KR20210136357A - 기판 절단 장치 - Google Patents

기판 절단 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR20210136357A
KR20210136357A KR1020200054479A KR20200054479A KR20210136357A KR 20210136357 A KR20210136357 A KR 20210136357A KR 1020200054479 A KR1020200054479 A KR 1020200054479A KR 20200054479 A KR20200054479 A KR 20200054479A KR 20210136357 A KR20210136357 A KR 20210136357A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
plate
stage
substrate
transfer
scribing
Prior art date
Application number
KR1020200054479A
Other languages
English (en)
Inventor
방규용
김현정
Original Assignee
주식회사 탑 엔지니어링
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 탑 엔지니어링 filed Critical 주식회사 탑 엔지니어링
Priority to KR1020200054479A priority Critical patent/KR20210136357A/ko
Publication of KR20210136357A publication Critical patent/KR20210136357A/ko

Links

Images

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B33/00—Severing cooled glass
    • C03B33/02—Cutting or splitting sheet glass or ribbons; Apparatus or machines therefor
    • C03B33/023—Cutting or splitting sheet glass or ribbons; Apparatus or machines therefor the sheet or ribbon being in a horizontal position
    • C03B33/03—Glass cutting tables; Apparatus for transporting or handling sheet glass during the cutting or breaking operations
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67092—Apparatus for mechanical treatment

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Re-Forming, After-Treatment, Cutting And Transporting Of Glass Products (AREA)
  • Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)

Abstract

본 발명의 실시예에 따른 기판 절단 장치는, 기판에 스크라이빙 라인을 형성하도록 구성되는 스크라이빙 유닛; 기판을 스크라이빙 유닛을 향하여 이송하도록 구성되는 제1 이송 유닛; 기판을 스크라이빙 유닛으로부터 이송하도록 구성되는 제2 이송 유닛; 제1 이송 유닛 및 스크라이빙 유닛 사이에 구비되는 제1 플레이트; 및 스크라이빙 유닛 및 제2 이송 유닛 사이에 구비되는 제2 플레이트를 포함하고, 제1 플레이트로부터 제2 플레이트로 기판이 이송될 때, 제2 플레이트의 상류단이 제1 플레이트의 하류단에 비하여 낮아지도록 제2 플레이트가 경사지거나 제1 플레이트의 위치보다 낮은 위치로 제2 플레이트가 하강될 수 있다.

Description

기판 절단 장치{SUBSTRATE CUTTING APPARATUS}
본 발명은 기판을 절단하도록 구성되는 기판 절단 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 평판 디스플레이에는 액정 디스플레이 패널, 유기 전계 발광 디스플레이 패널, 무기 전계 발광 디스플레이 패널, 투과형 프로젝터 기판, 반사형 프로젝터 기판이 사용된다. 평판 디스플레이는 유리와 같은 취성의 머더 글라스 패널(기판)로부터 소정의 크기로 절단된 단위 글라스 패널(단위 기판)을 사용한다.
기판을 절단하는 공정은 스크라이빙 공정을 포함한다. 스크라이빙 공정은 기판 상에 가상의 예정선을 따라 스크라이빙 휠을 가압하면서 이동시켜 스크라이빙 라인을 형성한다.
스크라이빙 휠을 중심으로 기판의 이송 방향으로의 상류측 및 하류측에는 제1 플레이트 및 제2 플레이트가 설치된다. 그리고, 제1 플레이트 및 제2 플레이트 사이에 스크라이빙 휠이 배치된다. 기판이 제1 플레이트 및 제2 플레이트에 지지된 상태에서, 스크라이빙 휠이 기판을 가압하면서 이동함에 따라, 기판에 스크라이빙 라인이 형성된다.
제1 플레이트 및 제2 플레이트는 동일한 높이를 갖는 수평 평면을 갖도록 배치된다. 따라서, 제1 플레이트로부터 제2 플레이트로 기판이 이송되는 과정에서, 기판의 선행단이 제2 플레이트에 충돌하여 기판이 파손되는 문제가 있다.
본 발명의 목적은 기판의 이송 과정에서 기판의 지지 및 이송에 필요한 모듈과 기판과의 충돌을 방지할 수 있는 기판 절단 장치를 제공하는 것이다.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 기판 절단 장치는, 기판에 스크라이빙 라인을 형성하도록 구성되는 스크라이빙 유닛; 기판을 스크라이빙 유닛을 향하여 이송하도록 구성되는 제1 이송 유닛; 기판을 스크라이빙 유닛으로부터 이송하도록 구성되는 제2 이송 유닛; 제1 이송 유닛 및 스크라이빙 유닛 사이에 구비되는 제1 플레이트; 및 스크라이빙 유닛 및 제2 이송 유닛 사이에 구비되는 제2 플레이트를 포함하고, 제1 플레이트로부터 제2 플레이트로 기판이 이송될 때, 제2 플레이트의 상류단이 제1 플레이트의 하류단에 비하여 낮아지도록 제2 플레이트가 경사지거나 제1 플레이트의 위치보다 낮은 위치로 제2 플레이트가 하강될 수 있다.
제1 이송 유닛은 기판을 지지하면서 이송하도록 구성되는 제1 스테이지를 포함할 수 있고, 제1 스테이지로부터 제1 플레이트로 기판이 이송될 때, 제1 플레이트의 상류단이 제1 스테이지의 하류단에 비하여 낮아지도록 제1 플레이트가 경사지거나 제1 스테이지의 위치보다 낮은 위치로 제1 플레이트가 하강될 수 있다.
제1 이송 유닛은 기판을 지지하면서 제1 스테이지로 이송하도록 구성되는 반송 스테이지를 포함할 수 있고, 반송 스테이지로부터 제1 스테이지로 기판이 이송될 때, 제1 스테이지의 상류단이 반송 스테이지의 하류단에 비하여 낮아지도록 제1 스테이지가 경사지거나 반송 스테이지의 위치보다 낮은 위치로 제1 스테이지가 하강될 수 있다.
제2 이송 유닛은 기판을 지지하면서 이송하도록 구성되는 제2 스테이지를 포함할 수 있고, 제2 플레이트로부터 제2 스테이지로 기판이 이송될 때, 제2 스테이지의 상류단이 제2 플레이트의 하류단에 비하여 낮아지도록 제2 스테이지가 경사지거나 제2 플레이트의 위치보다 낮은 위치로 제2 스테이지가 하강될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 기판 절단 장치에 따르면, 기판이 제1 스테이지, 제1 플레이트, 제2 플레이트, 제2 스테이지로 이송되는 과정에서, 제1 스테이지, 제1 플레이트, 제2 플레이트, 제2 스테이지가 경사지거나 하강하므로, 기판이 제1 스테이지, 제1 플레이트, 제2 플레이트, 제2 스테이지와 충돌되는 것이 방지될 수 있다. 따라서, 기판과 제1 스테이지, 제1 플레이트, 제2 플레이트, 제2 스테이지와 충돌로 인한 기판의 파손을 방지할 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 기판 절단 장치가 개략적으로 도시된 평면도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 기판 절단 장치가 개략적으로 도시된 측면도이다.
도 3 내지 도 6은 본 발명의 실시예에 따른 기판 절단 장치의 작동 과정이 개략적으로 도시된 측면도이다.
도 7 및 도 8은 본 발명의 실시예에 따른 기판 절단 장치의 작동 과정의 다른 예가 개략적으로 도시된 측면도이다.
도 9는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 기판 절단 장치가 개략적으로 도시된 평면도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여, 본 발명의 실시예에 따른 기판 절단 장치에 대하여 설명한다.
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 스크라이빙 라인이 형성될 기판(S)이 이송되는 방향을 Y축 방향이라 정의한다. 그리고, 기판(S)이 이송되는 방향(Y축 방향)에 수직하는 방향을 X축 방향이라 정의한다. 그리고, 기판(S)이 놓이는 X-Y평면에 수직인 방향을 Z축 방향이라 정의한다.
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 기판 절단 장치는, 제1 이송 유닛(10), 제2 이송 유닛(20), 스크라이빙 유닛(30), 제1 플레이트(40), 제2 플레이트(50), 제어 유닛(미도시)을 포함한다.
제1 이송 유닛(10), 제2 이송 유닛(20), 스크라이빙 유닛(30), 제1 플레이트(40), 제2 플레이트(50)는 설치 공간에 지지되는 베이스(60)에 지지될 수 있다. 베이스(60)의 상방에는 제1 이송 유닛(10), 제1 플레이트(40), 제2 플레이트(50), 제2 이송 유닛(20)이 순차적으로 배치된다.
제어 유닛은 기판 절단 장치의 구성 요소의 작동을 제어하도록 구성된다.
제1 이송 유닛(10)은 기판(S)을 스크라이빙 유닛(30)으로 이송하도록 구성된다. 제1 이송 유닛(10)은 기판(S)을 지지하는 반송 스테이지(11)와, 반송 스테이지(11) 상에 지지된 기판(S)의 후행단을 파지하는 클램프 모듈(12)과, 클램프 모듈(12)과 연결되며 X축 방향으로 연장되는 지지바(13)와, 지지바(13)와 연결되며 Y축 방향으로 연장되는 제1 가이드 레일(14)을 포함할 수 있다.
예를 들면, 반송 스테이지(11)는 X축 방향으로 서로 이격된 복수의 벨트로 구성될 수 있다. 다른 예로서, 반송 스테이지(11)는 기판(S)의 전체 면적 이상의 면적을 갖는 하나의 벨트로 구성될 수 있다. 반송 스테이지(11)는 복수의 풀리(111)에 의해 지지되며, 복수의 풀리(111) 중 적어도 하나는 반송 스테이지(11)를 회전시키는 구동력을 제공하는 구동 풀리일 수 있다.
또 다른 예로서, 반송 스테이지(11)는 롤러 등의 구름 수단을 포함할 수 있다.
지지바(13)와 제1 가이드 레일(14) 사이에는 공압 또는 유압을 사용하는 액추에이터, 전자기적 상호 작용에 의해 작동되는 리니어 모터, 또는 볼 스크류 기구와 같은 직선 이동 기구가 구비될 수 있다. 따라서, 클램프 모듈(12)이 기판(S)의 후행단을 파지한 상태에서 지지바(13)가 직선 이동 기구에 의해 Y축 방향으로 이동됨에 따라, 기판(S)이 Y축 방향으로 이송될 수 있다. 이때, 반송 스테이지(11)는 클램프 모듈(12)의 이동과 동기화되어 이동하면서 기판(S)을 안정적으로 지지할 수 있다.
클램프 모듈(12)은 기판(S)의 후행단을 가압하여 유지할 수 있다. 다른 예로서, 클램프 모듈(12)은 진공원과 연결된 진공홀을 구비하여 기판(S)의 후행단을 흡착하도록 구성될 수 있다.
제1 이송 유닛(10)은 제1 스테이지(19)를 더 포함한다. 제1 스테이지(19)는 반송 스테이지(11) 및 제1 플레이트(40) 사이에 설치된다. 이 경우, 반송 스테이지(11)는 기판(S)을 지지하면서 제1 스테이지(19)로 이송하는 역할을 한다. 제1 스테이지(19)는 기판(S)을 반송 스테이지(11)로부터 제1 플레이트(40)로 전달하는 역할을 한다. 제1 스테이지(19)는 벨트, 롤러 등의 구름 수단을 포함할 수 있다.
제1 이송 유닛(10)은 제1 스테이지(19)를 승강시키도록 구성되는 제1 스테이지 승강 모듈(18)을 더 포함할 수 있다. 제1 스테이지 승강 모듈(18)은 일단이 제1 스테이지(19)에 힌지 연결되고 타단이 베이스(60)에 연결되는 적어도 2개의 액추에이터로서 구성될 수 있다. 액추에이터는 유압 실린더 또는 공압 실린더로서 구성될 수 있다.
제1 스테이지 승강 모듈(18)은 제1 스테이지(19)를 기울이도록 구성될 수 있다. 제1 스테이지(19)의 상류단이 제1 스테이지(19)의 하류단에 비하여 낮아지도록 제1 스테이지(19)가 제1 스테이지 승강 모듈(18)에 의해 경사질 수 있다. 또한, 제1 스테이지 승강 모듈(18)은 반송 스테이지(11)의 Z축 방향으로의 위치(높이)에 비하여 낮은 위치(높이)로 제1 스테이지(19)를 하강시킬 수 있다.
제1 플레이트(40)는 제1 스테이지(19) 및 스크라이빙 유닛(30) 사이에 배치된다. 제1 플레이트(40)는 기판(S)을 부양시키거나 흡착할 수 있도록 구성될 수 있다. 예를 들면, 제1 플레이트(40)의 표면에는 가스 공급원 및 진공원과 연결되는 복수의 슬롯이 형성될 수 있다. 가스 공급원으로부터 제1 플레이트(40)의 복수의 슬롯으로 가스가 공급되는 경우, 기판(S)이 제1 플레이트(40)로부터 부양될 수 있다. 또한, 진공원에 의해 형성된 부압에 의해 제1 플레이트(40)의 복수의 슬롯을 통하여 가스가 흡입되는 경우, 기판(S)이 제1 플레이트(40)에 흡착될 수 있다.
기판(S)이 제1 플레이트(40)로부터 부양된 상태에서 기판(S)은 제1 플레이트(40)와 마찰 없이 이동될 수 있다. 그리고, 기판(S)에 스크라이빙 라인이 형성되는 과정에서, 기판(S)은 제1 플레이트(40)에 흡착되어 고정될 수 있다.
제1 플레이트(40)에는 제1 플레이트 승강 모듈(48)이 연결될 수 있다.
제1 플레이트 승강 모듈(48)은 일단이 제1 플레이트(40)에 힌지 연결되고 타단이 베이스(60)에 연결되는 적어도 2개의 액추에이터로서 구성될 수 있다. 액추에이터는 유압 실린더 또는 공압 실린더로서 구성될 수 있다.
제1 플레이트 승강 모듈(48)은 제1 플레이트(40)를 기울이도록 구성될 수 있다. 제1 플레이트(40)의 상류단이 제1 플레이트(40)의 하류단에 비하여 낮아지도록 제1 플레이트(40)가 제1 플레이트 승강 모듈(48)에 의해 경사질 수 있다. 또한, 제1 플레이트 승강 모듈(48)은 제1 스테이지(19)의 Z축 방향으로의 위치(높이)에 비하여 낮은 위치(높이)로 제1 플레이트(40)를 하강시킬 수 있다.
제2 플레이트(50)는 스크라이빙 유닛(30) 및 제2 이송 유닛(20) 사이에 배치된다. 제2 플레이트(50)는 기판(S)을 부양시키거나 흡착할 수 있도록 구성될 수 있다. 예를 들면, 제2 플레이트(50)의 표면에는 가스 공급원 및 진공원과 연결되는 복수의 슬롯이 형성될 수 있다. 가스 공급원으로부터 제2 플레이트(50)의 복수의 슬롯으로 가스가 공급되는 경우, 기판(S)이 제2 플레이트(50)로부터 부양될 수 있다. 또한, 진공원에 의해 형성된 부압에 의해 제2 플레이트(50)의 복수의 슬롯을 통하여 가스가 흡입되는 경우, 기판(S)이 제2 플레이트(50)에 흡착될 수 있다.
기판(S)이 제2 플레이트(50)로부터 부양된 상태에서 기판(S)은 제2 플레이트(50)와 마찰 없이 이동될 수 있다. 그리고, 기판(S)에 스크라이빙 라인이 형성되는 과정에서, 기판(S)은 제2 플레이트(50)에 흡착되어 고정될 수 있다.
제2 플레이트(50)에는 제2 플레이트 승강 모듈(58)이 연결될 수 있다.
제2 플레이트 승강 모듈(58)은 일단이 제2 플레이트(50)에 힌지 연결되고 타단이 베이스(60)에 연결되는 적어도 2개의 액추에이터로서 구성될 수 있다. 액추에이터는 유압 실린더 또는 공압 실린더로서 구성될 수 있다.
제2 플레이트 승강 모듈(58)은 제2 플레이트(50)를 기울이도록 구성될 수 있다. 제2 플레이트(50)의 상류단이 제2 플레이트(50)의 하류단에 비하여 낮아지도록 제2 플레이트(50)가 제2 플레이트 승강 모듈(58)에 의해 경사질 수 있다. 또한, 제2 플레이트 승강 모듈(58)은 제1 플레이트(40)의 Z축 방향으로의 위치(높이)에 비하여 낮은 위치(높이)로 제2 플레이트(50)를 하강시킬 수 있다.
제2 이송 유닛(20)은 기판(S)을 스크라이빙 유닛(30)으로부터 후속 공정으로 이송하도록 구성된다.
제2 이송 유닛(20)은 제2 플레이트(50)에 인접하게 배치되는 제2 스테이지(29)와, 제2 플레이트(50) 및 제2 스테이지(29)를 Y축 방향으로 왕복으로 이동시키는 이동 모듈(26)을 포함할 수 있다. 이동 모듈(26)은 Y축 방향으로 연장되는 제2 가이드 레일(24)을 따라 제2 플레이트(50) 및 제2 스테이지(29)를 Y축 방향으로 왕복으로 이동시키는 역할을 한다. 이동 모듈(26)로는 공압 또는 유압을 사용하는 액추에이터, 전자기적 상호 작용에 의해 작동되는 리니어 모터, 또는 볼 스크류 기구와 같은 직선 이동 기구가 적용될 수 있다.
제2 플레이트(50)와 제2 스테이지(29)는 함께 Y축 방향으로 이동 가능하게 구성될 수 있다. 즉, 제2 플레이트(50)와 제2 스테이지(29)는 기판(S)이 이송되는 방향(Y축 방향)으로 함께 이동 가능하게 구성될 수 있다.
스크라이빙 유닛(30)에 의해 기판(S)에 스크라이빙 라인이 형성될 때, 제2 플레이트(50)는 제1 플레이트(40)를 향하여 이동되어 제1 플레이트(40)에 인접하게 위치될 수 있다. 제1 플레이트(40)와 제2 플레이트(50) 사이에 스크라이빙 유닛(30)이 위치될 수 있다. 스크라이빙 유닛(30)에 의해 스크라이빙 라인이 형성될 때, 제2 플레이트(50)가 제1 플레이트(40)에 인접하게 위치되므로, 기판(S)이 제1 플레이트(40) 및 제2 플레이트(50) 모두에 안정적으로 지지될 수 있다.
제2 스테이지(29)는 벨트, 롤러 등의 구름 수단을 포함할 수 있다.
제2 이송 유닛(20)은 제2 스테이지(29)를 승강시키도록 구성되는 제2 스테이지 승강 모듈(28)을 더 포함할 수 있다. 제2 스테이지 승강 모듈(28)은 일단이 제2 스테이지(29)에 힌지 연결되고 타단이 베이스(60)에 연결되는 적어도 2개의 액추에이터로서 구성될 수 있다. 액추에이터는 유압 실린더 또는 공압 실린더로서 구성될 수 있다.
제2 스테이지 승강 모듈(28)은 제2 스테이지(29)를 기울이도록 구성될 수 있다. 제2 스테이지(29)의 상류단이 제2 스테이지(29)의 하류단에 비하여 낮아지도록 제2 스테이지(29)가 제2 스테이지 승강 모듈(28)에 의해 경사질 수 있다. 또한, 제2 스테이지 승강 모듈(28)은 제2 플레이트(50)의 Z축 방향으로의 위치(높이)에 비하여 낮은 위치(높이)로 제1 스테이지(19)를 하강시킬 수 있다.
한편, 기판(S)에 스크라이빙 라인이 형성된 이후에, 기판(S)이 제1 플레이트(40) 및 제2 플레이트(50)에 흡착된 상태에서, 제2 플레이트(50)가 제1 플레이트(40)로부터 멀어지게 이동됨에 따라, 기판(S)이 스크라이빙 라인을 기준으로 분할될 수 있다.
한편, 기판(S)이 제2 플레이트(50)로부터 후속 공정으로 이동하는 과정에서, 제2 플레이트(50)의 슬롯으로 가스가 공급되며, 이에 따라, 기판(S)은 제2 플레이트(50)와 마찰 없이 이동될 수 있다.
스크라이빙 유닛(30)은 기판(S)에 스크라이빙 라인을 형성하도록 구성된다. 스크라이빙 유닛(30)은 X축 방향으로 연장되는 프레임(31)과, 프레임(31)에 X축 방향으로 이동 가능하게 설치되는 한 쌍의 스크라이빙 헤드(32)를 포함한다. 한 쌍의 스크라이빙 헤드(32)는 Z축 방향으로 이동 가능할 수 있다.
한 쌍의 스크라이빙 헤드(32)는 Z축 방향으로 서로 대향하게 배치될 수 있다. 한 쌍의 스크라이빙 헤드(32)는 각각 스크라이빙 휠을 구비할 수 있다.
이하, 도 3 내지 도 8을 참조하여, 상기한 바와 같이 구성되는 본 발명의 실시예에 따른 기판 절단의 작동 과정에 대하여 설명한다.
먼저, 도 3에 도시된 바와 같이, 제1 플레이트(40)가 고정된 상태에서 제2 플레이트(50)가 제1 플레이트(40)를 향하여 Y축 방향으로 이동한다. 이에 따라, 제1 플레이트(40) 및 제2 플레이트(50) 사이의 간격이 줄어들게 되어, 기판(S)이 제1 플레이트(40) 및 제2 플레이트(50) 모두에 안정적으로 지지될 수 있다.
그리고, 도 4에 도시된 바와 같이, 제1 스테이지(19), 제1 플레이트(40), 제2 플레이트(50), 제2 스테이지(29)가 각각 기울어진다. 제1 스테이지(19), 제1 플레이트(40), 제2 플레이트(50), 제2 스테이지(29)는 동시에 기울어질 수 있거나 순차적으로 기울어질 수 있다. 예를 들면, 기판(S)이 제1 스테이지(19), 제1 플레이트(40), 제2 플레이트(50), 제2 스테이지(29)로 순차적으로 이송됨에 따라, 제1 스테이지(19), 제1 플레이트(40), 제2 플레이트(50), 제2 스테이지(29)가 순차적으로 기울어질 수 있다.
구체적으로, 반송 스테이지(11)로부터 제1 스테이지(19)로 기판(S)이 이송될 때, 제1 스테이지(19)의 상류단이 반송 스테이지(11)의 하류단에 비하여 낮아지도록 제1 스테이지(19)가 경사진다. 따라서, 기판(S)의 선행단이 제1 스테이지와 충돌하는 것이 방지된다.
제1 스테이지(19)로부터 제1 플레이트(40)로 기판(S)이 이송될 때, 제1 플레이트(40)의 상류단이 제1 스테이지(19)의 하류단에 비하여 낮아지도록 제1 플레이트(40)가 경사진다. 따라서, 기판(S)의 선행단이 제1 플레이트(40)와 충돌하는 것이 방지된다.
제1 플레이트(40)로부터 제2 플레이트(50)로 기판(S)이 이송될 때, 제2 플레이트(50)의 상류단이 제1 플레이트(40)의 하류단에 비하여 낮아지도록 제2 플레이트(50)가 경사진다. 따라서, 기판(S)의 선행단이 제2 플레이트(50)와 충돌하는 것이 방지된다.
제2 플레이트(50)로부터 제2 스테이지(29)로 기판(S)이 이송될 때, 제2 스테이지(29)의 상류단이 제2 플레이트(50)의 하류단에 비하여 낮아지도록 제2 스테이지(29)가 경사진다. 따라서, 기판(S)의 선행단이 제2 스테이지(29)와 충돌하는 것이 방지된다.
기판(S)이 제1 스테이지(19), 제1 플레이트(40), 제2 플레이트(50), 제2 스테이지(29) 상으로 순차적으로 이송되는 과정에서, 기판(S)은 제1 플레이트(40) 및 제2 플레이트(50)로 공급되는 가스에 의해 제1 플레이트(40) 및 제2 플레이트(50)로부터 부양될 수 있다.
그리고, 도 5에 도시된 바와 같이, 기판(S)이 제1 스테이지(19), 제1 플레이트(40), 제2 플레이트(50), 제2 스테이지(29) 상에 놓이면, 제1 스테이지(19), 제1 플레이트(40), 제2 플레이트(50), 제2 스테이지(29)는 원래의 상태로 복귀하여 X-Y 평면과 평행한 면을 유지한다.
그리고, 도 5에 도시된 바와 같이, 한 쌍의 스크라이빙 헤드(32)가 기판(S)을 향하여 인접하도록 이동함에 따라, 스크라이빙 휠이 기판(S)을 가압한다. 그리고, 한 쌍의 스크라이빙 헤드(32)가 X축 방향으로 이동함에 따라, 기판(S)에는 스크라이빙 라인이 형성된다.
그리고, 도 6에 도시된 바와 같이, 한 쌍의 스크라이빙 헤드(32)가 기판(S)으로부터 이격되게 이동한다. 그리고, 기판(S)이 제1 플레이트(40) 및 제2 플레이트(50) 모두에 흡착된 상태에서, 제2 플레이트(50)가 제1 플레이트(40)로부터 멀어지게 이동되면, 기판(S)이 스크라이빙 라인을 따라 완전히 분할될 수 있다.
그리고, 스크라이빙 라인을 따라 분할된 기판(S)은 제2 스테이지(29)에 의해 후속 공정으로 전달된다.
한편, 다른 예로서, 도 7 및 도 8에 도시된 바와 같이, 반송 스테이지(11)로부터 제1 스테이지(19)로 기판(S)이 이송될 때, 반송 스테이지(11)의 위치(높이)보다 낮은 위치(높이)로 제1 스테이지(19)가 하강한다. 따라서, 기판(S)의 선행단이 제1 스테이지와 충돌하는 것이 방지된다.
제1 스테이지(19)로부터 제1 플레이트(40)로 기판(S)이 이송될 때, 제1 스테이지(19)의 위치(높이)보다 낮은 위치(높이)로 제1 플레이트(40)가 하강한다. 따라서, 기판(S)의 선행단이 제1 플레이트(40)와 충돌하는 것이 방지된다.
제1 플레이트(40)로부터 제2 플레이트(50)로 기판(S)이 이송될 때, 제1 플레이트(40)의 위치(높이)보다 낮은 위치(높이)로 제2 플레이트(50)가 하강한다. 따라서, 기판(S)의 선행단이 제2 플레이트(50)와 충돌하는 것이 방지된다.
제2 플레이트(50)로부터 제2 스테이지(29)로 기판(S)이 이송될 때, 제2 플레이트(50)의 위치(높이)보다 낮은 위치(높이)로 제2 스테이지(29)가 하강한다. 따라서, 기판(S)의 선행단이 제2 스테이지(29)와 충돌하는 것이 방지된다.
본 발명의 실시예에 따른 기판 절단 장치에 따르면, 기판(S)이 제1 스테이지(19), 제1 플레이트(40), 제2 플레이트(50), 제2 스테이지(29)로 이송되는 과정에서, 제1 스테이지(19), 제1 플레이트(40), 제2 플레이트(50), 제2 스테이지(29)가 경사지거나 하강하므로, 기판(S)이 제1 스테이지(19), 제1 플레이트(40), 제2 플레이트(50), 제2 스테이지(29)와 충돌되는 것이 방지될 수 있다. 따라서, 기판(S)과 제1 스테이지(19), 제1 플레이트(40), 제2 플레이트(50), 제2 스테이지(29)와 충돌로 인한 기판(S)의 파손을 방지할 수 있다.
본 발명의 또 다른 실시예로서, 도 9에 도시된 바와 같이, 기판 절단 장치는, 반송 스테이지(11), 제1 스테이지(19), 제1 플레이트(40), 제2 플레이트(50), 제2 스테이지(29)에 대응하도록 배치되는 복수의 센서(71, 72, 73, 74, 75, 76, 77, 78)를 포함할 수 있다.
복수의 센서(71, 72, 73, 74, 75, 76, 77, 78)는 각각 반송 스테이지(11), 제1 스테이지(19), 제1 플레이트(40), 제2 플레이트(50), 제2 스테이지(29)에 기판(S)이 탑재되는지 여부를 검출하는 역할을 한다.
본 발명은 복수의 센서(71, 72, 73, 74, 75, 76, 77, 78)의 개수에 한정되지 않는다. 보다 많은 센서가 구비되고, 복수의 센서 중 일부가 동일한 역할을 수행할 수 있다. 또한, 보다 적은 센서가 구비되고, 복수의 센서 중 하나의 센서가 두 가지 이상의 역할을 수행할 수 있다.
본 발명은 복수의 센서(71, 72, 73, 74, 75, 76, 77, 78)의 설치 위치에 한정되지 않는다. 복수의 센서(71, 72, 73, 74, 75, 76, 77, 78)는 각각 반송 스테이지(11), 제1 스테이지(19), 제1 플레이트(40), 제2 플레이트(50), 제2 스테이지(29)의 상방, 하방, 상면 또는 하면에 설치될 수 있다.
예를 들면, 복수의 센서(71, 72, 73, 74, 75, 76, 77, 78)는 각각 카메라로 구성될 수 있다. 다른 예로서, 복수의 센서(71, 72, 73, 74, 75, 76, 77, 78)는 각각 발광부 및 수광부를 포함하는 광학 센서로 구성될 수 있다.
복수의 센서(71, 72, 73, 74, 75, 76, 77, 78)는, 제1 센서(71), 제2 센서(72), 제3 센서(73), 제4 센서(74), 제5 센서(75), 제6 센서(76), 제7 센서(77), 제8 센서(78)를 포함할 수 있다.
제1 센서(71)는 반송 스테이지(11)의 하류단에 대응하게 위치될 수 있다. 다만, 본 발명은 제1 센서(71)의 설치 위치에 한정되지 않는다. 제1 센서(71)는 반송 스테이지(11)의 하류단에 기판(S)이 위치되는지 여부를 감지한다. 반송 스테이지(11)의 하류단에 기판(S)이 위치되는 것을 제1 센서(71)가 감지하면, 제어 유닛은 제1 스테이지 승강 모듈(18)을 제어하여, 제1 스테이지(19)의 상류단이 반송 스테이지(11)의 Z축 방향으로의 위치에 비하여 낮은 위치에 위치되도록 제1 스테이지(19)를 경사지게 하거나 하강시킬 수 있다.
제2 센서(72)는 제1 스테이지(19)의 상류단에 대응하게 위치될 수 있다. 다만, 본 발명은 제2 센서(72)의 설치 위치에 한정되지 않는다. 제2 센서(72)는 제1 스테이지(19)의 상류단에 기판(S)이 위치되는지 여부를 감지한다. 경우에 따라, 제1 스테이지(19)의 상류단에 기판(S)이 위치되는 것을 제2 센서(72)가 감지하면, 제어 유닛은 제1 스테이지 승강 모듈(18)을 제어하여, 제1 스테이지(19)가 원래의 자세(X-Y 평면에 평행한 자세)로 복귀되도록 하거나 원래의 높이(반송 스테이지(11)의 Z축 방향으로의 위치와 동일한 높이)로 복귀되도록 할 수 있다.
제3 센서(73)는 제1 스테이지(19)의 하류단에 대응하게 위치될 수 있다. 다만, 본 발명은 제3 센서(73)의 설치 위치에 한정되지 않는다. 제3 센서(73)는 제1 스테이지(19)의 하류단에 기판(S)이 위치되는지 여부를 감지한다. 제1 스테이지(19)의 하류단에 기판(S)이 위치되는 것을 제3 센서(73)가 감지하면, 제어 유닛은 제1 플레이트 승강 모듈(48)을 제어하여, 제1 플레이트(40)의 상류단이 제1 스테이지(19)의 하류단에 비하여 낮은 위치에 위치되도록 제1 플레이트(40)를 경사지게 하거나 하강시킬 수 있다.
제4 센서(74)는 제1 플레이트(40)의 상류단에 대응하게 위치될 수 있다. 다만, 본 발명은 제4 센서(74)의 설치 위치에 한정되지 않는다. 제4 센서(74)는 제1 플레이트(40)의 상류단에 기판(S)이 위치되는지 여부를 감지한다. 경우에 따라, 제1 플레이트(40)의 상류단에 기판(S)이 위치되는 것을 제4 센서(74)가 감지하면, 제어 유닛은 제1 스테이지 승강 모듈(18)을 제어하여, 제1 스테이지(19)가 원래의 자세(X-Y 평면에 평행한 자세)로 복귀되도록 하거나 원래의 높이(반송 스테이지(11)의 Z축 방향으로의 위치와 동일한 높이)로 복귀되도록 할 수 있다. 또한, 경우에 따라, 제어 유닛은 제1 플레이트 승강 모듈(48)을 제어하여, 제1 플레이트(40)가 원래의 자세(X-Y 평면에 평행한 자세)로 복귀되도록 하거나 원래의 높이(반송 스테이지(11) 또는 제1 스테이지(19)의 Z축 방향으로의 위치와 동일한 높이)로 복귀되도록 할 수 있다.
제5 센서(75)는 제1 플레이트(40)의 하류단에 대응하게 위치될 수 있다. 다만, 본 발명은 제5 센서(75)의 설치 위치에 한정되지 않는다. 제5 센서(75)는 제1 플레이트(40)의 하류단에 기판(S)이 위치되는지 여부를 감지한다. 제1 플레이트(40)의 하류단에 기판(S)이 위치되는 것을 제5 센서(75)가 감지하면, 제어 유닛은 제2 플레이트 승강 모듈(58)을 제어하여, 제2 플레이트(50)의 상류단이 제1 플레이트(40)의 하류단에 비하여 낮은 위치에 위치되도록 제2 플레이트(50)를 경사지게 하거나 하강시킬 수 있다.
제6 센서(76)는 제2 플레이트(50)의 상류단에 대응하게 위치될 수 있다. 다만, 본 발명은 제6 센서(76)의 설치 위치에 한정되지 않는다. 제6 센서(76)는 제2 플레이트(50)의 상류단에 기판(S)이 위치되는지 여부를 감지한다. 경우에 따라, 제2 플레이트(50)의 상류단에 기판(S)이 위치되는 것을 제6 센서(76)가 감지하면, 제어 유닛은 제1 스테이지 승강 모듈(18)을 제어하여, 제1 스테이지(19)가 원래의 자세(X-Y 평면에 평행한 자세)로 복귀되도록 하거나 원래의 높이(반송 스테이지(11)의 Z축 방향으로의 위치와 동일한 높이)로 복귀되도록 할 수 있다. 또한, 경우에 따라, 제어 유닛은 제1 플레이트 승강 모듈(48)을 제어하여, 제1 플레이트(40)가 원래의 자세(X-Y 평면에 평행한 자세)로 복귀되도록 하거나 원래의 높이(반송 스테이지(11) 또는 제1 스테이지(19)의 Z축 방향으로의 위치와 동일한 높이)로 복귀되도록 할 수 있다. 또한, 경우에 따라, 제어 유닛은 제2 플레이트 승강 모듈(58)을 제어하여, 제2 플레이트(50)가 원래의 자세(X-Y 평면에 평행한 자세)로 복귀되도록 하거나 원래의 높이(반송 스테이지(11) 또는 제1 플레이트(40)의 Z축 방향으로의 위치와 동일한 높이)로 복귀되도록 할 수 있다.
제7 센서(77)는 제2 플레이트(50)의 하류단에 대응하게 위치될 수 있다. 다만, 본 발명은 제7 센서(77)의 설치 위치에 한정되지 않는다. 제7 센서(77)는 제2 플레이트(50)의 하류단에 기판(S)이 위치되는지 여부를 감지한다. 제2 플레이트(50)의 하류단에 기판(S)이 위치되는 것을 제7 센서(77)가 감지하면, 제어 유닛은 제2 스테이지 승강 모듈(28)을 제어하여, 제2 스테이지(29)의 상류단이 제2 플레이트(50)의 하류단에 비하여 낮은 위치에 위치되도록 제2 스테이지(29)를 경사지게 하거나 하강시킬 수 있다.
제8 센서(78)는 제2 스테이지(29)의 상류단에 대응하게 위치될 수 있다. 다만, 본 발명은 제8 센서(78)의 설치 위치에 한정되지 않는다. 제8 센서(78)는 제2 스테이지(29)의 상류단에 기판(S)이 위치되는지 여부를 감지한다. 경우에 따라, 제2 스테이지(29)의 상류단에 기판(S)이 위치되는 것을 제8 센서(78)가 감지하면, 제어 유닛은 제1 스테이지 승강 모듈(18)을 제어하여, 제1 스테이지(19)가 원래의 자세(X-Y 평면에 평행한 자세)로 복귀되도록 하거나 원래의 높이(반송 스테이지(11)의 Z축 방향으로의 위치와 동일한 높이)로 복귀되도록 할 수 있다. 또한, 경우에 따라, 제어 유닛은 제1 플레이트 승강 모듈(48)을 제어하여, 제1 플레이트(40)가 원래의 자세(X-Y 평면에 평행한 자세)로 복귀되도록 하거나 원래의 높이(반송 스테이지(11) 또는 제1 스테이지(19)의 Z축 방향으로의 위치와 동일한 높이)로 복귀되도록 할 수 있다. 또한, 경우에 따라, 제어 유닛은 제2 플레이트 승강 모듈(58)을 제어하여, 제2 플레이트(50)가 원래의 자세(X-Y 평면에 평행한 자세)로 복귀되도록 하거나 원래의 높이(반송 스테이지(11) 또는 제1 플레이트(40)의 Z축 방향으로의 위치와 동일한 높이)로 복귀되도록 할 수 있다. 또한, 경우에 따라, 제어 유닛은 제2 스테이지 승강 모듈(28)을 제어하여 제2 스테이지(29)가 원래의 자세(X-Y 평면에 평행한 자세)로 복귀되도록 하거나 원래의 높이(반송 스테이지(11) 또는 제2 플레이트(50)의 Z축 방향으로의 위치와 동일한 높이)로 복귀되도록 할 수 있다.
이와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 기판 절단 장치에 따르면, 복수의 센서(71, 72, 73, 74, 75, 76, 77, 78)를 사용하여 기판(S)을 감지하고, 감지 결과에 따라, 제1 스테이지(19), 제1 플레이트(40), 제2 플레이트(50), 제2 스테이지(29)의 자세 및 위치를 조절함으로써, 기판(S)이 제1 스테이지(19), 제1 플레이트(40), 제2 플레이트(50), 제2 스테이지(29)와 충돌하는 것을 방지하면서, 기판(S)이 제1 스테이지(19), 제1 플레이트(40), 제2 플레이트(50), 제2 스테이지(29)에 안정적으로 탑재되도록 할 수 있다.
본 발명의 바람직한 실시예가 예시적으로 설명되었으나, 본 발명의 범위는 이와 같은 특정 실시예에 한정되지 않으며, 청구범위에 기재된 범주 내에서 적절하게 변경될 수 있다.
10: 제1 이송 유닛
11: 반송 스테이지
19: 제1 스테이지
20: 제2 이송 유닛
29: 제2 스테이지
40: 제1 플레이트
50: 제2 플레이트

Claims (4)

  1. 기판에 스크라이빙 라인을 형성하도록 구성되는 스크라이빙 유닛;
    상기 기판을 상기 스크라이빙 유닛을 향하여 이송하도록 구성되는 제1 이송 유닛;
    상기 기판을 상기 스크라이빙 유닛으로부터 이송하도록 구성되는 제2 이송 유닛;
    상기 제1 이송 유닛 및 상기 스크라이빙 유닛 사이에 구비되는 제1 플레이트; 및
    상기 스크라이빙 유닛 및 상기 제2 이송 유닛 사이에 구비되는 제2 플레이트를 포함하고,
    상기 제1 플레이트로부터 상기 제2 플레이트로 상기 기판이 이송될 때, 상기 제2 플레이트의 상류단이 상기 제1 플레이트의 하류단에 비하여 낮아지도록 상기 제2 플레이트가 경사지거나 상기 제1 플레이트의 위치보다 낮은 위치로 상기 제2 플레이트가 하강되는 것을 특징으로 하는 기판 절단 장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 제1 이송 유닛은 상기 기판을 지지하면서 이송하도록 구성되는 제1 스테이지를 포함하고,
    상기 제1 스테이지로부터 상기 제1 플레이트로 상기 기판이 이송될 때, 상기 제1 플레이트의 상류단이 상기 제1 스테이지의 하류단에 비하여 낮아지도록 상기 제1 플레이트가 경사지거나 상기 제1 스테이지의 위치보다 낮은 위치로 상기 제1 플레이트가 하강되는 것을 특징으로 하는 기판 절단 장치.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 제1 이송 유닛은 상기 기판을 지지하면서 상기 제1 스테이지로 이송하도록 구성되는 반송 스테이지를 포함하고,
    상기 반송 스테이지로부터 상기 제1 스테이지로 상기 기판이 이송될 때, 상기 제1 스테이지의 상류단이 상기 반송 스테이지의 하류단에 비하여 낮아지도록 상기 제1 스테이지가 경사지거나 상기 반송 스테이지의 위치보다 낮은 위치로 상기 제1 스테이지가 하강되는 것을 특징으로 하는 기판 절단 장치.
  4. 청구항 1 또는 2에 있어서,
    상기 제2 이송 유닛은 상기 기판을 지지하면서 이송하도록 구성되는 제2 스테이지를 포함하고,
    상기 제2 플레이트로부터 상기 제2 스테이지로 상기 기판이 이송될 때, 상기 제2 스테이지의 상류단이 상기 제2 플레이트의 하류단에 비하여 낮아지도록 상기 제2 스테이지가 경사지거나 상기 제2 플레이트의 위치보다 낮은 위치로 상기 제2 스테이지가 하강되는 것을 특징으로 하는 기판 절단 장치.
KR1020200054479A 2020-05-07 2020-05-07 기판 절단 장치 KR20210136357A (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020200054479A KR20210136357A (ko) 2020-05-07 2020-05-07 기판 절단 장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020200054479A KR20210136357A (ko) 2020-05-07 2020-05-07 기판 절단 장치

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20210136357A true KR20210136357A (ko) 2021-11-17

Family

ID=78702849

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020200054479A KR20210136357A (ko) 2020-05-07 2020-05-07 기판 절단 장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR20210136357A (ko)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN107265839B (zh) 划片设备
KR102048627B1 (ko) 기판 이송 장치 및 그 방법
TW201837000A (zh) 基板加工裝置
KR102310157B1 (ko) 스크라이빙 장치
JP2007112626A (ja) 基板搬送装置及び基板検査装置並びに基板搬送方法
TWI697068B (zh) 基板切割裝置
KR20190059574A (ko) 기판 절단 장치
KR20180069676A (ko) 기판 절단 장치
JP5001633B2 (ja) プリント基板保持方法および装置
KR20160090766A (ko) 전사 장치 및 전사 방법
KR20210136357A (ko) 기판 절단 장치
KR20180069677A (ko) 기판 절단 장치
CN109824261B (zh) 基板切割装置及基板切割方法
KR102353206B1 (ko) 스크라이빙 장치
KR102353207B1 (ko) 스크라이빙 장치
CN107265838B (zh) 划片设备
CN212892714U (zh) 基板移送装置
KR20190037830A (ko) 기판 절단 장치
KR20190018079A (ko) 스크라이빙 장치
KR20190018080A (ko) 스크라이빙 장치
KR102353208B1 (ko) 기판 절단 장치의 제어 방법
KR102341796B1 (ko) 기판 절단 장치
TW202024809A (zh) 一種基板交接裝置及基板交接方法
KR102267730B1 (ko) 스크라이브 장치의 제어 방법
WO2021124862A1 (ja) 検査装置

Legal Events

Date Code Title Description
E601 Decision to refuse application