KR101330148B1 - 기판 분단 장치 및 이를 이용한 기판 분단 방법 - Google Patents

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한국미쯔보시다이아몬드공업(주)
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Abstract

본 발명의 일 실시형태에 따른 기판 분단 장치는, 설치대 상에서 기판 반송 방향인 제1 방향을 따라 서로 간격을 두고 배치되는 제1 컨베이어 및 제2 컨베이어, 상기 제1 컨베이어와 제2 컨베이어 사이에 배치되는 스크라이브 유닛 및, 상기 설치대의 제1 컨베이어 측에 설치되며, 기판을 스크라이브할 때, 상기 제1 컨베이어 상에 올려 놓여진 당해 기판의 적어도 일측 가장자리를 파지하는 기판 파지 기구를 포함하고, 상기 스크라이브 유닛은 상기 기판 파지 기구에 대하여 이동 가능하게 형성되고, 상기 스크라이브 유닛의 이동에 연동하여 상기 제1 컨베이어 및 제2 컨베이어가 당해 컨베이어의 내측으로 인입되거나 컨베이어의 외측으로 신장될 수 있다.

Description

기판 분단 장치 및 이를 이용한 기판 분단 방법{PANEL CUTTING DEVICE AND PANEL CUTTING METHOD USING THE SAME}
본 발명은 액정 표시 장치 등의 표시 패널에 사용되는 글라스 기판 등의 머더 기판을 포함하는 것을 특징으로 하는 다양한 재료의 머더 기판을 분단하기 위하여 사용되는 기판 분단 장치 및 이를 이용한 기판 분단 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 한 쌍의 취성 재료 기판을 서로 접합시킨 접합 머더(mother) 기판의 분단에 적합하게 사용할 수 있는 기판 분단 장치 및 기판 분단 방법에 관한 것이다.
일반적으로, 액정 표시 장치 등의 표시 패널은 보통 취성 재료 기판인 글라스 기판을 사용하여 형성되어 있다. 액정 표시 장치는 한 쌍의 글라스 기판을 적당한 간격을 두고 접합시키고 그 간격 내에 액정을 봉입함으로써 표시 패널이 된다.
이러한 표시 패널을 제조할 때에는, 머더 글라스 기판을 접합시킨 접합 머더 기판을 분단함으로써, 접합 머더 기판으로부터 복수의 표시 패널을 만드는 가공이 이루어지고 있다. 이러한 접합 머더 기판을 분단하기 위한 기판 분단 장치가 한국공개특허공보 제2006-0125915호(이하, ‘특허문헌 1’이라 한다)에 개시되어 있다.
도 1은 특허문헌 1의 도 32에 도시된 기판 분단 장치의 주요 구성을 개략적으로 나타내는 사시도이다.
도 1을 참조하면, 기판 분단 장치(200)는, 위치결정 유닛부(220), 스크라이브 유닛부(240), 버퍼 컨베이어부(260), 스팀 브레이크 유닛부(280), 패널 반전 유닛부(320) 및, 패널 단자 분리부(340)를 구비하고 있다.
위치결정 유닛부(220)가 배치되어 있는 측을 기판 반입 측, 패널 단자 분리부(340)가 배치되어 있는 측을 기판 반출 측이라고 할 때, 기판은 기판 반입 측의 위치결정 유닛부(220)로 공급된 후, 스크라이브 유닛부(240), 버퍼 컨베이어부(260), 스팀 브레이크 유닛부(280), 패널 반전 유닛부(320) 및, 패널 단자 분리부(340) 를 따라 차례로 반송되면서 기판 분단 작업이 행해지고, 이후 기판 반출 측으로 반송된다.
즉, 설치대(230)의 상방에 설치된 위치결정 유닛부(220)로 공급되는 기판은 위치결정 유닛부(220)에 형성된 복수의 기판 지지 유닛(도시되지 않음) 상에 올려 놓여지고, 기판 지지 유닛에 설치된 벨트(도시되지 않음) 상에서 기판의 위치가 결정된 후, 벨트의 회전 동작에 의해 다음 단계인 스크라이브 유닛부(240)로 반송된다.
한편, 스크라이브 유닛부(240)는, 설치대(250) 상방에 X 방향을 따라 설치된 절단장치 가이드체(242)와, 이 절단장치 가이드체(242)를 사이에 두고 Y방향을 따라 배치되는 제1 기판 지지 유닛부(241A) 및 제2 기판 지지 유닛부(241B)를 갖는다. 또한, 제1 기판 지지 유닛부(241A)의 제1 기판 지지 유닛(244A)과 제2 기판 지지 유닛부(241B)의 제2 기판 지지 유닛(244B)은 각각 프레임(243A) 및 프레임(243B)에 대하여 평행하게 배치된다.
이 경우, 위치결정 유닛부(220)에서 스크라이브 유닛부(240)로 반송되는 기판은 제1 기판 지지 유닛부(241A)의 제1 기판 지지 유닛(244A)에 올려 놓여지고, 클램프 장치(251)에 의해 클램프된다. 그 후, 제1 기판 지지 유닛(244A)에 설치된 벨트를 회전 이동시킴과 동시에 클램프 장치(251)를 Y 방향을 따라 이동시킴에 따라, 기판이 절단장치 가이드체(242)를 통해 스크라이브되고, 스크라이브된 기판은 제2 기판 지지 유닛부(241B)의 제2 기판 지지 유닛(244B)으로 반송된다.
제2 기판 지지 유닛(244B)으로 반송된 기판은, 제2 기판 지지 유닛(244B)에 설치된 벨트를 회전 이동시킴으로써 버퍼 컨베이어부(260)의 벨트(261)로 반송되고, 이후 스팀 브레이크 유닛부(280)에 의해 기판이 완전하게 분단되고, 기판 반송 유닛부(300), 패널 반전 유닛부(320) 및, 패널 단자 분리부(340)를 거치면서 로봇 등에 의해 기판 반출측으로 반출된다.
한국공개특허공보 제2006-0125915호
그러나, 이러한 종래의 기판 분단 장치는 컨베이어 벨트 상에서 기판을 이동시키면서 분단을 행하기 때문에, 컨베이어 벨트와 접촉하는 기판의 접촉면에 마찰력에 의해 흠집 등이 발생할 가능성이 있다. 이에 대해, 도 2를 참조하여 구체적으로 설명한다.
도 2는 종래의 기판 분단 장치를 이용하여 기판을 분단하는 과정을 개략적으로 나타내는 개략도로서, 도 2의 (a)는 기판 분단 개시 단계, (b)는 기판 분단 종료 단계, 그리고 (c)는 기판 피치(pitch) 이송 단계를 나타낸다. 또한, 도 2의 각 도면에서, 부호 10은 기판 반입측으로부터 반송된 기판을 수취하여 위치결정 및/또는 선회를 행하는 급재부, 부호 20과 30은 각각 상류측 스크라이브부 및 하류측 스크라이브부, 그리고 부호 40은 분단된 기판을 로봇 등에 의해 픽업(pick up)하여 배출하는 픽업부를 나타낸다.
먼저, 롤러(54)에 감겨진 컨베이어 벨트(52)의 회전에 의해 급재부(10)로부터 상류측 스크라이브부(20)로 반송된 기판(2)은, 척(chuck) 등의 기판 파지 기구(28)에 의해 고정된다. (도 2의 (a))
이후, 기판(2)을 고정하고 있는 기판 파지 기구(28)를 기판과 함께 스크라이브 유닛(27) 쪽으로 이동시켜, 기판(2)을 스크라이브 빔(24)에 설치된 스크라이브 헤드(26)에 접촉시키면서 지나가게 한다. 이로 인해, 기판(2) 상에는 스크라이브 라인이 형성되며, 기판 파지 기구(28)를 기판 반송 방향 및 이의 반대 방향으로 왕복 이동 시키면서 스크라이브 작업을 반복함으로써 기판 분단 작업이 종료된다. (도 2의 (b))
그런데, 기판 분단 개시 단계(도 2의 (a))에서, 기판(2)은 상류측 스크라이브부(20)의 컨베이어 벨트(52)와 접촉하고 있기 때문에, 기판(2)을 파지하고 있는 기판 파지 기구(28)를 이동시킬 때, 기판 파지 기구(28)의 이동 속도와 동기화(synchronization)된 속도로 상류측 스크라이브부(20)의 컨베이어 벨트(52)를 회전시켜야 한다.
즉, 종래의 기판 분단 장치에서는, 상류측 스크라이브부(20)의 컨베이어 벨트(52) 상에서 기판(2)을 움직이면서(즉, 기판을 파지하고 있는 기판 파지 기구(28)를 움직이면서) 기판을 스크라이브하여 분단하기 때문에, 기판(2)의 이동 속도(즉, 기판 파지 기구(28)의 이동 속도)와 상류측 스크라이브부(20)의 컨베이어 벨트(52)의 회전 속도가 완전히 동기하는 것이 전제되어야 한다. 따라서, 조금이라도 동기하지 않는 경우, 즉 기판(2)의 이동 속도가 컨베이어 벨트(52)의 회전 속도보다 조금이라도 빠르거나, 또는 이와 반대인 경우, 컨베이어 벨트(52)에 접촉하는 기판(2)의 접촉면에 마찰력에 의한 흠집 등이 발생할 수도 있다.
또한, 종래의 기판 분단 장치에서는 컨베이어 벨트를 옮겨 타는 컨베이어 환승부가 존재하기 때문에, 기판 주행의 안정성 및 기판 손상 등의 문제점이 발생할 수도 있다.
즉, 도 2의 (a) 내지 (c)를 참조하면, 종래의 기판 분단 장치에서는, 급재부(10)와 상류측 스크라이브부(20) 사이, 그리고 하류측 스크라이브부(30)와 픽업부(40) 사이에, 컨베이어 벨트의 연결이 끊어져 있는 컨베이어 환승부가 존재한다. 이와 같이 컨베이어 벨트(52)들 사이가 서로 떨어져 있기 때문에, 컨베이어 벨트(52) 상에서 반송되는 기판(2)이, 급재부(10)에서 상류측 스크라이브부(20)로 반송되거나 하류측 스크라이브부(30)에서 픽업부(40)로 반송되기 위해서는 컨베이어 벨트(52)를 옮겨 타야 한다.
그런데, 서로 이웃하는 컨베이어 벨트(52)의 회전 속도 또는 직진성이 서로 불일치하게 되면, 기판(2)이 다음 단계의 컨베이어 벨트(52)로 반송될 때 기판(2)의 주행에 어긋남이 발생하게 된다. 이와 같이 기판(2)의 주행에 어긋남이 발생하는 경우, 상류측 스크라이브부(20)의 컨베이어 벨트(52)에서는 얼라인먼트(alignment) 시야로부터 기판(2)이 벗어나거나, 또는 기판 파지시에 기판(2)을 깊게 잡거나 얕게 잡는 등 기판 위치 안정성 면에서 문제점이 발생한다. 또한, 컨베이어 벨트(52)를 회전시킴으로써 기판(2)을 하류측 스크라이브부(30)에서부터 픽업부(40)로 옮겨 타게 하는 피치 이송의 경우에는(도 2의 (c)), 이미 분단된 후의 기판이기 때문에, 마찰 응력이나 컨베이어 단차에 의해, 기판이 분리되거나 단자부에 흠집이 발생하는 등의 문제점이 발생할 수 있다.
본 발명은 상기한 바와 같은 문제점을 해결하기 위하여 창안된 것으로, 그 목적은 컨베이어 벨트의 회전 속도와 기판 파지 기구의 이동 속도 차이에 의해 발생하는 문제점을 방지하여, 양호한 기판 표면 상태에서 기판 분단 작업이 행해질 수 있는 기판 분단 장치 및 이를 이용한 기판 분단 방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은, 컨베이어 벨트 환승부로 인한 기판 위치 불안정성 및 기판 분리 등의 문제점을 해결할 수 있는 기판 분단 장치 및 기판 분단 방법을 제공하는 것이다.
상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 일 실시형태에 따른 기판 분단 장치는, 설치대 상에서 기판 반송 방향인 제1 방향을 따라 서로 간격을 두고 배치되는 제1 컨베이어 및 제2 컨베이어, 상기 제1 컨베이어와 제2 컨베이어 사이에 배치되는 스크라이브 유닛 및, 상기 설치대의 제1 컨베이어 측에 설치되며, 기판을 스크라이브할 때, 상기 제1 컨베이어 상에 올려 놓여진 당해 기판의 적어도 일측 가장자리를 파지하는 기판 파지 기구를 포함하고, 상기 스크라이브 유닛은 상기 기판 파지 기구에 대하여 이동 가능하게 형성되고, 상기 스크라이브 유닛의 이동에 연동하여 상기 제1 컨베이어 및 제2 컨베이어가 당해 컨베이어의 내측으로 인입되거나 컨베이어의 외측으로 신장될 수 있다.
또한, 상기 제1 컨베이어 및 제2 컨베이어는, 복수의 회전체와, 상기 복수의 회전체에 순차로 감겨져 무한 궤도를 형성하는 기판 반송부를 각각 구비하고, 상기 제1 컨베이어 및 제2 컨베이어의 복수의 회전체는, 상기 스크라이브 유닛의 이동에 연동하여 이동 가능하게 형성되는 제1 회전체와, 이동이 고정되는 제2 회전체로 구성되며, 상기 제1 회전체의 이동에 의해, 상기 제1 회전체에 감겨진 기판 반송부가 상기 무한 궤도 내측으로 인입되거나 외측으로 신장될 수 있다.
이 경우, 상기 기판 분단 장치는, 상기 스크라이브 유닛을 상기 제1 방향 및 상기 제1 방향과 반대 방향인 제2 방향으로 이동 가능하게 하는 구동 유닛을 더 포함하고, 상기 구동 유닛에 상기 제1 회전체가 연결될 수 있다.
또한, 상기 제1 회전체는, 무한 궤도 내측에서 상기 스크라이브 유닛쪽에 위치하면서 상기 기판을 지지하는 내측 회전체와, 무한 궤도 외측에서 상기 스크라이브 유닛쪽에 위치하는 외측 회전체를 포함하고, 상기 제1 방향으로의 상기 내측 회전체와 상기 외측 회전체 사이의 간격이 일정하게 유지될 수 있으며, 구체적으로 상기 내측 회전체 및 외측 회전체는 프레임에 의해 서로 연결될 수 있다. 또한, 상기 제1 컨베이어의 내측 회전체와 상기 제2 컨베이어의 내측 회전체 사이의 간격은 일정하게 유지될 수 있다.
또한, 상기 제2 회전체는, 상기 기판 반송부가 무한 궤도 내측으로 인입될 때 상기 제2 회전체의 회전을 고정시키고, 상기 기판 반송부가 무한 궤도 외측으로 신장될 때 상기 제2 회전체의 회전을 자유롭게 하는 회전 단속 기구에 연결될 수 있다.
한편, 상기 스크라이브 유닛은, 상기 기판이 통과할 수 있도록 간격을 두고 서로 대향하면서 상기 제1 방향과 교차하는 제3 방향으로 연장하는 한 쌍의 스크라이브 빔과, 상기 한 쌍의 스크라이브 빔 각각에 상기 제3 방향을 따라 이동 가능하게 설치되는 스크라이브 헤드를 포함할 수 있다.
또한, 상기 기판 파지 기구는 상기 제1 방향으로의 움직임이 고정되도록 설치될 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시 형태에 따른 기판 분단 방법은, 상기 제1 컨베이어 상에 올려 놓여진 기판의 적어도 일측 가장자리를 상기 기판 파지 기구가 파지하여 상기 기판의 이동을 고정시키고, 고정된 상기 기판에 대하여 상기 스크라이브 유닛을 이동시킴과 함께, 상기 스크라이브 유닛의 이동에 연동하여 상기 제1 컨베이어 및 제2 컨베이어를 당해 컨베이어의 내측으로 인입시키거나 외측으로 신장시키면서 기판을 스크라이브하는 것을 포함할 수 있다.
이 경우, 상기 스크라이브 유닛의 이동에 연동하여 상기 제1 회전체를 함께 이동시켜, 상기 제1 회전체에 감겨진 기판 반송부를 상기 무한 궤도 내측으로 인입시키거나 외측으로 신장시키면서 기판을 스크라이브할 수 있다.
구체적으로, 상기 기판을 스크라이브하기 위해 상기 스크라이브 유닛을 이동시킬 때에, 상기 제1 컨베이어 및 제2 컨베이어의 제1 회전체는 회전을 자유롭게 하고, 제2 회전체는 회전을 고정시킬 수 있다.
또한, 스크라이브 종료 후 상기 스크라이브 유닛을 원래의 위치로 이동시킬 때, 상기 제1 컨베이어 및 제2 컨베이어의 제1 회전체는 회전을 고정시키고, 제2 회전체는 회전을 자유롭게 할 수 있다.
그리고, 상기 스크라이브 유닛을 원래의 위치로 이동시킨 후, 상기 제2 컨베이어의 제1 회전체 및 제2 회전체의 회전을 자유롭게 하여, 제2 컨베이어 상에 놓여진 기판을 하류측으로 이송할 수 있다.
본 발명의 일 실시 형태에 따른 기판 분단 장치 및 이를 이용한 기판 분단 방법에 의하면, 기판이 기판 파지 기구에 고정된 상태에서 스크라이브 유닛이 기판 파지 기구쪽으로 이동함과 아울러, 스크라이브 유닛의 이동에 연동하여 컨베이어가 내측으로 인입되거나 외측으로 신장되는 텔레스코픽 컨베이어(telescopic conveyor) 구성이 구비되기 때문에, 종래의 기판 분단 장치와 같이 컨베이어 벨트를 회전시킬 필요가 없어, 컨베이어 벨트의 회전 속도와 기판 파지 기구의 이동 속도 불일치에 따른 문제점이 발생하지 않는다. 따라서, 기판 표면 상에 흠집 등의 손상 없이 양호한 상태로 기판을 스크라이브하여 분단할 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명의 일 실시 형태에 따른 기판 분단 장치 및 이를 이용한 기판 분단 방법에 의하면, 종래의 기판 분단 장치에서와 같이, 급재부와 상류측 스크라이브부 사이, 그리고 하류측 스크라이브부와 픽업부 사이에 컨베이어 벨트 환승부가 존재하지 않기 때문에, 기판의 주행 시에 어긋남이 발생하거나 기판 표면에 흠집이 발생하는 등의 문제점 없이 양호하고 안정적으로 기판이 반송될 수 있다.
도 1은 종래의 기판 분단 장치의 주요 구성을 개략적으로 나타내는 사시도이다.
도 2는 종래의 기판 분단 장치를 이용하여 기판을 분단하는 과정을 개략적으로 나타내는 개략도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시형태에 따른 기판 분단 장치의 주요 구성을 개략적으로 나타내는 측면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시형태에 따른 기판 분단 장치에 있어서 회전체의 구성을 변형한 변형예를 개략적으로 나타내는 측면도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시형태에 따른 기판 분단 장치를 이용하여 기판을 분단하는 과정을 개략적으로 나타내는 개략도이다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시형태에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 쉽게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시형태에 한정되지 않는다. 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조부호를 붙였다. 또한, 본 발명의 실시 형태에 대해서는 특허문헌 1 등에 개시된 종래의 기판 분단 장치와 구성 상의 차이점을 중심으로 설명하며, 종래의 기판 분단 장치와 동일하거나 유사한 구성에 대해서는 그의 설명을 생략한다.
한편, 본 발명의 실시 형태에 있어서, “기판”에는 복수의 기판으로 절단되는 머더 기판을 포함하고, 또한 강판 등의 금속 기판, 목판, 플라스틱 기판 및 세라믹스 기판, 반도체 기판, 글라스 기판 등의 취성 재료 기판 등의 단판이 포함된다. 또한, 이러한 단판에 한정되지 않고, 한 쌍의 기판끼리를 접합시킨 접합 기판, 한 쌍의 기판끼리를 적층시킨 적층 기판도 포함된다.
도 3은 본 발명의 일 실시형태에 따른 기판 분단 장치의 주요 구성을 개략적으로 나타내는 측면도이다.
본 실시형태에 따른 기판 분단 장치는 제1 컨베이어(100) 및 제2 컨베이어(120)와, 스크라이브 유닛(140)과, 기판 파지 기구(160)를 포함한다.
먼저, 제1 컨베이어(100) 및 제2 컨베이어(120)는 설치대(도시되지 않음) 상에서 기판 반송 방향인 제1 방향(도 3에서 +Y 방향)을 따라 서로 간격을 두고 배치된다. 그리고 제1 컨베이어(100)와 제2 컨베이어(120) 사이에 스크라이브 유닛(140)이 배치되어, 제1 컨베이어(100) 상에 올려 놓여진 기판(2)이 제2 컨베이어(120) 쪽으로 반송되는 도중에 스크라이브 작업이 행해지게 된다.
본 실시 형태에 있어서, 제1 컨베이어(100)는 복수의 회전체(102, 103, 108)(도 3에는 일 예로서 5개가 도시되어 있음)와, 이 복수의 회전체(102, 103, 108)에 순차로 감겨져 무한 궤도를 형성하는 기판 반송부(109)를 구비한다. 마찬가지로, 제2 컨베이어(120)도 스크라이브 유닛(140)을 기준으로 제1 컨베어어(100)와 서로 대칭되도록 복수의 회전체(122, 123, 128) 및 기판 반송부(129)를 구비한다. 여기에서, 기판 반송부(109, 129)는 기판을 지지하면서 기판을 이동 및 운반할 수 있는 띠 모양의 운반 수단으로서, 벨트, 체인 등을 포함할 수 있고, 회전체는 기판 반송부(109, 129)를 회전시킬 수 있는 롤러, 스프라켓 등을 포함할 수 있다.
한편, 설치대의 제1 컨베이어(100) 측에는 제1 컨베이어(100) 상에 올려 놓여진 기판의 적어도 일측 가장자리를 파지하는 기판 파지 기구(160)가 설치된다. 이 기판 파지 기구(160)는 제1 방향으로의 움직임이 고정되도록 설치대 상에 설치되며, 상기 제1 컨베이어(100) 상에서 기판(2)이 반송되는 경우에는 기판(2)의 반송을 방해하지 않도록 제1 컨베이어(100)의 아래쪽 또는 위쪽에 위치하다가, 기판(2)을 스크라이브할 때는 위쪽 또는 아래쪽으로 승강하여 기판의 일측 가장자리를 파지하여 고정시킨다.
상기한 구성을 갖는 기판 분단 장치에서, 스크라이브 유닛(140)은 기판 파지 기구(160)에 대하여 이동 가능하게 형성된다. 즉, 본 실시형태에 따른 기판 분단 장치는 구동 유닛(도시되지 않음)을 더 포함하고, 이러한 구동 유닛의 작동에 의해 스크라이브 유닛(140)이 제1 방향 및 제1 방향과 반대 방향인 제2 방향(-Y 방향)으로 왕복 이동 가능하게 형성된다. 이러한 구동 유닛의 일 예로는 리니어 모터를 들 수 있으며, 설치대 상에 한 쌍의 가이드 레일을 제1 컨베이어(100) 및 제2 컨베이어(120)를 사이에 두고 제1 방향을 따라 길게 연장하도록 형성한 후, 리니어 모터에 연결한 스크라이브 유닛(140)을 상기 가이드 레일에 결합시킴으로써, 스크라이브 유닛(140)을 제1 방향 및 제2 방향을 따라 왕복이동 가능하게 형성할 수 있다.
그리고, 스크라이브 유닛(140)의 이동에 연동하여 제1 컨베이어(100) 및 제2 컨베이어(120) 또한 당해 컨베이어의 내측으로 인입되거나 외측으로 신장되도록 형성된다. (이하, 이러한 구성을 ‘텔레스코픽 컨베이어 구성’이라고도 칭한다.) 구체적으로, 제1 컨베이어(100) 및 제2 컨베이어(120)의 회전체는, 스크라이브 유닛(140)의 이동에 연동하여 이동 가능하도록 형성되는 제1 회전체(104, 124)와, 이동이 고정되는 제2 회전체(108, 128)로 구성되고, 제1 회전체(104, 124)의 이동에 의해, 제1 회전체(104, 124)에 감겨진 기판 반송부(109, 129)가 무한 궤도 내측으로 인입되거나 무한 궤도 외측으로 신장된다. (스크라이브 유닛(140)의 제1 방향 및 제2 방향에 따른 이동에 따라 제1 컨베이어(100) 및 제2 컨베이어(120)가 내측으로 인입되거나 외측으로 신장되는 구체적인 동작 및 다른 구성요소들 사이의 작동 관계 등에 대해서는 후술한다.)
이와 같이, 본 실시 형태에 따른 기판 분단 장치에서는, 기판(2)이 기판 파지 기구(160)에 의해 고정된 상태에서 스크라이브 유닛(140)이 제1 방향 및 제2 방향으로 왕복 이동되고, 이 스크라이브 유닛(140)의 이동에 연동하여 제1 컨베이어(100) 및 제2 컨베이어(120)가 당해 컨베이어 내측으로 인입되거나 외측으로 신장되는 구성을 가짐으로써, 종래의 기판 분단 장치에서와 같이 기판을 스크라이브하여 분단할 때 컨베이어를 회전시킬 필요가 없게 된다. 따라서, 본 실시 형태에 따른 기판 분단 장치에서는, 스크라이브 유닛(140)의 이동 속도와 제1 컨베이어(100) 또는 제2 컨베이어(120)의 회전 속도를 일치시킬 필요가 없기 때문에, 종래의 기판 분단 장치에서와 같이 기판 파지 기구의 이동 속도와 컨베이어 벨트의 회전 속도 사이의 속도 불일치에 따른 기판 손상 등의 문제가 발생하지 않는다.
한편, 스크라이브 유닛(140)의 이동에 연동하여 이동 가능하게 형성되는 제1 회전체(104, 124)는 스크라이브 유닛(140)의 구동 유닛에 함께 연결될 수 있다. 이와 같이 제1 회전체(104, 124)가 스크라이브 유닛(140)의 구동 유닛에 함께 연결됨으로써, 하나의 구동 유닛에 의해 스크라이브 유닛(140) 및 제1 회전체(104, 124)가 이동하게 되어, 스크라이브 유닛(140)의 이동에 연동하는 제1 회전체(104, 124)의 제1 방향 및 제2 방향을 따른 이동의 신뢰성이 향상될 수 있다. 물론, 제1 회전체(104, 124)를 스크라이브 유닛(140)의 구동 유닛과는 다른 별도의 구동 유닛에 연결하고, 구동 유닛의 작동을 제어하는 제어부의 지시에 의해 제1 회전체(104, 124)를 스크라이브 유닛(140)의 이동에 연동하여 이동하도록 하는 것도 가능하다.
또한, 본 실시형태에서 제1 회전체(104, 124)는, 무한 궤도 내측에서 스크라이브 유닛(140)쪽에 위치하면서 기판(2)을 지지하는 내측 회전체(102, 122)와, 무한 궤도 외측에 위치하는 외측 회전체(103, 123)를 구비한다.
이와 같이, 제1 회전체(104, 124)로서 기판 스크라이브 유닛(140)쪽에 위치하는 내측 회전체(102, 122) 및 외측 회전체(103, 123)가 구비됨으로써, 제1 회전체(104, 124)의 제1 방향 및 제2 방향에 따른 이동에 따라, 제1 회전체(104, 124)에 감겨진 기판 반송부(109, 129)가 무한 궤도 내측으로 인입되거나 외측으로 신장될 수 있다.
구체적으로, 제1 회전체(104, 124)가 제2 방향(도면에서 -Y 방향)으로 이동하게 되면, 제1 컨베이어(100)의 경우, 외측 회전체(103)의 작용에 의해 제1 회전체(104)에 감겨진 기판 반송부(109)가 무한 궤도 내측으로 인입되고, 제2 컨베이어(120)의 경우, 내측 회전체(122)의 작용에 의해 제1 회전체(124)에 감겨진 기판 반송부(129)가 무한 궤도 외측으로 신장된다.
또한, 제1 회전체(104, 124)가 이동될 때, 제1 컨베이어(100)에 있어서 제1 방향으로의 내측 회전체(102)와 외측 회전체(103) 사이의 간격과, 제2 컨베이어(120)에 있어서 제1 방향으로의 내측 회전체(122)와 외측 회전체(123) 사이의 간격은 일정하게 유지된다.
이와 같이 내측 회전체(102, 122)와 외측 회전체(103, 123) 사이의 간격이 제1 회전체(104, 124)의 이동 중에도 일정하게 유지됨으로써, 회전체에 감긴 기판 반송부(109, 129)가 항상 일정한 장력 하에 있게 되어, 기판 반송부(109, 129)의 원활한 회전이 보장될 수 있다.
또한, 도 4에 나타낸 것처럼, 제1 컨베이어(100)의 내측 회전체(102) 및 외측 회전체(103)가 프레임(150)에 의해 연결되고, 제2 컨베이어(120)의 내측 회전체(122) 및 외측 회전체(123)가 프레임(170)에 의해 연결될 수도 있다. 이와 같이 내측 회전체(102, 122) 및 외측 회전체(103, 123)가 프레임(150, 170)에 의해 물리적으로 연결됨으로써, 내측 회전체(102, 122) 및 외측 회전체(103, 123)가 일체적으로 이동될 수 있게 되고, 이로 인해 기판 반송부(109, 129)의 원활한 회전이 더욱 확실하게 보장될 수 있다.
또한, 스크라이브 유닛(140)의 이동에 연동하여 제1 회전체(104, 124)가 이동할 때, 제1 컨베이어(100)의 내측 회전체(102)와 제2 컨베이어(120)의 내측 회전체(122) 사이의 간격이 일정하게 유지된다.
즉, 스크라이브 유닛(140)의 이동에 연동하여 제1 회전체(104, 124)가 이동할 때, 제1 컨베이어(100)의 내측 회전체(102)와 제2 컨베이어(120)의 내측 회전체(122) 사이의 간격이 일정하게 유지되도록, 제1 회전체(104, 124)의 이동이 제어된다. 이는, 상술한 바와 같이 제1 컨베이어(100)의 내측 회전체(102)와 제2 컨베이어(120)의 내측 회전체(122)를 동일한 구동 유닛에 연결하거나, 제1 회전체(104, 124)의 이동 속도를 제어하는 제어부의 조작에 의해 행해질 수 있다.
이와 같이, 내측 회전체(102, 122)들 사이의 간격이 일정하게 유지되도록 제어됨으로써, 스크라이브 유닛(140)의 이동에 연동하여 제1 컨베이어(100) 및 제2 컨베이어(120)가 내측으로 인입되거나 외측으로 신장될 때, 제1 컨베이어(100) 상의 기판(2)이 스크라이브 유닛(140)을 지나 제2 컨베이어(120)로 자연스럽게 옮겨질 수 있다. 이로 인해, 종래의 기판 분단 장치에 있어, 컨베이어 벨트의 회전 속도 차이에 의해 기판이 컨베이어 벨트를 옮겨탈 때 기판의 손상이나 기판 위치 불안정성 등의 문제점을 수반하지 않고, 안정적으로 그리고 양호한 상태로 기판이 반송될 수 있다.
한편, 본 실시형태에 따른 기판 분단 장치에 있어서, 제1 컨베이어(100)의 제2 회전체(108)와 제2 컨베이어(120)의 제2 회전체(128)는 자체의 회전을 단속하는 단속 기구(도시되지 않음)에 연결된다.
즉, 제1 컨베이어(100)가 내측으로 인입되거나 외측으로 신장될 때, 클러치 등의 단속 기구를 통해 제1 컨베이어(100)의 제2 회전체(108)의 회전 또는 제2 컨베이어(120)의 제2 회전체(128)의 회전을 자유롭게 하거나 회전되지 않도록 고정함으로써, 회전체에 감겨 있는 기판 반송부(109, 129)의 회전 여부를 제어할 수 있게 된다. 제1 컨베이어(100) 및 제2 컨베이어(120)의 내측으로의 인입 및 외측으로의 신장에 따른 제2 회전체(108, 128)의 회전 여부에 대해서는 후술한다.
한편, 본 실시 형태에 따른 기판 분단 장치에 있어서의 스크라이브 유닛(140)은, 제1 방향과 교차하는 제3 방향(도 3에서 X 방향)으로 길게 신장하도록 형성된 한 쌍의 스크라이브 빔(144)과, 이 한 쌍의 스크라이브 빔(144)의 외면에서 상기 제3 방향으로 이동 가능하게 형성되는 스크라이브 헤드(142)를 구비하도록 형성된다. 즉, 본 실시 형태에 따른 기판 분단 장치는 기판(2)의 표면 및 이면의 양면에 동시에 스크라이브 작업을 수행하는 경우에 사용될 수 있다. 하지만, 본 발명은 이에 한정되는 것은 아니며, 단일 스크라이브 빔 및 스크라이브 헤드를 이용하여 기판의 단면을 스크라이브 하는 경우에도 적용될 수 있다.
한편, 본 실시형태에 따른 기판 분단 장치에 있어서 기판 파지 기구(160)는 제1 방향(도 3에서 +Y 방향)으로의 움직임이 고정되도록 설치된다. 즉, 기판 파지 기구(160)가 기판(2)의 적어도 일측 가장자리를 파지한 후, 기판 파지 기구가 기판 반송 방향으로 왕복 이동하면서 기판에 스크라이브 작업을 수행하는 것이 아니라, 기판 파지 기구(160)는 제1 방향으로의 움직임이 고정된 상태에서 스크라이브 유닛(140)이 제1 방향 및 제2 방향으로 왕복 이동하면서 기판에 스크라이브 작업을 수행한다.
이와 같이, 기판(2)을 파지한 기판 파지 기구(160)가 고정된 상태에서 스크라이브 유닛(140)이 이동하여 기판이 스크라이브됨으로써, 기판(2)을 이동시키기 위해 기판 반송부(109)를 회전시킬 필요가 없기 때문에, 기판 반송부(109)에 접촉하는 기판(2)의 접촉면에 마찰력 등에 의한 손상이 발생하지 않게 된다.
이하에서는, 본 실시 형태에 따른 기판 분단 장치를 이용한 기판 분단 방법으로서, 기판의 절단 개시 단계에서부터 기판의 피치 이송 단계까지의 기판 분단 과정을 도 5를 참조하여 설명한다.
도 5는 본 발명의 일 실시형태에 따른 기판 분단 장치를 이용하여 기판을 분단하는 과정을 개략적으로 나타내는 개략도이다.
먼저, 도 5의 (a)를 참조하면, 제1 컨베이어(100)의 기판 반송부(109) 상에 올려 놓여진 기판(2)은 기판 파지 기구(160)쪽으로 이송된 후, 그의 일측 가장자리가 기판 파지 기구(160)에 의해 파지된 채 고정된다. (기판 분단 개시 단계) 한편, 도 5의 (a)에서, 제1 컨베이어(100)와 같이, 제1 회전체(104) 및 이에 감겨진 기판 반송부(109)가 신장되어 제1 컨베이어(100)가 신장된 상태를 신장 상태라고 하고, 제2 컨베이어(120)와 같이, 제1 회전체(124) 및 이에 감겨진 기판 반송부(129)가 내측으로 인입된 상태를 인입 상태라고 한다.
다음, 도 5의 (b)를 참조하면, 기판에 스크라이브를 행하여 기판을 분단하기 위해, 기판 반송 방향을 기준으로 하류측에 위치하는 스크라이브 유닛(140)을 기판 파지 기구(160)에 대하여 즉, 제2 방향(도 5에서 -Y 방향)으로 이동시킨다. 이 경우, 스크라이브 유닛(140)의 이동에 연동하여 제2 컨베이어(120)의 제1 회전체(124)도 제2 방향으로 이동되고, 제1 컨베이어(100)의 제1 회전체(104)도 스크라이브 유닛(140)의 이동에 연동하여 제2 방향으로 이동된다. (기판 분단 단계)
이 경우, 제1 컨베이어(100)의 제2 회전체(108)는 회전이 고정되도록 단속 기구 등을 통해 그의 회전을 고정시킨다. 이로 인해, 제1 회전체(104)가 제2 방향으로 이동될 때, 제1 회전체(104)를 감싸고 있는 기판 반송부(109)만이 이동하게 되어, 기판(2)과 접촉하고 있는 기판 반송부(109)는 스크라이브 유닛(140)과 가까운 측면에서부터 제2 방향을 따라 기판(2)과의 접촉이 분리되면서 제1 컨베이어(100) 내측으로 인입되고, 제1 컨베이어(100)는 인입 상태가 된다.
또한, 이 경우 제2 컨베이어(120)의 제2 회전체(128)도 단속 기구 등을 통해 그의 회전을 고정시킨다. 이로 인해, 제1 컨베이어(100)와 대응되게, 제2 컨베이어(120)의 제1 회전체(124)를 제2 방향으로 이동시킬 때, 제1 회전체(124)에 감겨져 있는 기판 반송부(129)만이 제2 방향으로 신장되어, 제2 컨베이어(120)는 신장 상태가 된다.
이와 같이 스크라이브 유닛(140)을 제1 방향 및 제2 방향으로 왕복 이동시켜서 기판(2)에 스크라이브 작업을 완료하면, 도 5의 (b)에서와 같이 기판(2)이 제2 컨베이어(120)의 기판 반송부(129) 상에 올려 놓여져 있는 상태가 되어, 제1 컨베이어(100)로부터 제2 컨베이어(120) 쪽으로 기판(2)을 강제적으로 옮길 필요가 없어지게 된다.
다음, 도 5의 (c)를 참조하면, 기판(2)에 스크라이브 작업을 완료한 후, 스크라이브 유닛(140)을 제1 방향(도면에서 +Y 방향)을 따라 원래의 위치(도 5의 (a)에서의 위치)로 이동시키고, 이와 연동하여 제1 컨베이어(100)의 제1 회전체(104) 및 제2 컨베이어(120)의 제1 회전체(124)도 제1 방향으로 이동시킨다. (기판 분단 종료 단계)
이 경우, 제1 컨베이어(100)의 제1 회전체(104)는 회전을 고정시키고, 제2 회전체(108)는 회전을 자유롭게 한다. 이로 인해, 기판 반송부(109)에 새로 공급된 기판(2’)은 제1 회전체(104)의 이동에 따라 기판 파지 기구(160) 쪽으로 이송되고, 제1 컨베이어(100)는 다시 신장 상태가 된다.
또한, 제2 컨베이어(120)의 제1 회전체(124) 및 제2 회전체(128)도 제1 컨베이어(100)의 경우와 마찬가지로, 제1 회전체(124)의 회전은 고정시키고 제2 회전체(128)의 회전은 자유롭게 한다. 이로 인해, 기판 반송부(129) 상에 기판(2)이 올려 놓여진 상태로, 제2 컨베이어(120)가 내측으로 인입되면서 다시 인입 상태가 된다.
다음, 도 5의 (d)를 참조하면, 제1 컨베이어(100) 및 제2 컨베이어(120)를 회전시켜 기판(2’, 2)을 하류측으로 피치 이송시킨다. (피치 이송 단계) 구체적으로, 제1 컨베이어(100)의 제1 회전체(104) 및 제2 회전체(108)의 회전을 자유롭게 하여 기판 반송부(109)를 회전시킴으로써, 기판 반송부(109) 상의 기판(2’)을 기판 분단 개시 단계에서의 기판 위치로 이송시키고, 제2 컨베이어(120)의 제1 회전체(124) 및 제2 회전체(128)의 회전을 자유롭게 하여 기판 반송부(129)를 회전시킴으로써, 기판 반송부(129) 상의 기판(2)을 하류측(제1 방향)으로 피치 이송시켜 다음의 가공 단계를 준비할 수 있도록 한다.
이와 같이, 기판을 반송하면서 기판에 스크라이브 작업을 행하여 기판을 분단함으로써, 도 2에 도시된 것처럼 급재부(10)와 상류측 스크라이브부(20) 사이, 그리고 하류측 스크라이브부(30)와 픽업부(40) 사이에서 컨베이어 벨트를 옮겨탈 필요가 없어지게 되고, 이로 인해 기판 주행의 어긋남으로 인한 문제점 또는 컨베이어 단차에 의한 문제점 등이 방지될 수 있다.
또한, 본 실시 형태에 따른 기판 분단 방법에 의하면, 기판에 스크라이브 작업을 행할 때 종래의 기판 분단 방법에서와 같이 기판 반송부를 회전시킬 필요가 없어, 기판 반송부와 접촉하는 기판의 접촉면에 손상 등이 방지될 수 있고, 기판에 스크라이브 작업이 종료되었을 때는 기판이 제1 컨베이어(100)에서 제2 컨베이어(120)로 자연스럽게 옮겨진 상태가 되기 때문에, 컨베이어 단차에 의해 기판이 분리되거나 기판에 흠집이 발생하는 문제점 등이 방지될 수 있다.
전술한 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되는 것이 아니고 특허청구범위에 기재된 구성 요지를 일탈하지 않는 범위 안에서 여러 가지로 변형 또는 변경하여 실시하는 것이 가능하고 이 또한 본 발명의 범위에 속하는 것은 당연하다.
2, 2’: 기판 100: 제1 컨베이어
102, 122: 내측 회전체, 103, 123: 외측 회전체
104, 124: 제1 회전체 108, 128: 제2 회전체
109, 129: 기판 반송부 120: 제2 컨베이어
140: 스크라이브 유닛 142: 스크라이브 헤드
144: 스크라이브 빔 160: 기판 파지 기구

Claims (15)

  1. 삭제
  2. 설치대 상에서 기판 반송 방향인 제1 방향을 따라 서로 간격을 두고 배치되는 제1 컨베이어 및 제2 컨베이어;
    상기 제1 컨베이어와 제2 컨베이어 사이에 배치되는 스크라이브 유닛; 및
    상기 설치대의 제1 컨베이어 측에 설치되며, 기판을 스크라이브할 때, 상기 제1 컨베이어 상에 올려 놓여진 당해 기판의 적어도 일측 가장자리를 파지하는 기판 파지 기구를 포함하고,
    상기 스크라이브 유닛은 상기 기판 파지 기구에 대하여 상기 제1 방향 및 상기 제1 방향과 반대 방향인 제2 방향으로 이동 가능하게 형성되고,
    상기 제1 컨베이어 및 제2 컨베이어는, 복수의 회전체와, 상기 복수의 회전체에 순차로 감겨져 무한 궤도를 형성하는 기판 반송부를 각각 구비하고,
    상기 제1 컨베이어 및 제2 컨베이어의 복수의 회전체는, 상기 스크라이브 유닛의 이동에 연동하여 이동 가능하게 형성되는 제1 회전체와, 이동이 고정되는 제2 회전체로 구성되며,
    상기 제1 회전체의 이동에 의해, 상기 제1 회전체에 감겨진 기판 반송부가 상기 무한 궤도 내측으로 인입되거나 외측으로 신장되는 것을 특징으로 하는 기판 분단 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 기판 분단 장치는, 상기 스크라이브 유닛을 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향으로 이동 가능하게 하는 구동 유닛을 더 포함하고,
    상기 구동 유닛에 상기 제1 회전체가 연결되는 것을 특징으로 하는 기판 분단 장치.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 제1 회전체는, 무한 궤도 내측에서 상기 스크라이브 유닛쪽에 위치하면서 상기 기판을 지지하는 내측 회전체와, 무한 궤도 외측에서 상기 스크라이브 유닛쪽에 위치하는 외측 회전체를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 분단 장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 제1 방향으로의 상기 내측 회전체와 상기 외측 회전체 사이의 간격이 일정하게 유지되는 것을 특징으로 하는 기판 분단 장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 내측 회전체 및 외측 회전체는 프레임에 의해 서로 연결되는 것을 특징으로 하는 기판 분단 장치.
  7. 제4항에 있어서,
    상기 제1 컨베이어의 내측 회전체와 상기 제2 컨베이어의 내측 회전체 사이의 간격은 일정하게 유지되는 것을 특징으로 하는 기판 분단 장치.
  8. 제2항에 있어서,
    상기 제2 회전체는, 상기 기판 반송부가 무한 궤도 내측으로 인입될 때 상기 제2 회전체의 회전을 고정시키고, 상기 기판 반송부가 무한 궤도 외측으로 신장될 때 상기 제2 회전체의 회전을 자유롭게 하는 회전 단속 기구에 연결되는 것을 특징으로 하는 기판 분단 장치.
  9. 설치대 상에서 기판 반송 방향인 제1 방향을 따라 서로 간격을 두고 배치되는 제1 컨베이어 및 제2 컨베이어;
    상기 제1 컨베이어와 제2 컨베이어 사이에 배치되는 스크라이브 유닛; 및
    상기 설치대의 제1 컨베이어 측에 설치되며, 기판을 스크라이브할 때, 상기 제1 컨베이어 상에 올려 놓여진 당해 기판의 적어도 일측 가장자리를 파지하는 기판 파지 기구를 포함하고,
    상기 스크라이브 유닛은 상기 기판 파지 기구에 대하여 상기 제1 방향 및 상기 제1 방향과 반대 방향인 제2 방향으로 이동 가능하게 형성되고,
    상기 스크라이브 유닛의 상기 제1 방향 또는 제2 방향으로의 이동에 연동하여 상기 제1 컨베이어 및 제2 컨베이어가 당해 컨베이어의 내측으로 인입되거나 컨베이어의 외측으로 신장되며,
    상기 스크라이브 유닛은, 상기 기판이 통과할 수 있도록 간격을 두고 서로 대향하면서 상기 제1 방향과 교차하는 제3 방향으로 신장하는 한 쌍의 스크라이브 빔과, 상기 한 쌍의 스크라이브 빔 각각에 상기 제3 방향을 따라 이동 가능하게 설치되는 스크라이브 헤드를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 분단 장치.
  10. 설치대 상에서 기판 반송 방향인 제1 방향을 따라 서로 간격을 두고 배치되는 제1 컨베이어 및 제2 컨베이어;
    상기 제1 컨베이어와 제2 컨베이어 사이에 배치되는 스크라이브 유닛; 및
    상기 설치대의 제1 컨베이어 측에 설치되며, 기판을 스크라이브할 때, 상기 제1 컨베이어 상에 올려 놓여진 당해 기판의 적어도 일측 가장자리를 파지하는 기판 파지 기구를 포함하고,
    상기 스크라이브 유닛은 상기 기판 파지 기구에 대하여 상기 제1 방향 및 상기 제1 방향과 반대 방향인 제2 방향으로 이동 가능하게 형성되고,
    상기 스크라이브 유닛의 상기 제1 방향 또는 제2 방향으로의 이동에 연동하여 상기 제1 컨베이어 및 제2 컨베이어가 당해 컨베이어의 내측으로 인입되거나 컨베이어의 외측으로 신장되며,
    상기 기판 파지 기구는 상기 제1 방향으로의 움직임이 고정되도록 설치된 것을 특징으로 하는 기판 분단 장치.
  11. 삭제
  12. 설치대 상에서 기판 반송 방향인 제1 방향을 따라 서로 간격을 두고 배치되는 제1 컨베이어 및 제2 컨베이어와, 상기 간격에 설치되는 스크라이브 유닛과, 상기 설치대의 제1 컨베이어 측에 설치되는 기판 파지 기구를 포함하는 기판 분단 장치를 이용해, 상기 제1 컨베이어 상에 올려 놓여진 기판을 스크라이브하여 상기 제2 컨베이어로 반송하면서 기판을 분단하는 기판 분단 방법으로서,
    상기 제1 컨베이어 상에 올려 놓여진 기판의 적어도 일측 가장자리를 상기 기판 파지 기구가 파지하여 상기 기판의 이동을 고정시키고,
    상기 제1 컨베이어 및 제2 컨베이어는, 복수의 회전체와, 상기 복수의 회전체에 순차로 감겨져 무한 궤도를 형성하는 기판 반송부를 각각 구비하고,
    상기 제1 컨베이어 및 제2 컨베이어의 복수의 회전체는, 이동 가능하게 형성되는 제1 회전체와 이동이 고정되는 제2 회전체로 구성되며,
    고정된 상기 기판에 대하여 상기 스크라이브 유닛을 상기 제1 방향 또는 상기 제1 방향과 반대 방향인 제2 방향으로 이동시킴과 함께, 상기 스크라이브 유닛의 이동에 연동하여 상기 제1 회전체를 함께 이동시켜, 상기 제1 회전체에 감겨진 기판 반송부를 상기 무한 궤도 내측으로 인입시키거나 외측으로 신장시키면서 기판을 스크라이브하는 것을 특징으로 하는 기판 분단 방법.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 기판을 스크라이브하기 위해 상기 스크라이브 유닛을 이동시킬 때에, 상기 제1 컨베이어 및 제2 컨베이어의 제1 회전체는 회전을 자유롭게 하고, 제2 회전체는 회전을 고정시키는 것을 특징으로 하는 기판 분단 방법.
  14. 제12항에 있어서,
    스크라이브 종료 후 상기 스크라이브 유닛을 원래의 위치로 이동시킬 때, 상기 제1 컨베이어 및 제2 컨베이어의 제1 회전체는 회전을 고정시키고, 제2 회전체는 회전을 자유롭게 하는 것을 특징으로 하는 기판 분단 방법.
  15. 제14항에 있어서,
    상기 스크라이브 유닛을 원래의 위치로 이동시킨 후, 상기 제2 컨베이어의 제1 회전체 및 제2 회전체의 회전을 자유롭게 하여, 제2 컨베이어 상에 놓여진 기판을 하류측으로 이송하는 것을 특징으로 하는 기판 분단 방법.
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