JP2010064893A - 基板搬送装置、基板搬送方法、及び、クリーニング方法 - Google Patents

Abstract

【課題】基板搬送装置、基板搬送方法及びクリーニング方法において、ガラス基板の破損を防ぎながら、ガラス基板を確実に吸着保持する。
【解決手段】ガラス基板１０を浮上させる浮上ステージ２と、ガラス基板１０を吸着保持する吸着保持部３ａと、ガラス基板１０を吸着保持部３ａに対し押付ける吸着補助部４と、を備える基板搬送装置１において、吸着補助部４、吸着保持部３ａ、及び、ガラス基板１０、のうち少なくとも１つのクリーニングを行うクリーニング機構５を更に備える構成とする。
【選択図】図１

Description

本発明は、例えば、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ）等のフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）その他のガラス基板を搬送する基板搬送装置及び基板搬送方法、並びに、基板搬送装置におけるクリーニング方法に関し、更に詳しくは、ガラス基板の破損を防ぎながら、ガラス基板を確実に吸着保持する技術等に関する。

従来、フラットパネルディスプレイ等のガラス基板の製造、検査等の工程において、エアによりマザーガラス基板を浮上させ、この非接触状態のマザーガラス基板の端部を吸着保持して搬送する手法が採られている。

ガラス基板は、製造工程を経ることで、ねじれや反りが発生する場合がある。このようなねじれや反りが発生した場合でも、吸着保持部によりガラス基板を確実に吸着保持させるために、吸着保持部に対しガラス基板を押付ける吸着補助部を備える基板搬送装置が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
特開２００６−１８８３１３号公報

しかしながら、上記特許文献１記載の基板搬送装置は、ガラス基板と吸着補助部との間、或いは、ガラス基板と吸着保持部との間に、塵埃等の異物があると、吸着補助部により本来面接触でガラス基板を押付ける力が、異物と点接触にて伝達することになってしまう。

その結果、ガラス基板には極所的な集中荷重が生じ、ガラス基板が損傷・損壊するという問題を招く。
特に、近年のガラス基板の大型化及び薄肉化に伴い、以上の問題はより顕著に発生してきている。

本発明の課題は、上記従来の実情に鑑み、ガラス基板の破損を防ぎながら、ガラス基板を確実に吸着保持することができる基板搬送装置、基板搬送方法及びクリーニング方法を提供することである。

上記課題を解決するために、本発明の基板搬送装置は、ガラス基板を浮上させる浮上ステージと、上記ガラス基板を吸着保持する吸着保持部と、上記ガラス基板を上記吸着保持部に対し押付ける吸着補助部と、を備える基板搬送装置において、上記吸着補助部、上記吸着保持部、及び、上記ガラス基板、のうち少なくとも１つのクリーニングを行うクリーニング機構を更に備える構成とする。

上記課題を解決するために、本発明の基板搬送方法は、吸着保持部によりガラス基板を吸着保持する吸着保持工程と、吸着補助部により上記ガラス基板を上記吸着保持部に押付ける吸着補助工程と、上記吸着保持部により吸着保持したガラス基板を浮上搬送する浮上搬送工程と、を含む基板搬送方法において、上記吸着補助部、上記吸着保持部、及び、上記ガラス基板、のうち少なくとも１つのクリーニングを行うクリーニング工程を更に含む構成とする。

上記課題を解決するために、本発明のクリーニング方法は、ガラス基板を搬送する基板搬送装置におけるクリーニング方法であって、上記ガラス基板を吸着保持する吸着保持部、上記ガラス基板を上記吸着保持部に対し押付ける吸着補助部、及び、上記ガラス基板、のうち少なくとも１つのクリーニングを行うようにする。

本発明では、ガラス基板を吸着保持部に対し押付ける吸着補助部、ガラス基板を吸着保持する吸着保持部、及び、ガラス基板、のうち少なくとも１つのクリーニングが行われる。そのため、吸着補助部によりガラス基板を押付ける力が、異物と点接触にて伝達するのを防ぎ、ガラス基板が破損する原因となる極所的な集中荷重の発生を抑えることができる。

よって、本発明によれば、ガラス基板の破損を防ぎながら、ガラス基板を確実に吸着保持することができる。

以下、本発明の実施の形態に係る基板搬送装置、基板搬送方法及びクリーニング方法について、図面を参照しながら説明する。
図１は、本発明の一実施の形態に係る基板搬送装置１を示す側面図である。

同図に示す基板搬送装置１は、浮上ステージ２、スライダ（搬送手段）３、吸着補助部４、クリーニング機構５、フレーム部６等を備え、ガラス基板１０を搬送する。
浮上ステージ２は、その上面に形成された図示しない複数の空気孔からエアを吐出することで、ガラス基板１０を浮上させる。なお、浮上ステージ２は、吐出用のエアを供給する図示しないコンプレッサ等に接続されている。

スライダ３は、ガラス基板１０の底面端部を吸着保持する吸着保持部３ａを有し、ガラス基板１０を吸着保持した状態で、例えばリニアモータ等の図示しない駆動手段により、浮上ステージ２に沿ってＸ軸方向に移動可能に設けられている。これにより、ガラス基板１０は、浮上した状態で浮上ステージ２上を往復移動可能となっている。

吸着保持部３ａは、中央に吸引孔の形成された複数の吸着パッド部等からなる。この吸着パッド部は、ガラス基板１０を傷つけない程度の硬度を有する材料から構成される。
吸着補助部４は、補助パッド部４ａ、押付け軸４ｂ、ベース部４ｃ等から構成される。補助パッド部４ａは、押付け軸４ｂの下端に接続されている。この押付け軸４ｂは、ベース部４ｃに内蔵されたエアシリンダの駆動によりＺ軸方向（鉛直方向）に伸縮可能となっている。ベース部４ｃは、フレーム部６の支持板６ａから吊り下げられるように配置されている。

補助パッド部４ａは、吸着保持部３ａの上記吸着パッド部と対向するように、吸着パッド部の数と同数配置されている。なお、補助パッド部４ａは、例えば、２つの上記パッド部の間に１つ配置するようにしてもよく、必ずしも吸着パッド部と対向させる必要はない。

補助パッド部４ａは、上記吸着パッド部と同様に、ガラス基板１０を傷つけない程度の硬度を有する材料から構成され、エアシリンダの駆動により押付け軸４ｂが下降することで、ガラス基板１０を、吸着保持部３ａ（吸着パッド部）に吸着保持させるに足りる力で押付ける。

これにより、ガラス基板１０の端部が上方に反りかえっていても、吸着保持部３ａにより確実にガラス基板１０を吸着保持することができる。
クリーニング機構５は、吸着保持部３ａと吸着補助部４とガラス基板１０とのうち少なくとも１つとして、本実施の形態では、吸着補助部４の補助パッド部４ａの押付け面、及び、ガラス基板１０の補助パッド部４ａにより押付けられる被押付け部１０ａのクリーニングを、ブラシ部５ａを用いた掻き出しにより行う。

クリーニング機構５は、ブラシ部５ａ、ブラシ支持部５ｂ、エアシリンダ５ｃ、ベース部５ｄ、レール部５ｅ等から構成される。
ブラシ部５ａは、中心軸がＸ軸方向に延びる略円筒形状を呈し、その両端面においてブラシ支持部５ｂにより軸支される。そして、ブラシ部５ａは、中心軸（Ｘ軸）を回動中心として回動する。なお、ブラシ部５ａから塵埃が発生すると、それ自体が異物となってしまうため、ブラシ部５ａは、塵埃を発生させない材料から構成し、適宜交換するようにする。

ブラシ支持部５ｂは、エアシリンダ５ｃの駆動によりＹ軸方向に伸縮可能に構成され（５ｂ´参照）、これにより、ブラシ部５ａは、Ｙ軸方向において、クリーニングを行う位置（５ａ，５ａ´）と、そこから退避し吸着補助部４によるガラス基板１０の押付けを妨げない位置（５ａ´´）とに移動可能となっている。

エアシリンダ５ｃは、ベース部５ｄの側面に配置され、ベース部５ｄは、１対のレール部５ｅに沿ってＺ軸方向に移動可能となっている。これにより、ブラシ部５ａは、Ｙ軸方向に加え、Ｚ軸方向にも移動可能となっている。なお、１対のレール部５ｅは、フレーム部６の支持板６ａを支える２本の支柱６ｂに設けられている。

なお、単一のクリーニング機構５が複数の吸着補助部４ａ及びガラス基板１０の被押付け部１０ａのクリーニングを行うことも可能であるが、本実施の形態では、吸着補助部４ａ及び被押付け部１０ａと同数のクリーニング機構５が基板搬送装置１に配置され、単一のクリーニング機構５により、吸着補助部４ａ及び被押付け部１０ａのクリーニングを行う。

以下、基板搬送装置１におけるクリーニング方法、及び、基板搬送装置１を用いた基板搬送方法について説明する。
まず、クリーニング機構５のエアシリンダ５ｃの駆動によりブラシ支持部５ｂがＹ軸プラス方向に移動することで（５ｂ´）、ブラシ部５ａは、待機時の位置（５ａ´´）から、補助パッド部４ａを完全に超える位置（５ａ´）まで移動する。このとき、吸着補助部４の補助パッド部４ａは、クリーニング機構５が吸着保持部３ａとの間に進入可能なように上方に待機している。

次に、ベース部５ｄがレール部５ｅに沿ってＺ軸上方に移動し、ブラシ部５ａが補助パッド部４ａのクリーニングを行うことができる位置まで上昇する。ここで、ブラシ部５ａは、図示しないモータの駆動により回転を開始する。

この回転方向は、補助パッド部４ａの押付け面との当接部分において、ガラス基板１０が位置する領域から遠ざかる方向に異物を除去する（掻き出す）方向とし、図１では、ブラシ部５ａは反時計回り（方向Ｄ１）に回転する。

そして、ブラシ部５ａが回転した状態のまま、エアシリンダ５ｃにより、ブラシ支持部５ｂをＹ軸マイナス方向に後退させる（吸着補助部４のクリーニング工程）。これにより、ブラシ部５ａの回転のみならず、後退動作によっても、補助パッド部４ａの押付け面の異物を、ガラス基板１０が位置する領域から遠ざかる方向に除去することができる。

なお、異物が浮上プレート２や吸着保持部３ａ等に付着すると、ガラス基板１０に異物が付着し、ひいてはガラス基板１０の破損や欠陥を招く。そのため、未だガラス基板１０が搬送されていない状態であっても、ガラス基板１０が位置する領域から遠ざかる方向に、ブラシ部５ａにより異物を除去するようにする。

以上のように補助パッド部４ａのクリーニングが終了した後、図示しないロボットアーム等により、ガラス基板１０が浮上ステージ２上に移載され、図１に示す吸着位置に搬送される。

次に、クリーニング機構５のベース部５ｄをレール部５ｅに沿ってＺ軸下方に移動させると共に、ブラシ支持部５ｂを再度Ｙ軸プラス方向に移動させることで、ブラシ部５ａを被押付け部１０ａに移動させる。

そして、ガラス基板１０から遠ざかる方向に異物を除去する（掻き出す）べく、吸着補助部４のクリーニング時とは反対方向の図１における時計回り（方向Ｄ２）にブラシ部５ａを回転させる。更に、ブラシ部５ａが回転した状態のまま、ブラシ支持部５ｂをＹ軸マイナス方向に後退させる（ガラス基板１０のクリーニング工程）。

これにより、ブラシ部５ａの回転のみならず、後退動作によっても、ガラス基板１０の被押付け部１０ａ上の異物をガラス基板１０から遠ざかる方向に除去することができる。
そして、ガラス基板１０のクリーニングが終了した後、ブラシ部５ａを退避させた状態で、吸着補助部４の押付け軸４ｂを降下させ、補助パッド部４ａによりガラス基板１０の被押付け部１０ａを吸着保持部３ａに対し押付ける（吸着補助工程）。これにより、ガラス基板１０の端部が上方に反りかえっていても、吸着保持部３ａにより確実にガラス基板１０を吸着保持することができる（吸着保持工程）。

吸着保持部３ａによりガラス基板１０を吸着保持した後には、スライダ３のＸ軸方向の移動によりガラス基板１０を目的の製造装置や検査装置に浮上搬送する（浮上搬送工程）。

なお、吸着補助部４のクリーニング工程は、ガラス基板１０を押付ける前に必ず行う必要はなく、例えば、一定時間毎に或いはガラス基板１０の押付け枚数に応じて行うようにしてもよい。

また、吸着補助工程は、例えば図示しない観察手段等により、ガラス基板１０に捩れや反りが発生していないことが確認できた場合等には必ずしも行わなくてもよい。また、吸着補助工程を行わない場合には、吸着補助部４のクリーニング工程を行う必要もない。

以上説明した本実施の形態では、クリーニング機構５は、吸着補助部４、吸着保持部３ａ及びガラス基板１０のうち少なくとも１つとして、補助パッド部４ａの押付け面、及び、ガラス基板１０の被押付け部１０ａのクリーニングを行う。そのため、吸着補助部４によりガラス基板１０を押付ける力が、異物と点接触にて伝達するのを防ぎ、ガラス基板１０が破損する原因となる極所的な集中荷重の発生を抑えることができる。

よって、本実施の形態によれば、ガラス基板１０の破損を防ぎながら、吸着補助部３ａによりガラス基板１０を確実に吸着保持することができる。
また、本実施の形態では、単一のクリーニング機構５により、吸着補助部４及びガラス基板１０のクリーニングを行うため、基板搬送装置１を簡素な構成とすることもできる。

また、本実施の形態では、クリーニング機構５のブラシ部５ａは、クリーニングを行う位置（５ａ，５ａ´）と、そこから退避した位置（５ａ´´）とに移動する。そのため、吸着補助部４によるガラス基板１０の押付けやガラス基板１０の搬送を妨げないようにすることができる。

また、本実施の形態では、クリーニング機構５は、ガラス基板１０が位置する領域から遠ざかる方向に異物を除去する。そのため、ガラス基板１０の破損や欠陥を防ぐことができる。

また、本実施の形態では、クリーニング機構５は、ブラシ部５ａを用いた掻き出しによってクリーニングを行う。そのため、異物を有効に除去することができる。
＜第１変形例＞
なお、本実施の形態では、図２Ａに示すブラシ部５ａのように、ブラシ部５ａが、ブラシ支持部５ｂにより軸支され、中心軸（Ｘ軸）を回動中心として回動しながら補助パッド部４ａのクリーニングを行う例について説明したが、図２Ｂに示すように、Ｚ軸を回動中心としてブラシ部５ａ−１をＸＹ平面内で転がしながらクリーニングを行うようにしてもよい。

図２Ｂに示す場合では、ブラシ支持部５ｂ−１上に回動中心（Ｚ軸）を設定し、ブラシ支持部５ｂ−１を回動させることで（５ｂ−１´）、ブラシ部５ａ−１を転がしながら（５ａ−１´）補助パッド部４ａのクリーニングを行っている。

＜第２変形例＞
また、図２Ｃに示すブラシ部５ａ−２のように、ブラシ部５ａ−２が回動するＸ軸の回動中心を、ブラシ部５ａ−２の中心軸（Ｘ軸）とは異なる位置とすることで、ブラシ支持部５ｂ−２の回動動作（５ｂ−２´）により、ブラシ部５ａ−２を補助パッド部４ａと接近・退避させることが可能となる（５ａ−２´）。この場合にも、ブラシ部５ａ−２を、更に中心軸（Ｘ軸）を回動中心として回動させることで、クリーニングを有効に行うことができる。

＜第３変形例＞
また、本実施の形態では、図３Ａに示すように、補助パッド部４ａ毎にブラシ部５ａを配置しているが、図３Ｂに示すように、単一のブラシ部５ａ−３をＸ軸方向に移動させることで（５ａ−３´，５ａ−３´´）、複数の補助パッド部４ａのクリーニングを行うようにしてもよい。この場合には、ブラシ部５ａ（クリーニング機構）の数を、補助パッド部４ａの数よりも少なくして、基板搬送装置１を簡素な構成とすることができる。

なお、ブラシ部５ａ−３を降下させてＸ軸方向に移動させることで、ガラス基板１０の複数の被押付け部１０ａのクリーニングを行うことも可能である。また、本変形例の場合にも、ブラシ部５ａ−３を、中心軸を回動軸として回動させながら、Ｘ軸方向に移動させてクリーニングを行ってもよい。

＜第４変形例＞
更には、図３Ｃに示すように、単一のブラシ部５ａ−４を静止させた状態で、補助パッド部４ａ及びスライダ３をＸ軸方向に移動させることで（４ａ´，３´）、補助パッド部４ａ及び被押付け部１０ａの一方又は両方のクリーニングを行わせるようにしてもよい。この場合にも、ブラシ部５ａ−４を、中心軸を回動軸として回動させながら、Ｘ軸方向に移動させるとよい。なお、補助パッド部４ａ（吸着補助部４）は、スライダ３に固定して、スライダ３と共に移動させるようにしてもよい。

本変形例では、ブラシ部５ａ−４を静止させた状態でクリーニングを行うことができるため、クリーニング機構５の駆動手段が、クリーニング機構５をクリーニング位置とそこから退避した位置とに移動させるための構造を要するのみで足り、基板検査装置１を簡素な構成とすることができる。

＜第５変形例＞
また、図３Ｄに示すように、単一のブラシ部５ａ−５をＸ軸方向に移動させることで（５ａ−５´）、複数のスライダ３上に位置する補助パッド部４ａ及び被押付け部１０ａの一方又は両方のクリーニングを行うようにしてもよい。

＜第６変形例＞
図３Ｅに示すブラシ部５ａ−６（クリーニング機構５）は、スライダ３−１に固定されている。そのため、スライダ３−１の移動（３−１´）と共にブラシ部５ａ−６を移動させることで（５ａ−６´）、単一のブラシ部５ａ−６により、静止した状態又はブラシ部５ａ−６と異なる速度で移動している状態の複数の補助パッド部４ａのクリーニングを行うことができる。そのため、補助パッド部４ａをガラス基板１０の受け入れ位置等に固定している場合であっても、簡素な構成でクリーニングを行うことができる。

＜第７変形例＞
本実施の形態では、クリーニング機構５は、ブラシ部５ａ等からなり、掻き出しにより補助パッド部４ａ及び被押付け部１１のクリーニングを行う例について説明したが、掻き出し、拭き取り、粘着、吹きつけ、及び、吸引のうちの１又は２以上を用いてクリーニングを行うようにしてもよい。

例えば、拭き取り又は粘着の場合には、図４に示すクリーニング機構５−１のように、クリーニングシート５ｆを、複数の移送ローラ５ｇにより移送可能とし、カセット部５ｈの供給ローラ５ｉから巻取りローラ５ｊにかけて移送するようにする。なお、複数の移送ローラ５ｇは、例えば両端を２枚の板状部材で挟むように配設すればよい。

拭き取り用のクリーニングシート５ｆを用いる場合には、補助パッド部４ａに対し、クリーニングシート５ｆを移送しながら拭き取るようにすることで、クリーニングを行うことができる。

なお、拭き取りの場合のクリーニングシート５ｆの移送方向は、補助パッド部４ａとの当接部分が、ガラス基板１０の位置する領域から遠ざかる方向に進むようにすることで、ガラス基板１０に異物が付着するのを防ぐことができる。

粘着用のクリーニングシート５ｆを用いる場合には、クリーニング機構５−１自体を上昇させることでクリーニングシート５ｆと補助パッド部４ａとを当接させ、クリーニングシート５ｆの粘着性を利用して補助パッド部４ａに付着した塵埃を除去するようにすればよい。この場合、クリーニング終了後にクリーニング機構５−１を降下させ、クリーニングシート５ｆを移送しておき、新たにクリーニングを行う場合に未使用部分のクリーニングシート５ｆで粘着を行うようにする。

以上のようにカセット部５ｈを用いることで、使用済みのクリーニングシート５ｆを簡単に交換することができると共に、クリーニングにより除去した塵埃が後のクリーニング時に補助パッド部４ａ等に再付着するのを防ぐことができる。

なお、カセット部５ｈを有するクリーニング機構５−１を用いる場合にも、補助パッド部４ａによるガラス基板１０の押付けを妨げないように、クリーニング機構５−１自体を退避させるようにする。

＜第８変形例＞
吹きつけによるクリーニングを行う場合には、図５に示すように、円筒部材５ｋの補助パッド部４ａ側及び被押付け部１０ａ側に吐出孔５ｍ，５ｎを穿設し、これら吐出孔５ｍ，５ｎから気体又は液体を、ガラス基板１０が位置する領域から遠ざかる方向に吐出するようにするとよい。

この場合には、円筒部材５ｋの両端面を支持する２本の支持ロッド５ｐ又はその他の部材から気体又は液体を供給するようにする。なお、円筒部材５ｋを揺動（回動）させながら、或いは、円筒部材５ｋを退避させながら、気体又は液体を吐出させることで、塵埃をより確実に吹き飛ばすことができる。

また、吸引によるクリーニングを行う場合には、気体を吸引するか、或いは、塗布した液体を吸引することにより、異物を吸引するようにする。この場合の吸引方向は、補助パッド部４ａの押付け面及びガラス基板１０の被押付け部１０ａに対し直交する方向或いはガラス基板１０が位置する領域から遠ざかる方向とするとよい。

＜第９変形例＞
なお、補助パッド部４ａ及び被押付け部１０ａのクリーニングに加え、又は、これらのクリーニングに代えて、吸着保持部３ａの吸着パッド部、及び、ガラス基板１０の吸着保持部３ａにより吸着される被吸着部、の一方又は両方のクリーニングを行うようにしてもよい。

その場合には、吸着パッド部のクリーニングは、ガラス基板１０を図１に示す吸着位置に搬送する前に上述の補助パッド部のクリーニングと同様の手法で行い、ガラス基板１０の被吸着部のクリーニングは、図１に示す吸着位置に搬送する前、例えば、ロボットアームによりガラス基板１０を基板搬送装置１に搬送する段階で行うようにするとよい。

本発明の一実施の形態に係る基板搬送装置を示す側面図である。 本発明の一実施の形態に係る基板搬送装置におけるクリーニングを説明するための説明図（その１）である。 本発明の一実施の形態の第１変形例に係る基板搬送装置におけるクリーニングを説明するための説明図である。 本発明の一実施の形態の第２変形例に係る基板搬送装置におけるクリーニングを説明するための説明図である。 本発明の一実施の形態に係る基板搬送装置におけるクリーニングを説明するための説明図（その２）である。 本発明の一実施の形態の第３変形例に係る基板搬送装置におけるクリーニングを説明するための説明図である。 本発明の一実施の形態の第４変形例に係る基板搬送装置におけるクリーニングを説明するための説明図である。 本発明の一実施の形態の第５変形例に係る基板搬送装置におけるクリーニングを説明するための説明図である。 本発明の一実施の形態の第６変形例に係る基板搬送装置におけるクリーニングを説明するための説明図である。 本発明の一実施の形態の第７変形例に係る基板搬送装置におけるクリーニングを説明するための説明図である。 本発明の一実施の形態の第８変形例に係る基板搬送装置におけるクリーニングを説明するための説明図である。

符号の説明

１ 基板搬送装置
２ 浮上ステージ
３ スライダ
３ａ 吸着保持部
４ 吸着補助部
４ａ 補助パッド部
４ｂ 押付け軸
４ｃ ベース部
５ クリーニング機構
５ａ ブラシ部
５ｂ ブラシ支持部
５ｃ エアシリンダ
５ｄ ベース部
５ｅ レール部
５ｆ クリーニングシート
５ｇ 移送ローラ
５ｈ カセット部
５ｉ 供給ローラ
５ｊ 巻取りローラ
５ｋ 円筒部材
５ｍ，５ｎ 吐出孔
５ｐ 支持ロッド
６ フレーム部
６ａ 支持板
６ｂ 支柱
１０ ガラス基板
１０ａ 被押付け部

Claims (13)

1. ガラス基板を浮上させる浮上ステージと、
   前記ガラス基板を吸着保持する吸着保持部と、
   前記ガラス基板を前記吸着保持部に対し押付ける吸着補助部と、
   を備える基板搬送装置において、
   前記吸着補助部、前記吸着保持部、及び、前記ガラス基板、のうち少なくとも１つのクリーニングを行うクリーニング機構を更に備える、
   ことを特徴とする基板搬送装置。
2. 前記クリーニング機構は、前記吸着補助部の前記ガラス基板を押付ける押付け面、前記吸着保持部の前記ガラス基板を吸着する吸着面、前記ガラス基板の前記吸着補助部により押付けられる被押付け部、及び、前記ガラス基板の前記吸着保持部に吸着される被吸着部、のうち少なくとも１つのクリーニングを行うことを特徴とする請求項１記載の基板搬送装置。
3. 単一の前記クリーニング機構により、前記吸着補助部の押付け面、及び、前記ガラス基板の被押付け部のクリーニングを行うことを特徴とする請求項２記載の基板搬送装置。
4. 前記クリーニング機構は、前記クリーニングを行う位置と、そこから退避した位置とに移動することを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１項記載の基板搬送装置。
5. 前記吸着保持部を有し前記浮上ステージに沿って移動する基板搬送手段を更に備え、
   前記クリーニング機構は、前記基板搬送手段に配置され、該基板搬送手段と共に移動する、
   ことを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか１項記載の基板搬送装置。
6. 前記クリーニング機構は、前記基板搬送手段と共に移動しながら、静止した状態の前記吸着補助部のクリーニングを行うことを特徴とする請求項５記載の基板搬送装置。
7. 前記クリーニング機構は、移動している前記吸着補助部、前記吸着保持部、及び、前記ガラス基板、のうち少なくとも１つの前記クリーニングを、静止した状態で行うことを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか１項記載の基板搬送装置。
8. 前記クリーニング機構は、前記ガラス基板が位置する領域から遠ざかる方向に異物を除去することで前記クリーニングを行うことを特徴とする請求項１から請求項７のいずれか１項記載の基板搬送装置。
9. 前記クリーニング機構は、掻き出し、拭き取り、粘着、吹きつけ、及び、吸引、のうち少なくとも１つによって前記クリーニングを行うことを特徴とする請求項１から請求項８のいずれか１項記載の基板搬送装置。
10. 前記クリーニング機構は、拭き取り又は粘着により前記クリーニングを行うクリーニングシートと、該クリーニングシートを巻取る巻取りローラ及び前記クリーニングシートを供給する供給ローラを含むカセット部とを有することを特徴とする請求項１から請求項９記載の基板搬送装置。
11. 吸着保持部によりガラス基板を吸着保持する吸着保持工程と、
    吸着補助部により前記ガラス基板を前記吸着保持部に押付ける吸着補助工程と、
    前記吸着保持部により吸着保持したガラス基板を浮上搬送する浮上搬送工程と、
    を含む基板搬送方法において、
    前記吸着補助部、前記吸着保持部、及び、前記ガラス基板、のうち少なくとも１つのクリーニングを行うクリーニング工程を更に含む、
    ことを特徴とする基板搬送方法。
12. ガラス基板を搬送する基板搬送装置におけるクリーニング方法であって、
    前記ガラス基板を吸着保持する吸着保持部、前記ガラス基板を前記吸着保持部に対し押付ける吸着補助部、及び、前記ガラス基板、のうち少なくとも１つのクリーニングを行うことを特徴とするクリーニング方法。
13. 前記ガラス基板が位置する領域から遠ざかる方向に異物を除去することで前記クリーニングを行うことを特徴とする請求項１２記載のクリーニング方法。

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