CN211374551U - 基板检测装置 - Google Patents

基板检测装置 Download PDF

Info

Publication number
CN211374551U
CN211374551U CN201921615984.9U CN201921615984U CN211374551U CN 211374551 U CN211374551 U CN 211374551U CN 201921615984 U CN201921615984 U CN 201921615984U CN 211374551 U CN211374551 U CN 211374551U
Authority
CN
China
Prior art keywords
substrate
module
detection
gripper
chuck
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201921615984.9U
Other languages
English (en)
Inventor
崔汉铉
河完龙
徐正欢
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Top Engineering Co Ltd
Original Assignee
Top Engineering Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Top Engineering Co Ltd filed Critical Top Engineering Co Ltd
Application granted granted Critical
Publication of CN211374551U publication Critical patent/CN211374551U/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/89—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
    • G01N21/892—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles characterised by the flaw, defect or object feature examined
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8803—Visual inspection
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G47/00—Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
    • B65G47/74—Feeding, transfer, or discharging devices of particular kinds or types
    • B65G47/90—Devices for picking-up and depositing articles or materials
    • B65G47/901—Devices for picking-up and depositing articles or materials provided with drive systems with rectilinear movements only
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/061—Lifting, gripping, or carrying means, for one or more sheets forming independent means of transport, e.g. suction cups, transport frames
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/063—Transporting devices for sheet glass
    • B65G49/064—Transporting devices for sheet glass in a horizontal position
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8806—Specially adapted optical and illumination features
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/89—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
    • G01N21/8914—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles characterised by the material examined
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1306—Details
    • G02F1/1309—Repairing; Testing
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2201/00—Indexing codes relating to handling devices, e.g. conveyors, characterised by the type of product or load being conveyed or handled
    • B65G2201/02—Articles
    • B65G2201/0214—Articles of special size, shape or weigh
    • B65G2201/022—Flat
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/89—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
    • G01N21/892—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles characterised by the flaw, defect or object feature examined
    • G01N2021/8924—Dents; Relief flaws

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Textile Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)

Abstract

本实用新型实施例所述的基板检测装置包括：设置在基板检测区域内来检测基板表面的基板检测单元；以基板检测区域为基准，位于基板的移送方向的上游侧的第一夹具模块；以及以基板检测区域为基准，位于基板的移送方向的下游侧的第二夹具模块，其中，第一检测模块以把持以与基板的后行端相邻的方式存在或在基板的后行端存在的基板的第一部分的状态进行移动，由此使以与基板的先行端相邻的方式存在或在基板的后行端存在的基板的第二部分通过基板检测区域，在第二部分通过基板检测区域后，第一部分被解除，在第一夹具模块解除第一部分之前或者解除的同时，第二夹具模块以把持第二部分的状态进行移动，来使第一部分通过基板检测区域。

Description

基板检测装置
技术领域
本实用新型涉及检测基板表面的基板检测装置及基板检测方法。
背景技术
通常，用于平板显示器的液晶显示面板、有机电致发光显示面板、无机电致发光显示面板、透射投影仪基板、反射投影仪基板等使用单位玻璃面板，所述单位玻璃面板是通过如玻璃等脆性的母玻璃面板(以下，称为“基板”)切割成预定尺寸而获得。
所述基板在使用到产品之前，需要执行检测基板表面的工序。为了检测基板的表面，使用多种基板检测装置。基板检测装置包括与基板表面相对地配置的摄像头，根据通过摄像头拍摄的基板表面的图像来检测基板表面的缺陷。
在以往的基板检测装置中，在通过拾取模块把持基板的边缘部(在与基板的移送方向相垂直的横向上的基板的端部)的状态下，基板通过设置有摄像头的基板检测区域时，通过摄像头拍摄基板的上表面或者下表面。但是，通过拾取模块把持的基板的边缘部被夹持模块所遮挡，因此无法通过摄像头拍摄基板的边缘部。因此，需要额外设置用摄像头拍摄边缘部来检测边缘部的工序。这导致检测基板的工序的数量增加，检测基板所需的时间增加的问题。
实用新型内容
本实用新型用于解决上述以往技术的问题，本实用新型目的在于提供一种基板检测装置和基板检测方法，其能够一次性地检测包括基板的边缘部的基板的上表面和/或下表面的整体，从而可以减少检测基板的工序数及检测基板所需的时间。
本实用新型实施例提供一种基板检测方法，所述基板检测方法使用基板检测装置检测基板的表面，所述基板检测装置包括：配置在基板检测区域内来检测基板的表面的基板检测单元；以所述基板检测区域为基准，设置在所述基板的移送方向的上游侧的第一夹具模块；以所述基板检测区域为基准，设置在所述基板的移送方向的下游侧的第二夹具模块，
其中，所述基板检测方法可以包括：
(a)通过所述第一夹具模块把持以与所述基板的后行端相邻的方式存在或在基板的后行端存在的所述基板的第一部分的步骤；
(b)移动所述第一夹具模块，使以与所述基板的先行端相邻的方式存在或在基板的先行端存在的所述基板的第二部分通过所述基板检测区域的步骤；
(c)通过所述第二夹具模块把持已通过所述基板检测区域的所述第二部分，所述第一夹具模块解除所述第一部分的步骤；以及
(d)移动所述第二夹具模块，使所述第一部分通过所述基板检测区域的步骤。
可以是，在所述(c)步骤中，所述第一夹具模块解除所述第一部分的动作和所述第二夹具模块把持所述第二部分的动作同时进行。
可以是，在所述(c)步骤中，所述第一夹具模块解除所述第一部分的动作和所述第二夹具模块把持所述第二部分的动作，在所述第一夹具模块和所述第二夹具模块以相同的速度进行移动时执行。
作为另一例，可以是，在所述(c)步骤中，所述第一夹具模块解除所述第一部分的动作和所述第二夹具模块把持所述第二部分的动作，在所述第一夹具模块和所述第二夹具模块以等速进行移动时执行。
根据本实用新型实施例所述的基板检测方法，其可以还包括：在所述第二部分通过所述基板检测区域之前，加速所述第二夹具模块的步骤。
另外，可以是，根据本实用新型实施例所述的基板检测装置，其中，所述基板检测装置包括：基板检测单元，配置在基板检测区域内，检测基板的表面；第一夹具模块，以所述基板检测区域为基准，位于所述基板的移送方向的上游侧；以及第二夹具模块，以所述基板检测区域为基准，位于所述基板的移送方向的下游侧，所述第一夹具模块在把持以与所述基板的后行端相邻的方式存在或在基板的后行端存在的所述基板的第一部分的状态下进行移动，使以与所述基板的先行端相邻的方式存在或在基板的后行端存在的所述基板的第二部分通过所述基板检测区域，所述第二部分通过所述基板检测区域后，解除所述第一部分；在所述第一夹具模块解除所述第一部分之前或同时，所述第二夹具模块把持已通过所述基板检测区域的所述第二部分的状态下进行移动，使得所述第一部分通过所述基板检测区域。
可以是，所述第一夹具模块解除所述第一部分的动作和所述第二夹具模块把持所述第二部分的动作，在所述第一夹具模块和所述第二夹具模块以相同的速度进行移动时执行。
作为另一例，可以是，所述第一夹具模块解除所述第一部分的动作和所述第二夹具模块把持所述第二部分的动作，在所述第一夹具模块和所述第二夹具模块以等速进行移动时执行。
可以是，在所述第二部分通过所述基板检测区域之前，所述第二夹具模块进行加速。
可以是，所述基板检测单元包括对所述基板的下表面进行检测的下表面检测模块，以及对所述基板的上表面进行检测的上表面检测模块；可以是，所述下表面检测模块和所述上表面检测模块在所述基板的移送方向上相互间隔开。
可以是，在所述下表面检测模块和所述上表面检测模块之间设置有支撑所述基板的中间装载台。
可以是，所述下表面检测模块或所述上表面检测模块包括：向所述基板的下表面或上表面照射光的光源；以及拍摄所述基板的下表面或上表面的摄像头，所述摄像头构成为可以调节朝向所述基板的角度。
实用新型效果
根据本实用新型实施例所提供的基板检测装置和基板检测方法，设置在基板的移送方向的上游侧的第一夹具模块把持基板的第一部分的状态下进行移动，使得基板的第二部分通过基板检测区域，在第二部分通过基板检测区域后，解除第一部分，在第一夹具模块解除第一部分之前或同时，设置在基板的移送方向的下游侧的第二夹具模块把持已经通过检测区域的第二部分的状态下进行移动，使得第一部分通过基板检测区域。因此，在基板通过基板检测区域的过程中，基板的上表面及下表面整体均不会被第一夹具模块或者第二夹具模块所遮挡，向着上方和下方露出。因此，包括基板的边缘部的上表面和下表面的整体均可以一次性地通过基板检测单元进行检测，由此可以减少检测基板的工序数，缩短检测基板所需要的时间。
附图说明
图1为概略地图示本实用新型实施例所示的基板检测装置的侧面图。
图2为概略地图示本实用新型实施例所示的基板检测装置的平面图。
图3为概略地图示本实用新型实施例所示的基板检测装置的第一移送单元或第二移送单元的示意图。
图4为显示本实用新型实施例所示的基板检测装置所具有的第一夹具模块及第二夹具模块的速度变化随着时间变化的图表。
图5至图8为依次表示使用本实用新型实施例所示的基板检测装置来检测基板的过程的图。
附图标记说明
10：基板检测单元
21：第一装载台
22：第二装载台
23：中间装载台
40：基板搬送单元
70：第一移送单元
71：第一夹具模块
80：第二移送单元
81：第二夹具模块
A：基板检测区域
具体实施方式
以下参照附图，说明本实用新型实施例所示的基板检测装置及基板检测方法。
参照图1和图2，在检测基板S的表面的过程中，将基板S向基板检测区域A移送的方向定义为Y轴方向，与基板S的移送方向(Y轴方向)相垂直的方向定义为X轴方向。垂直于放置基板S的X-Y平面的方向定义为Z轴方向。另外，Y轴方向为基板S的长度方向，X轴方向为基板S的宽度方向。此外，以基板S的长度方向(Y轴方向)的中央为基准，以与基板S的后行端相邻的方式存在或在基板S的后行端存在的区域定义为第一部分S1，以与基板S的后行端相反的基板S的前行端相邻的方式存在或在基板S的后行端存在的区域定义为第二部分S2。
如图1和图2所示，本实用新型实施例所述的基板检测装置包括：基板检测单元10，其配置在所述基板检测区域A内来检测基板S的表面；第一装载台21，以基板检测区域A为中心，配置在基板S的移送方向的上游侧，从外部装载的基板S位于第一装载台21；第二装载台22，以基板检测区域A为中心，配置在基板S的移送方向的下游侧，通过基板检测区域A的基板S位于第二装载台22；第一移送单元70，其将基板S从第一装载台21移送至基板检测单元10；以及第二移送单元80，其将基板S从基板检测单元10移送至第二装载台22。
例如，通过基板检测单元10检测的项目是检测是否存在形成在基板S的表面的划痕或斑痕等表面缺陷。另外，基板检测单元10也可以构成为测定这种表面缺陷的形状、深度、大小、宽度、幅度等。
基板检测单元10包括检测基板S的下表面的下表面检测模块11和检测基板S的上表面的上表面检测模块12。
下表面检测模块11可以配置在所述基板检测区域A的上游侧，上表面检测模块12可以配置在基板检测区域A的下游侧。因此，当基板S通过基板检测区域A时，通过下表面检测模块11首先检测基板的下表面，然后，通过上表面检测模块12检测基板S的上表面。但是，本实用新型并不限定于上述构成，下表面检测模块11配置在基板检测区域A的下游侧、上表面检测模块12配置在基板检测区域A的上游侧的构成也能够适用于本实用新型。另外，仅具备下表面检测模块11和上表面检测模块12中的某一个的构成也适用于本实用新型。
例如，下表面检测模块11可以在X轴方向上以预定间距配置有多个。因此，多个下表面检测模块11可以一次性地拍摄基板S的下表面的X轴方向上的全部区域，因此可以缩短检测基板S的下表面所需的时间。
同样的，上表面检测模块12可以在X轴方向上以预定间距配置有多个。由此，多个上表面检测模块12可以一次性地拍摄基板S的上表面的X轴方向上的全部区域，因此可以缩短检测基板S的上表面所需的时间。
但是，下表面检测模块11和上表面检测模块12的个数以及间距可以根据下表面检测模块11和上表面检测模块12的检测能力(分辨率、解像度、像素个数等)及基板S的宽度和/或所要检测的表面缺陷的种类等而有所不同。
多个下表面检测模块11可以在X轴方向上配置为一列，多个上表面检测模块12可以在X轴方向上配置为一列。但是本实用新型并不限于上述构成，在基板检测区域A的上游侧和/或下游侧，一个以上的下表面检测模块11和一个以上的上表面检测模块12交替地配置成一列的构成也适用于本实用新型。
一方面，下表面检测模块11和上表面检测模块12不在上下方向(Z轴方向)配置成一列。在本实用新型实施例所述的基板检测装置中，下表面检测模块11和上表面检测模块12在Y轴方向上相互间隔配置。因此，特别是在基板S为透明基板的情况下，可以防止下表面检测模块11所拍摄的图像中包括上表面检测模块12的图像，同样，可以防止上表面检测模块12所拍摄的图像中包括下表面检测模块的图像。即，下表面检测模块11和上表面检测模块12在Y轴方向上相互间隔配置，在获取基板S的图像来检测基板S的表面缺陷时，可以防止下表面检测模块11与上表面检测模块12相互干涉。
在下表面检测模块11与上表面检测模块12在Y轴方向上相互间隔配置的构成中，在下表面检测模块11与上表面检测模块12之间，可以设置有支撑基板S的中间装载台23。在基板S通过配置有下表面检测模块11和上表面检测模块12的基板检测区域A的过程中，中间装载台23支撑基板S，由此可以防止在下表面检测模块11和上表面检测模块12之间基板S下垂。
中间装载台23可以由气动工作台(air-table)构成，在气动工作台包括与空气供给源(图中未示出)相连通的多个空气喷出孔。因此，当基板S在中间装载台23上移送时，基板S可以从中间装载台23的上表面漂浮。但是，本实用新型并不限定于中间装载台23由气动工作台构成的结构。中间装载台23由传送带构成的结构，也适用于本实用新型。
下表面检测模块11包括光源111和摄像头112，其中，光源111向基板S的下表面照射光，摄像头112拍摄基板S的下表面。
例如，光源111可以构成为发射直线形态的线形光。但本实用新型并不限定从光源111发射的光线的形态，光源111可以发射多种形态的光线。光线的形态可以根据所要检测的表面缺陷的种类不同而不同。例如，多个下表面检测模块11分别所具备的多个光源111可以发射相互不同形态的光线。
一方面，根据摄像头112朝向基板S的下表面的角度不同，摄像头112所拍摄的表面缺陷的鲜明度、明暗等画面特性会不同。因此，为了能够检测出多种表面缺陷，摄像头112可以构成为能够调节与基板S的角度。为此，下表面检测模块11包括与摄像头112连接并以与X轴或Y轴平行的中心轴(或水平轴)为中心旋转摄像头112的摄像头旋转马达113。摄像头112通过摄像头旋转马达113进行旋转，来调整摄像头112朝向基板S的下表面的角度，由此，可以检测出多种表面缺陷。旋转摄像头112来调整摄像头112朝向基板S的下表面的角度的情况，相比于以不同的角度固定的更多的摄像头112朝向基板S的下表面进行配置的情况，可以减少摄像头112的个数，由此可以减少制造基板检测装置所需的费用。
同样的，上表面检测模块12包括朝基板S的上表面照射光的光源121和拍摄基板S的上表面的摄像头122。
例如，光源121可以构成为发射直线形态的线形光，但本实用新型并不限定光源121所发射的光线的形态。光源121可以构成为发射多种形态的光线的构成。光线的形态可以根据所要检测的表面缺陷的种类不同而不同。例如，多个上表面检测模块12分别具备的多个光源121可以发射相互不同形态的光线。
还有为了检测多种表面缺陷，摄像头122可以构成为能够调节相对于基板S的角度。为此，上表面检测模块12包括与摄像头122连接并以与X轴或Y轴平行的中心轴(或水平轴)为中心旋转摄像头122的摄像头旋转马达123。摄像头122通过摄像头旋转马达123旋转来调整摄像头122朝向基板S的上表面的角度，由此可以检测多种表面缺陷。旋转摄像头122来调整摄像头122朝向基板S的上表面的角度的情况，相比于以不同的角度固定的更多的摄像头122朝向基板S的上表面进行配置的情况，可以减少摄像头122的个数，由此可以减少制造基板检测装置所需的费用。
第一装载台21及第二装载台22可以由包括与空气供给源(图中未示出)相连通的多个空气喷出孔的气动工作台构成。因此，基板S位于第一装载台21及第二装载台22的上部进行移送时，基板S可以从第一装载台21和第二装载台22的上方漂浮。但是本实用新型并不限定于第一装载台21和第二装载台22由气动工作台构成的结构，第一装载台21和第二装载台22由传送带构成的结构也适用于本实用新型。
本实用新型实施例所述的基板检测查单元包括基板搬送单元40，基板搬送单元40将成为检测对象的基板S搬入到第一装载台21。
基板搬送单元40包括拾取模块41、支撑框架42、移送模块43和升降模块44，其中，拾取模块41用于维持并移送基板S，支撑框架42在Y轴方向上延长且以拾取模块41能够在Y轴方向上移动的方式支撑拾取模块41，移送模块43能够使拾取模块41沿着支撑框架42向Y轴方向移动，升降模块44能够使拾取模块41向Z轴方向移动。
作为移送模块43及升降模块44，可以使用如通过气压或油压运行的致动器、在电磁相互作用下运行的直线电机或者滚珠螺杆机构等直线移动机构。拾取模块41可以包括通过真空管与真空源(图中未示出)相连接的多个吸附垫413。
如图2和图3所示，第一移送单元70起到把持基板S的第一部分S1并将基板S向Y轴方向移送的作用。第一移送单元70包括把持基板S的X轴方向的两端(边缘部)的一对第一夹具模块71，以及以向Y轴方向延长的方式设置的一对导轨72。第一夹具模块71可以沿着导轨72向Y轴方向移送。
一方面，在本实用新型实施例所述的基板检测装置中，一对第一夹具模块71把持基板S在X轴方向的两端。但是，本实用新型并不限定于此，一个第一夹具模块71仅把持基板S在X轴方向的两端中的一端的结构，也适用于本实用新型。
如图3所示，第一夹具模块71包括连接块73、移动块75、一对把持部件76和驱动块77，其中，连接块73与导轨72连接，移动块75在X轴方向上可移动地设置在连接块73，一对把持部件76安装在移动块75上，并且一对把持部件76可以相互邻近或相互间隔开的方式移动，驱动块77使移动块75在X轴方向上移动。
在连接块73与导轨72之间可以设置有如使用气压或油压的致动器、在电磁相互作用下运行的直线电机或者滚珠螺杆机构等直线移动机构。因此，在把持部件76把持基板S的状态下，连接块73可以通过直线移动机构沿着导轨72向Y轴方向移动，由此，基板S能够向Y轴方向移动。
通过如使用气压或油压的致动器、在电磁相互作用下运行的直线电机或者滚珠螺杆机构等直线移动机构，一对把持部件76能够进行直线移动，能够向着相互邻近或者相互间隔开的方向移动。作为另一例，一对把持部件76也可以构成为通过旋转机构向着相互邻近或者相互间隔开的方向旋转的构成。
通过隔着基板S一对把持部件76向着相互邻近的方向移动，基板S可以被一对把持部件76所把持。
驱动块77可以由与移动块75连接的如使用气压或油压的致动器、在电磁相互作用下运行的直线电机或者滚珠螺杆机构等直线移动机构构成。
移动块75通过驱动块77向基板S侧移动，则一对把持部件76可以把持基板S。另外，把持部件76解除基板S之际，通过驱动块77，移动块75向远离基板的方向移动，一对把持部件76可以从基板S间隔开。
如图2和图3所示，第二移送单元80起到把持基板S的第二部分S2并使基板S向Y轴方向移动的作用。第二移送单元80包括把持述基板S的X轴方向的两端(边缘部)的一对第二夹具模块81，以及沿着Y轴方向延长设置的一对导轨82。第二夹具模块81可以沿着导轨82向Y轴方向移动。
一方面，在本实用新型实施例所述的基板检测装置中，一对第二夹具模块81把持基板S在X轴方向的两端。但是，本实用新型并不限定于此，一个第二夹具模块81仅把持基板S在X轴方向的两端中的一端的构成，也适用于本实用新型。
如图3所示，第二夹具模块81包括连接块83、移动块85、一对把持部件86和驱动块87，其中，连接块83与导轨82连接，移动块85以在X轴方向上可移动的方式设置在连接块83，一对把持部件86安装在移动块85，并且一对把持部件86可以相互邻近或相互间隔开的方式进行移动，驱动块87使移动块85在X轴方向进行移动。
连接块83与导轨82之间可以设置有如使用气压或油压的致动器、在电磁相互作用下运行的直线电机或者滚珠螺杆机构等直线移动机构。因此，在把持部件86把持基板S的状态下，连接块83可以通过直线移动机构沿着导轨82向Y轴方向进行移动，由此基板S可以在Y轴方向上进行移动。
通过如使用气压或油压的致动器、在电磁相互作用下运行的直线电机或者滚珠螺杆机构等直线移动机构，一对把持部件86能够实现直线移动，一对把持部件86可以向着相互相邻或者相互间隔开的方向移动。作为另一例，一对把持部件86也可以通过旋转机构向着相互相邻或者相互间隔开的方向旋转。
通过一对把持部件86隔着基板S向着相互邻近的方式移动，基板S被一对把持部件86所把持。
驱动块87可以构成为与移动块85连接的如使用气压或油压的致动器、在电磁相互作用下运行的直线电机或者滚珠螺杆机构等直线移动机构。
移动块85通过驱动块87向基板S侧移动，则一对把持部件86可以把持基板S。另外，把持部件86解除基板S的情况，通过驱动块87，移动块85向远离基板的方向移动，一对把持部件86从基板S间隔开。
一方面，第一夹具模块71以基板检测区域A为中心设置在基板S的移送方向的上游侧，第二夹具模块81以基板检测区域A为中心设置在基板S的移送方向的下游侧。
第一夹具模块71把持以与基板S的后行端相邻的方式存在或在基板S的后行端存在的基板S的第一部分S1并向Y轴方向移动，因此，基板S可以从第一装载台21向基板检测单元10移动。从而，以与基板S的先行端相邻的方式存在或在基板S的后行端存在的基板S的第二部分可以通过基板检测区域A。
第二夹具模块81把持通过了基板检测区域A的第二部分S2并向Y轴方向移动，因此，基板S可以从基板检测单元10向第二装载台22移动。由此，第一部分S1可以通过基板检测区域A。
在这里，在通过第一夹具模块71把持第一部分S1并进行移动，来使第二部分S2通过基板检测区域A的过程中，第二夹具模块81并不把持第二部分S2。即，第二夹具模块81的把持部件86通过驱动块87保持与基板S间隔开的状态。
因此，在第二部分S2通过基板检测区域A的过程中，相当于第二部分S2的基板S的上表面及下表面的整体不会被第二夹具模块81所遮挡，分别向上方及下方露出。因此，相当于第二部分S2的基板S的上表面和下表面的整体可以通过基板检测单元10被检测。
还有，在通过第二夹具模块81把持第二部分S2并进行移动，来使第一部分S1通过基板检测区域A的过程中，第一夹具模块71并不把持第一部分S1。这时，第一夹具模块71的把持部件76通过驱动块77保持与基板S间隔开的状态。
因此，在第一部分S1通过基板检测区域A的过程中，相当于第一部分S1的基板S的上表面及下表面的整体不会被第一夹具模块71所遮挡，分别向上方及下方露出。因此，相当于第一部分S1的基板S的上表面和下表面整体可以通过基板检测单元10进行检测。
以下，参考图4至图8详细说明使用了本实用新型实施例所述的基板检测装置的基板检测方法。
图4为第一夹具模块71及第二夹具模块81的速度变化随时间变化的图。
首先，在第一装载台21和第二装载台22的空气喷出孔喷出空气的状态下，基板S通过基板搬送单元40被搬入到第一装载台21。并且，如图4和图5所示，在第1时点t1，第一夹具模块71把持基板S的第一部分S1。
然后，在第1时点t1和第2时点t2之间的区间，随着第一夹具模块71朝向基板检测单元10加速，基板S开始移动。这时，第二夹具模块81可以提前位于等待位置。
再次，在第2时点t2上，第一夹具模块71开始以等速进行移动。并且，如图4和图6所示，在第3时点t3，第二部分S2进入基板检测区域A。然后，在第3时点t3和第4时点t4之间，基板S通过第一夹具模块71以等速进行移动的同时，相当于第二部分S2的基板S的上表面和下表面整体被基板检测单元10检测。
这时，在第4时点t4之前，第二夹具模块81可以提前加速，在第4时点t4，第二夹具模块81可以与第一夹具模块71同样的速度进行等速移动。
然后，如图4及图7所示，在第5时点t5，在第一夹具模块71解除第一部分S1的同时，第二夹具模块81把持通过了基板检测区域A的第二部分S2。此时，第一夹具模块71解除第一部分S1的同时，第二夹具模块81并不把持第二部分S2，也可以在第二夹具模块81把持第二部分S2之后，第一夹具模块71立刻解除第一部分S1。第一夹具模块71和第二夹具模块81以同样的速度等速移动的同时进行第一夹具模块71解除第一部分S1的动作及第二夹具模块81把持第二部分S2的动作。因此，基板S不会停止或者基板S的速度不会降低，基板S可以等速通过基板检测区域A，因此可以快速执行检测基板S的工序。还有，因为基板S可以等速通过基板检测区域A，通过基板检测单元10获得的基板S的表面的图像均匀，从而可以更加正确以及精密地检测基板S的表面。
然后，在第5时点t5之后，第一夹具模块71减速并停止后，回归到初始的等待位置。
如图4和图8所示，在第5时点t5和第6时点t6之间，在基板S被第二夹具模块81所把持的状态下，向第二装载台22继续等速移动，因此第一部分S1可以通过基板检测区域A。由此，相当于第一部分S1的基板S的上表面和下表面的整体可以被基板检测单元10检测。
在基板S的上表面和下表面整体通过基板检测区域A后(第6时点t6以后)，第二夹具模块81减速并停止，并且在第7时点t7，第二夹具模块81解除第二部分S2。
然后，检测完毕的基板S通过基板搬送单元40从第二装载台22搬出到后续工序。此时，第二夹具模块81回归到起初的等待状态。
根据本实用新型实施例所述的基板检测装置及基板检测方法，以基板检测区域A为基准，在上游侧设置第一夹具模块71，以基板检测区域A为基准，在下游侧设置第二夹具模块81，第一夹具模块71在把持以与基板S的后行端相邻的方式存在或在基板S的后行端存在的基板S的第一部分S1的状态下进行移动，使以与基板S的先行端相邻的方式存在或在基板S的后行端存在的基板S的第二部分S2通过基板检测区域A，第二部分S2通过基板检测区域A后，解除第一部分S1，在第一夹具模块71解除第一部分S1之前或解除的同时，第二夹具模块81把持已经通过基板检测区域A的第二部分S2的状态下进行移动，使第一部分S1通过基板检测区域A。因此，在基板S通过基板检测区域A的过程中，基板S的上表面和下表面的整体都不会被第一夹具模块71和第二夹具模块81所遮挡，向基板S的上方和下方露出。从而，包含基板S的边缘部的上表面和下表面的整体可以一次性地被基板检测单元10检测。因此，可以减少检测基板的工序数，可以减少检测基板所需的时间。
示例性地说明了本实用新型的优选实施例，但是本实用新型的范围不限定于这种特定实施例，可以在权利要求书记载的范围内进行适当地变更。

Claims (7)

1.一种基板检测装置，其中，所述基板检测装置包括：
基板检测单元，配置在基板检测区域内，检测基板的表面；
第一夹具模块，以所述基板检测区域为基准，位于所述基板的移送方向的上游侧；以及
第二夹具模块，以所述基板检测区域为基准，位于所述基板的移送方向的下游侧，
所述第一夹具模块在把持以与所述基板的后行端相邻的方式存在或在基板的后行端存在的所述基板的第一部分的状态下进行移动，使以与所述基板的先行端相邻的方式存在或在基板的后行端存在的所述基板的第二部分通过所述基板检测区域，所述第二部分通过所述基板检测区域后，解除所述第一部分；
在所述第一夹具模块解除所述第一部分之前或同时，所述第二夹具模块把持已通过所述基板检测区域的所述第二部分的状态下进行移动，使得所述第一部分通过所述基板检测区域。
2.根据权利要求1所述的基板检测装置，其中，
所述第一夹具模块解除所述第一部分的动作和所述第二夹具模块把持所述第二部分的动作，在所述第一夹具模块和所述第二夹具模块以相同的速度进行移动时执行。
3.根据权利要求1所述的基板检测装置，其中，
所述第一夹具模块解除所述第一部分的动作和所述第二夹具模块把持所述第二部分的动作，在所述第一夹具模块和所述第二夹具模块以等速进行移动时执行。
4.根据权利要求2或3所述的基板检测装置，其中，
在所述第二部分通过所述基板检测区域之前，所述第二夹具模块进行加速。
5.根据权利要求1所述的基板检测装置，其中，
所述基板检测单元包括对所述基板的下表面进行检测的下表面检测模块，以及对所述基板的上表面进行检测的上表面检测模块；
所述下表面检测模块和所述上表面检测模块在所述基板的移送方向上相互间隔开。
6.根据权利要求5所述的基板检测装置，其中，
在所述下表面检测模块和所述上表面检测模块之间设置有支撑所述基板的中间装载台。
7.根据权利要求5所述的基板检测装置，其中，
所述下表面检测模块或所述上表面检测模块包括：
向所述基板的下表面或上表面照射光的光源；以及
拍摄所述基板的下表面或上表面的摄像头，
所述摄像头构成为可以调节朝向所述基板的角度。
CN201921615984.9U 2018-11-26 2019-09-26 基板检测装置 Active CN211374551U (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020180147079A KR102215123B1 (ko) 2018-11-26 2018-11-26 기판 검사 장치 및 기판 검사 방법
KR10-2018-0147079 2018-11-26

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN211374551U true CN211374551U (zh) 2020-08-28

Family

ID=70827489

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201910912273.6A Active CN111220623B (zh) 2018-11-26 2019-09-25 基板检测装置及基板检测方法
CN201921615984.9U Active CN211374551U (zh) 2018-11-26 2019-09-26 基板检测装置

Family Applications Before (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201910912273.6A Active CN111220623B (zh) 2018-11-26 2019-09-25 基板检测装置及基板检测方法

Country Status (2)

Country Link
KR (1) KR102215123B1 (zh)
CN (2) CN111220623B (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114280067A (zh) * 2021-12-28 2022-04-05 信利(仁寿)高端显示科技有限公司 一种识别mask破片及裂纹的检测装置及检测方法

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI231964B (en) * 2003-03-10 2005-05-01 Phicom Corp LCD panel auto gripping apparatus and method for use in a panel carrier for an automatic probe unit
JP4626976B2 (ja) * 2005-01-14 2011-02-09 株式会社日立ハイテクノロジーズ 基板検査装置及び基板検査方法
JP5092627B2 (ja) 2007-08-29 2012-12-05 凸版印刷株式会社 基板搬送装置及び基板検査装置
JP5056339B2 (ja) * 2007-10-18 2012-10-24 凸版印刷株式会社 基板搬送装置用基板把持機構
JP4495752B2 (ja) * 2007-11-06 2010-07-07 東京エレクトロン株式会社 基板処理装置及び塗布装置
JP2009133718A (ja) * 2007-11-30 2009-06-18 Konica Minolta Holdings Inc 欠陥検出方法、欠陥検出装置
WO2011074806A2 (ko) * 2009-12-18 2011-06-23 주식회사 이테크넷 기판 검사 장치 및 이를 이용한 기판 검사 방법
JPWO2012153718A1 (ja) * 2011-05-12 2014-07-31 コニカミノルタ株式会社 ガラスシートの端面検査方法、及びガラスシートの端面検査装置
JP3195722U (ja) * 2013-11-19 2015-01-29 オーボテック リミテッド フラット基板検査システム
JP2015105832A (ja) * 2013-11-28 2015-06-08 住友化学株式会社 光学部材貼合パネルの搬送検査装置及び搬送検査方法
KR101776190B1 (ko) * 2014-09-19 2017-09-08 삼성디스플레이 주식회사 스틱 검사 장치 및 스틱 검사 방법
KR20180001117A (ko) * 2016-06-27 2018-01-04 주식회사 케이씨텍 기판 처리 장치
CN108519390B (zh) * 2018-04-09 2021-02-02 芜湖立普德机械科技有限公司 一种玻璃基板检测装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114280067A (zh) * 2021-12-28 2022-04-05 信利(仁寿)高端显示科技有限公司 一种识别mask破片及裂纹的检测装置及检测方法
CN114280067B (zh) * 2021-12-28 2024-05-28 信利(仁寿)高端显示科技有限公司 一种识别mask破片及裂纹的检测装置及检测方法

Also Published As

Publication number Publication date
KR102215123B1 (ko) 2021-02-16
KR20200062417A (ko) 2020-06-04
CN111220623B (zh) 2023-05-12
CN111220623A (zh) 2020-06-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2619742B2 (ja) プレート状の基板を搬送する方法および装置
JP4866782B2 (ja) 基板クランプ機構及び描画システム
TWI333544B (en) Substrate inspection apparatus
KR20140066551A (ko) 릴-투-릴 검사장치 및 릴-투-릴 검사방법
KR101032089B1 (ko) 기판검사장치
KR100804033B1 (ko) 광학 필름 검사장치
JP2006329714A (ja) レンズ検査装置
KR200341202Y1 (ko) 산업용 인쇄회로기판 자동검사 시스템
CN211374551U (zh) 基板检测装置
CN217237794U (zh) 一种多方位外观检测装置
KR20140101066A (ko) 패널의 자동 압흔 검사장치
JP4832244B2 (ja) プリント基板上への所定作業方法及び所定作業装置
KR101814246B1 (ko) 인라인 핸들러 및 이를 이용한 검사방법
TWI707130B (zh) 移載裝置、光學檢測設備及光學檢測方法
JP4942188B2 (ja) 基板クランプ機構及び描画システム
KR102234312B1 (ko) 진단 키트 제조용 부품 선별 장치
JP2016006382A (ja) 外観検査装置および方法
KR100582695B1 (ko) 기판의 위치 결정 방법 및 이 방법을 이용한 검사 장치
JP2005017386A (ja) 平板状ワークの検査、修正装置
KR102147128B1 (ko) 기판 검사 장치
CN210128944U (zh) 基板表面检测装置
JP2012182273A (ja) ガラス基板インライン検査方法及びその装置
JP5031675B2 (ja) 基板搬送装置及び電子部品装着装置
KR20150017222A (ko) 개량된 이송구조를 갖는 패널의 외관 검사시스템
KR20150017231A (ko) 정밀 스캔구조를 갖는 패널의 외관 검사시스템

Legal Events

Date Code Title Description
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant