KR101579818B1 - 기판 이송장치 - Google Patents

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KR101579818B1
KR101579818B1 KR1020140093687A KR20140093687A KR101579818B1 KR 101579818 B1 KR101579818 B1 KR 101579818B1 KR 1020140093687 A KR1020140093687 A KR 1020140093687A KR 20140093687 A KR20140093687 A KR 20140093687A KR 101579818 B1 KR101579818 B1 KR 101579818B1
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류준규
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한국미쯔보시다이아몬드공업(주)
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Abstract

취성 재료의 기판을 스크라이브하여 절단한 후 다음 공정 단계로 이송할 때에 기판 등에 손상을 주지 않고 원활하게 이송시킬 수 있는 기판 이송장치에 관한 것으로, 기판이 올려 놓여진 상태로 제1 위치공간부(A)에서 제2 위치공간부(B)로 이동시키도록 복수의 제1 고정 회전부(10)에 걸려 회전 이동하는 컨베이어 벨트부(20)와, 상기 제1 위치공간부(A)와 제2 위치공간부(B) 사이에 배치되고, 상기 컨베이어 벨트부(20)의 상기 기판이 올려 놓여지는 상부측 외면을 하부측으로 밀침에 따라, 회전 이동하는 상기 컨베이어 벨트부(20) 중 상기 상부측 외면과 대향되는 하부측 외면도 하강되고, 또한 상기 하부측 외면을 상부측으로 밀침에 따라 상기 상부측 외면도 상승되도록 형성된 벨트 회전 구동수단과, 상기 컨베이어 벨트부(20)의 하부측 내면에 걸리도록 배치되고, 상기 컨베이어 벨트부(20)의 상부측 외면 및 하부측 외면의 하강 및 상승시에 이동이 고정되며, 상기 컨베이어 벨트부(20)의 상부측 외면 및 하부측 외면의 하강 또는 상승 거리에 따라 회전되도록 장착된 제2 고정 회전부(60)를 포함한다.

Description

기판 이송장치{APPARATUS FOR TRANSFERRING SUBSTRATE}
본 발명은 기판이송장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는, 액정 표시장치 등에 사용되는 표시 패널에 사용되는 글라스 기판 등의 머더 기판을 포함한 다양한 재료의 기판을 절단하여 다음 공정 단계로 이송할 때에 기판 등에 손상을 주지 않고 원활하게 이송시킬 수 있는 기판 이송장치에 관한 것이다.
일반적으로, 액정 표시 장치 등의 표시 패널은 보통, 취성 재료 기판인 글라스 기판을 사용하여 형성되어 있다. 액정 표시 장치는 한 쌍의 글라스 기판을 적당한 간격을 두고 접합시키고 그 간격 내에 액정을 봉입함으로써 표시 패널이 된다.
이러한 표시 패널을 제조할 때에는, 머더 글라스 기판을 접합시킨 접합 머더 기판을 분단함으로써, 접합 머더 기판으로부터 복수의 표시 패널을 만드는 가공이 이루어지고 있다. 이러한 접합 머더 기판을 절단하기 위한 기판 절단 장치가 국내공개특허공보 제2006-0125915호(이하, '특허문헌 1'이라 한다)에 개시되어 있다.
도 1은 특허문헌 1의 도 32에 도시된 기판 절단 장치의 주요 구성을 개략적으로 나타내는 사시도이다.
도 1을 참조하면, 기판 절단 시스템(200)은, 위치결정 유닛부(220), 스크라이브 유닛부(240), 브레이크 컨베이어부(260), 스팀 브레이크 유닛부(280), 패널 반전 유닛부(320) 및, 패널 단자 분리부(340)를 구비하고 있다.
위치결정 유닛부(220)가 배치되어 있는 측을 기판 반입 측, 패널 단자 분리부(340)가 배치되어 있는 측을 기판 반출 측이라고 할 때, 기판은 기판 반입 측의 위치결정 유닛부(220)로 공급된 후, 스크라이브 유닛부(240), 브레이크 컨베이어부(260), 스팀 브레이크 유닛부(280), 패널 반전 유닛부(320) 및, 패널 단자 분리부(340)를 따라 차례로 이송되면서 기판 절단 작업이 행해지고, 이후 기판 반출 측으로 이송된다.
즉, 설치대(230)의 상방에 설치된 위치결정 유닛부(220)로 공급되는 기판은 위치결정 유닛부(220)에 형성된 복수의 기판 지지 유닛(도시되지 않음) 상에 올려 놓여지고, 기판 지지 유닛에 설치된 벨트(도시되지 않음) 상에서 기판의 위치가 결정된 후, 벨트의 회전 동작에 의해 다음 단계인 스크라이브 유닛부(240)로 이송된다.
한편, 스크라이브 유닛부(240)는, 설치대(250) 상방에 X 방향을 따라 설치된 절단장치 가이드체(242)와, 이 절단장치 가이드체(242)를 사이에 두고 Y방향을 따라 배치되는 제1 기판 지지 유닛부(241A) 및 제2 기판 지지 유닛부(241B)를 갖는다. 또한, 제1 기판 지지 유닛부(241A)의 제1 기판 지지 유닛(244A)과 제2 기판 지지 유닛부(241B)의 제2 기판 지지 유닛(244B)은 각각 프레임(243A) 및 프레임(243B)에 대하여 평행하게 배치된다.
이 경우, 위치결정 유닛부(220)에서 스크라이브 유닛부(240)로 이송되는 기판은 제1 기판 지지 유닛부(241A)의 제1 기판 지지 유닛(244A)에 올려 놓여지고, 클램프 장치(251)에 의해 클램프된다. 그 후, 제1 기판 지지 유닛(244A)에 설치된 벨트를 회전 이동시킴과 동시에 클램프 장치(251)를 Y 방향을 따라 이동시킴에 따라, 기판이 절단장치 가이드체(242)를 통해 스크라이브되고, 스크라이브된 기판은 제2 기판 지지 유닛부(241B)의 제2 기판 지지 유닛(244B)으로 이송된다.
제2 기판 지지 유닛(244B)으로 이송된 기판은, 제2 기판 지지 유닛(244B)에 설치된 벨트를 회전 이동시킴으로써, 제2 기판 지지 유닛(244B)의 벨트와 이격되어 설치된 브레이크 컨베이어부(260)의 벨트(261)로 이송되고, 이후 스팀 브레이크 유닛부(280)에 의해 기판이 완전하게 절단되고, 기판 이송 유닛부(300), 패널 반전 유닛부(320) 및, 패널 단자 분리부(340)를 거치면서 로봇 등에 의해 기판 반출측으로 반출된다.
또한, 통상적으로, 상기 기판 절단 장치(200)의 제2 기판 지지 유닛(224B)에서부터 브레이크 컨베이어부(260)로 기판을 이송할 때는, 스크라이브되어 절단된 복수매의 기판을 컨베이어 이송에 의해 동시에 이송하여 브레이크 컨베이어부(260)로 이송한다. 즉, 스크라이브 작업이 완료되어 제2 기판 지지 유닛(244B)의 벨트 상으로 이송된 기판은, 제2 기판 지지 유닛(224B)의 벨트와 브레이크 컨베이어부의 벨트의 회전 이동에 의해 브레이크 컨베이어부로 이송된다. 브레이크 컨베이어부로의 이송이 완료된 기판은, 브레이크 컨베이어부의 회전 이동이 정지된 상태에서, 스팀 브레이크 유닛(280)으로 브레이크 한 후 픽업 로봇 등에 의해 픽업되어 배출 컨베이어부(340) 등으로 배출된다. 또한, 브레이크 컨베이어부의 회전 이동이 정지된 상태라도, 기판의 스크라이브 및 절단을 위해, 스크라이브 유닛부(240)를 구성하는 제1 기판 지지 유닛(244A) 및 제2 기판 지지 유닛(244B)의 벨트는 계속 회전 이동하도록 제어된다.
국내공개특허공보 제2006-0125915호
그러나, 이러한 종래의 기판 절단 장치에서는, 스크라이브된 기판이 스크라이브 유닛부(240)로부터 브레이크 컨베이어부로 이송될 때, 더욱 구체적으로는 제2 기판 지지 유닛(244B)의 컨베이어 벨트로부터 브레이크 컨베이어부로 이송될 때, 제2 기판 지지 유닛(244B)의 컨베이어 벨트와 브레이크 컨베이어부의 벨트 사이에서 컨베이어 벨트를 옮겨 타는 컨베이어 환승이 일어나기 때문에, 제2 기판 지지 유닛(244B)과 브레이크 컨베이어부 사이의 간격으로 더미(dummy) 글라스가 낙하하거나, 기판이 깨지는 글라스 치핑(glass chipping) 등이 발생하게 된다. 이러한 컨베이어 환승으로 인한 문제점에 대해 도 2를 참조하여 좀 더 구체적으로 설명한다.
도 2는 종래의 기판 절단 장치를 이용하여 기판을 절단한 후 스크라이브 유닛부로부터 픽업 컨베이어부로 기판이 이송되는 과정을 개략적으로 나타낸 도면이다. 또한, 도 2에서, 부호 100은 기판 반입측으로부터 이송된 기판을 수취하여 위치결정 및/또는 선회를 행하는 급재부, 부호 110과 120은 각각 상류측 스크라이브부 및 하류측 스크라이브부, 그리고 부호 130은 절단된 기판을 로봇 등에 의해 픽업하여 배출하는 픽업 컨베이어부를 나타낸다.
도 2를 참조하면, 종래의 기판 절단 장치에서, 기판 파지 기구(114)에 파지된 기판은, 상류측 스크라이브부(110)와 하류측 스크라이브부(120) 사이를 왕복 이동하면서, 스크라이브 빔(116)에 설치된 스크라이브 헤드(118)에 접촉되어 스크라이브된다. 그리고, 하류측 스크라이브부(120)의 컨베이어 벨트(135)상에 올려 놓여진 스크라이브된 기판(102a)은 픽업 컨베이어부(130)의 컨베이어 벨트(135)로 이송된다.
그런데, 하류측 스크라이브부(120)의 컨베이어 벨트(135)와 픽업 컨베이어부(130)의 컨베이어 벨트(135) 사이에는 컨베이어 환승부가 존재하기 때문에, 기판(102a)이 픽업 컨베이어부(135) 상의 기판(102b)의 위치로 이송될 때, 스크라이브된 기판(102a)으로부터 더미 글라스가 낙하하게 된다.
또한, 기판(102a)이 하류측 스크라이브부(120)로부터 픽업 컨베이어부(130) 상으로 옮겨 탈 때, 기판(102a)에 출렁거림이 발생하게 되고, 이로 인해 기판의 스크라이브된 부분들끼리 서로 충돌하여 기판의 일부분이 깨지는 글라스 치핑이 발생하게 된다. 설사, 하류측 스크라이브부(120) 및 픽업 컨베이어부(130)의 지면으로부터의 높이를 동일하게 설계한다고 하더라도, 실제로는 하류측 스크라이브부(120)와 픽업 컨베이어부(130)의 높이가 미묘하게 다르게 되거나, 둘 중 어느 한쪽이 경사지게 설치되거나 하기 때문에, 글라스 치핑이 발생하게 된다. 특히, 최근에는 박형화된 기판을 처리하는 경우가 많기 때문에, 이러한 문제는 더욱 심각하게 된다.
본 발명은 상기한 바와 같은 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로, 그 목적은 컨베이어의 환승으로 인한 전술한 문제점을 방지하고, 스크라이브된 기판에 손상을 주지 않고 기판을 다음 단계까지 이송할 수 있는 기판이송장치를 제공함에 있다.
상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 일 실시형태에 따른 기판이송장치는, 기판이 올려 놓여진 상태로 제1 위치공간부에서 제2 위치공간부로 이동시키도록 복수의 제1 고정 회전부에 걸려 회전 이동하는 컨베이어 벨트부와, 제1 위치공간부와 제2 위치공간부 사이에 배치되고, 컨베이어 벨트부의 기판이 올려 놓여지는 상부측 외면을 하부측으로 밀침에 따라, 회전 이동하는 컨베이어 벨트부 중 상부측 외면과 대향되는 하부측 외면도 하강되고, 또한 하부측 외면을 상부측으로 밀침에 따라 상부측 외면도 상승되도록 형성된 벨트 회전 구동수단과, 컨베이어 벨트부의 하부측 내면에 걸리도록 배치되고, 컨베이어 벨트부의 상부측 외면 및 하부측 외면의 하강 및 상승시에 이동이 고정되며, 컨베이어 벨트부의 상부측 외면 및 하부측 외면의 하강 또는 상승 거리에 따라 회전되도록 장착된 제2 고정 회전부를 포함한다.
여기서, 벨트 회전구동수단은, 컨베이어 벨트부의 하부측 외면과 항시 맞닿음되도록 형성되어, 컨베이어 벨트부의 하부측 외면을 상부측으로 밀침 상태로 상승 또는 하강하도록 장착된 하부측 밀침부와, 하부측 밀침부의 상부측 그리고 컨베이어 벨트부의 상부측 외면 상에 위치되며, 컨베이어 벨트부의 상부측 외면을 하부측 밀침부쪽으로 밀치는 상부측 밀침부를 포함할 수 있다.
또한, 벨트 회전구동수단은 승하강 수단을 포함하며, 상기 승하강 수단은, 실린더, 볼스크류 또는 리니어 모터 중 어느 하나일 수 있다.
또한, 하부측 밀침부 및 상부측 밀침부는 로울러일 수 있다.
또한, 컨베이어 벨트부상에 당해 컨베이어 벨트부의 회전 이동을 정지시키는 스토퍼가 추가로 장착될 수 있다.
스토퍼는 컨베이어 벨트부 상의 제1 위치공간부 및 제2 위치공간부에 각각 장착될 수 있다.
또한, 하부측 밀침부 및 상부측 밀침부는 각각 서로 대향되는 위치에 로울러가 수평 방향으로 2개 이상 장착될 수 있다.
본 발명은 스크라이브 되어 절단된 취성 재료의 기판을 다음 공정 단계로 이송 할때에 기판 등에 손상을 주지 않고 원활하게 이송시킬 수 있을 뿐만 아니라, 간단한 구조에 의해 컨베이어 벨트를 작동시켜 이송시킬 수 있는 효과가 있다.
도 1 은 종래의 기판 절단 장치를 나타내는 도면이다.
도 2 는 종래의 기판 절단 장치에서 기판의 이송상태를 나타내는 도면이다.
도 3 은 본 발명의 기판 이송장치를 나타내는 도면이다.
도 4 는 본 발명의 기판 이송장치를 구성을 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 5 는 본 발명의 기판 이송장치의 작동상태로 제 1 위치공간부(A)부분의 컨베이어 벨트부의 구동상태를 나타내는 도면이다
도 6 은 본 발명의 기판 이송장치의 작동상태로 제 2 위치공간부(B)부분의 컨베어어 벨트부의 구동상태를 나타내는 도면이다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 일 실시형태에 따른 기판 이송 장치에 대하여 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시형태에 한정되지 않는다. 도면에서 본 발명을 간단·명료하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조부호를 붙였다.
도 3 및 도 4를 참조하면, 제1 위치공간부(A) 및 제2 위치공간부(B)를 따라 이동되도록 컨베이어 벨트부(20)가 형성된다.
컨베이어 벨트부(20)는, 종래의 로울러 등에 의해 제1 위치공간부(A) 및 제2 위치공간부(B)에 각각 설치되어 별개로 회전되는 방식이 아니라, 제1 위치공간부(A) 및 제2 위치공간부(B)에서 연속적으로 이동될 수 있도록 일체로 연결되어 있다.
또한, 상기 컨베이어 벨트부(20)가 이동되면서 방향이 꺾이는 부분에는 컨베이어 벨트부(20)의 이동이 원활하도록 복수의 고정 회전부(10; 이하, '제1 고정 회전부'라고도 칭한다)가 설치되어 있다.
그리고, 상기 제1 위치공간부(A) 및 제2 위치공간부(B)의 사이는 서로 약간 떨어져 있으며, 이 떨어져 있는 공간의 사이 부분에서는 기판 등이 걸쳐지면서 이송되도록 형성된다.
상기 컨베이어 벨트부(20)에는, 제 1 위치공간부(A)와 제 2 위치공간부(B) 사이에서 기판을 이송시키기 위해 제 1 위치공간부(A)와 제 2 위치공간부(B)의 사이에 벨트 회전 구동수단이 구비된다.
상기 벨트 회전 구동수단은, 상기 컨베이어 벨트부(20)상의 기판이 놓여지는 상부 외측면을 하부측으로 밀치고, 이와 동시에, 기판이 놓여지는 상부 외측면과 대향되는 컨베이어 벨트부(20)의 하부 외측면이 걸려 동일 방향으로 승하강되도록 형성되어 있다.
또한, 벨트 회전 구동수단이 컨베이어 벨트부(20)를 밀치거나 당길 때에, 컨베이어 벨트부(20)의 길이를 결정짓는 고정 회전부(60; 이하 '제2 고정 회전부'라고도 칭한다)가 벨트 회전 구동수단의 하단측에 일정 간격 떨어진 상태로 장착되어 있다.
상기 벨트 회전 구동수단은, 구체적으로 컨베이어 벨트부(20)를 작동시켜 기판을 이송시키기 위해, 상부측 컨베이어 벨트부(20)의 외측에 위치되며 상부측 컨베이어 벨트부(20)를 하부측으로 밀치는 상부측 밀침부(30)와, 하부측 컨베이어 벨트부(20)의 외측에 위치되며 항상 하부측 컨베이어 벨트부(20)와 맞닿음된 상태에서 상부측으로 밀치는 하부측 밀침부(40)를 포함한다.
또한, 상기 하부측 밀침부(40)는 상기 상부측 밀침부(30)와 수직 방향으로 동일 선상에 위치되며, 컨베이어 벨트부(20)의 상부 외측면과 하부 외측면이 승하강될 때 하부측 밀침부(40)와 상부측 밀침부(30)는 일체로 이동되도록 장착된다.
상기 벨트 회전구동수단에는 컨베이어 벨트부(20)를 하나의 구동장치만으로 당김 및 밀치도록 승하강 수단이 추가로 장착되며, 상기 승하강 수단은, 실린더, 볼스크류 또는 리니어 모터 등을 사용할 수 있음은 물론이다. 그러나, 본 발명의 승하강 수단은 이에 한정되는 것이라 아니라 컨베이어 벨트부(20)를 구동시킬 수 있는 장치이면 상관없음은 물론이다.
상기 컨베이어 벨트부(20)를 당기거나 밀치는 상기 하부측 밀침부(40) 및 상부측 밀침부(30)는, 컨베이어 벨트부(20)와의 마찰을 줄여 컨베이어 벨트부(20)가 원활하게 작동될 수 있도록 로울러를 포함할 수 있다.
또한, 상기 벨트 회전 구동수단의 작동에 의해 컨베이어 벨트부(20)를 당기거나 밀칠 때에, 제1 위치공간부(A) 및 제2 위치공간부(B)상에 위치된 컨베이어 벨트부(20)의 총 길이가 달라지지 않도록 하기 위해, 컨베이어 벨트부(20)가 따라 돌지 못하도록 정지시키는 스토퍼가 추가로 장착된다.
다음, 상기와 같이 구성된 본 발명의 기판이송장치의 작동을 첨부된 도면을 참조하여 구체적으로 설명한다.
도 3 내지 도 5를 참조하면, 본 발명의 기판 이송장치에 있어서, 제1 위치공간부(A)의 상부측 컨베이어 벨트부(20) 상에 기판이 놓여진 상태에서 제2 위치공간부(B)측으로 기판(도시않음)을 이송시키기 위해, 컨베이어 벨트부(20)의 제2 위치공간부(B)에 설치되어 있는 스토퍼(70b)를 작동시켜, 컨베이어 벨트부(20)를 제2 위치공간부(B)측에서는 움직이지 않도록 고정시킨다.
컨베이어 벨트부(20)의 제2 위치공간부(B)에서 스토퍼(70b)가 도 5에 도시된 바와 같이 하강되도록 작동되면, 제2 위치공간부(B)측에 위치되어 있는 컨베이어 벨트부(20)는 스토퍼(70b)에 의해 이동되지 않도록 고정되는 반면, 제1 위치공간부(A)에 위치되어 있는 컨베이어 벨트부(20)는 도 5에 도시된 바와 같이 화살표 방향으로 자유롭게 이동될 수 있도록 해제된 상태가 된다.
이때, 제1 위치공간부(A) 및 제2 위치공간부(B)의 사이에 장착된 벨트 회전 구동수단을 하강시키도록 작동시킨다.
그리고 벨트 회전 구동수단이 하강되면, 상기 벨트 회전 구동수단의 상부측 밀침부(30)는 컨베이어 벨트부(20)의 상부면을 도 5에 도시된 바와 같이 하부측으로 밀치면서 하강된다.
상부측 밀침부(30)의 하강과 동시에 하부측 밀침부(40)도 컨베이어 벨트부(20)의 하부측 외면과 맞닿음 된 상태로 하부측으로 밀쳐지면서 하강된다.
본 발명의 벨트 회전 구동수단의 상부측 밀침부(30) 및 하부측 밀침부(40)가 승하강 운동되는 반면에, 하부측 밀침부(40)의 하단측에서 컨베이어 벨트부(20)가 걸려 회전되는 제2 고정 회전부(60)는 높낮이 위치에 있어서 변함이 없다.
즉, 상기 제2 고정 회전부(60)는 컨베이어 벨트부(20)가 감겨져 회전되는 것만을 도와주며 높낮이 위치는 고정되고 변경되지 않는다.
상기 컨베이어 벨트부(20)를 걸어 안내해주는 제2 고정 회전부(60)는 상기 승하강 작동되는 하부측 밀침부(40)와는 도 4에 도시된 바와 같이 컨베이어 벨트부(20)를 따라 지그재그 형태로 연결되어 연동된다.
즉, 제2 고정 회전부(60) 및 하부측 밀침부(40)는 각각 컨베이어 벨트부(20)의 외면 및 내면 상에서 서로 다른 위치에 연동되도록 걸려져 있어, 제2 고정 회전부(60a),(60d)가 컨베이어 벨트부(20)의 내면측과 맞닿음되어 걸려지도록 동일 선상에 일정 간격을 두고 장착되어 있고, 하부측 밀침부(40)는 제2 고정 회전부(60a),(60d)와는 반대로 컨베이어 벨트부(20)의 외면에 맞닿음되어 밀치도록 장착되어 작동된다.
또한, 제2 고정 회전부(60a),(60d)의 사이에는 또 다른 제2 고정 회전부(60b),(60c) 등을 장착하여 하부측 밀침부(40)와 지그재그 형태로 연동되도록 연결하면 컨베이어 벨트부(20)의 이송거리를 증가시킬 수 있다.
한편, 이와 같이 구성된 벨트 회전 구동수단의 하부측 밀침부(40)와 제2 고정 회전부(60)와 위치가 가까워지게 하부측 밀침부(40)가 이동됨과 동시에, 하부측 밀침 수단(40)과 일체 장착되어 구동되는 상부측 밀침부(30)에 의해 상부측 컨베이어 벨트부(20)도 동시에 밀쳐져 하강된다.
이때, 제2 위치공간부(B)상에 장착되어 있는 스토퍼(70b)가 제2 위치공간부(B)측에 위치되어 있는 컨베이어 벨트부(20)의 이동을 고정시키고 있기 때문에, 컨베이어 벨트부(20)가 하강됨으로써, 도 5에 도시된 바와 같이, 제1 위치공간부(A)상의 컨베이어 벨트부(20)가 제2 위치공간부(B)측으로 이동된다.
따라서, 제1 위치공간부(A)의 컨베이어 벨트부(20)상에 놓여져 있던 기판은 컨베이어 벨트부(20)를 따라 제2 위치공간부(B)측의 컨베이어 벨트부(20)상으로 이송된다.
이와 같이 상부측 밀침부(30)가 컨베이어 벨트부(20)를 밀침과 동시에 하부측으로 당기는 역할을 하기 때문에, 컨베이어 벨트부(20)가 하부측으로 밀쳐진 만큼 컨베이어 벨트부(20)가 도 5의 화살표 방향으로 따라 당겨지면서 이동되고, 동시에 하부측 밀침부(40)는 상부측 밀침부(30)에 의해 밀쳐진 하강 길이만큼 하강하면서 컨베이어 벨트부(20)를 풀어주는 역할을 하게 된다.
즉, 하부측 밀침부(40)는 컨베이어 벨트부(20)의 하부측에서 컨베이어 벨트부(20)의 하부측 외면을 받치면서 밀치고, 상부측 밀침부(30)는 컨베이어 벨트부(20)의 상부측에서 상부측 외면을 하부측으로 밀치면서 이동되도록 작동된다. 그리고, 이러한 상부측 밀침부(30) 및 하부측 밀침부(40)의 하강 동작에 의해, 제1 위치공간부(A)의 컨베이어 벨트부(20)가 당겨지면서 회전되어, 컨베이어 벨트부(20)상에 놓여져 있던 기판은 제2 위치공간부(B)측으로 이동된다.
제1 위치공간부(A)의 컨베이어 벨트부(20)상에 놓여진 기판의 이송이 종료되거나, 제1 위치공간부(A)의 컨베이어 벨트부(20)상에서 제2 위치공간부(B)의 컨베이어 벨트부(20)로 이송된 기판을 제2 위치공간부(B)의 진행방향으로 계속 이송시키기 위해서는, 제2 위치 공간부(B)측에 하강되어 있던 스토퍼(70b)를 상승이동시킴과 동시에 제1 위치공간부(A)상에 장착되어 있는 또 다른 스토퍼(70a)를 하강시켜, 제1 위치공간부(A)상의 컨베이어 벨트부(20)가 회전 이동되지 못하도록 고정시킨다.
그리고, 상기 스토퍼(70a)에 의해 제1 위치공간부(A)상에 위치된 컨베이어 벨트부(20)의 회전이 정지된 상태에서, 하강되어 있던 하부측 밀침부(40) 및 상부측 밀침부(30)를 도 6에 도시된 바와 같이 상승시킨다.
도 6에 도시된 바와 같이, 일체로 장착되어 있는 하부측 밀침부(40) 및 상부측 밀침부(30)를 상승시키면, 하부측 밀침부(40)가 제2 위치공간부(B)상에 위치되어 있는 컨베이어 벨트부(20)를 이송방향으로 당기면서 상승된다.
따라서, 제2 위치공간부(B) 상의 컨베이어 벨트부(20)는 제2 위치공간부(B)에서의 기판의 진행방향인 화살표 방향으로 이동된다.
구체적으로, 하부측 밀침부(40)는 제2 위치공간부(B)상에 위치되어 있는 컨베이어 벨트부(20)를 당기면서 상승하고, 상부측 밀침부(30)는 상부측으로 동일하게 상승되면서 컨베이어 벨트부(20)를 풀어주기 때문에, 컨베이어 벨트부(20)가 화살표 방향으로 원활하게 이동된다.
본 발명의 컨베이어 벨트부(20)의 하부측 밀침부(40)와 제2 고정 회전부(60)와의 거리가 가장 가깝게 되거나 가장 멀게 된 경우, 컨베이어 벨트부(20)상의 올려 놓여진 기판의 이동 거리는 최대가 된다.
즉, 하부측 밀침부(40) 및 제2 고정 회전부(60)와의 거리는 컨베이어 벨트부(20)의 이동 거리를 결정짓게 된다.
본 발명은 특히, 컨베이어 벨트부(20)를 이동시키는 상부측 밀침부(30) 및 하부측 밀침부(40)를 일체로 작동시킬 수 있어 구조가 매우 간단하다.
또한, 상부측 밀침부(30) 및 하부측 밀침부(40)를 일체로 승하강만 시키면 되기 때문에, 직선 운동만을 시킬 수 있는 승하강 수단으로서 실린더, 볼스크류 또는 리니어 모터 등을 이용해 간단하게 구동시킬 수 있어 제작이 매우 간단하며 소형화시킬 수 있다.
본 발명의 기판이송장치는 기판 등을 절단하는 장치 등에 한정하지 않고 기타 물품 등을 이송시킬수 있는 장치 등에 적용할 수 있음은 물론이다.
A: 제1 위치공간부
B: 제2 위치공간부
10: 고정 회전부 (제1 고정 회전부)
20: 컨베이어 벨트부
30: 상부측 밀침부
40: 하부측 밀침부
60, 60a, 60b, 60c, 60d: 고정 회전부 (제2 고정 회전부)
70a, 70b: 스토퍼

Claims (7)

  1. 기판이 올려 놓여진 상태로 제1 위치공간부(A)에서 제2 위치공간부(B)로 이동시키도록 복수의 제1 고정 회전부(10)에 걸려 회전 이동하는 컨베이어 벨트부(20)와,
    상기 제1 위치공간부(A)와 제2 위치공간부(B) 사이에 배치되고, 상기 컨베이어 벨트부(20)의 상기 기판이 올려 놓여지는 상부측 외면을 하부측으로 밀침에 따라, 회전 이동하는 상기 컨베이어 벨트부(20) 중 상기 상부측 외면과 대향되는 하부측 외면도 하강되고, 또한 상기 하부측 외면을 상부측으로 밀침에 따라 상기 상부측 외면도 상승되도록 형성된 벨트 회전 구동수단과,
    상기 컨베이어 벨트부(20)의 하부측 내면에 걸리도록 배치되고, 상기 컨베이어 벨트부(20)의 상부측 외면 및 하부측 외면의 하강 및 상승시에 이동이 고정되며, 상기 컨베이어 벨트부(20)의 상부측 외면 및 하부측 외면의 하강 또는 상승 거리에 따라 회전되도록 장착된 제2 고정 회전부(60)를 포함하는 기판이송장치로서,
    상기 벨트 회전구동수단은,
    상기 컨베이어 벨트부(20)의 하부측 외면과 맞닿음되도록 형성되어, 상기 컨베이어 벨트부(20)의 하부측 외면을 상부측으로 밀침 상태로 상승 또는 하강하도록 장착되되, 소정의 간격을 두고 수평 방향으로 배치된 두 개 이상의 로울러로 이루어진 하부측 밀침부(40)와,
    상기 하부측 밀침부(40)의 상부측 그리고 상기 컨베이어 벨트부(20)의 상부측 외면 상에 위치되며, 상기 컨베이어 벨트부(20)의 상부측 외면을 상기 하부측 밀침부(40)쪽으로 밀치되, 소정의 간격을 두고 수평 방향으로 배치된 두 개 이상의 로울러로 이루어진 상부측 밀침부(30)를 포함하고,
    상기 상부측 밀침부(30) 및 하부측 밀침부(40)는 수직 방향으로 동일선 상에서 일체로 동일 방향으로 승하강되고, 직선운동만 시킬 수 있는 승하강 수단에 의해서 구동되는 것을 특징으로 하는 기판이송장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 컨베이어 벨트부(20)상에 당해 컨베이어 벨트부(20)의 회전 이동을 정지시키는 스토퍼가 추가로 장착된 것을 특징으로 하는 기판이송장치.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 스토퍼는 컨베이어 벨트부(20)상의 제1 위치공간부(A) 및 제2 위치공간부(B)에 각각 장착된 것을 특징으로 하는 기판이송장치.
  7. 삭제
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