JP4134484B2 - 検査装置 - Google Patents

検査装置 Download PDF

Info

Publication number
JP4134484B2
JP4134484B2 JP2000081208A JP2000081208A JP4134484B2 JP 4134484 B2 JP4134484 B2 JP 4134484B2 JP 2000081208 A JP2000081208 A JP 2000081208A JP 2000081208 A JP2000081208 A JP 2000081208A JP 4134484 B2 JP4134484 B2 JP 4134484B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
inspection
pulley
conveyor belt
belt
contact
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2000081208A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2001261141A (ja
Inventor
利信 三木
和彦 津山
修務 西野
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Corp
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Panasonic Corp
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Panasonic Corp, Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Panasonic Corp
Priority to JP2000081208A priority Critical patent/JP4134484B2/ja
Publication of JP2001261141A publication Critical patent/JP2001261141A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4134484B2 publication Critical patent/JP4134484B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
  • Testing Electric Properties And Detecting Electric Faults (AREA)

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
この発明は、電子モジュールを高速で検査することができる検査装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
以下、従来の検査装置について説明する。従来の検査装置は図7に示すように、2つのプーリ1と2との間に張架された搬送ベルト3と、この搬送ベルト3の略中央に設けられるとともに上下方向に上昇・下降する接触ユニット4と、この接触ユニット4に接続された検査器5とから構成されていた。
【0003】
以上のように構成された検査装置において、被検査物の一例として用いた電子モジュール(以下、製品という)6の検査を説明する。製品6が一時保管されたトレイ7から製品6を取り出し、搬送ベルト3に載置する。次に搬送ベルト3を搬送させて、製品6を接触ユニット4の真下にまで搬送し、この時点で搬送を一時停止させる。次に、接触ユニット4を降下させて製品6の検査電極に接触ピンを当接させて検査器5で検査する。検査が終了した時点で接触ユニット4を上昇させる。次に、搬送ベルト3を駆動させて製品6を搬送させ、その後トレイ8上へ取り出し、一時保管する。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
このような従来の構成は、搬送ベルト3を一時停止させ、次に接触ユニット4を降下させて検査するものであり、この検査中は搬送ベルト3は停止のままである。検査が終了すると次に、再び接触ユニット4を上昇させて、搬送ベルト3で製品6を搬送させていた。これは検査の間中搬送を停止させなければならず、検査全体としては時間がかかるものであった。
【0005】
そこで、図8に示すように2本の搬送ベルト3a,3bを平行に用い、搬送ベルト3aはプーリ1a,2aで張架させ、搬送ベルト3bはプーリ1b,2bで張架させ、夫々の搬送ベルト3a,3b上に製品6を載置する検査装置が考えられた。この検査装置においては、トレイ7上の製品6を搬送ベルト3a,3b交互に載置し、そして、製品6が搬送ベルト3a,3bの略中央に来たとき、搬送ベルト3a,3bを一旦停止させてこの製品6の上方に設けられた接続ユニット4a,4bを夫々降下させて製品6の検査をさせ、その後搬送ベルト3a,3bから交互に製品6をトレイ8に取り出すものであった。
【0006】
すなわち、先ず、搬送ベルト3aを停止させて接続ユニット4aを降下させて搬送ベルト3a上の製品6を検査する。このときには、搬送ベルト3bに載置された製品6は搬送ベルト3bで搬送される。次に、搬送ベルト3bを停止させて接触ユニット4bを降下させて搬送ベルト3b上の製品6を検査する。このときには、搬送ベルト3aに載置された製品6は搬送ベルト3aで搬送される。このようにして検査スピードを向上させることも考えられていた。なお、ここで、9は接触ユニット4a,4bと検査器5との間に挿入されたA/B切替えユニットである。
【0007】
このような検査装置においては、検査スピードは向上するが、搬送ベルト3aと3bとを2本設ける必要があり、検査装置として大型化するという問題があった。
【0008】
本発明は、この様な問題点を解決するもので、高速に検査ができるとともに小型の検査装置を提供することを目的としたものである。
【0009】
【課題を解決するための手段】
この目的を達成するために本発明の検査装置は、第1,第2のプーリ間に張架された搬送ベルトと、前記第1、第2のプーリ間搬送ベルト部分に設けられたダンサー部と、このダンサー部の第1のプーリ側の前記搬送ベルトを搬送させる第1の駆動部と、ダンサー部の第2のプーリ側の前記搬送ベルトを搬送させる第2の駆動部と、前記A側の前記搬送ベルトに載置された被検査物に接触・離脱自在に設けられた第1の接触ユニットと、前記第2のプーリ側の前記搬送ベルトに載置された被検査物に接触・離脱自在に設けられた第2の接触ユニットと、前記第1の接触ユニットと前記第2の接触ユニットの出力が接続された検査器とを備え、前記第1のプーリ側の搬送ベルトを停止させてこの第1のプーリ側の搬送ベルト上に載置された被検査物に前記第1の接触ユニットを接触させて前記検査器により検査しているときには、前記第2のプーリ側の搬送ベルトは前記第2の駆動部で搬送され、前記第2のプーリ側の搬送ベルトを停止させてこの第2のプーリ側の搬送ベルト上に載置された被検査物に前記第2の接触ユニットを接触させて前記検査器により検査しているときには、前記第1のプーリ側の搬送ベルトは前記第1の駆動部で搬送されるものである。これにより、検査の高速化と検査装置の小型化が実現できる。
【0010】
【発明の実施の形態】
本発明の請求項1に記載の発明は、第1,第2のプーリ間に張架された搬送ベルトと、前記第1,第2のプーリ間の搬送ベルトの略中央に設けられたダンサー部と、このダンサー部の第1のプーリ側の前記搬送ベルトを搬送させる第1の駆動部と、前記ダンサー部の第2のプーリ側の前記搬送ベルトを搬送させる第2の駆動部と、前記第1のプーリ側の前記搬送ベルトに載置された被検査物に接触・離脱自在に設けられた第1の接触ユニットと、前記第2のプーリ側の前記搬送ベルトに載置された被検査物に接触・離脱自在に設けられた第2の接触ユニットと、前記第1の接触ユニットと前記第2の接触ユニットの出力が接続された検査器とを備え、この第1のプーリ側の搬送ベルトを停止させて前記第1のプーリ側の搬送ベルト上に載置された被検査物に前記第1の接触ユニットを接触させて前記検査器により検査しているときには、前記第2のプーリ側の搬送ベルトは前記第2の駆動部で搬送され、前記第2のプーリ側の搬送ベルトを停止させてこの第2のプーリ側の搬送ベルト上に載置された被検査物に前記第2の接触ユニットを接触させて前記検査器により検査しているときは、前記第1のプーリ側の搬送ベルトは前記第1の駆動部で搬送される検査装置であり、第1のプーリ側に載置された被検査物の検査時には、第2のプーリに載置された被検査物を搬送し、第2のプーリ側に載置された被検査物の検査時には、第1のプーリ側に載置された被検査物を搬送するので、検査速度が向上する。
【0011】
また、搬送ベルトは一つであり、検査装置の小型化を図ることができる。
【0012】
更に、第1の接触ユニットと第2の接触ユニットを共に手前に設けることができるので、検査装置のメンテナンスが容易となる。
【0013】
更にまた、被検査物の搬送は直線化されるので、被検査物の流れがシンプルである。また、被検査物の出し入れが容易である。
【0014】
請求項2に記載の発明は、第1の接触ユニット及び第2の接触ユニットの出力がA/B切替えユニットを介して検査器の入力に接続された請求項1に記載の検査装置であり、A/B切替えユニットを用いることにより、検査器は一つで構成でき、検査装置全体としての低価格化と小型化ができる。
【0015】
請求項3に記載の発明は、搬送ベルトには被検査物毎に交互に異なる識別標識を設け、この標識に基づいて検査をする請求項1に記載の検査装置であり、この識別標識に従って、第1のプーリ側でも第2のプーリ側でも同一の検査を二重に検査することなくすることができる。
【0016】
請求項4に記載の発明の搬送ベルトには、被検査物を貼付けるべく粘着テープを貼付けた請求項1に記載の検査装置であり、このように粘着テープを用いることにより、種々の形状をした製品であっても、自由に搬送ベルト上に載置することができる。また、粘着テープを用いているので、高速な搬送に対しても安定した位置を保つことができる。
【0017】
請求項5に記載の発明における粘着テープの幅は、被検査物の幅より狭くした請求項4に記載の検査装置であり、被監査物の外側を容易に掴むことができ、被検査物の出し入れが容易となる。
【0018】
請求項6に記載の発明は、被検査物の粘着テープへの装着時には、ガイドで被検査物をガイドする請求項4に記載の検査装置であり、このようなガイドを用いることにより、常に、粘着テープの定まった位置に被検査物を装着することができる。
【0019】
請求項7に記載の発明は、被検査物の取り出し時には、押し上げピンで前記被検査物を押し上げるとともに吸着ヘッドで前記被検査物を吸着させて取り出す請求項4に記載の検査装置であり、押し上げピンで被検査物を押し上げて、粘着テープから分離させて吸着ヘッドにより吸着させるので、確実な被検査物の取り出しができる。
【0020】
請求項8に記載の発明は、搬送ベルトの一方の端に第1のプーリ側における搬送を行うべく第1の基準孔を設けるとともに前記搬送ベルトの他方の端には第2のプーリ側における搬送を行うべく第2の基準孔を設けた請求項1に記載の検査装置であり、搬送ベルトの一方の端と他方の端に夫々第1のプーリ側と第2のプーリ側に専用の基準孔を設けているので、駆動部の構成が簡単になる。
【0021】
また、この基準孔の位置の違いにより、第1のプーリ側と第2のプーリ側の検査区分を識別することができる。
【0022】
請求項9に記載の発明は、搬送ベルトの一方の端に第1のプーリ側における搬送を行うべく大型の基準孔と、第2のプーリ側における搬送を行うべく小型の基準孔とを設けた請求項1に記載の検査装置であり、搬送ベルトの一方の端に第1のプーリ側と第2のプーリ側専用の基準孔を設けているので、駆動部の構成が簡単になる。
【0023】
また、この基準孔の大きさの違いにより、第1のプーリ側と第2のプーリ側の検査区分を識別することができる。
【0025】
また、搬送ベルトは一つであり、検査装置の小型化を図ることができる。
【0026】
以下、本発明の実施の形態について図面を用いて説明する。図1において、15は搬送ベルトであり、プーリ16とプーリ17に張架されている。18,14もプーリであり、プーリ16とプーリ17の略中央に設けられている。ここで、プーリ18と16は夫々駆動部に連結されている。プーリ18と14との間には搬送ベルト15を弛ませたダンサー部23が設けられている。13はダンサー部23に設けられたプーリであり、搬送ベルト15を張架するために下方へ付勢されている。また、このダンサー部23を境にして、プーリ17側をA側19とし、プーリ16側をB側20としている。そして、A側19の上方には接触ユニット21を設けるとともにB側20の上方には接触ユニット22を設け、その出力はA/B切替えユニット9を介して検査器5に接続されている。
【0027】
以上のように構成された検査装置について、以下にその動作を図2を用いて説明する。図2(a)において、先ず搬送ベルト15に載置された製品6を検査するときには、A側19の搬送ベルト15を停止させる。この状態において接触ユニット21を下降させて製品6の検査電極に接触ピンを当接させて検査を行う。このとき同時にB側20においてはプーリ16は駆動されており、搬送ベルト15は搬送されている。この時は接触ユニット22は上昇して製品6から離脱している。従って、この時にはダンサー部23における搬送ベルト15の弛みは少なくなっている。
【0028】
このようにして、A側19における検査が終了すると、今度は図2(b)に示すようにB側20の搬送ベルト15を停止させて接触ユニット22を降下させて製品6の検査電極に接触ピンを当接させて検査を行う。このときA側19は搬送状態にある。即ち、接触ユニット21は上昇して製品6から離間されており、プーリ18が駆動されてA側19の搬送ベルト15は搬送され、ダンサー部23に搬送ベルト15は弛むのである。このように図2(a)に示す動作と図2(b)に示す動作とを交互に繰り返すことにより、高速に検査をすることができる。即ち、ダンサー部23を設けることにより、搬送時に検査を休めることなく、A側19での検査と同時にB側20で搬送或いは、B側20での検査と同時にA側19での搬送ができるので、高速の検査が可能となる。
【0029】
また、接触ユニット21と22はA/B切替えユニット9を介して検査器5に接続されているので、検査器5は一つで良く検査装置の小型化に寄与する。特に、検査器5が高価の場合は価格面で有効である。
【0030】
なおこの検査において、図1に示すように、先ずトレイ7の製品6は搬送ベルト15の始端で装着されて搬送される。そして、接触ユニット21の真下で停止して検査される。また、B側20の接触ユニット22の真下で検査が終了した製品6は、搬送ベルト15の終端まで搬送され、この終端でトレイ8に取り出される。このように製品6は、一つの搬送ベルト15に対して、搬送ベルト15を停止させて装着と取り出しが行われるので、製品6の出し入れは容易である。
【0031】
また、搬送ベルト15は一本であり、この搬送ベルト15に接触ユニット21と接触ユニット22が設けられるので、双方のユニット共に手前に設けることができ、検査装置のメンテナンスが容易となる。
【0032】
図3は搬送ベルト15の要部平面図である。図3において、15は搬送ベルトであり、この搬送ベルト15には16mm×12mmの孔24が連続して設けられている。この孔24の中央には幅25mmの粘着テープ25が貼り付けられている。この粘着テープ25の中央に製品6を載置するようになっている。また、26は大型の搬送用の基準孔であり、27は小型の搬送用の基準孔である。これらの基準孔26,27は、搬送ベルト15の一方の端部に設けられている。従って、大型の基準孔26を用いることによりA側19の搬送を行い、小型の基準孔27を用いることによりB側20の搬送を行うことができる。なお、これは逆であっても良い。
【0033】
このように構成することにより、A側19とB側20とが夫々独立して別々に搬送できるとともに、この基準孔26,27の大きさの違いを検知して、検査をするか否かを決定することができる。例えば、大型の基準孔26を検知したらA側19で検査をし、小型の基準孔27を検知したらB側20で検査をする。このことにより、A側19、B側20とも同一の検査を二重にすることは無く確実に検査をすることができる。しかも検査器5は一つで良い。
【0034】
図4は、他の例によるものであり、搬送ベルト15aの要部平面図である。図4において、15aは搬送ベルトであり、この搬送ベルト15aには16mm×12mmの孔28が連続して設けられている。この孔28の中央には幅2.5mmの粘着テープ29が貼り付けられている。この粘着テープ29の中央に製品6を載置するようになっている。また、30,31は共に同一形状の搬送用の基準孔であり、基準孔30は搬送ベルト15aの一方の面に設けられており、基準孔31は搬送ベルト15aの他方の面に設けられている。従って、この搬送用の基準孔30を用いることによりA側19の搬送を行い、搬送用の基準孔31を用いることによりB側20の搬送を行うことができる。なお、このA側19とB側20の関係は逆であっても良い。
【0035】
このように構成することにより、A側19とB側20とが夫々独立して別々に搬送できるとともに、この搬送用の基準孔30,31の設けられた位置の違いを検知して、検査をするか否かを決定することができる。例えば、搬送ベルト15aの一方の端部に基準孔30を検知したらA側19で検査をし、搬送ベルト15aの他方の端部に基準孔31を検知したらB側20で検査する。このことにより、A側19、B側20とも同一の検査を二重に検査すること無く確実に検査をすることができる。しかも検査器5は一つで良い。
【0036】
図5は搬送ベルト15に製品6を載置するときの断面図である。図5において、搬送ベルト15に貼り付けられた粘着テープ25の両側にガイド32a,32bを搬送ベルト15の下方から突出させ、このガイド32a,32bに沿って製品6を粘着テープ25に載置するようになっている。このようにガイド32a,32bに沿って製品6を載置することにより、精度良く製品6の位置決めを行うことができる。なお、このガイド32a,32bは、図1,図3において、A側19の始端における搬送ベルト15の孔24の下方から突出するようになっている。
【0037】
図6は、B側20の終端における製品6の取り出しを説明するための要部断面図である。図6において、B側20において製品6の取り出しは、搬送ベルト15に貼り付けられた粘着テープ25に載置された製品6を下方から押し出しピン33で押し上げるとともに、上方からは吸着ヘッド34で吸着して製品6を下方から押し出しピン33で押し上げるので、確実に製品6を粘着テープ25から離脱させるとともに吸着ヘッド34に確実に吸着させることができる。
【0038】
なお、本実施の形態では粘着テープ25或いは29(図4の場合)として説明したが、これは粘着テープに限ることはなく、例えば搬送ベルト15にポケットを設けて、このポケットに製品6を入れても良いし、搬送ベルト15にマグネットを設けてこれに製品6を吸着させることも可能である。
【0039】
なお、本実施の形態ではA側19及びB側20で共に同じ検査をすることについて述べたが、これは検査のみに限定する必要はなく、作業であっても良い。即ち、A側19で第1の調整作業を行って、B側20では第2の調整作業を行っても良い。ここで重要なことは、A側19及びB側20での検査或いは作業に要する時間を略等しくしておくことである。このことにより、検査或いは作業の高速化が実現できるとともに小型化ができる。
【0040】
【発明の効果】
以上のように本発明によれば、第1のプーリ側に載置された被検査物の検査時には、第2のプーリ側に載置された被検査物を搬送し、第2のプーリ側に載置された被検査物の検査時には、第1のプーリ側に載置された被検査物を搬送するので、検査速度が向上する。
【0041】
また、搬送ベルトは一つであり、検査装置の小型化を図ることができる。
【0042】
更に、第1の接触ユニットと第2の接触ユニットを共に手前にも受けることができるので、検査装置のメンテナンスが容易となる。
【0043】
更にまた、被検査物の搬送は直線化されるので、被検査物の流れがシンプルである。また、被検査物の出し入れが容易である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施の形態による検査装置の斜視図
【図2】(a)同第1の状態を示す要部側面図
(b)同第2の状態を示す要部側面図
【図3】同搬送ベルトの要部平面図
【図4】同他の例による搬送ベルトの要部平面図
【図5】同A側における製品装着時の搬送ベルト近傍の断面図
【図6】同B側における製品取り出し時の搬送ベルト近傍の断面図
【図7】従来の検査装置の斜視図
【図8】同第2の例による検査装置の斜視図
【符号の説明】
5 検査器
6 製品
14 プーリ
15 搬送ベルト
16 プーリ
17 プーリ
18 プーリ
19 A側
20 B側
21 接触ユニット
22 接触ユニット
23 ダンサー部

Claims (9)

  1. 第1,第2のプーリ間に張架された搬送ベルトと、前記第1,第2のプーリ間の搬送ベルト部分に設けられたダンサー部と、このダンサー部の第1のプーリ側の前記搬送ベルトを搬送させる第1の駆動部と、前記ダンサー部の第2のプーリ側の前記搬送ベルトを搬送させる第2の駆動部と、前記第1のプーリ側の前記搬送ベルトに載置された被検査物に接触・離脱自在に設けられた第1の接触ユニットと、前記第2のプーリ側の前記搬送ベルトに載置された被検査物に接触・離脱自在に設けられた第2の接触ユニットと、前記第1の接触ユニットと前記第2の接触ユニットの出力が接続された検査器とを備え、この第1のプーリ側の搬送ベルトを停止させて前記第1のプーリ側の搬送ベルト上に載置された被検査物に前記第1の接触ユニットを接触させて前記検査器により検査しているときには、前記第2のプーリ側の搬送ベルトは前記第2の駆動部で搬送され、前記第2のプーリ側の搬送ベルトを停止させてこの第2のプーリ側の搬送ベルト上に載置された被検査物に前記第2の接触ユニットを接触させて前記検査器により検査しているときは、前記第1のプーリ側の搬送ベルトは前記第1の駆動部で搬送される検査装置。
  2. 第1の接触ユニット及び第2の接触ユニットの出力がA/B切替えユニットを介して検査器の入力に接続された請求項1に記載の検査装置。
  3. 搬送ベルトには被検査物毎に交互に異なる識別標識を設け、この標識に基づいて検査をする請求項1に記載の検査装置。
  4. 搬送ベルトには、被検査物を貼付けるべく粘着テープを貼付けた請求項1に記載の検査装置。
  5. 粘着テープの幅は、被検査物の幅より狭くした請求項4に記載の検査装置。
  6. 被検査物の粘着テープへの装着時には、ガイドで被検査物をガイドする請求項4に記載の検査装置。
  7. 被検査物の取り出し時には、押し上げピンで前記被検査物を押し上げるとともに吸着ヘッドで前記被検査物を吸着させて取り出す請求項4に記載の検査装置。
  8. 搬送ベルトの一方の端に第1のプーリ側における搬送を行うべく第1の基準孔を設けるとともに前記搬送ベルトの他方の端には第2のプーリ側における搬送を行うべく第2の基準孔を設けた請求項1に記載の検査装置。
  9. 搬送ベルトの一方の端に第1のプーリ側における搬送を行うべく大型の基準孔と、第2のプーリ側における搬送を行うべく小型の基準孔とを設けた請求項1に記載の検査装置。
JP2000081208A 2000-03-23 2000-03-23 検査装置 Expired - Fee Related JP4134484B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000081208A JP4134484B2 (ja) 2000-03-23 2000-03-23 検査装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000081208A JP4134484B2 (ja) 2000-03-23 2000-03-23 検査装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2001261141A JP2001261141A (ja) 2001-09-26
JP4134484B2 true JP4134484B2 (ja) 2008-08-20

Family

ID=18598172

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2000081208A Expired - Fee Related JP4134484B2 (ja) 2000-03-23 2000-03-23 検査装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4134484B2 (ja)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101449487B1 (ko) * 2012-06-01 2014-10-14 한국미쯔보시다이아몬드공업(주) 기판 절단 장치 및 기판 절단 장치에서의 기판 반송 방법
KR101579818B1 (ko) * 2014-07-24 2015-12-24 한국미쯔보시다이아몬드공업(주) 기판 이송장치
CN113405481A (zh) * 2021-06-17 2021-09-17 人本股份有限公司 用于轴承检测的检测装置

Also Published As

Publication number Publication date
JP2001261141A (ja) 2001-09-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN211457886U (zh) 用于将数据载体施加到载体幅面上的装置
JP6075662B1 (ja) キャリアテープ走行装置
JP4134484B2 (ja) 検査装置
KR101330148B1 (ko) 기판 분단 장치 및 이를 이용한 기판 분단 방법
JP2866069B2 (ja) 橋渡搬送装置
JP2004121990A (ja) ワーク搬送収納装置及びワーク搬送収納方法
JP4275875B2 (ja) 部品検査装置
JP2003279493A (ja) 被検査体の搬送検査装置
JP2001350130A (ja) 液晶表示素子用フィルム切断装置及びこれに用いるフィルム
DE60025633D1 (de) Fordervorrichtung und Prüfvorrichtung
JP2006273364A (ja) 容器整列装置、及び容器整列方法
JP2012182273A (ja) ガラス基板インライン検査方法及びその装置
JP3088814U (ja) 被検査体の搬送検査装置
JP2012096161A (ja) 選果システム
JPH0840429A (ja) ラベル貼り付け方法及び装置
JPH07206129A (ja) 基板搬送装置
TWI673222B (zh) 分類單元、配備有該分類單元之板片元件處理機、用於在該分類單元內傳送及頂出板片元件之轉換裝置、及用於在處理機之輸出轉換板片元件之方法
KR100208071B1 (ko) 반도체 테스트용 핸들러 시스템의 벨트 컨베어
JPH0266474A (ja) 半導体素子の検査方法
JP2686242B2 (ja) 錠剤目視検査装置
JP2009302100A (ja) 基板搬送装置及び電子部品装着装置
JP2010269806A (ja) 電子部品搬送装置
KR102062590B1 (ko) 타이밍 벨트 컨베이어
JP2008133068A (ja) ワーク転送装置
JP3647301B2 (ja) 物品の搬送装置

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20050204

RD01 Notification of change of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421

Effective date: 20050630

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20080122

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20080319

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20080507

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20080520

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110613

Year of fee payment: 3

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees