JP2000330097A - 液晶基板の搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】コスト面、スペース的に効率が良く、クリーニ
ング動作を容易に変更できてクリーニング動作の条件出
しを簡単に行える液晶基板の搬送装置を提供する。 【解決手段】液晶表示パネルの製造工程の液晶基板３を
保持する基板保持手段８と基板保持手段を取り出し位置
と投入位置へ移動する基板移動手段７とを有する基板搬
送ユニット４と、液晶基板を清掃する基板クリーニング
ユニット１０とを設け、基板搬送ユニットの液晶基板に
対する搬送動作と基板クリーニングユニットの液晶基板
に対するクリーニング動作を一連の動きで行うように、
プログラムソフトを記憶した記憶手段２４を有する制御
手段９で、基板搬送ユニット４及び基板クリーニングユ
ニット１０の動作経路を制御する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示パネルの
製造工程において、液晶基板を取り出し位置と投入位置
との間で移載する搬送装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般的な液晶表示パネルの製造工程は、
プラスチックシート材、ガラス板材等からなる上下基板
に透明電極、配向膜を形成し、配向膜をラビング処理し
た後、上下基板をシール剤、ギャップ材を介して張り合
わせ、液晶セルを製造し、この液晶セル内に液晶を注
入、封止し、偏光板を貼り付けている。このような液晶
表示パネルの製造工程を自動化する場合には、この工程
で用いる装置以外に、例えば３００ｍｍ角程度に枚葉カ
ットされた液晶基板を搬送するためのコンベアまたはロ
ボット等が必要となる。液晶表示パネルの製造工程で
は、印刷工程、重ね合わせ工程、上下基板がプラスチッ
クシート材の場合にはプレカット工程など、いくつかの
工程で高精度の液晶基板の位置決めが要求されている。
この位置決めには、アライメント用マークとしてＩＴＯ
（Indium Tin Oxide）等の透明電極が利用されていて、
この透明電極を検知装置で検知することで液晶基板の位
置を検知している。

【０００３】液晶表示パネルの製造工程では、ラビング
工程などの、汚れ、ゴミなどが発生、付着する工程があ
るため、製造工程の随所にクリーニング工程が必要とな
る。このようなクリーニング工程でクリーニングを行う
手段の種類には、次のものがある。

【０００４】洗浄液、純粋によるすすぎ（洗浄）、
ブローアンドバキューム方法（ＵＳクリーナなど）等は
一般的である。特開平５−３４１２７８号公報、特
開平５−１９７８５３号公報には、クリーニングユニッ
トの一構成を成す粘着テープや粘着ローラなどのクリー
ニング部材を液晶基板に押し付けて、汚れ、ゴミ等を除
去するクリーニング方法や装置が提案されている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】液晶表示パネルの製造
工程では、ラビング工程などの、汚れ、ゴミなどが発
生、付着する工程があり、この汚れやゴミがアライメン
ト用マークに付着すると、液晶基板の位置決めに不具合
があるため、少なくてもこのアライメント用マークを含
むその近傍を部分的にクリーニングしたいという要求が
ある。しかしながら、従来技術、の方法では、洗浄
やブロー及びバキュームするための装置が必要で大型に
なり、かつ工程内に何ヶ所も設けるのはコスト面、スペ
ース的に効率が悪く、部分的なクリーニングに不向きで
ある。

【０００６】従来技術、の方法では、クリーニング
部材を用いているので部分的なクリーニングに応用が可
能であるが、クリーニング部材とクリーニングすべき対
象となる液晶基板との位置関係が固定されているので、
クリーニングすべき対象の大きさや形状、位置等が変更
された場合に、クリーニング動作が容易に変更できず、
その条件出しに手間がかかるという問題がある。

【０００７】本発明は、コスト面、スペース的に効率が
良く、クリーニング動作を容易に変更できてクリーニン
グ動作の条件出しを簡単に行える液晶基板の搬送装置を
提供することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明は、液晶表示パネ
ルの製造工程のプラスチックシートまたはガラス板から
なる液晶基板を、取り出し位置と投入位置との間で移載
する搬送装置に着目し、この搬送装置に、液晶基板を保
持する基板保持手段と基板保持手段を取り出し位置と投
入位置とへ移動する基板移動手段とを有する基板搬送ユ
ニットと、液晶基板を清掃する基板クリーニングユニッ
トを設け、基板搬送ユニットの液晶基板に対する搬送動
作と基板クリーニングユニットの液晶基板に対するクリ
ーニング動作を一連の動きで行うように、基板搬送ユニ
ット及び基板クリーニングユニットの動作経路を制御す
るプログラムソフトを記憶した記憶手段を有する制御手
段を用いて制御するようにした。このため、プログラム
ソフトあるいは、プログラムソフトを記憶した記憶手段
を変更するだけで、基板搬送ユニットの搬送動作や基板
クリーニングユニットのクリーニング動作を変更するこ
とができ、クリーニングすべき対象の形状や大きさ、位
置等が変更された場合でも、クリーニングする際の条件
だしを容易に行える。また、基板搬送ユニットや基板ク
リーニングユニットを１つの装置とし、製造工程内の受
け渡し場所に配置しているので、製造工程内に何ヶ所も
クリーニングユニットを設けなくて良い。

【０００９】請求項２記載の発明は、請求項１記載の液
晶基板の搬送装置において、基板クリーニングユニット
が、液晶基板に接触可能に設けられたクリーニングロー
ラと、このクリーニングローラを液晶基板に向かって付
勢する付勢部材と、クリーニングローラを支持する固定
部材とを備えたことを特徴としている。このため、液晶
基板に対して部分的なクリーニングを容易に行え、クリ
ーニングローラが液晶基板に向かって付勢されて支持さ
れるので、液晶基板が基板保持手段に多少傾斜した状態
で保持されていても、クリーニングローラを良好に液晶
基板のクリーニング面に接触させることができ、良好な
クリーニング状態を確保することができる。

【００１０】請求項３記載の発明は、請求項１または２
記載の液晶基板の搬送装置において、取り出し位置また
は投入位置の少なくとも一方に液晶基板を位置決め保持
する基板保持部を設け、基板クリーニングユニットによ
るクリーニング動作が、取り出し位置または投入位置で
基板保持部によって液晶基板を保持した状態で行われる
ことを特徴としている。このため、クリーニング動作
は、基板保持部によって液晶基板が保持された状態で行
われるので、クリーニング動作時におけるクリーニング
位置のずれが少なくなる。また、液晶基板に対するクリ
ーニング動作が取り出し位置または投入位置のどちらで
も行えるので、クリーニング動作の効率が良くなる。

【００１１】請求項４記載の発明は、請求項1または２
記載の液晶基板の搬送装置において、基板クリーニング
ユニットと基板搬送ユニットとを分離して配置し、基板
クリーニングユニットによるクリーニング動作が、基板
保持手段に液晶基板が保持された状態で行われることを
特徴としている。このため、クリーニングしたい液晶基
板のクリーニング面と、基板保持手段によって保持され
る液晶基板の保持面とが異なる場合でも対応することが
でき、液晶基板の所望の部位を基板クリーニングユニッ
トで良好にクリーニングすることができる。

【００１２】請求項５記載の発明は、請求項２記載の液
晶基板の搬送装置において、固定部材の一部と付勢部材
を共通の板バネ材で構成したことを特徴としているの
で、部品点数が少なくなり、装置を安価で軽量化するこ
とができる。

【００１３】請求項６記載の発明は、請求項１、２また
は３記載の液晶基板の搬送装置において、基板クリーニ
ングユニットを基板保持手段または基板移動手段に装着
したことを特徴としている。このため、クリーニングし
たい液晶基板のクリーニング面と、基板保持手段によっ
て保持される液晶基板の保持面とが同一面の場合に、液
晶基板の所望の部位を基板クリーニングユニットで効率
良くクリーニングすることができる。

【００１４】請求項７記載の発明は、請求項３記載の液
晶基板の搬送装置において、基板保持部に基板クリーニ
ングユニットとの干渉を回避するための逃げ部を設けた
ことを特徴としている。このため、基板保持部に保持さ
れた液晶基板を基板保持手段で保持する際や保持した時
に、基板クリーニングユニットと基板保持部との干渉を
防止することができる。

【００１５】請求項８記載の発明は、請求項６記載の液
晶基板の搬送装置において、基板クリーニングユニット
の基板保持手段または基板移動手段に対する装着位置
を、基板保持手段による液晶基板の保持の際に同液晶基
板と干渉しない部位に設けたことを特徴としている。こ
のため、基板保持手段に保持された液晶基板と、基板ク
リーニングユニットとが干渉しないので、基板保持手段
に保持された液晶基板に対して基板クリーニングユニッ
トとの接触よる外的負荷（ストレス）を与えなくて済
む。

【００１６】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を用いて説明する。本形態は、図１に示すよう
に、液晶表示パネルの製造工程におけるプラスチックシ
ートまたはガラス板からなる液晶基板３を、前工程装置
１の取り出し位置としての排出位置と後工程装置２の投
入位置との間で移載する搬送装置に適用したものであ
る。搬送装置は、液晶基板３を保持する基板保持手段と
してのハンド８と、ハンド８を排出位置と投入位置へ移
動する基板移動手段７とを有する基板搬送ユニット４、
液晶基板３を清掃する基板クリーニングユニット１０、
制御手段としてのロボットコントローラ９を備えてい
る。

【００１７】液晶基板３は、３００×３００ｍｍ程度の
サイズにカットされた枚葉のシート材であり、図２に示
すように、複数の液晶セル１６が同時に形成されてい
る。液晶基板３の互いに対向する二辺３ａ、３ｂの中央
には、サイズが直径１ｍｍ程度の透明電極から構成され
たアライメントマーク１７がそれぞれ１つずつ形成され
ている。本形態においては、二辺３ａ、３ｂにおける各
アライメントマーク１７の上面を含むその近傍を、基板
クリーニングユニット１０によるクリーニング対象とし
ている。クリーニング対象としては、各アライメントマ
ーク１７に限定するものではない。図２において符号Ｆ
を付した両矢印方向は、アランメントマーク１７のピッ
チ方向（以下、「ピッチ方向Ｆ」と記す）を示す。この
形態では、排出位置及び投入位置において両矢印で示す
Ｙ方向とピッチ方向Ｆとが同一方向となるように液晶基
板３が排出位置と投入位置に搬送配置される。

【００１８】図１に示すように、排出位置と投入位置に
は、それぞれの位置で液晶基板３を位置決め保持するた
めの基板保持部としての吸着テーブル５、６が配置され
ている。吸着テーブル５、６は、一辺が液晶基板３の一
辺よりも大きな略四角形を成し、その平らな上面５ａ、
６ａに多数の吸引孔が設けられて吸引部２５、２６を構
成されている。吸引部２５、２６は、配管を介して真空
ポンプ２７、２８とそれぞれ接続されている。吸着テー
ブル５、６では、真空ポンプ２７、２８が動作すること
で吸引部２５、２６に吸引力が発生して液晶基板３を排
出位置と投入位置にそれぞれ保持するように構成されて
いる。投入位置の近傍には、アライメントマーク検知用
の検知装置としてのカメラ８が各アライメントマーク１
７と対応するように２台並んで設置されている。吸着テ
ーブル６は、図示しない駆動機構によって両矢印で示す
Ｘ、Ｙ、θ方向に移動可能に設けられており、実線で示
す投入位置から２点鎖線で示す設置されたカメラ１８の
下方の検知位置までスライド移動し、アライメントマー
ク１７のカメラ１８に対する精密な位置決めを行えるよ
うになっている。

【００１９】基板移動手段７は、アーム７Ａ、アーム７
Ｂを備えた周知の多関節ロボットで構成されている。ア
ーム７Ａの基端は、基板搬送ユニット４の本体４Ａに設
けられた旋廻／上下動可能な駆動部４Ｂに連結されてい
る。アーム７Ｂの基端は、アーム７Ａの旋廻端側に連結
され、アーム７Ｂの先端側にはハンド８の基端が連結さ
れている。基板移動手段７は、吸着テーブル５、６より
も上方で、各アームの連結部の中心軸３２、３３、３４
を中心にθ方向に旋廻可能であり、ハンド８をＸ、Ｙ方
向に移動可能として、高精度のハンド８の位置決めを行
えるようになっている。

【００２０】ハンド８は、複数の吸着パッド１５が互い
に対向して２列設けられている。吸着パッド１５は、図
４に示すように、ハンド８の下面８ｂ側に、その吸着面
１５ａが下方に位置するように配置されていて、配管２
９を介して図１に示す真空ポンプ３０と接続されてい
る。吸着パッド１５は、真空ポンプ３０の動作により吸
着面１５ａに吸着力が発生して液晶基板３を適宜吸着保
持するようになっている。ハンド８には、真空ポンプ３
０の動作有無を検知する真空センサ３１が設けられてい
る。真空センサ３１と真空ポンプ２７、２８、３０及び
機体４Ａは、それぞれロボットコントローラ９と配線を
介して電気的に接続されている。ハンド８は、排出位置
及び投入位置を占めたときに、その先端８ａ側が、ピッ
チ方向Ｆと交差する方向、例えば排出位置を占めたとき
は矢印Ｘ１方向に、投入位置を占めたときは矢印Ｘ２方
向に位置するようになっている。ロボットコントローラ
９は、液晶基板３に対する基板搬送ユニット４の搬送動
作と、液晶基板３に対する基板クリーニングユニット１
０のクリーニング動作を一連の動きで行えるように、基
板搬送ユニット４及び基板クリーニングユニット１０の
動作経路を制御するプログラムソフトを記憶した記憶手
段２４を備えている。この記憶手段２４としては、ＲＯ
Ｍ、フロッピー（登録商標）ディスクや光磁気ディスク
等の周知の記憶媒体等が挙げられる。すなわち、ロボッ
トコントローラ９は、搬送動作とクリーニング動作をプ
ログラムソフト上で管理、制御するものである。

【００２１】基板クリーニングユニット１０は、ハンド
８の先端８ａ側の両側にそれぞれ１つずつ装着されてい
る。この装着位置は、ハンド８による液晶基板３の保持
の際に液晶基板３と干渉しない部位となっている。具体
的には、各基板クリーニングユニット１０は、ハンド８
の先端８ａからそれぞれ突出して設けられ、かつハンド
８が排出位置や投入位置を占めた時に、ピッチ方向Ｆに
位置しアライメントマーク１７とそれぞれ対応するよう
に配置されている。なお、２つの基板クリーニングユニ
ット１０は、同一構成であるので、一方側だけを代表し
てその構成を説明することにする。

【００２２】基板クリーニングユニット１０は、図３、
図４に示すように、液晶基板３に接触可能に設けられた
クリーニング部材してのクリーニングローラ１１と、こ
のククリーニングローラ１１を支持する固定部材１２
と、クリーニングローラ１１を液晶基板３に向かって付
勢する付勢部材としてのコイルバネ１３とを備えてい
る。クリーニングローラ１１は、幅５ｍｍ、直径２０ｍ
ｍの粘着ゴムローラで構成されている。クリーニングロ
ーラ１１の幅は、アライメントマーク１７の大きさが直
径１ｍｍであるので、それよりも大きな寸法とした。こ
の幅は、アライメントマーク１７が設けられる液晶基板
３の分割セル１６のない辺３ａ、３ｂの幅や、クリーニ
ング対象物の大きさやクリーラング範囲等を考慮して適
宜定めても良い。クリーニング部材としては、クリーニ
ングローラではなく、巻き取り式の粘着テープを用いて
も良い。

【００２３】クリーニングローラ１１は、軸３７を介し
て軸受ホルダー３６に回転自在に支持されている。軸受
けホルダー３５は、ネジ４０によって板状の取付板３５
の下面に着脱可能に装着されている。クリーニングロー
ラ１１は、その軸線方向とピッチ方向Ｆとが同一方向と
なるように装着される。

【００２４】固定部材１２は、クリーニングローラ１１
の装着基部を構成するもので、図５、図６に示すよう
に、側面形状が断面「コの字状」を成し，その上板１２
Ａと下板１２Ｂとが、平面視において互いに直交する方
向に延びている。この形態では、下板１２Ｂは、ピッチ
方向Ｆに延びていて、両矢印Ｚで示す上下方向（以下
「上下方向Ｚ」と記す）に貫通してピッチ方向Ｆに延び
る長孔１９が形成されている。上板１２Ａの先端側に
は、上下方向Ｚに貫通した孔３８がピッチ方向Ｆと直交
する方向に並んで２つ形成されている。長孔１９には、
固定部材１２をハンド８の先端８ａに装着するネジ４１
が挿通され、このネジ４１を先端８ａにねじ込むことで
固定部材１２がハンド８に取り付けられる。固定部材１
２は、ネジ４１を緩めることでピッチ方向Ｆへ移動可能
とされている。各クリーニングローラ１１の間隔を調整
可能としている。このような構成のため、クリーニング
ローラ１１は、アライメントマーク１７のピッチが変わ
っても対応可能となっている。

【００２５】図６に示すように、孔３８には、一端を取
付板３５に固定された案内部材としての２本の軸１４が
それぞれ上下方向Ｚに摺動可能に挿入される。各軸１４
には、コイルバネ１３が巻装される。コイルバネ１３が
巻装された軸１４は、孔３８に挿入され、軸１４に形成
された溝１４ａにＥリング３９をそれぞれ係止されるこ
とで、固定部材１２に取り付けられる．これによりクリ
ーニングローラ１１は固定部材１２に対して上下方向Ｚ
（垂直方向）に摺動変位可能に装着されると共に、コイ
ルバネ１３は垂直方向に伸縮するようになっている。つ
まり、クリーニングローラ１１は、押し上げ方向の外力
が加わるとローラの位置が上方に変位し、外力が無くな
るとコイルバネ１３のバネ力によって最下位置へと変位
するようになっている。

【００２６】この形態では、コイルバネ１３を２本設け
たり、クリーニングローラ１１の軸方向への揺動を抑え
る関係から、軸１４や孔３８も２個ずつ設けているが、
コイルバネ１３や軸１４及び孔３８などの数は、２つに
限定されるものではない。

【００２７】クリーニングローラ１１は、ゴム製なので
多少の弾力性を有しているが、コイルバネ１３によって
も適度な押圧力を与えられて、液晶基板３や吸着テーブ
ル５、６に圧接可能となっている。

【００２８】図７に示すように、クリーニングローラ１
１の位置は、吸着パッド１５の吸着面１５ａよりも、そ
の外周面１１ａが間隔Ｈ分下方に位置するように配置さ
れている。このため、吸着パッド１５が、クリーニング
動作時に、吸着テーブル５、６に保持された液晶基板３
上を擦らないようになっている。つまり、間隔Ｈは、少
なくとも液晶基板３の厚さよりも大きく設定されるのが
良く、より好ましくは、液晶基板３の厚さに、クリーニ
ング時におけるクリーニングローラ１１のつぶれ量や上
下方向Ｚへの変位量＋アルファとするのがよい。

【００２９】図８に示すように、吸着テーブル５、６の
上面５ａ、６ａには、ハンド８が液晶基板３を吸着保持
する基板保持位置あるいはハンド８が液晶基板３を離脱
する基板移載位置を占めたときに、基板クリーニングユ
ニット１０、すなわちクリーニングローラ１１との干渉
を回避するための逃げ部４２、４３がそれぞれ設けられ
ている。逃げ部４２、４３は、上面５ａ、６ａよりも下
方に向かって窪んでいて、Ｘ方向に位置する各内面が上
面５ａ、６ａに向かって末広がりとなる傾斜面とされた
凹部であり、ハンド８が基板保持位置あるいは基板移載
位置を占めたときに、クリーニングローラ１１の外周面
１１ａが上面５ａ、６ａに接触しない範囲、深さに形成
されている。

【００３０】クリーニングローラ１１は、ハンド８が液
晶基板３を吸着保持する基板保持位置や離脱する基板移
載位置を占めたときでも、上面５ａ、６ａとの接触を回
避でき、上面５ａとの接触により発生する反発力の発生
を抑えている。このため、ハンド８に吸着保持された液
晶基板３が、吸引力に抗して吸着パッド１５から落下す
るといった不具合を防止している。クリーニングローラ
１１は、ハンド８に対して上下方向Ｚに摺動可能に支持
されているので、ハンド８の位置が変化しても、上面５
ａ、６ａに対して一定の位置を保持できるが、その分、
余計なストロークが必要となると共に、ストロークの増
加により上面５ａ、６ａや液晶基板３との押圧力が過大
になるので、逃げ部２１を設けることは大変意義あるこ
とである。しかし、クリーニングローラ１１が上下方向
Ｚに弾性的に摺動可能に支持されていれば、必ずしも逃
げ部４２、４３を吸着テーブル５、６に構成しなくても
良い。

【００３１】このような構成の搬送装置の動作を、基板
保持動作と基板移載動作に分けて説明する。本形態の場
合、液晶基板３に対するクリーニング動作は、基板保持
動作と基板移載動作の双方で、各動作と一連の動きで実
行されるようにプログラムされているが、基板保持動作
または基板移載動作の何れか一方側のみで実行するよう
なプログラムであっても良い。この場合、排出位置から
投入位置への液晶基板３の移動中に、汚れやゴミなどが
付着することを考慮して、投入位置での基板移載動作時
にクリーニング動作を実行すると、カメラ１８によるア
ライメントマーク１７の検知直前にクリーニングが行わ
れることになり、検知精度が良くなるので好ましいと云
える。

【００３２】図９は基板保持動作の動作手順を示し、図
１０はこの手順で行われるハンド８を中心とした基板保
持動作を示している。液晶基板３が図１に示すように排
出位置を占めると、制御手段９は、真空ポンプ２７を駆
動して、吸引部２５に液晶基板３を保持する。図１にお
いてホームポジションを占めているハンド８は、図９の
ステップＳ１において、基板移動手段７によって排出位
置に向かって旋廻移動してクリーニングローラ１１が液
晶基板３の上方に位置する待機位置を占め、ステップＳ
２において、図１０（ａ）に示すアライメントマーク１
７の手前のＡ点にクリーニングローラ１１が接触するク
リーニング位置へ移動し、ステップＳ３においてクリー
ニング動作が開始されて、ステップＳ４において図１０
（ｂ）に示すように、Ａ点からアライメントマーク１７
を超えたＢ点までの経由点間を液晶基板３にクリーニン
グローラ１１を圧接させた状態で移動し、Ｂ点に到達す
ると再びクリーニングローラ１１が液晶基板３から離間
する位置へと移動する。このＡ点〜Ｂ点の間隔は、クリ
ーニングローラ１１が一回転する距離である。

【００３３】つまり、ここではプログラムによって、基
板移動手段７によって移動されハンド８をＸ１方向に移
動するので、クリーニングローラ１１が液晶基板３に圧
接された状態で回転しながらＡ点からＢ点間を移動する
ことになり、液晶基板３が保持された状態でアライメン
トマーク１７近傍がクリーニングされることになる。

【００３４】クリーニング動作が終了すると、図９のス
テップＳ５においてハンド８が図１０に示す液晶基板３
を保持する基板保持位置まで移動し、ステップＳ６にお
いてハンド真空を行い、ステップＳ７において吸着テー
ブル５の吸引力を無くすべくテーブル真空解除指令を発
し、ステップＳ８においてテーブル真空解除されると、
ステップＳ９で吸着センサ３１の状態が確認され、吸着
センサ３１がオンしてハンド８に液晶基板３が吸着保持
されるとステップＳ１０に進む。

【００３５】つまり、ここではプログラムによって、ハ
ンド８に吸着力を発生させるために真空ポンプ３０を駆
動した後、吸着テーブル５による液晶基板３に対する吸
着力を解除するため真空ポンプ２７を停止し、ハンド８
にクリーニングされた液晶基板３が吸着保持されるま
で、ハンド８を図１０（ｃ）に示す基板保持位置に停止
させておく。

【００３６】図９のステップＳ１０になると、基板保持
位置を占めていたハンド８の退避動作が実行されて終了
する。ここでの退避動作は、基板搬送手段７を上昇させ
て、クリーニングローラ１１を吸着テーブル５の上面５
ａよりも上方まで移動し、図１に示すホームポジション
に向かって基板移動手段７によって移動することで実行
される。

【００３７】図１１は基板保持動作の動作手順を示し、
図１２はこの手順で行われるハンド８を中心とした基板
移載動作を示している。

【００３８】液晶基板３を吸着保持した状態で図１に示
すホームポジションを占めているハンド８は、図１１の
ステップＴ１において、基板移動手段７によって投入位
置に向かって旋廻移動して、図１２（ａ）に示すように
クリーニングローラ１１が吸着テーブル６の上方に位置
する待機位置を占め、ステップＴ２において、図１２
（ｂ）に示す液晶基板３を離脱する基板移載位置まで移
動する。そして、ステップＴ３においてテーブル真空指
令を発し、ステップＴ４においてハンド真空解除指令が
行われ、ステップＴ５において吸着センサ３１の状態が
確認され、吸着センサ３１がオフしてハンド８から液晶
基板３が離脱されるとステップＴ６に進んでテーブル真
空完了するまで待機する。

【００３９】つまり、ここではプログラムによって、基
板搬送手段７をＸ２方向に移動してハンド８を吸着テー
ブル６の上方の待機位置まで搬送した後、ハンド８に吸
着保持されている液晶基板３を吸着テーブル６の上面６
ａに載置する基板移載位置を占めるまで基板搬送手段７
を下降させる。そして、吸着テーブル６に吸着力を発生
させるために真空ポンプ２８を駆動し、ハンド８による
液晶基板３に対する吸着力を解除するため真空ポンプ３
０を停止してハンド８から液晶基板３を離脱し、離脱さ
れた液晶基板３が吸着テーブル６の上面６ａに吸着保持
されるまでハンド８を基板移載位置に停止しておく。

【００４０】テーブル真空が完了すると、図１１のステ
ップＴ７において経由点移動、ステップＴ８でクリーニ
ング位置へ移動し、ステップＴ９でクリーニング動作を
終了してステップＴ１０で退避動作を行って終了する。

【００４１】ここでの動作は、図１２（ｂ）に示す基板
移載位置から図１２（ｃ）に示すように、ハンド８を一
旦上昇させ、その後ハンド８をＸ１方向に移動しなが
ら、Ｂ点にクリーニングローラ１１の外周面１１ａが接
触するまで下降して、図１２（ｄ）に示すように、クリ
ーニングローラ１１を液晶基板３に圧接した状態で回転
しながらＢ点からＡ点間を移動させる。このため、液晶
基板３が吸着テーブル６に吸着保持された状態でアライ
メントマーク１７近傍が再度クリーニングされることに
なる。クリーニングローラ１１がＡ点に到達すると、再
びクリーニングローラ１１を液晶基板３から離間する位
置へとハンド８を上昇移動し、図１に示すホームポジシ
ョンに向かって基板移動手段７によって移動すること
で、ハンド８を投入位置から退避させてホームポジショ
ンまで移動する。

【００４２】このように本形態においては、クリーニン
グ動作が排出位置や投入位置に液晶基板３が保持された
状態で実施されるので、液晶基板３の不用意な振れによ
るクリーニング不良が極めて少なくなり、確実なアライ
メントマーク１７近傍のクリーニングを行え、汚れやゴ
ミの付着によるアライメントマーク１７の検知不良を軽
減することができる。また、基板クリーニングユニット
１０によるクリーニング動作やハンド８による液晶基板
３の吸着保持から離間動作までの一連の動作が、プログ
ラムソフトによって制御されるので、クリーニングする
対象が変更しても、プログラムの書き換えやデータの変
更が容易であるため、クリーニング動作の経路、スピー
ド等をクリーニングする対象の条件に合わせて簡単に変
更、設定することができる。さらに、基板クリーニング
ユニット１０を基板搬送ユニット４に設け、液晶基板３
に対するクリーニング動作を１つの装置で排出位置や投
入位置のどちらでも行えるようにしているので、クリー
ニング動作を効率が良く行えると共に、装置の設置スペ
ースを抑えて、低コスト、省スペース化を図れる。

【００４３】次に、搬送装置の特殊動作について説明す
る。上述の形態では、クリーニングローラ１１が液晶基
板３に圧接した状態で１回転するように経由点間距離
（Ａ点〜Ｂ点の距離）を設定しているが、一回転では確
実に汚れやゴミ等を除去できない場合も想定される。こ
のような場合には、クリーニング部材を複数設けたり、
あるいはクリーニングローラ１１のクリーニング時の回
転回数を多くすることが挙げられる。クリーニング部材
を複数の設けると、結局設置スペースが必要になったり
コスト高となるので、省スペースやコストなどを考慮す
ると、クリーニングローラ１１の回転回数を増やすほう
が好ましい。また、クリーニングローラ１１の粘着力を
高めることでも良い。

【００４４】あるいは、搬送装置の搬送動作のタクトに
余裕があるときには、クリーニング動作そのものを複数
回行うようにすれば，より確実にクリーニング対象部位
をクリーニングすることができる。クリーニング動作を
複数回実行するには、上述のステップＳ４、Ｔ７を連続
あるいは間欠的に実行するように制御手段９のプログラ
ムを変更し、クリーニングローラ１１をＡ点〜Ｂ点間に
おいて往復動作するようにするだけで、より確実に汚れ
やゴミ等を取り除くことができる。

【００４５】上記実施の形態では、付勢部材としてコイ
ルバネ１３を用いたが、図１３に示すように、固定部材
の一部と付勢部材の共通化を図るべく、板バネ材２２で
両者を構成しても良い。このように構成すると、部品点
数が少なくなり、装置を安価で軽量化することができる
ので、より好ましい構成といえる。

【００４６】図１３、１５を用いて付勢部材と固定部材
（一部）を板バネ材２２で構成した基板クリーニングユ
ニット１０Ａについて説明する。なお、基板クリーニン
グユニット１０と同一構成部材には、同一符号を付し詳
細な説明は省略する。

【００４７】基板クリーニングユニット１０Ａは、図１
３に示すように、ハンド８の先端８ａに装着される板バ
ネ材２２と、断面「コの字」状に形成された固定部材４
５と、クリーニングローラ３６を軸３７で回転自在に支
持した軸受ホルダー３６から構成されている。板バネ材
２２は、厚さ０．２ｍｍ程度のＳＵＳ材を折り曲げて加
工されたもので、図１５に示すように、その重ね合わさ
れた基端２２ｂに長孔１９が形成されていて、この長孔
１９にネジ４１を挿通して、先端８ａに締め込むことで
ハンド８に装着される。板バネ材２２は、ネジ４１を緩
めることで、ピッチ方向Ｆにその位置を調整可能とされ
ている。折り曲げられて断面三角形に形成された板バネ
材２２の縦面２２ａには、ボルト５０を挿通する孔４９
が複数設けられている。

【００４８】固定部材４５は、互いに対向する側板の一
方側を縦面２２ａと対抗配置し、この側板を取付部４５
ａとしている。取付部４５ａには、孔４９と対応する孔
４６が形成されている。固定部材４５は、孔４９を挿通
させたボルト５０を孔４６に挿通して、図示しないナッ
トを締め込まれることで、板バネ材２２に着脱可能に支
持される。固定部材４５の底部４５ｂには、軸受ホルダ
ー３６の上部３６ａに形成された複数のネジ孔４４に羅
合させるネジ４０をそれぞれ挿通する孔４７が複数形成
されている。これにより、軸受ホルダー３６に回転自在
に支持されたクリーニングローラ１１は、固定部材４５
に対して着脱可能に取付けられる。このような構成とし
ても、クリーニングローラ１１を上下方向Ｚに変位可能
に支持することができる。

【００４９】上述の形態では、基板クリーニングユニッ
ト１０、１０Ａを基板搬送ユニット４の一構成であるハ
ンド８に装着配置し、液晶基板３を吸着テーブル５、６
で吸着保持した状態でクリーニングしているが、図１４
に示すように基板搬送ユニット４とは分離して配置し、
基板クリーニングユニット１０Ｂによるクリーニング動
作を、ハンド８０に液晶基板３が保持された状態で行う
ようにしても良い。このような配置や構成の変更があっ
た場合でも、プログラムソフトを書き換えたり、あるい
は記憶手段２４を変更することで、液晶基板３に対する
クリーニング動作やその搬送動作を容易に変更、対応す
ることができる。

【００５０】図１４、１６を用いて、基板クリーニング
ユニット１０Ｂについて説明する。基板クリーニングユ
ニット１０Ｂは、固定部材５２が異なる以外は基板クリ
ーニングユニット１０と同一構成であるので、固定部材
５２の構成と、この固定部材５２の装着場所とハンド８
０を中心に説明する。

【００５１】上述した搬送装置において、ハンド８によ
る液晶基板３の搬送は、液晶基板３の上面、すなわちク
リーニング面を保持した例であるが、図１４に示すよう
にハンド８０の上面８０ｃ側に吸着パッド１５を配置
し、液晶基板３の下面、すなわちクリーニングしない面
を吸着保持するようにしても良い。ハンド８０は、その
基端側を図１に示す基板搬送手段７のアーム７Ｂの先端
に装着される。このようなハンド８０を備えた搬送装置
は、図１に示す排出位置に配置される、液晶基板３を一
時的に保管する図示しないストッカー装置から供給され
る液晶基板３を吸着保持して投入位置まで移載するよう
になっている。つまり、液晶基板３の吸着する面と、ク
リーニングする面とが反対側になる。

【００５２】このため、基板クリーニングユニット１０
Ｂは、前工程装置１や後工程装置２、あるいは搬送装置
の、排出位置や投入位置近傍に位置する筐体２３に固定
部材５２を介して装着されている。この形態において
も、基板クリーニングユニット１０Ｂは、排出位置や投
入位置においてピッチ方向Ｆに２つ配置されているが、
両者の構成は同一であるので一方側だけを図示する。

【００５３】各固定部材５２は、中央に凹部５２ｃがそ
れぞれ形成され、その底部５２ｄに軸１４を挿通する孔
３８がそれぞれ形成されている。各凹部５２ｃの周囲に
形成された互いに対向する平坦なフランジ部５２ａ、５
２ｂには、長孔１９がそれぞれ形成され、図示しないネ
ジ４１を長孔１９に挿通して筐体２３にねじ込むことで
筐体２３に装着され、ネジ４１を緩めることでピッチ方
向Ｆに各クリーニングローラ１１を移動可能とし、クリ
ーニングローラ１１のピッチを調整可能としている。

【００５４】このような構成の基板クリーニングユニッ
ト１０Ｂをアーム８０に装着する場合でも、プログラム
ソフトを書き換えたり、あるいは記憶手段２４を変更す
ることで、液晶基板３に対するクリーニング動作やその
搬送動作を容易に変更、対応することができる。つま
り、このハンド８０や基板クリーニングユニット１０Ｂ
を用いる場合には、基板クリーニングユニット１０Ｂは
筐体２３に据え付けとなり、この据え付けられた基板ク
リーニングユニット１０Ｂのクリーニングローラ１１に
対して、ハンド８０の位置を調整し、このハンド８０に
吸着保持された液晶基板３をクリーニングすることにな
る。

【００５５】上述したハンド８、８０に設けた吸着パッ
ド１５は、図１に示す排出位置や投入位置を占めたとき
に、吸着パッド１５がＹ方向に位置するように、ハンド
８、８０に形成、配置されているが、図１７に示すよう
に、ハンド８、８０がホームポジションに位置するとき
には吸着パッド１５がＹ方向に位置し、排出位置や投入
位置を占めたときには、Ｘ方向に位置するように配置し
ても良い。

【００５６】各基板クリーニングユニット１０、１０
Ａ、１０Ｂにおいて、軸受ホルダー３５は、取付板３５
や固定部材４５、５２に対して着脱可能となっているの
で、クリーニングローラ１１自身が汚れた場合には、軸
受ホルダー３５毎交換することができるので、作業性が
良い。

【００５７】

【発明の効果】請求項１記載の発明によれば、プログラ
ムソフトあるいは、プログラムソフトを記憶した記憶手
段を変更するだけで、基板搬送ユニットの搬送動作や基
板クリーニングユニットのクリーニング動作を変更する
ことができ、クリーニングすべき対象の形状や大きさ、
位置等が変更された場合でも、クリーニングする際の条
件だしを容易に行える。また、既存の搬送手段に基板搬
送ユニットや、基板クリーニングユニットを設けている
ので、製造工程内に何ヶ所もクリーニングユニットを設
けなくて良く、設置スペースやコストを抑えられ、装置
の省スペース化や低コスト化を図ることができる。

【００５８】請求項２記載の発明によれば、クリーニン
グローラが液晶基板に向かって付勢されて支持されるの
で、液晶基板に対して部分的なクリーニングも容易に行
えると共に、液晶基板が基板保持手段に多少傾斜した状
態で保持されていても、クリーニングローラを良好に液
晶基板のクリーニング面に接触させることができ、コス
ト面、スペース的に効率が良く、クリーニング動作を容
易に変更できてクリーニング動作の容易な条件出しを達
成しながら、良好なクリーニング状態を確保することが
できる。

【００５９】請求項３記載の発明によれば、クリーニン
グ動作が、基板保持部によって液晶基板が保持された状
態で行われるので、クリーニング動作時におけるクリー
ニング位置のずれが少なくなると共に、液晶基板に対す
るクリーニング動作が取り出し位置または投入位置のど
ちらでも行えるので、コスト面、スペース的に効率が良
く、クリーニング動作を容易に変更できてクリーニング
動作の容易な条件出しを達成しながらクリーニング動作
の効率化を図ることができる。

【００６０】請求項４記載の発明によれば、クリーニン
グしたい液晶基板のクリーニング面と、基板保持手段に
よって保持される液晶基板の保持面とが異なる場合でも
対応することができ、コスト面、スペース的に効率が良
く、クリーニング動作を容易に変更できてクリーニング
動作の容易な条件出しを達成しながら、液晶基板の所望
の部位を基板クリーニングユニットで良好にクリーニン
グすることができる。

【００６１】請求項５記載の発明によれば、固定部材の
一部と付勢部材を共通の板バネ材で構成することで、部
品点数が少なくなり、スペース的に効率が良く、クリー
ニング動作を容易に変更できてクリーニング動作の容易
な条件出しを達成しながら、より装置を安価で軽量化す
ることができる。

【００６２】請求項６記載の発明によれば、コスト面、
スペース的に効率が良く、クリーニング動作を容易に変
更できてクリーニング動作の容易な条件出しを達成しな
がら、クリーニングしたい液晶基板のクリーニング面
と、基板保持手段によって保持される液晶基板の保持面
とが同一面の場合に、液晶基板の所望の部位を基板クリ
ーニングユニットで効率良くクリーニングすることがで
きる。

【００６３】請求項７記載の発明によれば、基板保持部
に保持された液晶基板を基板保持手段で保持する際や保
持した時に、基板クリーニングユニットと基板保持部と
の干渉を防止することができるので、コスト面、スペー
ス的に効率が良く、クリーニング動作を容易に変更でき
てクリーニング動作の容易な条件出しを達成しながら、
基板クリーニングユニットや基板保持部に対する外的負
荷を軽減することができ、装置の耐久性を向上すること
ができる。

【００６４】請求項８記載の発明によれば、基板保持手
段に保持された液晶基板と、基板クリーニングユニット
とが干渉しないので、基板保持手段に保持された液晶基
板に対して基板クリーニングユニットとの接触よる外的
負荷（ストレス）を与えなくて済むので、コスト面、ス
ペース的に効率が良く、クリーニング動作を容易に変更
できてクリーニング動作の容易な条件出しを達成しなが
ら、基板保持部材から液晶基板が不用意に離脱するのを
確実に防止することができると共に、外的負荷の増加に
対応するために基板保持手段の保持力を向上させなくて
済むので、より装置の大型化を抑えることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施の形態を示す液晶基板の搬送装
置の概略構成図である。

【図２】液晶基板の一構成例を示す拡大平面図である。

【図３】基板クリーニングユニットの概略構成を示す一
部破断拡大図である。

【図４】基板クリーニングユニット及び基板保持手段の
概略構成と、基板クリーニングユニットの取り付け状態
を示す拡大図である。

【図５】（ａ）は固定部材の構成を示す平面図、（ｂ）
は固定部材の構成を示す側面図、（ｃ）は固定部材の構
成を示す底面図である、（ｄ）は固定部材の構成を示す
正面図である。

【図６】基板クリーニングユニットの構成を示す分解斜
視図である。

【図７】基板クリーニングユニットと基板保持手段の位
置関係を示す拡大図である。

【図８】基板保持部に設けた逃げ部の構成と基板クリー
ニングユニットの関係を示す拡大図である。

【図９】基板保持動作の手順を示すフローチャートであ
る。

【図１０】（ａ）は液晶基板に対するクリーニング動作
を示す図、（ｂ）はクリーニング終了時の状態を示す
図、（ｃ）は液晶基板に対する保持動作を示す、（ｄ）
は液晶基板を排出位置から投入位置へ移動する際の動作
を示す図である。

【図１１】投入位置への基板移載動作の手順を示すフロ
ーチャートである。

【図１２】（ａ）は液晶基板を投入位置へ移動する際の
動作を示す図、（ｂ）は投入位置への移載動作を示す
図、（ｃ）は液晶基板に対する離脱動作を示す図、
（ｄ）は液晶基板に対するクリーニング動作を示す図で
ある。

【図１３】基板クリーニングユニットの別な実施の形態
を示す部分拡大図である。

【図１４】基板クリーニングユニットの別な実施の形態
とクリーニング状態を示す拡大図である。

【図１５】図１３に示した基板基板クリーニングユニッ
トの構成を示す分解趣旨がである。

【図１６】図１４に示した基板基板クリーニングユニッ
トの構成を示す分解趣旨がである。

【図１７】基板保持手段の別な実施の形態を有する基板
搬送ユニットの概略構成を示す図である。

【符号の説明】

３ 液晶基板 ４ 基板搬送ユニット ５、６ 基板保持部 ７ 基板移動手段 ８、８０ 基板保持手段 ９ 制御手段 １０、１０Ａ、１０Ｂ 基板クリーニングユニット １１ クリーニングローラ １２、４５、５２ 固定部材 １３ 付勢部材 ２２ 板バネ材 ２４ 記憶手段 ４２、４３ 逃げ部

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】液晶表示パネルの製造工程のプラスチック
   シートまたはガラス板からなる液晶基板を、取り出し位
   置と投入位置との間で移載する搬送装置であって、 上記液晶基板を保持する基板保持手段と、上記基板保持
   手段を上記取り出し位置と上記投入位置とへ移動する基
   板移動手段とを有する基板搬送ユニットと、 上記液晶基板を清掃する基板クリーニングユニットと、
   制御手段とを備え、 上記制御手段は、上記基板搬送ユニットの液晶基板に対
   する搬送動作と、上記基板クリーニングユニットの液晶
   基板に対するクリーニング動作を一連の動きで行うよう
   に、上記基板搬送ユニット及び上記基板クリーニングユ
   ニットの動作経路を制御するプログラムソフトを記憶し
   た記憶手段を有することを特徴する液晶基板の搬送装
   置。
2. 【請求項２】請求項１記載の液晶基板の搬送装置におい
   て、 上記基板クリーニングユニットは、液晶基板に接触可能
   に設けられたクリーニングローラと、このクリーニング
   ローラを支持する固定部材と、このクリーニングローラ
   を液晶基板に向かって付勢する付勢部材とを備えたこと
   を特徴とする液晶基板の搬送装置。
3. 【請求項３】請求項１または２記載の液晶基板の搬送装
   置において、 上記取り出し位置または上記投入位置の少なくとも一方
   に液晶基板を位置決め保持する基板保持部を有し、 上記基板クリーニングユニットによるクリーニング動作
   は、液晶基板が上記取り出し位置または投入位置に上記
   基板保持部によって保持された状態で行われることを特
   徴とする液晶基板の搬送装置。
4. 【請求項４】請求項1または２記載の液晶基板の搬送装
   置において、 上記基板クリーニングユニットと上記基板搬送ユニット
   とは分離して配置され、上記基板クリーニングユニット
   によるクリーニング動作が、上記基板保持手段に液晶基
   板が保持された状態で行われることを特徴とする液晶基
   板の搬送装置。
5. 【請求項５】請求項２記載の液晶基板の搬送装置におい
   て、 上記固定部材の一部と上記付勢部材が共通の板バネ材で
   構成されていることを特徴とする液晶基板の搬送装置。
6. 【請求項６】請求項１、２または３記載の液晶基板の搬
   送装置において、 上記基板クリーニングユニットを上記基板保持手段また
   は上記基板移動手段に装着したことを特徴とする液晶基
   板の搬送装置。
7. 【請求項７】請求項３記載の液晶基板の搬送装置におい
   て、 上記基板保持部に、上記基板クリーニングユニットとの
   干渉を回避するための逃げ部を設けたことを特徴とする
   液晶基板の搬送装置。
8. 【請求項８】請求項６記載の液晶基板の搬送装置におい
   て、 上記基板クリーニングユニットの、上記基板保持手段ま
   たは上記基板移動手段に対する装着位置が、上記基板保
   持手段による液晶基板の保持の際に同液晶基板と干渉し
   ない部位に設けられていることを特徴とする液晶基板の
   搬送装置。