KR100208071B1 - 반도체 테스트용 핸들러 시스템의 벨트 컨베어 - Google Patents

Abstract

본 발명은 반도체 디바이스 테스트용 핸들러 시스템의 벨트 컨베어에 관한 것이다. 반도체 디바이스 테스트용 핸들러 시스템의 벨트 컨베어는 피측정 디바이스를 탑재한 테스트 트레이를 공급부로부터 테스트 헤드부로, 그리고 테스트 헤드부로부터 배출부로 반송시키도록 일정 거리 떨어져 서로 평행하게 연장한다. 컨베어 벨트(1)는 벨트(1)들 사이를 가로질러 프레임(3)에 연결되는 다수의 스테이 바(5)가 루프 형상을 가지는 벨트(1)의 외부에 위치되며, 벨트(1)의 장력을 유지시켜주도록, 각각의 스테이 바(5)를 중심으로 한 쌍의 아이들 롤러(6)가 벨트(1)의 외면에 접촉되도록 설치되는 것을 특징으로 하는 한다.

Description

반도체 테스트용 핸들러 시스템의 벨트 컨베어{Belt conveyor for transferring a tray in handler system for testing semiconductor devices}

본 발명은 반도체 테스트용 핸들러 시스템의 벨트 컨베어에 관한 것이고, 보다 상세하게는 벨트의 보수 및 교체를 용이하게 하여, 핸들러 시스템의 유지 시간 및 비용을 감축시킬 수 있는 구조를 가지는 반도체 테스트용 핸들러 시스템의 벨트 컨베어에 관한 것이다.

전자 산업에서, 집적 회로 또는 반도체 칩과 같은 반도체 디바이스에 대하여 보다 저렴하고 보다 작은 치수로 제조되는 것이 항상 요구되었다. 이러한 반도체 디바이스의 생산성을 향상시키는 하나의 방식은 동일한 시간에 다수의 반도체 디바이스를 테스팅하는 것에 의하여 디바이스의 테스트 속도를 증가시켜, 반도체 디바이스의 단위 비용을 감축시키는 것이다.

테스트되는 다수의 반도체 디바이스를 테스트 트레이 상에 배치하여 대응하는 다수의 테스트 콘택터를 가지는 테스트 헤드판에 의하여 결합되도록 위치시키는 테스트 기술이 표준으로 되었다. 하나의 디바이스가 하나의 이상의 디바이스 시트가 구비되는 캐리어 모듈의 하나의 시트 상에 배치된다. 그런 다음, 다수의 모듈들은 테스트 트레이 상에 행렬로 배치된다. 다수의 상기된 캐리어 모듈을 가지는 테스트 트레이는 테스트 고정물(fixture)과 수직 정렬(위 또는 아래)이 되도록 정렬된다.

테스트 고정물은 테스트 신호를 공급하여 디바이스로부터 수신하기 위하여 테스트되는 각 디바이스의 핀들과 접촉하는 테스트 콘택터(테스트 핀)를 포함한다. 각 모듈은 대응하는 테스트 콘택터와 정렬되어서, 테스트 트레이 또는 테스트 고정물이 서로를 향하여 상하 방향으로 이동될 때, 콘택터는 캐리어 모듈 내에 위치된 반도체 디바이스를 결합한다.

콘택터는 테스트되는 반도체 디바이스의 리드들과 전자적인 통신을 하는 다수의 테스트 핀 또는 리드들이 구비된다. 자동 테스트 핸들러는 테스트의 결과를 분석하기 위한 신호 비교기와 함께 디바이스에 테스트 신호를 공급하기 위한 신호 발생기를 구비하는 IC 테스터와 같은 반도체 디바이스 테스트 시스템에 전기적으로 접속된다. 상기된 결과에 근거하여, 반도체 디바이스들은 테스트 공정에서 다른 위치로 운반되어, 적절한 취급을 위하여 저장된다.

도 1에는 종래의 반도체 디바이스 테스트용 핸들러 시스템이 개략적으로 도시되어 있다.

도 1에 도시된 바와 같이, 피측정 디바이스(116)를 반송하기 위한 수단으로서, 테스트 트레이(111, 반도체 디바이스 이송용 트레이)가 사용되며, 테스트 트레이(111)들 중에는 다수개의 캐리어 모듈(115)이 로딩 상태로 유지되며, 각각의 캐리어 모듈(115)에는 피측정 디바이스(116)들이 탑재되고, 피측정 디바이스(116)들이 수납된 테스트 트레이(111)가 공급부에 배치되어, 피측정 디바이스(116)는 테스트 트레이(111)에 수납된 상태에서, 테스트 헤드부로 반송된다.

테스트 트레이(111)는 컨베어 벨트(118) 상에서 모터(117)에 의한 구동력에 의하여 반송되어, 테스트 헤드부에서 스토퍼(119)에 걸릴 때 까지 이동되며, 테스트 트레이(111)가 컨베어 벨트(118)에 의하여 이송되는 챔버(120)의 내부는 통상 -30℃ 내지 125℃의 온도 조건에서 어떤 일정한 온도에서 테스트되도록 설정된다.

테스트 헤드부에서, 피측정 디바이스(116)들은 하방으로 압압되고, 반도체 디바이스 테스트 장치의 핀 카드와 전기적인 접촉을 유지하여 테스트된다. 이러한 전기적인 접촉부는 다수가 설치되는 것이 일반적이며, 다수개의 디바이스가 동시에 측정된다.

도 2는 도 1에 도시된 반도체 테스트용 핸들러 시스템의 벨트 컨베어의 개략 평면도이고, 도 3은 단면도이며, 도 4는 사시도이다.

도 2에 도시된 바와 같이, 반도체 테스트용 핸들러 시스템의 벨트 컨베어는 일정 거리 떨어져 서로 평행하게 연장하는 한 쌍의 벨트(118)로 구성되며, 한 쪽 단부에 위치되는 구동축(110)에 의하여 구동된다. 이러한 구동축(110)은 챔버(120)의 외부에 설치되는 구동 모터(114)에 연결되어, 구동 모터(114)의 구동력을 컨베어 벨트(118)에 전달한다. 한편, 한 쪽 벨트와 다른 쪽 벨트를 구동하는 구동부는 구동축(110)과 다수의 스테이 바(113,stay bar)에 의하여 연결되며, 이러한 스테이 바(113)는 도 3에 도시된 바와 같이 루프 형상을 가지는 벨트(118) 내에 위치된다.

이러한 벨트(118)와 스테이 바(113)의 결합 관계가 도 3에 도시되어 있으며, 도 3에 도시된 바와 같이, 벨트(118)는 구동축(110)에 의하여 구동되는 다수의 가이드 롤러(112)에 의하여 가이드되며, 스테이 바(113)는 가이드 롤러(113)들 사이에 위치되어, 벨트(118)간의 거리를 일정하게 유지하도록 되어 있다. 가이드 롤러(113)는 벨트(118)의 이송로를 따라서 프레임(121)에 설치되며, 벨트(118)에 의하여 형성된 루프 내에 위치된다.

그러나, 상기된 바와 같은 종래의 반도체 디바이스 테스트용 핸들러 시스템에서는 다음과 같은 문제점이 있었다.

즉, 챔버 내의 온도가 -30℃ 내지 125℃의 온도 변화가 심한 조건에서, 컨베어 벨트가 구동되기 때문에, 온도 변화에 따른 벨트의 강도 저하로 인하여 벨트가 절단되는 경우가 비교적 빈번하게 발생되어, 벨트의 교체 또한 빈번하게 이루어져야만 된다. 그러나, 구동축과 스테이 바가 루프 형상을 하는 벨트 내에 위치되기 때문에, 벨트의 교체를 위하여 구동축과 스테이 바를 챔버로부터 분리해야되므로, 벨트의 교체에 대략 2.5 내지 3시간의 시간이 소모되어, 보수 및 유지 비용이 상승된다는 문제점이 있었다.

따라서, 본 발명의 목적은 컨베어 벨트의 교체 및 수리가 용이하여, 보수 및 유지 비용을 저렴하게 할 수 있는 구조를 가지는 반도체 테스트용 핸들러 시스템의 벨트 컨베어를 제공하는 데 있다.

도 1은 반도체 테스트용 핸들러 시스템의 구성을 개략적으로 도시한 도면.

도 2는 도 1에 도시된 반도체 테스트용 핸들러 시스템의 벨트 컨베어의 개략 평면도.

도 3은 도 2의 선A-A를 따라서 취한 반도체 테스트용 핸들러 시스템의 벨트 컨베어의 개략 단면도.

도 4는 종래의 테스트용 핸들러 시스템의 벨트 컨베어의 벨트의 결합 상태를 도시한 사시도.

도 5는 본 발명에 따른 반도체 테스트용 핸들러 시스템의 벨트 컨베어의 개략 평면도.

도 6은 도 5에 도시된 반도체 테스트용 핸들러 시스템의 벨트 컨베어의 개략 단면도.

도 7은 본 발명에 따른 테스트용 핸들러 시스템의 벨트 컨베어의 벨트의 결합 상태를 도시한 사시도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *

1 : 컨베어 벨트 2 : 구동축

3 : 프레임 4 : 구동 모터

5 : 스테이 바 6 : 아이들 롤러

7 : 가이드 롤러 8 : 커플러

상기된 바와 같은 목적은, 피측정 디바이스를 탑재한 테스트 트레이를 공급부로부터 테스트 헤드부로, 그리고 테스트 헤드부로부터 배출부로 반송시키도록 일정 거리 떨어져 서로 평행하게 연장하는 반도체 디바이스 테스트용 핸들러 시스템의 벨트 컨베어에 있어서, 상기 벨트는 상기 벨트들 사이를 가로질러 컨베어 프레임에 연결되는 다수의 스테이 바가 루프 형상을 가지는 상기 벨트 외부에 위치되며, 상기 벨트의 장력을 유지시켜주도록, 상기 각각의 스테이 바를 중심으로 한 쌍의 아이들 롤러가 상기 벨트의 외면에 접촉되도록 설치되는 것을 특징으로 하는 본 발명에 따른 반도체 디바이스 테스트용 핸들러 시스템의 벨트 컨베어에 의하여 달성된다.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 명세서에 첨부된 도면을 참조하여 보다 상세하게 설명한다.

도 5는 본 발명에 따른 반도체 테스트용 핸들러 시스템의 벨트 컨베어의 개략 평면도이며, 도 6은 단면도, 도 7은 사시도이다.

도 5 내지 도 7에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 반도체 테스트용 핸들러 시스템의 벨트 컨베어는 일정 거리 떨어져 서로 평행하게 연장하는 한 쌍의 컨베어 벨트(1)로 구성되며, 한 쪽 단부에 위치되는 구동축(2)에 의하여 구동된다. 이러한 구동축(2)은 프레임(3)의 외부에 설치되는 구동 모터(4)에 연결되어, 구동 모터(4)의 구동력을 컨베어 벨트(1)에 전달한다. 컨베어 벨트(1)는 구동축(2)에 의하여 구동되어, 프레임(3)을 따라서 설치되는 가이드 롤러(7)에 의하여 구동이 가이드된다.

한편, 본 발명에 따른 반도체 테스트용 핸들러 시스템의 벨트 컨베어 또한 한 쪽 벨트와 다른 쪽 벨트를 구동하는 구동부는 구동축(2)과 다수의 스테이 바(5)에 의하여 연결된다.

이러한 스테이 바(5)는 루프 형상을 가지는 벨트(1)의 외부에 위치되며, 각각의 스테이 바(5)를 중심으로 한 쌍의 아이들 롤러(6)가 스테이 바(5)의 측부에서 벨트(1)의 외면에 접촉되도록 설치된다. 도 7에 도시된 바와 같이, 이러한 아이들 롤러(6)에 의하여 벨트(1)는 상부에 제공되는 테스트 트레이를 필요한 위치로 운반시키도록 장력을 유지하는 한편, 벨트(1)가 스테이 바(5)에 접촉되는 것을 방지한다.

이러한 구조를 가지는 것에 따라서, 본 발명에 따른 반도체 테스트용 핸들러 시스템의 벨트 컨베어는 벨트(1)가 절단되었을 때, 스테이 바(5)를 프레임(3)로부터 분리하지 않고도, 용이하게 교체할 수 있게 된다. 즉, 구동축(2)만 프레임(3)으로부터 분리하여, 벨트(1)에 의하여 형성된 루프 내에 가이드 롤러(7)가 위치되도록 벨트(1)를 위치시키고, 이 때, 벨트(1)는 도 7에 도시된 바와 같이 하부가 스테이 바(5) 위에 위치된다. 따라서, 스테이 바(5)를 분리하지 않고도 벨트(1)가 용이하게 교체될 수 있다.

본 발명에 따른 반도체 테스트용 핸들러 시스템의 벨트 컨베어에 의하면, 컨베어 벨트를 구동하기 위하여 외부에 설치된 구동 모터(4)의 구동력을 벨트(1)에 전달하기 위한 구동축(2)은 바람직하게 2개의 부분으로 분리될 수 있으며, 2개의 부분으로 분리된 구동축(2)은 예를 들어 플렉시블 커플러와 같은 커플러(8)에 의하여 연결된다.

상기된 바와 같이, 구동축(2)이 바람직하게 2개의 부분으로 분리되는 것에 의하여, 구동축(2) 또한 프레임(3)으로부터 분리함이 없이, 컨베어 벨트(1)의 절단이 발생되었을 때, 구동축(2) 및 스테이 바(5)를 분리하지 않고도 벨트(1)가 용이하게 교체될 수 있으므로, 벨트의 교체 시간이 상당히 단축될 수 있다.

상기된 바와 같은 본 발명에 따른 반도체 테스트용 핸들러 시스템의 벨트 컨베어에 의하면, 챔버 내의 온도가 -30℃ 내지 125℃의 온도 변화가 심한 조건에서 컨베어 벨트가 구동되는 것으로 인한 벨트의 절단이 발생되었을 때, 벨트의 교체 시간이 대략 15분 정도로 매우 단축될 수 있으므로, 반도체 테스트용 핸들러 시스템의 보수 및 유지 비용이 저렴하게 될 수 있다.

이상에서는 본 발명의 특정의 바람직한 실시예에 대하여 도시하고 또한 설명하였으나, 본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 아니하며, 특허청구의 범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형실시가 가능할 것이다.

Claims (2)

1. 피측정용 반도체디바이스를 수용하는 테스트 트레이를 이동시키는 반도체디바이스 테스트용 핸들러시스템의 벨트컨베이어에 있어서,

   소정 간격으로 이격된 한 쌍의 프레임 사이에 설치되는 다수의 스테이바;

   상기 각 프레임에 소정간격으로 설치되는 다수의 가이드롤러;

   상기 각 프레임의 단부 사이에 연결된 구동축을 구동하는 모터

   상기 다수의 가이드롤러와 구동축의 양단부가 그 루프내측에 마련되고, 상기 다수의 스테이바의 양단부는 그 루프 외측에 마련되도록 설치된 한 쌍의 벨트;

   상기 다수의 스테이바 각각의 양측에 배치되도록 상기 프레임에 설치되고, 상기 벨트의 외측면에 접촉되어 상기 벨트에 장력을 부여하는 다수의 텐션롤러를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 디바이스 테스트용 핸들러 시스템의 벨트 컨베이어.
2. 제1항에 있어서, 상기 구동축은 두 개의 부분으로 이루어지며, 상기 두 개의 부분들은 그 사이가 이격되어 커플러에 의해 연결되는 것을 특징으로 하는 반도체디바이스 테스트용 핸들러시스템의 벨트컨베이어.

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