장치로부터 마지막 연마장치까지 순차적으로 서스플레이트가 자동적으로 통과되게 할 수 있는 효과가 있다.

또한 본 발명에 의한 PCB용 서스플레이트 연마장치의 연계이송수단은, 이송벨트 및 이송벨트를 회전 이동시키는 한 쌍의 회전드럼으로 이루어 진 무한궤도형식이며, 이송벨트는, 서스플레이트의 너비보다 넓은 폭을 가지고 표면에는 복수의 탄성돌기를 포함하기 때문에 서스플레이트의 형태가 어떠한 형태이든 간에 안정적으로 연계 이동시킬 수 있는 효과가 있다.

그리고 플레이트캐리어는 흡착패드, 흡착판 및 통기공을 가지고 있으며, 연마베드의 시작지점에서 서스플레이트가 흡착패드 위에 안착되면 통기공으로 공기를 흡입하여 서스플레이트가 흡착패드에 흡착 및 고정되도록 한 상태에서 연마베드의 끝 지점 까지 이동하기 때문에 연마드럼을 통과할 때 서스플레이트가 움직이지 않고 안착 고정될 수 있어서 연마작업이 안정적으로 수행되게 할 수 있는 효과가 있다.

그리고 플레이트캐리어는 연마베드의 끝 지점에 도달하면 통기공으로 공기를 분출하여, 서스플레이트가 흡착패드 위 일정높이로 부양되도록 하기 때문에 다음에 위치한 연마장치의 플레이트캐리어로 수평 이동될 때 서스플레이트를 들어 올려줌으로써 서스플레이트가 원활하게 이동할 수 있도록 하는 효과가 있다.

그리고 플레이트캐리어에는 상면의 일단에 일정높이로 돌출된 지지턱을 가지고 있기 때문에, 연마드럼에 의하여 서스플레이트가 연마될 때 지지턱에 의하여 뒤로 밀리지 않게 지지되므로 서스플레이트를 안정적으로 연마할 수 있는 효과가 있다.

도 1은 종래기술에 의한 PCB용 서스플레이트 연마장치의 일 실시예를 도시한 것이다.
도 2는 종래기술에 의한 PCB용 서스플레이트 연마장치의 다른 실시예를 도시한 것이다.
도 3은 종래기술에 의한 PCB용 서스플레이트 연마장치의 또 다른 실시예를 도시한 것이다.
도 4는 본 발명에 의한 연계이송수단이 적용되는 PCB용 서스플레이트 연마시스템을 도시한 것이다.
도 5는 본 발명에 의한 PCB용 서스플레이트 연마장치의 연계이송수단에 대한 측면도 및 평면도이다.
도 6 내지 도 8은 본 발명에 의한 PCB용 서스플레이트 연마장치의 연계이송수단에 대한 작동원리를 도시한 것이다.
도 9 내지 도 17은 본 발명에 의한 PCB용 서스플레이트 연마시스템과 연계이송수단이 작동되는 과정을 설명하기 위한 도면이다.
도 18은 본 발명에 의한 연계이송수단이 적용되는 PCB용 서스플레이트 연마장치 중 플레이트캐리어에 대한 사시도이다.
도 19는 본 발명에 의한 연계이송수단이 적용되는 PCB용 서스플레이트 연마장치 중 플레이트캐리어에 대한 측 단면도이다.
도 20은 본 발명에 의한 연계이송수단이 적용되는 PCB용 서스플레이트 연마장치에서 플레이트캐리어가 안착된 서스플레이트를 고정시키는 모습을 도시한 것이다.
도 21은 본 발명에 의한 연계이송수단이 적용되는 PCB용 서스플레이트 연마장치에서 플레이트캐리어가 안착된 서스플레이트를 밀어 올리는 모습을 도시한 것이다.
도 22는 본 발명에 의한 연계이송수단이 적용되는 PCB용 서스플레이트 연마장치의 플레이트캐리어의 다른 실시예에 대한 사시도이다.

이하에서 상술한 목적과 특징이 분명해지도록 본 발명을 상세하게 설명할 것이며, 이에 따라 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명의 기술적 사상을 용이하게 실시할 수 있을 것이다. 또한 본 발명을 설명함에 있어서 본 발명과 관련한 공지기술 중 이미 그 기술 분야에 익히 알려져 있는 것으로서, 그 공지기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에 그 상세한 설명을 생략하기로 한다.

아울러, 본 발명에서 사용되는 용어는 가능한 한 현재 널리 사용되는 일반적인 용어를 선택하였으나, 특정한 경우는 출원인이 임의로 선정한 용어도 있으며 이 경우는 해당되는 발명의 설명부분에서 상세히 그 의미를 기재하였으므로, 단순한 용어의 명칭이 아닌 용어가 가지는 의미로서 본 발명을 파악하여야 함을 밝혀두고자 한다. 실시 예들에 대한 설명에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 실시 예들을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.

실시 예들은 여러 가지 형태로 변경을 가할 수 있고 다양한 부가적 실시 예들을 가질 수 있는데, 여기에서는 특정한 실시 예들이 도면에 표시되고 관련된 상세한 설명이 기재되어 있다. 그러나 이는 실시 예들을 특정한 형태에 한정하려는 것이 아니며, 실시 예들의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경이나 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 할 것이다.

다양한 실시 예들에 대한 설명 가운데 “제1”, “제2”, “첫째” 또는“둘째”등의 표현들이 실시 예들의 다양한 구성요소들을 수식할 수 있지만, 해당 구성요소들을 한정하지 않는다. 예를 들어, 상기 표현들은 해당 구성요소들의 순서 및/또는 중요도 등을 한정하지 않는다. 상기 표현들은 한 구성요소를 다른 구성요소와 구분 짓기 위해 사용될 수 있다.

이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명을 설명한다. 도 4는 본 발명에 의한 연계이송수단이 적용되는 PCB용 서스플레이트 연마시스템(10)을 도시한 것이다. 도 4에서 보는 바와 같이 본 발명은 복수의 PCB용 서스플레이트 연마장치(100)를 연속적으로 인접하여 설치하고, 복수의 연마장치(100) 각각에 서스플레이트(40)를 순차적으로 통과시켜 연마하는 연마시스템(10)에 적용되도록 하는 것이 바람직하다. 도 4에서는, 편의상 상기 연마시스템(10)에 두 개의 연마장치(100a, 100b)만 포함되는 것으로 도시되어 있지만, 상기 연마시스템(10)은 3개 또는 그 이상의 연마장치(100)를 연속적으로 배치하고, 각각의 연마장치(100)는 각각 다른 연마공정을 적용할 수 있을 것이다. 예를 들면 연마포 표면의 거칠기를 달리한다든가, 연마 시 상기 서스플레이트(40)에 가해지는 연마압력 또는 연마시간을 달리하여 상기 서스플레이트(40)가 각각의 연마장치(100)를 통과하면서 점진적으로 연마의 완성도가 높아지게 할 수 있을 것이다.

본 발명은 하나의 연마장치(100a)에서 연마된 상기 서스플레이트(40)를, 인접하여 설치되어 있는 다음 연마장치(100b)로 연계하여 이송하는 것이 가능한 연계이송수단(300)에 관한 것이다. 여기서 상기 연마장치(100)는, 도 4에서 보는 바와 같이 연마베드(110), 플레이트캐리어(200) 및 연마드럼(400)을 포함하도록 하는 것이 바람직하다. 그 중 상기 연마베드(110)는 상기 플레이트캐리어(200)가 직선으로 왕복 이동할 수 있는, 단단한 재질로 된 상면을 가지는 테이블로 하는 것이 바람직하다. 그리고 상기 플레이트캐리어(200)는 상기 연마베드(110)의 시작지점인 제1지점(연마베드의 오른쪽 끝 지점)과 상기 연마베드(110)의 끝 지점인 제2지점(연마베드의 왼쪽 끝 지점) 사이 직선구간을 왕복하여 반복 이동할 수 있도록 하는 것이 바람직하다. 따라서 상기 연마베드(110)의 상면에는 상기 플레이트캐리어(200)가 정해진 직선경로를 왕복하여 이동할 수 있도록 가이드 레일(미도시)이 형성되도록 하고, 상기 플레이트캐리어(200)를 왕복하여 이동시킬 수 있는 구동수단(미도시)을 포함하도록 하는 것도 바람직하다. 그러나 상기 구동수단을 상기 연마베드(110)에 포함하지 않고, 상기 플레이트캐리어(200)에 자체적인 구동수단을 포함하게 하는 것도 가능하다.

한편 상기 플레이트캐리어(200)는, 상술한 바와 같이 상기 연마베드(110) 위에서, 상기 제1지점과 상기 제2지점 사이 직선구간을 반복하여 왕복 이동하도록 하는 것이 바람직하다. 그리고 상기 제1지점에서, 상기 연계이송수단(300)에 의하여 자신의 상면 위에 안착되는 상기 서스플레이트(40)를 상기 제2지점까지 이송하도록 하는 것이 바람직하다. 또한 상기 플레이트캐리어(200)가 상기 서스플레이트(40)를 상기 제2지점까지 이송하게 되면 상기 연계이송수단(300)이 상기 서스플레이트(40)를 수평으로 이동시켜서 다음 연마장치(100b)의 제1지점에 도착해 있는 플레이트캐리어(200) 위에 안착시키게 되는데, 자신의 상면 위에 안착되어 있던 상기 서스플레이트(40)가 상기 다음 연마장치(100b)로 이동된 후에는 상기 플레이트캐리어(200)를 다시 상기 제1지점으로 되돌아가도록 하는 것이 바람직하다. 상기 플레이트캐리어(200)는, 상기 서스플레이트(40)를 상기 제1지점으로부터 상기 제2지점까지 이송하는 동안에는 상기 서스플레이트(40)를 자신의 상면 위에 흡착하여 고정시키도록 하고, 상기 제2지점에 도달한 때에는 상기 서스플레이트(40)에 대하여 공기를 분출하여 상기 서스플레이트(40)가 상기 플레이트캐리어(200)의 상면 위로 일정높이까지 부양하도록 함으로써 상기 연계이송수단(300)이 상기 서스플레이트(40)를 원활하게 수평 이동시킬 수 있도록 하는 것이 바람직하다. 상기 플레이트캐리어(200)의 상세구조에 대하여는 다른 도면을 참조하여 후술하기로 한다.

그리고 상기 연마드럼(400)은, 상기 연마베드(110)의 위쪽 일정 높이에서, 상기 서스플레이트(40)의 윗면을 연마하도록 하는 것이 바람직한데, 상기 서스플레이트(40)가 상기 플레이트캐리어(200)의 상면 위에 안착되어 상기 제1지점에서 상기 제2지점으로 이송되는 동안 상기 연마드럼(400)의 하방에 왔을 때 상기 연마드럼(400)이 상기 서스플레이트(40)의 위쪽 표면을 연마하도록 하는 것이 더욱 바람직하다. 따라서 상기 연마드럼(400)은, 그 회전축이 상기 연마베드(110)의 상면과 평행이 되도록 하고 상기 플레이트캐리어(200)의 이동방향(양방향 화살표)과 직각이 되게 회전하도록 하는 것이 바람직하다. 상기 연마드럼(400)의 외주 표면에는 연마포가 부착되도록 하는 것이 바람직한데, 연마포로는 연마천 또는 연마사포 등 서스플레이트 연마에 사용될 수 있는 것이면 어떤 것이든지 사용이 가능하며, 마찰을 이용하여 상기 서스플레이트(40)를 연마시킬 수 있는 것이라면 그 사용에 제한이 없다. 또한 상기 연마드럼(400)의 외주표면에 연마포를 부착시키는 대신, 상기 연마드럼(400) 자체를 연마물질로 구성하는 것도 바람직하다. 그리고 상기 연마장치(100) 각각에 포함된 연마드럼(400) 각각의 외주표면 거칠기를 달리하여, 첫 번째 연마장치(100a)로부터 마지막 연마장치(100b)까지 진행되는 동안 그 거칠기가 점점 미세해지도록 하는 것도 가능하다. 또한 상기 연마드럼(400)의 회전방향은 상기 플레이트캐리어(200)의 이동방향과 반대로 회전하게 하여 연마 효율이 증가되도록 구성하는 것이 더욱 바람직하다.

한편 본 발명에 의한 연계이송수단(300)이 적용되는, 상기 연마시스템(10)에는 도 4에서 보는 바와 같이 상기 복수의 연마장치(100)에 더하여 공급컨베이어(510) 및 회수컨베이어(520)를 더 포함하도록 하는 것이 바람직하다. 상기 공급컨베이어(510)는 상기 복수의 연마장치(100) 중 첫 번째 연마장치(100a)의 제1지점 옆에 설치되도록 하여, 상기 첫 번째 연마장치(100a)에 대하여 상기 서스플레이트(40)를 공급하도록 하는 것이 바람직하다. 그리고 상기 회수컨베이어(520)는 상기 복수의 연마장치(100) 중 마지막 연마장치(100b)의 제2지점 옆에 설치되도록 하여, 상기 마지막 연마장치(100b)에서 연마가 끝난 상기 서스플레이트(40)를 회수하도록 하는 것이 바람직하다. 그리고 상기 공급컨베이어(510)에도 연계이송수단(301)이 더 포함되도록 하는 것이 바람직한데, 상기 공급컨베이어(510)에 포함된 연계이송수단(301)도 상기 연마장치(100)에 포함된 연계이송수단(300)과 동일한 구성으로 하는 것이 바람직하다. 그리고 상기 공급컨베이어(510)에 포함된 연계이송수단(301)은, 상기 공급컨베이어(510)의 위쪽 중 상기 첫 번째 연마장치(100a) 옆에서 상기 공급컨베이어(510)로 이송되어 온 상기 서스플레이트(40)를, 상기 첫 번째 연마장치(100a)의 제1지점에 위치한 플레이트캐리어(200) 위로 수평 이동시켜 안착시키도록 하는 것이 바람직하다. 그리고 상기 마지막 연마장치(100b)에 포함된 상기 연계이송수단(300)은, 상기 마지막 연마장치(100b)의 제2지점까지 이송되어 온 상기 서스플레이트(40)를 상기 회수컨베이어(520) 위로 수평 이동시켜 안착시키도록 하는 것이 바람직하다.

한편 도 5에는 본 발명에 의한 PCB용 서스플레이트 연마장치의 연계이송수단(300, 301)에 대한 측면도(a) 및 평면도(b)가 도시되어 있다. 이하에서는 도 5를 참조하여 상기 연계이송수단(300, 301)을 설명한다. 상기 연계이송수단(300, 301)은, 도 5에서 보는 바와 같이 표면에 복수의 탄성돌기(320)를 가지는 이송벨트(330) 및 상기 이송벨트(330)를 회전 이동시키는 한 쌍의 회전드럼(310)으로 이루어 진 무한궤도 형상으로 하는 것이 바람직하다. 그리고 그 설치위치는 도 4에서 보는 바와 같이, 상기 연마장치(100)에 포함된 상기 연계이송수단(300)의 경우에는, 상기 연마베드(110)의 끝 지점인 상기 제2지점의 위쪽 중 상기 플레이트캐리어(200)의 상면보다 높은 위치에 설치하도록 하는 것이 바람직하며, 상기 공급컨베이어(510)에 포함된 연계이송수단(301)의 경우에는 상기 공급컨베이어(510) 중 상기 첫 번째 연마장치(100a)에 인접한 쪽의 위쪽에, 상기 플레이트캐리어(200)의 상면보다 높은 위치에 설치하도록 하는 것이 바람직하다. 따라서 상기 연마장치(100)에 포함된 상기 연계이송수단(300)은 상기 플레이트캐리어(200)의 상면 위에 안착되어 상기 제2지점으로 이송되어 온 상기 서스플레이트(40)를 다음 연마장치(100b) 또는 상기 회수컨베이어(520)로 수평 이동시켜 안착시키되, 상기 이송벨트(330)의 회전에 따라 이동하는 상기 복수의 탄성돌기(320)에 의하여 상기 서스플레이트(40)를 수평 이동시키도록 하는 것이 바람직하다. 상기 공급컨베이어(510)의 위쪽에 설치되는 연계이송수단(301)은, 상기 연마장치(100)에 포함된 상기 연계이송수단(300)과 마찬가지 방법으로, 상기 공급컨베이어로 공급되는 상기 서스플레이트(40)를, 상기 첫 번째 연마장치(100a)의 제1지점에 위치한 플레이트캐리어(200) 위로 수평 이동시켜 안착시키도록 하는 것이 바람직하다.

상술한 바와 같이, 또한 도 5에서 보는 바와 같이 상기 연계이송수단(300, 301)은, 상기 이송벨트(330) 및 상기 이송벨트(330)를 회전시켜 무한 이동시키는 한 쌍의 회전드럼(310)으로 이루어진, 무한궤도 형태로 하는 것이 바람직한데, 상기 무한궤도의 폭 즉 상기 이송벨트(330)의 폭(S)은, 상기 서스플레이트(40)의 너비(기판의 진행방향과 직각인 방향의 면 길이)보다 크게 하는 것이 바람직하다. 더욱 바람직하게는 상기 무한궤도의 하부면 중 상기 연마베드(110)의 상면과 평행한 면의 길이(L)도 상기 서스플레이트(40)의 진행방향 길이보다 길게 하는 것이 바람직하다. 이렇게 하는 경우 상기 무한궤도의 하방에 상기 서스플레이트(40)가 진입되는 경우 상기 복수의 탄성돌기(320)들에 의하여 상기 서스플레이트(40) 전체를 감쌀 수 있기 때문에 상기 서스플레이트(40)를 안정적으로 이송시킬 수 있게 된다.

그리고 상기 무한궤도의 하부에서 상기 이송벨트(330)의 진행방향은 상기 플레이트캐리어(200)의 이동방향과 같은 방향으로 함으로써, 상기 서스플레이트(40)가 상기 무한궤도의 하부에 진입하는 경우, 상기 이송벨트(330)의 진행에 따라 이동하는 상기 복수의 탄성돌기(320)에 의하여 상기 서스플레이트(40)가 수평 이동되도록 하는 것이 바람직하다. 도 6에는 상기 복수의 탄성돌기(320)에 의하여 상기 서스플레이트(40)가 수평 이동되는 과정이 도시되어 있다. 도 6(a)에서 보듯이 상기 플레이트캐리어(200)에 의하여, 또는 상기 공급컨베이어(510)에 의하여 상기 서스플레이트(40)가 상기 연계이송수단(300)의 하방에 진입하기 시작하면 상기 탄성돌기(320)는 상기 서스플레이트(40)의 상면에 접촉되어 눌려지게 되는데, 이 경우 상기 탄성돌기(320) 중 상기 서스플레이트(40)의 상면에 접촉되어 눌려지는 탄성돌기(321)들은 도 6(a)에서 보는 바와 같이 상기 이송벨트(330)의 진행 반대방향(플레이트캐리어의 진행 반대방향)으로 휘어지도록 하는 것이 바람직하다.

그리고 도 6(b) 및 도 6(c)에서와 같이 상기 서스플레이트(40)가 상기 연계이송수단(300, 301) 하방으로 완전히 진입할 때까지 상기 플레이트캐리어(200) 또는 상기 공급컨베이어(510)에 의하여 상기 서스플레이트(40)가 계속하여 이동되도록 하는 것이 바람직하다. 상기 서스플레이트(40)가 상기 플레이트캐리어(200) 또는 상기 공급컨베이어(510)에 의하여 상기 연계이송수단(300, 301) 하방으로 완전히 진입한 후에는 도 6(c)와 같은 상태가 되며, 상기 서스플레이트(40)의 상면에 접촉되어 눌려지는 탄성돌기(321)들은, 탄성에 의하여 상기 서스플레이트(40)에 대하여 아랫방향으로 힘을 가함과 동시에, 상기 이송벨트(330)가 진행방향으로 가해지는 힘에 의하여 상기 서스플레이트(40)에 대하여 진행방향으로의 힘을 발생시키게 되며, 상기 탄성돌기(320)들 중 상기 서스플레이트(40)의 경계면에서 상기 서스플레이트(40)의 상면에 눌려지지 않는 탄성돌기(322)들은, 상기 이송벨트(330)가 진행방향으로 가해지는 힘에 의하여 상기 서스플레이트(40)에 대하여 진행방향으로만 힘을 발생시키게 된다. 따라서 도 6(c)와 같은 상태가 되고난 이후에는 상기 플레이트캐리어(200) 또는 상기 공급컨베이어(510)가 상기 서스플레이트(40)에 대하여 이동하는 힘을 가하지 않더라도 상기 서스플레이트(40)는 상기 연계이송수단(300)에 의하여 진행방향으로 계속하여 진행하게 되어 도 6(d)와 같은 상태가 된다.

도 7 및 도 8은 상기 서스플레이트(40)의 모양에 따라 상기 연계이송수단(300)에 형성된 상기 탄성돌기(320)의 작동원리를 보여주는 도면인데, 사변형의 서스플레이트(40)인 경우 도 7에서와 같이, 상기 사변형의 서스플레이트(40) 위에 오게 되는 탄성돌기(321)들은 상기 사변형 서스플레이트(40) 위에서 휘어진 상태가 되어 상기 사변형 서스플레이트(40)에 대하여 아랫방향과 진행방향으로 힘을 가하게 되며, 상기 사변형 서스플레이트(40)의 경계면에서 상기 서스플레이트(40)의 상면에 눌려지지 않는 탄성돌기(322)들은 수직으로 세워진 채로 상기 사변형 서스플레이트(40)에 대하여 진행방향으로 힘을 가하게 된다. 이에 따라 상기 사변형 서스플레이트(40)는 진행방향으로 수평 이동이 가능하게 된다. 그리고 원형 플레이트의 경우 도 8에서와 같이 위에 오게 되는 탄성돌기(321)들은 원형 서스플레이트(40) 위에서 휘어진 상태가 되어 상기 원형 서스플레이트(40)에 대하여 진행방향으로 힘을 가하게 되며, 상기 원형 서스플레이트(40)의 원주면 경계에서 상면에 눌려지지 않는 탄성돌기(322)들은 수직으로 세워진 채로 상기 원형 서스플레이트(40)에 대하여 진행방향으로 가해지는 힘이 작용된다. 이에 따라 상기 원형 서스플레이트(40)는 진행방향으로 수평 이동이 가능하게 된다. 이와 같이 본 발명에 의한 PCB용 서스플레이트 연마장치의 연계이송수단(300)은 복수의 탄성돌기(320)를 포함하는 연계이송수단을 가지고 있기 때문에 상기 복수의 탄성돌기(320) 들이 상기 서스플레이트(40)를 감싸서 이동시킬 수 있고, 이에 따라 상기 서스플레이트(40)의 모양이 어떠하든 간에 상기 연마장치(100) 상호간에 연계이동을 가능하게 할 수 있는 효과가 있다.

한편 도 9 내지 도 17에는 본 발명에 의한 PCB용 서스플레이트 연마장치의 연계이송수단에 대한 작동과정을 설명하기 위한 도면이 도시되어 있다. 도 9 내지 도 17에는 설명의 편의상 상기 연마장치(100)가 두 개인 것으로 하여 도시되어 있으나, 상술한 바와 같이 상기 연마장치(100)는 3개 또는 그 이상 설치가 가능하며, 이는 연마대상 플레이트(40)의 재질이나 사용목적, 채용되는 공정 등에 따라 달라질 수 있다. 이하에서는 도 9 내지 도 17을 참조하여 본 발명에 의한 PCB용 서스플레이트 연마장치의 연계이송수단에 대한 작동과정을 설명한다. 먼저 도 9는 상기 공급컨베이어(510) 위에 상기 서스플레이트(40a)가 안착된 모습을 보여주고 있는 도면이다. 상기 서스플레이트(40a)는 상기 공급컨베이어(510) 위에 안착되면 상기 공급컨베이어(510)의 벨트가 회전함에 따라 상기 첫 번째 연마장치(100a)쪽으로 이송되게 된다(화살표 참조). 그리고 도 10에서 보는 바와 같이 상기 서스플레이트(40a)가 상기 공급컨베이어(510)의 종단(왼쪽 끝)으로 이송되어 오면, 상기 연계이송수단(301)의 회전에 의하여 상기 공급컨베이어(510)의 위에 안착되었던 상기 서스플레이트(40a)는 첫 번째 연마장치(100a)의 연마베드(110a) 중 시작지점인 제1지점(오른쪽 끝)에 있던 상기 플레이트캐리어(200a) 위로 이동하게 된다. 그리고 도 11에서 보는 바와 같이 상기 서스플레이트(40a)가 첫 번째 연마장치(100a)의 플레이트캐리어(200a) 위로 이송되어 안착되게 되면 상기 플레이트캐리어(200a)는 상기 서스플레이트(40a)를 흡착하여 자신의 상면 위에 고정하도록 하는 것이 바람직하다. 그리고 도 12에서 보는 바와 같이 상기 서스플레이트(40a)가 상기 플레이트캐리어(200a)에 흡착되어 고정된 상태에서, 상기 플레이트캐리어(200a)가 상기 연마베드(110)의 시작지점인 상기 제1지점으로부터 상기 연마베드(110)의 끝 지점인 상기 제2지점을 향하여 이동하다가, 상기 연마드럼(400a) 하방을 지나가게 되면 상기 연마드럼(400a)의 회전에 의하여 상기 서스플레이트(40a)에 대한 연마가 수행되게 된다. 상기 연마드럼(400a)에는 연마액 공급부(410a)를 포함하도록 함으로써, 상기 연마드럼(400a)이 상기 서스플레이트(40)에 대한 연마를 진행하는 동안 상기 연마액 공급부(410a)로부터 연마액이 공급되도록 하는 것도 바람직하다.

그리고 상기 플레이트캐리어(200a)가 상기 연마드럼(400a) 하방을 지나가서 도 13에서 보는 바와 같이 상기 연마베드(110a)의 끝 지점인 상기 제2지점에 도달하게 되면, 상기 플레이트캐리어(200a) 위에 안착되어 있던 상기 서스플레이트(40a)는 상기 연계이송수단(300a)에 의하여, 다음 연마장치(100b)을 향하여 수평 방향으로 이동되도록 하는 것이 바람직하다. 이 때 상기 플레이트캐리어(200a)는 상기 서스플레이트(40a)를 흡착하던 모드에서 변환하여 상기 서스플레이트(40a)를 향하여 수직방향으로 공기를 불어냄으로써 상기 서스플레이트(40a)가 상기 플레이트캐리어(200a) 위에서 일정 높이로 부양되도록 하는 것이 바람직하다. 상기 서스플레이트(40a)가 상기 플레이트캐리어(200a) 위에 부양하게 되면 상기 서스플레이트(40a)와 상기 플레이트캐리어(200a) 사이의 마찰저항이 없어지기 때문에, 상기 서스플레이트(40a)는 상기 연계이송수단(300a)에 의하여 원활하게 이동 가능하게 된다. 이와 더불어서 상기 공급컨베이어(510) 위에는 다음에 연마작업을 실시할 예정인 다음 서스플레이트(40b)를 안착시켜 이동시키도록 하는 것이 바람직하다.

그리고 도 14에서 보는 바와 같이 상기 서스플레이트(40a)가 상기 연계이송수단(300a)에 의하여 다음 연마장치(100b)의 연마베드(110b)위 시작지점인 제1지점에 위치한 플레이트캐리어(200b)로 이동하게 되면, 상기 제2지점에 와있던 상기 플레이트캐리어(200a)는 다시 시작지점인 제1지점으로 돌아가서 상기 연계이송수단(301)에 의하여 상기 공급컨베이어(510)로부터 이동되는 새로운 서스플레이트(40b)를 안착시킬 수 있게 하는 것이 바람직하다. 한편 상기 다음 연마장치(100b)의 연마베드(110b)위 시작지점인 제1지점에 위치했던 상기 다음 연마장치(100b)의 플레이트캐리어(200b)는 상기 서스플레이트(40a)를 흡착하여 고정시킨 후 상기 다음 연마장치(100b)의 연마베드(110b) 끝 지점인 제2지점을 향하여 이동하도록 하는 것이 바람직하다. 그리고 도 15에서 보는 바와 같이 상기 다음 연마장치(100b)의 플레이트캐리어(200b)는 상기 서스플레이트(40a)를 흡착하여 고정시킨 상태에서 상기 다음 연마장치(100b)의 연마드럼(400b) 하방을 지나면서 상기 서스플레이트(40a)가 연마되도록 하고, 상기 첫 번째 연마장치(100a)의 끝 지점인 제1지점에 와 있던 상기 플레이트캐리어(200a)에 상기 다음 서스플레이트(40b)가 안착되면 상기 플레이트캐리어(200a)는 상기 다음 서스플레이트(40b)를 흡착하여 고정시킨 후 상기 제2지점을 향하여 이동하도록 하는 것이 바람직하다.

그리고 도 16에서 보는 바와 같이 상기 첫 번째 연마장치(100a)의 플레이트캐리어(200a)는 상기 연마드럼(400a)의 하방을 지나면서 자신의 위에 안착된 상기 다음 서스플레이트(40b)에 대한 연마가 일어나게 하고, 상기 다음 연마장치(100b)의 플레이트캐리어(200b)는 자신의 연마베드(110b)의 끝 지점에 도달하게 되며, 상기 다음 연마장치(100b)의 연계이송수단(300b)은 상기 회수컨베이어(520) 위로 상기 서스플레이트(40a)를 이동시키도록 하는 것이 바람직하다. 이 때 상기 다음 연마장치(100b) 다음에 그 다음 연마장치(100c, 미도시)가 존재하는 경우에는 상기 다음 연마장치(100b)의 연계이송수단(300b)은 상기 서스플레이트(40a)를 상기 그 다음 연마장치(100c, 미도시)의 플레이트캐리어(200c, 미도시)위로 이동시켜 안착시키도록 하는 것이 바람직하다. 그리고 도 17에서 보는 바와 같이 상기 회수컨베이어(520) 위에 안착된 상기 서스플레이트(40a)는 상기 회수컨베이어(520)의 이동에 따라 이송되도록 하며, 상기 첫 번째 연마장치(100a)의 플레이트캐리어(200a)는 상기 연마드럼(400a)의 하방을 지나 상기 제2지점에 도달하고, 상기 연계이송수단(300a)이 상기 다음 서스플레이트(40b)를 상기 다음 연마장치(100b)의 플레이트캐리어(200a) 위로 수평 이동시키도록 하는 한편, 상기 공급컨베이어(510) 위에는 다음 연마공정에 투입될 그 다음 서스플레이트(40c)를 안착시켜 이동시키도록 하는 것이 바람직하다. 이와 같은 작업을 반복함으로써 상기 서스플레이트(40) 들은 연마장치(100)들을 통하여 순차적이고 연속적으로 가공이 가능하게 된다.

다음은 본 발명에 포함된 상기 플레이트캐리어(200)의 상세구조에 대하여 도 18 내지 도 22를 참조하여 설명한다. 도 18은 본 발명에 포함된 상기 플레이트캐리어(200)의 일 실시예를 도시한 사시도인데, 상기 서스플레이트(40)가 사변형인 경우에 사용되는 플레이트캐리어(200)의 사례를 도시한 것이다. 도 18에서 보는 바와 같이 본 발명에 포함된 상기 플레이트캐리어(200)는 상단표면을 덮어서 고정되는 흡착패드(210)를 포함하며, 상기 흡착패드(210)는, 중심에 통기공(212)을 가지는 흡착판(211)을 하나 이상 포함하도록 하는 것이 바람직하다. 상기 흡착패드(210)에 상기 통기공(212) 및 상기 흡착판(211)을 가지는 이유는 상기 서스플레이트(40)를 상기 흡착패드(210)에 흡착시켜 고정할 수 있도록 하기 위함인데, 상기 통기공(212)을 통하여 공기를 빨아들이면 상기 흡착판(211) 내부가 진공상태로 되어 상기 흡착판(211)이 상기 서스플레이트(40)를 흡착시키게 된다. 상기 흡착패드(210)는 실리콘 등과 같은 탄성소재를 사용하는 것이 더욱 바람직한데, 상기 흡착패드(210)를 탄성소재로 사용하는 경우 상기 서스플레이트(40)를 상기 흡착패드(210)에 흡착시킬 때 상기 서스플레이트(40)와 상기 흡착패드(210) 사이의 기밀성이 높아져서 더욱 단단하게 흡착시켜 고정시킬 수 있게 된다. 또한 상기 흡착패드(210)는 상기 플레이트캐리어(200)의 상면에 부착 및 탈착이 가능하도록 하여 일정기간 사용으로 인한 마모나 기타 교체사유 발생 시 교체가 용이하게 하는 것이 더욱 바람직하다.

그리고 상기 연마베드(110)의 시작지점인 상기 제1지점에 상기 플레이트캐리어(200)가 위치할 때, 상기 서스플레이트(40)가 상기 플레이트캐리어(200)의 흡착패드(210) 위에 안착되면(도 11의 상태 참조), 상기 플레이트캐리어(200)는 상기 통기공(212)으로 공기를 흡입하여 상기 흡착판(211)을 진공상태로 만듦으로서 상기 서스플레이트(40)가 상기 흡착패드(210)에 흡착 및 고정되도록 한 상태에서, 상기 연마베드(110)의 끝 지점인 상기 제2지점으로 이동하다가(도 12의 상태 참조), 상기 제2지점에 도달하면(도 13의 상태 참조), 상기 플레이트캐리어(200)는 상기 통기공(212)으로 공기를 분출하여, 상기 흡착판(211)에 공기를 공급함으로써 상기 서스플레이트(40)에 대한 흡착력을 없이함은 물론, 더 나아가서 상기 서스플레이트(40)가 상기 흡착패드(210) 위 일정높이로 부양되도록 공기를 계속하여 분출하도록 하는 것이 바람직하다. 이와 같이 상기 제2지점에서 상기 서스플레이트(40)가 일정높이로 부양될 수 있게 상기 통기공(212)으로 공기를 분출하는 이유는, 상기 연계이송수단(300)이 상기 서스플레이트(40)를 용이하게 이동시킬 수 있도록 하기 위함인데, 상기 서스플레이트(40)가 일정높이로 부양되어 있게 되면 상기 플레이트캐리어(200)와 상기 서스플레이트(40) 사이의 마찰력이 없어지기 때문에, 상기 연계이송수단(300)의 이송벨트(330) 위에 형성된 탄성돌기(320)의 미는 힘에 의하여 상기 서스플레이트(40)가 쉽게 이동할 수 있게 된다. 또한 상기 통기공(212)으로 공기를 분출하게 되면, 연마과정에서 상기 서스플레이트(40) 주변에 생성되어 존재하던 이물질이나 연마유 등이 분출되는 공기에 의하여 주변에서 멀리 밀려나게 만들 수 있으며, 이에 따라 상기 서스플레이트(40)를 이동하는 과정에서 이물질 등이 상기 통기공(212)으로 유입되는 것을 방지할 수 있고, 상기 흡착패드(210) 및 상기 흡착판(211)의 표면을 깨끗한 상태로 유지할 수 있어, 상기 흡착패드(210)와 상기 서스플레이트(40) 사이의 기밀성을 계속하여 유지할 수 있게 된다. 한편, 상기 서스플레이트(40)가 부양된 후 상기 연계이송수단(300)에 의하여 다음 연마장치(100) 또는 상기 회수컨베이어(520)로 이동되고 나면(도 14 또는 도 17의 상태), 상기 플레이트캐리어(200)는 상기 제1지점으로 되돌아가도록 하는 것이 바람직하다. 상기 플레이트캐리어(200)가 상기 연마베드(100)의 시작지점인 제1지점으로 되돌아가는 동안에도, 상기 플레이트캐리어(200)는 상기 통기공(212)으로 공기를 계속하여 분출하도록 하는 것이 바람직한데, 이는 상기 통기공으로 연마액이나 기타 이물질이 유입되는 것을 방지하도록 하기 위함이다.

상기 플레이트캐리어(200)가 위와 같이 작동하기 위하여 상기 플레이트캐리어(200)는, 도 19의 측 단면도에서 보는 바와 같이 제1챔버(240), 제2챔버(250), 공기흡입관(270), 공기공급관(280), 흡입펌프(261) 및 공급펌프(262)를 포함하도록 하는 것이 바람직하다. 그리고 여기에 더하여 상기 흡입펌프(261)와 상기 공기흡입관(270) 사이에는 에어필터(290)를 포함하도록 하는 것도 가능하다. 그리고 상기 제1챔버(240)는, 상기 플레이트캐리어(200) 상단표면의 직하부에 위치하며, 상기 제2챔버(250)는, 상기 제1챔버(240)의 직하부에 위치하도록 하며, 상기 상단표면과 상기 제2챔버(250) 사이에는, 상기 제1챔버(240)를 관통하는 통기파이프(241)가 위치하도록 하는 것이 바람직하다. 또한 상기 통기파이프(241)에는, 중심에 상기 통기공(212)을 가지는 통기호스(213)가 삽입되며, 상기 통기파이프(241) 및 상기 통기호스(213)의 중간에는, 상기 제1챔버(240)로부터 상기 통기호스(213) 내부로 공기를 공급할 수 있는 공급공(242)이 하나 이상 형성되도록 하는 것이 바람직하다. 그리고 상기 공기흡입관(270)은, 상기 제2챔버(250)와 상기 흡입펌프(261)의 사이에 연결되어 상기 흡입펌프(261)의 작동에 의하여 상기 제2챔버(250)로부터 공기를 흡입하도록 하며, 상기 공기공급관(280)은, 상기 제1챔버(240)와 상기 공급펌프(262)의 사이에 연결되어 상기 공급펌프(262)가 생산하는 공기를 상기 제1챔버(240)에 공급하도록 하는 것이 바람직하다.

상기 흡입펌프(261)는, 상기 플레이트캐리어(200)가 상기 연마베드(110)의 시작지점에 도달하여 상기 서스플레이트(40)가 상기 흡착패드(210) 위에 안착되면 작동하여, 상기 제2챔버(250)가 진공에 가까운 상태가 될 수 있도록 상기 공기흡입관(270)을 통하여 공기를 흡입하도록 하되 이러한 상태는 상기 플레이트캐리어(200)가 상기 연마베드(110)의 끝 지점인 상기 제2지점에 도달할 때까지 유지할 수 있어야 한다. 그리고 상기 공급펌프(262)는 상기 플레이트캐리어(200)가 상기 제2지점에 도달하면 작동하여 공기를 생산하여 공기공급관(280)을 통하여 상기 제1챔버(240)에 대하여 공기를 공급하도록 함으로써 상기 공급공(242) 및 상기 통기공(212)을 통하여 공기가 분출되도록 하되, 이러한 상태는 상기 플레이트캐리어(200)가 상기 연마베드(110)의 시작지점인 상기 제1지점으로 다시 돌아올 때까지 하는 것이 바람직하다.

한편 도 20에는 상기 플레이트캐리어(200)가 상기 제1지점에 도착하여 상기 연계이송수단(300)이 상기 플레이트캐리어(200)의 상기 흡착패드(210)에 상기 서스플레이트(40)를 이동시켜 안착시켰을 때의 모습이 도시되어 있으며(도 7의 상태), 도 21에는 상기 플레이트캐리어(200)가 상기 연마베드(110)의 끝 지점에 도착하여 상기 연계이송수단(300)이 상기 플레이트캐리어(200)의 상기 흡착패드(210)에 있는 상기 서스플레이트(40)를 상기 다음 연마모듈(100b) 또는 상기 회수컨베이어(520)로 이동시킬 때의 모습이 도시되어 있다(도 9의 상태). 이하에서는 도 20 및 도 21을 이용하여 상기 플레이트캐리어(200)의 작동과정을 설명한다.

도 11의 상태에서와 같이 상기 플레이트캐리어(200)가 상기 연마베드(110)의 시작지점인 상기 제1지점에 도착하고, 상기 연계이송수단(300)이 상기 플레이트캐리어(200)의 상기 흡착패드(210) 위에 상기 서스플레이트(40)를 이동시켜 안착시키게 되면, 도 20에서 보는 바와 같이 상기 플레이트캐리어(200)에 포함된 상기 흡입펌프(261)가 작동하여 상기 제2챔버(250) 내에서 공기를 흡입하게 되며, 상기 흡입펌프(261)가 상기 공기흡입관(270)을 통하여 상기 제2챔버(250)로부터 공기를 흡입하게 되면, 상기 통기공(212)를 통하여 상기 흡착판(211) 내부의 공기는 상기 제2챔버(250) 쪽으로 빨려나오게 된다. 이에 따라 상기 흡착판(211)들은 상기 서스플레이트(40)에 대하여 흡착력을 발생하게 되며, 상기 서스플레이트(40)는 상기 흡착패드(210)에 흡착되어 고정되게 된다. 이 때 상기 흡입펌프(261)가 상기 제2챔버(250)로부터 공기를 흡입하는 과정에서 상기 제1챔버(240)에 있는 공기가 빠져나와 상기 흡착판(211)의 흡착력을 저하시키는 것을 방지하기 위하여 상기 공기공급관(280)과 상기 공급펌프(262) 사이에 공급밸브(281)를 두고, 상기 흡입펌프(261)가 상기 제2챔버(250)로부터 공기를 흡입하는 동안에는 상기 공급밸브(281)를 차단하도록 하는 것이 바람직하다.

이러한 상태를 유지하면서 상기 플레이트캐리어(200)는 상기 연마베드(110) 위에서 상기 제1지점으로부터 상기 제2지점까지 이동하게 되는데, 상기 연마드럼(400) 밑에 도달하게 되어 상기 연마드럼(400)의 회전에 의하여 상기 서스플레이트(40)의 상면에 대한 연마가 이루어지더라도 상기 서스플레이트(40)는 상기 흡착패드(210)에 흡착되어 단단히 고정되어 있기 때문에 상기 서스플레이트(40)가 움직이지 않는 상태가 되며, 이에 따라 연마공정이 원활하게 수행될 수 있는 것이다. 그런데 도 19 내지 도 21에서 보는 바와 같이 상기 플레이트캐리어(200) 상면의 일단에는 지지턱(230)을 포함하도록 하는 것이 바람직한데, 상기 지지턱(230)은 상기 흡착패드(210)의 상단으로부터 일정높이로 돌출되도록 하고, 그 높이 즉 상기 일정높이는 상기 서스플레이트(40)의 두께보다 작게 하는 것이 바람직하다. 그리고 상기 지지턱(230)을 위에서 본 평면형상은 상기 서스플레이트(40)의 일 측과 같은 형상으로 하는 것이 더욱 바람직하다. 도 18의 사례에서는 사변형 서스플레이트이므로 사변형의 일 측은 한 변에 해당하므로 일자형으로 하는 것이 바람직하다. 이렇게 상기 플레이트캐리어(200) 상면의 일단에 상기 지지턱(230)을 포함하는 경우 상기 서스플레이트(40)가 연마되는 과정에서 상기 서스플레이트(40)가 상기 연마드럼(400)의 회전에 의하여 뒤로 밀리지 않고 안정적으로 고정될 수 있는 효과가 있다.

그리고 도 13 또는 도 16의 상태에서처럼, 상기 플레이트캐리어(200)가 상기 연마베드(110)의 끝 지점인 상기 제2지점에 도착하게 되면, 상기 연계이송수단(300)이 상기 플레이트캐리어(200)의 흡착패드(210)에 위에 안착되어 있던 상기 서스플레이트(40)를 이동시켜 상기 다음 연마모듈(100b)에 있는 플레이트캐리어(200b) 또는 상기 회수컨베이어(520) 위로 이동시켜야 하는데, 이 때 도 21에서 보는 바와 같이 상기 플레이트캐리어(200)에 포함된 상기 공급펌프(262)가 작동하여 상기 제1챔버(240) 내로 공기를 공급하게 되며, 이에 따라 상기 공급공(242)을 통하여 상기 통기공(212)으로 공기가 공급되며, 상기 통기공(212)으로 공급되는 공기는 상기 흡착판(211)을 채우고 상기 서스플레이트(40)에 대하여 위로 일정높이까지 부양되는 힘을 가해지게 된다. 이 때 상기 공급공(242)을 통하여 공급되는 공기가 상기 제2챔버(250)로 나가지 않도록 상기 흡입펌프(261) 입구에는 흡입밸브(271)를 두고, 상기 공급펌프(262)가 상기 제1챔버(240)에 대하여 공기를 공급하는 동안에는 상기 흡입밸브(271)를 차단하도록 하는 것이 바람직하다.

본 발명은 이와 같이 상기 흡입펌프(261) 및 상기 공급펌프(262)를 각각 별도로 포함하도록 하고 있기 때문에 상기 제1챔버(240) 및 상기 제2챔버(250) 내에 공기가 순환하는 방식이 아니라, 상기 제2챔버(250)에서 공기를 흡입해 내고, 상기 제1챔버(240)에는 새로운 공기를 공급할 수 있으며, 이에 따라 연마에 따라 발생하는 이물질 등으로 인하여 상기 제2챔버(250) 내의 공기가 오염된다 하더라도 오염물질은 상기 에어필터(290)를 통하여 걸러질 뿐만 아니라 흡입된 공기 자체는 상기 흡입펌프(261)를 통하여 밖으로 완전하게 분출된다. 그리고 상기 제2챔버(250)에 공급되는 공기는 오염되지 않은 새로운 공기를 밖에서부터 공급할 수 있기 때문에 상기 제1챔버(240) 및 상기 제2챔버(250) 내의 공기를 오염되지 않은 새로운 상태로 항상 유지할 수 있게 된다. 이에 따라 상기 서스플레이트(40)와 상기 흡착패드(210) 사이에 이물질 등이 개재되는 것을 예방할 수 있기 때문에 둘 사이의 밀착면에서 높은 기밀성을 유지할 수 있게 되는 효과가 있다.

한편 상기 통기호스(213)는 상기 통기파이프(241)의 길이보다 길게 형성되어 상기 제2챔버(250)쪽으로 돌출된 종단을 가지며, 상기 통기호스(213) 중 상기 돌출된 종단의 외주면에는, 상기 통기호스의 외경보다 크게 단턱이 형성된 고정돌기(214)가 포함되도록 하는 것이 바람직한데, 상기 고정돌기(214)는 상기 흡착패드(210)가 상기 플레이트캐리어(200)의 상단표면에 안정적으로 장착될 수 있도록 함은 물론, 상기 공급펌프(262)가 상기 제1챔버(240)에 대하여 공기를 공급하여 상기 기판을 밀어내는 경우에도, 상기 통기호스(213)가 상기 통기파이프(241)로부터 빠져나가지 않게 지지하는 역할을 하게 된다. 그리고 도 22에는 상기 플레이트캐리어(200)의 다른 실시예가 도시되어 있는데, 도 22에서 보는 바와 같이 상기 플레이트캐리어(200)는 원판형상의 플레이트(41)를 이송하는 것도 가능하며, 이 경우 상기 지지턱(231)은 기판의 일 측과 같은 형상인 반원형으로 하는 것도 바람직하다.

상술한 여러 가지 예로 본 발명을 설명하였으나, 본 발명은 반드시 이러한 예들에 국한되는 것이 아니고, 본 발명의 기술사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양하게 변형 실시될 수 있다. 따라서 본 발명에 개시된 예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 예들에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.

10 연마시스템
40 서스플레이트
100 연마장치
110 연마베드
200 플레이트캐리어
201 캐리어하우징 210 흡착패드
211 흡착판 212 통기공
213 통기호스 214 고정돌기
230 지지턱 240 제1챔버
241 통기파이프 242 공급공
250 제2챔버 260 에어펌프
261 흡입펌프 262 공급펌프
270 공기흡입관 271 흡입밸브
280 공기공급관 281 공급밸브
290 에어필터
300,301 연계이송수단
310 회전드럼 320 탄성돌기
330 이송벨트
400 연마드럼
410 연마액 공급부
510 공급컨베이어
520 회수컨베이어

Claims

연마장치에서 연마된 서스플레이트를, 인접하여 설치되어 있는 다음 연마장치로 연계하여 이송하는 연계이송수단으로서,
상기 연마장치는, 연마베드, 플레이트캐리어 및 연마드럼을 포함하며
상기 플레이트캐리어는, 상기 연마베드 위에서, 상기 연마베드의 시작지점인 제1지점과 상기 연마베드의 끝 지점인 제2지점 사이를 반복하여 왕복 이동하되, 상기 제1지점에서 상면 위에 안착되는 상기 서스플레이트를 상기 제2지점까지 이송한 후, 상기 서스플레이트가 상기 다음 연마장치로 이송되면 상기 제1지점으로 되돌아가며,
상기 연마드럼은, 상기 연마베드 위쪽 일정 높이에서, 상기 플레이트캐리어의 상면 위에 안착되어 상기 제1지점에서 상기 제2지점으로 이송되는 상기 서스플레이트의 윗면을 연마하며,
상기 연계이송수단은,
- 표면에 복수의 탄성돌기를 가지는 이송벨트 및 상기 이송벨트를 회전 이동시키는 한 쌍의 회전드럼으로 이루어 진 무한궤도 형상으로서,
- 상기 제2지점의 위쪽 중 상기 플레이트캐리어의 상면보다 높은 위치에 위치하며,
- 상기 플레이트캐리어의 상면 위에 안착되어 상기 제2지점으로 이송되어 온 상기 서스플레이트를, 상기 다음 연마장치의 제1지점에 도착하여 있는 다음 플레이트캐리어의 상면 위에 수평 이동시켜 안착시키되, 상기 이송벨트의 회전에 따라 이동하는 상기 복수의 탄성돌기에 의하여 상기 서스플레이트를 수평 이동시키는 것을 특징으로 하는, PCB용 서스플레이트 연마장치의 연계이송수단
제1항에 있어서,
상기 탄성돌기는
- 상기 서스플레이트의 윗면에 접촉되어 눌려질 경우, 상기 이송벨트의 진행 반대방향으로 휘어지면서, 상기 서스플레이트에 대하여 아랫방향 및 상기 이송벨트의 진행방향으로 미는 힘을 발생시키며,
- 상기 서스플레이트의 측면 중, 상기 이송벨트의 진행방향과 직각인 측면에 접촉하는 경우 상기 서스플레이트에 대하여 상기 이송벨트의 진행방향으로 미는 힘을 발생시키는 것을 특징으로 하는, PCB용 서스플레이트 연마장치의 연계이송수단
제1항에 있어서,
상기 플레이트캐리어는
- 상단표면을 덮어서 고정되는 흡착패드를 포함하며,
- 상기 흡착패드는, 중심에 통기공을 가지는 흡착판을 하나 이상 포함하며,
- 상기 제1지점에서 상기 서스플레이트가 상기 흡착패드 위에 안착되면 상기 통기공으로 공기를 흡입하여, 상기 서스플레이트가 상기 흡착패드에 흡착 및 고정되도록 한 상태에서 상기 제2지점 까지 이동하였다가,
- 상기 제2지점에 도달하면 상기 통기공으로 공기를 분출하여, 상기 서스플레이트가 상기 흡착패드 위 일정높이로 부양되도록 하고,
- 상기 서스플레이트가 부양된 후 상기 연계이송수단에 의하여 상기 다음 연마장치로 이송되면, 상기 통기공으로 공기를 계속하여 분출하면서 상기 제1지점으로 되돌아가는 것을 특징으로 하는, PCB용 서스플레이트 연마장치의 연계이송수단
제3항에 있어서,
상기 플레이트캐리어는, 제1챔버, 제2챔버, 공기흡입관, 공기공급관, 흡입펌프 및 공급펌프를 포함하며,
상기 제1챔버는, 상기 상단표면의 하부에 위치하며,
상기 제2챔버는, 상기 제1챔버의 하부에 위치하며,
상기 상단표면과 상기 제2챔버 사이에는, 상기 제1챔버를 관통하는 통기파이프가 위치하며,
상기 통기파이프에는, 중심에 상기 통기공을 가지는 통기호스가 삽입되며,
상기 통기파이프 및 상기 통기호스의 중간에는, 상기 제1챔버로부터 상기 통기호스 내부로 공기가 공급되는 공급공이 하나 이상 형성되며,
상기 공기흡입관은, 상기 제2챔버와 상기 흡입펌프의 사이에 연결되며,
상기 공기공급관은, 상기 제1챔버와 상기 공급펌프의 사이에 연결되며,
상기 흡입펌프는, 상기 플레이트캐리어가 상기 제1지점에 도달하여 상기 서스플레이트가 상기 흡착패드 위에 안착되면 상기 제2챔버로부터 공기를 흡입하며,
상기 공급펌프는 상기 플레이트캐리어가 상기 제2지점에 도달하면 상기 제1챔버에 대하여 공기를 공급하는 것을 특징으로 하는, PCB용 서스플레이트 연마장치의 연계이송수단
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 연마장치는 복수이며,
복수의 연마장치 각각은 인접하여 설치되어 있으며,
상기 복수의 연마장치 중 첫 번째 연마장치의 제1지점 옆에는, 상기 첫 번째 연마장치에 상기 서스플레이트를 공급하는 공급컨베이어가 설치되며,
상기 공급컨베이어 중 상기 첫 번째 연마장치에 인접한 쪽의 위쪽에는 상기 연계이송수단이 설치되며,
상기 공급컨베이어의 위쪽에 설치되는 상기 연계이송수단은, 상기 공급컨베이어로 공급되는 상기 서스플레이트를, 상기 첫 번째 연마장치의 제1지점에 위치한 플레이트캐리어 위로 수평 이동시켜 안착시키며,
상기 복수의 연마장치 중 마지막 연마장치의 제2지점 옆에는, 상기 마지막 연마장치에서 연마된 서스플레이트를 회수하는 회수컨베이어가 설치되며,
상기 마지막 연마장치에 포함된 상기 연계이송수단은, 상기 마지막 연마장치의 제2지점까지 이송되어 온 상기 서스플레이트를 상기 회수컨베이어 위로 수평 이동시켜 안착시키는 것을 특징으로 하는, PCB용 서스플레이트 연마장치의 연계이송수단