KR102310157B1 - 스크라이빙 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기판을 클램핑하여 이송하는 기판 이송 유닛과 이송 벨트 사이의 간섭을 줄이고, 이송 벨트 상에서 이송되는 기판의 손상을 방지하기 위한 스크라이빙 장치에 관한 것이다.

Description

스크라이빙 장치{SCRIBING APPARATUS}
본 발명은 기판을 클램핑하여 이송하는 기판 이송 유닛과 이송 벨트 사이의 간섭을 줄이고, 이송 벨트 상에서 이송되는 기판의 손상을 방지하기 위한 스크라이빙 장치에 관한 것이다.
일반적으로 평판형 디스플레이로 이용되는 LCD, 유기EL 패널, 무기EL 패널, 투과형 프로젝터 기판 또는 반사형 프로젝터 기판 등은 유리와 같은 취성의 마더 글래스 패널(이하 "기판" 이라 함)로부터 소정 크기로 절단된 단위 글래스 패널(이하 "단위 기판" 이라 함)을 사용한다.
기판의 절단은 기판의 표면에 형성된 절단 예정선을 따라 다이아몬드와 같은 재질의 스크라이빙 휠을 가압 이동시켜 스크라이빙 라인을 형성하는 스크라이빙 공정과 스크라이빙 라인을 따라 기판을 절단하여 단위 기판을 수득하는 브레이킹 공정을 통해 이루어진다.
상술한 기판의 절단은 일반적으로 벨트 타입의 스크라이빙 장치를 통해 수행된다.
일반적인 벨트 타입의 스트라이브 장치는 각각의 공정에 대한 벨트를 개별적으로 구비한다.
예를 들어, 반송 유닛에 의해 어느 하나의 벨트로 기판이 공급되어 이송 방향을 따라 반송되고, 반송된 기판을 다른 벨트에서 이어 받아 스크라이빙 공정을 수행하고, 이어서 스크라이빙된 기판을 다른 벨트에서 이어 받이 브레이킹 공정 및 픽업 공정 등을 수행하게 된다.
이 때, 각 벨트들 사이에서 예를 들어, 스크라이빙 또는 브레이킹과 같은 공정이 수행되는 경우도 있기 때문에 소정의 간격만큼 이격 공간이 형성하도록 배치될 수 밖에 없다.
이와 같이 각 벨트들이 서로 소정의 간격만큼 이격되어 배치될 경우, 스크라이빙된 기판 또는 브레이킹된 단위 기판이 이격 공간을 통과할 때, 단위 기판을 감싸는 더미가 벨트들 사이의 이격 공간을 통해 떨어지거나 또는 각 벨트들 간 평탄도 내지는 높이가 상이하여 이송되는 기판들의 정렬 상태가 어긋나는 문제점이 있었다.
또한, 기판을 절단하여 단위 기판을 수득한 후 이를 벨트 상에서 이송할 때, 선행 단위 기판과 후행 단위 기판이 충돌하여 손상되는 문제점이 빈번히 발생하고 있다.
이는 기판과 벨트 사이에 소정의 마찰력이 존재하며, 일반적으로 벨트는 신축이 가능한 소재로 제조되기 때문에, 실제 벨트의 구동 시점과 기판의 이동 시점 사이에는 시간차가 존재하기 때문이다.
이를 해결하기 위해, 선행 벨트와 후행 벨트를 동기화하여 동시에 동일한 속도로 구동시키는 시도가 이루어진 바 있으나, 실제 공정에 적용할 경우, 기판의 무게에 의해 벨트가 신축되는 문제를 막을 수 없어 상술한 문제점은 여전히 존재하였다.
또한, 복수의 단위 공정의 정확성을 유지하기 위해 이송 벨트의 상면에 기판의 저면 전체가 안정적으로 안착되는 것이 중요하다.
다만, 기판의 일 단부가 클램핑 유닛 등에 의해 클램핑되어 이송될 경우, 클램핑 유닛에 의해 클램핑된 기판의 일 단부가 이송 벨트 상에 완전히 안착되기 전에 클램핑이 해제되기 때문에 이송 벨트의 상면에 기판의 저면 전체가 안정적으로 안착되지 못하는 문제가 종종 발생하였다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 본 발명은 기판을 클램핑하여 이송하는 기판 이송 유닛과 이송 벨트 사이의 간섭을 줄일 수 있는 스크라이빙 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 후속 공정을 수행하기 위해 서로 이격 배치된 이송 벨트 사이에서 클램핑 유닛 등에 의해 클램핑되어 이송되는 기판의 저면 전체가 후속의 이송 벨트의 상면에 안정적으로 안착된 상태로 전달될 수 있는 스크라이빙 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 기판이 스크라이빙 또는 브레이킹에 의해 단위 기판으로 절단된 후 벨트에 의해 이송될 때, 각 단위 기판들 사이의 충돌을 방지함으로써 불량률을 감소시키기 위한 스크라이빙 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기와 같은 기술적 과제를 해결하기 위해, 본 발명의 일 측면에 따르면, 기판을 공급받아 이송 경로를 따라 상기 기판을 이송하는 기판 공급부, 상기 기판 공급부와 이격 배치되며, 상기 기판 공급부로부터 공급된 기판을 전달받아 상기 기판이 후속 공정 영역에 위치하도록 이송 경로를 따라 상기 기판을 연속적으로 이송하는 기판 이송부, 상기 기판을 클램핑하는 복수의 클램핑 유닛을 구비하며, 상기 이송 경로를 따라 상기 기판을 이송하도록 이동하는 기판 이송 유닛 및 상기 기판 공급부와 상기 기판 이송부에 각각 구비되는 제1 이송 벨트와 제2 이송 벨트를 포함하되, 상기 제1 이송 벨트와 상기 제2 이송 벨트는 상기 기판을 클램핑하는 상기 복수의 클램핑 유닛을 수용하여 상기 기판의 저면이 상기 제1 이송 벨트와 상기 제2 이송 벨트의 상면에 안착되도록 하는 스크라이빙 장치가 제공될 수 있다.
상기 기판은 상기 기판 공급부의 제1 이송 벨트에 수직 또는 수평 방향으로 공급될 수 있다.
상기 제1 이송 벨트와 상기 제2 이송 벨트는 상기 기판의 저면이 상기 이송 벨트 몸체에 안착되도록 하기 위해 상기 복수의 클램핑 유닛을 수용하는 수용부를 구비할 수 있다.
상기 수용부는 상기 복수의 클램핑 유닛을 수용하기 위한 복수의 홈을 구비하며, 상기 수용부는 상기 기판 이송 유닛이 연속적으로 수용될 수 있도록 상기 이송 벨트 몸체에 소정의 간격을 두고 이격되어 배치될 수 있다.
상기 소정의 간격은 상기 기판 이송부의 구동 거리와 비례하도록 설정될 수 있다.
상기 제1 이송 벨트와 상기 제2 이송 벨트는 평벨트일 수 있다.
상기 기판을 이송 방향과 직교하는 방향으로 절단하도록 상기 기판 공급부와 상기 기판 이송부 사이에 배치된 스크라이빙 유닛 및 상기 제2 이송 벨트 내 적어도 하나의 위치에서 상기 제2 이송 벨트를 가압 또는 감압하여 상기 제2 이송 벨트의 구동 속도를 제어하는 공정 제어 유닛을 더 포함하며, 상기 기판은 상기 스크라이빙 유닛에 의해 절단되어 상기 제1 이송 벨트 상에 안착된 제1 단위 기판과 상기 제2 이송 벨트 상에 안착된 제2 단위 기판을 형성할 수 있다.
상기 공정 제어 유닛에 의해 상기 제1 이송 벨트와 상기 제2 이송 벨트가 서로 비동기식으로 제어됨에 따라, 상기 제1 단위 기판과 상기 제2 단위 기판은 서로 접촉된 상태에서 후속 공정 영역에 위치하도록 연속적으로 이송될 수 있다.
상기 공정 제어 유닛에 의해 상기 제1 이송 벨트와 상기 제2 이송 벨트가 서로 비동기식으로 제어됨에 따라, 상기 제1 단위 기판과 상기 제2 단위 기판은 서로 이격된 상태에서 후속 공정 영역에 위치하도록 연속적으로 이송될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 기판을 클램핑하여 이송하는 기판 이송 유닛과 이송 벨트 사이의 간섭을 줄일 수 있어 안정적인 이송이 가능하도록 한다.
또한, 본 발명은 후속 공정을 수행하기 위해 서로 이격 배치된 이송 벨트 사이에서 클램핑 유닛 등에 의해 클램핑되어 이송되는 기판의 저면 전체가 후속의 이송 벨트의 상면에 안정적으로 안착된 상태로 전달될 수 있도록 한다.
또한, 본 발명은 기판이 스크라이빙 또는 브레이킹에 의해 단위 기판으로 절단된 후 벨트에 의해 이송될 때, 각 단위 기판들 사이의 충돌을 방지함으로써 단위 기판들에 원하지 않는 손상이 발생하는 것을 방지할 수 있다.
또한, 본 발명은 웨이트 롤러를 적용하여 이송 벨트의 이동 방향을 제어하고, 기판 이송시 이송 벨트 자체의 장력을 일정하게 유지하여 벨트의 신축 문제를 해결하고 일정한 장력을 유지하도록 할 수 있다.
또한, 본 발명은 웨이트 롤러를 적용하여 이송 벨트가 이동되는 도중에 슬립이 발생하는 것을 효과적으로 방지할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 스크라이빙 장치를 개략적으로 나타낸 평면도이다.
도 2a 및 도 2b는 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 이송 벨트와 제2 이송 벨트를 개략적으로 나타낸 사시도이다.
도 3a 내지 도 3c는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판의 이송 과정을 개략적으로 나타낸 것이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 가이드를 나타낸 것이다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 가이드를 나타낸 것이다.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판의 이송 과정을 개략적으로 나타낸 것이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이트 롤러를 나타낸 것이다.
도 8 및 도 9는 각각 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 기판의 이송 과정을 개략적으로 나타낸 것이다.
도 10a 내지 도 10d는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판의 이송 및 절단 과정을 개략적으로 나타낸 것이다.
도 11a 내지 도 11e는 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판의 이송 및 절단 과정을 개략적으로 나타낸 것이다.
본 발명을 더 쉽게 이해하기 위해 편의상 특정 용어를 본원에 정의한다. 본원에서 달리 정의하지 않는 한, 본 발명에 사용된 과학 용어 및 기술 용어들은 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 의미를 가질 것이다. 또한, 문맥상 특별히 지정하지 않는 한, 단수 형태의 용어는 그것의 복수 형태도 포함하는 것이며, 복수 형태의 용어는 그것의 단수 형태도 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
제1, 제2 등과 같이 서수를 포함하는 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 해당 구성요소들은 이와 같은 용어들에 의해 한정되지는 않는다. 이 용어들은 하나의 구성요소들을 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 스크라이빙 장치의 구성과 이를 이용한 기판의 이송 및 절단 공정의 원리를 보다 상세히 설명하도록 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 스크라이빙 장치를 개략적으로 나타낸 평면도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 스크라이빙 장치는 크게 기판(P)을 공급받아 이송 경로를 따라 기판(P)을 이송하는 기판 공급부(100) 및 기판 공급부(100)와 이격 배치되며 기판 공급부(100)로부터 기판(P)을 전달받아 기판(P)이 후속 공정 영역에 위치하도록 이송 경로를 따라 기판(P)을 연속적으로 이송하는 기판 이송부(200)를 구비한다.
기판 공급부(100)와 기판 이송부(200)에는 각각 제1 이송 벨트(110)와 제2 이송 벨트(210)가 무한궤도 회전 가능하도록 구비된다. 여기서, 제1 이송 벨트(110)와 제2 이송 벨트(210)는 서로 수평을 이루어 나란히 배치된다.
즉, 제1 이송 벨트(110)와 제2 이송 벨트(210)가 형성된 높이 사이에는 단차가 없으며, 제1 이송 벨트(110)와 제2 이송 벨트(210)가 형성된 높이 사이에 단차가 존재할 경우, 이는 이송되는 기판(P)에 충격을 줄 수 있는 요인으로 작용하여 기판 이송 과정에서의 불량을 초래할 수 있다.
그리고, 기판 공급부(100)와 기판 이송부(200) 상에서 이송 경로를 따라 기판(P)을 이송하도록 이동하는 기판 이송 유닛(120)이 구비된다.
반송 유닛 등에 의해 기판 공급부(100)로 공급된 기판(P)은 기판 이송 유닛(120)에 의해 파지되어 이송 방향을 따라 소정의 속도로 이송하게 된다. 이 때, 기판 이송 유닛(120)은 기판(P)의 일 단부를 클램핑하기 위한 복수의 클램핑 유닛(121)를 구비한다.
기판 이송 유닛(120)에 의해 일 단부가 클램핑된 상태로 기판(P)은 기판 이송부(200)로 전달된다. 기판 이송 유닛(120)에 의해 기판 이송부(200)로 전달된 기판(P)은 후속 공정을 위해 이송 방향을 따라 다시 이송된다.
도 2a 및 도 2b는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 공급부(100)와 기판 이송부(200)에 각각 구비된 제1 이송 벨트(110)와 제2 이송 벨트(210)를 개략적으로 나타낸 사시도이다.
도 2a와 도 2b를 참조하면, 기판 공급부(100)와 기판 이송부(200)에 각각 무한궤도 회전 가능하도록 구비된 이송 벨트(110, 210)에는 기판 이송 유닛(120)의 복수의 클램핑 유닛(121)을 수용하기 위한 수용부(130, 290)와 이송 벨트(110, 210)의 회전 구동을 지지하기 위한 가이드 롤러(140, 240)가 각각 구비된다.
여기서, 가이드 롤러는 적어도 각 이송 벨트(110, 210)의 양단부의 상하로 이격 배치되어 이송 벨트(110, 210)의 좌측단과 우측단에서 회전 구동을 지지할 수 있다.
수용부(130, 290)는 복수의 클램핑 유닛(121)을 수용하기 위한 복수의 홈(131, 291)을 구비하며, 이송 벨트(110, 210)의 폭 방향을 기준으로 복수의 홈(131, 291)은 각 클램핑 유닛(121)이 서로 이격된 간격만큼 이격되어 배치된다. 이송 벨트(110, 210)와 기판 이송 유닛(120)의 간섭을 방지하기 위해 홈(131, 291)의 폭은 적어도 클램핑 유닛(121)의 폭보다 넓게 구비되는 것이 바람직하다.
또한, 수용부(130, 290)는 기판 이송 유닛(120)이 연속적으로 수용될 수 있도록 이송 벨트(110, 210)의 길이 방향을 따라 소정의 간격(d)을 두고 이격되어 배치된다.
여기서, 간격(d)는 기판 공급부(100)의 회전 구동에 따른 기판(P)의 이송 속도, 기판 이송 유닛(120)의 이송 속도 및 구동 거리 등에 비례하도록 설정될 수 있다.
이송 벨트(110, 210)는 평벨트로 구성될 수 있다.
일반적으로 길이 방향으로 연장하는 복수의 벨트들이 나란히 배치된 형태의 벨트가 사용되고 있으나, 이 경우, 복수의 벨트들의 평탄도(높이)를 동일하게 유지시킬 필요가 있다.
만약, 복수의 벨트들의 높이가 상이할 경우, 기판은 이송되는 동안 벨트 상에 안정적으로 안착될 수 없으며, 이는 기판의 정렬 불량 등과 같은 문제점을 초래하여 후속 공정의 부정확성을 증가시킬 수 있다.
따라서, 본 발명에서는 기판(P)을 안착시키기 위한 벨트를 평벨트로 구성함으로써 각 이송 벨트 상에서 이송되는 기판(P)의 저면 전체를 안착시킬 수 있다.
또한, 이송 벨트(110, 210)를 구성하는 평벨트는 무한궤도 형태로 회전이 가능하게 구비되는데, 이 때 평벨트는 무한궤도 형태를 가지기 위해 양 끝단이 서로 접착제에 의해 접착된 형태를 가지게 된다.
다만, 평벨트의 양 끝단을 접착할 때, 접착제에 의한 접착면은 평벨트의 하면(즉, 기판(p)과 접촉하지 않는 영역)에 존재하도록 하여야 한다. 만약 접착면에 기판(P)이 안착되는 평벨트의 상면에 형성될 경우, 접착면이 형성된 영역과 그렇지 않은 영역은 기판(P)과의 마찰력이 상이할 수 밖에 없으며, 이는 기판(P)이 안착되는 위치에 따라 평벨트의 장력이 달라지는 결과를 초래할 수 있다.
반송 유닛으로부터 기판(P)은 기판 이송 유닛(120)에 의해 일 단부가 파지되어 기판 공급부(100) 로 공급되는데, 이 때 기판 이송 유닛(120)은 수직 또는 수평 방향으로 기판(P)을 공급할 수 있다.
즉, 기판 공급부(100)의 시작 지점에 수용부(130)가 위치할 때, 기판 이송 유닛(120)은 이송 벨트(110)의 수용부(130)에 구비된 복수의 홈(131)에 복수의 클램핑 유닛(121)이 수용되도록 이송 방향을 따라 기판 공급부(100)와 수평하게 이동할 수 있다.
다른 변형예에 있어서, 기판 공급부(100)의 시작 지점에 수용부(130)가 위치할 때, 기판 이송 유닛(120)은 이송 벨트(110)의 수용부(130)에 구비된 복수의 홈(131)에 복수의 클램핑 유닛(121)이 수용되도록 기판 공급부(100)의 상부로부터 수직으로 이동할 수 있다.
이와 같이, 기판 이송 유닛(120)은 기판 공급부(100)에 대하여 수직 또는 수평 방향으로 기판(P)을 공급할 수 있으며, 이에 따라 다양한 형태의 장치에 응용되는 것이 가능하다. 또한, 경우에 따라서는 기판 이송 유닛(120)이 기판 공급부(100)에 대하여 수직 방향으로 기판(P)을 공급하도록 구성됨에 따라 전체 장치의 사이즈를 줄일 수도 있다.
상술한 바와 같이, 기판 이송 유닛(120)은 이송 벨트(101)의 수용부(130)에 구비된 복수의 홈(131)에 복수의 클램핑 유닛(121)이 수용되도록 함으로써 클램핑 유닛(121)에 파지된 기판(P)의 저면 전체가 이송 벨트(110) 상에 안정적으로 안착될 수 있도록 한다.
이와 동시에, 복수의 클램핑 유닛(121)은 복수의 홈(131) 내에 수용됨으로써 클램핑 유닛(121)과 이송 벨트(110) 사이의 간섭을 방지할 수 있다.
이어서, 제1 이송 벨트(110)의 회전 구동과 기판 이송 유닛(120)의 이동에 의해 이송 방향으로 이동되는 기판(P)은 기판 이송부(200)로 전달된다.
이 때, 기판 공급부(100)와 기판 이송부(200)의 높이, 즉 제1 이송 벨트(110)와 제2 이송 벨트(210)의 높이는 동일한 것이 바람직하다.
두 이송 벨트(110, 210)가 형성된 높이가 동일함으로써 기판 공급부(100)로부터 기판 이송부(200)로 전달되는 기판(P)에 단차에 따른 충격이 가해질 우려가 없으며, 이에 따라 기판(P)의 정렬 상태가 변하는 문제점을 방지할 수 있다.
기판 공급부(100)의 회전 구동에 의해 복수의 홈(131)이 기판 공급부(100)의 종료 지점에 위치할 때, 기판 이송 유닛(120)의 복수의 클램핑 유닛(121)은 복수의 홈(131)으로부터 이탈할 수 있으며, 기판 이송부(200)의 시작 지점에 복수의 홈(291)이 위치할 때, 복수의 홈(291) 내에 복수의 클램핑 유닛(121)이 수용되도록 이동함으로써 기판(P)을 기판 이송부(200)로 전달할 수 있다.
그리고 나서, 복수의 홈(291) 내에 복수의 클램핑 유닛(121)이 수용된 상태에서 기판 이송 유닛(120)은 기판(P)에 대한 클램핑을 해제함으로써 기판(P)의 저면이 전체적으로 기판 이송부(200) 상의 제2 이송 벨트(210)에 안착되도록 한다.
이 때, 기판 이송 유닛(120)에 의해 클램핑된 상태로 기판 이송부(200)로 전달되는 기판(P)이 바닥으로부터 떨어진 거리는 일정하게 유지됨에 따라 기판 이송부(200)로 전달되는 과정에서 기판(P)이 단차에 따른 충격을 받거나 기판(P)의 정렬 상태가 변하는 문제점을 방지할 수 있다.
제1 이송 벨트(110) 및 제2 이송 벨트(210)의 회전 구동 시점 또는 회전 구동 속도는 서로 비동기식으로 제어될 수 있으나, 기판 공급부(100)로부터 이탈하는 기판 이송 유닛(120)이 기판 이송부(200)의 시작 지점에 도달하는 시간과 기판 이송부(200)의 시작 지점에 복수의 홈(291)이 위치하는 시간은 동기화될 수 있다.
이에 따라, 기판 공급부(100)로부터 기판 이송부(200)로 기판(P)이 전달되는 전체 공정 시간을 획기적으로 단축시킬 수 있으며, 공정 시간의 단축에도 불구하고 기판(P)의 이송 공정의 안정성 역시 높은 수준으로 유지할 수 있다.
이어서, 도 3a 내지 도 3c를 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 기판의 이송 과정을 설명하도록 한다.
우선, 기판 이송부(200)의 전단에는 제1 이송 벨트(110)에 의해 이송되는 기판(P)을 스크라이빙 또는 절단할 수 있는 스크라이빙 유닛(150)이 마련된다.
스크라이빙 유닛(150)은 기판(P)에 스크라이빙 라인을 형성하기 위한 스크라이빙 휠을 구비하며, 스크라이빙 휠은 기판(P)의 이송 방향(일반적으로, Y축 방향)과 이송 방향과 교차하는 방향(일반적으로, X축 방향)을 따라 기판(P)에 스크라이빙 라인을 형성한다. 이 때, 스크라이빙 라인의 형성과 함께 기판(P)이 각각의 단위 기판으로 절단되는 공정 역시 동일한 영역 내에서 수행될 수 있다.
또한, 기판 이송부(200) 상에는 후속 공정이 이루어지는 영역이 형성될 수 있다. 또한, 후속 공정이 이루어지는 영역에는 해당 공정을 수행하기 위한 유닛이 마련될 수 있다.
예를 들어, 후속 공정으로는 스크라이빙 라인이 형성된 기판을 각 단위 기판 별로 브레이킹하는 브레이킹 공정 및 각 단위 기판을 픽업하는 픽업 공정이 있다. 여기서, 브레이킹 공정과 픽업 공정은 순차적으로 수행될 수 있으며, 이 때, 기판 이송부(200) 상에서 스크라이브 유닛(150)의 후방에는 브레이킹 유닛(250)이 배치되고, 브레이킹 유닛(250)의 후방에는 픽업 유닛(260)이 마련될 수 있다.
도 3a를 참조 하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 스크라이빙 장치는 공정 제어 유닛(300)을 더 포함한다.
공정 제어 유닛(300)은 제2 이송 벨트(210)의 적어도 하나 이상의 위치에서 제2 이송 벨트(210)를 가압하거나 가압을 해제하여 제2 이송 벨트(210)의 이동을 제어하도록 구성된다.
공정 제어 유닛(300)은, 크게 제1 웨이트 롤러(310), 제2 웨이트 롤러(320), 구동 롤러(330) 및 벨트 클램프(340)를 구비한다.
제1 웨이트 롤러(310)는 제2 이송 벨트(210)의 상부에 배치되어, 자중에 의해 하방으로 이동되면서 제2 이송 벨트(210)를 제1 압력으로 가압하거나 가압을 해제하여 제2 이송 벨트(210)의 이동 방향을 제어하도록 구성된다.
제1 웨이트 롤러(310)는 제2 이송 벨트(210)의 전단과 후속 공정이 이루어지는 영역 사이에 배치될 수 있으며, 여기서 제1 웨이트 롤러(310)는 제2 이송 벨트(210)의 상면과 직교를 이루는 수직 축 방향을 따라 승하강이 가능하도록 마련된다.
제1 웨이트 롤러(310)의 승하강 이동은 가이드에 의해 안내될 수 있으며, 가이드의 구성은 후술하기로 한다.
제2 웨이트 롤러(320)는 제2 이송 벨트(210)의 전단과 후속 공정이 이루어지는 영역의 후단 사이에서 제2 이송 벨트(210)와 수평을 이루는 수평축을 따라 이동 가능하도록 마련된다.
특히, 제2 웨이트 롤러(320)는 제2 이송 벨트(210)의 내부에 배치되어 수평축을 따라 이동 가능하도록 마련된다. 이에 따라, 제2 이송 벨트(210)의 상하 사이즈를 축소하여 전체 장치의 사이즈를 줄일 수 있다.
제2 웨이트 롤러(320)는 수평 축을 따라 이동하면서 제2 이송 벨트(210)를 제 2 압력으로 가압하여 제2 이송 벨트(210)의 이동 방향을 제어할 수 있다. 제2 웨이트 롤러(320)에 의해 제2 이송 벨트(210)에 가해지는 제2 압력은 제1 웨이트 롤러(310)에 의한 제1 압력보다 클 수 있다. 이 때, 제2 웨이트 롤러(320)는 외부 구동력에 의해 강제 이동되도록 구성될 수 있다.
또한, 외부 구동력을 발생시키는 장치는 수평 축을 따라 신축 가능한 축(510)을 가지는 실린더(500) 또는 탄성 스프링이 적용되어 직선 구동력 또는 탄성력을 발생시키는 장치로 구현될 수 있다.
예를 들어, 외부 구동력을 발생시키는 장치로서 실린더(500)를 사용하는 경우, 제2 웨이트 롤러(320)는 신축 가능한 축(510)의 단부에 회전 가능하게 설치된다.
구동 롤러(330)는 제2 이송 벨트(210)의 전단과 제2 웨이트 롤러(320) 사이에 배치되며, 제2 이송 벨트(210)를 강제 회전 또는 구동시킨다.
벨트 클램프(340)는 이송 방향을 기준으로 제1 웨이트 롤러(310)의 전방 및/또는 후방에 설치되어, 각 그립 위치에서 제2 이송 벨트(210)의 이동을 저지하도록 해당 위치에서 제2 이송 벨트(210)를 그립하는 장치이다.
벨트 클램프(340)는 이송 방향을 기준으로 제1 웨이트 롤러(310)의 전방 및 후방에 각각 배치되는 제1 벨트 클램프(341) 및 제2 벨트 클램프(342)로 구성되며, 제1 벨트 클램프(341)와 제2 벨트 클램프(342)는 승하강 이동이 가능하도록 마련될 수 있다.
도면에 도시되지는 않았지만, 상기 벨트 클램프(340)는 승강 장치에 의해 해당 그립 위치에서 제2 이송 벨트(210)를 그립 또는 그립 해제하도록 승강됨으로써, 제2 이송 벨트(210)의 이동을 강제 중지 또는 해제하는 장치이다.
이어서, 도 3b 및 도 3c를 참조하면, 제2 이송 벨트(210)는 구동 롤러(330)의 구동에 따라 무한궤도 회전된다.
기판(P)은 제2 이송 벨트(210)의 전단에서 스크라이브 유닛(150)에 의해 스크라이빙될 수 있으며, 이송 방향을 따라 이동한다.
이 때, 제1 웨이트 롤러(310)는 제2 이송 벨트(210)를 가압하지 않는 상태를 이루고, 제2 벨트 클램프(342)는 제2 이송 벨트(210)의 그립 상태를 해제한 상태를 이루며, 제1 웨이트 롤러(310)는 상승된 상태를 이룬다. 즉, 제1 웨이트 롤러(310)는 제2 이송 벨트(210)를 제1 압력으로 가압하지 않는다.
이와 동시에, 제2 웨이트 롤러(320)는 축(510)의 단부에 회전 가능하게 설치되며, 실린더(500)의 축(510)이 삽입됨으로 인해, 수평 축 방향을 따라 직선 이동된다.
따라서, 제2 웨이트 롤러(320)는 제2 이송 벨트(210)를 제2 압력으로 가압하는 상태를 이루도록 이동한다. 즉, 제2 웨이트 롤러(320)는 제2 이송 벨트(210)의 내부에 배치된 상태에서, 제2 이송 벨트(210)를 제2 압력으로 가압하기 위해 소정의 길이만큼 당기는 역할을 한다.
여기서, 외부 구동력에 의해 구동되는 제2 웨이트 롤러(320)를 통해 제2 이송 벨트(210)로 가해지는 제2 압력은 제1 압력 보다 크게 형성되어, 제2 이송 벨트(210) 의 장력을 일정하게 유지하는 것이 가능하다.
이와 같이, 기판(P)을 이송하는 제2 이송 벨트(210)의 장력이 일정하게 유지될 경우, 제2 이송 벨트(210)가 회전 구동을 시작하는 시점과 제2 이송 벨트(210) 상에 안착된 기판(P)이 이송되는 시점을 일치시키는 것이 가능하므로, 제2 이송 벨트(210) 상에 복수의 단위 기판들이 연속적으로 안착되어 있을 경우, 각 단위 기판들 간 충돌을 방지할 수 있다.
상술한 실시예에 있어서, 제1 웨이트 롤러(310)는 가이드(400)에 의해 상하로의 직선 이동이 안내될 수 있다. 또한, 별도로 도시하지는 않았으나, 제2 웨이트 롤러(330)
본 발명의 일 실시예에 따른 가이드를 나타낸 도 4를 참조 하면, 가이드(400)는 제1 웨이트 롤러(310)의 수직 축 승하강 이동을 안내하는 장치이다.
여기서, 제1 웨이트 롤러(310)는 중공 형상의 제1 웨이트 롤러 몸체(311) 및 제1 웨이트 롤러 몸체(311)의 중공에 회전 가능하도록 삽입 설치되며, 양단이 제1 웨이트 롤러 몸체(311)의 양단으로 돌출되는 제1 회전축(312)을 구비한다.
가이드(400)는 제1 웨이트 롤러 몸체(311)의 양단측에 위치되는 한 쌍의 가이드 몸체(410)를 구비하며, 가이드 몸체(410)는 기판 이송부(200)에 마련된다.
가이드 몸체(410)에는 수직 방향을 따르고 제1 회전축(312)의 양단이 끼워진 상태로 수직 방향 축을 따라 제1 웨이트 롤러(310)의 승강 이동을 안내하는 일정 길이의 안내홀(420)이 형성된다.
또한, 별도로 도시하지는 않았으나, 제2 웨이트 롤러(320)의 수평 축을 따른 이동을 안내하기 위한 가이드 역시 유사한 구성을 채택하여 마련될 수 있다.
본 발명의 다른 실시예에 따른 가이드를 나타낸 도 5를 참조하면, 제 1회전축(312)의 양단에 한 쌍의 피니언 기어(430)가 설치되는 가이드(400')가 적용될 수도 있다. 가이드 몸체(410)에는 한 쌍의 피니언 기어(430)가 기어 연결되는 한 쌍의 랙(440)이 설치된다.
따라서, 제1 웨이트 롤러(310)가 승강되는 경우, 피니언(430)이 랙(440)과 기어 연결되기 때문에, 승강시 제1 회전축(312)의 양단이 뒤틀리는 등의 문제를 방지할 수 있다.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판의 이송 과정을 개략적으로 나타낸 것이다.
도 6에 따른 실시예에서는 제1 웨이트 롤러(310)와 제2 웨이트 롤러(320) 모두 외부 구동력에 의해 유동될 수도 있다.
제1 웨이트 롤러(310)와 제2 웨이트 롤러(320) 모두 실린더(550, 500)의 축(551, 510)이 신축됨에 의해 강제 유동되는 경우, 제1 웨이트 롤러(310)와 제2 웨이트 롤러(320) 각각은 독립적으로 유동되어 제2 이송 벨트(210)의 대응하는 위치에 제1 압력 및 제2 압력을 가하도록 구성된다.
여기서, 제1 웨이트 롤러(310)를 수직 축을 따라 승하강 이동시키는 실린더(550)는 제2 이송 벨트(210)의 상부 또는 내부에 마련될 수 있다.
도 7을 참조 하면, 제1 웨이트 롤러(310)의 회전축 양단에 실린더(550)의 축(551)이 연결되어, 제1 웨이트 롤러(310)를 승하강 이동시킴으로써, 실린더(550)의 축(551)과 제2 이송 벨트(210) 사이에 간섭이 발생하지 않는다.
이 때, 제1 압력과 제2 압력은 서로 상이한 크기로 가해질 수 있는데, 상대적으로 작은 크기의 압력이 가해지는 웨이트 롤러에 의해 제2 이송 벨트(210)의 장력이 일정 수준으로 유지될 수 있다.
도 8은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 기판의 이송 과정을 개략적으로 나타낸 것이다.
도 8을 참조하면, 제1 웨이트 롤러(310)는 제2 이송 벨트(210)의 내부(즉, 상류측 제2 이송 벨트(210)의 하부)에 배치되며, 수직 축을 따라 승하강 이동이 가능하도록 마련된다.
제1 웨이트 롤러(310)는 실린더(600)의 축(610)의 단부에 회전 가능하게 연결되며, 실린더(600)는 축(610)을 신축시켜 제1 웨이트 롤러(310)가 수직 축을 따라 승강될 수 있도록 하며, 이에 따라 제1 웨이트 롤러(310)는 제2 이송 벨트(201)를 제 1 압력으로 가압하게 된다.
도 8에 도시된 상태에서 제1 웨이트 롤러(310)는 제2 이송 벨트(210)를 가압하지 않는 상태로 존재하며, 제1 벨트 클램프(341)와 제2 벨트 클램프(342)는 제2 이송 벨트(210)에 대한 그립을 해제한 상태로 존재한다.
이에 따라, 기판(P)은 구동 롤러(330)의 구동에 의해 이동하는 제2 이송 벨트(210)를 따라 후속 공정 영역으로 이송될 수 있다.
한편, 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 기판의 이송 과정을 개략적으로 나타낸 도 9를 참조하면, 제2 웨이트 롤러(320)는 별도의 실린더(700)를 통한 외부 구동력을 통해 수직 축을 따라 승하강 이동할 수 있으며, 이에 따라 제2 이송 벨트(210)에 대하여 제2 압력을 가할 수 있다. 축(710)은 실린더(700)로부터 신축되며 단부에 제2 웨이트 롤러(320)가 연결된다.
이어서, 기판이 스크라이빙 또는 브레이킹에 의해 단위 기판으로 절단된 후 이송 벨트에 의해 이송될 때, 각 단위 기판들 사이의 충돌을 방지함으로써 단위 기판들에 원하지 않는 손상이 발생하는 것을 방지하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 기판의 이송 및 절단 과정을 설명하도록 한다.
우선, 본 발명의 일 실시예에 따른 스크라이빙 장치를 구성하는 기판 공급부(100)와 기판 이송부(200)에 각각 구비된 제1 이송 벨트(110)와 제2 이송 벨트(210)는 안착된 기판(P)을 이송 방향을 따라 이송시키기 위해 회전 구동한다.
이 때, 제1 이송 벨트(110)와 제2 이송 벨트(210)의 회전 구동은 서로 비동기식으로 제어된다.
여기서, 비동기식으로 제어된다는 것은 제1 이송 벨트(110)와 제2 이송 벨트(210)의 회전 구동이 동시에 시작하지 않는, 즉, 제1 이송 벨트(110)의 회전 구동 시작 시점과 제2 이송 벨트(210)의 회전 구동 시작 시점이 서로 상이한 것을 의미할 수 있다. 또한, 제1 이송 벨트(110)의 회전 구동 속도와 제2 이송 벨트(210)의 회전 구동 속도가 서로 상이한 것을 의미할 수도 있다.
제1 이송 벨트(110)와 제2 이송 벨트(210)의 회전 구동 시작 시점 또는 회전 구동 속도 등은 기판 공급부(100)와 기판 이송부(200)에 각각 구비되거니 일체로 구비된 공정 제어 유닛(300)에 의해 제어될 수 있다. 공정 제어 유닛(300)으로는 상술한 다양한 실시예 중 하나가 적용될 수 있다.
도 10a 내지 도 10d는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판의 이송 및 절단 과정을 개략적으로 나타낸 것이다.
도 10a를 참조하면, 기판 공급부(100)으로 공급된 기판(P)이 안착된 제1 이송 벨트(110)는 무한궤도 회전한다.
도 10b를 참조하면, 제1 이송 벨트(110)의 회전 구동에 의해 기판(P)이 일 방향으로 이송되어 제1 이송 벨트(110)와 제2 이송 벨트(210) 상에 동시에 안착된다.
여기서, 제1 이송 벨트(110)와 제2 이송 벨트(210) 사이의 이격된 간격은 스크라이빙 유닛(150)이 접촉하기 위한 공간을 제공하며, 스크라이빙 유닛(150)은 기판(P)의 이송 방향과 직교하는 방향으로 기판(P)의 상면 및/또는 하면을 절단한다.
이에 따라, 제1 이송 벨트(110) 상에 안착된 제1 단위 기판(P1)과 제2 이송 벨트(110) 상에 안착된 제2 단위 기판(P2)이 생성된다.
도 10c를 참조하면, 스크라이빙 유닛(150)에 의해 기판(P)의 절단이 완료된 후, 제1 이송 벨트(110)의 무한궤도 회전(①)에 의해 제1 단위 기판(P1)과 제2 단위 기판(P2)은 서로 접촉된 상태에서 기판 이송부(200)의 제2 이송 벨트(110) 상에 안착되도록 동시에 이송된다.
이 때, 제1 이송 벨트(110)와 제2 이송 벨트(110)는 비동기식으로 제어되어 제1 이송 벨트(110)는 무한궤도 회전을 하되, 제2 이송 벨트(110)는 멈춘 상태로 유지된다.
또한, 기판 이송 유닛(120)과 제1 이송 벨트(110)는 서로 비동기식 또는 동기식으로 제어될 수 있다. 예를 들어, 제1 이송 벨트(110)가 먼저 무한궤도 회전을 시작하고, 이어서 기판 이송 유닛(120)이 이동할 수 있다.
제1 이송 벨트(110)의 무한궤도 회전과 기판 이송 유닛(120)의 이동에 의해 제1 단위 기판(P1)과 제2 단위 기판(P2)은 접촉된 상태로 모두 기판 이송부(200)의 제2 이송 벨트(110) 상에 안착된다.
이 때, 상술한 바와 같이, 복수의 홈(131)이 기판 공급부(100)의 종료 지점에 위치할 때, 기판 이송 유닛(120)의 복수의 클램핑 유닛(121)은 복수의 홈(131)으로부터 이탈할 수 있으며, 기판 이송부(200)의 시작 지점에 복수의 홈(291)이 위치할 때, 복수의 홈(291) 내에 복수의 클램핑 유닛(121)이 수용되도록 이동함으로써 제1 단위 기판(P1)과 제2 단위 기판(P2)을 모두 기판 이송부(200)로 전달할 수 있다.
이어서, 도 10d를 참조하면, 제2 이송 벨트(110)의 무한궤도 회전(②)에 의해 제1 단위 기판(P1)과 제2 단위 기판(P2)은 서로 접촉된 상태로 이송 방향을 따라 후속 공정으로 이송된다.
도 10a 내지 도 10d에 도시된 본 발명의 일 실시예에 따른 기판의 이송 및 절단 과정은 제1 이송 벨트(110)와 제2 이송 벨트(210)와 안착되는 기판(P) 사이의 마찰력, 특히 제2 이송 벨트(110)와 여기에 안착되는 제2 단위 기판(P2) 사이의 마찰력에 의해 제2 이송 벨트(110)의 구동 시점과 이에 안착된 제2 단위 기판(P2)의 실제 이동 시점 사이에 시간차가 발생하는 점을 고려하여 제1 단위 기판(P1)과 제2 단위 기판(P2)이 제2 이송 벨트(110)의 신축에 의해 충돌과 이격을 반복하는 것을 방지하기 위해 제1 이송 벨트(110)와 제2 이송 벨트(210)의 회전 구동을 서로 비동기식으로 제어하는데 특징이 있다.
즉, 제1 이송 벨트(110)와 제2 이송 벨트(210) 상에 동시에 안착된 기판(P)이 제1 단위 기판(P1)과 제2 단위 기판(P2)으로 절단된 상태에서 제1 이송 벨트(110)를 제2 이송 벨트(210)보다 먼저 회전 구동시킴으로써 제1 단위 기판(P1)과 제2 단위 기판(P2) 모두 제2 이송 벨트(210) 상에 서로 접촉된 상태로 이송될 수 있도록 하는 것이다.
도 11a 내지 도 11e는 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판의 이송 및 절단 과정을 개략적으로 나타낸 것이다.
도 11a를 참조하면, 기판 공급부(100)으로 공급된 기판(P)이 안착된 제1 이송 벨트(110)는 무한궤도 회전한다.
도 11b를 참조하면, 제1 이송 벨트(110)의 회전 구동에 의해 기판(P)이 일 방향으로 이송되어 제1 이송 벨트(110)와 제2 이송 벨트(210) 상에 동시에 안착된다.
여기서, 제1 이송 벨트(110)와 제2 이송 벨트(210) 사이의 이격된 간격은 스크라이빙 유닛(150)이 접촉하기 위한 공간을 제공하며, 스크라이빙 유닛(150)은 기판(P)의 이송 방향과 직교하는 방향으로 기판(P)의 상면 및/또는 하면을 절단한다.
이에 따라, 제1 이송 벨트(110) 상에 안착된 제1 단위 기판(P1)과 제2 이송 벨트(110) 상에 안착된 제2 단위 기판(P2)이 생성된다.
도 11c를 참조하면, 스크라이빙 유닛(150)에 의해 기판(P)의 절단이 완료된 후, 제1 이송 벨트(110)는 멈춘 상태에서 제2 이송 벨트(110)의 무한궤도 회전(②)에 의해 제1 단위 기판(P1)과 제2 단위 기판(P2)은 서로 이격되며, 제2 단위 기판(P2)만 제2 이송 벨트(110) 상에 안착되어 이송된다.
이 때, 제1 이송 벨트(110)와 제2 이송 벨트(110)는 비동기식으로 제어되어 제2 이송 벨트(110)는 무한궤도 회전을 하되, 제1 이송 벨트(110)는 멈춘 상태로 유지된다. 마찬가지로, 기판 이송 유닛(120)과 제2 이송 벨트(110) 역시 비동기식으로 제어되어, 기판 이송 유닛(120)은 제1 이송 벨트(110)와 같이 멈춘 상태로 유지된다.
제2 이송 벨트(110)의 무한궤도 회전에 의해 기판 이송 유닛(120)의 이동없이도 제2 단위 기판(P2)은 제1 단위 기판(P1)으로부터 분리되어 기판 이송부(200)의 제2 이송 벨트(110) 상에 안착된 상태로 이송 방향을 따라 이송될 수 있다.
이어서, 도 11d를 참조하면, 제1 이송 벨트(110)의 회전 구동(①)과 제2 이송벨트(210)의 회전 구동(②)에 의해 제1 단위 기판(P1)과 제2 단위 기판(P2)은 모두 이송 방향을 따라 이송될 수 있으며, 이 때, 제1 단위 기판(P1)은 제2 이송 벨트(110) 상에 안착될 수 있다. 기판 이송 유닛(120)에 의해 일 단부가 파지된 제1 단위 기판(P1)이 제2 이송 벨트(110) 상에 안착되는 과정은 전술한 바와 같다.
여기서, 제1 이송 벨트(110)와 제2 이송 벨트(210)는 동일한 시점에 동일한 속도로 회전 구동함으로써 제1 단위 기판(P1)과 제2 단위 기판(P2)은 소정의 간격만큼 이격되어 제2 이송 벨트(110) 상에 안착될 수 있다.
이어서, 도 11e를 참조하면, 제2 이송 벨트(210)의 회전 구동(②)에 의해 제1 단위 기판(P1)과 제2 단위 기판(P2)은 모두 이송 방향을 따라 서로 이격된 상태로 이송된다.
도 11a 내지 도 11e에 도시된 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판의 이송 및 절단 과정은 제2 이송 벨트(110)의 구동 시점과 이에 안착된 제2 단위 기판(P2)의 실제 이동 시점 사이에 시간차가 발생하는 점을 고려하여 제1 이송 벨트(110)와 제2 이송 벨트(210)의 회전 구동을 서로 비동기식으로 제어함으로써 제1 단위 기판(P1)과 제2 단위 기판(P2)이 서로 이격된 상태에서 이송되도록 함에 특징이 있다.
즉, 제1 이송 벨트(110)와 제2 이송 벨트(210) 상에 동시에 안착된 기판(P)이 제1 단위 기판(P1)과 제2 단위 기판(P2)으로 절단된 상태에서 제2 이송 벨트(210)를 제1 이송 벨트(110)보다 먼저 회전 구동시킴으로써 제1 단위 기판(P1)과 제2 단위 기판(P2) 모두 제2 이송 벨트(210) 상에 서로 이격된 상태로 이송될 수 있도록 하는 것이다.
상술한 본 발명의 다양한 실시예에 따라 기판이 스크라이빙 또는 브레이킹에 의해 단위 기판으로 절단된 후 벨트에 의해 이송될 때, 각 단위 기판들이 서로 접촉된 상태를 유지하거나 서로 이격된 상태를 유지하도록 함으로써 각 단위 기판들 사이의 충돌에 의해 불량이 발생하는 것을 방지할 수 있다.
이상, 본 발명의 일 실시예에 대하여 설명하였으나, 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서, 구성 요소의 부가, 변경, 삭제 또는 추가 등에 의해 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있을 것이며, 이 또한 본 발명의 권리범위 내에 포함된다고 할 것이다.

Claims (9)

  1. 기판을 공급받아 이송 경로를 따라 상기 기판을 이송하는 기판 공급부;
    상기 기판 공급부와 이격 배치되며, 상기 기판 공급부로부터 공급된 기판을 전달받아 상기 기판이 후속 공정 영역에 위치하도록 이송 경로를 따라 상기 기판을 연속적으로 이송하는 기판 이송부;
    상기 기판을 클램핑하는 복수의 클램핑 유닛을 구비하며, 상기 이송 경로를 따라 상기 기판을 이송하도록 이동하는 기판 이송 유닛; 및
    상기 기판 공급부와 상기 기판 이송부에 각각 구비되는 제1 이송 벨트와 제2 이송 벨트;를 포함하되,
    상기 제1 이송 벨트, 및 상기 제2 이송 벨트 중 적어도 하나는,
    상기 기판을 클램핑하는 상기 복수의 클램핑 유닛을 수용하기 위한 수용부를 구비하며, 상기 기판의 저면이 상기 제1 이송 벨트와 상기 제2 이송 벨트의 상면에 안착되는,
    스크라이빙 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 기판은 상기 기판 공급부의 제1 이송 벨트에 수직 또는 수평 방향으로 공급되는,
    스크라이빙 장치.
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서,
    상기 수용부는 상기 복수의 클램핑 유닛을 수용하기 위한 복수의 홈을 구비하며,
    상기 수용부는 상기 기판 이송 유닛이 연속적으로 수용될 수 있도록 상기 이송 벨트 몸체에 소정의 간격을 두고 이격되어 배치되는,
    스크라이빙 장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 소정의 간격은 상기 기판 이송부의 구동 거리와 비례하도록 설정되는,
    스크라이빙 장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 제1 이송 벨트와 상기 제2 이송 벨트는 평벨트인,
    스크라이빙 장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 기판을 이송 방향과 직교하는 방향으로 절단하도록 상기 기판 공급부와 상기 기판 이송부 사이에 배치된 스크라이빙 유닛; 및
    상기 제2 이송 벨트 내 적어도 하나의 위치에서 상기 제2 이송 벨트를 가압 또는 감압하여 상기 제2 이송 벨트의 구동 속도를 제어하는 공정 제어 유닛;을 더 포함하며,
    상기 기판은 상기 스크라이빙 유닛에 의해 절단되어 상기 제1 이송 벨트 상에 안착된 제1 단위 기판과 상기 제2 이송 벨트 상에 안착된 제2 단위 기판을 형성하는,
    스크라이빙 장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 공정 제어 유닛에 의해 상기 제1 이송 벨트와 상기 제2 이송 벨트가 서로 비동기식으로 제어됨에 따라, 상기 제1 단위 기판과 상기 제2 단위 기판은 서로 접촉된 상태에서 후속 공정 영역에 위치하도록 연속적으로 이송되는,
    스크라이빙 장치.
  9. 제7항에 있어서,
    상기 공정 제어 유닛에 의해 상기 제1 이송 벨트와 상기 제2 이송 벨트가 서로 비동기식으로 제어됨에 따라, 상기 제1 단위 기판과 상기 제2 단위 기판은 서로 이격된 상태에서 후속 공정 영역에 위치하도록 연속적으로 이송되는,
    스크라이빙 장치.
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