KR102531997B1

KR102531997B1 - 노광 장치

Info

Publication number: KR102531997B1
Application number: KR1020180033870A
Authority: KR
Inventors: 준 나고야
Original assignee: 가부시키가이샤 아도텟쿠 엔지니아린구
Priority date: 2017-03-26
Filing date: 2018-03-23
Publication date: 2023-05-12
Also published as: CN108628106B; JP7196222B2; KR20180109045A; TW202248770A; JP2018163272A; TWI779014B; TW201903519A; CN108628106A; JP6865609B2; JP2021113985A; TWI830349B

Abstract

[과제] 기판의 품종에 따라 최적화된 클리닝을 행할 수 있도록 한 노광 장치를 제공한다.
[해결 수단] 반입 핸드(31)의 전단에는 신축 기구(42)를 구비한 아암(41)을 통하여 클리닝 롤러(4)가 부착되고, 반입 핸드(31)가 기판(W)을 플래튼(1)에 올려놓은 후에 대기 위치로 되돌아올 때에 클리닝 롤러(4)를 기판(W)에 접촉시키면서 수평 이동하여 기판(W)이 클리닝된다. 컨트롤러(6)의 입력부(64)로부터의 입력에 의해, 플래튼(1)에 올려놓여진 기판(W)의 가장자리를 포함하여 당해 가장자리로부터 내측의 임의의 위치를 클리닝 개시점(Ps)으로서 설정할 수 있으며, 컨트롤러(6)는 마진을 피해 클리닝 롤러(4)에 클리닝을 행하게 한다.

Description

노광 장치{EXPOSURE DEVICE}

본원의 발명은, 기판에 대해 소정의 패턴의 광을 조사하여 노광하는 노광 장치에 관한 것이며, 특히, 기판의 표면에 부착된 이물을 제거하는 클리닝 기구를 구비한 노광 장치에 관한 것이다.

기판에 대해 소정의 패턴의 광을 조사하여 노광하는 것은, 포토리소그래피에 있어서의 주요한 공정으로서 널리 행해지고 있다. 이 때문에, 다양한 노광 장치가 사용되고 있다.

노광 장치에는, 주로 세 개의 타입의 장치가 알려져 있다. 하나의 타입은 투영 노광이며, 또 하나의 타입은 컨택트 노광이며, 또한 다른 하나의 타입은 프록시미티 노광이다. 또, DMD와 같은 공간 광변조 소자를 사용하는 DI(다이렉트 이메징) 노광도 알려져 있다. 이러한 노광 장치에서는, 기판은, 플래튼으로 불리는 스테이지형의 부재에 올려놓여져서 처리된다.

이러한 노광 장치에는, 제품의 고기능화, 소형화, 경량화 등을 배경으로 하여, 노광 패턴의 미세화나 노광 품질의 향상이 요구되고 있다. 이 때문에, 노광 장치는, 종종 클리닝 기구를 구비하고 있다. 노광 처리의 품질의 저하는, 노광 시에 기판의 표면에 이물이 부착되어 있는 것에 의해 생기는 경우가 많다. 이 때문에, 기판으로부터 파티클을 제거하는 클리닝 기구를 구비한 노광 장치가 알려져 있다.

특허 문헌 1에는, 이런 종류의 클리닝 기구를 구비한 노광 장치가 개시되어 있다. 특허 문헌 1의 장치에 설치된 클리닝 기구는, 점착성의 제진 롤러에 의해 먼지를 제거하는 기구로 되어 있다. 점착성의 제진 롤러는, 기판을 반송하는 핸드에 부착되어 있다.

일본국 특허공개 2014-59494호 공보

특허 문헌 1에서는, 마스크의 제진에 대해서 상세히 설명되어 있지만, 기판의 클리닝에 대해서는 상세히 설명되어 있지 않다. 발명자의 연구에 의하면, 기판의 클리닝에 대해서는 특유의 사정이 있으며, 그 사정은 기판의 품종에 따라 상이한 것을 알 수 있었다.

본원의 발명은, 이 지견에 의거하여 이루어진 것이며, 기판의 품종에 따라 최적화된 클리닝을 행할 수 있도록 한 노광 장치를 제공하는 것을 목적으로 하고 있다.

상기 과제를 해결하기 위해, 이 출원의 청구항 1에 기재된 발명은, 기판에 대해 소정의 패턴의 광을 조사하여 노광하는 노광 장치로서,

노광 시에 기판이 올려놓여지는 플래튼과,

플래튼에 대해 기판을 반입하고, 노광 후에 기판을 플래튼으로부터 반출하는 반송계와,

플래튼에 올려놓여진 기판에 소정의 패턴의 광을 조사하는 광조사 유닛을 구비하고 있으며,

반송계는, 반송 시에 기판을 유지하는 반송 핸드를 포함하고 있고,

반송 핸드에는, 점착력에 의해 이물을 흡착하여 제거하는 클리닝 롤러가 부착되어 있으며,

반송계의 동작을 제어하는 컨트롤러가 설치되어 있고,

컨트롤러는, 반송 핸드가 대기 위치와 플래튼 사이를 일(一)왕복의 이동을 할 때에 클리닝 롤러에 의해 클리닝을 행하게 하기 위한 제어 정보를 기억한 기억부와, 기억부에 기억된 제어 정보를 반송 기구에 출력하여 이동을 행하게 하는 출력부와, 클리닝 롤러에 의해 클리닝을 행하게 하기 위한 제어 정보를 입력시키는 입력부를 포함하고 있고,

컨트롤러의 입력부는, 클리닝 롤러가 이동하여 클리닝할 때의 당해 이동의 개시점인 클리닝 개시점을 설정하기 위한 정보를 입력시키는 것이 가능하고, 컨트롤러는, 입력부로부터 입력된 정보에 따라, 플래튼에 올려놓여진 기판의 가장자리를 포함하여 당해 가장자리로부터 내측의 임의의 위치를 클리닝 개시점으로서 설정하는 것이 가능한 것이라는 구성을 가진다.

또, 상기 과제를 해결하기 위해, 청구항 2에 기재된 발명은, 상기 청구항 1의 구성에 있어서, 상기 입력부는, 상기 플래튼에 올려놓여진 기판의 가장자리로부터의 마진의 양을 입력시키는 것이 가능하고,

상기 컨트롤러는, 입력된 마진의 양만큼 기판의 가장자리로부터 떨어진 위치를 클리닝 개시점으로서 설정하는 것이라는 구성을 가진다.

또, 상기 과제를 해결하기 위해, 청구항 3에 기재된 발명은, 상기 청구항 2의 구성에 있어서, 상기 마진은, 상기 기판의 표면에 대해 기판의 표면 전역보다 작은 영역에서 피착되어 있는 드라이 필름의 가장자리와 당해 기판의 가장자리 사이의 영역을 포함하고 있는 것이라는 구성을 가진다.

또, 상기 과제를 해결하기 위해, 청구항 4에 기재된 발명은, 상기 청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 하나의 구성에 있어서, 상기 컨트롤러의 출력부는, 상기 반송 기구에 대해 상기 반송 핸드의 이동 속도의 제어 신호를 출력하는 것이며, 출력되는 제어 신호는, 상기 클리닝 롤러가 상기 기판에 접촉하고 있을 때의 상기 반송 핸드의 이동 속도에 비해 상기 클리닝 롤러가 상기 기판에 접촉하고 있지 않을 때의 상기 반송 핸드의 이동 속도를 높게 하는 제어 신호인 것이라는 구성을 가진다.

또, 상기 과제를 해결하기 위해, 청구항 5에 기재된 발명은, 상기 청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 하나의 구성에 있어서, 상기 클리닝 롤러는, 상기 플래튼에 기판을 반입하는 반입 핸드에 설치되어 있고,

상기 클리닝 개시점은, 반입 핸드가 기판을 반입하여 상기 플래튼에 올려놓은 후에 당초의 위치로 되돌아올 때의 경로 상에 설정되는 것이라는 구성을 가진다.

또, 상기 과제를 해결하기 위해, 청구항 6에 기재된 발명은, 상기 청구항 1 내지 청구항 5 중 어느 하나의 구성에 있어서, 상기 컨트롤러에는, 상기 반송 기구의 동작을 포함하는 프로그램이 실장되어 있고,

상기 기억부에는, 상기 클리닝 롤러가 상기 플래튼의 클리닝을 행하기 위한 다른 제어 정보가 기억되어 있으며,

다른 제어 정보는, 상기 플래튼의 한쪽의 가장자리를 클리닝 개시점으로 하고, 그것과는 반대측의 가장자리를 클리닝 종료점으로 하는 제어 정보이며,

프로그램은, 상기 반송 기구 및 상기 광조사 유닛에 의해 소정 장수의 기판에 대해 노광을 행한 후, 다른 제어 정보를 반송 기구에 출력하여 상기 플래튼의 클리닝을 행하게 하는 프로그램인 것이라는 구성을 가진다.

이하에 설명하는 대로, 이 출원의 청구항 1 또는 2에 기재된 발명에 의하면, 플래튼에 올려놓여진 기판의 가장자리를 포함하여 당해 가장자리로부터 내측의 임의의 위치를 클리닝 개시점으로서 설정할 수 있으므로, 클리닝 롤러가 플래튼에 접촉하지 않게 하여 기판만 클리닝하는 것이 가능함과 함께, 기판의 위치 어긋남 등을 방지하면서 클리닝할 수 있다.

또, 청구항 3에 기재된 발명에 의하면, 상기 효과에 더하여, 드라이 필름의 말려들어감을 방지하면서 기판의 클리닝을 행할 수 있다.

또, 청구항 4에 기재된 발명에 의하면, 상기 효과에 더하여, 택트 타임의 장기화를 방지하면서 기판의 클리닝을 행할 수 있다.

또, 청구항 5에 기재된 발명에 의하면, 반입 핸드가 기판을 반입했을 때의 귀로에 있어서 기판의 클리닝이 행해지므로, 이 점에서 택트 타임의 장기화를 방지하면서 기판의 클리닝을 행할 수 있다.

또, 청구항 6에 기재된 발명에 의하면, 플래튼의 클리닝도 행해지므로, 플래튼을 경유한 기판으로의 이물의 부착 등이 방지된다.

도 1은 실시 형태의 노광 장치의 정면 개략도이다.
도 2는 프로그램의 개략을 나타낸 플로차트이다.
도 3은 클리닝 롤러의 제어 정보에 대해서 나타낸 정면 개략도이다.
도 4는 클리닝 롤러의 제어 정보에 대해서 나타낸 평면 개략도이다.
도 5는 마진 영역을 피해 클리닝하는 것의 의의에 대해서 나타낸 정면 개략도이다.
도 6은 마진 영역을 피해 클리닝하는 것의 의의에 대해서 나타낸 정면 개략도이다.
도 7은 실시 형태의 노광 장치의 동작을 나타낸 정면 개략도이다.
도 8은 실시 형태의 노광 장치의 동작을 나타낸 정면 개략도이다.
도 9는 반입 핸드의 속도에 대해서 나타낸 개략도이다.
도 10은 클리닝 롤러의 높이 제어에 대해서 나타낸 정면 개략도이다.

다음에, 이 출원의 발명을 실시하기 위한 형태(이하, 실시 형태)에 대해서 설명한다.

도 1은, 실시 형태의 노광 장치의 정면 개략도이다. 도 1에 나타내는 노광 장치는, 플래튼(1)과, 플래튼(1)에 올려놓여진 기판(W)에 대해 소정의 패턴의 광을 조사하여 노광하는 광조사 유닛(2)과, 플래튼(1)에 대해 기판(W)을 반입하고, 노광 후에 기판(W)을 플래튼(1)으로부터 반출하는 반송계(3)를 구비하고 있다.

플래튼(1)이란, 처리 시에 기판(W)이 올려놓여지는 대(臺)형의 부재의 총칭이다. 이 실시 형태에서는, 플래튼(1)은, 수평의 상면에 기판(W)이 올려놓여지는 것으로 되어 있다. 플래튼(1)은, 상면에 있어서 기판(W)을 진공 흡착하는 진공 흡착 기구(12)를 구비하고 있다.

광조사 유닛(2)은, 노광의 방식에 따라 적당한 것이 선택되어 탑재된다. 예를 들면 컨택트 방식의 경우, 광조사 유닛(2)은, 기판(W)과 동일한 정도의 크기의 마스크와, 플래튼(1)에 올려놓여진 기판(W)을 마스크에 밀착시키는 플래튼 구동 기구와, 마스크를 통해 소정의 패턴의 광조사하는 조사 광학계 등을 구비한 구성이 된다. 프록시미티 방식의 경우, 마스크 구동 기구가 마스크를 기판(W)으로부터 미소하게 떨어진 위치에 배치하도록 구성되는 것 외에는, 컨택트 방식과 기본적으로 동일하다. 투영 노광 방식의 경우에는, 광조사 유닛(2)은, 마스크를 투과한 광을 기판(W) 상에 결상시키는 투영 광학계가 된다. 이 외에, DMD와 같은 공간 광변조 소자를 사용하여 조사 패턴을 마스크 없이 직접 형성하는 DI 노광의 방식이 채용되는 경우도 있을 수 있다.

반송계(3)는, 반송 시에 기판(W)을 유지하는 반송 핸드(31, 32)를 포함하고 있다. 이 실시 형태에서는, 반입측과 반출측에 반송 핸드(31, 32)가 설치되어 있다(이하, 반입 핸드, 반출 핸드라고 한다). 반송계(3)는, 각 핸드(31, 32)를 구동하는 구동 기구(310, 320)를 구비하고 있다.

또, 반송계(3)는, 플래튼(1)을 사이에 두고 컨베이어(33, 34)를 구비하고 있다. 반입 핸드(31)는, 반입측 컨베이어(33)로부터 기판(W)을 픽업하여 플래튼(1)에 반입하고, 반출 핸드(32)는 플래튼(1)으로부터 노광이 완료된 기판(W)을 픽업하여 반출측 컨베이어(34)에 반송한다. 도 1에서는 좌측이 반입측이고 우측이 반출측이 되어 있지만, 반대여도 되는 경우는 말할 필요도 없다.

각 핸드(31, 32)는, 상측으로부터 기판(W)을 흡착하는 흡착 패드(311, 321)를 구비하고 있다. 흡착 패드(311, 321)는, 이 실시 형태에서는 진공 흡착 패드로 되어 있다. 흡착 패드(311, 321)는, 기판(W)의 크기에 따라 복수 균등하게 설치되어 있다.

장치는, 플래튼(1) 상에서 기판(W)이 소정의 위치에 위치시키는 얼라인먼트 수단을 구비하고 있다. 얼라인먼트 수단은, 기판(W)의 얼라인먼트 마크를 촬영하는 도시하지 않은 카메라와, 플래튼(1)을 구동하여 위치를 조절하는 플래튼 구동 기구(11) 등으로 구성되어 있다.

이러한 실시 형태의 노광 장치는, 노광 처리의 품질을 향상시키기 위해, 반송 핸드에 클리닝 롤러(4)를 설치하고 있다. 클리닝 롤러(4)는, 반입 핸드(31)와 반출 핸드(32) 중 어느 하나여도 되지만, 이 실시 형태에서는 반입 핸드(31)에 설치하고 있다. 클리닝 롤러(4)는, 이 실시 형태에서는, 실리콘 고무 롤러와 같은 이물이 부착되기 쉬운 수지제의 롤러로 되어 있다.

이하, 반입 핸드(31)에 있어서, 기판(W)의 반입 시에 이동하는 방향을 전, 그것과는 반대측을 후로 한다. 또, 전후 방향에 수직인 수평 방향(도 1의 종이면 수직 방향)을 안쪽 방향이라고 한다.

도 1에 나타내는 바와 같이, 클리닝 롤러(4)는, 반입 핸드(31)의 전단에 부착되어 있다. 클리닝 롤러(4)의 전단에는, 하방으로 연장되는 아암(41)이 고정되어 있다. 안쪽 방향의 양측에 고정된 한 쌍의 것이다. 아암(41)에는, 신축 기구(42)가 설치되어 있다. 신축 기구(42)는, 클리닝 롤러(4)의 위치를 조절하거나, 클리닝 롤러(4)를 방해가 되지 않게 퇴피시키기 위한 기구이다. 신축 기구(42)로서는, 예를 들면 에어 실린더와 같은 유체압 실린더를 사용할 수 있다.

클리닝 롤러(4)는, 길이 방향이 안쪽 방향을 향하고 있으며, 한 쌍의 아암(41)에 의해 종동 회전 가능하게 유지되어 있다. 클리닝 롤러(4)의 길이는, 처리되는 기판(W)의 안쪽 방향의 길이(기판(W)의 폭)보다 조금 길다. 상이한 크기의 기판(W)이 1대의 노광 장치로 처리되는 경우가 많지만, 상정되는 가장 큰 기판(W)의 폭보다 조금 긴 클리닝 롤러(4)가 사용된다.

또, 장치는, 이착 롤러(5)를 구비하고 있다. 이착 롤러(5)는, 클리닝 롤러(4)에 부착된 이물을 이착시켜, 클리닝 롤러(4)의 메인터넌스 빈도를 낮게 할 목적으로 설치되어 있다.

이착 롤러(5)는, 표면에 점착층을 가지는 점착 롤러이다. 이착 롤러(5)는, 가정용의 먼지 제거용 점착 롤러와 마찬가지로, 점착 테이프(점착지)가 감겨진 구조이며, 이착 롤러(5)로의 이물의 부착량이 많아진 경우, 표면의 한 장의 점착 테이프를 벗김으로써 부착력이 재생되는 것이다. 이착 롤러(5)의 점착력은, 클리닝 롤러(4)보다 상당 정도 높은 것으로 되어 있다.

이 실시 형태에서는, 이착 롤러(5)는, 플래튼(1)과 반입측 컨베이어(33) 사이의 위치에 설치되어 있다. 이착 롤러(5)는, 클리닝 롤러(4)와 동일한 정도의 길이의 것이며, 마찬가지로 안쪽 방향이 길이 방향이 되도록 배치되어 있다. 이착 롤러(5)는, 자신을 능동적으로 회전시키는 도시하지 않은 이착 롤러 회전 기구를 구비하고 있다. 클리닝 롤러(4)가 이착 롤러(5)에 접촉하고 있는 상태로 도시하지 않은 이착 롤러 회전 기구가 동작하면, 클리닝 롤러(4)가 종동 회전하여, 클리닝 롤러(4) 상의 이물이 효율적으로 이착 롤러(5)에 옮겨진다. 또한, 이착 롤러(5)에는, 이착 롤러 승강 기구(51)가 부설되어 있다. 이착 롤러 승강 기구(51)는, 이착 롤러(5)의 높이를 조정하여 클리닝 롤러(4)와의 양호한 접촉 상태를 확보하거나, 이착 롤러(5)가 기판(W)의 반송 동작의 방해가 되지 않게 퇴피시키기 위한 기구이다.

도 1에 나타내는 바와 같이, 장치는, 각 부를 제어하는 컨트롤러(6)를 구비하고 있다. 컨트롤러(6)에는, 각 부의 제어에 사용되는 각종 제어 정보를 기억한 기억부(61)가 설치되어 있고, 소정의 시퀀스로 각 부를 동작시키는 프로그램(62)이 실장되어 있다. 컨트롤러(6)는, 범용 OS로 동작하는 PC로 구성할 수 있으며, 장치의 각 부의 제어를 위해 실장된 제어 보드를 포함하는 구성으로 할 수 있다. 이러한 컨트롤러는, 각 부에 대해 제어 신호를 출력하는 출력부(각종 인터페이스를 포함한다)(63)를 구비하는 것이 된다.

프로그램(62)의 개략도에 대해서, 이하에 설명한다. 도 2는, 프로그램(62)의 개략을 나타낸 플로차트이다.

도 2에 나타내는 바와 같이, 프로그램(62)은, 하나의 로트의 각 기판(W)에 대해서, 반입 동작, 기판 클리닝, 노광, 반출 동작을 반복한다. 그리고, 플래튼 클리닝 주기에 이르면, 플래튼(1)의 클리닝을 행한다. 하나의 로트의 마지막 기판(W)에 대해서 반출 동작이 종료되면, 그 로트에 대한 프로그램의 실행이 종료가 된다. 이러한 순서로 동작하도록, 프로그램(62)이 프로그래밍되어 있다.

상기 구성에 관련된 실시 형태의 노광 장치에 있어서, 기판(W)의 클리닝은, 반입 핸드(31)가 기판(W)을 플래튼(1)에 올려놓은 후에 반입측 컨베이어(33)로 되돌아오는 동작 시에, 클리닝 롤러(4)가 기판(W)에 접촉한 상태로 반입 핸드(31)가 수평 이동함으로써 행해진다. 클리닝 롤러(4)는, 기판(W)와의 마찰력에 의해 종동 전동(轉動)하여, 이 때에 기판(W) 상의 이물을 흡착한다.

실시 형태의 노광 장치는, 이러한 클리닝에 대해서, 그 동작을 보다 바람직한 것으로 하기 위해, 컨트롤러(6)의 구성을 최적화하고 있다. 이하, 이 점에 대해서 설명한다.

컨트롤러(6)는, 임의의 제어 정보를 입력하는 입력부(64)를 구비하고 있으며, 제어 정보를 입력부(64)로부터 입력시켜 프로그램(62)에 대해 변수로서 부여하기 위한 도시하지 않은 입력 프로그램이 컨트롤러(6)에 실장되어 있다. 입력부(64)는, 예를 들면 터치 패널이며, 입력 프로그램은, 터치 패널에 입력 화면을 표시하고, 거기서 입력된 값을 제어 정보로서 프로그램(62)에 짜 넣도록 프로그래밍되어 있다.

컨트롤러(6)에 있어서의 제어 정보에는, 상기 클리닝 롤러(4)의 제어를 위한 정보도 포함된다. 그리고, 입력부(64)로부터 입력되는 제어 정보에는, 이 클리닝 롤러(4)의 제어 정보도 포함된다. 도 3 및 도 4는, 클리닝 롤러(4)의 제어 정보에 대해서 나타낸 개략도이며, 도 3은 정면 개략도, 도 4는 평면 개략도이다.

프로그램(62)에 부여되는 클리닝 롤러(4)의 제어 정보에는, 클리닝을 위한 이동의 개시 지점과 종료 지점의 정보가 포함된다. 이것에는, 기판(W)의 클리닝 시의 이동의 개시 지점 및 종료 지점이 포함된다. 이 외에, 플래튼(1)의 클리닝 시의 이동의 개시 지점 및 종료 지점이 포함되는 경우도 있다.

또, 높이 방향에 대해서는, 클리닝 시에 플래튼(1)의 상면(기판 재치면)이 위치하는 높이(이하, 플래튼 높이라고 한다)와, 클리닝 시에 클리닝 롤러(4)가 위치하는 설정 상의 높이(이하, 설정 롤러 높이라고 한다)가 제어 정보에 포함된다.

또한, 반송 핸드(31, 32)에 대해서는, 기판(W)의 반송 시에 수평 이동하는 높이(이하, 반송 높이라고 한다)가 설정되어 있다. 반송 높이에 반입 핸드(31)가 위치하고 있는 상태에서는, 클리닝 롤러(4)의 위치는 설정 롤러 높이보다 높다. 이 실시 형태에서는, 반입 핸드(31)가 반송 높이에 있는 상태로 신축 기구(42)가 아암(41)을 한도 위치까지 신장시킴으로써 클리닝 롤러(4)가 도달한다고 상정되는 위치가 설정 롤러 높이이다.

도 3에 있어서, 플래튼 높이를 Hp로 나타내고, 기판의 두께를 t로 나타내고, 설정 롤러 높이를 Hr로 나타낸다. 또, 클리닝 개시 지점을 Ps로 나타내고, 클리닝 종료 지점을 Pe로 나타낸다. 클리닝 시의 기판(W)의 표면의 위치는, 플래튼 높이(Hp)+기판(W)의 두께(t)이지만, 기판(W)이 얇은 경우, t를 제로로 간주하는 경우도 있다. 또한, 각 위치의 특정에는, 기준이 되는 위치가 필요하지만, 예를 들면, 장치는 전체를 지지하는 정반(10)을 구비하고 있으므로, 그 정반의 상면이 기준면이 되고, 그 중심(10C)이 수평 방향의 기준점이 된다.

필수는 아니지만, 도 3 및 도 4에 있어서, 플래튼(1)의 중심은 기준점(10C)과 동일 연직선 상에 있다. 이하, 이 연직선을 중심축이라고 한다. 기판(W)의 재치 영역은, 중심축 상의 점인 플래튼(1)의 중심을 기준으로 하여 설정된다. 즉, 평면에서 볼 때(도 4)에 기판(W)의 중심이 플래튼(1)의 중심에 일치하는 위치이다. 또한, 기판(W)은 사각형이며, 한 변이 반송 방향에 일치하고, 다른 한 변이 안쪽 방향에 일치한 상태로 올려놓여진다.

이하, 설명의 형편 상, 반송 방향을 X방향, 안쪽 방향을 Y방향, 연직 방향을 Z방향으로 한다. 상술한 바와 같이, 클리닝 롤러(4)는 길이 방향이 안쪽 방향에 일치한 상태로 배치되고, 그 길이는 플래튼(1)의 깊이와 동일한 정도 또는 그것보다 조금 긴 정도이다. 기판(W)이 플래튼(1)의 상면보다 커지는 경우는 없다. 따라서, 클리닝 개시점(Ps)은, 기본적으로는 X방향 및 Z방향의 좌표로서 특정되면 충분하다. 즉, Y방향에 대해서 기판(W)의 품종에 상관 없이 상수로 해도 된다. 상수로 한다는 것은, 예를 들면 클리닝 롤러(4)의 길이 방향의 중심이 Y축 상에 위치하는 것으로서 설정하는 것이다.

Z방향에 대해서는, 어느 쪽을 최초로 설정해도 되지만, 예를 들면 설정 롤러 높이(Hr)에 대해 플래튼 높이(Hp)를 설정한다. 즉, 설정 롤러 높이(Hr)의 위치에 클리닝 롤러(4)가 위치하고, 그 후, 플래튼(1)이 상승했을 때, 플래튼(1) 상의 기판(W)이 클리닝 롤러(4)에 확실히 맞닿는 높이가 플래튼 높이(Hp)로서 설정된다. 이 경우, 클리닝 롤러(4)는, 플래튼(1) 상의 기판(W)을 다소 압압(壓押)하는 것이 바람직하기 때문에, 설정 롤러 높이(Hr)는, 플래튼 높이(Hp)+기판(W)의 두께(t)보다 조금 낮게 설정되는 경우가 있다(Hp+t＞Hr). 이 경우, 클리닝 시에는 클리닝 롤러(4)는 플래튼(1)에 의해 조금 밀어올려진 상태이므로, 클리닝 롤러(4)의 실제의 높이는, 설정 롤러 높이(Hr)보다 조금 높아진다.

클리닝 롤러(4)가 플래튼(1)을 압압하는 구조로서는, 어떠한 탄성 부재를 클리닝 롤러(4)측에 설치하는 것을 생각할 수 있지만, 클리닝 롤러(4)를 상하 운동시키는 기구로서 유체압 실린더를 채용하는 것이 간편하며, 실시 형태에서는 이 구조가 채용되어 있다. 즉, 플래튼(1)의 상승에 의해 기판(W)을 통하여 클리닝 롤러(4)가 밀어올려져, 신축 기구(42)로서 사용된 유체압 실린더 내의 유체가 조금 압축되는 상태가 된다.

한편, X방향에 대해서는, 클리닝의 종별 및 기판(W)의 품종에 따라 설정된다. 이 실시 형태에서는, 클리닝 롤러(4)는, 기판(W)의 클리닝뿐만 아니라 플래튼(1)의 클리닝에도 사용되기 때문에, 클리닝의 종별은, 기판(W)의 클리닝인지 플래튼(1)의 클리닝인지에 따른 것이 된다.

플래튼(1)의 클리닝인 경우, 클리닝 개시점의 X방향의 위치는, 플래튼(1)의 상면의 X방향의 가장자리가 된다. 또, 클리닝 종료점의 X방향의 위치는, X방향의 반대측의 가장자리가 된다. 즉, 도 4에 나타내는 바와 같이, 플래튼(1)의 상면의 X방향의 길이를 PL로 하면, 클리닝 개시점의 Y좌표는 +PL/2이며, 클리닝 종료점의 Y좌표는 -PL/2가 된다.

기판(W)의 클리닝인 경우, 기판의 품종에 따른 값이 입력되고, 클리닝 개시점의 X좌표 및 클리닝 종료점의 X좌표가 각각 취득된다. 「기판의 품종에 따른 값」이라고 하는 것은, 기판의 형상이나 크기에 관한 정보를 포함하지만, 그에 더하여, 기판의 면내에 있어서 클리닝해야 할 영역에 관한 정보가 포함되는 경우가 있다.

구체적으로는, 도 4에 있어서, 어느 기판(W)의 윤곽을 S로 나타내고, 기판(W)의 횡방향의 길이를 SL₁로 나타낸다. 후술하는 바와 같이 기판(W)은 프리얼라인먼트되기 때문에, 플래튼(1)에 올려놓여진 기판(W)의 횡방향은 반송 방향에 일치하고, 종방향은 안쪽 방향에 일치한다. 상술한 바와 같이 기판(W)의 중심이 중심축에 일치한 위치가 되도록 기판(W)은 배치되기 때문에, 기판(W)의 반송 방향의 영역은 원점 O에 대해 ±SL₁/2이다.

이 경우, 입력부(64)에 있어서 SL₁의 정보가 입력되면, 입력 프로그램은 그것을 프로그램(62)에 부여하고, 프로그램(62)에서는, ±SL₁/2를 클리닝의 제어 정보로서 짜 넣는 경우가 있을 수 있다. 즉, +SL₁/2가 클리닝 개시점의 X좌표로서 설정되고, -SL₁/2가 클리닝 종료 지점으로서 설정될 수 있다.

보다 바람직한 실시 형태로서, SL₁보다 작은 사이즈 정보를 프로그램(62)에 부여하고, 기판(W)의 둘레 가장자리로부터 일정 영역(이하, 마진 영역이라고 한다)을 피해 클리닝하는 경우가 있을 수 있다. 이 점의 의의에 대해서, 도 5 및 도 6을 사용하여 설명한다. 도 5 및 도 6은, 마진 영역을 피해 클리닝하는 것의 의의에 대해서 나타낸 정면 개략도이다.

마진 영역을 피한 것이 좋은 이유 중 하나는, 기판(W)의 위치 어긋남을 방지하기 위해서이다. 기판(W)의 표면의 전역을 클리닝하는 경우, 상술한 바와 같이 ±SL₁의 정보를 부여하고, ±SL₁/2를 클리닝 개시점, 클리닝 종료점으로서 설정한다. 이 경우, 클리닝 롤러(4)의 하단은, 기판(W)의 가장자리에 완전히 일치해 맞닿는 경우가 적고, 프리얼라인먼트의 정밀도 상의 문제, 클리닝 롤러(4)를 하강시키는 기구 정밀도 상의 문제 때문에, 조금 어긋나 버리는 경우가 있을 수 있다.

이 때, 도 5(1)에 나타내는 바와 같이, 기판(W)에 대해 외측으로 어긋난 위치에 클리닝 롤러(4)가 하강하고, 거기로부터 클리닝 롤러(4)가 수평 이동을 시작하면, 클리닝 롤러(4)가 기판(W)을 횡으로 밀어내는 상태가 된다. 이 경우, 상술한 바와 같이 기판(W)은 플래튼(1)에 진공 흡착되어 있지만, 횡방향의 힘이 가해지면, 어긋나기 쉽다. 클리닝 후, 상술한 바와 같이 기판(W)의 얼라인먼트가 행해지고, 그 상태로 노광이 되지만, 위치 어긋남이 커지면, 얼라인먼트 마크가 카메라의 시야를 벗어나 버려 얼라인먼트 에러(얼라인먼트 불능)가 되어 버리는 경우가 있다.

상기 문제는, 휘어진 기판(W)의 경우에 특히 현저하다. 예를 들면 유리 에폭시제와 같은 리지드 기판(W)에 대해서는 다소 휘어져 있는 경우가 있어, 휘어진 형상이어도 특별히 불량품은 아니라고 하는 경우가 있다. 그와 같이 휘어진 기판(W)에 대해서는, 플래튼(1)에 올려놓아 진공 흡착시켰을 때, 진공 흡착 구멍의 밀폐가 불충분해지기 때문에, 진공 흡착력이 저하되는 경우가 있다. 진공 흡착력이 저하된 상태로, 상기와 같이 횡방향의 힘이 가해지면, 큰 어긋남이 생기기 쉬워, 얼라인먼트 에러가 되기 쉽다.

+SL₁/2를 클리닝 개시점으로 한 경우의 다른 문제점으로서, 플래튼(1) 상의 이물이 붙기 쉽다는 문제가 있다. 이 점을 도 5(2)에 나타내고 있다. 도 5(2)에 나타내는 바와 같이, 프리얼라인먼트 정밀도 등의 문제 때문에 기판(W)의 가장자리를 조금 벗어난 위치에 클리닝 롤러(4)가 맞닿은 경우, 클리닝 롤러(4)는, 플래튼(1)의 표면에 맞닿게 된다. 이 경우, 그 장소에 이물(C)이 존재하고 있으면, 당해 이물(C)이 클리닝 롤러(4)에 부착되고, 이 상태로 클리닝 롤러(4)가 수평 이동하여 기판(W)의 표면 상을 전동하게 된다. 이 결과, 이물(C)이 기판(W)의 표면에 이착하게 되기 쉽다.

이러한 것 때문에, 프리얼라인먼트 정밀도 등을 고려하여, 기판(W)의 가장자리보다 조금 내측으로부터 클리닝이 개시되도록 하는 것이 바람직하다.

마진 영역을 피해 클리닝해야 할 또 다른 점은, 드라이 필름의 벗겨짐 방지의 관점이다. 이 점을 도 6에 나타내고 있다.

프린트 기판용의 노광 장치의 경우, 표면의 레지스트층으로서 드라이 필름을 피착시킨 기판에 대해 종종 노광이 행해진다. 드라이 필름이 부착된 기판에 대해 클리닝을 행하는 경우, 클리닝 롤러(4)가 직접 맞닿는 것은, 드라이 필름이며, 드라이 필름 표면의 이물을 제거하게 된다. 발명자의 연구에 의하면, 이와 같이 하여 드라이 필름이 부착된 기판에 대해 클리닝을 행하면, 드라이 필름의 벗겨짐이 생기기 쉽다.

즉, 드라이 필름이 부착된 기판(W)에 대해 클리닝을 행할 때, 도 6(1)에 나타내는 바와 같이 기판(W)의 가장자리를 클리닝 개시점(Ps)으로 하여 클리닝을 행하면, 도 6(2)에 나타내는 바와 같이 드라이 필름(F)의 가장자리가 말려들어가 드라이 필름(F)이 벗겨지기 쉽다. 벗겨진 드라이 필름(F)은 파편이 되어 방출되고, 새로운 먼지의 발생원이 되어 버린다. 드라이 필름(F)은, 기판(W)의 둘레 가장자리로부터 조금 내측의 영역을 덮고 있는 경우도 있지만, 이 경우도, 드라이 필름(F)이 벗겨져, 먼지의 발생의 문제가 생기기 쉬워, 문제의 발생 빈도는 보다 높다.

이러한 문제를 방지하려면, 도 6(3)에 나타내는 바와 같이, 드라이 필름(F)의 가장자리보다 조금 내측의 위치로부터 클리닝을 개시하면 된다. 즉, 드라이 필름(F)의 피착 위치의 데이터를 제어 정보로서 입력하여, 클리닝 개시점의 X좌표가 드라이 필름(F)의 가장자리보다 원점측이 되도록 하면 된다.

이러한 것 때문에, 도 4에 나타내는 바와 같이 SL₁보다 조금 작은 값 SL₂를 설정하고, 프로그램(62)에 대해 ±SL₂/2를 클리닝 개시점(Ps)의 X좌표, 클리닝 종료점(Pe)의 X좌표로서 부여하도록 한다. 즉, 상기 각 관점을 고려하여 마진량을 결정하고 입력부(64)로 입력하여, ±SL₂/2가 설정되도록 한다.

또한, 이와 같이 마진이 설정되면 그 영역에서는 클리닝이 이루어지지 않게 되지만, 이 영역은 미세 회로 형성 등의 용도로 사용되는 경우는 통상 없기 때문에, 특별히 문제가 되는 경우는 적다. 또, 클리닝 종료점에 대해서는, 기판(W)의 가장자리여도 문제는 없기 때문에, 클리닝 종료점에 대해서는, -SL₁/2를 X좌표로 하는 경우도 있다.

다음에, 이러한 실시 형태의 노광 장치의 전체의 동작에 대해서, 도 7 및 도 8을 사용하여 개략적으로 설명한다. 도 7 및 도 8은, 실시 형태의 노광 장치의 동작을 나타낸 정면 개략도이다. 이하의 설명에서는, 컨택트 방식의 노광 장치를 예로 한다.

어느 로트의 기판(W)은, 한 장씩 반입측 컨베이어(33)로 노광 장치에 반입되고, 반입측 컨베이어(33) 상의 대기 위치에 도달한다. 그 후, 반입 컨베이어(33) 상의 대기 위치에서 프리얼라인먼트가 이루어진다. 프리얼라인먼트는, 프리얼라인먼트 핀 기구에 의해 기판(W)의 위치를 러프하게 얼라인먼트하는 동작이다. 프리얼라인먼트의 정밀도는, 예를 들면 100~수100μm 정도이다. 이 기판(W)은, 도 7(1)에 나타내는 바와 같이 반입 핸드(31)에 의해 픽업되어, 도 7(2)에 나타내는 바와 같이 플래튼(1)에 올려놓여진다. 기판(W)은, 진공 흡착 기구(12)에 의해 플래튼(1)에 진공 흡착된다.

다음에, 반입 핸드(31)는, 반송 높이까지 일단 상승한 후, 클리닝 롤러(4)의 X좌표가 +SL₁/2 또는 +SL₂/2가 되는 위치까지 수평 이동한다. 이 위치에서, 신축 기구(42)가 동작하여, 아암(41)이 신장하여 클리닝 롤러(4)를 하강시킨다. 클리닝 롤러(4)의 하강은, 도시하지 않은 스토퍼에 의해 정지되고, 설정 롤러 높이(Hr)의 위치가 된다. 이 상태로, 플래튼 구동 기구(11)가 동작하여 플래튼(1)을 플래튼 높이(Hp)까지 밀어올린다. 이 결과, 도 7(3)에 나타내는 바와 같이, 클리닝 롤러(4)가 기판(W)에 맞닿은 상태가 된다. 클리닝 롤러(4)의 맞닿음 위치의 X좌표는, 입력부(64)로부터의 입력에 의해 설정된 +SL₁/2 또는 +SL₂/2이다.

그리고, 반입 핸드(31)는, X방향 -측으로 수평 이동하여, 도 7(4)에 나타내는 바와 같이, 클리닝 롤러(4)의 X좌표가 -SL₁/2 또는 -SL₂/2가 되는 위치에서 정지한다. 이 동작 시에, 클리닝 롤러(4)가 기판(W)와의 마찰력에 의해 종동 회전하여, 기판(W)이 클리닝된다.

다음에, 클리닝 롤러(4)가 -SL₁/2 또는 -SL₂/2의 위치에 위치했을 때에 신축 기구(42)가 동작하여, 클리닝 롤러(4)를 상승시킨다. 그리고, 반입 핸드(31)는, 수평 방향으로 이동하여 반입측의 대기 위치로 되돌아온다. 반입 핸드(31)의 대기 위치는, 이착 롤러(5)의 상방에 클리닝 롤러(4)가 위치하는 위치이며, 이착 롤러 승강 기구(51)가 이착 롤러(5)를 상승시켜, 클리닝 롤러(4)에 맞닿게 한다. 이 상태로, 도시하지 않은 이착 롤러 회전 기구가 이착 롤러(5)를 회전시켜, 클리닝 롤러(4) 상의 이물을 이착 롤러(5)에 이착시킨다. 또한, 클리닝 롤러(4)의 먼지가 이착 롤러(5)에 전이하는데 충분한 시간이 경과한 후, 반입 핸드(31)에 있어서, 신축 기구(42)는 아암(41)을 당초의 수축한 상태로 되돌린다.

한편, 플래튼(1) 상에서는, 기판(W)의 본 얼라인먼트가 행해져, 마스크와 기판(W)이 올바른 위치 관계로 겹쳐진다. 이 상태로, 도 8(2)에 나타내는 바와 같이, 광조사 유닛(2)으로부터 광이 조사되고, 마스크를 통해 기판(W)이 노광된다. 또한, 클리닝 롤러(4) 상의 이물을 이착 롤러(5)에 이착시키는 동작은, 노광과 병행하여 행해지는 경우도 있다.

노광이 종료되면, 도 8(3)에 나타내는 바와 같이, 반출 핸드(32)가 기판(W)을 플래튼(1)으로부터 픽업한다. 그리고, 도 8(4)에 나타내는 바와 같이, 반입측 컨베이어(34)에 반출한다. 반입측 컨베이어(34)는, 도시하지 않은 랙 등에 기판(W)을 반출한다. 한편, 반입측 컨베이어(33) 상의 대기 위치에는 다음의 기판(W)이 반송되어 있고, 반입 핸드(31)는, 이 기판(W)을 픽업하여 반입한다. 그리고, 동일한 순서가 반복된다. 이러한 동작을 반복하여, 각 기판(W)에 대해 노광 처리가 순차로 행해진다.

플래튼 클리닝 주기의 회수(장수)의 노광이 종료되면, 프로그램(62)의 동작에 의해, 플래튼(1)의 클리닝이 행해진다. 반입 핸드(31)는, 기판(W)을 유지하지 않고 플래튼(1) 상에 진입한다. 그리고, 반입 핸드(31)는, 클리닝 롤러(4)의 X좌표가 +PL/2의 위치가 되는 위치에서 정지한 후, 클리닝 롤러(4)가 설정 롤러 높이의 위치가 될 때까지 하강한다. 다음에, 반입 핸드(31)는, X방향 -측으로 수평 이동하여, 클리닝 롤러(4)가 -PL/2의 위치가 되는 위치에서 정지한 후, 클리닝 롤러(4)를 원래 위치까지 상승시킨다. 그 후, 반입 핸드(31)는, 반입측의 대기 위치로 되돌아온다.

또한, 상기 동작에 있어서, 반입 핸드(31)의 이동 속도는, 클리닝 롤러(4)가 기판(W)에 접촉하고 있을 때 이외에는 빠른 속도로 되어 있다. 이 점에 대해서, 도 9를 참조하여 설명한다. 도 9는, 반입 핸드(31)의 이동 속도에 대해서 나타낸 개략도이다.

도 9는, 반입 핸드(31)가 플래튼(1)에 기판(W)을 올려놓은 후, 반입측의 대기 위치로 되돌아올 때의 이동 속도에 대해서 나타내고 있다. 도 9의 횡축은 X방향(반송 방향)의 위치를 나타내고, 종축은 이동 속도를 나타낸다.

도 9에 있어서, 반입 핸드(31)가 기판(W)을 플래튼(1)에 올려놓고, 클리닝 롤러(4)의 X좌표가 클리닝 개시점(Ps)에 도달할 때까지의 수평 이동할 때의 속도를 V₁로서 나타내고, 클리닝 롤러(4)가 클리닝 개시점(Ps)으로부터 클리닝 종료점(Pe)에 도달할 때까지 반송 핸드(31)의 이동 속도를 V₂로서 나타내고 있다. 그리고, 클리닝 종료점(Ps)에서 클리닝 롤러(4)를 원래의 높이로 상승시킨 후, 클리닝 롤러(4)를 이착 롤러(5)의 상방에 위치하도록 반송 핸드(31)가 이동할 때의 이동 속도는 V₁과 동일한 정도가 되어 있다. 도 9에 나타내는 바와 같이, V₁은 V₂에 비해 높아져 있으며, 클리닝시 이외에는 반송 핸드를 고속 이동시켜, 택트 타임이 보다 짧아지도록 하고 있다. 이러한 반입 핸드(31)의 속도 제어도, 프로그램(62)에 짜 넣어져 있으며, 프로그램(62)이 실행되고 있는 컨트롤러(6)로부터 반송계(3)에 보내지는 제어 신호로 실현된다.

다음에, 클리닝 롤러의 높이 제어에 대해서 도 10을 참조하여 보다 상세하게 설명한다. 도 10은, 클리닝 롤러의 높이 제어에 대해서 나타낸 정면 개략도이다.

상술한 실시 형태에 있어서, 클리닝 롤러(4)가 기판(W)에 맞닿는 높이에 대해서는, 어느 고정된 값(상수)으로 하여 제어를 행해도 되고, 변수로 하여 제어를 행해도 된다. 예를 들면, 당해 노광 장치에서 노광되는 기판(W)이 어느 로트에 있어서도 두께가 얇고, 플래튼(1)의 클리닝 시의 높이에서 기판(W)의 클리닝을 행해도 되는 경우, 클리닝 롤러(4)의 높이를 상수로 하는 경우가 있다. 예를 들면 기판(W)의 두께가 0.1mm 이하인 경우, 그와 같이 하는 경우가 있을 수 있다.

상수로 하여 제어하는 경우의 간편한 구성으로서는, 도 10(1)에 나타내는 바와 같이 클리닝 롤러(4)가 하강했을 때에 맞닿는 스토퍼(43)를 설치하고, 스토퍼(43)의 위치를 설정 롤러 높이(Hr)와의 관계에서 소정의 고정된 위치로 한 구성을 들 수 있다. 상술한 실시 형태는 이 구성이다.

한편, 기판(W)의 두께(t)에 따라 클리닝 롤러(4)의 높이를 변경하여 제어하는 경우도 있으며, 이것은 기판(W)이 얇은 경우도 있을 수 있다. 이 구성의 예로서는, 클리닝 롤러(4)에 아암(41)에 서보모터를 포함하는 위치 조절 기구를 설치하는 예를 들 수 있다. 이 경우는, 기판(W)의 두께(t)에 따라 상이한 값(변수)이 설정 롤러 높이(Hr)로서 부여되고, 컨트롤러(6)에 의해 설정 롤러 높이(Hr)가 되도록 클리닝 롤러(4)가 제어된다.

상기의 구성이어도 되지만, 플래튼 구동 기구(11)의 서보계를 이용하면, 간편한 구성에 의해 동일한 것을 행할 수 있다. 플래튼 구동 기구(11)에 의해 플래튼(1)을 제어하여, 플래튼(1)의 밀어올림량을 제어함으로써 다양한 기판 두께에 대응한다. 이 경우, 기판 두께에 따라 플래튼 높이(Hp)를 입력부(64)로부터 입력하고, 변수로서 프로그램(62)에 부여한다.

이러한 클리닝 롤러(4)의 높이 제어에 있어서, 클리닝 롤러(4)가 확실히 기판(W)에 맞닿아 있는 것을 확인하는 것이 바람직하다. 이를 위한 센서를 설치한 구성을 도 10(2)에 나타내고 있다. 클리닝 롤러(4)가 확실히 기판(W)에 맞닿아 있는 것을 검출하려면, 클리닝 롤러(4)의 아암(41)의 위치를 검출하는 것이 간편하다. 즉, 도 10(2)에 나타내는 바와 같이, 아암(41)의 적당한 높이의 위치에 피검출부(44)를 설치하고, 피검출부(44)를 검출하는 센서(근접센서, 광센서 등)(45)를 설치한다. 클리닝 롤러(4)가 적당한 압력으로 기판(W)에 맞닿는 위치 관계로, 피검출부(44) 및 센서(45)를 배치한다.

센서(45)에 의한 클리닝 롤러(4)의 맞닿음 확인은, 맞닿음 높이의 제어를 변수로 하여 제어하는 경우에 특히 의의가 있지만, 상수의 경우에도 의의가 있다. 상수의 경우에도, 예정되어 있는 것보다도 얇은 기판(W)이 잘못해서 장치에 투입된 경우, 클리닝 롤러(4)가 기판(W)에 맞닿지 않는 상태가 생길 수 있기 때문이다. 또한, 맞닿아 있는지 여부 만의 확인을 행하는 경우, 클리닝 롤러(4)의 아암(41)을 구동하는 유체압 실린더에 있어서의 유체의 압력 변화(밀어올림에 따른 유체의 압력 상승)를 검출하는 구성이 채용되는 경우도 있다.

어쨌든, 실시 형태의 노광 장치에 의하면, 기판(W)의 클리닝인지 플래튼(1)의 클리닝인지에 따라 클리닝 개시점(Ps)이 선택되고, 또한 기판(W)의 클리닝에 대해서는, 기판(W)의 품종에 따라 임의의 클리닝 개시점(Ps)을 설정하여 클리닝을 행하게 할 수 있으므로, 기판(W)의 품종에 따라 최적의 클리닝을 행할 수 있다.

이 때, 기판(W)의 사이즈와는 별도로 마진의 설정을 행할 수 있으므로, 기판(W)의 가장자리보다 조금 내측의 위치를 클리닝 개시점으로서 설정함으로써, 클리닝 시의 기판(W)의 어긋남을 방지하거나, 드라이 필름이 부착된 기판인 경우의 클리닝 롤러(4)에 의한 드라이 필름의 말려들어감을 방지하는 것이 가능해진다.

또, 클리닝 롤러(4)가 기판(W)에 접촉하고 있는 동안은 반입 핸드(31)의 속도는 느려지지만, 그 이외에는 속도는 빠르게 하므로, 기판(W)의 클리닝 동작을 도입하면서도 전체의 택트 타임의 장기화가 방지된다.

또한, 클리닝 롤러를 반출 핸드(32)에 부착하여 클리닝을 행하는 것도 가능하다. 이 경우는, 반입 핸드(31)가 기판(W)을 반입하여 플래튼(1)에 올려놓고 후퇴한 후, 반출 핸드(32)가 교체되어 진입하여 클리닝 롤러를 기판(W)에 접촉시키게 된다. 이 경우는, 클리닝 롤러의 위치는 반출 핸드(32)에 있어서 X방향의 -측의 단부이며, 반출 핸드(32)가 X방향 -측으로부터 +측으로 수평 이동하면서 클리닝이 행해지게 된다.

단, 반출 핸드(32)에 클리닝 롤러를 부착하여 클리닝을 행하게 하면, 기판(W)의 반출 동작과는 별도로 반입 핸드(32)가 왕복 운동을 행하게 되어, 반입 핸드(31)의 경우와 비교하면, 택트 타임이 길어져 버린다. 이 때문에, 반입 핸드(31)에 클리닝 롤러를 부착하여 클리닝을 행하는 것이 바람직하다.

상기 실시 형태의 동작의 설명에서는, 컨택트 노광을 예로 했으나, 프록시미티 노광이나 투영 노광, DI 노광 등의 다른 방식의 노광에 대해서도, 광조사 유닛(2)의 구성, 동작이 상이할 뿐이며, 그 외에는 동일하게 실시할 수 있다. 또, 기판에 대해서도, 프린트 기판 외에, 액정 기판 그 외의 각종 기판에 대해서, 본원 발명은 실시 가능하다.

1 플래튼 2 광조사 유닛
3 반송 기구 31 반입 핸드
32 반출 핸드 33 반입측 컨베이어
34 반출측 컨베이어 4 클리닝 롤러
5 이착 롤러 6 컨트롤러
61 기억부 62 프로그램
63 출력부 64 입력부
Hr 설정 롤러 높이 Hp 플래튼 높이
Ps 클리닝 개시점 Pe 클리닝 종료점

Claims

기판에 대해 소정의 패턴의 광을 조사하여 노광하는 노광 장치로서,
노광 시에 기판이 올려놓여지는 플래튼과,
플래튼에 대해 기판을 반입하고, 노광 후에 기판을 플래튼으로부터 반출하는 반송계와,
플래튼에 올려놓여진 기판에 소정의 패턴의 광을 조사하는 광조사 유닛과,
플래튼에 올려놓여지기 전에 기판을 러프하게 위치맞춤하는 프리 얼라인먼트를 행하는 기구를 구비하고 있으며,
반송계는, 반송 시에 기판을 유지하는 반송 핸드를 포함하고 있고,
반송 핸드에는, 점착력에 의해 이물을 흡착하여 제거하는 클리닝 롤러가 부착되어 있고, 클리닝 롤러는, 상정되는 가장 큰 기판의 폭보다 긴 것이며,
반송계의 동작을 제어하는 컨트롤러가 설치되어 있고,
컨트롤러는, 반송 핸드가 대기 위치와 플래튼 사이를 일(一)왕복 이동을 할 때에 클리닝 롤러에 의해 클리닝을 행하게 하기 위한 제어 정보를 기억한 기억부와, 기억부에 기억된 제어 정보를 반송계에 출력하여 이동을 행하게 하는 출력부와, 클리닝 롤러에 의해 클리닝을 행하게 하기 위한 제어 정보를 입력시키는 입력부를 포함하고 있고,
컨트롤러의 입력부는, 클리닝 롤러가 이동하여 클리닝할 때의 당해 이동의 개시점인 클리닝 개시점을 설정하기 위한 정보를 입력시키는 것이 가능하고, 컨트롤러는, 입력부로부터 입력된 정보에 따라, 플래튼에 올려놓여진 기판의 가장자리로부터 내측의 위치를 클리닝 개시점으로서 설정하는 것이 가능한 것이며, 상기 내측의 위치는, 상기 프리 얼라인먼트를 행하는 기구에 있어서의 프리 얼라인먼트의 정밀도에 있어서 클리닝 개시점이 상기 기판의 가장자리보다도 내측이 되는 위치인 것을 특징으로 하는 노광 장치.
청구항 1에 있어서,
상기 입력부는, 상기 플래튼에 올려놓여진 기판의 가장자리로부터의 마진의 양을 입력시키는 것이 가능하고,
상기 컨트롤러는, 입력된 마진의 양만큼 기판의 가장자리로부터 떨어진 위치를 클리닝 개시점으로서 설정하는 것임을 특징으로 하는 노광 장치.
청구항 2에 있어서,
상기 마진은, 상기 기판의 표면에 대해 기판의 표면 전역보다 작은 영역에서 피착되어 있는 드라이 필름의 가장자리와 당해 기판의 가장자리 사이의 영역을 포함하고 있고, 상기 클리닝 개시점은, 드라이 필름의 가장자리보다도 내측의 위치인 것을 특징으로 하는 노광 장치.
청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 있어서,
상기 컨트롤러의 출력부는, 상기 반송계에 대해 상기 반송 핸드의 이동 속도의 제어 신호를 출력하는 것이며, 출력되는 제어 신호는, 상기 클리닝 롤러가 상기 기판에 접촉하고 있을 때의 상기 반송 핸드의 이동 속도에 비해 상기 클리닝 롤러가 상기 기판에 접촉하고 있지 않을 때의 상기 반송 핸드의 이동 속도를 높게 하는 제어 신호인 것을 특징으로 하는 노광 장치.
청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 있어서,
상기 클리닝 롤러는, 상기 플래튼에 기판을 반입하는 반입 핸드에 설치되어 있고,
상기 클리닝 개시점은, 반입 핸드가 기판을 반입하여 상기 플래튼에 올려놓은 후에 당초의 위치로 되돌아올 때의 경로 상에 설정되는 것임을 특징으로 하는 노광 장치.
청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 있어서,
상기 클리닝 롤러는 상기 플래튼의 폭보다도 길고,
상기 컨트롤러에는, 상기 반송계의 동작을 포함하는 시퀀스 프로그램이 실장되어 있고,
상기 기억부에는, 상기 클리닝 롤러가 상기 플래튼의 클리닝을 행하기 위한 다른 제어 정보가 기억되어 있으며,
다른 제어 정보는, 플래튼의 한쪽의 가장자리를 클리닝 개시점으로 하고, 그것과는 반대측의 가장자리를 클리닝 종료점으로 하는 제어 정보이며,
시퀀스 프로그램은, 상기 반송계 및 상기 광조사 유닛에 의해 소정 장수의 기판에 대해 노광을 행한 후, 다른 제어 정보를 반송계에 출력하여 상기 플래튼의 클리닝을 행하게 하는 프로그램인 것을 특징으로 하는 노광 장치.
청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 있어서,
상기 컨트롤러의 입력부는, 상기 기판의 클리닝 개시점으로서 설정한 상기 내측의 위치에 있어서 상기 기판의 가장자리와는 반대측의 가장자리의 위치의 정보를 클리닝 종료점으로서 입력시키는 것이 가능하고, 상기 컨트롤러는, 입력부로부터 입력된 정보에 따라, 상기 기판의 가장자리와는 반대측의 가장자리의 위치를 클리닝 종료점으로서 설정하는 것이 가능하고, 상기 제어 정보는, 상기 클리닝 개시점으로부터 클리닝 종료점까지 상기 클리닝 롤러를 상기 기판에 접촉시켜가면서 이동시키는 정보인 것을 특징으로 하는 노광 장치.
청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 있어서,
상기 플래튼은, 수평인 상면에 기판이 올려놓여지는 것이며,
상기 컨트롤러의 입력부는, 기판의 두께에 따라 상기 클리닝 시의 상기 클리닝 롤러의 상기 플래튼에 대한 높이 방향의 위치를 입력하는 것이 가능하고,
상기 클리닝 롤러에는 상기 클리닝 롤러의 높이 방향의 위치를 조절할 수 있는 위치 조절 기구가 설치되어 있거나, 또는 상기 플래튼에는 상기 플래튼의 높이 방향의 위치를 조절할 수 있는 플래튼 구동 기구가 설치되어 있고,
상기 컨트롤러는, 상기 입력부에 있어서 입력된 높이 방향의 위치에 따라, 기판의 두께에 따라 상기 클리닝 시에 상기 클리닝 롤러가 상기 플래튼에 대해 상이한 높이에 위치하도록 상기 클리닝 롤러의 위치 조절 기구 또는 플래튼 구동 기구를 제어하는 것임을 특징으로 하는 노광 장치.