KR101668778B1 - 스크라이브 장치 - Google Patents

스크라이브 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR101668778B1
KR101668778B1 KR1020140065303A KR20140065303A KR101668778B1 KR 101668778 B1 KR101668778 B1 KR 101668778B1 KR 1020140065303 A KR1020140065303 A KR 1020140065303A KR 20140065303 A KR20140065303 A KR 20140065303A KR 101668778 B1 KR101668778 B1 KR 101668778B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
belt
weight roller
pressure
weight
conveyance belt
Prior art date
Application number
KR1020140065303A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20150138525A (ko
Inventor
국금호
서정환
최한현
Original Assignee
주식회사 탑 엔지니어링
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 탑 엔지니어링 filed Critical 주식회사 탑 엔지니어링
Priority to KR1020140065303A priority Critical patent/KR101668778B1/ko
Priority to CN201410706038.0A priority patent/CN105130178B/zh
Publication of KR20150138525A publication Critical patent/KR20150138525A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101668778B1 publication Critical patent/KR101668778B1/ko

Links

Images

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B33/00—Severing cooled glass
    • C03B33/02—Cutting or splitting sheet glass or ribbons; Apparatus or machines therefor
    • C03B33/023—Cutting or splitting sheet glass or ribbons; Apparatus or machines therefor the sheet or ribbon being in a horizontal position
    • C03B33/037—Controlling or regulating
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G15/00—Conveyors having endless load-conveying surfaces, i.e. belts and like continuous members, to which tractive effort is transmitted by means other than endless driving elements of similar configuration
    • B65G15/60—Arrangements for supporting or guiding belts, e.g. by fluid jets
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G23/00—Driving gear for endless conveyors; Belt- or chain-tensioning arrangements
    • B65G23/02—Belt- or chain-engaging elements
    • B65G23/04—Drums, rollers, or wheels
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B33/00—Severing cooled glass
    • C03B33/02—Cutting or splitting sheet glass or ribbons; Apparatus or machines therefor
    • C03B33/023—Cutting or splitting sheet glass or ribbons; Apparatus or machines therefor the sheet or ribbon being in a horizontal position
    • C03B33/03—Glass cutting tables; Apparatus for transporting or handling sheet glass during the cutting or breaking operations

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
  • Re-Forming, After-Treatment, Cutting And Transporting Of Glass Products (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Delivering By Means Of Belts And Rollers (AREA)

Abstract

본 발명은 기판들을 스크라이브 공정 영역 및 후속 공정 영역에 위치되도록 연속적으로 이송하는 이송 밸트; 및 상기 이송 밸트의 적어도 하나 이상의 위치에서 상기 이송 밸트를 가압 또는 가압을 해제하여 상기 이송 밸트의 이동을 제어함으로써 상기 기판들에 대해 스크라이브 공정 및 후속 공정을 연속적으로 진행하는 공정 제어 유닛을 포함하는 스크라이브 장치를 제공한다.

Description

스크라이브 장치{SCRIBE APPARATUS}
본 발명은 스크라이브 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 하나의 이송 밸트를 사용하여 스크라이브되는 기판들을 안정적으로 이송하면서 브레이킹 또는 픽업과 같은 후속 공정을 연속적으로 수행함과 아울러 기판의 패스 라인을 낮게 구현할 수 있는 스크라이브 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 평판형 디스플레이로 이용되는 LCD나 유기EL패널, 무기EL패널, 투과형 프로젝터 기판, 반사형 프로젝터 기판 등은 유리와 같은 취성의 마더 글래스 패널(MOTHER GLASS PANEL)로부터 소정 크기로 절단된 단위 글래스 패널을 사용한다.
상기 단위 글래스 패널의 절단은, 패널의 표면에 절단 예정선을 따라 다이아몬드와 같은 재질의 스크라이브 휠을 가압 이동시켜 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이브 공정과, 상기 단위 글래스 패널을 스크라이브 라인으로부터 분리하는 브레이킹 공정을 통해 수행된다.
이에 따라, 글래스 패널인 기판은 브레이킹 공정을 통해, 각 셀로 분단되고, 셀을 에워싸는 영역인 더미들은 셀 픽업 후 외부로 배출된다.
이와 같이 글래스 패널(이하, 기판이라 한다.)을 스크라이브하는 장치는 밸트 타입의 스크라이브 장치를 주로 사용한다.
종래의 밸트 타입의 스트라이브 장치는 스크라이브된 기판에 대해 각 후속 공정을 진행하는 경우 각 후속 공정 마다 기판을 이송하고 해당 공정을 진행하는 밸트를 구비한다.
예컨대, 어느 하나의 밸트를 통해 스크라이브된 기판을 이송하면서, 브레이킹 공정을 수행하고, 이를 다른 밸트에서 이어 받아 픽업 공정을 진행하는 경우, 각 밸트들 사이에는 이격 공간이 형성된다.
상기 이격 공간을 브레이킹된 기판이 이동되는 경우, 셀을 에워싸는 더미가 밸트들 사이의 이격 공간을 통해 하방으로 낙하되는 문제점이 있다.
즉, 종래에는 각 후속 공정을 진행하는 경우 독립적으로 운용되는 밸트들을 사용하기 때문에, 각 공정 마다 기판을 이송시 평탄도 유지가 어렵고, 밸트들 간 이동시 글라스의 정렬 유지가 어려운 문제점이 있다.
또한, 기판이 밸트 간 이동시 충격이 발생되어 기판 자체에 손상이 발생되는 문제점도 있다.
본 발명과 관련된 선행문헌으로는 대한민국 공개특허 제10-2009-0128081호(공개일: 2009년 12월 15일)가 있으며, 상기 선행문헌에는 모 기판의 상하면에 대한 스크라이빙 공정을 동시에 진행할 때 스크라이버들과 모 기판이 접촉하는 지점의 양측이 수평 상태를 이루도록 모 기판으로 공기를 분사하는 스크라이브 장치에 대한 기술이 개시된다.
본 발명의 목적은, 하나의 이송 밸트를 사용하여 기판들에 스크라이브 공정과 후속 공정을 연속적으로 진행하도록 함과 아울러, 기판의 패스 라인을 낮게 구현할 수 있는 스크라이브 장치를 제공함에 있다.
또한, 본 발명의 다른 목적은, 이송 밸트의 이동 동작을 제어하는 웨이트 롤러들의 이동을 외부 구동력을 통해 제어함으로써 이송 밸트의 텐션을 일정하게 유지하고, 슬립을 효율적으로 방지할 수 있는 스크라이브 장치를 제공함에 있다.
바람직한 양태에 있어서, 본 발명은 기판들을 스크라이브 공정 영역 및 후속 공정 영역에 위치되도록 연속적으로 이송하는 이송 밸트; 및 상기 이송 밸트의 적어도 하나 이상의 위치에서 상기 이송 밸트를 가압 또는 가압을 해제하여 상기 이송 밸트의 이동을 제어함으로써 상기 기판들에 대해 스크라이브 공정 및 후속 공정을 연속적으로 진행하는 공정 제어 유닛을 포함하는 스크라이브 장치를 제공한다.
상기 후속 공정은, 상기 기판을 브레이킹하는 브레이킹 공정 또는, 상기 기판을 픽업하는 픽업 공정인 것이 바람직하다.
상기 공정 제어 유닛은, 상기 이송 밸트를 기준으로 상기 이송 밸트에 제 1압력을 가하는 제 1웨이트 롤러와, 상기 이송 밸트를 기준으로 수직축 또는 수평축을 따라 외부 구동력에 의해 유동되어, 상기 이송 밸트를 제 2압력으로 가압하거나 해제함으로써, 상기 이송 밸트의 이동 방향을 제어하는 제 2웨이트 롤러와, 상기 제 1웨이트 롤러 또는 제 2웨이트 롤러 중 적어도 하나 이상을 구동시켜 상기 이송 밸트를 이동시키는 구동부와, 상기 이송 밸트를 그립하는 밸트 클램프를 구비하는 것이 바람직하다.
상기 제 1웨이트 롤러는 외부 구동력에 의해 유동되는 것이 바람직하다.
상기 제 1웨이트 롤러는, 수직축 또는 수평축을 따라 유동되는 것이 바람직하다.
상기 공정 제어 유닛은, 상기 이송 밸트를 이동시키는 구동 롤러를 구비하는 것이 바람직하다.
상기 외부 구동력은, 직선 구동력 또는 탄성력 중 적어도 어느 하나인 것이 바람직하다.
상기 제 1웨이트 롤러와 상기 제 2웨이트 롤러의 이동 경로는 상기 수직축 또는 상기 수평축을 따르는 가이드에 의해 안내되는 것이 바람직하다.
상기 제 1웨이트 롤러의 전후에 각각 설치되는 제 1밸트 클램프와, 제 2밸트 클램프를 구비하는 것이 바람직하다.
여기서, 상기 제 1밸트 클램프의 그립이 해제되고 상기 제 2밸트 클램프에 의해 상기 이송 밸트가 그립된 상태에서, 상기 제 1웨이트 롤러가 외부 구동력에 의해 이동되어 상기 이송 밸트를 제 1압력으로 가압하거나 해제하여 상기 스크라이브 공정 영역의 이송 밸트를 이동시킴으로써, 상기 기판들의 스크라이브 공정 및 상기 후속 공정이 이루어지고,
상기 제 2밸트 클램프의 그립이 해제되고 상기 제 1밸트 클램프에 의해 상기 이송 밸트가 그립된 상태에서, 상기 제 1웨이트 롤러는 상기 외부 구동력에 의해 압력을 해제하는 방향으로 이동되고, 상기 제 2웨이트 롤러는 상기 이송 밸트를 제 2압력으로 가압하여 상기 후속 공정 영역의 이송 밸트를 이동시킴으로써, 상기 후속 공정을 거친 기판들의 더미는 외부로 배출되고,
상기 제 1밸트 클램프와 상기 제 2밸트 클램프의 그립이 상기 이송 밸트로 부터 해제되고, 상기 구동 롤러가 상기 이송 밸트를 이동시켜 상기 스크라이브 공정이 완료된 기판이 상기 후속 공정 영역으로 이송되는 것이 바람직하다.
또한, 상기 제 2압력은 상기 제 1압력 보다 큰 것이 바람직하다.
본 발명은, 하나의 이송 밸트를 사용하여 기판들을 스크라이브 공정과, 브레이킹 또는 픽업과 같은 후속 공정을 연속적으로 수행함하여 공정들 간의 평탄도를 유지함과 이울러, 텍 타임을 증가시킬 수 있는 효과를 갖는다.
또한, 본 발명은 웨이트로 사용되는 제 1,2웨이트 롤러 중 어느 하나를 제 동력을 사용하여 수평축을 따라 강제 유동하도록 함으로써, 장치 본체의 사이즈를 축소할 수 있는 효과를 갖는다.
또한, 본 발명은 웨이트로 사용되는 제 1,2웨이트 롤러 중 어느 하나를 외부 구동력을 사용하여 수평축을 따라 강제 유동하도록 함으로써, 이송 밸트의 이동 방향을 제어하고, 기판 이송시 이송 밸트 자체의 장력을 일정하게 유지하여 밸트가 늘어나는 등의 장치 문제를 해결할 수 있는 효과를 갖는다.
또한, 본 발명은 제 1,2웨이트 롤러를 수평축을 따라 강제 구동시키는 경우, 제 1,2밸트 클램프의 동작을 연동시킬 수 있기 때문에, 이의 경우에 있어서도 밸트의 장력을 일정하게 유지할 수 있는 효과를 갖는다.
또한, 본 발명은 웨이트 롤러의 승강을 별도의 가이드를 사용하여 안내함과 아울러, 랙-피니언 기어 연결을 사용하여 승강을 안내하기 때문에, 제 1,2웨이트 롤러의 승강시 축 양단 간의 틀어짐을 방지하여 이송 밸트를 안정적으로 처지도록 할 수 있는 효과를 갖는다.
또한, 본 발명은 외부 구동력을 통해, 이송 밸트를 처지게 하는 웨이트 롤러의 승강을 강제 승강함과 아울러, 승강 위치를 정학하게 제어함으로써, 이송 밸트가 이동되는 도중에 슬립이 발생되는 것을 효율적으로 방지할 수 있는 효과를 갖는다.
도 1은 본 발명의 스크라이브 장치의 제 1실시예를 보여주는 도면이다.
도 2는 본 발명에 따르는 가이드의 일 예를 보여주는 도면이다.
도 3은 본 발명에 따르는 가이드의 다른 예를 보여주는 도면이다.
도 4는 이송되는 기판에 대해 브레이킹 공정과 픽업 공정이 시작되는 과정을 보여주는 도면이다.
도 5는 이송되는 기판에 대해 스크라이빙과 픽업 공정이 진행되는 과정을 보여주는 도면이다.
도 6은 더미가 배출되는 공정을 보여주는 도면이다
도 7은 픽업 공정 영역에 기판이 이송되는 과정을 보여주는 도면이다.
도 8 내지 도 12는 본 발명의 스크라이브 장치의 제 2실시예 보여주는 도면들이다.
도 13은 본 발명의 제 3실시예를 따르는 이송되는 기판에 대해 브레이킹 공정과 픽업 공정이 시작되는 과정을 보여주는 도면이다.
도 14는 이송되는 기판에 대해 스크라이빙과 픽업 공정이 진행되는 과정을 보여주는 도면이다.
도 15는 더미가 배출되는 공정을 보여주는 도면이다.
도 16은 픽업 공정 영역에 기판이 이송되는 과정을 보여주는 도면이다.
도 17은 본 발명에 따르는 제 1,2웨이트 롤러가 외부 구동력에 의해 유동되는 예를 보여주는 도면이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 스크라이브 장치의 구성을 설명하고, 상기 구성을 참조 하여 본 발명의 스크라이브 방법을 설명한다.
제 1실시예
도 1은 본 발명의 스크라이브 장치를 보여주는 도면이다.
도 1을 참조 하면, 본 발명의 스크라이브 장치는 크게 이송 밸트(200)가 설치되는 본체(100)와, 공정 제어 유닛(300)으로 구성된다.
본체(100)
본 발명에 따르는 본체(100)에는 하나의 이송 밸트(200)가 설치된다.
상기 이송 밸트(200)는 상기 본체(100)에 무한궤도 회전 가능하게 설치된다.
상기 이송 밸트(200)의 양단 각각은 한 쌍의 안내 롤러에 의해 회전 지지된다.
상기 한 쌍의 안내 롤러는, 좌측 제 1,2안내롤러(210)와, 우측 제 1,2안내롤러(220)로 구성된다.
상기 좌측 제 1,2안내롤러(210)는 이송 밸트(200)의 좌측단에서 상하로 이격되도록 배치되어, 이송 밸트(200)의 좌측단을 회전 지지한다.
상기 우측 제 1,2안내롤러(220)는 이송 밸트(200)의 우측단에서 상하로 이격되도록 배치되어, 이송 밸트(200)의 우측단을 회전 지지한다.
이에 따라, 이송 밸트(200)에서 좌측단과 우측단을 수평으로 잇는 2개의 이동 경로(①,②)가 형성된다.
상기 2개의 이동 경로(①,②)는 좌측단에서 우측단을 따르는 제 1이동 경로(①)와, 우측단에서 좌측단을 따르는 제 2이동 경로(②)일 수 있다.
실질적으로 기판이 이동되는 경로는 이동되는 이송 밸트(200)에 의해 형성되는 상기 제 1이동 경로(①)를 따라 이동된다.
여기서, 상기 이송 밸트(200)의 전방에는 전방측 이송 밸트(20)가 배치된다.
상기 전방측 이송 밸트(20) 역시 무한궤도 회전되도록 설치되어, 기판을 연속적으로 이송한다.
그리고, 상기 전방측 이송 밸트(20)와 상기 이송 밸트(200)는 기판이 수평으로 이동될 수 있도록 서로 수평을 이루어 나란하게 배치된다.
한편, 본 발명에 따르는 이송 밸트(200)의 전단에는 전방측 이송 밸트(20)에 의해 이송되는 기판을 XY 방향을 따라 스크라이브할 수 있는 스크라이브 유닛(110)이 설치된다.
도면에 도시되지는 않았지만, 상기 스크라이브 유닛(110)은 기판에 XY 방향을 따라 스크라이브 할 수 있는 스크라이브 휠이 설치되며, 스크라이브 휠이 설치되는 헤드는 XY방향을 따라 이동될 수 있다.
그리고, 상기 이송 밸트(200) 상에는 후속 공정이 이루어지는 영역이 형성된다.
상기 후속 공정이 이루어지는 영역에는 해당 공정이 진행되는 유닛이 설치된다.
본 발명에서, 후속 공정은 기판을 각 셀 별로 브레이킹하는 브레이킹 공정 또는 브레이킹된 셀을 픽업하는 픽업 공정일 수 있다.
또한, 브레이킹 공정, 픽업 공정이 순차적으로 실시될 수 있다.
즉, 이송 밸트(200) 상에서 스크라이브 유닛(110)의 후방에는 브레이킹 유닛(120)이 배치되고, 상기 브레이킹 유닛(120)의 후방에는 픽업 유닛(130)이 배치된다.
브레이킹 유닛(120)은 기판에서 스크라이브된 셀들을 커팅하는 역할을 한다.
상기 픽업 유닛(120)은 브레이킹된 셀들만을 픽업하여 언로딩 위치에 적재하는 역할을 한다.
공정 제어 유닛(300)
도 1을 참조 하면, 본 발명의 공정 제어 유닛(300)은 이송 밸트(200)의 적어도 하나 이상의 위치에서 상기 이송 밸트(200)를 가압 또는 가압을 해제하여 상기 이송 밸트(200)의 이동을 제어함으로써 이송되는 기판들에 대해 스크라이브 공정 및 브레이킹 공정 또는 픽업 공정과 같은 후속 공정을 연속적으로 진행한다.
이의 구성을 상세하게 설명한다.
상기 공정 제어 유닛(300)은, 크게 제 1웨이트 롤러(310)와, 제 2웨이트 롤러(320)와, 구동 롤러(330)와, 밸트 클램프(340)로 구성된다.
제 1웨이트 롤러(310)는 제 1이동 경로(①) 상에 배치되어, 자중에 의해 하방으로 유동되면서 이송 밸트(200)를 제 1압력으로 가압 및 가압을 해제하여, 이송 밸트(200)의 이동 방향을 제어하도록 한다.
상기 제 1웨이트 롤러(310)는 이송 밸트(200)의 전단과, 후속 공정이 이루어지는 영역의 사이에 배치된다.
상기 제 1웨이트 롤러(310)는 상기 배치되는 위치에서 이송 밸트(200)의 제 1이동 경로(①)와 직교를 이루는 수직축 방향을 따라 승강 가능하게 배치된다.
상기 수직축은 이송 밸트(200)와 수직을 이루는 축일 수 있다.
상기 제 1웨이트 롤러(310)는 가이드(400)에 의해 승강이 안내될 수 있다. 상기 가이드(400)의 구성은 후술하기로 한다.
여기서, 상기 이송 밸트(200)의 전단은 스크라이브 영역이고, 상기 후속 공정이 이루어지는 영역은 브레이킹 공정 영역이다.
상기 제 2웨이트 롤러(320)는 이송 밸트(200)의 전단과 후속 공정이 이루어지는 영역의 후단 사이, 제 2이동 경로(②)와 수평을 이루는 수평축을 따라 유동 가능하게 배치된다.
특히, 상기 제 2웨이트 롤러(320)는 이송 밸트(200)의 내부에 배치되어 수평축을 따라 유동 가능하게 배치된다. 따라서, 이송 밸트(200)의 상하 사이즈를 축소하여 전체 장치의 사이즈를 줄일 수 있다.
제 2웨이트 롤러(320)는 제 2이동 경로(②) 상에 배치되며, 수평축을 따라 이동되면서 이송 밸트(200)를 제 2압력으로 가압하여 이송 밸트(200)의 이동 방향을 제어한다.
상기 제 2웨이트 롤러(320)는 외부 구동력에 의해 강제 유동되는 것이 좋다.
제 2웨이트 롤러(320)는 이송 밸트(200)로 제 2압력으로 가압하되, 상기 제 2압력은 상술한 제 1압력 보다 크게 형성된다.
또한, 외부 구동력을 발생시키는 장치는 수평축을 따라 신축 가능한 축(510)을 갖는 실린더(500), 또는 탄성 스프링(미도시)을 사용하여, 직선 구동력 또는 탄성력을 발생시킬 수 있다.
따라서, 실린더(500)를 사용하는 경우, 제 2웨이트 롤러(320)는 축(510)의 단부에 회전 가능하게 설치된다.
상기 구동 롤러(330)는 상기 이송 밸트(200)의 전단과 상기 제 2웨이트 롤러(320)의 사이에 배치되며, 이송 밸트(200)를 강제 회전 또는 구동시킨다.
상기 밸트 클램프(340)는 제 1웨이트 롤러(310)의 양측부에 설치되어, 각 그립 위치에서 이송 밸트(200)의 이동을 저지하도록 해당 위치에서 이송 밸트(200)를 그립하는 장치이다.
상기 밸트 클램프(340)는 제 1이동 경로(①)를 따라 제 1웨이트 롤러(310)의 전후에 각각 배치되는, 제 1밸트 클램프(341)와, 제 2밸트 클램프(342)로 구성된다.
상기 제 1밸트 클램프(341)와, 제 2밸트 클램프(342)는 승강 가능하게 배치된다.
상기 제 1밸트 클램프(341)는 스크라이브 영역과 제 1웨이트 롤러(310)의 사이인 제 1그립 위치에 배치된다.
상기 제 2밸트 클램프(342)는 제 1웨이트 롤러(310)와 픽업 영역의 사이인 제 2그립 위치에 배치된다.
도면에 도시되지는 않았지만, 상기 밸트 클램프(340)는 승강 장치에 의해 해당 그립 위치에서 이송 밸트(200)를 그립 또는 그립 해제하도록 승강됨으로써, 이송 밸트(200)의 이동을 강제 중지 또는 해제하는 장치이다.
또한, 본 발명에 따르는 제 1웨이트 롤러(310)는 가이드(400)에 의해 상하로의 직선 유동이 안내될 수 있다.
도 2는 본 발명에 따르는 가이드의 일 예를 보여주는 도면이다.
도 2를 참조 하면, 본 발명에 따르는 가이드(400)는 제 1,2웨이트 롤러(310)를 수직축을 따라 승강을 안내하는 장치이다.
상기 제 1웨이트 롤러(310)는 중공 형상의 제 1웨이트 롤러 몸체(311)와, 상기 제 1웨이트 롤러 몸체(311)의 중공에 회전 가능하도록 삽입 설치되며, 양단이 제 1웨이트 롤러 몸체(311)의 양단으로 돌출되는 제 1회전축(312)을 갖는다.
상기 가이드(400)는 상기 제 1웨이트 롤러 몸체(311)의 양단측에 위치되는 한 쌍의 가이드 몸체(410)를 갖고, 상기 한 쌍의 가이드 몸체(410)는 본체(100)에 설치된다.
상기 한 쌍의 가이드 몸체(410)에는, 수직 방향을 따르고, 제 1회전축(312)의 양단이 끼워지는 상태로 수직 방향 축을 따라 승강을 안내하는 일정 길이의 안내홀(420)이 형성된다.
따라서, 본 발명에서의 제 1웨이트 롤러(310)는 가이드(400)를 따라 승강이 안내된다.
또한, 도면에 도시되지는 않았지만, 도 2에 도시되는 가이드를 수평을 이루도록 구성하여, 제 2웨이트 롤러(320)가 수평축을 따라 유동되는 경우, 이를 안내하도록 할 수도 있다.
이러한 경우, 제 2웨이트 롤러(320)의 유동을 안내하는 가이드는 이송 밸트(200)의 내부에 배치되는 것이 좋다.
이에 더하여, 도 3에 도시되는 바와 같이, 제 1회전축(312)의 양단에 한 쌍의 피니언 기어(430)가 설치되는 가이드(400')를 사용할 수도 있다.
물론, 도면에 도시되지는 않았지만, 상기 가이드를 수평으로 구성하여 제 2웨이트 롤러(320)의 유동을 안내할 수도 있다.
상기 한 쌍의 가이드 몸체(410)에는 상기 한 쌍의 피니언 기어(430)가 기어 연결되는 한 쌍의 랙(440)이 설치된다.
따라서, 제 1웨이트 롤러(310)가 승강되는 경우, 피니언(430)이 랙(440)과 기어 연결되기 때문에, 승강시 제 1회전축(312)의 양단이 뒤틀리는 등의 문제를 해결할 수 있다.
또한, 제 2웨이트 롤러(320)가 수평축을 따라 유동되는 경우, 피니언(430)이 랙(440)과 기어 연결되기 때문에, 수평 유동시 제 2웨이트 롤러(320)의 제 2회전축(미도시)의 양단이 뒤틀리는 등의 문제를 해결할 수 있다.
다음은, 도 4 내지 도 7을 참조하여, 상기와 같은 구성을 갖는 스크라이브 장치를 사용한 스크라이브 방법을 설명한다.
도 4는 이송되는 기판에 대해 스크라이브 공정과, 후속 공정인 픽업 공정이 시작되는 과정을 보여준다.
도 4를 참조 하면, 이송 밸트(200)는 구동 롤러(330)의 구동에 따라 무한궤도 회전된다.
여기서, 이송 밸트(200)에는 제 1이동 경로(①)와 제 2이동 경로(②)가 형성된다.
제 1기판(11)은 이송 밸트(200)의 전단에서 스크라이브 유닛(110, 도 1참조)에 의해 스크라이브되고, 제 1이동 경로(①)를 따라 이동된다.
이때, 상기 제 1웨이트 롤러(310)는 이송 밸트(200)를 가압하지 않는 상태를 이루고, 제 2밸트 클램프(342)는 제 2그립 위치에서 이송 밸트(200)의 그립 상태를 해제한 상태를 이루며, 제 1웨이트 롤러(310)는 상승된 상태를 이룬다.
즉, 상기 제 1웨이트 롤러(310)는 이송 밸트(200)를 제 1압력으로 가압하지 않는 상태를 이룬다.
이와 동시에, 제 2이동 경로(②) 상에서, 제 2웨이트 롤러(320)는 축(510)의 단부에 회전 가능하게 설치된 상태로, 실린더(500)의 축(510)이 삽입됨으로 인해, 수평축 방향을 따라 직선 이동된다.
여기서, 실린더(500)는 제어기(미도시)로부터 제어 신호를 받아 축(510)을 삽입 및 돌출시킬 수 있다.
따라서, 제 2웨이트 롤러(320)는 유동되면서, 이송 밸트(200)를 제2압력으로 가압하는 상태를 이룬다.
즉, 상기 제 2웨이트 롤러(320)는 이송 밸트(200)의 내부에 배치되는 상태에서, 이송 밸트(200)를 제 2압력으로 가압하여 일정 길이 당기는 역할을 한다.
여기서, 외부 구동력인 제 2압력은 제 1압력 보다 크게 형성되어, 이송 밸트(200)가 기판들(11,12)을 각 공정 영역으로 이송하기 위해 회전되는 경우, 이송 밸트(200)의 텐션을 균일하게 할 수 있는 잇점을 갖는다.
이미, 스크라이브된 제 1기판(11)은 후속 공정이 이루어지는 영역인 픽업 공정 영역으로 이송된다.
이어, 제 2밸트 클램프(342)는 제 2그립 위치에서 이송 밸트(200)를 그립하여, 픽업 유닛(120, 도 1참조)을 사용하여 픽업 공정 영역으로 이송되는 제 1기판(11)에 대해 픽업이 진행되도록 한다.
한편, 스크라이브 공정이 진행되기 이전의 제 2기판(12)은 전방측 이송 밸트(20)의 구동에 의해 스크라이브 유닛(100) 측으로 이송되는 상태를 이룬다.
도 5는 이송되는 기판에 대해 스크라이빙과 픽업 공정이 진행되는 과정을 보여준다.
도 5를 참조 하면, 픽업 공정이 시작된 후에, 하강된 제 2웨이트 롤러(320)는 이송 밸트(200)가 연속적으로 회전되고, 실린더(500)의 축(510)이 돌출되면서 수평축을 따라 유동되어 원위치로 복귀될 수 있다.
이와 동시에, 제 1웨이트 롤러(310)는 하강되어 해당 위치에서 이송 밸트(200)를 제 1압력으로 가압하여 이송 밸트(200)의 이동 방향을 우회하도록 가변시킨다.
여기서, 제 1밸트 클램프(341)는 이송 밸트(200)를 그립하지 않은 상태이다.
이때, 전방측 이송 밸트(20)로부터 이송되는 제 2기판(12)은 스크라이브 영역에서 스크라이브 되면서 이송 밸트(200)를 따라 제 1이동 경로(①)를 따라 연속적으로 이동된다.
또한, 상기 도 5에서의 제 1기판(11)은 픽업 공정 영역에서 각 셀이 픽업될 수 있다.
도 6은 더미가 배출되는 공정을 보여주는 도면이다
도 6을 참조 하면, 제 1이동 경로(①)를 따라 제 2기판(12)이 스크라이브되면서 제 1웨이트 롤러(310) 측으로 이동되면, 제 1밸트 클램프(341)는 제 1그립 위치에서 이송 밸트(200)를 그립한다.
그리고, 제 2밸트 클램프(342)는 제 2그립 위치에서 이송 밸트(200)의 그립 상태를 해제한다.
이와 동시에, 제 2이동 경로(②) 상에서 제 2웨이트 롤러(320)는 실린더(500)의 축(510)이 삽입됨으로 인해, 수평축을 따라 직선 이동되고, 이에 의해 해당 위치에서의 이송 밸트(200)는 제 2웨이트 롤러(320)에 의해 제 2압력을 제공받아 이동 방향이 우회도록 가변된다.
이에 따라, 셀들의 픽업 공정이 진행되는 제 1기판(11)은 이송 밸트(200)의 이동에 따라 이동되고, 픽업되는 셀들을 제외한 더미는 이송 밸트(200)의 후방으로 낙하되어 제거된다.
도 7은 픽업 공정 영역에 기판이 이송되는 과정을 보여주는 도면이다.
도 7을 참조 하면, 이어, 도 6과 같은 상태에서 제 1밸트 클램프(341)는 제 1그립 위치에서 이송 밸트(200)의 그립 상태를 해제한다.
따라서, 제 1,2밸트 클램프는 해당 그립 위치에서 이송 밸트의 그립 상태를 모두 해제한다.
이어, 구동 롤러는 이송 밸트를 회전시킨다.
이에 따라, 스크라이브된 제 2기판(12)은 후속 공정 영역인, 브레이킹 영역 또는 픽업 영역으로 연속적으로 이동되어, 도 4, 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같은 스크라이브 공정 및 후속 공정이 연속적으로 진행될 수 있다.
한편, 상기의 설명에서는 제 1웨이트 롤러(310)가 자중에 의해 수직축을 따라 하강되고, 이송 밸트(200)의 승강에 의해 밀어 올려져 상승되며, 제 2웨이트 롤러(320)가 실린더(500)와 같은 장치에 의해 수평축을 따라 강제 유동됨과 아울러, 이송 밸트(200)의 내부에 베치되는 예를 대표적인 예로 설명하였다.
이상, 상기에서는 후속 공정이 픽업 공정인 경우를 대표적인 예로 설명하였다.
그리고, 상기 후속 공정은 스크라이브되는 기판을 브레이킹할 수 있는 브레이킹 공정일 수도 있다.
제 2실시예
도 8 내지 12는 본 발명에 따르는 스크라이브 장치의 다른 예를 보여주는 도면들이다.
도 8을 참조 하면, 제 1, 2웨이트 롤러 모두 외부 구동력에 의해 유동될 수도 있다.
제 1,2웨이트 롤러(310,320) 모두 실린더(550, 500)의 축(551, 510)이 신축됨에 의해 강제 유동되는 경우, 제 1,2웨이트 롤러(310,320) 각각은 독립적으로 유동되면서,이송 밸트(200)의 해당 위치에 제 1,2압력을 가한다.
특히, 제 1웨이트 롤러(310)를 수직축을 따라 승강시키는 실린더(550)는 이송 밸트(200)의 상부에 설치될 수도 있고, 내부에 설치될 수 있다.
도 9를 참조 하면, 제 1웨이트 롤러(310)의 회전축 양단에 실린더(550)의 축(551)이 연결되어, 상기 제 1웨이트 롤러(310)를 승강시킴으로써, 실린더(550)의 축(551)은 이송 밸트(200)와의 간섭이 발생되지 않을 수 있다.
여기서, 상기 제 1압력은 제 2압력 보다 크게 형성되거나, 제 2압력은 제 1압력 보다 크게 형성되는 것이 좋다.
전자의 경우, 제 1,2웨이트 롤러(310,320)의 강제 유동을 실시하는 실린더들(550,500) 각각은 제어기(미도시)로부터의 제어 신호에 의해 제 1압력이 제 2압력 보다 크게 형성되도록 제어되는 것이 좋다.
역으로, 후자의 경우 상기 실린더들(550,500) 각각은 제어기로부터의 제어 신호에 의해 제 2압력이 제 1압력 보다 크게 형성되도록 제어되는 것이 좋다.
즉, 상대적으로 이송 밸트(200)에 가하는 압력이 작은 웨이트 롤러는 이송 밸트(200)의 장력을 유지하기 위한 압력으로 사용된다.
이외, 도 8 및, 도 10 내지 도 12를 통한 공정은 도 4 내지 도 7을 참조하여 설명한 바와 실질적으로 동일하기 때문에 설명을 생략한다.
또 한편, 도면에 도시되지는 않았지만, 제 1,2웨이트 롤러가 수직축을 따라 모두 승강되어 이송 밸트를 가압하는 경우, 제 1,2 웨이트 롤러 중 어느 하나는 상술한 실린더와 같은 외부 구동력을 제공하는 장치에 의해 승강 유동될 수도 있다.
예컨대, 이송 밸트의 하류에 위치되는 제 2웨이트 롤러가 외부 구동력에 의해 승강되는 경우, 승강으로 인해 이송 밸트를 가압하는 제 2압력은, 제 1웨이트 롤러가 이송 밸트를 가압하는 제 1압력 보다 크게 형성되는 것이 좋다.
또한, 이송 밸트의 하류 측의 제 2웨이트 롤러는 장치 사이즈를 줄이기 위해 이송 밸트의 내부에 배치되는 것이 좋다.
제 3실시예
한편, 본 발명에 따르는 제 1,2웨이트 롤러는 수직축을 따라 유동되되, 이송 밸트의 내부에 배치될 수 있다.
도 13은 이송되는 기판에 대해 브레이킹 공정과 픽업 공정이 시작되는 과정을 보여주는 도면이고, 도 14는 이송되는 기판에 대해 스크라이빙과 픽업 공정이 진행되는 과정을 보여주는 도면이고, 도 15는 더미가 배출되는 공정을 보여주는 도면이고, 도 17은 픽업 공정 영역에 기판이 이송되는 과정을 보여주는 도면이다.
제 3실시예를 따르는 기판 이송 장치를 설명함에 있어서, 제 1실시예와 동일한 구성의 설명은 생략하기로 한다.
도 13을 참조 하면, 제 1웨이트 롤러(310)는 상류측 이송 밸트(200)의 내부에 배치되며, 수직축을 따라 승강 유동 가능하게 배치된다.
상기 제 1웨이트 롤러(310)는 실린더(600)의 축(610)의 단부에 회전 가능하게 연결된다.
상기 실린더(600)는 제어기(미도시)로부터 제어 신호를 받아 상기 축(610)을 신축시키며, 제 1웨이트 롤러(310)는 상기 축(610)의 신축 동작에 따라 수직축을 따라 승강됨으로써, 이송 밸트(200)를 제 1압력으로 가압한다.
또한, 도 14에 도시되는 바와 같이, 제 2웨이트 롤러(320)는 이송 밸트(200)의 내부에 배치되며, 수직축을 따라 자중에 의해 유동되어, 이송 밸트(200)를 제 2압력으로 가압할 수 있다.
여기서, 상기 제 1압력은 제 2압력보다 크도록 설정된다.
즉, 제 1웨이트 롤러(310)는 상기 제 1압력으로 이송 밸트(200)를 가압함으로써, 이송 밸트(200)를 이동시키는 구동력을 발생시킨다.
그리고, 제 2웨이트 롤러(320)는 제 1압력 보다 작은 제 2압력으로 이송 밸트(200)를 가압하여 이송 밸트(200)의 텐션을 균일하는 역할을 한다.
다음은, 도 13 내지 도 17을 참조하여, 제 3실시예를 따르는 스크라이브 장치를 사용한 스크라이브 방법을 설명한다.
도 13을 참조 하면, 제 1웨이트 롤러(310)는 상류측 이송 밸트(200)의 하부에 배치되는 상태로, 이송 밸트(200)를 가압하지 않는 상태를 이루고, 제 2밸트 클램프(342)는 제 2그립 위치에서 이송 밸트(200)의 그립한 상태를 이룬다.
즉, 상기 제 1웨이트 롤러(310)는 이송 밸트(200)를 제 1압력으로 가압하지 않는 상태를 이룬다.
이와 동시에, 제 2이동 경로(②) 상에서, 제 2웨이트 롤러(320)는 하류측 이송 밸트(200)의 상부에서 하방으로 자중에 의해 유동하여 이송 밸트(200)를 제 2압력으로 가압하는 상태를 이룬다.
따라서, 이송 밸트(200)는 제 2웨이트 롤러(320)에 의한 제 2압력에 의해 균일한 텐션을 유지하고 제 1기판(11)은 상류측 이송 밸트(200)에서 후속 공정 영역으로 이송된다.
도 14는 이송되는 기판에 대해 스크라이빙과 픽업 공정이 진행되는 과정을 보여준다.
도 14를 참조 하면, 제 2밸트 클램프(342)가 이송 밸트(200)를 그립한 상태를 이루고, 실린더(600)의 축(610)이 상방으로 신장됨에 따라, 이송 밸트(200)의 내부에 배치된 제 1웨이트 롤러(310)는 상방으로 유동하여 이송 밸트(200)를 제 1압력으로 가압한다.
이와 동시에, 제 2웨이트 롤러(320)는 하류측 이송 밸트(200)의 상부로 이동되어 위치된다.
따라서, 이송 밸트(200)는 제 1이동 경로(①)를 따라 이동되고, 제 2기판(12)은 전방측 이송 밸트(20)로부터 이송되고, 스크라이브 유닛(110)에 의해 스크라이브되면서 이동되는 이송 밸트(200)에 의해 이송된다.
한편, 후속 공정 예컨대, 브레이킹 공정이 완료된 제 1기판(11)은 픽업 공정 영역으로 위치될 수 있다.
도 15를 참조 하면, 제 1이동 경로(①)를 따라 제 2기판(12)이 스크라이브되면서 제 1웨이트 롤러(310) 측으로 이동되면, 제 1밸트 클램프(341)는 제 1그립 위치에서 이송 밸트(200)를 그립한다.
그리고, 제 2밸트 클램프(342)는 제 2그립 위치에서 이송 밸트(200)의 그립 상태를 해제한다.
이와 동시에, 제 1웨이트 롤러(310)는 실린더(600)의 축(610)이 하방으로 유동됨에 따라 수직축을 따라 하강되어, 이송 밸트(200)의 내부에 위치된다.
이어, 제 1기판(11)은 이송 밸트(200)의 이송에 따라 이송되어 각 셀들이 픽업될 수 있고, 나머지 더미들은 이송 밸트(200)의 후류 외측으로 낙하되어 제거될 수 있다.
또한, 제 2웨이트 롤러(320)는 수직축을 따라 자중에 의해 하방으로 유동되면서, 하류측 이송 밸트(200)를 제 2압력으로 가압하는 상태를 이룬다.
도 16은 픽업 공정 영역에 기판이 이송되는 과정을 보여주는 도면이다.
도 16을 참조 하면, 이어, 도 15과 같은 상태에서 제 1밸트 클램프(341)는 제 1그립 위치에서 이송 밸트(200)의 그립 상태를 해제한다.
여기서, 제 1,2밸트 클램프(341,342)는 해당 그립 위치에서 이송 밸트(200)의 그립 상태를 모두 해제한 상태를 이룬다.
이어, 스크라이브된 제 1기판(11)은 구동 롤러(330)의 구동에 의해 이동되는 이송 밸트(200)를 따라 후속 공정 영역으로 이동될 수 있다.
또 한편, 도 17은 제 3실시예에서의 제 2웨이트 롤러(320)를 별도의 실린더(700)를 통한 외부 구동력을 사용하여 수직축을 따라 승강 유동시켜 제 2압력으로 이송 밸트(200)를 가압하는 예를 보여준다.
도면 번호'710'은 상기 실린더(700)로부터 신축되며 단부에 제 2웨이트 롤러(320)가 연결되는 축(710)이다.
이의 경우도, 제 1,2웨이트 롤러(310,320)는 이송 밸트(200)의 내부에 배치된다.
그리고, 제 1,2웨이트 롤러(310,320)는 각 실린더(600,700)의 구동을 통해 수직축을 따라 승강 유동 가능하다.
다만, 이와 같은 구성의 경우, 제어기를 사용하여, 상술한 제 1압력이 제 2압력 보다 작용되도록 각 실린더의 구동을 제어하는 것이 좋다.
이의 구성 및 작용을 통해, 제 1웨이트 롤러(310)와 제 2웨이트 롤러를 이송 밸트(200)의 내부에 배치함으로써, 이송 밸트(200)의 상하폭인 전체적인 장치의 패스 라인을 효율적으로 낮출 있다.
또한, 제1 웨이트 롤러(310)를 외부 구동력을 사용하여 유동시킴으로써 이송 밸트(200)를 제 1압력으로 가압하여, 이송 밸트(200)를 이동시키는 메인 구동으로 사용할 수 있다.
또한, 제 1압력 보다 작은 제 2압력으로 제 2웨이트 롤러(320)의 유동을 통해 하류측 이송 밸트(200)를 가압함으로서, 이송 밸트(200)의 전체적인 텐션을 균일하게 유지할 수 있다.
상기의 장치의 구성 및 작용을 통해, 본 발명에 따르는 실시예는 하나의 이송 밸트를 사용하여 기판들을 스크라이브 공정과, 브레이킹 또는 픽업과 같은 후속 공정을 연속적으로 수행함하여 공정들 간의 평탄도를 유지함과 이울러, 텍 타임을 증가시킬 수 있다.
또한, 본 발명에 따르는 실시예는 웨이트로 사용되는 제 1,2웨이트 롤러 중 어느 하나를 외부 구동력을 사용하여 수평축을 따라 강제 유동하도록 함으로써, 장치 본체의 기판 패스 라인을 축소할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르는 실시예는 웨이트로 사용되는 제 1,2웨이트 롤러 중 어느 하나를 외부 구동력을 사용하여 수평축을 따라 강제 유동하도록 함으로써, 이송 밸트의 이동 방향을 제어하고, 기판 이송시 이송 밸트 자체의 장력을 일정하게 유지하여 밸트가 늘어나는 등의 장치 문제를 해결할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르는 실시예는 제 1,2웨이트 롤러를 수평축을 따라 강제 구동시키는 경우, 제 1,2밸트 클램프의 동작을 연동시킬 수 있기 때문에, 이의 경우에 있어서도 밸트의 장력을 일정하게 유지할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르는 실시예는 웨이트 롤러의 승강을 별도의 가이드를 사용하여 안내함과 아울러, 랙-피니언 기어 연결을 사용하여 승강을 안내하기 때문에, 제 1,2웨이트 롤러의 승강시 축 양단 간의 틀어짐을 방지하여 이송 밸트를 안정적으로 처지도록 할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르는 실시예는 외부 구동력을 통해, 이송 밸트를 처지게 하는 웨이트 롤러의 승강을 승강시킴과 아울러, 승강 위치를 정학하게 제어함으로써, 이송 밸트가 이동되는 도중에 슬립이 발생되는 것을 효율적으로 방지할 수 있다.
이상, 본 발명의 스크라이브 장치에 관한 구체적인 실시예에 관하여 설명하였으나, 본 발명의 범위에서 벗어나지 않는 한도 내에서는 여러 가지 실시 변형이 가능함은 자명하다.
그러므로 본 발명의 범위에는 설명된 실시예에 국한되어 전해져서는 안 되며, 후술하는 특허청구범위뿐만 아니라 이 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.
즉, 전술된 실시예는 모든 면에서 예시적인 것이며, 한정적인 것이 아닌 것으로 이해되어야 하며, 본 발명의 범위는 상세한 설명보다는 후술될 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 그 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
11 : 제 1기판 12 : 제 2기판
20 : 전방측 이송 밸트 100 : 본체
110 : 스크라이브 유닛 120 : 브레이킹 유닛
200 : 이송 밸트 210 : 제 1좌측 안내롤러
220 : 제 2좌측 안내롤러 300 : 공정 제어 유닛
310 : 제 1웨이트 롤러 320 : 제 2웨이트 롤러
330 : 구동 롤러 340 : 밸트 클램프
341 : 제 1밸트 클램프 342 : 제 2밸트 클램프
400,400' : 가이드 500,600,700 : 실린더

Claims (10)

  1. 기판들을 스크라이브 공정 영역 및 후속 공정 영역에 위치되도록 연속적으로 이송하는 이송 밸트; 및
    상기 이송 밸트의 적어도 하나 이상의 위치에서 상기 이송 밸트를 가압하거나 가압을 해제하여 상기 이송 밸트의 이동을 제어함으로써 상기 기판들에 대해 스크라이브 공정 및 후속 공정을 연속적으로 진행하는 공정 제어 유닛;을 포함하되,
    상기 공정 제어 유닛은,
    상기 이송 밸트의 상류측 상에 배치되며, 수직축을 따라 유동하여 상기 이송 밸트를 제 1압력으로 가압하거나 가압을 해제하는 제 1웨이트 롤러;
    상기 이송 밸트의 내부에 배치되며, 상기 이송 밸트의 하류측 상에서 수평축을 따라 유동하여 상기 이송 밸트를 제 2압력으로 가압하거나 가압을 해제하는 제 2웨이트 롤러;
    상기 제 1웨이트 롤러 또는 제 2웨이트 롤러 중 적어도 하나 이상을 구동시켜 상기 이송 밸트를 이동시키는 구동부; 및
    상기 이송 밸트를 그립하는 밸트 클램프를 구비하며,
    상기 제 2웨이트 롤러는 수평축을 따라 신축 가능한 축을 가지는 실린더의 축의 단부에 회전 가능하도록 설치되는 것을 특징으로 하는 스크라이브 장치.
  2. 기판들을 스크라이브 공정 영역 및 후속 공정 영역에 위치되도록 연속적으로 이송하는 이송 밸트; 및
    상기 이송 밸트의 적어도 하나 이상의 위치에서 상기 이송 밸트를 가압하거나 가압을 해제하여 상기 이송 밸트의 이동을 제어함으로써 상기 기판들에 대해 스크라이브 공정 및 후속 공정을 연속적으로 진행하는 공정 제어 유닛;을 포함하되,
    상기 공정 제어 유닛은,
    상기 이송 밸트의 내부에 배치되며, 상기 이송 밸트의 상류측 하부에서 수직축을 따라 유동하여 상기 이송 밸트를 제 1압력으로 가압하거나 가압을 해제하는 제 1웨이트 롤러;
    상기 이송 밸트의 내부에 배치되며, 상기 이송 밸트의 하류측 상에서 수직축을 따라 유동하여 상기 이송 밸트를 제 2압력으로 가압하거나 가압을 해제하는 제 2웨이트 롤러;
    상기 제 1웨이트 롤러 또는 제 2웨이트 롤러 중 적어도 하나 이상을 구동시켜 상기 이송 밸트를 이동시키는 구동부; 및
    상기 이송 밸트를 그립하는 밸트 클램프를 구비하는 것을 특징으로 하는 스크라이브 장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 후속 공정은,
    상기 기판을 브레이킹하는 브레이킹 공정 또는, 상기 기판을 픽업하는 픽업 공정인 것을 특징으로 하는 스크라이브 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 제 1웨이트 롤러는 자중에 의해 수직축을 따라 하방으로 유동 가능하도록 구비되는 것을 특징으로 하는 스크라이브 장치.
  5. 제2항에 있어서,
    상기 제 2웨이트 롤러는 자중에 의해 수직축을 따라 하방으로 유동 가능하도록 구비되는 것을 특징으로 하는 스크라이브 장치.
  6. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 공정 제어 유닛은, 상기 이송 밸트를 이동시키는 구동 롤러를 구비하는 것을 특징으로 하는 스크라이브 장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 제 1웨이트 롤러의 이동 경로는 상기 수직축을 따르는 가이드에 의해 안내되며, 상기 제 2웨이트 롤러의 이동 경로는 상기 수평축을 따르는 가이드에 의해 안내되는 것을 특징으로 하는 스크라이브 장치.
  8. 제2항에 있어서,
    상기 제 1웨이트 롤러 및 상기 제 2웨이트 롤러의 이동 경로는 상기 수직축을 따르는 가이드에 의해 안내되는 것을 특징으로 하는 스크라이브 장치.
  9. 제6항에 있어서,
    상기 제 1웨이트 롤러의 전후에 각각 설치되는 제 1밸트 클램프와, 제 2밸트 클램프를 구비하되,
    상기 제 1밸트 클램프의 그립이 해제되고 상기 제 2밸트 클램프에 의해 상기 이송 밸트가 그립된 상태에서, 상기 제 1웨이트 롤러가 하방으로 유동되어 상기 이송 밸트를 제 1압력으로 가압하거나 가압을 해제하여 상기 스크라이브 공정 영역의 이송 밸트를 이동시킴으로써, 상기 기판들의 스크라이브 공정 및 상기 후속 공정이 이루어지고,
    상기 제 2밸트 클램프의 그립이 해제되고 상기 제 1밸트 클램프에 의해 상기 이송 밸트가 그립된 상태에서, 상기 제 1웨이트 롤러는 외부 구동력에 의해 가압을 해제하는 방향으로 이동되고, 상기 제 2웨이트 롤러는 상기 이송 밸트를 제 2압력으로 가압하여 상기 후속 공정 영역의 이송 밸트를 이동시킴으로써, 상기 후속 공정을 거친 기판들의 더미는 외부로 배출되고,
    상기 제 1밸트 클램프와 상기 제 2밸트 클램프의 그립이 상기 이송 밸트로부터 해제되고, 상기 구동 롤러가 상기 이송 밸트를 이동시켜 상기 스크라이브 공정이 완료된 기판이 상기 후속 공정 영역으로 이송되는 것을 특징으로 하는 스크라이브 장치.
  10. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 제 2압력은 상기 제 1압력 보다 큰 것을 특징으로 하는 스크라이브 장치.
KR1020140065303A 2014-05-29 2014-05-29 스크라이브 장치 KR101668778B1 (ko)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020140065303A KR101668778B1 (ko) 2014-05-29 2014-05-29 스크라이브 장치
CN201410706038.0A CN105130178B (zh) 2014-05-29 2014-11-27 划线装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020140065303A KR101668778B1 (ko) 2014-05-29 2014-05-29 스크라이브 장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20150138525A KR20150138525A (ko) 2015-12-10
KR101668778B1 true KR101668778B1 (ko) 2016-10-31

Family

ID=54715829

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020140065303A KR101668778B1 (ko) 2014-05-29 2014-05-29 스크라이브 장치

Country Status (2)

Country Link
KR (1) KR101668778B1 (ko)
CN (1) CN105130178B (ko)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20170115636A (ko) * 2016-04-07 2017-10-18 주식회사 탑 엔지니어링 스크라이빙 장치
KR102605917B1 (ko) * 2016-04-07 2023-11-27 주식회사 탑 엔지니어링 스크라이빙 장치

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001157997A (ja) * 1999-12-02 2001-06-12 Nakamura Tome Precision Ind Co Ltd 硬質脆性基板の連続ブレーク装置
KR100777983B1 (ko) * 2005-12-29 2007-11-21 주식회사 탑 엔지니어링 기판 절단 장치
KR101449487B1 (ko) * 2012-06-01 2014-10-14 한국미쯔보시다이아몬드공업(주) 기판 절단 장치 및 기판 절단 장치에서의 기판 반송 방법
CN104628246B (zh) * 2013-11-14 2019-07-05 塔工程有限公司 划线装置及划线方法

Also Published As

Publication number Publication date
KR20150138525A (ko) 2015-12-10
CN105130178B (zh) 2020-06-26
CN105130178A (zh) 2015-12-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101696718B1 (ko) 스크라이빙 조립체 및 스크라이빙 방법
TWI611929B (zh) 用於撕去包膜板材的方法
JP3619233B2 (ja) シート状材料のパイルを反転させる装置
KR102310157B1 (ko) 스크라이빙 장치
KR20110046387A (ko) 광학 필름의 반송 방법 및 이를 이용한 장치
JPH1111661A (ja) 板ガラスの供給装置
KR101651253B1 (ko) 스크라이브 장치용 이송 밸트 및 이를 갖는 스크라이브 장치
TW201315697A (zh) 帶狀板玻璃的割斷方法以及割斷裝置
KR101668778B1 (ko) 스크라이브 장치
KR101511584B1 (ko) 롤 투 롤 반도체부품 제조장치 및 그에 적용되는 이송방법
KR101991267B1 (ko) 기판 절단 장치
CN101428708A (zh) 基板移载装置及方法
KR101330148B1 (ko) 기판 분단 장치 및 이를 이용한 기판 분단 방법
KR101579598B1 (ko) 스크라이브 장치 및 스크라이브 방법
KR102525334B1 (ko) 스크라이빙 장치
JP2008272704A (ja) 除塵装置
JP2006327819A (ja) ガラス板の移載装置および移載方法
KR20190059577A (ko) 기판 절단 장치
KR101550238B1 (ko) 고무시트 이송장치
CN209871863U (zh) 一种标签纸生产用上料装置
TW201838727A (zh) 板邊清洗設備
CN206529004U (zh) 一种90度转弯滚筒式输送装置
KR20190059576A (ko) 기판 절단 장치
CN107571603A (zh) 片材剥离方法以及剥离装置
JP2010027739A (ja) 基板移送システム及び基板移送方法

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190820

Year of fee payment: 4