KR102525334B1 - 스크라이빙 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치는, 기판의 선행단의 절단을 위해 기판에 스크라이빙 라인을 형성할 때, 기판의 선행단을 안정적으로 지지하여, 기판의 파손을 방지하기 위한 것으로, 기판이 로딩되는 로딩 스테이지와, 로딩 스테이지에 안착된 기판의 후행단을 파지하여 이송하는 기판 이송 유닛과, 기판 이송 유닛에 의하여 이송된 기판에 스크라이빙 라인을 형성하는 스크라이빙 유닛과, 스크라이빙 유닛이 기판에 스크라이빙 라인을 형성하는 스크라이빙 공정 영역으로 기판의 선행단이 진입하여 기판의 선행단에 스크라이빙 라인이 형성될 때, 기판의 선행단을 지지하는 지지 유닛을 포함할 수 있다.

Description

스크라이빙 장치{SCRIBING APPARATUS}
본 발명은 기판에 스크라이빙 라인을 형성하는 스크라이빙 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 평판 디스플레이에 사용되는 액정 디스플레이 패널, 유기 전계 발광 디스플레이 패널, 무기 전계 발광 디스플레이 패널, 투과형 프로젝터 기판, 반사형 프로젝터 기판 등은 유리와 같은 취성의 머더 글라스 패널(이하, '기판'이라 함)로부터 소정의 크기로 절단된 단위 글라스 패널(이하, '단위 기판'이라 함)을 사용한다.
기판을 절단하는 공정은, 기판이 절단될 절단 예정선을 따라 다이아몬드와 같은 재질의 스크라이빙 휠을 가압하면서 이동시켜 스크라이빙 라인을 형성하는 스크라이빙 공정과, 스크라이빙 라인을 따라 기판을 가압하는 것에 의해 기판을 절단하여 단위 기판을 얻는 브레이킹 공정을 포함한다.
스크라이빙 공정에서는, 기판의 이송 방향을 기준으로 기판의 전방측 단부 및 후방측 단부가 지지된 상태에서, 기판의 전방측 단부 및 후방측 단부 사이의 영역에서 스크라이빙 휠이 이동하면서 기판에 스크라이빙 라인을 형성하게 된다.
한편, 기판의 전방측 단부 및 후방측 단부에는 단위 기판으로서 사용되지 않고, 절단된 후 버려지는 비유효 영역이 존재하게 된다. 이러한 비유효 영역을 절단하기 위해, 비유효 영역의 경계를 따라 스크라이빙 라인이 형성된다. 그러나, 종래의 스크라이빙 장치의 구성에서는, 비유효 영역의 폭이 작기 때문에 비유효 영역이 스테이지에 지지되지 않은 상태로, 즉, 비유효 영역이 자유단인 상태로, 비유효 영역에 스크라이빙 라인을 형성할 수 밖에 없다. 따라서, 기판에 스크라이빙 라인을 형성하는 과정에서, 비유효 영역에 작용하는 힘의 모멘트 등에 의해 기판이 깨지거나 파손되어 파편 등이 발생하는 문제점이 있다.
대한민국공개특허 제10-2007-0070824호(2007.07.04)
본 발명은 상기한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은, 기판의 비유효 영역의 절단을 위해 기판에 스크라이빙 라인을 형성할 때 기판의 비유효 영역을 안정적으로 지지함으로써, 기판의 파손을 방지할 수 있는 스크라이빙 장치를 제공하는 데에 있다.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치는 기판이 로딩되는 로딩 스테이지와, 로딩 스테이지에 안착된 기판의 후행단을 파지하여 이송하는 기판 이송 유닛과, 기판 이송 유닛에 의하여 이송된 기판에 스크라이빙 라인을 형성하는 스크라이빙 유닛과, 스크라이빙 유닛이 기판에 스크라이빙 라인을 형성하는 스크라이빙 공정 영역으로 기판의 선행단이 진입하여 기판의 선행단에 스크라이빙 라인이 형성될 때, 기판의 선행단을 지지하는 지지 유닛을 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치에 의하면, 기판의 선행단에 크랙 형성을 위한 스크라이빙 라인을 형성하거나, 기판의 선행단을 절단할 때, 기판의 선행단이 지지 유닛에 의해 안정적으로 지지될 수 있으므로, 기판의 선행단에 스크라이빙 라인을 형성하거나 기판의 선행단을 절단하는 과정에서 기판이 깨지거나 파손되어 파편이 발생하는 것을 방지할 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치가 개략적으로 도시된 평면도이다.
도 2는 도 1의 스크라이빙 장치가 개략적으로 도시된 단면도이다.
도 3은 도 1의 스크라이빙 장치의 일부가 개략적으로 도시된 단면도이다.
도 4 내지 도 6은 도 1의 스크라이빙 장치의 작동 과정이 개략적으로 도시된 단면도이다.
도 7는 본 발명의 다른 실시예에 따른 스크라이빙 장치의 일부가 개략적으로 도시된 단면도이다.
도 8 및 도 9는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 스크라이빙 장치의 작동 과정이 개략적으로 도시된 단면도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치에 대하여 설명한다.
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 기판(S)에 스크라이빙 라인을 형성하는 스크라이빙 공정이 수행되는 영역을 스크라이빙 공정 영역(A)이라 정의한다.
그리고, 스크라이빙 공정이 수행될 기판(S)이 이송되는 방향을 X축 방향이라 정의하고, 기판(S)이 이송되는 방향(X축 방향)에 교차하는 방향을 Y축 방향이라 정의한다. 그리고, X-Y평면에 수직인 상하 방향을 Z축 방향이라 정의한다.
그리고, X축 방향을 기준으로 기판(S)의 전방측 단부를 선행단(S1)이라 정의하고, 선행단(S1)의 반대쪽에 위치되며 X축 방향을 기준으로 기판(S)의 후방측 단부를 후행단(S2)이라 정의한다. 기판(S)의 선행단(S1) 및 후행단(S2)에는 기판(S)을 절단하여 단위 기판을 얻는 과정에서 버려지는 비유효 영역이 존재할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치는, 스테이지(100)와, 기판(S)의 후행단(S2)을 파지하여 기판(S)을 이송하는 기판 이송 유닛(200)과, 스크라이빙 공정 영역(A)에 위치되어 기판(S)에 X축 방향 및 Y축 방향으로 스크라이빙 라인을 형성하는 스크라이빙 유닛(300)을 포함한다.
스테이지(100)는 X축 방향을 따라 소정의 간격으로 이격된 로딩 스테이지(110) 및 언로딩 스테이지(120)를 포함한다. 로딩 스테이지(110)는 기판(S)이 스크라이빙 장치로 로딩되는 영역을 제공하며, 언로딩 스테이지(120)는 스크라이빙 공정에 의하여 스크라이빙 라인이 형성된 기판(S)이 스크라이빙 장치로부터 언로딩되는 영역을 제공한다.
로딩 스테이지(110) 및 언로딩 스테이지(120)는 각각 복수의 벨트(130)를 포함할 수 있다. 복수의 벨트(130)는 Y축 방향으로 서로 이격될 수 있다. 각 벨트(130)는 복수의 롤러(140)에 의해 지지되며, 복수의 롤러(140) 중 적어도 하나는 벨트(130)를 회전시키는 구동력을 제공하는 구동 롤러일 수 있다.
기판 이송 유닛(200)은 기판(S)의 후행단(S2)을 파지하는 파지 유닛(210)과, X축 방향으로 연장되는 가이드 레일(220)을 포함할 수 있다.
파지 유닛(210)과 가이드 레일(220) 사이에는 공압 또는 유압에 의하여 작동하는 액추에이터, 전자기적 상호 작용에 의해 작동되는 리니어 모터, 또는 볼 스크류 기구와 같은 직선 이동 기구가 구비될 수 있다. 따라서, 파지 유닛(210)이 기판(S)의 후행단(S2)을 파지한 상태에서 직선 이동 기구에 의해 파지 유닛(210)이 X축 방향으로 이동됨에 따라, 기판(S)이 X축 방향으로 이송될 수 있다. 이때, 벨트(130)는 파지 유닛(210)의 이동과 함께 회전하면서, 기판(S)의 하면을 안정적으로 지지할 수 있다.
파지 유닛(210)은 기판(S)의 후행단(S2)을 물리적으로 가압하여 유지하는 클램프일 수 있다. 다만, 본 발명은 이에 한정되지 않으며, 파지 유닛(210)은 진공원과 연결된 진공홀을 구비하여 기판(S)의 후행단(S2)을 흡착하도록 구성될 수 있다.
가이드 레일(220)은 복수의 벨트(130) 사이에 배치될 수 있다. 가이드 레일(220)은 파지 유닛(210)의 X축 방향으로의 이동을 안내하는 역할을 한다.
스크라이빙 유닛(300)은 Y축 방향으로 연장되는 프레임(310)와, 프레임(310)에 Y축 방향으로 이동 가능하게 설치되는 스크라이빙 헤드(320)를 포함한다. 프레임(310)에는 Y축 방향으로 복수의 스크라이빙 헤드(320)가 구비될 수 있다.
스크라이빙 헤드(320)는 기판(S)의 상측 및 하측에 서로 대향하도록 구비될 수 있다. 다만, 본 발명은 이에 한정되지 않으며, 스크라이빙 헤드(320)가 기판(S)의 상측 및 하측 중 어느 한쪽에만 구비될 수 있다.
각 스크라이빙 헤드(320)는 기판(S)의 표면에 스크라이빙 라인을 형성하기 위한 스크라이빙 휠(321)을 구비한다. 예를 들면, 한 쌍의 스크라이빙 헤드(320)가 기판(S)의 상측 및 하측에 서로 대향하도록 배치됨에 따라, 한 쌍의 스크라이빙 휠(321)이 기판(S)의 상측 및 하측에 서로 대향하도록 배치될 수 있다. 따라서, 한 쌍의 스크라이빙 휠(321)이 기판(S)의 상면 및 하면을 가압한 상태에서, 스크라이빙 헤드(320)에 대한 기판(S)의 상대 이동 및/또는 기판(S)에 대한 스크라이빙 헤드(320)의 상대 이동에 의하여, 기판(S)의 상면 및 하면에는 각각 스크라이빙 라인이 형성될 수 있다.
도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치는, 기판(S)이 스크라이빙 공정 영역(A)으로 진입하여 기판(S)의 선행단(S1)이 스크라이빙 휠(321)에 의해 절단될 때, 기판(S)의 선행단(S1)을 지지하는 지지 유닛(400)을 포함할 수 있다. 복수의 지지 유닛(400)은 Y축 방향으로 서로 이격되어 구비될 수 있다.
지지 유닛(400)은 기판(S)을 파지하기 위한 파지 부재(410)와, 파지 부재(410)를 Z축 방향으로 이동시키는 승강 장치(420)와, 파지 부재(410)를 X축 방향으로 이동시키는 이동 장치(430)를 포함할 수 있다.
파지 부재(410)는 기판(S)을 물리적으로 가압하여 유지하는 클램프일 수 있다. 다만, 본 발명은 이에 한정되지 않으며, 파지 부재(410)는 진공원과 연결된 진공홀을 구비하여 기판(S)을 흡착하도록 구성될 수 있다.
승강 장치(420)는 승강 로드(421)을 통하여 파지 부재(410)와 연결될 수 있다. 승강 장치(420)는 공압 또는 유압에 의하여 작동하는 액추에이터, 전자기적 상호 작용에 의해 작동되는 리니어 모터, 또는 볼 스크류 기구와 같은 직선 이동 기구로 구성될 수 있다.
승강 장치(420)는 파지 부재(410)가 기판(S)의 선행단(S1)을 지지할 수 있는 위치로 파지 부재(410)를 Z축 방향으로 이동시키는 역할을 한다. 또한, 기판(S)의 선행단(S1)이 파지 부재(410)에 의하여 지지된 상태에서 기판(S)의 선행단(S1)이 스크라이빙 휠(321)에 절단된 이후에는, 승강 장치(420)는 파지 부재(410)를 하강 시키며, 이에 따라, 기판(S)이 파지 부재(410)와의 간섭 없이 로딩 스테이지(110)로부터 언로딩 스테이지(120)로 이송될 수 있다.
이동 장치(430)는, X축 방향으로 연장되는 가이드 레일(431)과, 승강 장치(420)를 통하여 파지 부재(410)와 연결되며 가이드 레일(431)을 따라 X축 방향으로 이동 가능한 이동 블럭(432)으로 구성될 수 있다.
가이드 레일(431)은 복수의 벨트(130) 사이에 배치될 수 있다. 가이드 레일(431)과 이동 블럭(432) 사이에는 공압 또는 유압에 의하여 작동하는 액추에이터, 전자기적 상호 작용에 의해 작동되는 리니어 모터, 또는 볼 스크류 기구와 같은 직선 이동 기구가 구비될 수 있다. 따라서, 승강 장치(420)에 의해 파지 부재(410)가 기판(S)의 선행단(S1)을 지지할 수 있는 위치로 Z축 방향으로 이동된 상태에서, 이동 장치(430)에 의해 파지 부재(410)가 기판(S)의 선행단(S1)을 향하여 X축 방향으로 이동될 수 있으며, 이에 따라, 파지 부재(410)가 정확하게 기판(S)의 선행단(S1)을 파지할 수 있다.
한편, 지지 유닛(400)은 파지 부재(410)와 연결되어 파지 부재(410)의 X축 방향으로의 위치를 조절하는 위치 조절 장치(440)를 더 포함할 수 있다. 위치 조절 장치(440)는 파지 부재(410)와 승강 로드(421)에 연결될 수 있다. 위치 조절 장치(440)는 공압 또는 유압에 의하여 작동하는 액추에이터, 전자기적 상호 작용에 의해 작동되는 리니어 모터, 또는 볼 스크류 기구와 같은 직선 이동 기구로 구성될 수 있다. 이러한, 위치 조절 장치(440)에 의하여 파지 부재(410)의 X축 방향으로의 위치가 미세하게 조절될 수 있다. 따라서, 파지 부재(410)가 더욱 정확하게 기판(S)의 선행단(S1)을 파지할 수 있는 위치로 이동될 수 있다. 또한, 위치 조절 장치(440)는, 스크라이빙 장치를 구성하는 구조물과 간섭으로 인해 파지 부재(410)가 이동 장치(430)에 의해서는 접근할 수 없는 위치로 파지 부재(410)를 이동시킬 수 있다.
이하, 도 2 내지 도 6을 참조하여, 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치의 동작에 대하여 설명한다.
먼저, 도 2에 도시된 바와 같이, 기판(S)이 로딩 스테이지(110)로 로딩되면, 파지 유닛(210)이 기판(S)의 후행단(S2)을 파지한 상태로 가이드 레일(220)을 따라 X축 방향으로 이동한다. 파지 유닛(210)이 X축 방향으로 이동함에 따라, 기판(S)이 X축 방향으로 이동하며, 이에 따라, 기판(S)의 선행단(S1)이 스크라이빙 공정 영역(A)으로 진입한다.
이때, 지지 유닛(400)의 파지 부재(410)는 승강 장치(420) 및 이동 장치(430)의 작동에 의해 Z축 방향 및 X축 방향으로 이동되어, 기판(S)의 선행단(S1)을 파지할 수 있는 위치로 이동된다. 이때, 위치 조절 장치(440)에 의해 파지 부재(410)의 X축 방향으로의 위치가 더욱 정확하게 조절될 수 있다.
이러한 상태에서, 도 4에 도시된 바와 같이, 스크라이빙 공정 영역(A)으로 진입하는 기판(S)의 선행단(S1)을 파지 부재(410)가 파지한다.
이때, 지지 유닛(400)은 스크라이빙 공정 영역(A)으로 진입하는 기판(S)의 선행단(S1)을 지지한 후, 기판(S)을 X축 방향으로 소정의 거리로 이송할 수 있다. 이러한 과정에서는, 기판(S)의 후행단(S2)이 파지 유닛(210)에 의해 지지되고 기판(S)의 선행단(S1)이 파지 부재(410)에 의해 지지된 상태에서, 기판(S)이 X축 방향으로 이송되며, 이에 따라, 기판(S)의 이송이 보다 안정적으로 수행될 수 있다. 이때, 벨트(130)와 기판(S)의 하면 사이의 마찰로 인한 기판(S)의 스크래치 및 파손 등을 방지하기 위해 파지 유닛(210)의 이동 속도, 파지 부재(410)의 이동 속도, 및 벨트(130)의 회전 속도는 서로 동기화되는 것이 바람직하다.
그리고, 기판(S)의 선행단(S1)이 파지 부재(410)에 파지되어 지지된 상태에서, 스크라이빙 헤드(320)가 Y축 방향으로 이동하면서, 기판(S)의 선행단(S1)에 스크라이빙 라인을 형성한다. 따라서, 기판(S)의 선행단(S1)이 휘어지거나 임의대로 절단되지 않고 스크라이빙 라인이 안정적으로 형성될 수 있다.
이때, 기판(S)의 선행단(S1)에 크랙을 형성할 정도의 스크라이빙 라인이 아닌 기판(S)의 선행단(S1)을 완전히 절단하기 위한 스크라이빙 라인이 형성되는 경우에도, 기판(S)의 선행단(S1)이 파지 부재(410)에 의해 안정적으로 지지되므로, 기판(S)의 선행단(S1)을 절단하는 과정에서 기판(S)이 깨지거나 파손되어 파편이 발생하는 것을 방지할 수 있다. 한편, 도 5에 도시된 바와 같이, 기판(S)의 선행단(S1)이 스크라이빙 헤드(320)에 의해 형성된 스크라이빙 라인을 따라 절단된 경우, 파지 부재(410)는 절단된 기판(S)의 선행단(S1)을 파지 해제하며, 이에 따라, 기판(S)의 선행단(S1)에 해당하는 부분이 기판(S)으로 분리되어, 스크라이빙 장치 내에 구비된 수납통(500) 내로 수집될 수 있다.
한편, 도 6에 도시된 바와 같이, 기판(S)의 선행단(S1)에 크랙 형성을 위한 스크라이빙 라인이 형성되거나, 기판(S)의 선행단(S1)에 해당하는 부분이 완전히 절단된 후에는, 파지 부재(410)가 승강 장치(420)에 의해 하강된다. 따라서, 기판(S)이 파지 부재(410)와의 간섭 없이 로딩 스테이지(110)로부터 언로딩 스테이지(120)로 이송되면서, 기판(S)의 나머지 부분에 스크라이빙 라인을 형성하는 공정이 수행될 수 있다.
상기한 바와 같은 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치에 따르면, 기판(S)의 선행단(S1)에 크랙 형성을 위한 스크라이빙 라인이 형성되거나, 기판(S)의 선행단(S1)에 해당하는 부분을 완전히 절단될 때, 기판(S)의 선행단(S1)이 지지 유닛(400)에 의해 안정적으로 지지될 수 있으므로, 기판(S)의 선행단(S1)에 스크라이빙 라인을 형성하거나 절단하는 과정에서 기판(S)이 깨지거나 파손되어 파편 등이 발생하는 것을 방지할 수 있다.
도 7에 도시된 바와 같이, 본 발명의 다른 실시예에 따른 스크라이빙 장치에 따르면, 기판(S)의 선행단(S1)에 스크라이빙 라인을 형성한 후, 기판(S)의 선행단(S1)에 해당하는 부분을 원활하게 분리하기 위해, 파지 부재(410)가 기판(S)의 선행단(S1)을 지지한 상태에서, 파지 부재(410)가 승강 장치(420)에 의해 반복적으로 Z축 방향으로 이동될 수 있거나, 이동 장치(430)에 의해 반복적으로 X축 방향으로 이동될 수 있거나, 위치 조절 장치(440)에 의해 반복적으로 X축 방향으로 이동될 수 있다. 파지 부재(410)의 반복적인 이동에 의해, 스크라이빙 라인에 의해 형성된 크랙이 성장하면서 기판(S)의 선행단(S1)에 해당하는 부분이 원활하게 분리될 수 있다.
또한, 지지 유닛(400)은 파지 부재(410)를 회전시킬 수 있는 회전 장치(450)를 포함할 수 있다. 회전 장치(450)는 파지 부재(410)를 Y축 방향과 평행한 축을 중심으로 회전시킬 수 있도록 구성될 수 있다. 다른 예로서, 회전 장치(450)는 파지 부재(410)를 Z축 방향과 평행한 축을 중심으로 회전시킬 수 있도록 구성될 수 있다. 회전 장치(450)는 파지 부재(410)와 연결되는 회전 모터로 구성될 수 있다. 따라서, 기판(S)의 선행단(S1)에 스크라이빙 라인을 형성한 후, 기판(S)의 선행단(S1)에 해당하는 부분을 원활하게 분리하기 위해, 파지 부재(410)가 기판(S)의 선행단(S1)을 지지한 상태에서, 파지 부재(410)가 회전 장치(450)에 의해 반복적으로 회전될 수 있다. 파지 부재(410)의 반복적인 회전에 의해, 스크라이빙 라인에 의해 형성된 크랙이 성장하면서 기판(S)의 선행단(S1)에 해당하는 부분이 원활하게 분리될 수 있다.
또한, 지지 유닛(400)은 파지 부재(410)를 진동시키는 진동 발생기(460)를 포함할 수 있다. 예를 들면, 진동 발생기(460)는 솔레노이드나 회전 모터를 포함하는 다양한 구성을 가질 수 있다. 따라서, 기판(S)의 선행단(S1)에 스크라이빙 라인을 형성한 후, 기판(S)의 선행단(S1)에 해당하는 부분을 원활하게 분리하기 위해, 파지 부재(410)가 기판(S)의 선행단(S1)을 지지한 상태에서, 파지 부재(410)가 진동 발생기(460)에 의해 반복적으로 진동할 수 있다. 파지 부재(410)의 진동에 의해, 스크라이빙 라인에 의해 형성된 크랙이 성장하면서 기판(S)의 선행단(S1)에 해당하는 부분이 원활하게 분리될 수 있다.
도 8 및 도 9에 도시된 바와 같이, 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 스크라이빙 장치에 따르면, 지지 유닛(400)은 로딩 스테이지(110)로부터 언로딩된 후 언로딩 스테이지(120)로 이송된 기판(S)을 지지하여 X축 방향으로 이송하는 역할도 함께 수행할 수 있다.
즉, 기판(S)이 스크라이빙 공정 영역(A)을 통과하면서, 로딩 스테이지(110)로부터 언로딩 스테이지(120)로 전달되면, 파지 부재(410)가 회전 장치(450)에 의해 기판(S)의 선행단(S1)을 파지하는 자세로부터 180도 회전될 수 있다. 이에 따라, 도 8에 도시된 바와 같이, 파지 부재(410)는 기판(S)의 후행단(S2)을 파지할 수 있는 자세가 될 수 있다.
도 9에 도시된 바와 같이, 파지 부재(410)가 기판(S)의 후행단(S2)을 파지한 상태에서, 파지 부재(410)가 이동 장치(430)에 의해 X축 방향으로 이동되며, 이에 따라, 기판(S)이 안정적으로 X축 방향으로 이동될 수 있다.
본 발명의 바람직한 실시예가 예시적으로 설명되었으나, 본 발명의 범위는 이와 같은 특정 실시예에 한정되지 않으며, 특허청구범위에 기재된 범주 내에서 적절하게 변경될 수 있다.
100: 스테이지 200: 기판 이송 유닛
300: 스크라이빙 유닛 400: 지지 유닛
500: 수납통 S: 기판

Claims (8)

  1. 기판이 로딩되는 로딩 스테이지;
    상기 로딩 스테이지에 안착된 상기 기판의 후행단을 파지하여 이송하는 기판 이송 유닛;
    상기 기판 이송 유닛에 의하여 이송된 상기 기판에 스크라이빙 라인을 형성하는 스크라이빙 유닛;
    상기 스크라이빙 유닛에 의해 상기 스크라이빙 라인이 형성된 상기 기판을 언로딩하도록 상기 기판을 이동시키는 언로딩 스테이지; 및
    상기 로딩 스테이지에 안착된 상기 기판의 선행단을 지지하거나 상기 언로딩 스테이지에 안착된 상기 기판의 후행단을 지지하도록 구성되는 지지 유닛을 포함하고,
    상기 지지 유닛은,
    상기 기판을 파지하기 위한 파지 부재;
    상기 파지 부재를 회전시키는 회전 장치; 및
    상기 파지 부재를 상기 기판이 이송되는 방향인 X축 방향으로 이동시키는 이동 장치를 포함하고,
    상기 스크라이빙 유닛이 상기 기판에 스크라이빙 라인을 형성하는 스크라이빙 공정 영역으로 상기 기판의 선행단이 진입하여 상기 기판의 선행단에 스크라이빙 라인이 형성될 때, 상기 파지 부재는 상기 기판의 선행단을 지지하고,
    상기 스크라이빙 라인이 형성된 상기 기판이 상기 언로딩 스테이지로 이동하여 상기 언로딩 스테이지에 의해 이송될 때, 상기 파지 부재가 상기 기판의 후행단을 파지하여 X축 방향으로 이동하면서 상기 언로딩 스테이지와 함께 상기 기판을 이송하는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 지지 유닛은, 상기 파지 부재를 Z축 방향으로 이동시키는 승강 장치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 장치.
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 지지 유닛은, 상기 파지 부재와 연결되어 상기 파지 부재의 X축 방향으로의 위치를 조절하는 위치 조절 장치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 장치.
  4. 청구항 2 또는 청구항 3에 있어서,
    상기 기판의 선행단을 상기 기판으로부터 분리하기 위해, 상기 파지 부재가 상기 기판의 선행단을 파지한 상태에서, 상기 파지 부재가 X축 방향 또는 Z축 방향으로 이동되는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 장치.
  5. 삭제
  6. 청구항 1에 있어서,
    상기 기판의 선행단을 상기 기판으로부터 분리하기 위해, 상기 파지 부재가 상기 기판의 선행단을 파지한 상태에서, 상기 파지 부재가 회전되는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 장치.
  7. 삭제
  8. 청구항 1에 있어서,
    상기 기판이 상기 스크라이빙 공정 영역으로 진입할 때, 상기 지지 유닛은 상기 기판의 선행단을 지지하여 상기 기판 이송 유닛과 함께 상기 기판을 이송하는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 장치.
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