KR101397487B1 - 분단 장치 - Google Patents

분단 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR101397487B1
KR101397487B1 KR1020120048453A KR20120048453A KR101397487B1 KR 101397487 B1 KR101397487 B1 KR 101397487B1 KR 1020120048453 A KR1020120048453 A KR 1020120048453A KR 20120048453 A KR20120048453 A KR 20120048453A KR 101397487 B1 KR101397487 B1 KR 101397487B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
substrate
scribe
monolithic substrate
inverting
section
Prior art date
Application number
KR1020120048453A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20130011907A (ko
Inventor
요시타카 니시오
카츠요시 나카타
Original Assignee
미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤 filed Critical 미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤
Publication of KR20130011907A publication Critical patent/KR20130011907A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101397487B1 publication Critical patent/KR101397487B1/ko

Links

Images

Classifications

    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02PCLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P40/00Technologies relating to the processing of minerals
    • Y02P40/50Glass production, e.g. reusing waste heat during processing or shaping
    • Y02P40/57Improving the yield, e-g- reduction of reject rates

Abstract

(과제) 설비의 절약화와 작업 시간의 단축화가 가능한 단책 형상 기판의 분단 장치를 제공한다.
(해결 수단) 단책 형상 기판(W)의 표면에 기판 폭 방향을 따라서 스크라이브 홈(S)을 형성하는 스크라이브부(A)와, 스크라이브된 단책 형상 기판(W)을 표리 반전시키는 반전부(B)와, 반전된 단책 형상 기판(W)을 스크라이브 홈(S)을 따라서 분단하는 브레이크부(C)와, 단책 형상 기판(W)을 스크라이브부(A)로부터 브레이크부(C)까지 반송하는 반송부(9, 18)를 구비하고, 반송부는, 단책 형상 기판(W)의 길이 방향을 반송 방향을 향한 자세인 채로 단책 형상 기판(W)을 반송할 수 있도록 형성되고, 스크라이브부(A)의 스크라이브 헤드(4)를 보유지지(保持)하는 횡량(橫梁; 3)이, 단책 형상 기판(W)의 길이 방향을 따라서 형성되며, 스크라이브 헤드(4) 또는 단책 형상 기판(W) 중 어느 하나를 상대적으로 이동시킴으로써, 단책 형상 기판(W)에 대하여 폭 방향을 따르는 스크라이브 홈(S)을 가공하도록 구성한다.

Description

분단 장치{DIVIDING APPARATUS}
본 발명은, 유리 기판 등의 취성 재료 기판의 분단 장치에 관한 것이다. 특히 본 발명은, 기판 상에 스크라이브 홈을 형성하여 이 스크라이브 홈을 따라서 분단하는 분단 장치에 관한 것이다.
종래부터, 대면적의 마더(mother) 기판에 형성한 복수조의 평행한 스크라이브 홈을 따라서 분단함으로써 복수의 단책(短冊) 형상 기판을 형성하고, 그 후에, 단책 형상 기판에 폭 방향을 따른 복수조의 스크라이브 홈을 형성하고, 이 스크라이브 홈으로부터 기판을 브레이크함으로써, 단위 제품마다 분할하여, 단위 제품을 취출하는 방법이 알려져 있다(예를 들면 특허문헌 1, 특허문헌 2 등).
도 9는 종래의 분단 방법을 개략적으로 나타내는 설명도이다.
마더 기판에서 잘라낸 단책 형상 기판(W)은, 도 9(a)와 도 9(b)에 나타내는 바와 같이, 길이 방향을 따른 수평 자세로 스크라이브 장치(31)로 보내져, 폭 방향으로 복수의 스크라이브 홈(S)이 가공된다. 스크라이브 장치(31)의 프레임의 일부를 구성하는 장척(長尺)의 횡량(橫梁; 빔(beam); 31a)은, 단책 형상 기판(W)의 반송 방향과 직교하는 방향으로 배치되고, 횡량(31a)에 커터 휠 등의 스크라이브 홈 형성구를 구비한 스크라이브 헤드(31b)가 부착되어 있고, 이 스크라이브 헤드(31b)가 왕복이동하여 복수의 스크라이브 홈(S)이 순차 가공된다. 이 후, 도 9(c)에 나타내는 바와 같이, 단책 형상 기판(W)은 표리 반전되어 브레이크 장치(32)로 보내지고, 도 9(d)에서 나타내는 바와 같이 브레이크 바(32a)에 의해 스크라이브 홈(S)으로부터 순차 분단되어, 단위 제품(W1)이 취출된다.
그러나, 이 방법으로는, 스크라이브 장치에 있어서 스크라이브 홈(S)의 수만큼 스크라이브 헤드를 왕복이동하지 않으면 안되기 때문에, 작업 시간이 길어져, 스루풋(throughput)의 향상이 제한되어, 제품 비용에 영향이 나타난다는 결점이 있다.
그래서, 복수의 스크라이브 홈(S)을 일거에 가공하는 방법으로서 도 10에 나타내는 방법이 제안되어 있다.
스크라이브 장치(33)의 횡량(33a)은, 단책 형상 기판(W)의 반송 방향과 직교하는 방향으로 배치되고, 이 횡량(33a)에 가공해야 하는 스크라이브 홈(S)과 동일한 수만큼의 스크라이브 헤드(33b)가 부착되어 있다. 이 스크라이브 장치(33)에, 도 10(a) 그리고 도 10(b)가 나타내는 바와 같이, 마더 기판으로부터 잘라낸 단책 형상 기판(W)은, 그의 길이 방향이, 보내는 방향과 직교하는 수평 자세로 스크라이브 장치(33)로 보내져, 폭 방향을 따른 복수의 스크라이브 홈(S)이 일거에 가공된다. 이어서, 도 10(c)와 도 10(d)에 나타내는 바와 같이, 스크라이브 홈이 가공된 단책 형상 기판(W)은 수평 자세인 채로 90도 회전된 후, 표리 반전되어 브레이크 장치(34)로 보내지고, 도 10(e)에 나타내는 바와 같이 브레이크 바(34a)에 의해 스크라이브 홈(S)으로부터 순차 단위 제품(W1)으로 분단된다.
일본공개특허공보 2003-292333호 일본공개특허공보 2006-315901호
그러나, 도 10에 나타낸 후자의 방법으로는, 단책 형상 기판(W)을 재치(載置) 평면 상에서 수평 자세를 유지한 채로 90도 회전시키는 기구가 필요시 되기 때문에, 설비 비용이 높아짐과 함께, 그 만큼 제조 라인이 길어진다는 결점이 있다.
또한, 스크라이브 장치(33)의 프레임의 일부를 구성하는 장척의 횡량(33a)이 단책 형상 기판(W)의 보내는 방향과 직교하여 배치되어 있기 때문에, 횡량의 양단(兩端) 부분이 일련의 제조 라인으로부터 횡으로 비어져 나오게 된다. 따라서 제조 라인을 2련 또는 3련 평행하게 설치하는 경우, 상기 비어져 나온 부분이 방해가 되어 불필요한 공간이 발생하여, 설치 스페이스의 합리화를 도모할 수 없다는 문제점이 있었다.
그래서 본 발명은, 상기한 종래 과제를 해결하고, 설비의 절약화(省力化)와 작업 시간의 단축화가 가능한 신규의 단책 형상 기판의 분단 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위해 본 발명에서는 다음과 같은 기술적 수단을 강구했다. 즉, 본 발명의 분단 장치에서는, 단책 형상 기판의 표면에 기판 폭 방향을 따라서 스크라이브 홈을 형성하는 스크라이브부와, 스크라이브 홈이 형성된 단책 형상 기판을 표리 반전시키는 반전부와, 표리 반전된 단책 형상 기판을 스크라이브 홈을 따라서 분단하는 브레이크부와, 상기 단책 형상 기판을 스크라이브부로부터 브레이크부까지 반송하는 반송부를 구비하고, 상기 반송부는, 상기 단책 형상 기판의 길이 방향을 반송 방향을 향한 자세인 채로, 그리고 반송 방향을 유지시킨 상태로 단책 형상 기판을 반송할 수 있도록 형성되고, 상기 스크라이브부의 스크라이브 헤드를 보유지지(保持; holding)하는 횡량이, 단책 형상 기판의 길이 방향을 따라서 형성되고, 스크라이브 헤드 또는 단책 형상 기판 중 어느 하나를 상대적으로 이동시킴으로써, 단책 형상 기판에 폭 방향을 따른 스크라이브 홈을 가공하도록 형성되어 있는 구성으로 했다.
본 발명의 분단 장치는 상기와 같이 구성되어 있기 때문에, 스크라이브부의 횡량에 복수의 스크라이브 헤드를 부착함으로써 단책 형상 기판에 복수의 스크라이브 홈을 일거에 가공할 수 있어 작업 시간의 단축화를 도모할 수 있음과 함께, 스크라이브 가공된 단책 형상 기판은, 스크라이브부에서의 자세를 유지한 채로 반송부에 의해 다음의 반전부로 보내지기 때문에, 단책 형상 기판을 90도 회전시킬 필요가 없어진다. 이에 따라, 90도 회전시키기 위한 회전 기구나 그의 설치 스페이스를 생략하여 장치의 콤팩트화를 도모할 수 있다. 또한, 스크라이브부의 스크라이브 헤드를 보유지지하는 횡량이, 단책 형상 기판의 길이 방향, 즉 반송 방향을 따라서 형성되어있기 때문에, 장척의 횡량이 분단 장치의 라인으로부터 횡방향으로 비어져 나오는 경우가 없어져, 분단 장치의 라인을 평면에서 보았을 때 비교적 폭이 좁고 스마트한 띠 형상으로 형성할 수 있다. 이에 따라, 단책 형상 기판의 반송 방향으로 평행하게 두 개 또는 세 개와 같은 복수의 분단 장치를 합리적으로 조합하여 구성할 수 있어, 설치 스페이스의 유효 이용을 도모할 수 있다는 효과가 있다.
(그 외의 과제를 해결하기 위한 수단 및 효과)
본 발명에 있어서, 상기 스크라이브부에서 단책 형상 기판을 올려놓는 제1 테이블과, 반전부에서 반전된 단책 형상 기판을 올려놓고 브레이크부로 보내는 제2 테이블과, 상기 스크라이브부로부터 반전부로 단책 형상 기판을 반송하는 반송 기구를 구비하고, 반송 기구 및 제2 테이블은 실질적으로 상기 반송부를 형성하고 있는 구성으로 해도 좋다.
이에 따라, 제1 테이블 상에서 단책 형상 기판에 스크라이브 홈을 가공한 후, 단책 형상 기판의 길이 방향을 반송 방향을 향한 자세인 채로 표리 반전시킴과 함께, 브레이크부까지 단책 형상 기판을 반송할 수 있다.
또한, 본 발명에 있어서, 상기 반전부는, 반송 기구로부터 단책 형상 기판을 수취하여 올려놓는 반전 테이블과, 이 반전 테이블을 반전 구동하여 아래쪽에 대기하는 제2 테이블에 단책 형상 기판을 인도하는 반전 기구로 이루어지며, 반전 테이블은 단책 형상 기판을 착탈(着脫) 가능하도록 흡착하는 흡착 기능을 구비하고 있는 구성으로 하는 것이 좋다.
이에 따라, 단책 형상 기판의 표리 반전을 확실하게 행할 수 있음과 함께, 다음의 브레이크부로 보내기 위한 제2 테이블에 정확하게 인도할 수 있다.
도 1은 본 발명에 따른 분단 장치의 일 실시 형태를 나타내는 사시도이다.
도 2는 도 1의 분단 장치에 있어서의 스크라이브부의 사시도이다.
도 3은 도 1의 분단 장치에 있어서의 반전부와 브레이크부의 사시도이다.
도 4는 도 1의 분단 장치에 있어서의 반송 기구의 일 예를 나타내는 측면도이다.
도 5는 도 1의 분단 장치에 있어서의 반전부의 측면도이다.
도 6은 본 발명의 분단 장치의 개략적인 전체 구성을 나타내는 도면이다.
도 7은 본 발명의 분단 장치의 공정순의 움직임을 나타내는 도면이다.
도 8은 본 발명에 따른 분단 장치의 다른 실시예를 나타내는 개략적인 평면도이다.
도 9는 종래의 분단 방법을 개략적으로 나타내는 설명도이다.
도 10은 종래의 다른 분단 방법을 개략적으로 나타내는 설명도이다.
(발명을 실시하기 위한 형태)
이하, 본 발명에 따른 분단 장치의 상세를, 도 1∼도 7에 기초하여 상세하게 설명한다. 도 1은 본 발명에 따른 분단 장치의 사시도이고, 도 2는 스크라이브부의 사시도이고, 도 3은 반전부 및 브레이크부의 사시도이고, 도 4는 반송 기구의 일 예를 나타내는 측면도이고, 도 5는 반전부의 측면도이고, 도 6은 분단 장치의 개략적인 전체 구성을 나타내는 도면이고, 도 7은 공정순으로 움직임을 나타낸 도면이다.
본 발명의 분단 장치는, 유리제의 마더 기판으로부터 분단된 단책 형상 기판(W)을 폭 방향(도면의 Y방향)을 따라서 분단하여 복수의 단위 제품을 취출하는 분단 장치로서 사용된다. 따라서, 본 발명에 사용되는 단책 형상 기판(W)은, 최종 제품이 되는 단위 제품이 일렬로 복수개 나란히 놓인 장방형의 기판을 말한다.
본 발명의 분단 장치(1)는, 단책 형상 기판(W)의 표면에 기판 폭 방향을 따라서 복수의, 본 실시예에서는 3개의 스크라이브 홈(S)을 형성하는 스크라이브부(A)와, 스크라이브된 단책 형상 기판(W)을 표리 반전시키는 반전부(B)와, 반전된 단책 형상 기판(W)을 스크라이브 홈을 따라서 분단하는 브레이크부(C)와, 단책 형상 기판(W)을 스크라이브부(A)로부터 브레이크부(C)까지 반송하는 반송부를 구비하고 있다. 반송부는, 실질적으로는 후술하는 반송 기구(9)와 제2 테이블(18)에 의해 구성되고, 반송부에 의한 기판 반송 방향과 단책 형상 기판의 길이 방향(복수의 단위 제품이 나란히 놓인 긴 쪽 방향)이 동일한 방향이 되도록 되어 있다. 즉, 단책 형상 기판(W)의 길이 방향을 반송 방향을 향한 자세인 채로 반송 방향을 일정 방향으로 유지하도록 하여, 단책 형상 기판(W)이 스크라이브부(A)로부터 브레이크부(C)까지 일정한 방향으로 반송할 수 있도록 형성되어 있다. 이 기판 반송 방향을 도면에서는 X방향으로 표시한다.
스크라이브부(A)는, 좌우 한 쌍의 지주(2, 2)와, 이들 지주(2, 2)에 교가(橋架)된 횡량(빔이라고도 함)(3)을 구비하고, 횡량(3)은 X방향을 따라서 배치되어 있다. 횡량(3)에는, 소정의 간격을 두고 복수의, 본 실시예에서는 3개의 스크라이브 헤드(4)가 설치되어 있고, 스크라이브 헤드(4)의 하단(下端)에는 단책 형상 기판(W)에 스크라이브 홈(S)을 가공하기 위한 커터 휠 등의 스크라이브 홈 형성구(5)가 부착되어 있다. 또한, 스크라이브 헤드(4)의 아래쪽에는 단책 형상 기판(W)을 올려놓는, 수평면이 장방형 형상의 제1 테이블(6)이 배치되어 있다. 제1 테이블(6)은, X방향과 평면 상에서 직교하는 Y방향으로 연이어 설치된 레일(8)을 따라서 이동 가능하도록 형성되며, 이 제1 테이블(6)에 단책 형상 기판(W)이 그의 길이 방향을 X방향을 향한 자세로 올려 놓여 지지된다.
상기 스크라이브부(A)에 있어서, 스크라이브 홈 형성구(5)를 단책 형상 기판(W)의 표면에 누르면서, 제1 테이블(6)을, 구동축(7)을 통하여 Y방향으로 이동시킴으로써, 단책 형상 기판(W)에 3개의 스크라이브 홈(S)이 가공된다. 스크라이브 가공된 단책 형상 기판(W)은, 이하에서 설명하는 반송부의 반송 기구(9)에 의해 다음의 반전부(B)로 보내진다.
도 4는 상기 반송 기구(9)의 일 예를 나타낸다. 이 반송 기구(9)는 전술한 분단 장치(1)에 조입(incorporation)되어 있는 것이지만, 도 1∼도 3에서는 도면의 복잡화를 피하기 위해 생략되어 있다.
반송 기구(9)는 X방향을 따른 전후의 지주(10, 10)에 수평한 가이드 레일(11)이 부착되고, 이 가이드 레일(11)을 따라서 주행하는 주행체(12)에, 에어(air) 흡인구멍을 하면에 구비한 흡착판(13)이 구동 기구(도시하지 않음)를 통하여 승강할 수 있도록 형성되어 있다. 이 흡착판(13)을 승강시켜서 단책 형상 기판(W)을 흡착 보유하여, 가이드 레일(11)를 따라서 X방향으로 이동시킴으로써, 스크라이브부(A)에서 스크라이브 가공된 단책 형상 기판(W)을, 그의 평면 자세를 바꾸는 일 없이 다음의 반전부(B)로 보낼 수 있다.
반전부(B)는, 도 5에 나타내는 바와 같이, 지주(14)를 따라서 상하이동하는 승강체(15)와, 승강체(15)에 축(16)을 지점으로 하여 상향 자세로부터 하향 자세로 반전하는 반전 테이블(17)을 구비하고 있다. 반전 테이블(17)은 단책 형상 기판(W)를 흡착하기 위한 에어 흡인구멍을 표면에 구비하고, 반전 기구(도시하지 않음)에 의해 반전하도록 형성되어 있다. 반전 테이블(17)의 아래쪽에는, 반전된 단책 형상 기판(W)을 수취하여 다음 브레이크부(C)로 반송하기 위한 제2 테이블(18)이 대기하고 있다.
도 5(a)는, 반전 테이블(17) 상에 흡착판(13)으로부터 단책 형상 기판(W)이 인수인도된 상태를 나타낸다. 이 상태로부터 도 5(b)에 나타내는 바와 같이, 승강체(15)를 반전 테이블(17)이 반전 가능한 위치까지 상승시키고 반전 기구에 의해 반전시켜, 표리 반전된 단책 형상 기판(W)을 제2 테이블(18)에 인도한다.
제2 테이블(18)은, 반전된 단책 형상 기판(W)을 다음의 브레이크부(C)에 반송하는 반송부의 일부를 구성한다. 본 실시예에 있어서, 브레이크부(C)를 향하여 X방향으로 설치된 레일(19)에 스테이지(21)가 이동 가능하게 부착되며, 이 스테이지(21)에, Y방향으로 부설된 레일(22)을 따라서 구동축(23)에 의해 이동할 수 있도록 제2 테이블(18)이 설치되어 있다.
반전부(B)로부터 인도된 단책 형상 기판(W)은, 제2 테이블(18)에 올려놓여진 채로, 스테이지(21) 상에서 Y방향으로 조금 이동된 후, 스테이지(21)와 함께 브레이크부(C)로 보내진다.
반전부(B)와 브레이크부(C)는, 폭 방향(도면의 Y방향)에 있어서의 위치를 어긋나게 하여 배치되어 있다. 따라서, 분단 장치(1)에 있어서는, 반전부(B)와 브레이크부(C)의 상호 간섭을 피함과 함께 쌍방의 메인터넌스(maintenance) 스페이스를 확보하면서, 분단 장치(1) 전체가 차지하는 반전부(B) 및 브레이크부(C)의 길이 방향(도면의 X방향)의 치수를 작게 할 수 있다.
또한, 본 실시예에서는 브레이크부(C)의 위치의 관계에서 스테이지(21)를 Y방향으로 조금 이동시켰지만, 이동시키지 않고 그대로 스테이지(21)에 의해 브레이크부(C)로 보내도록 해도 좋다.
브레이크부(C)는, 스테이지(21)의 통과를 허가하도록, 레일(19, 19)을 걸치도록 하여 배치된 문형(門型)의 프레임(24)을 구비하고, 이 프레임(24)의 횡량(25)에, 선단을 가늘게 한 브레이크 바(26)가 승강 기구(도시하지 않음)에 의해 승강 가능하게 설치되어 있다. 제2 테이블(18)에 올려놓여져 브레이크부(C)로 보내진 단책 형상 기판(W)은, 스크라이브 홈(S)을 형성한 면과는 반대의 면으로부터 브레이크 바(26)로 가압함으로써, 스크라이브 홈(S)으로부터 순차 분단되어, 단위 제품(W1)이 취출된다. 상기한 스크라이브부(A)로부터 반전부(B)를 거쳐서 브레이크부(C)에 도달하는 일련의 가공 순서는, 도 6 및 도 7(a) 내지 도 7(e)에서 개략적으로 나타나 있다.
상기 분단 장치에서는, 스크라이브부(A)의 횡량(3)에 부착된 복수의 스크라이브 헤드(4)에 의해 복수의 스크라이브 홈(S)을 일거에 가공할 수 있음과 함께, 스크라이브 헤드(4)를 보유지지하는 스크라이브부(A)의 장척 형상의 횡량(3)이, 단책 형상 기판(W)의 길이 방향, 즉 X방향을 따라서 형성되어 있기 때문에, 횡량(3)의 양단 부분이 분단 장치의 라인으로부터 횡방향으로 비어져 나오는 경우가 없어져, 분단 장치의 라인을 평면에서 보았을 때 비교적 폭 좁고, 스마트한 띠 형상으로 형성할 수 있다. 이에 따라, 예를 들면 도 8에서 나타내는 바와 같이, 단책 형상 기판(W)의 반송 방향에 평행하게 두 개의 분단 장치(1, 1)를 조합하여 구성하거나, 혹은 3조, 4조의 복수조를 불필요한 공간을 남기는 일 없이 합리적으로 조합하여 구성하거나 할 수 있어, 설치 스페이스의 유효 이용을 도모할 수 있다.
또한, 스크라이브부(A)에서 스크라이브된 단책 형상 기판(W)은, 그의 평면 자세를 유지한 채로 반송부에 의해 반전부(B)로 보내지기 때문에, 종래와 같은 단책 형상 기판(W)을 90도 회전시키는 공정을 필요로 하지 않아, 회전 기구의 설비나 그 설치 스페이스를 생략할 수 있다.
상기 실시예에 있어서, 스크라이브부(A)의 제1 테이블(6)을 Y방향으로 이동시킴으로써 단책 형상 기판(W)에 스크라이브 홈(S)을 가공하도록 했지만, 반대로, 제1 테이블(6)을 고정해 두고 스크라이브 헤드(4)를 지지하는 횡량(3)이나 지주(2)를 이동시키도록 하여 스크라이브하도록 해도 좋다. 또한 단책 형상 기판(W)에 스크라이브 홈을 가공하는 스크라이브 홈 형성구(5)는 커터 휠 등의 기계적 공구 외, 레이저 빔에 의해 가공하도록 해도 좋다.
이상 본 발명의 대표적인 실시예에 대해서 설명했지만, 본 발명을 반드시 상기 실시 형태로 특정되는 것은 아니다. 예를 들면, 반송부의 일부를 구성하는 반송 기구(9)의 구성은 상기 실시예를 대신하여 로봇 아암에 의해 행할 수 있다. 그 외 본 발명에서는, 그의 목적을 달성하고, 청구의 범위를 일탈하지 않는 범위 내에서 적절히 수정, 변경하는 것이 가능하다.
본 발명의 분단 방법은, 유리 기판 등의 취성 재료로 이루어지는 단책 형상 기판의 분단에 이용된다.
A : 스크라이브부
B : 반전부
C : 브레이크부
S : 스크라이브 홈
W : 단책 형상 기판
1 : 분단 장치
6 : 제1 테이블
9 : 반송부의 일부를 구성하는 반송 기구
17 : 반전 테이블
18 : 반송부의 일부를 구성하는 제2 테이블

Claims (5)

  1. 삭제
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 단책(短冊) 형상 기판의 표면에 기판 폭 방향을 따라서 스크라이브 홈을 형성하는 스크라이브부와,
    스크라이브 홈이 형성된 단책 형상 기판을 표리 반전시키는 반전부와,
    표리 반전된 단책 형상 기판을 상기 스크라이브 홈을 따라서 분단하는 브레이크부와,
    상기 단책 형상 기판을 스크라이브부로부터 브레이크부까지 반송하는 반송부
    를 구비하고,
    상기 반송부는, 단책 형상 기판의 길이 방향을 반송 방향을 향한 자세인 채로 그리고 반송 방향을 유지시킨 상태로 단책 형상 기판을 반송할 수 있도록 형성되고,
    상기 스크라이브부의 스크라이브 헤드를 보유지지(保持; holding)하는 횡량(橫梁)이, 단책 형상 기판의 길이 방향을 따라서 형성되고, 스크라이브 헤드 또는 단책 형상 기판 중 어느 하나를 상대적으로 이동시킴으로써, 단책 형상 기판에 폭 방향을 따른 스크라이브 홈을 가공하도록 형성되어 있고,
    상기 스크라이브부는, 단책 형상 기판을 올려놓는 제1 테이블을 포함하고,
    상기 반송부는, 반전부에서 반전된 단책 형상 기판을 올려놓고 브레이크부로 보내는 제2 테이블과, 상기 스크라이브부로부터 반전부로 단책 형상 기판을 반송하는 반송 기구를 포함하고,
    상기 반전부는, 반송 기구로부터 단책 형상 기판을 수취하여 올려놓는 반전 테이블과, 이 반전 테이블을 반전 구동하여 아래쪽에 대기하는 상기 제2 테이블에 단책 형상 기판을 인도하는 반전 기구로 이루어지고, 반전 테이블은 단책 형상 기판을 착탈 가능하게 흡착하는 흡착 기능을 구비하고 있고,
    상기 제2 테이블은 반전부에서 반전된 단책 형상 기판을 올려놓은 후에 폭 방향으로 이동하고나서 브레이크부로 반송되는 분단 장치.
  5. 제4항에 있어서,
    분단 장치를, 반송 방향으로 평행하게하여 복수 나란히 놓아 배치하도록 한 분단 장치.
KR1020120048453A 2011-07-20 2012-05-08 분단 장치 KR101397487B1 (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JPJP-P-2011-158882 2011-07-20
JP2011158882A JP2013023401A (ja) 2011-07-20 2011-07-20 分断装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20130011907A KR20130011907A (ko) 2013-01-30
KR101397487B1 true KR101397487B1 (ko) 2014-05-20

Family

ID=47531341

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020120048453A KR101397487B1 (ko) 2011-07-20 2012-05-08 분단 장치

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP2013023401A (ko)
KR (1) KR101397487B1 (ko)
CN (1) CN102887636B (ko)
TW (1) TWI532088B (ko)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6126396B2 (ja) * 2013-02-07 2017-05-10 三星ダイヤモンド工業株式会社 基板加工装置
TWI492909B (zh) * 2013-03-31 2015-07-21 平田機工股份有限公司 玻璃板切斷裝置及玻璃板切斷方法
JP5566511B2 (ja) * 2013-08-07 2014-08-06 三星ダイヤモンド工業株式会社 分断装置
TWI507371B (zh) * 2013-12-12 2015-11-11 Taiwan Mitsuboshi Diamond Ind Co Ltd 切割方法及切割設備
JP6716900B2 (ja) * 2015-12-04 2020-07-01 三星ダイヤモンド工業株式会社 分断装置
JP6973931B2 (ja) * 2017-12-25 2021-12-01 株式会社ディスコ 切削装置

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11116260A (ja) * 1997-10-08 1999-04-27 Mitsuboshi Diamond Kogyo Kk ガラス加工装置
KR20060123211A (ko) * 2003-12-04 2006-12-01 미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤 기판 가공방법, 기판 가공장치 및 기판 반송방법, 기판반송기구
JP2010173902A (ja) 2009-01-30 2010-08-12 Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd 脆性材料基板の搬送・分断装置

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4141805B2 (ja) * 2002-11-07 2008-08-27 住友化学株式会社 枚葉塗工方法
JP2006027795A (ja) * 2004-07-14 2006-02-02 Toshiba Corp 吸着装置、ならびに板状部材の搬送方法、液晶表示装置の製造方法
KR100924083B1 (ko) * 2008-03-05 2009-11-02 세메스 주식회사 스크라이빙 장치 및 이를 이용한 기판 절단 장치 및 방법

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11116260A (ja) * 1997-10-08 1999-04-27 Mitsuboshi Diamond Kogyo Kk ガラス加工装置
KR20060123211A (ko) * 2003-12-04 2006-12-01 미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤 기판 가공방법, 기판 가공장치 및 기판 반송방법, 기판반송기구
JP2010173902A (ja) 2009-01-30 2010-08-12 Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd 脆性材料基板の搬送・分断装置

Also Published As

Publication number Publication date
TW201306102A (zh) 2013-02-01
JP2013023401A (ja) 2013-02-04
KR20130011907A (ko) 2013-01-30
TWI532088B (zh) 2016-05-01
CN102887636A (zh) 2013-01-23
CN102887636B (zh) 2015-07-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101397487B1 (ko) 분단 장치
JP4402883B2 (ja) 分断装置および分断システム並びに分断方法
KR102217699B1 (ko) 기판 반전 반송 장치
CN102976604B (zh) 分断装置
WO2013175535A1 (ja) 薄板ガラス材の分断装置
CN106956370A (zh) 加工装置的搬送机构
TWI643828B (zh) 刻劃裝置
TWM506028U (zh) 面板之彎折分割裝置
JP6259891B2 (ja) 基板加工装置
JP5583478B2 (ja) パネルの折割装置
TWI480246B (zh) 分斷裝置
JP6126396B2 (ja) 基板加工装置
KR20190086671A (ko) 판유리의 제조 방법 및 판유리의 스냅 커팅 장치
CN104882397A (zh) 一种双焊头自动上下料装置
KR20140058328A (ko) 기판 분단 장치
CN107151091B (zh) 划片设备
JP5639634B2 (ja) 基板分断システム
JP2014080336A (ja) 基板分断装置
JP3170661U (ja) ガラス基板の加工装置
KR20120034295A (ko) 글래스 패널의 스크라이빙 방법
JP2014080334A (ja) 基板分断装置
JP6227098B2 (ja) 基板加工装置
JP5832960B2 (ja) アイドル装置
JP3227552U (ja) 基板の割断装置
JP2000191333A (ja) ガラス板の搬送方法及びその装置

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170420

Year of fee payment: 4

LAPS Lapse due to unpaid annual fee