JP2008230756A - 板状体の反転機構 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】遠隔的に吸引力が作用して板状体を吸脱着可能な一対のチャック4,5を互いの吸着面8,9が対向するように離間して配置したチャック部2と、前記吸着面8,9に平行な回転軸Sを中心として前記チャック部2を回転させる回転部3と、水平姿勢で板状体を保持する板状体保持部分16を有し前記板状体保持部分を前記チャック部2の吸着面8,9の間の位置と、前記回転部3による前記チャック部2の回転に支障がない位置との間で、前記チャック部2に対して相対的に移動可能に構成されている板状体搬送部6と、を備える。
【選択図】図1A
Description
前記吸着面に平行な回転軸を中心として前記チャック部を回転させる回転部と、
水平姿勢で板状体を保持する板状体保持部分を有し、前記板状体保持部分を前記チャック部の吸着面の間の位置と、前記回転部による前記チャック部の回転に支障がない位置との間で、前記チャック部に対して相対的に移動可能に構成されている板状体搬送部と、を備えることを特徴とする、板状体の反転機構を提供する。
前記板状体搬送部は、前記回転部による回転に伴い移動するチャック部の位置に応じて、前記チャック部の吸着面の間の位置を変更可能に構成されていることを特徴とする、第1から第4態様のいずれか1つの板状体の反転機構を提供する。
第1から第7態様のいずれか1つの板状体の反転機構を搭載したことを特徴とする、基板の検査装置を提供する。
(実施例)
2 チャック部
3 回転部
4、5 チャック
6 板状体搬送部
8、9、18、19 吸着面
10 第1チャック
11 第2チャック
12 第3チャック
13 供給コンベア
14 搬出コンベア
100 板状体(基板)
Claims (8)
- 遠隔的に吸引力が作用して板状体を吸脱着可能な一対のチャックを互いの吸着面が対向するように離間して配置したチャック部と、
前記吸着面に平行な回転軸を中心として前記チャック部を回転させる回転部と、
水平姿勢で板状体を保持する板状体保持部分を有し、前記板状体保持部分を前記チャック部の吸着面の間の位置と、前記回転部による前記チャック部の回転に支障がない位置との間で、前記チャック部に対して相対的に移動可能に構成されている板状体搬送部と、を備えることを特徴とする、板状体の反転機構。 - 前記チャック部は、互いの吸着面の離間距離を変更可能に構成されていることを特徴とする、請求項1に記載の板状体の反転機構。
- 前記チャック部に用いられるチャックは、ベルヌーイチャックであることを特徴とする、請求項1又は2に記載の板状体の反転機構。
- 前記チャック部は、前記回転軸に対して対向する2箇所に前記板状体を保持可能に構成されていることを特徴とする、請求項1から3のいずれか1つに記載の板状体の反転機構。
- 前記回転部は、前記回転軸が、前記チャックの吸着面の離間距離の中間位置に設けられていることを特徴とする、請求項1から4のいずれか1つに記載の板状体の反転機構。
- 前記回転部は、前記回転軸が、前記チャックの吸着面の離間距離の中間位置からずれた位置に設けられており、
前記板状体搬送部は、前記回転部による回転に伴い移動するチャック部の位置に応じて、前記チャック部の吸着面の間の位置を変更可能に構成されていることを特徴とする、請求項1から4のいずれか1つに記載の板状体の反転機構。 - 前記板状体搬送部は、2つのコンベアで構成されており、それぞれのコンベアは、前記回転部による回転に伴い移動するチャック部の位置に対応した位置に、それぞれの板状体保持部分を配置可能に構成されていることを特徴とする、請求項6に記載の板状体の反転機構。
- 前記板状体は、プリント配線基板であって、
請求項1から7のいずれか1つに記載の板状体の反転機構を搭載したことを特徴とする、基板の検査装置。
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