JP2005017386A

JP2005017386A - 平板状ワークの検査、修正装置

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Publication number: JP2005017386A
Application number: JP2003178453A
Authority: JP
Inventors: Yoshinori Kato; 芳紀加藤; Manabu Mochizuki; 望月　　学; Koichi Kajiyama; 康一梶山; Shigeto Sugimoto; 重人杉本
Original assignee: SUNTECH KK; V Technology Co Ltd
Current assignee: SUNTECH KK; V Technology Co Ltd
Priority date: 2003-06-23
Filing date: 2003-06-23
Publication date: 2005-01-20

Abstract

【課題】設備の構造が簡単であり、その所要設置面積を小さくすることができ、かつ検査、修正作業におけるタクトタイムを短縮する。
【解決手段】検査テーブル７上の平板状ワークＷをＹ軸方向ｙに移動させ、その欠陥を検出カメラで検出する欠陥検査装置２と、修正テーブル上の欠陥部を有する平板状ワークＷを、加工ヘッドをＸ軸方向とＹ軸方向ｙに移動させて、平板状ワークＷの欠陥部を修正加工する欠陥修正装置３とを備え、欠陥修正装置３を欠陥検査装置２の上方に配置すると共に、欠陥検査装置２の検査テーブル７から検査済みの平板状ワークＷを搬出して、欠陥部を有する平板状ワークＷを欠陥修正装置３の修正テーブルに搬入し、修正加工された平板状ワークＷを修正テーブルから搬出する搬送装置４を、欠陥検査装置２に対する平板状ワークＷの搬送方向イの下流側に配置した構成とされている。
【選択図】図１

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、カラー液晶表示装置に使用するカラーフィルター基板等の平板状ワークを検査し、その検査によって検出された欠陥部を修正するための平板状ワークの検査、修正装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
カラー液晶表示装置に使用するカラーフィルター基板の欠陥検査装置として、定盤上にころ搬送部を設置し、該ころ搬送部に搬入、載置されたカラーフィルター基板を、Ｙ軸テーブル（Ｙ軸移動機構）に位置決め、把持してＹ軸方向へ移動させながら、前記定盤に固定した支持部材を介して前記ころ搬送部の上方に配置された検出カメラにより、カラーフィルター基板の欠陥部の検査を行うようにしたものが知られている（例えば、特許文献１参照）。また、前記のような欠陥検査装置によって検出されたカラーフィルター基板の表面に付着した金属粉等の異物（欠陥部）を除去する異物修正装置（欠陥修正装置）として、ベース台（定盤）上にカラーフィルター基板を固定し、前記ベース台に設置された案内レールによってＹ軸方向に移動する門型のステージに、Ｘ軸方向に移動する研磨ヘッドを支持し、前記ステージをＹ軸方向に、研磨ヘッドをＸ軸方向に移動させることにより、該研磨ヘッドをカラーフィルター基板の異物の位置まで移動させ、研磨ヘッドに設けた研磨テープで前記異物を除去する修正を行うようにしたものが知られている（例えば、特許文献２参照）。
従来、前記欠陥検査装置と欠陥修正装置を工場に設備する場合、カラーフィルター基板の搬送方向をＹ軸方向に沿った直線状ラインに一致させて、その上流側に前記欠陥検査装置を位置させ、下流側に前記欠陥修正装置を位置させて直列に配し、かつ、前記欠陥検査装置のころ搬送部の上面と前記欠陥修正装置のベース台の上面を略同一水平面になるように設置している。
【０００３】
【特許文献１】
特開２０００−９６６１号公報
【特許文献２】
特開平９−３０９０５７号公報
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前記のように欠陥検査装置と欠陥修正装置の両者のカラーフィルター基板の搬送面を平面的に略同一にして直列に接続した設備では、その設備の所要設置面積が大きくなる問題がある。近年、カラーフィルター基板が大型化されてきており、それに伴って前記各装置も大型化され、上記問題が一層顕著になっている。また、前記欠陥検査装置による検査作業時間と前記欠陥修正装置による修正作業時間とは同一ではなく、特に、欠陥検査装置によって先に検査されたカラーフィルター基板に欠陥部が多く検出された場合には、その欠陥を欠陥修正装置で修正するのに多くの時間がかかり、次のカラーフィルター基板の欠陥検査装置による検査が終了しても、該検査済みのカラーフィルター基板を欠陥修正装置に送り出すことができず、欠陥検査装置での時間待ちが生じて検査、修正作業におけるタクトタイムが長くなる問題がある。前記時間待ちを無くすために、検査済みのカラーフィルター基板を蓄積するバッファ装置を設けたり、前記欠陥修正装置を迂回させるパスラインを設備することもできるが、この場合には設備の所要設置面積が一層大きくなると共に、その設備が複雑となって設備費が増す問題がある。
【０００５】
本発明は、前記事情に鑑みてなされたもので、設備の構造が簡単であり、その所要設置面積を小さくすることができ、かつ検査、修正作業におけるタクトタイムを短縮することができる平板状ワークの検査、修正装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明は、前記課題を解決するために、以下の点を特徴としている。
すなわち、請求項１に係る平板状ワークの検査、修正装置は、検査テーブルに載置された平板状ワークとその上方に配置された検出カメラとを相対的にＹ軸方向に移動させて、前記平板状ワークの欠陥を前記検出カメラで検出する欠陥検査装置と、修正テーブルに載置された欠陥部を有する平板状ワークとその上方に配置された修正ヘッドとを相対的にＸ軸方向とＹ軸方向に移動させて、平板状ワークの欠陥部を前記修正ヘッドで修正する欠陥修正装置とを備え、かつ欠陥検査装置と欠陥修正装置のうちの一方を他方の上方に配置すると共に、前記欠陥検査装置の検査テーブルから検査済みの平板状ワークを搬出して、欠陥部を有する平板状ワークを前記欠陥修正装置の修正テーブルに搬入し、修正された平板状ワークを前記修正テーブルから搬出する搬送装置を、前記欠陥検査装置に対する平板状ワークの搬送方向の下流側に配置したことを特徴としている。
【０００７】
この平板状ワークの検査、修正装置では、前記欠陥検査装置において検出カメラにより平板状ワークの欠陥の有無が検査され、欠陥が検出された平板状ワークは前記搬送装置によって欠陥修正装置に搬入されてその修正ヘッドにより修正される。欠陥修正装置で欠陥部を有する平板状ワークが修正されている間、欠陥検査装置で検査が継続的に行われ、欠陥部の無い平板状ワークは前記欠陥修正装置を経ることなく搬送装置によって次工程に搬送されるので、平板状ワークの検査、修正作業が円滑に、かつ能率的に行われる。
【０００８】
また、請求項２に係る平板状ワークの検査、修正装置は、請求項１に記載の検査、修正装置において、前記欠陥修正装置を前記欠陥検査装置の上方に配置したことを特徴としている。
【０００９】
また、請求項３に係る平板状ワークの検査、修正装置は、請求項１または２に記載の検査、修正装置において、前記欠陥検査装置と前記欠陥修正装置とをそれらのＹ軸方向が前記平板状ワークの搬送方向に沿うように配置したことを特徴としている。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施の形態に係る平板状ワークの検査、修正装置について図１〜図３を参照して説明する。
図１〜図３において、１は本発明の一実施の形態に係る平板状ワークの検査、修正装置である。該検査、修正装置１は、カラー液晶表示装置に使用するカラーフィルター基板等の平板状ワークＷの欠陥を検出する欠陥検査装置２と、該欠陥検査装置２で検出された平板状ワークＷの欠陥部を修正する欠陥修正装置３と、前記欠陥検査装置２から検査済みの平板状ワークＷを搬出して、欠陥部を有する平板状ワークＷを前記欠陥修正装置３に搬入し、修正加工された平板状ワークＷを前記欠陥修正装置３から搬出する搬送装置４とを備えている。
そして、前記欠陥修正装置３は前記欠陥検査装置２の上方に配置され、前記搬送装置４は前記欠陥検査装置２に対する平板状ワークＷの搬送方向イの下流側に配置されている。
【００１１】
前記欠陥検査装置２は、脚部５ａによって床面Ｆに水平に設置されたＹ軸方向ｙに長い定盤５を備えており、該定盤５上には、Ｙ軸方向ｙに沿った平板状ワークＷの搬送方向イの上流側に搬入テーブル６が、下流側に検査テーブル７がそれぞれ配置されている。前記搬入テーブル６と検査テーブル７は、それぞれ前記定盤５に固定された矩形状の枠部材に、複数のローラ８ａをＹ軸方向ｙに直角なＸ軸方向ｘに所定間隔をあけて回転自在に支持してなる案内ローラ群８を、Ｙ軸方向に所定間隔をあけて複数群配置して構成され、各ローラ８ａの頂部（上面）が同一の水平面上に位置されており、各ローラ８ａの上面に前記平板状ワークＷが載置されてＹ軸方向ｙに案内移送されるようになっている。なお、前記各ローラ群８をそれぞれＸ軸方向ｘに連続した一本のローラに代えてもよい。
【００１２】
また、前記搬入テーブル６と検査テーブル７の両側（図２で上下側、図３で左右側）には、平板状ワークＷをＹ軸方向ｙに移動させるワーク移動機構９，９が設けられている。該ワーク移動機構９，９は、前記平板状ワークＷの４のＸ，Ｙ軸方向の位置決めをして、その４隅部を把持するための位置決めクランパー１０，１０を有するＹ軸方向ｙに延長された一対のシャトル部材１１，１１と、該シャトル部材１１，１１をＹ軸方向ｙに移動させるリニアモータ（Ｙ軸駆動手段）１２，１２とを備えている。該リニアモータ１２，１２は、前記シャトル部材１１，１１の下に固定した支持部材１３，１３に設けたリニアモータコイル１２ａ，１２ａと、前記定盤５上に固定されＹ軸方向に延長されたリニアモータマグネット１２ｂ，１２ｂとからなり、該リニアモータマグネット１２ｂ，１２ｂは前記支持部材１３，１３のＹ軸方向の移動を案内する案内レールを兼ねている。
【００１３】
前記リニアモータ１２に代えて、前記定盤５上に水平方向に間隔をあけて配置した一対のプーリに無端状のベルトを巻き掛けて、該ベルトの水平移動部分に前記支持部材１３を連結し、一方のプーリをモータで回転させて前記ベルトの移動で前記支持部材１３をＹ軸方向に移動させるようにしてもよい。また、前記定盤５にＹ軸方向に沿ってボールねじを配置し、該ボールねじに螺合させたボールナットを前記支持部材１３に固定し、前記ボールねじをモータで回転させることにより、前記支持部材１３をＹ軸方向に移動させるようにしてもよい。
前記検査テーブル７の内側には、水平状の平板からなる取付板１４ａに複数のピン１４ｂをＸ軸方向ｘとＹ軸方向ｙに間隔をあけて垂直に固定して設けてなる押上部材１４が設けられ、該押上部材１４は、前記取付板１４ａがシリンダ等（図示せず）により上昇されると、検査テーブル６のローラ８ａ上の平板状ワークＷを、前記ピン１４ｂを介して上方に押し上げるようになっている。
【００１４】
また、前記定盤５には、そのＹ軸方向ｙの中央における前記ワーク移動機構９，９の外側の位置である両側端部（図２で上下端部、図３で左右端部）に立設された支柱１５，１５と、該支柱１５，１５の頂部にＸ軸方向ｘに向けて水平に固定して設けたＸ軸ビーム１６とからなる門型の支持フレーム１７が固定されている。該支持フレーム１７のＸ軸ビーム１６には、前記検査テーブル７に載置した平板状ワークＷの上方に配置されて、その上面を検査するＣＣＤカメラ（検出カメラ）１８が設けられている。該ＣＣＤカメラ１８は、その光学系の対物レンズの光軸を前記検査テーブル７上の平板状ワークＷの上面に垂直または略垂直になるようにして、前記Ｘ軸ビーム１６の前面（図１，２で左側面）に固定した支持板１６ａに複数個支持されて設けられている。
【００１５】
各ＣＣＤカメラ１８は、前記光軸の位置が平面視（図２）でＸ軸方向ｘに一直線状に整列（光軸がＸ軸方向ｘに沿う平板状ワークＷに垂直または略垂直な平面上に整列）され、それらの撮像範囲がＸ軸方向ｘに不連続とならないように、相互に近接して等間隔をあけて配置されている。また、各ＣＣＤカメラ１８は、上下調整機構によって前記支持板１６ａに対して上下に移動調節可能に支持されており、前記平板状ワークＷの上面に対する光学系の焦点位置を個々に上下に移動調節できるようになっている。なお、図示しないが、前記支持板１６ａには前記平板状ワークＷの上面を上方から照明する照明器が前記各ＣＣＤカメラ１８に対応して複数個設けられている。
なお、前記ＣＣＤカメラ５と前記照明器は、複数個設けずに、一組だけをＸ軸ビーム４ｂにＸ軸方向ｘに移動自在に支持して設けてもよく、それらをＸ軸駆動手段によって一緒にＸ軸方向ｘに移動させることにより、平板状ワークＷの上面のＸ軸方向ｘにおける全領域を撮像することができる。この場合には、高価なＣＣＤカメラ５と照明器の個数を減らして装置を安価に構成することができる。
【００１６】
前記欠陥修正装置３は、前記欠陥検査装置２の定盤５の両外側（図２で上下の外側、図３で左右の外側）においてＹ軸方向ｙに沿って床面Ｆに設置された基台１９，１９に垂直に立設された複数本（図１の例では３本）のコラム２０と、該コラム２０の上端にダンパ２１を介して固定した矩形状の定盤２２とを有し、該定盤２２は、前記欠陥検査装置２における検査テーブル７（前記定盤５の下流側部）の上方であって、前記支持フレーム１７のＸ軸ビーム１６より高い位置に水平に配置されている。そして、前記定盤２２上には平面視で矩形状をなす修正テーブル２３が上面を水平にして固定されており、該修正テーブル２３の４隅部には、修正テーブル２３上に載置された平板状ワークＷをＸ、Ｙ軸方向に位置決め、固定するための位置決めクランパー２４が設けられている。
前記修正テーブル２３には、前記取付板１４ａとピン１４ｂからなる押上部材１４が設けられている。
また、修正テーブル２３には、上面にワーク吸着保持機構（図示せず）を有する平板状のガラス板が設けられており、平板状ワークＷが当該ガラス板に吸着保持される構成とされている。この場合は、前記ガラス板には前記ピン１４ｂを通す孔が設けられる。
【００１７】
前記定盤２２には、前記修正テーブル２３を跨ぐようようにして門型の支持フレーム２５が支持されている。該支持フレーム２５は、前記修正テーブル２３のＸ軸方向ｘの両外側に位置して前記定盤２２上にリニアモータ（Ｙ軸駆動手段）２６，２６を介して支持された一対の支柱２７，２７と、該支柱２７，２７の頂部間に掛け渡して両端部を支柱２７，２７に固定してＸ軸方向ｘに水平に設けたＸ軸ビーム２８とから構成されている。そして、前記リニアモータ２６は、前記定盤２２上に固定され、そのＹ軸方向ｙの略全長に沿って延長しているリニアモータマグネット２６ａ，２６ａと、前記支柱２７，２７の下部に設けたリニアモータコイル２６ｂ，２６ｂとからなり、前記支持フレーム２５をＹ軸方向ｙに移動させるようになっている。前記リニアモータマグネット２６ａ，２６ａは前記支持フレーム２５のＹ軸方向ｙの移動を案内する案内レールを兼ねている。
【００１８】
前記支持フレーム２５のＸ軸ビーム２８にはＸ軸方向ｘに移動自在にサドル２９が支持され、該サドル２９にはＸ，Ｙ軸方向に直角なＺ軸方向ｚに高さをＺ軸駆動手段（図示せず）によって移動調節可能にされたレーザ加工ヘッド（修正ヘッド）３０が取り付けられており、該レーザ加工ヘッド３０は、前記サドル２９がＸ軸駆動手段（図示せず）により移動されると、前記修正テーブル２３に対して相対的にＸ軸方向ｘに水平移動するようになっている。また、前記レーザ加工ヘッド３０には、そのレーザビームを平板状ワークＷに照射する光学系のうちの対物レンズを共用して、顕微鏡付きのＣＣＤカメラ（位置検出カメラ）３１が設けられている。
なお、前記レーザ加工ヘッド３０の対物レンズに対向する位置には、前記修正テーブル２３に支持された平板状ワークＷを下方から照明する透過照明器（図示せず）が設けられている。
【００１９】
前記搬送装置４は、クリーンルームで使用可能な３軸円筒座標型の搬送ロボットであって、ロボット本体３２に昇降自在に支軸３３を設け、該支軸３３の上端に旋回自在に設けたヘッド３４に水平方向に伸縮自在なアーム３５を備えており、前記支軸３３の中心を、平面視（図２の図示状態）で、前記検査テーブル７（修正テーブル２３）のＸ軸方向における中心の、前記平板状ワークＷの搬送方向イにおける延長線上に略一致させて床面Ｆ上に設置されている。前記搬送ロボット３３の昇降、旋回、伸縮の３軸はＡＣサーボモータで駆動される構成とされている。なお、前記搬送装置４は、搬送用ロボットに限らず、専用の搬送機構であってもよく、前記検査テーブル７と修正テーブル２３との間と、それらと下流側の設備との間で平板状ワークＷを搬送し得るものであれば、特に構造、形式は問わない。
【００２０】
なお、図中３６は平板状ワークＷを前記欠陥検査装置２で検査する前段の工程を実施する設備、例えば、平板状ワークＷを洗浄し後に、それに付着した洗浄水を乾燥させるオーブンであり、平板状ワークＷの搬送方向イの上流側に設置されている。該オーブン３６には、平板状ワークＷを載置して搬送方向イに移動させるローラコンベア等の搬送機構３７が、その高さを前記欠陥検査装置２の搬入テーブル６の高さに一致させて設けられると共に、前記搬入テーブル６上に平板状ワークＷを送り出すプッシャー機構等（図示せず）が設けられている。
【００２１】
次に、前記一実施の形態に係る平板状ワークの検査、修正装置１の作用について説明する。
前記オーブン３６で乾燥された平板状ワークＷが、前記搬送機構３７とプッシャー機構によってオーブン３６から押し出されて、欠陥検査装置２の搬入テーブル６上に移載されると、予め搬入テーブル６側に後退移動されていた前記シャトル部材１１が、その位置決めクランパー１０，１０で平板状ワークＷをＸ，Ｙ軸方向の位置決めをした後にその４隅部を把持する。この後、前記リニアモータ１２が作動されて前記支持部材１３介してシャトル部材１１がＹ軸方向ｙの下流側（図１、図２で左方側）に前進移動すると、該シャトル部材１１に把持された平板状ワークＷが、前記検査テーブル７のローラ８ａに下面を支持されながら、前記支持フレーム１７に支持されたＣＣＤカメラ１８に対して相対的にＹ軸方向ｙに移動される。その際、前記ＣＣＤカメラ１８によって平板状ワークＷが上方から撮像されて、欠陥の有無と欠陥部が有る場合にその欠陥の位置と状態が検出され、その検出データが制御装置（図示せず）に記憶される。
【００２２】
前記シャトル部材１１によって平板状ワークＷがＹ軸方向ｙの前進移動端に達して前記ＣＣＤカメラ１８による欠陥の検出動作が終了すると、前記位置決めクランパー１０，１０による平板状ワークＷの位置決め把持状態が解除されて前記検査テーブル７の押上部材１４が上昇作動されて、そのピン１４ｂによって検査済みの平板状ワークＷが、図３で２点差線で示すように、検査テーブル７のローラ８ａの上面から所定高さだけＺ軸方向ｚへ押し上げられる。このとき、前記搬送装置４が作動を開始し、その支軸３３を縮小した状態で、アーム３５が、検査テーブル７側に向けて伸長され、押し上げられた平板状ワークＷの下面に差し込まれる。この状態で前記押上部材１４が下降されることにより、平板状ワークＷが前記アーム３５上に載置される。
【００２３】
前記アーム３５上に平板状ワークＷが載置されると、該アーム３５は縮小されて平板状ワークＷが前記検査テーブル７からＹ軸方向ｙの下流側へ搬出され、その際、前記ＣＣＤカメラ１８による検査結果が前記制御装置によって平板状ワークＷに欠陥部が無いと判定されている場合には、前記アーム３５が１８０°旋回されて平板状ワークＷが次工程の設備等へ送り出される。また、前記アーム３５で検査テーブル７から搬出された平板状ワークＷに欠陥部があると前記制御装置で判定されている場合には、前記アーム３５は、前記支軸３３の上昇によって平板状ワークＷを支えたまま、前記欠陥修正装置３の修正テーブル２３の上方の高さ位置（図３の２点鎖線で示す位置）まで上昇される。そして、前記アーム３５が伸長して平板状ワークＷが修正テーブル２３の上方へ搬入されると、前記修正テーブル２３の前記押上部材１４が上昇され、そのピン１４ｂが、先端を修正テーブル２３の上面から上方に突き出して、前記アーム３５に支えられている平板状ワークＷの下面に当接して、該平板状ワークＷをやや押し上げることによりアーム３５からそれらを受け取る。
【００２４】
この後、前記アーム３５はその高さ位置で収縮されて待機されると共に、前記押上部材１４が下降されることにより、欠陥部を有する平板状ワークＷが修正テーブル２３上に載置されて、前記位置決めクランパー２４、２４によりＸ，Ｙ軸方向ｙに位置決めされた後に修正テーブル２３に固定される。次に、前記リニアモータ２６が作動されて、前記支持フレーム２５が修正テーブル２３に対して相対的にＹ軸方向ｙへ移動されると共に、前記サドル２９を介してレーザ加工ヘッド３０が修正テーブル２３に対して相対的にＸ軸方向ｘに移動されて、前記制御装置に記憶されている平板状ワークＷの欠陥部のある位置へレーザ加工ヘッド３０が移動され、その移動位置を前記ＣＣＤカメラ３１で確認した後、その欠陥部のレーザ加工ヘッド３０による修正加工（修正処理）が行われる。
【００２５】
前記平板状ワークＷのレーザ加工ヘッド３０による修正加工が終了すると、前記位置決めクランパ２４による平板状ワークＷの位置決め固定状態が解除されて、前記押上部材１４がピン１４ｂで修正加工済みの平板状ワークＷを押し上げるので、搬送装置４のアーム３５が伸長されて、修正テーブル２３の上方に押し上げられた平板状ワークＷの下に差し入れられる。このとき、前記押上部材１４が下降してアーム３５に平板状ワークＷが載置されるので、前記アーム３５が収縮することにより、平板状ワークＷが修正テーブル２３からそのＹ軸方向ｙの外側へ搬出される。この後に、前記平板状ワークＷは、前記アーム３５の１８０°の旋回と支軸３３の収縮により、ハ矢方向に移動して、前記検査テーブル７から欠陥部のない平板状ワークＷを搬出するときと同様な高さに位置されて、次工程の設備等へ送り出される。
【００２６】
前記実施の形態に係る平板状ワークの検査、修正装置１によれば、定盤５に固定した検査テーブル７に載置された平板状ワークＷを、前記定盤５に固定した支持フレーム１７に支持して平板状ワークＷの上方に配置された検出カメラ１８に対して、相対的にＹ軸方向ｙに移動させて、平板状ワークＷの欠陥を前記検出カメラ１８で検出する欠陥検査装置２と、修正テーブル２３に載置された欠陥部を有する平板状ワークＷに対して、前記支持フレーム２５に支持して平板状ワークＷの上方に配置された前記レーザ加工ヘッド３０を、相対的にＸ軸方向ｘとＹ軸方向ｙに移動させて、平板状ワークＷの欠陥部を前記レーザ加工ヘッド３０で修正加工する欠陥修正装置３とを備え、かつ該欠陥修正装置３を前記欠陥検査装置２の上方に配置すると共に、前記欠陥検査装置２の検査テーブル７から検査済みの平板状ワークｗを搬出して、欠陥部を有する平板状ワークＷを前記欠陥修正装置３の修正テーブル２３に搬入し、修正加工された平板状ワークＷを前記修正テーブル２３から搬出する搬送装置４を、前記欠陥検査装置２に対する平板状ワークＷの搬送方向イの下流側に配置した構成となっているので、前記欠陥検査装置２と欠陥修正装置３とが平面的に重なっているため、従来装置のように、前記欠陥検査装置２と欠陥修正装置３とが平面的に直列に接続されたものと比較して、設備の所要設置面積を大幅に小さくすることができる。
【００２７】
また、前記欠陥検査装置２によって検査が終了した平板状ワークＷは、欠陥があるものだけが搬送装置４により欠陥修正装置３に搬送され、欠陥の無いものは欠陥修正装置３を経ることなく、搬送装置４によって次工程の設備に搬送されるので、従来のように、検査済みで欠陥の無い平板状ワークＷを、前記欠陥修正装置３による修正作業が終了するまで、欠陥検査装置２やバッファ装置で待機させる必要がない。したがって、平板状ワークＷの検査、修正作業が円滑に、かつ能率的に行えて、その検査、修正作業におけるタクトタイムの短縮を図ることができると共に、付加設備を省略することができて、この面からも設備の所要設置面積を小さくすることができ、その設備が複雑化するのを抑えて設備費を低廉にすることができる。
なお、前記欠陥修正装置３は、前記欠陥検査装置２と分離されて床面に前記コラム２０を介して設置され、かつ前記コラム２０にダンパ２１を介して前記定盤２２が固定されているので、修正作業中に欠陥検査装置２や搬送装置４からの振動、衝撃等が遮断されるため、その修正作業を正確に行うことができる。
【００２８】
なお、前記実施の形態に係る平板状ワークの検査、修正装置１においては、前記平板状ワークＷとＣＣＤカメラ１８との間のＹ軸方向ｙへの相対移動を、定盤５に固定された支持フレーム１７に支持されたＣＣＤカメラ１８に対して、ワーク移動機構９によって平板状ワークＷを検査テーブル７上でＹ軸方向ｙに移動させて行ったが、これとは逆に、平板状ワークＷを検査テーブル７に固定し、前記支持フレーム１７をＹ軸方向ｙに移動させて、平板状ワークＷに対してＣＣＤカメラ１８をＹ軸方向ｙへ移動させるようにしてもよい。
また、前記平板状ワークＷと前記レーザ加工ヘッド３０との間のＹ軸方向ｙの相対移動を、前記定盤に固定した修正テーブル２３に固定した平板状ワークＷに対して、前記支持フレーム２５に支持したレーザ加工ヘッド３０をＹ軸方向ｙに移動させて行ったが、これとは逆に、前記支持フレーム２５を定盤２２に固定し、平板状ワークＷを修正テーブル２３上で移動させて、レーザ加工ヘッド３０に対して平板状ワークＷがＹ軸方向ｙに移動するようにしてもよい。
【００２９】
また、前記欠陥修正装置３を欠陥検査装置２の上方に設けたので、上流側から搬送されたきた平板状ワークを、昇降機能を有する格別の搬送設備を設けることなく、欠陥検査装置に円滑、容易に搬入することができ、設備の簡略化を図り、設備費の増大化を抑えることができて好ましいが、これに限らず、これとは逆の配置をした構成にすることもできる。この場合には、上流側から搬送されてきた平板状ワークを、上方の欠陥検査装置まで上昇させる搬送設備が必要となる。
また、前記欠陥修正装置３においては、平板状ワークＷの欠陥部を修正する修正ヘッドとして、レーザ加工ヘッド３０を例示したが、該修正ヘッドはこれに限らず、研磨テープを有し平板状ワークＷの突起異物を研磨する研磨ヘッドや、欠陥部を前記レーザ加工ヘッド３０で加工した部分にカラーフィルタの着色層に対応した修正インクを滴下させて修正する修正ヘッド等のいずれか１つまたは複数個を備えたものとしてもよい。
【００３０】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば以下の優れた効果を奏する。
すなわち、請求項１に係る平板状ワークの検査、修正装置によれば、欠陥検査装置と欠陥修正装置とが平面的に重なっているため、従来のように、前記欠陥検査装置と欠陥修正装置とが平面的に直列に接続されたものと比較して、設備の所要設置面積を大幅に小さくすることができる。
また、前記欠陥検査装置によって検査が終了した平板状ワークは、欠陥があるものだけが搬送装置により欠陥修正装置に搬送され、欠陥の無いものは欠陥修正装置を経ることなく、搬送装置によって次工程の設備に搬送されるので、従来のように、検査済みで欠陥の無い平板状ワークを、前記欠陥修正装置による修正作業が終了するまで、欠陥検査装置やバッファ装置で待機させる必要がない。
したがって、平板状ワークの検査、修正作業が円滑にかつ能率的に行えて、その検査、修正作業におけるタクトタイムの短縮を図ることができると共に、付加設備を省略することができて、この面からも設備の所要設置面積を小さくすることができ、その設備が複雑化するのを抑えて設備費を低廉にすことができる。
【００３１】
請求項２に係る平板状ワークの検査、修正装置によれば、欠陥修正装置を欠陥検査装置の上方に配置したので、上流側から搬送されたきた平板状ワークを、昇降機能を有する格別の搬送設備を設けることなく、欠陥検査装置に円滑、容易に搬入することができ、設備の簡略化を図り、設備費の増大化を抑えることができる。
【００３２】
請求項３に係る平板状ワークの検査、修正装置によれば、欠陥検査装置と欠陥修正装置とをそれらのＹ軸方向が平板状ワークの搬送方向に沿うように配置したので、前記欠陥検査装置から欠陥修正装置に前記平板状ワークを搬送するにあたり、その方向を変換する必要がないため、搬送装置に方向変換機能を付加しなくて済み、該搬送装置の構造が簡単となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態に係る平板状ワークの検査、修正装置を示す側面図である。
【図２】同じく平面図である。
【図３】同じく正面図である。
【符号の説明】
１平板状ワークの検査、修正装置
２欠陥検査装置
３欠陥修正装置
４搬送装置
５，２２定盤
７検査テーブル
９ワーク移動機構
１１シャトル部材
１２，２６リニアモータ（Ｙ軸駆動手段）
１４押し上げ部材
１７，２５支持部材
１８ＣＣＤカメラ（検出カメラ）
２０コラム
２３修正テーブル
３０レーザ加工ヘッド（加工ヘッド）
Ｗ平板状ワーク

Claims

検査テーブルに載置された平板状ワークとその上方に配置された検出カメラとを相対的にＹ軸方向に移動させて、前記平板状ワークの欠陥を前記検出カメラで検出する欠陥検査装置と、修正テーブルに載置された欠陥部を有する平板状ワークとその上方に配置された修正ヘッドとを相対的にＸ軸方向とＹ軸方向に移動させて、平板状ワークの欠陥部を前記修正ヘッドで修正する欠陥修正装置とを備え、かつ欠陥検査装置と欠陥修正装置のうちの一方を他方の上方に配置すると共に、前記欠陥検査装置の検査テーブルから検査済みの平板状ワークを搬出して、欠陥部を有する平板状ワークを前記欠陥修正装置の修正テーブルに搬入し、修正された平板状ワークを前記修正テーブルから搬出する搬送装置を、前記欠陥検査装置に対する平板状ワークの搬送方向の下流側に配置したことを特徴とする平板状ワークの検査、修正装置。
前記欠陥修正装置を前記欠陥検査装置の上方に配置したことを特徴とする請求項１に記載の平板状ワークの検査、修正装置。
前記欠陥検査装置と前記欠陥修正装置とをそれらのＹ軸方向が前記平板状ワークの搬送方向に沿うように配置したことを特徴とする請求項１または２に記載の平板状ワークの検査、修正装置。