JP3088814U - 被検査体の搬送検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】本考案は、平行配置の搬送ベルトの搬送動作時
の位置ずれや振動を防止し、液晶板のような被検査体の
搬送を常時正確に行って検査精度を一定に維持できる被
検査体の搬送検査装置を提供する。 【解決手段】本考案の被検査体の搬送検査装置は、矩形
状の被検査体を平行配置で循環駆動される搬送ベルト２
ａ、２ｂにより搬送しつつ検査光学系を用いて前記被検
査体を走査することにより被検査体の欠縮検査を行う被
検査体の搬送検査装置１であって、平行配置の搬送ベル
ト２ａ、２ｂの外周に巡らせた平行配置のガイドレール
６ａ、６ｂと、このガイドレール６ａ、６ｂにより各々
案内されつつ搬送ベルト２ａ、２ｂの長さ方向端縁部を
挟持して搬送ベルト２ａ、２ｂとともに移動し、その位
置ずれ、振動を防止する任意個数の位置ずれ振動防止機
構部１１を設けたものである。

Description

【考案の詳細な説明】 【考案の属する技術分野】

本考案は、例えば液晶板等のような被検査体の搬送検査装置に関するものであ る。

【従来の技術】

従来、各種ディスプレイ装置等に使用される液晶基板の製作は、例えば７００ ｍｍ×９００ｍｍのガラス基板上に、６個の１４インチ又は１６インチのＴＦＴ （Ｔｈｉｎ Ｆｌｌｍ Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）を張り合わせて、更にＣＦ（Ｃ ｏｌｏｒ Ｆｉｌｔｅｒ）を張り合わせ、これを切り取って製作される。 上記ＴＦＴは、５０万×３個（Ｒ，Ｇ，Ｂ三色）のトランジスター群によって 構成される。そして、上記ＴＦＴの欠陥検査は、一つの大きさがほぼ２０μｍ位 で、７００ｍｍの寸法の中で３６，０００点を検査することになる。 このような検査は、従来における被検査体の搬送検査装置を示す図８に示すよ うに、通常プーリ５５、５６（図９に示す）に架け渡され循環駆動される平行配 置の搬送ベルト（タイミングベルト）５１、５１により３０ｃｍ／ｓｅｃ程度の 速度で矢印方向に搬送される途中でガラス基板（ワーク）５０に対する光源６１ とリニアＣＣＤ（例えば８個使用）６２を用いた検査手段により４０ＭＢ／ｓｅ ｃ程度の取り込み速度による画像取り込み処理によって行われる。 ガラス基板５０は、搬送ベルト５１、５１により搬送される際に、これら搬送 ベルト５１、５１に連動するように設けた把持体（チャック）５２により搬送方 向に沿う両端縁部を把持されて位置決めされつつ搬送される。 また、搬送ベルト５１に連動する把持体５２は通常搬送ベルト５１の全長を２ 分割する配置で例えば２個設けられている。 また、上述した従来の被検査体の位置決め搬送装置は、ガラス基板５０の搬送 に搬送ベルト５１、５１を使用しており、この搬送ベルト５１は使用時間の経過 とともに伸びるため、搬送ベルト５１の張力が低下してガラス基板５０の搬送に 支障が生じることを防止するため、図９に概略示すような搬送ベルト５１の張力 を一定に維持するように構成した張力維持機構７０を備えている。 この張力維持機構７０は搬送ベルト５１の全長を１／２に分割する位置に例え ば２個取り付けている。そして、搬送ベルト５１の全外周の外側を占める配置で ガイドレール８０を巡らせ、２個の張力維持機構７０をガイドレール８０により ガイドさせつつ搬送ベルト５１の移動に連動する状態で走行させ、常時搬送ベル ト５１の張力が一定になるようにしている。

【考案が解決しようとする課題】

しかしながら、上述したような従来の被検査体の位置決め搬送装置においては 、図９に示すように、搬送ベルト５１、５１に関して、プーリ５５に接触する点 Ａと、張力維持機構７０により保持される点Ｂとが振動の拘束点として機能し、 搬送動作中において点Ａ、点Ｂ間で振動が生じて平行配置の搬送ベルト５１、５ １間で移動速度の違いによる位置ずれ（ピッチズレ）が発生する。例えば、点Ａ 、点Ｂ間の距離を１ｍとし、点Ａ、点Ｂ間で最大振幅３ｍｍの振動が発生したと すると、両搬送ベルト５１、５１間において搬送方向に関して数μｍ乃至数十μ ｍの位置ずれが生じてしまう。 この結果、図１０に点線で示すように、ガラス基板５０が搬送方向に関して傾 き（ガラス基板５０の先端が搬送ベルト５１、５１の搬送方向に対して直交しな い配置）、光源６１とリニアＣＣＤ６２とにより取得する画像が乱れ検査精度の 低下を招くという問題があった。 本考案は、上記事情に鑑みてなされたものであり、平行配置の搬送ベルトの搬 送動作時の位置ずれや振動を防止し、液晶板のような被検査体の搬送を常時正確 に行って検査精度を一定に維持できる被検査体の搬送検査装置を提供するもので ある。

【課題を解決するための手段】

請求項１記載の考案は、矩形状の被検査体を平行配置で循環駆動される搬送ベ ルトを用いた搬送手段により搬送しつつ検査光学系を用いて前記被検査体を走査 することにより被検査体の欠縮検査を行う被検査体の搬送検査装置であって、前 記平行配置の搬送ベルトの外周に巡らせた平行配置のガイドレールと、この平行 配置のガイドレールにより各々案内されつつ前記搬送ベルトの長さ方向端縁部を 挟持して搬送ベルトとともに移動し、搬送ベルトの位置ずれ、振動を防止する１ 又は２以上任意個数の位置ずれ振動防止機構部を設けたことを特徴とするもので ある。 請求項２記載の考案は、請求項１記載の被検査体の搬送検査装置において、前 記位置ずれ振動防止機構部は、搬送ベルトの長さ方向端縁部に線又は点接触状態 で接触し振動を防止するベルト拘束部と、このベルト拘束部をガイドレールに係 合させる移動案内部とを具備することを特徴とするものである。 このような構成の本考案によれば、平行配置の搬送ベルトの外周に巡らせた平 行配置のガイドレールに案内させつつ搬送ベルトの長さ方向端縁部を挟持して搬 送ベルトとともに移動し、搬送ベルトの位置ずれ、振動を防止する任意個数の位 置ずれ振動防止機構部を設けているので、この位置ずれ振動防止機構部によって 搬送ベルトの搬送動作時の位置ずれ、振動を防止することができ、液晶板のよう な被検査体の搬送を常時正確に行って検査精度を一定に維持することが可能とな る。

【考案の実施の形態】

以下に、本考案の実施の形態を図１乃至図７を参照して詳細に説明する。 図１は、本実施の形態に係る被検査体１０の搬送検査装置１の一例の概略構成 を示すものである。 この被検査体１０の搬送検査装置１は、例えば矩形状の液晶板形成用の被検査 体１０を、搬送手段である一対の無端で幅広の搬送ベルト（タイミングベルト） ２ａ、２ｂ及びタイミングベルト用のプーリ８ａ、８ｂ（図２、図３参照）を用 いた搬送コンベア２により搬送し、光源３及びラインＣＣＤ（ラインセンサ）４ を有する検査光学系を用いて前記被検査体１０の被検査体面（以下「検査面」と いう）を走査し撮像と画像処理することにより、この検査面に設けられているＴ ＦＴ等の液晶部の欠陥検査を行うようになっている。 前記搬送コンベア２による被検査体１０の搬送方向中央部位置（搬送コンベア ２の幅寸法をＬとすると、Ｌ／２となる位置）には、前記被検査体１０の搬入位 置から搬出位置に至るまでこの被検査体１０の搬送方向先端縁に設けられている 掴みしろを位置決め把持する把持手段を構成する把持体５を取付板２３、連結板 ２４を用いて取り付けている。 本実施の形態ではこの把持体５は、例えば搬送コンベア２の全周長を２分割す る位置に合計２箇所取り付けている。また、光源３からラインＣＣＤ４への検査 光路を妨げない配置で取り付けている。 前記搬送コンベア２の前段には、被検査体１０用の搬入ローラコンベア２６が 設けられ、前記搬送コンベア２の後段には、被検査体１０用の搬出ローラコンベ ア２７が設けられている。更に、前記搬送ベルト２ａ、２ｂには、搬送ベルト２ ａ、２ｂの張力微調整を行うバネ機構等を利用したベルト張力付与機構４０を設 けている。 更に、本実施の形態においては、図２に詳細に示すように、前記平行配置の搬 送ベルト２ａ、２ｂの外周に各々巡らせた平行配置のガイドレール６ａ、６ｂ（ 図１では２点鎖で示す）と、この平行配置のガイドレール６ａ、６ｂにより各々 案内されつつ前記搬送ベルト２ａ、２ｂの長さ方向端縁部を挟持して搬送ベルト ２ａ、２ｂとともに移動し、搬送ベルト２ａ、２ｂのピッチずれを防止し振動も 防止する任意個数の位置ずれ振動防止機構部１１を設けている。 前記位置ずれ振動防止機構部１１は、図３、図４に拡大して示すように、搬送 ベルト２ａ、２ｂの長さ方向端縁部に線又は点接触状態で接触し、位置ずれ、振 動を防止するベルト拘束部１２と、このベルト拘束部１２を前記ガイドレール６ ａ、６ｂに移動可能に係合させる移動案内部１３とを具備している。 前記ベルト拘束部１２は、前記搬送ベルト２ａ、２ｂの長さ方向両側の端縁部 の上下両側に各々線又は点接触状態で接触し挟持する片側２個、両側で計４個の 例えば円棒状部材１４を断面コ状の保持部材１５、１５より保持し、この保持部 材１５、１５を平板１６により連結している。 そして、前記移動案内部１３の下端を、平板１６に連結し、移動案内部１３の 上端の係合突部を前記ガイドレール６ａ、６ｂに設けた案内溝６ｃに係合させる ことで、ベルト拘束部１２をガイドレール６ａ、６ｂに係合させつつベルト拘束 部１２をガイドレール６ａ、６ｂま長さ方向に移動可能に支持している。 このような位置ずれ振動防止機構部１１は、搬送ベルト２ａ、２ｂに対して例 えば３００ｍｍ間隔で所要個数取り付ける。 以下に、上述した搬送検査装置１の作用を説明する。なお、図６は本実施の形 態の搬送検査装置１の被検査体１０の搬送途中の動作説明図、図７は本実施の形 態の搬送検査装置１の被検査体１０の搬出直前の動作説明図である。 前記搬入側ローラコンベア２６により次々とタイミング良く運び込こまれる被 検査体１０は、前記搬送コンベア２の搬送ベルト２ａ、２ｂに受け渡され（図２ ）、このとき、所定のタイミングで前記把持体５により搬送方向中央部位置の掴 みしろの部分を把持されて位置決めされる。つまり、搬入側ローラコンベア２６ から押し出される力で、液晶板形成用の被検査体１０の搬送方向中央部位置の掴 みしろの部分が把持体５に挟まれるような形態となる。 そして、搬送コンベア２の搬送ベルト２ａ、２ｂの矢印方向への移動とともに 把持体５も被検査体１０を把持しつつ移動し、光源３からラインＣＣＤ４への検 査光路を通過し（図３）、欠陥検査工程が終了した後、図４に示す位置よりも少 し先の位置である搬出端において把持体５は被検査体１０を自動的に解放し、こ れにより、被検査体１０は搬出ローラコンベア２７へ搬出され、次工程へと運ば れる。この後把持体５は一定軌道を巡回する。 このようにして、本実施の形態の搬送検査装置１によれば、前記位置ずれ振動 防止機構部１１を、平行配置のタイミングベルトからなる搬送ベルト２ａ、２ｂ に対して例えば３００ｍｍ間隔で所要個数設置していることから、搬送ベルト２ ａ、２ｂによる被検査体１０の搬送動作時において、搬送ベルト２ａ、２ｂ間の 位置ずれ（ピッチずれ）を防止し、また、振動をも防止することができ、液晶板 のような被検査体１０の搬送を常時正確に行う事ができ、前記光源３及びライン ＣＣＤ４を有する検査光学系による検査精度を常に一定に維持することが可能と なる。 そして、被検査体１０の位置決め搬送を迅速、且つ、円滑に行ない、欠陥検査 工程終了後、自動的に次工程へ搬出でき、検査時間を短縮できる。 図１１は本実施の形態の被検査体１０の搬送検査装置１の変形例を示すもので ある。 図１１に示す搬送検査装置１Ａは、図１に示す搬送検査装置１と基本的な構成 は同様であるが、光源３３及びラインＣＣＤ（ラインセンサ）３４からなる光反 射型の検査光学系を用いて前記被検査体１０の被検査体面を走査し撮像して画像 処理するように構成した事が特徴である。この他の構成は図１に示す搬送検査装 置１と同一である。このような構成によっても、図１に示す搬送検査装置１の場 合と同様、液晶板のような被検査体１０の搬送を行う平行配置の搬送ベルト２ａ 、２ｂ間の位置ずれを防止し、また、振動をも防止することができ、液晶板のよ うな被検査体ぬわの搬送を常時正確に行い、検査光学系による検査精度を常に一 定に維持することが可能となる。 図１２は、前記位置ずれ振動防止機構部１１の変形例を示すものであり、図１ ２に示す位置ずれ振動防止機構部１１Ａは、搬送ベルト２ａ、２ｂの長さ方向端 縁部に線又は点接触状態で接触し、位置ずれ、振動を防止するベルト拘束部１２ Ａと、このベルト拘束部１２Ａを前記ガイドレール６ａ、６ｂに移動可能に係合 させる移動案内部１３とを具備している。 ベルト拘束部１２Ａは、搬送ベルト２ａ、２ｂの長さ方向両側の端縁部の上下 両側に各々線又は点接触状態で接触し挟持する片側２個、両側で計４個の円棒状 部材（コロ）１４ａを断面コ状の保持部材１５、１５より保持し、この保持部材 １５、１５を平板１６により連結している。 そして、移動案内部１３の下端を平板１６に連結し、移動案内部１３の上端に 上下に間隔をもって形成した側面コ状の係合突部１３ａ、１３ｂにより前記ガイ ドレール６ａ、６ｂを上下から挟み込むようにして摺動可能に係合させることで 、前記ベルト拘束部１２Ａをガイドレール６ａ、６ｂに係合させつつこのガイド レール６ａ、６ｂの長さ方向に移動可能に支持している。このような位置ずれ振 動防止機構部１１は、搬送ベルト２ａ、２ｂに対して例えば３００ｍｍ間隔で所 要個数取り付ける。このような位置ずれ振動防止機構部１１の構成によっても、 図３に示す位置ずれ振動防止機構部１１と同様な作用効果を発揮させる事ができ る。

【考案の効果】

本考案によれば、搬送手段上に受け入れた例えば液晶板のような被検査体の搬 送を行う平行配置の搬送ベルト間の位置ずれを防止し、また、振動をも防止する ことができ、液晶板のような被検査体の搬送を常時正確に行い、検査光学系によ る検査精度を常に一定に維持することが可能な被検査体の搬送検査装置を提供で きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の実施の形態の被検査体の搬送検査装置
の概略構成を示す斜視図である。

【図２】本実施の形態の被検査体の搬送検査装置の概略
構成を示す側面図である。

【図３】本実施の形態の振動防止機構部の拡大断面図で
ある。

【図４】本実施の形態の振動防止機構部の拡大側面図で
ある。

【図５】本実施の形態の搬送検査装置の被検査体搬入時
の動作説明図である。

【図６】本実施の形態の搬送検査装置の被検査体搬送途
中の動作説明図である。

【図７】本実施の形態の搬送検査装置の被検査体搬出直
前の動作説明図である。

【図８】従来の被検査体の搬送検査装置の構成を示す概
略平面図である。

【図９】従来の被検査体の搬送検査装置の構成を示す概
略側面図である。

【図１０】従来の被検査体の搬送検査装置におけるガラ
ス基板の位置ずれを示す概略平面図である。

【図１１】本実施の形態の被検査体の搬送検査装置の変
形例を斜視図である。

【図１２】本実施の形態の位置ずれ振動防止機構部の変
形例の拡大断面図である。

【符号の説明】

１ 搬送検査装置 ２ 搬送コンベア ２ａ 搬送ベルト ２ｂ 搬送ベルト ３ 光源 ４ ラインＣＣＤ ５ 把持体 ６ａ、６ｂ ガイドレール ８ａ、８ｂ プーリ １０ 被検査体 １１ 位置ずれ振動防止機構部 １２ ベルト拘束部 １３ 移動案内部 １４ 円棒状部材 １５ 保持部材 １６ 平板 ２６ 搬入ローラコンベア ２７ 搬出ローラコンベア ３３ 光源 ３４ ラインＣＣＤ

Claims (2)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】矩形状の被検査体を平行配置で循環駆動さ
   れる搬送ベルトを用いた搬送手段により搬送しつつ検査
   光学系を用いて前記被検査体を走査することにより被検
   査体の欠縮検査を行う被検査体の搬送検査装置であっ
   て、 前記平行配置の搬送ベルトの外周に巡らせた平行配置の
   ガイドレールと、 この平行配置のガイドレールにより各々案内されつつ前
   記搬送ベルトの長さ方向端縁部を挟持して搬送ベルトと
   ともに移動し、搬送ベルトの位置ずれ、振動を防止する
   １又は２以上任意個数の位置ずれ振動防止機構部を設け
   たことを特徴とする被検査体の搬送検査装置。
2. 【請求項２】前記位置ずれ振動防止機構部は、搬送ベル
   トの長さ方向端縁部に線又は点接触状態で接触し振動を
   防止するベルト拘束部と、このベルト拘束部をガイドレ
   ールに係合させる移動案内部とを具備することを特徴と
   する請求項１記載の被検査体の搬送検査装置。