CN216738071U - 划片装置 - Google Patents

Abstract

根据本实用新型的实施例的划片装置，能够包括：载物台，其构成为支撑基板；基板对齐单元，其构成为使载物台倾转而使装载于载物台的基板对齐；以及划片单元，其构成为在装载于载物台的基板上形成划片线，载物台能够构成为在基板向载物台的倾斜的一侧移动的过程中向基板喷射气体而使基板上浮，并在划片单元在基板上形成划片线的过程中停止向基板的气体的喷射。

Description

划片装置

技术领域

本实用新型涉及一种为了切割基板而构成为在基板上形成划片线的划片装置(SCRIBING APPARATUS)。

背景技术

一般来讲，在平板显示器上使用液晶显示面板、有机电致发光显示面板、无机电致发光显示面板、透射式投影仪基板、反射式投影仪基板。平板显示器使用从诸如玻璃之类的脆性母玻璃面板(基板)切割成规定的大小的单位玻璃面板(单位基板)。

切割基板的工序包括划片工序。划片工序在基板上沿着假想的预定线一边对划片轮进行加压一边使划片轮移动而形成划片线。

另一方面，在基板上形成划片线的工序之前需要使基板对齐的工序。根据现有技术，在对齐基板的工序中使用诸如相机(camera)、镜子之类的光学设备。因此，存在对齐基板所需的构成复杂且对齐基板的方法复杂之类的缺点。

实用新型内容

(所要解决的问题)

本实用新型的目的在于提供一种使用简单的构造就能够使基板有效地对齐而不使用构造和控制方法复杂的光学设备的划片装置。

(解决问题的方案)

旨在达到上述目的的根据本实用新型的实施例的划片装置能够包括：载物台(stage)，其构成为支撑基板；基板对齐单元，其构成为使载物台倾转而使装载于载物台的基板对齐；以及划片单元，其构成为在装载于载物台的基板形成划片线，载物台能够构成为在基板向载物台的倾斜的一侧移动的过程中向基板喷射气体而使基板上浮并在划片单元在基板形成划片线的过程中停止向基板的气体的喷射。

另外，旨在达到上述目的的根据本实用新型的实施例的划片装置能够包括：载物台，其构成为支撑基板；基板对齐单元，其构成为使载物台倾转而使装载于载物台的基板对齐；以及划片单元，其构成为在装载于载物台的基板形成划片线，载物台能够构成为在基板向载物台的倾斜的一侧移动的过程中使基板上浮并在划片单元在基板形成划片线的过程中吸附基板。

另外，旨在达到上述目的的根据本实用新型的实施例的划片装置能够包括：载物台，其构成为支撑基板；基板输送单元，其构成为将基板装载于载物台；基板对齐单元，其构成为使载物台倾转而使装载于载物台的基板对齐；以及划片单元，其构成为在装载于载物台的基板形成划片线，基板输送单元在划片单元在基板形成划片线的过程中能够支撑基板。

基板输送单元能够在载物台倾斜的状态下将基板装载于载物台。

基板对齐单元能够包括：载物台倾转(tilting)模块，其使载物台倾转以使载物台的一端向下倾斜；以及止动器(stopper)模块，其位于邻近载物台的一端的位置。

止动器模块能够包括：止动器部件，其构成为与基板的一端接触；以及移动单元，其使止动器部件沿传送基板的方向或与传送基板的方向正交的方向移动。

(实用新型效果)

利用根据本实用新型的实施例的划片装置，则使用简单的构造就能够使基板有效地对齐而不使用构造和控制方法复杂的光学设备。

附图说明

图1是示意性地图示了根据本实用新型实施例的划片装置的俯视图。

图2是示意性地图示了根据本实用新型实施例的划片装置的侧视图。

图3是示意性地图示了根据本实用新型实施例的划片装置的侧视图。

图4至图7是依次图示了在根据本实用新型实施例的划片装置中相对于X轴对齐基板的过程的图。

图8至图10是依次图示了在根据本实用新型实施例的划片装置中相对于Y轴对齐基板的过程的图。

图11是示意性地图示了在根据本实用新型实施例的划片装置中基板已在载物台上被对齐的状态的图。

图12是示意性地图示了在根据本实用新型实施例的划片装置中在基板上形成划片线的过程的图。

图13至图16是图示了在根据本实用新型实施例的划片装置中基板装载于载物台上的过程的其它例子的图。

(附图标记的说明)

10：载物台；20：划片单元；30：基板输送单元；

40：基板传送单元；50：基板对齐单元。

具体实施方式

以下，参照附图对根据本实用新型实施例的划片装置进行说明。

参照图1至图3，将传送要形成划片线的基板S的方向定义为Y轴方向。而且，将与基板S的传送方向(Y轴方向)垂直的方向定义为X轴方向。而且，将与用于置放基板的X-Y平面垂直的方向定义为Z轴方向。另外，所谓划片线的用语是指在基板S的表面沿着规定方向延伸地形成的槽和/或裂纹(crack)。

如图1至图3中所图示，根据本实用新型的实施例的划片装置能够包括基座B、载物台10、划片单元20、基板输送单元30、基板传送单元40、基板对齐单元50以及控制单元(未图示)。

基座B发挥支撑构成划片装置的各种构件的作用。

控制单元发挥控制划片装置的构件的动作的作用。

载物台10构成为支撑基板S。

在载物台10中形成有多个孔101形成。空气供给器11与载物台10的多个孔101连接。从空气供给器11供给的气体向多个孔101喷出，由此基板S能够在载物台10上上浮。

另外，诸如真空发生器之类的负压源12与载物台10的多个孔101连接。通过负压源12来能够在多个孔101中形成负压。因此，基板S能够附着并固定于载物台10。

在基板S在载物台10上移动的过程中，基板S能够从载物台10上浮。在基板S形成划片线的过程中，基板S能够附着于载物台10。

划片单元20构成为在基板S的第一表面(图2中的基板S的上表面)和第二表面(图2中的基板S的下表面)形成划片线。但是，本实用新型并不限定于此。例如，划片单元20能够构成为仅在基板S的第一表面和第二表面中的一个表面形成划片线。

划片单元20能够包括第一支撑件21、第一划片头22、第二支撑件23以及第二划片头24。

第一支撑件21沿X轴方向延伸。

第一划片头22以能够沿X轴方向移动的方式设置于第一支撑件21。

第二支撑件23在第一支撑件21的下方与第一支撑件21平行地沿X轴方向延伸。

第二划片头24以能够沿X轴方向移动的方式设置于第二支撑件23。

在第一支撑件21与第二支撑件23之间能够形成供基板S通过的空间。第一支撑件21和第二支撑件23能够作为单独的部件制作之后组装，或者能够制作成一体。

在第一划片头22与第一支撑件21之间能够具备直线移动单元。直线移动单元构成为与第一划片头22连接而使第一划片头22沿X轴方向移动。例如，直线移动单元能够由使用气压或液压的执行器(actuator)、通过电磁相互作用而工作的线性马达、或滚珠丝杠(ballscrew)单元构成。

在第二划片头24与第二支撑件23之间能够具备直线移动单元。直线移动单元构成为与第二划片头24连接而使第二划片头24沿X轴方向移动。例如，直线移动单元能够由使用气压或液压执行器、通过电磁相互作用而工作的线性马达、或滚珠丝杠单元构成。

第一划片头22和第二划片头24能够配置成在Z轴方向上彼此相对。

在第一划片头22能够设置轮保持器25，且在轮保持器25保持划片轮251。能够在第二划片头24设置轮保持器25，且在轮保持器25保持划片轮251。安装于第一划片头22的划片轮251和安装于第二划片头24的划片轮251能够配置成在Z轴方向上彼此相对。

一对划片轮251能够分别对基板S的第一和第二表面进行加压。在一对划片轮251分别对基板S的第一和第二表面进行了加压的状态下，第一和第二划片头22、24能够相对于基板S在X轴方向上移动。由此，在基板S的第一和第二表面能够沿X轴方向形成划片线。

另一方面，第一划片头22能够以相对于第一支撑件21能够沿Z轴方向移动的方式构成。第二划片头24能够以相对于第二支撑件23能够沿Z轴方向移动的方式构成。

为此，能够在第一划片头22与第一支撑件21之间具备头移动模块28。头移动模块28发挥与第一划片头22连接而使第一划片头22沿Z轴方向移动的作用。另外，能够在第二划片头24与第二支撑件23之间具备头移动模块29。头移动模块29发挥与第二划片头24连接而使第二划片头24沿Z轴方向移动的作用。例如，头移动模块28、29能够具备使用气压或液压的执行器、通过电磁相互作用而工作的线性马达、或诸如滚珠丝杠单元之类的直线移动单元。

第一划片头22和第二划片头24分别相对于第一支撑件21和第二支撑件23沿Z轴方向移动，由此，一对划片轮251能够对基板S进行加压或者从基板S隔开。而且，调节第一划片头22和第二划片头24沿Z轴方向移动的程度，由此，能够调节一对划片轮251施加于基板S的加压力。另外，第一划片头22和第二划片头24沿Z轴方向移动，由此，能够调节一对划片轮251对基板S的切削深度(穿透深度)。

基板输送单元30发挥将基板S装载到载物台10上的作用。另外，基板输送单元30发挥将载物台10上的基板S传送到划片单元20的作用。

基板输送单元30能够包括拾取器模块31、支撑框架32、拾取器移动模块33以及拾取器升降模块34。

拾取器模块31构成为保持基板S。

支撑框架32发挥支撑拾取器模块31的作用。拾取器模块31能够以能够沿Y轴方向移动的方式设置于支撑框架32。

拾取器移动模块33发挥使拾取器模块31沿X轴方向和Y轴方向移动的作用。作为拾取器移动模块33，能够适用通过气压或液压而工作的执行器、通过电磁相互作用而工作的线性马达、或诸如滚珠丝杠单元之类的直线移动单元。拾取器模块31通过拾取器移动模块33来沿X轴方向和Y轴方向移动，从而能够沿X轴方向和Y轴方向传送基板S。

拾取器升降模块34发挥使拾取器模块31沿Z轴方向移动的作用。作为拾取器升降模块34，能够适用通过气压或液压而工作的执行器、通过电磁相互作用而工作的线性马达、或诸如滚珠丝杠单元之类的直线移动单元。拾取器模块31通过拾取器升降模块34来沿Z轴方向移动，从而能够将基板S装载于载物台10或者将基板S从载物台10抬起。

基板传送单元40发挥将基板S从划片单元20传送到后续工序的作用。

基板传送单元40能够包括支撑板41、传送带42以及移动装置43。

支撑板41配置成邻近划片单元20。支撑板41构成为使基板上浮或者吸附基板。

传送带42配置成邻近支撑板41。

移动装置43构成为使支撑板41和传送带42在Y轴方向上往复移动。移动装置43发挥使支撑板41和传送带42沿着在Y轴方向上延伸的导轨44在Y轴方向上往复移动的作用。作为移动装置43，能够适用使用气压或液压的执行元器、通过电磁相互作用而工作的线性马达、或诸如滚珠丝杠单元之类的直线移动单元。

支撑板41和传送带42能够构成为通过移动装置43来能够一起沿与基板S的传送方向平行的方向(Y轴方向)移动。

在通过划片单元20来在基板S的第一表面和第二表面分别形成划片线的过程中，支撑板41能够朝向载物台10移动而位于邻近载物台10的位置。另外，第一划片头22和第二划片头24能够位于载物台10与支撑板41之间。在通过划片单元20来在基板S的第一表面和第二表面分别形成划片线的过程中，载物台10和支撑板41能够彼此相邻。因此，基板S能够均稳定地支撑于载物台10和支撑板41。

能够具备多个传送带42，多个传送带42可以在X轴方向上彼此隔开。各传送带42由多个带轮421支撑，且多个带轮421中的至少一个可以是提供使传送带42旋转的驱动力的驱动带轮。

支撑板41可以构成为能够使基板S上浮或者吸附基板S。例如，能够在支撑板41的表面形成与气体供给源和真空源连接的多个切槽(slot)。在从气体供给源向支撑板41的多个切槽供给气体的情况下，基板S能够从支撑板41上浮。另外，在利用由真空源形成的负压将气体通过支撑板41的多个切槽吸入的情况下，基板S能够吸附于支撑板41。

在向支撑板41传送基板S的过程中，气体供给至支撑板41的切槽，由此，基板S能够不与支撑板41发生摩擦地移动。

而且，在基板S的第一表面和第二表面分别形成划片线的过程中，基板S能够吸附并固定于支撑板41。

而且，在基板S的第一表面和第二表面分别形成了划片线之后，在基板S吸附于载物台10和支撑板41的状态下，支撑板41能够以远离载物台10的方式移动。由此，能够沿着划片线分割基板S。

另一方面，在基板S通过传送带42来从支撑板41向后续工序移动的过程中，气体供给至支撑板41的切槽，由此，基板S能够不与支撑板41发生摩擦地移动。

基板对齐单元50能够包括载物台倾转模块51、第一止动器模块52以及第二止动器模块53。

能够将载物台倾转模块51设置于载物台10的下部。载物台倾转模块51构成为使载物台10在X轴方向或Y轴方向上倾转。载物台倾转模块51能够倾转载物台10使得载物台10的在Y轴方向上的一端向下倾斜。另外，载物台倾转模块51能够倾转载物台10使得载物台10的在X轴方向上的一端向下倾斜。

作为一个例子，如图2和图3中所图示，载物台倾转模块51能够构成为一端与载物台10铰接且另一端与基座B铰接的执行器。执行器能够构成为液压缸或气压缸。在载物台倾转模块51构成为执行器的情况下，多个载物台倾转模块51能够设置于载物台10的下部。多个载物台倾转模块51中的一部分举起载物台10的一部分，由此能够使载物台10倾斜。另外，使一部分载物台倾转模块51举起载物台10的一部分的程度与其余倾转模块51举起载物台10的其余部分的程度相异，由此，载物台10能够倾斜。

作为另一个例子，虽然未图示，但载物台倾转模块51可以是与载物台10连接的多轴机器人。构成载物台倾转模块51的多轴机器人以多个轴为基准工作，由此载物台10能够倾斜。

作为又一个例子，虽然未图示，但载物台倾转模块51能够包括执行器和铰链部件。执行器和铰链部件能够与载物台10连接而支撑载物台10。执行器提供使载物台10旋转的驱动力。铰链部件发挥提供载物台10旋转的铰链轴的作用。因此，载物台10通过执行器的驱动力而能够以铰链部件的铰链轴为中心旋转，由此，载物台10能够倾斜。

第一止动器模块52和第二止动器模块53能够以载物台10的任一角部为中心配置于两侧。

第一止动器模块52构成为使基板S沿着X轴方向对齐。第一止动器模块52能够配置成邻近载物台10的Y轴方向的一端。第一止动器模块52的数量可以是两个以上。第一止动器模块52能够包括第一止动器部件521、第一X轴移动单元522以及第一Y轴移动单元523。

第一止动器部件521构成为与基板S的在Y轴方向上的一端接触。载物台10通过载物台倾转模块51来倾转，从而若与第一止动器部件521相邻的载物台10的一端向下倾斜则载物台10上的基板S由于自重而沿着倾斜的载物台10移动。由此，基板S的在Y轴方向上的一端与第一止动器部件521接触。因此，基板S的在Y轴方向上的一端沿着多个第一止动器部件521排列的方向对齐。

由于第一止动器部件521是与基板S直接接触的部件，因此，第一止动器部件521优选由弹性材料形成，以能够防止基板S损坏。例如，第一止动器部件521可以具有可旋转的辊或球的形态，在该情况下，基板S的一端可以与第一止动器部件521的外周表面接触。

第一X轴移动单元522构成为使第一止动器部件521沿X轴方向移动。作为第一X轴移动单元522，能够适用通过气压或液压而工作的执行器、通过电磁相互作用而工作的线性马达、或诸如滚珠丝杠单元之类的直线移动单元。第一止动器部件521通过第一X轴移动单元522来沿X轴方向移动，由此，能够调节第一止动器部件521的在X轴方向上的位置。第一止动器部件521的在X轴方向上的位置能够调节成与第一止动器部件521须接触的基板S的部分对应。

第一止动器部件521所接触的基板S的部分优选为基板S被切割成多个单位基板时多个单位基板之间的区域。这里，多个单位基板之间的区域可以是不使用于产品而被去除遗弃的无效区域。这样的无效区域是即使与外部部件接触也不会影响产品的质量的基板的一部分，因此，第一止动器部件521优选与基板S的无效区域接触。因此，可以通过第一X轴移动单元522来调节第一止动器部件521的在X轴方向上的位置，以使第一止动器部件521能够与基板S的无效区域接触。

第一Y轴移动单元523构成为使第一止动器部件521沿Y轴方向移动。作为第一Y轴移动单元523，能够适用通过气压或液压而工作的执行器、通过电磁相互作用而工作的线性马达、或诸如滚珠丝杠单元之类的直线移动单元。第一止动器部件521通过第一Y轴移动单元523来沿Y轴方向移动，从而能够调节第一止动器部件521的在Y轴方向上的位置。由于多个第一止动器部件521各自在Y轴方向上的位置被调节，因而能够调节多个第一止动器部件521排列的方向。由于多个第一止动器部件521排列的方向被调节，因而能够调节基板S的在Y轴方向上的一端与多个第一止动器部件521接触而被对齐的方向。基板S的在Y轴方向上的一端与多个第一止动器部件521接触而被对齐的方向可以是X轴方向，或者可以是相对于X轴(或Y轴)以规定的角度倾斜的方向。这样，通过第一Y轴移动单元523来调节第一止动器部件521的在Y轴方向上的位置，从而能够确定基板S的在Y轴方向上的一端对齐的方向。因此，就能够使基板S相对于X轴(Y轴)以规定的角度对齐而无需握住基板S之后使基板S以Z轴为中心旋转的单独的构成。

第二止动器模块53构成为使基板S沿着Y轴方向对齐。第二止动器模块53能够配置成邻近载物台10的在X轴方向一端。第二止动器模块53的数量可以是两个以上。第二止动器模块53能够包括第二止动器部件531、第二X轴移动单元532以及第二Y轴移动单元533。

第二止动器部件531构成为与基板S的在X轴方向上的一端接触。载物台10通过载物台倾转模块51来倾转，从而若与第二止动器部件531相邻的载物台10的一端向下倾斜则载物台10上的基板S由于自重而沿着倾斜的载物台10移动。由此，基板S的在X轴方向上的一端与第二止动器部件531接触。因此，基板S的在X轴方向上的一端沿着多个第二止动器部件531排列的方向对齐。

由于第二止动器部件531是与基板S直接接触的部件，因此，第二止动器部件531优选由弹性材料形成，以能够防止基板S损坏。例如，第二止动器部件531可以具有可旋转的辊或球的形态，在该情况下，基板S的一端可以与第二止动器部件531的外周表面接触。

第二X轴移动单元532构成为使第二止动器部件531沿X轴方向移动。作为第二X轴移动单元532，能够适用通过气压或液压而工作的执行器、通过电磁相互作用而工作的线性马达、或诸如滚珠丝杠单元之类的直线移动单元。第二止动器部件531通过第二X轴移动单元532来沿X轴方向移动，由此，能够调节第二止动器部件531的在X轴方向上的位置。由于多个第二止动器部件531各自在X轴方向上的位置被调节，因而能够调节多个第二止动器部件531排列的方向。由于多个第二止动器部件531排列的方向被调节，因而能够调节基板S的在X轴方向上的一端与多个第二止动器部件531接触而对齐的方向。基板S的在X轴方向上的一端与多个第二止动器部件531接触而对齐的方向可以是Y轴方向，或者可以是相对于Y轴(或X轴)以规定的角度倾斜的方向。这样，通过第二X轴移动单元532来调节第二止动器部件531的在X轴方向上的位置，从而能够确定基板S的在X轴方向上的一端对齐的方向。因此，就能够使基板S相对于Y轴(X轴)以规定的角度对齐而无需握住基板S之后使基板S以Z轴为中心旋转的单独的构成。

第二Y轴移动单元533构成为使第二止动器部件531沿Y轴方向移动。作为第二Y轴移动单元533，能够适用通过气压或液压而工作的执行器、通过电磁相互作用而工作的线性马达、或诸如滚珠丝杠单元之类的直线移动单元。第二止动器部件531通过第二Y轴移动单元533来沿Y轴方向移动，由此，能够调节第二止动器部件531的在Y轴方向上的位置。第二止动器部件531的在Y轴方向上的位置能够调节成与第二止动器部件531须接触的基板S的部分对应。

第二止动器部件531所接触的基板S的部分优选为基板S被切割成多个单位基板时位于多个单位基板之间的区域。这里，多个单位基板之间的区域可以是不使用于产品而被去除遗弃的无效区域。这样的无效区域是即使与外部部件接触也不会影响产品的质量的基板的一部分，因此，第二止动器部件531优选与基板S的无效区域接触。因此，可以通过第二Y轴移动单元533来调节第二止动器部件531的在Y轴方向上的位置，以使第二止动器部件531能够与基板S的无效区域接触。

以下，参照图4至图12对根据本实用新型的实施例的划片装置的工作过程进行说明。

首先，如图4和图5中所图示，基板S通过基板输送单元30装载于载物台10上。此时，空气供给至载物台10的多个孔101，由此，基板S从载物台10上浮。

在该状态下，如图6和图7中所图示，载物台10通过载物台倾转模块51来倾斜。由此，若与第一止动器部件521相邻的载物台10的一端向下倾斜则载物台10上的基板S由于自重而沿着倾斜的载物台10移动。因此，基板S的在Y轴方向上的一端与多个第一止动器部件521接触而沿着多个第一止动器部件521排列的方向对齐。

而且，如图8中所图示，载物台10通过载物台倾转模块51来返回到初始的水平状态(与X-Y平面平行的状态)。

然后，如图9和图10中所图示，载物台10通过载物台倾转模块51来倾斜。由此，若与第二止动器部件531相邻的载物台10的一端向下倾斜则载物台10上的基板S由于自重而沿着倾斜的载物台10移动。因此，基板S的在X轴方向上的一端与多个第二止动器部件531接触而沿着多个第二止动器部件531排列的方向对齐。

利用本实用新型的实施例的划片装置，则由于使载物台10倾转，因而基板S能够在载物台10上被对齐。因此，能够使基板S有效地对齐而不使用构造和控制方法复杂的光学设备。

另外，利用根据本实用新型的实施例的划片装置，则由于使载物台10倾转，因而基板S能够在载物台10上被对齐。因此，就能够使基板S相对于X轴或Y轴以规定的角度对齐而无需夹住基板S之后使基板S以Z轴为中心旋转的额外的结构。

因此，如图11中所图示，即使大小相异的多种基板S1、S2装载于载物台10，也能够使划片轮251将接触的基板S1、S2上的初始作业位置W与将形成于该基板S1、S2上的预先设定的划片线的起始点P1、P2一致。

另一方面，若使基板S对齐的过程结束，则在基板S通过基板输送单元30传送至划片单元20之后，在基板S形成划片线。

作为一个例子，在划片单元20在基板S上形成划片线的过程中，空气向载物台10的多个孔101的供给中断。因此，划片单元20能够在基板S稳定地附着于载物台10的上表面的状态下将划片线形成于基板S。

作为另一个例子，在划片单元20在基板S形成划片线的过程中，基板S能够吸附于载物台10。因此，划片单元20能够在基板S稳定地附着于载物台10的上表面的状态下在基板S形成划片线。

作为又一个例子，如图12中所图示，在划片单元20在基板S形成划片线的过程中，基板输送单元30能够支撑基板S。因此，划片单元20能够在基板S稳定地支撑于基板输送单元30的状态下在基板S形成划片线。

这样，在划片单元20在基板S形成划片线的过程中，能够稳定地支撑基板S。因此，能够在基板S更精密地形成划片线。因此，能够提高沿着划片线切割的单位基板的质量和可靠性。

另一方面，如图13至图16中所图示，在载物台10通过载物台倾转模块51倾斜的状态下，基板输送单元30能够将基板S装载到载物台10上。

在这种情况下，在基板S装载于载物台10的同时，基板S沿着倾斜的载物台10移动并与第一止动器部件521接触而能够被对齐。因此，能够迅速地执行装载基板S的过程和使基板S对齐的过程。

另外，如图14中所图示，在基板S装载于载物台10的过程中，基板S的下表面依次抵接载物台10的上表面。即、与载物台10的上表面相邻的基板S的下表面的面积依次增大。因此，有可能存在于载物台10的上表面与基板S的下表面之间的静电能够向基板S的一侧(与第一止动器部件521相邻的基板S的一侧)释放。因此，能够防止由于基板S与载物台10之间的静电而导致基板S的平坦度降低或基板S不能准确地装载于载物台10的问题。

另一方面，在本实用新型的实施例中，说明了基板S在与第一止动器部件521接触而对齐之后与第二止动器部件531接触而对齐的过程。但是，本实用新型并不限定于此。例如，基板S能够在与第二止动器部件531接触而对齐之后与第一止动器部件521接触而对齐。

另外，图13至图16图示了在与第一止动器部件521相邻的载物台10的一端向下倾斜的状态下基板S装载于载物台10并沿着载物台10移动且与第一止动器部件521接触而被对齐的过程。但是，本实用新型并不限定于此。例如，可以在与第二止动器部件531相邻的载物台10的一端向下倾斜的状态下基板S装载于载物台10并沿着载物台10移动且与第二止动器部件531接触而对齐。

虽然例示性地说明了本实用新型的优选实施例，但本实用新型的范围并不限定于这样的特定实施例，可以在权利要求书中所记载的范畴内适当地进行变更。

Claims (10)

1.一种划片装置，其特征在于，包括：

载物台，其构成为支撑基板；

基板对齐单元，其构成为使上述载物台倾转而对齐装载于上述载物台的上述基板；以及

划片单元，其构成为将划片线形成在装载于上述载物台的上述基板，

上述载物台构成为在上述基板向上述载物台的倾斜的一侧移动的过程中向上述基板喷射气体而使上述基板向上浮并在上述划片单元将划片线形成在上述基板的过程中停止向上述基板的气体的喷射。

2.根据权利要求1所述的划片装置，其特征在于，

上述基板对齐单元包括：

载物台倾转模块，其使上述载物台倾转以使上述载物台的一端向下倾斜；以及

止动器模块，其位于邻近上述载物台一端的位置。

3.根据权利要求2所述的划片装置，其特征在于，

上述止动器模块包括：

止动器部件，其构成为与上述基板的一端接触；以及

移动单元，其使上述止动器部件沿传送上述基板的方向或与传送上述基板的方向正交的方向移动。

4.一种划片装置，其特征在于，包括：

载物台，其构成为支撑基板；

基板对齐单元，其构成为使上述载物台倾转而对齐装载于上述载物台的上述基板；以及

划片单元，其构成为将划片线形成在装载于上述载物台的上述基板，

上述载物台构成为在上述基板向上述载物台的倾斜的一侧移动的过程中使上述基板向上浮并在上述划片单元将划片线形成在上述基板的过程中吸附上述基板。

5.根据权利要求4所述的划片装置，其特征在于，

上述基板对齐单元包括：

载物台倾转模块，其使上述载物台倾转以使上述载物台的一端向下倾斜；以及

止动器模块，其位于邻近上述载物台一端的位置。

6.根据权利要求5所述的划片装置，其特征在于，

上述止动器模块包括：

止动器部件，其构成为与上述基板的一端接触；以及

移动单元，其使上述止动器部件沿传送上述基板的方向或与传送上述基板的方向正交的方向移动。

7.一种划片装置，其特征在于，包括：

载物台，其构成为支撑基板；

基板输送单元，其构成为将上述基板装载于上述载物台；

基板对齐单元，其构成为使上述载物台倾转而对齐装载于上述载物台的上述基板；以及

划片单元，其构成为将划片线形成在装载于上述载物台的上述基板，

上述基板输送单元在上述划片单元将划片线形成在上述基板的过程中支撑上述基板。

8.根据权利要求7所述的划片装置，其特征在于，

上述基板输送单元在上述载物台倾斜的状态下将上述基板装载于上述载物台。

9.根据权利要求7所述的划片装置，其特征在于，

上述基板对齐单元包括：

载物台倾转模块，其使上述载物台倾转以使上述载物台的一端向下倾斜；以及

止动器模块，其位于邻近上述载物台一端的位置。

10.根据权利要求9所述的划片装置，其特征在于，

上述止动器模块包括：

止动器部件，其构成为与上述基板的一端接触；以及

移动单元，其使上述止动器部件沿传送上述基板的方向或与传送上述基板的方向正交的方向移动。

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