KR100636302B1 - 기판의 반송 장치 및 반송 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 흡착 지지부에 의해 흡착되어 반송되는 기판이 낙하하는 것을 방지할 수 있도록 한 기판의 반송 장치를 제공한다.

본 발명에 따르면, 장치 본체(1)에 설치되어 기판을 흡착 지지하는 복수개의 흡착 지지부(5)와, 장치 본체에 설치되어, 선단부가 흡착 지지부에 의해 지지된 기판의 하면에 대향하는 상태와 기판의 하면으로부터 후퇴하는 상태로 구동 가능하며, 기판의 하면에 대향하는 상태에서 기판에 장착된 전자 부품과 접촉되지 않는 간격으로 설치된 서포트 부재(24)를 구비한다.

기판, 흡착 지지, 서포트 부재, 전자 부품, 스테이지, 트레이, 흡인 관로, 링크

Description

기판의 반송 장치 및 반송 방법 {APPARATUS FOR CONVEYING SUBSTRATES AND METHOD OF CONVEYING SUBSTRATES}

도 1은 본 발명의 일실시예를 나타낸 반송 장치의 평면도이다.

도 2(a)~도 2(c)는 기판을 흡착 지지하여 반송하는 상태를 순차적으로 나타낸 설명도이다.

도 3은 회전축에 상하 방향의 위치 결정 조정 가능하게 장착된 서포트 부재의 측면도이다.

도 4는 도 3의 서포트 부재를 하면측으로부터 본 도면이다.

도 5는 전자 부품이 장착되어 트레이 상에 탑재된 기판의 사시도이다.

도 6은 본 발명의 다른 실시예를 나타낸 서포트 부재의 장착 구조를 나타낸 측면도이다.

* 도면의 부호의 설명

1: 장치 본체, 5: 흡착 지지부,

7: 패드, 11: 제1 흡인 관로,

12: 제2 흡인 관로, 15: 전자 부품,

24: 서포트 부재, 31: 링크

본 발명은 주변부에 전자 부품이 장착된 기판을 반송하기 위한 반송 장치 및 반송 방법에 관한 것이다.

예를 들어, 기판으로서의 액정 셀에는 이방성(異方性) 도전 부재를 통하여 TCP(Tape Carrier Package) 또는 FPC(Flexible Printed Circuit) 등의 유연한 전자 부품의 일단부가 압착된다. 상기 액정 셀은, 2개의 유리판이 밀봉제를 개재시켜 소정의 간격으로 접착되고, 이들 유리판 사이에 액정을 밀봉하여 구성된다. 그리고, 상기 구성의 액정 셀에는, 테두리부에 테이프형의 상기 이방성 도전 부재를 개재시켜 상기 전자 부품의 일단부를 가(假)압착한 후, 그 일단부를 본(本)압착하도록 하고 있다.

전자 부품이 장착된 기판은 반송 장치에 의하여, 예를 들면 패널 조립 공정 등의 다음 공정에 반송된다. 상기 반송 장치는 장치 본체를 가지고, 이 장치 본체에는 흡착 지지부로서의 복수개의 흡착 패드가 설치되어 있다. 각 흡착 패드는 흡인 펌프에 배관 접속되어 있어, 이 흡인 펌프가 작동함으로써 흡인력이 발생하도록 되어 있다.

기판을 흡착 패드에 의해서만 흡착 지지하면, 흡인 펌프의 고장이나 흡착 패드의 손상 등이 생긴 경우, 흡착 패드에 의한 기판의 흡착 지지 상태가 손상되고, 기판이 반송 장치로부터 낙하할 우려가 있다.

그래서, 종래에는 흡착 패드에 의해 기판을 흡착 지지한 후, 그 기판의 하면 주변부에 서포트 부재를 결합시켜, 흡착 패드에 의한 기판의 흡착 지지 상태가 손상된 경우라도, 기판이 반송 장치로부터 낙하하는 것을 방지하도록 하였다.

그러나, 서포트 부재를 기판의 하면에 결합시키면, 기판의 하면이 서포트 부재에 의해 마찰되기 때문에, 기판을 손상시키는 경우도 있다.

본 발명은 기판을 흡착 지지부만으로 지지하는 동시에, 흡착 지지부에 의한 지지 상태가 손상되었을 때 서포트 부재로 받치도록 함으로써, 서포트 부재가 기판에 장착된 전자 부품에 걸리지 않게 되거나 기판을 손상시키지 않을 수 있는 기판의 반송 장치 및 반송 방법을 제공한다.

본 발명은, 주변부에 전자 부품이 설치된 기판을 반송하는 반송 장치에 있어서,

장치 본체,

상기 장치 본체에 설치되어, 상기 기판을 흡착 지지하는 복수개의 흡착 지지부, 및

상기 장치 본체에 설치되어 선단부가 상기 흡착 지지부에 의해 지지된 기판의 하면에 대향하는 상태와 기판의 하면으로부터 후퇴하는 상태로 구동 가능하며, 상기 기판의 하면에 대향하는 상태에서 기판에 설치된 전자 부품과 접촉하지 않는 간격으로 설치된 서포트 부재

를 구비한 것을 특징으로 하는 기판의 반송 장치이다.

본 발명은, 주변부에 전자 부품이 설치된 기판을 반송 장치에 의해 반송하는 반송 방법에 있어서,

상기 기판을 상기 반송 장치에 설치된 복수개의 흡착 지지부에 의해 흡착 지지하는 공정,

상기 흡착 지지된 기판의 하면에 상기 전자 부품에 접촉하지 않는 간격을 유지하여 서포트 부재를 대향시켜 상기 기판이 반송 장치로부터 낙하되는 것을 저지하는 공정, 및

상기 낙하가 저지된 기판을 상기 반송 장치에 의해 반송하는 공정

을 포함한 것을 특징으로 하는 기판의 반송 방법이다.

이하, 본 발명의 실시예를 도면을 참조하여 설명한다.

도 1 내지 도 5는 본 발명의 일실시예를 나타낸다. 도 1은 반송 장치를 구성하는 직사각형의 장치 본체(1)의 평면도이다. 이 장치 본체(1)는 평행하게 이격하여 대향한 한 쌍의 가로빔(2a)과 이들 가로빔(2a)의 양단에 연결된 한 쌍의 세로빔(2b)에 의해 직사각형 프레임형으로 형성되어 있다.

상기 가로빔(2a)의 길이 방향의 양단부에, 상기 세로빔(2b)보다 길이 방향 내측에는 한 쌍의 장착빔(2c)이 양단부를 고정하여 가설되어 있다. 이들 장착빔(2c)의 길이 방향 중도부에는 각각 장착축(3)이 축선을 수직으로 하여 설치되어 있다. 그리고, 상기 장치 본체(1)는 이들 장착축(3)을 통하여 도시하지 않은 구동원에 의해 X, Y, Z 방향으로 구동되도록 되어 있다.

상기 가로빔(2a)의 내측면에는, 길이 방향으로 소정 간격으로 복수개의 L자 형상의 브래킷(4)이 한 변을 고정하여 설치되어 있다. 이 실시예에서는, 장치 본체(1)의 양측에 각각 5개의 브래킷(4)이 설치되어 있다.

각 브래킷(4)의 수평한 타변에는 흡착 지지부(5)가 도시하지 않은 스프링에 의해 하방향으로 탄성적으로 가압되어 설치되어 있다. 이 흡착 지지부(5)는, 도 2(a)~도 2(c)에 나타낸 바와 같이 탄성적으로 변위 가능한 중공형의 축부(6)와, 이 축부(6)의 하단에 설치된 패드(7)로 구성되어 있다. 이들 흡착 지지부(5)는, 후술하는 바와 같이 기판(W)의 폭 방향 양측부의 상면을 흡착 지지하도록 되어 있다.

합계 10개의 흡착 지지부(5)는, 제1 흡인 관로(11)에 접속된 제1 그룹과, 제2 흡인 관로(12)에 접속된 제2 그룹으로 구분되어 있다. 제1 흡인 관로(11)는 제1 헤더관(11a)을 가진다. 이 제1 헤더관(11a)은 중도부가 도시되지 않은 흡인 펌프에 접속되어 있어, 일단과 타단에는 각각 제1 분기관(11b)과 제2 분기관(11c)이 접속되어 있다.

제1 분기관(11b)은 장치 본체(1)의 폭 방향 일측에 설치된 5개의 흡착 지지부(5) 중, 중앙과 양단에 위치하는 3개의 흡착 지지부(5)에 접속되어 있다. 제2 분기관(11c)은 장치 본체(1)의 폭 방향 타측에 설치된 5개의 흡착 지지부(5) 중, 중앙과 양단에 위치하는 3개의 흡착 지지부(5)를 제외한 2개의 흡착 지지부(5)에 접속되어 있다.

상기 제2 흡인 관로(12)는 제2 헤더관(12a)을 가진다. 상기 제2 헤더관(12a)은 중도부가 도시되지 않은 흡인 펌프에 접속되어 있어, 일단과 타단에는 각각 제3 분기관(12b)과 제4 분기관(12c)이 접속되어 있다.

제3 분기관(12b)은 장치 본체(1)의 폭 방향 일측에 설치된 5개의 흡착 지지부(5) 중, 중앙과 양단에 위치하는 3개의 흡착 지지부(5)를 제외한 2개의 흡착 지지부(5)에 접속되어 있다. 제4 분기관(12c)은 장치 본체(1)의 폭 방향 타측에 설치된 5개의 흡착 지지부(5) 중, 중앙과 양단에 위치하는 3개의 흡착 지지부(5)에 접속되어 있다.

즉, 제1 흡인 관로(11)와 제2 흡인 관로(12)는, 장치 본체(1)의 일측과 타측에 설치된 각각 5개의 흡착 지지부(5)에 대하여 교대로 접속되어 있다. 바꾸어 말하면, 장치 본체(1)의 폭 방향 일측과 타측에는, 제1 그룹과 제2 그룹에 속하는 각각 복수의 흡착 지지부(5)가 설치되어 있다.

그에 따라, 제1 흡인 관로(11)에 접속된 제1 그룹의 흡착 지지부(5) 또는 제2 흡인 관로(12)에 접속된 제2 그룹의 흡착 지지부(5) 중 어느 한쪽의 그룹의 흡인력이 손상되어도, 다른 쪽 그룹의 흡인력에 의해 기판(W)의 흡착 지지 상태를 유지할 수 있도록 되어 있다.

이 실시예에서는, 제1 흡인 관로(11)와 제2 흡인 관로(12)는 별개의 흡인 펌프에 접속되어 있다. 그에 따라, 한쪽의 흡인 펌프가 고장나도, 다른 쪽의 흡인 펌프에 의한 흡인력으로, 기판(W)을 낙하시키지 않고 지지할 수 있다.

또한, 제1 흡인 관로(11)와 제2 흡인 관로(12)를 1개의 흡인 펌프에 접속해도 상관없다. 또, 장치 본체(1)의 폭 방향 일측부와 타측부에 설치되는 흡착 지지부(5)의 개수는 한정되지 않으며, 각각의 측부에 제1 그룹과 제2 그룹에 속하는 복수개의 흡착 지지부, 즉 적어도 2개씩의 흡착 지지부가 설치되어 있으면 된다.

상기 기판(W)은, 도 5에 나타낸 바와 같이 크기가 상이한 2개의 유리판(13, 14)을 소정의 간격으로 접합시키는 동시에, 이들 유리판(13, 14)의 사이에 도시하지 않은 액정이 밀봉되어 있다. 기판(W)의 주변부에는 TCP나 FPC 등의 유연한 전자 부품(15)의 일단부가 이방성 도전 접착제를 통하여 가압착되고, 타단부를 기판(W)의 외측으로 돌출시켜 설치되어 있다. 그리고, 전자 부품(15)이 가압착 상태로 장착된 기판(W)은 트레이(16) 상에 탑재된다.

그리고, 상기 제1 내지 제4 분기관(11b, 11c, 12b, 12c)의 선단은 각 흡착 지지부(5)의 축부(6)에 접속되고, 이 축부(6)를 통하여 흡인력이 패드(7)에 작용하도록 되어 있다.

상기 한 쌍의 가로빔(2a)의 길이 방향 양단부와 중앙부의 하면에는, 각각 띠 판형의 지지부재(21)의 일단부가 장착 고정되어 있다. 길이 방향 양단부에 위치하는 각 한 쌍의 지지부재(21)의 타단부는 가로빔(2a)의 외측면으로부터 외측으로 돌출되어 있어, 그 타단부의 하면에는 베어링 부재(22)가 축선을 수직으로 하여 설치되어 있다. 이 베어링 부재(22)에는 회전축(23)이 회전 가능한 동시에 축방향으로 슬라이드 불가능하게 위치 결정되어 지지되어 있다.

회전축(23)은 상단부를 지지부재(21)의 상면측에 돌출시키고, 하단부를 베어링 부재(22)의 하단면으로부터 돌출시키고 있다. 회전축(23)의 하단부에는 띠 판형의 서포트 부재(24)의 기단부가 연결 고정되어 있다.

상기 서포트 부재(24)는, 도 1에 실선으로 나타낸 바와 같이, 장치 본체(1)의 측변과 평행으로, 흡착 지지부(5)에 의해 지지된 기판(W)의 하면으로부터 폭 방 향 외측으로 벗어난 위치(이 위치를 후퇴 상태로 함)와 동 도면에 쇄선으로 나타낸 바와 같이, 선단부가 흡착 지지부(5)에 지지된 기판(W)의 폭 방향의 단부 하면에 대향하는 위치(이 위치를 대향 상태로 함) 사이에서 후술하는 바와 같이 회전 구동되도록 되어 있다.

도 2(c)에 나타낸 바와 같이, 상기 서포트 부재(24)는 상기 지지 상태에서, 기판(W)의 하면에 대하여 소정의 간격(G)을 가지는 상태로 대향하고 있다. 즉, 기판(W)을 흡착 지지부(5)에 의해 지지하여 장치 본체(1)가 상승했을 때, 기판(W)에 장착된 가요성의 전자 부품(15)은 기판(W)의 외측으로 돌출된 타단부가 아래쪽으로 휜다. 따라서, 상기 간격(G)은 휜 전자 부품(15)의 하단부에 접촉되지 않는 치수, 예를 들어 전자 부품(15)이 FPC인 경우에는 6mm정도로 설정된다.

상기 서포트 부재(24)는 상기 회전축(23)의 하단부에 높이 조정 가능하게 설치되어 있다. 즉, 도 3과 도 4에 나타낸 바와 같이, 서포트 부재(24)의 일단부에는 상기 회전축(23)에 결합하는 장착구멍(24a)이 형성되어 있다. 이 서포트 부재(24)의 일단부에는 일단이 장착구멍(24a)에 연통되고, 타단이 서포트 부재(24)의 단면에 개방된 슬리팅 홈(24b)이 소정의 폭 치수로 형성되어 있다.

상기 슬리팅 홈(24b)의 폭치수는 나사(25)에 의해 조정할 수 있다. 따라서, 나사(25)를 느슨하게 하여 상기 서포트 부재(24)를 상기 회전축(23)의 축방향으로 이동시키면, 이 서포트 부재(24)의 상하 방향의 장착 위치를 조정할 수 있다. 즉, 슬리팅 홈(24b)과 나사(25)에 의하여 서포트 부재(24)를 상하 방향으로 위치 결정하는 위치 결정 수단을 구성하고 있다.

이와 같이, 서포트 부재(24)를 상하 방향으로 위치 결정 조정할 수 있으면, 전자 부품(15)의 크기나 재질 등의 종류에 의해 이 전자 부품(15)의 아래쪽으로의 휨 양이 상이하게 되어도, 그 휨 양에 따라 상기 서포트 부재(24)의 장착 위치를 조정하고, 상기 전자 부품(15)의 하단이 서포트 부재(24)의 상면에 접촉하지 않도록, 상기 간격(G)을 설정할 수 있다.

도 1에 나타낸 바와 같이, 상기 가로빔(2a)의 길이 방향 중앙에 설치된 지지부재(21)의 상면에는, 모터 등의 로터리 액츄에이터(26)가 설치되어 있다. 상기 로터리 액츄에이터(26)의 회전축(27)에는 도시하지 않은 프레임 등을 통하여 한 쌍의 제1 연결부(29)가 설치되어 있다. 한 쌍의 제1 연결부(29)에는 각각 링크(31)의 일단이 연결 고정되어 있다. 각 링크(31)의 타단은 각각 상기 회전축(23)의 상단에 설치된 제2 연결부(32)에 연결 고정되어 있다.

상기 로터리 액츄에이터(26)가 작동되어 회전축(27)이 소정 방향으로 소정 각도 회전되면, 이 회전에 한 쌍의 링크(31)가 연동된다. 그에 따라, 한 쌍의 링크(31)는 도 1에 화살표로 나타낸 바와 같이, 장치 본체(1)의 길이 방향 외측을 따라 슬라이드된다.

한 쌍의 링크(31)가 화살표 방향으로 슬라이드되면, 이들 링크(31)의 타단이 연결된 한 쌍의 회전축(23)이 동시에 역방향으로 회전된다. 그에 따라, 서포트 부재(24)는 도 1에 실선으로 나타낸 후퇴 상태로부터 쇄선으로 나타낸 대향 상태로 회전된다. 상기 로터리 액츄에이터(26)를 조금 전과 역방향으로 회전시키면, 대향 상태에 있는 서포트 부재(24)를 후퇴 상태로 회전시킬 수 있다.

다음에, 상기 구성의 반송 장치에 의해 트레이(16) 상의 기판(W)을 반송하는 단계를 도 2(a)~도 2(c)를 참조하면서 설명한다. 먼저, 장치 본체(1)에 설치된 4개의 서포트 부재(24)를 후퇴 상태로 회전시킨다. 그 다음에, 도 2(a)에 나타낸 바와 같이, 장치 본체(1)를 트레이(16)에 탑재된 기판(W)의 윗쪽에 위치 결정한다. 즉, 흡착 지지부(5)의 패드(7)가 기판(W)의 폭 방향의 양측부 상부에 대향하도록, 장치 본체(1)를 위치 결정한다.

장치 본체(1)가 위치 결정되었다면, 도 2(b)에 나타낸 바와 같이, 상기 장치 본체(1)를, 흡착 지지부(5)의 패드(7)가 기판(W)의 상면에 압접하는 위치까지 하강시킨다. 그와 동시, 또는 위치 결정시에 제1, 제2 흡인 관로(11, 12)에 접속된 흡인 펌프를 작동시켜, 각 흡착 지지부(5)의 패드(7)에 흡인력을 발생시키도록 한다. 그에 따라, 장치 본체(1)가 하강되어 패드(7)가 기판(W)의 상면에 압접되면, 기판(W)이 패드(7)에 흡착 지지되는 것으로 된다. 그리고, 패드(7)가 기판(W)에 압접될 때, 패드(7)를 장착한 축부(6)가 탄성적으로 상승 방향으로 변위되어 충격을 흡수한다.

패드(7)에 의해 기판(W)이 흡착되었다면, 도 2(c)에 나타낸 바와 같이, 장치 본체(1)를 상승 방향으로 구동한다. 그 다음에, 로터리 액츄에이터(26)를 작동시켜, 링크(31)를 통하여 서포트 부재(24)가 설치된 회전축(23)을 회전시킨다. 그에 따라, 후퇴 상태의 서포트 부재(24)의 선단부가 기판(W)의 하면에 소정의 간격(G)을 통하여 대향하는, 대향 상태로 된다.

장치 본체(1)를 상승시킴으로써, 기판(W)에 장착된 전자 부품(15)에 휨이 생 긴다. 그러나, 상기 서포트 부재(24)와 기판(W)의 하면의 간격(G)은, 휜 전자 부품(15)에 접촉되지 않는 치수로 설정되어 있다.

그러므로, 후퇴 상태로부터 대향 상태로 회전하는 서포트 부재(24)에 전자 부품(15)이 걸리지 않기 때문에, 전자 부품(15)을 손상시키거나 장착 상태가 손상되는 등을 방지할 수 있다. 또, 서포트 부재(24)를 기판(W)의 하면에 접촉시키지 않고 소정의 간격(G)으로 대향시켜 있으므로, 서포트 부재(24)가 기판(W)을 손상시키지도 않는다.

이와 같이 하여, 서포트 부재(24)를 대향 상태로 회전시킨 후, 장치 본체(1)는 수평 방향으로 구동된다. 그리고, 장치 본체(1)는 기판(W)을 다음 공정인, 상기 전자 부품(15)을 상기 기판(W)에 본압착하는 본압착 장치의 스테이지(모두 도시하지 않음)에 공급 탑재한다. 이 스테이지는 기판(W)을 본압착 위치에 반송하기 위한 것이다.

장치 본체(1)가 기판(W)을 상기 스테이지의 상부에 위치 결정하면, 상기 서포트 부재(24)는 상기 기판(W)에 대향한 대향 상태로부터 후퇴 상태로 회전된다. 그 다음에, 장치 본체(1)는 하강되어 상기 스테이지에 기판(W)을 탑재하면, 흡착 지지부(5)의 흡인력이 제거된다. 그 후, 상기 장치 본체(1)는 기판(W)을 스테이지에 남겨두고 상승되고, 다음의 기판(W)을 본압착 장치에 반송하는 것이 반복하여 행해진다.

기판(W)을 반송하는 과정에서, 예를 들면 흡인 펌프의 고장이나 흡착 지지부(5)의 패드(7)의 손상 등에 의하여, 패드(7)에 의한 기판(W)의 흡착 지지 상태가 손상되면, 기판(W)이 패드(7)로부터 이격되는 경우가 있다.

그러나, 기판(W)의 하면에는 서포트 부재(24)가 대향 상태, 즉 선단부를 기판(W)의 하면에 대향시키고 있다. 그러므로, 기판(W)이 패드(7)로부터 이격되어도, 그 기판(W)은 서포트 부재(24)에 의해 지지되므로, 장치 본체(1)로부터 낙하되어 손상되는 것을 방지할 수 있다.

복수개의 흡착 지지부(5)는, 제1 흡인 관로(11)에 접속된 제1 그룹과, 제2 흡인 관로(12)에 접속된 제2 그룹으로 구분될 수 있고, 장치 본체(1)의 한 쌍의 측면 주변부에는 제1 그룹과 제2 그룹에 속하는 각각 복수개의 흡착 지지부(5)가 배치되어 있다.

그러므로, 제1, 제2 흡인 관로(11, 12) 중 어느 한쪽이 막히거나 손상되는 등으로 한쪽 그룹의 흡착 지지부(5)의 흡인력이 상실되어도, 다른 쪽 그룹의 흡착 지지부(5)에 의해 기판(W)의 폭 방향의 양측부의 흡착 지지 상태가 계속되므로, 기판(W)을 확실하게 목적 부위까지 반송하여 주고 받을 수 있다.

즉, 복수개의 흡착 지지부(5)를 제1, 제2 그룹으로 구분하기 때문에, 어느 한쪽 그룹의 흡착 지지부(5)에 의한 흡인력이 없어져도, 다른 쪽 그룹의 흡착 지지부(5)에 의해 기판(W)을 흡착 지지할 수 있다. 또한, 장치 본체(1)의 한 쌍의 측면 주변부에는, 제1 그룹과 제2 그룹에 속하는 각각 복수개의 흡착 지지부(5)를 설치하도록 했기 때문에, 어느 한쪽 그룹의 흡착 지지부(5)의 흡인력이 상실되어도, 다른 쪽 그룹의 흡착 지지부(5)에 의해 기판(W)의 양측부를 각각 복수개의 흡착 지지부(5)에 의해 확실하게 흡착 지지할 수 있다.

그리고, 본 발명은 상기 일실시예로 한정되지 않으며, 예를 들면 장치 본체는 가로빔과 세로빔에 의해 직사각형 프레임형으로 형성되지만, 직사각형의 판재로 형성되어도 되고, 그 구조는 한정되지 않는다.

서포트 부재는 수평 방향으로 회전됨으로써, 후퇴 상태와 대향 상태로 위치 결정되었지만, 예를 들면 서포트 부재를 L 자형으로 형성하고, 상단을 지점으로 하여 상하 방향으로 회전시킴으로써, 그 선단부를, 후퇴 상태와 대향 상태로 위치 결정하도록 해도 된다.

또, 패드(7)에 의한 기판(W)의 지지 상태가 손상되었을 때, 그 기판(W)을 서포트 부재(24)에 의해 지지하도록 하고 있지만, 기판(W)에 대향하는 서포트 부재(24)의 상면을 불소 수지 등으로 형성하도록 하면, 비록 기판(W)에 서포트 부재(24)가 접촉되어도, 기판(W)의 손상을 더 저감할 수 있다.

도 6은 본 발명의 위치 결정 수단의 변형예를 나타낸 다른 실시예를 나타낸다. 즉, 이 실시예의 위치 결정 수단은, 장치 본체(1)를 구성하는 가로빔(2a)의 길이 방향 중앙의 상면에 설치된 플러스모터(41)를 가진다. 이 플러스모터(41)에는 나사축(41a)이 연결되어 있다.

상기 가로빔(2a)의 하방에는 띠 판형의 가동 부재(42)가 대향하여 배치되어 있다. 이 가동 부재(42)의 길이 방향 중앙부에는 너트(43)가 설치되고, 상기 너트(43)에 상기 나사축(41a)이 나사 결합되어 있다.

상기 가동 부재(42)의 길이 방향 양단부에는 가이드부재(44)가 설치되어 있다. 각 가이드부재(44)에는 상기 가로빔(2a)의 길이 방향 양단부로부터 수직으로 설치된 가이드 축(45)이 슬라이드 가능하게 삽입 지지되어 있다. 따라서, 상기 플러스모터(41)가 작동되어 나사축(41a)이 회전 구동되면, 상기 가동 부재(42)가 나사축(41a)의 회전 방향을 따라 상하 방향으로 구동되므로, 상기 가동 부재(42)를 소정 높이에 위치 결정할 수 있도록 되어 있다.

상기 가동 부재(42)에는 상기 일실시예와 마찬가지로 한 쌍의 지지부재(21)의 일단부가 고정되어 있다. 각 지지부재(21)의 타단부에는 베어링 부재(22)가 설치되고, 이 베어링 부재(22)에 회전 가능한 동시에 축방향으로 이동 불가능하게 지지된 회전축(23)에 상기 서포트 부재(24)의 일단부가 장착되어 있다. 한 쌍의 회전축(23)은 도 1에 나타낸 구성과 마찬가지의 링크(31)에 의해 연동하도록 되어 있다.

따라서, 이와 같은 실시예에 따르면, 상기 플러스모터(41)의 동작을 원격적으로 제어함으로써, 상기 서포트 부재(24)의 높이, 즉 서포트 부재(24)의 타단 상면과 기판(W)에 가압착된 전자 부품(15)의 하면의 간격(G)을, 그 전자 부품(15)의 크기나 재질 등에 의해 상이한 휨 양에 따라 설정할 수 있다.

상기 실시예에서는, 장치 본체에 설치되는 서포트 부재는 기판의 측면 주변부를 흡착 지지하는 위치에 배치되었지만, 기판의 각(角) 부를 흡착 지지하는 위치에 배치되도록 해도 된다.

본 발명에 따르면, 흡착 지지부에 의한 기판의 흡착 지지 상태가 손상되어도, 기판은 서포트 부재에 의해 지지되므로 낙하되는 것을 방지할 수 있고, 또한 서포트 부재는 기판에 장착된 전자 부품에 접촉하지 않고 기판의 하면에 대향하는 간격으로 설치되어 있으므로, 회전시에 전자 부품에 걸리리 않을 뿐만 아니라, 기판을 손상시키지도 않는다.

Claims (6)

1. 주변부에 전자 부품이 설치된 기판을 반송하는 반송 장치에 있어서,

   장치 본체,

   상기 장치 본체에 설치되어 상기 기판을 흡착 지지하는 복수개의 흡착 지지부, 및

   상기 장치 본체에 설치되어, 선단부가 상기 흡착 지지부에 의해 지지된 기판의 하면에 대향하는 상태와 기판의 하면으로부터 후퇴하는 상태로 구동 가능하면서, 상기 기판의 하면에 대향하는 상태에서 기판에 설치된 전자 부품과 접촉하지 않는 간격으로 설치된 서포트 부재

   를 구비한 것을 특징으로 하는 기판의 반송 장치.
2. 제1항에 있어서,

   상기 복수개의 흡착 지지부는, 제1 흡인 관로에 접속된 제1 그룹과, 제2 흡인 관로에 접속된 제2 그룹으로 구분되어 있는 것을 특징으로 하는 기판의 반송 장치.
3. 제2항에 있어서,

   상기 장치 본체의 대향하는 한 쌍의 측면 주변부에 각각 복수개의 상기 흡착 지지부가 설치되어 있어,

   상기 각 측면 주변부에는 각각 복수개의 상기 제1 그룹의 흡착 지지부와 상기 제2 그룹의 흡착 지지부가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 기판의 반송 장치.
4. 제1항에 있어서,

   상기 장치 본체의 대향하는 한 쌍의 측면 주변부에는 각각 복수개의 상기 서포트 부재가 수평 방향으로 회전 가능하게 설치되어 있어,

   상기 각각의 측면 주변부에 설치된 상기 복수개의 서포트 부재는 구동원에 의해 구동되는 링크에 의하여 연동되는 것을 특징으로 하는 기판의 반송 장치.
5. 제1항에 있어서,

   상기 서포트 부재는, 위치 결정 수단에 의해 상기 전자 부품과 접촉하지 않도록 상하 방향의 위치 결정 조정이 가능하게 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 기판의 반송 장치.
6. 주변부에 전자 부품이 설치된 기판을 반송 장치에 의해 반송하는 반송 방법에 있어서,

   상기 기판을 상기 반송 장치에 설치된 복수개의 흡착 지지부에 의해 흡착 지지하는 공정,

   상기 흡착 지지된 기판의 하면에 상기 전자 부품에 접촉하지 않는 간격을 유 지하여 서포트 부재를 대향시켜 상기 기판이 반송 장치로부터 낙하되는 것을 저지하는 공정, 및

   낙하가 저지된 기판을 상기 반송 장치에 의해 반송하는 공정

   을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판의 반송 방법.

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