KR101814246B1 - 인라인 핸들러 및 이를 이용한 검사방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 인라인 핸들러 및 이를 이용한 검사방법에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 인라인 핸들러는 피검사물이 적재된 트레이를 일 방향으로 이송하도록 마련되며, 상기 피검사물의 이송방향을 따라 이웃하여 나란하게 배치되는 복수 개의 이송부를 포함하는 트레이 이송유닛; 상기 트레이 이송유닛에 연결되며, 상기 트레이 이송유닛을 통해 이송되는 상기 트레이를 리프팅시키는 리프팅유닛; 상기 트레이 이송유닛에 연결되고, 상기 트레이 이송유닛의 상기 트레이의 이송을 비간섭하는 위치에 배치되며, 상기 리프팅유닛을 통해 리프팅된 상기 트레이를 클램핑하는 클램핑유닛; 및, 상기 트레이 이송유닛에 이웃하게 배치되며, 상기 클램핑유닛에 클램핑된 상기 트레이에 적재된 상기 피검사물을 검사위치로 이동시키는 피검사물 이동유닛을 포함할 수 있다. 이에 의하여, 카메라 모듈과 같은 피검사물이 적재된 트레이를 자동으로 검사장소로 이송이 가능하고, 피검사물이 적재되는 트레이를 복수 개의 이송부를 통해 이송시켜 피검사물 이동유닛이 피검사물을 파지하는 위치에 위치시켜, 어느 하나의 트레이의 피검사물의 검사가 완료된 후 다른 하나의 트레이의 피검사물을 연속적으로 파지 및 이동 가능하여 공정의 연속성을 확보할 수 있는 인라인 핸들러 및 이를 이용한 검사방법이 제공된다.

Description

인라인 핸들러 및 이를 이용한 검사방법{IN-LINE HANDLER AND TESTING METHOD USING THE SAME}
본 발명은 인라인 핸들러 및 이를 이용한 검사방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 카메라 모듈 등의 피검사물의 불량 등을 검사하기 위한 검사장소로 자동으로 이송할 수 있으며, 피검사물을 이송하는 트레이를 복수 개 이송시켜 대기하도록 함으로써 검사를 위해 대기하는 시간을 줄이고, 검사공정의 연속성을 확보할 수 있는 인라인 핸들러 및 이를 이용한 검사방법에 관한 것이다.
휴대폰, PDA 등과 같은 휴대용 단말기는 단말기 본연의 기능 뿐만 아니라, 영화감상, 사진촬영 등의 부가적인 기능을 수행하고 있다. 이러한 휴대용 단말기 등의 멀티 컨버전스로의 전개를 이끌어 가는 것 중의 하나로서 카메라 모듈(CAMERA MODULE)이 가장 대표적이라 할 수 있다.
이러한 카메라 모듈은 해상도가 점차 고화소로 높아질 뿐만 아니라, 오토 포커싱(AF), 광학 줌(OPTICAL ZOOM) 등과 같은 다양한 부가 기능을 추가적으로 구현하고 있다.
한편, 휴대용 단말기에 장착되는 카메라 모듈(CCM: COMPACT CAMERA MOUDULE)은 소형으로 제작되고, CCD나 CMOS 등의 이미지센서를 주요 부품으로 하여 제작되고 있다.
여기서 카메라 모듈은 이미지센서를 통해 사물의 이미지를 집광시켜 기기내의 메모리상에 데이터로 저장되고, 저장된 데이터는 해당 휴대용 단말기의 표시부를 통해 영상으로 디스플레이한다.
통상의 카메라 모듈은 COB(CHIP ON BOARD), COF(CHIP ON FLEXIBLE) 등의 방식으로 제작되며, 제작 후에 카메라 모듈 완성품의 이상 유무에 대한 일련의 검사를 진행하여 검사에 이상이 없으면 출하되게 되는데, 이러한 일련의 검사 방법들의 예로는 포커싱 검사(초점 조정 검사), 근거리 해상도 검사, 원거리 해상도 검사, 이물 및 쉐이딩(Shading) 검사 등 다양하다.
그런데 이러한 여러 가지의 검사는 한 장소에서 수행되기 어려우므로, 카메라 모듈이 복수의 검사장소로 인력 등에 의해 이동되는 과정에서 많은 시간이 소요되고, 특정 검사공정에서 검사시간이 많이 소요되는 경우 미검사된 카메라 모듈이 특정 검사를 기다리며 대기상태로 있어야 해서 전체 검사공정의 시간이 길어지는 문제점이 있다.
대한민국 등록특허공보 제10-0551994호
따라서 본 발명의 목적은 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 카메라 모듈과 같은 피검사물이 적재된 트레이를 자동으로 검사장소로 이송이 가능한 인라인 핸들러 및 이를 이용한 검사방법을 제공함에 있다.
또한, 피검사물이 적재되는 트레이를 복수 개의 이송부를 통해 이송시켜 피검사물 이동유닛이 피검사물을 파지하는 위치에 위치시켜, 어느 하나의 트레이의 피검사물의 검사가 완료된 후 다른 하나의 트레이의 피검사물을 연속적으로 파지 및 이동 가능하여 공정의 연속성을 확보할 수 있는 인라인 핸들러 및 이를 이용한 검사방법을 제공함에 있다.
상기 과제는, 본 발명에 따라, 피검사물이 적재된 트레이를 일 방향으로 이송하도록 마련되며, 상기 피검사물의 이송방향을 따라 이웃하여 나란하게 배치되는 복수 개의 이송부를 포함하는 트레이 이송유닛; 상기 트레이 이송유닛에 연결되며, 상기 트레이 이송유닛을 통해 이송되는 상기 트레이를 리프팅시키는 리프팅유닛; 상기 트레이 이송유닛에 연결되고, 상기 트레이 이송유닛의 상기 트레이의 이송을 비간섭하는 위치에 배치되며, 상기 리프팅유닛을 통해 리프팅된 상기 트레이를 클램핑하는 클램핑유닛; 및 상기 트레이 이송유닛에 이웃하게 배치되며, 상기 클램핑유닛에 클램핑된 상기 트레이에 적재된 상기 피검사물을 검사위치로 이동시키는 피검사물 이동유닛을 포함하는 인라인 핸들러에 의해 달성될 수 있다.
여기서, 상기 피검사물 이동유닛은, 어느 하나의 이송부에 클램핑되어 있는 트레이에 적재된 피검사물의 검사가 완료되어 이후 공정으로 이송시, 다른 하나의 이송부에 클램핑되어 있는 트레이의 피검사물을 검사위치로 이동시키는 것이 바람직하다.
또한, 상기 이송부는, 이송 프레임부; 상기 이송 프레임부에 지지되고, 상호 이격되게 배치되며, 상기 트레이를 이송하는 한 쌍의 컨베이어부; 및, 상기 컨베이어부에 연결되며, 상기 컨베이어부를 구동시키는 컨베이어 구동부를 포함할 수 있다.
또한, 상기 컨베이어부는, 상기 트레이를 지지하는 컨베이어 벨트; 상기 이송 프레임부에 회전 가능하게 결합되며, 상기 컨베이어 벨트에 연결되어 상기 컨베이어 벨트를 회전시키는 메인 롤러; 및, 상기 이송 프레임부에 회전 가능하게 결합되며, 상기 컨베이어 벨트를 지지하는 복수의 서브 롤러를 포함할 수 있다.
또한, 상기 컨베이어 구동부는, 상기 메인 롤러에 결합되는 회전축; 및, 상기 회전축에 연결되며, 상기 회전축을 회전시키는 컨베이어 구동용 모터를 포함할 수 있다.
또한, 상기 리프팅유닛은, 상기 트레이 이송유닛에 결합되는 리프팅 프레임부; 및, 상기 리프팅 프레임부에 지지되며, 상기 트레이의 하측벽에 연결되어 상기 트레이를 승강시키는 리프팅 구동부를 포함할 수 있다.
또한, 상기 리프팅 구동부는, 상기 트레이를 지지하는 지지 플레이트; 및, 상기 리프팅 프레임부에 결합되는 리프팅용 실린더 본체와, 상기 지지 플레이트에 결합되며 상기 리프팅용 실린더 본체에 대하여 상대이동 가능하게 연결되는 리프팅용 실린더 로드 구비하는 리프팅용 실린더를 포함할 수 있다.
또한, 상기 클램핑유닛은, 상기 리프팅유닛을 중심으로 상호 대칭되게 배치되며, 상기 트레이를 클램핑하는 한 쌍의 클램핑부를 포함할 수 있다.
또한, 상기 클램핑부는, 상기 이송유닛에 지지되는 클램핑 프레임부; 상기 클램핑 프레임부에 상대이동 가능하게 연결되며, 상기 트레이에 대하여 접근 및 이격되는 방향으로 이동되어 상기 트레이를 파지 및 파지 해제하는 파지부; 및, 상기 클램핑 프레임부에 지지되며, 상기 파지부에 연결되어 상기 파지부를 이동시키는 파지부용 구동부를 포함할 수 있다.
또한, 상기 클램핑 프레임부에는 상기 파지부에 마련되는 가이드부가 삽입되며 상기 파지부의 이동을 안내하는 가이드공이 형성될 수 있다.
또한, 상기 피검사물 이동유닛은 상기 피검사물을 진공 흡착하는 진공 흡착하며, 진공 흡착된 상기 피검사물을 제1축 방향으로 승강시키는 제1 피검사물 이동부; 상기 제1 피검사물 이동부을 지지하며, 상기 제1 피검사물 이동부을 상기 제1축 방향에 교차하는 제2축 방향으로 이동시키는 제2 피검사물 이동부; 상기 제2 피검사물 이동부를 지지하며, 상기 제2 피검사물 이동부를 상기 제1축 방향 및 상기 제2축 방향에 교차하는 제3축 방향으로 이동시키는 제3 피검사물 이동부; 및, 상기 제3 피검사물 이동부를 지지하는 이동유닛용 프레임부를 포함할 수 있다.
또한, 상기 제3 피검사물 이동부는 상기 제2 피검사물 이동부가 결합되는 제3 피검사물 이동부용 엘엠 블록(LM block); 상기 제3 피검사물 이동부용 엘엠 블록에 연결되며, 상기 제3 피검사물 이동부용 엘엠 블록의 이동을 안내하는 제3 피검사물 이동부용 엘엠 가이드(LM guide); 및, 상기 제3 피검사물 이동부용 엘엠 블록을 이동시키는 제3 피검사물 이동부용 구동부를 포함할 수 있다.
또한, 상기 제3 피검사물 이동부용 구동부는 상기 제3 피검사물 이동부용 엘엠 블록에 결합되는 제3 피검사물 이동부용 이동 너트; 상기 제3 피검사물 이동부용 이동 너트에 치합되는 제3 피검사물 이동부용 볼 스크류; 및, 상기 제3 피검사물 이동부용 볼 스크류에 연결되며, 상기 제3 피검사물 이동부용 볼 스크류를 회전시키는 제3 피검사물 이동부용 모터를 포함할 수 있다.
또한, 상기 제2 피검사물 이동부는 상기 제1 피검사물 이동부이 결합되는 제2 피검사물 이동부용 엘엠 블록(LM block); 상기 제2 피검사물 이동부용 엘엠 블록에 연결되며, 상기 제2 피검사물 이동부용 엘엠 블록의 이동을 안내하는 제2 피검사물 이동부용 엘엠 가이드(LM guide); 및, 상기 제2 피검사물 이동부용 엘엠 블록을 이동시키는 제2 피검사물 이동부용 구동부를 포함할 수 있다.
또한, 상기 제2 피검사물 이동부용 구동부는 상기 제2 피검사물 이동부용 엘엠 블록에 결합되는 제2 피검사물 이동부용 이동 너트; 상기 제2 피검사물 이동부용 이동 너트에 치합되는 제2 피검사물 이동부용 볼 스크류; 및, 상기 제2 피검사물 이동부용 볼 스크류에 연결되며, 상기 제2 피검사물 이동부용 볼 스크류를 회전시키는 제2 피검사물 이동부용 모터를 포함할 수 있다.
또한, 상기 제1 피검사물 이동부은 상기 피검사물을 진공 흡착하는 진공 흡착모듈; 및, 상기 제2 피검사물 이동부에 지지되며, 상기 진공 흡착모듈에 연결되어 상기 진공 흡착모듈을 상기 제1축 방향으로 승강시키는 제1 승강부를 포함할 수 있다.
또한, 상기 제1 승강부는, 상기 진공 흡착모듈이 결합되는 제1 승강부용 엘엠 블록; 상기 제1 승강부용 엘엠 블록의 승강 이동을 가이드하는 제1 승강부용 엘엠 가이드; 및, 상기 제1 승강부용 엘엠 블록을 이동시키는 상기 제1 승강부용 구동부를 포함할 수 있다.
또한, 상기 제1 승강부용 구동부는, 상기 제1 승강부용 엘엠 블록에 결합되는 제1 승강부용 이동 너트; 상기 제1 승강부용 엘엠 블록용 이동 너트에 치합되는 제1 승강부용 볼 스크류; 및, 상기 제1 승강부용 엘엠 블록용 볼 스크류에 연결되며, 상기 제1 승강부용 엘엠 블록용 볼 스크류를 회전시키는 제1 승강부용 모터를 포함할 수 있다.
또한, 상기 제1 승강부용 볼 스크류와 제1 승강부용 모터는 제1 승강부용 동력전달부를 통해 연결되며, 상기 제1 승강부용 동력전달부는, 상기 제1 승강부용 모터에 연결되는 제1 승강부용 주동풀리; 상기 제1 승강부용 볼 스크류에 연결되는 제1 승강부용 종동풀리; 및, 상기 1 승강부용 주동풀리와 상기 제1 승강부용 종동풀리를 연결하는 제1 승강부용 전동벨트를 포함할 수 있다.
또한, 상기 진공 흡착모듈은, 상기 제1 승강부용 엘엠 블록에 지지되고, 상호 이웃하게 배치되는 적어도 하나의 진공 흡착부를 포함할 수 있다.
또한, 상기 진공 흡착부는, 상기 피검사물을 진공 흡착하는 흡착 헤드부; 및, 상기 흡착 헤드부를 상기 제1축 방향으로 승강시키는 제2 승강부를 포함할 수 있다.
또한, 상기 제2 승강부는, 상기 흡착 헤드부가 결합되는 제2 승강부용 이동 블록; 상기 제2 승강부용 이동 블록에 연결되며, 상기 제2 승강부용 이동 블록의 이동을 가이드하는 제2 승강부용 가이드 레일; 및, 상기 제2 승강부용 이동 블록을 이동시키는 제2 승강부용 구동부를 포함할 수 있다.
또한, 상기 제2 승강부용 구동부는, 상기 제1 승강부용 엘엠 블록에 결합되는 제2 승강부용 실린더 몸체와, 상기 제2 승강부용 이동 블록에 연결되며 상기 제2 승강부용 실린더 몸체에 상대이동 가능하게 연결되는 제2 승강부용 실린더 로드를 구비하는 제2 승강부용 실린더를 포함할 수 있다.
또한, 상기 제2 승강부용 이동 블록과 상기 승강부용 실린더 로드는 충격 흡수부를 통해 연결되며, 상기 충격 흡수부는, 상기 제2 승강부용 실린더 로드에 결합되며, 상기 제2 승강부용 이동 블록이 상대이동 가능하게 연결되는 가이드 샤프트부; 상기 가이드 샤프트에 마련되며, 상기 제2 승강부용 이동 블록을 지지하는 플랜지부; 상기 가이드 샤프트부에 결합되며, 상기 플랜지부에 대하여 이격되게 배치되는 스토퍼부; 및, 상기 스토퍼부 및 상기 제2 승강부용 이동 블록에 지지되며, 상기 제2 승강부용 이동 블록을 상기 플랜지부로 탄성바이어스하는 탄성체를 포함할 수 있다.
또한, 상기 진공 흡착부는, 상기 흡착 헤드부를 제1축 방향을 회전 축심으로 하여 회전시키는 헤드 회전부를 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 헤드 헤드부는, 상기 제2 승강부용 이동 블록에 지지되는 회전용 모터; 상기 회전용 모터에 연결되는 회전용 주동풀리; 상기 흡착 헤드부에 연결되는 회전용 종동풀리; 및, 상기 회전용 주동풀리와 상기 회전용 종동풀리를 연결하는 회전용 전동벨트를 포함할 수 있다.
또한, 상기 트레이 이송유닛에 지지되고, 상기 트레이 이송유닛의 상기 트레이의 이송을 비간섭하는 위치에 배치되며, 불량 피검사물이 적재되는 불량품용 트레이를 지지하는 선반을 더 포함할 수 있다.
상기 인라인 핸들러를 이용한 피검사물의 검사방법은, 피검사물이 적재된 복수 개의 트레이를 각각의 이송부를 통해 일 방향으로 이송시키는 단계; 상기 복수 개의 이송부를 통해 이송되는 각각의 트레이를 리프팅 유닛을 통해 리프팅시키는 단계; 상기 리프팅유닛을 통해 리프팅된 트레이를 각각 클램핑하도록 설치된 클램핑 유닛을 통해 클램핑하는 단계; 어느 하나의 클램핑 유닛에 의해 클램핑된 트레이의 피검사물을 피검사물 이동유닛을 통해 파지하여 검사위치로 이동시키는 단계; 피검사물이 양품인지 불량품인지를 검사하여, 상기 피검사물이 양품인 경우 해당 트레이의 원래 위치로 이동시키는 단계; 및, 어느 하나의 클램핑된 트레이의 피검사물 검사가 완료되면 상기 어느 하나의 클램핑된 트레이를 클램핑 해제한 후 리프팅 유닛에 의해 하강시켜 다음 공정으로 이송시키고, 이와 동시에 피검사물 이동유닛은 다른 하나의 클램핑된 트레이의 피검사물을 검사위치로 이동시키는 단계;를 포함할 수 있다.
또한, 피검사물 검사시 상기 피검사물이 불량품인 경우, 불량품인 피검사물은 준비된 불량품 트레이에 별도로 적재하도록 이동시키는 것이 바람직하다.
본 발명에 따르면, 카메라 모듈과 같은 피검사물이 적재된 트레이를 자동으로 검사장소로 이송이 가능한 인라인 핸들러 및 이를 이용한 검사방법이 제공된다.
또한, 피검사물이 적재되는 트레이를 복수 개의 이송부를 통해 이송시켜 피검사물 이동유닛이 피검사물을 파지하는 위치에 위치시켜, 어느 하나의 트레이의 피검사물의 검사가 완료된 후 다른 하나의 트레이의 피검사물을 연속적으로 파지 및 이동 가능하여 공정의 연속성을 확보할 수 있는 인라인 핸들러 및 이를 이용한 검사방법이 제공된다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 인라인 핸들러의 개략도이다.
도 2는 도 1의 트레이 이송유닛의 상세도이다.
도 3은 도 1의 리프팅유닛 및 클램핑유닛의 상세도이다.
도 4는 도 1의 컨베이어 구동부의 상세도이다.
도 5는 도 2의 정면도이다.
도 6은 도 3의 리프팅유닛의 개략도이다.
도 7은 도 3의 클램핑유닛의 사시도이다.
도 8은 도 1의 피검사물 이동유닛의 상세도이다.
도 9는 도 8의 제3 피검사물 이동부의 상세도이다.
도 10은 도 8의 제2 피검사물 이동부의 상세도이다.
도 11은 도 8의 제1 피검사물 이동부의 상세도이다.
도 12는 도 11의 분해사시도이다.
도 13은 도 12의 A' 부분의 확대도이다.
도 14 내지 도 17은 본 발명의 제1실시예에 따른 인라인 핸들러의 작동상태도이다.
설명에 앞서, 여러 실시예에 있어서, 동일한 구성을 가지는 구성요소에 대해서는 동일한 부호를 사용하여 대표적으로 제1실시예에서 설명하고, 그 외의 실시예에서는 제1실시예와 다른 구성에 대해서 설명하기로 한다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 제1실시예에 따른 인라인 핸들러에 대하여 상세하게 설명한다.
이하의 도면에서 제1축 방향은 Z축 방향, 제2축 방향은 Y축 방향, 제3축 방향은 X축 방향으로 표시한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 인라인 핸들러의 개략도이다.
본 실시예에 따른 인라인 핸들러는 피검사물(미도시)이 적재된 트레이(T1)를 이송하는 트레이 이송유닛(100)과 트레이(T1)를 리프팅시키는 리프팅유닛(200)과 리프팅된 트레이(T1)를 클램핑하는 클램핑유닛(300) 및 클램핑된 트레이(T1)의 피검사물(미도시)을 이동시키는 피검사물 이동유닛(400)을 포함한다.
구체적으로 본 실시예에 따른 인라인 핸들러는, 도 1을 참조하면, 피검사물(미도시)이 적재된 트레이(T1)를 연속적으로 이송하는 트레이 이송유닛(100)과, 트레이 이송유닛(100)에 연결되며 트레이 이송유닛(100)을 통해 이송되는 트레이(T1)를 리프팅시키는 리프팅유닛(200)과, 트레이 이송유닛(100)에 연결되고 트레이 이송유닛(100)의 트레이(T1)의 이송을 비간섭하는 위치에 배치되며 리프팅유닛(200)을 통해 리프팅된 트레이(T1)를 클램핑하는 클램핑유닛(300)과, 트레이 이송유닛(100)에 이웃하게 배치되며 클램핑유닛(300)에 클램핑된 트레이(T1)에 적재된 피검사물(미도시)을 검사위치(미도시)로 이동시키는 피검사물 이동유닛(400)을 포함한다.
본 실시예에서 리프팅유닛(200), 클램핑유닛(300) 및 피검사물 이동유닛(400)은 트레이 이송유닛(100)을 따라 복수로 마련되어 다양한 검사가 동시에 진행될 수 있도록 한다.
도 2는 도 1의 트레이 이송유닛의 상세도이다. 도 2를 참조하면, 트레이 이송유닛(100)은 피검사물(미도시)이 적재된 트레이(T1)를 연속적으로 이송한다. 이러한 트레이 이송유닛(100)은 상호 이웃하게 배치되며 독립적으로 트레이(T1)를 이송하는 복수의 이송부(110)를 포함한다. 본 실시예에서 이송부(110)는 2개로 마련되는데, 이에 본 발명의 권리범위가 한정되지 않으며 이송부(110)는 다양한 개수로 마련될 수 있다.
도 3은 도 1의 리프팅유닛 및 클램핑유닛의 상세도이고, 도 4는 도 1의 컨베이어 구동부의 상세도이다. 도 3 및 도 4를 참조하면, 상기 이송부(110)는, 이송 프레임부(140)과, 이송 프레임부(140)에 지지되고 상호 이격되게 배치되며 트레이(T1)를 이송하는 한 쌍의 컨베이어부(120)와, 컨베이어부(120)에 연결되며 컨베이어부(120)를 구동시키는 컨베이어 구동부(130)를 포함한다.
본 실시예에서 한 쌍의 컨베이어부(120)는, 이송 프레임부(140)에 지지되고 상호 이격되게 배치되며 트레이(T1)를 이송한다. 이러한 컨베이어부(120)는, 트레이(T1)를 지지하는 컨베이어 벨트(121)와, 이송 프레임부(140)에 회전 가능하게 결합되며 컨베이어 벨트(121)에 연결되어 컨베이어 벨트(121)를 회전시키는 메인 롤러(122)와, 이송 프레임부(140)에 회전 가능하게 결합되며 컨베이어 벨트(121)를 지지하는 복수의 서브 롤러(123)를 포함한다.
컨베이어 구동부(130)는 메인 롤러(122)에 연결되며 메인 롤러(122)를 회전시킴으로써 컨베이어 벨트(121)를 회전시킨다. 이러한 컨베이어 구동부(130)는, 메인 롤러(122)에 결합되는 회전축(131)과, 회전축(131)에 연결되며 회전축(131)을 회전시키는 컨베이어 구동용 모터(132)를 포함한다.
도 5는 도 2의 정면도이고, 도 6은 도 3의 리프팅유닛의 개략도이다. 도 5 및 도 6을 참조하면, 상기 리프팅유닛(200)은, 트레이 이송유닛(100)에 연결되며 트레이 이송유닛(100)을 통해 이송되는 트레이(T1)를 제1축 방향으로 리프팅시킨다.
이러한 리프팅유닛(200)은, 트레이 이송유닛(100)에 결합되는 리프팅 프레임부(210)와, 리프팅 프레임부(210)에 지지되며 트레이(T1)의 하측벽에 연결되어 트레이(T1)를 승강시키는 리프팅 구동부(220)를 포함한다.
리프팅 구동부(220)는, 트레이(T1)를 지지하는 지지 플레이트(230)와, 리프팅 프레임부(210)에 결합되는 리프팅용 실린더 본체(241)와 지지 플레이트(230)에 결합되며 리프팅용 실린더 본체(241)에 대하여 상대이동 가능하게 연결되는 리프팅용 실린더 로드(242)를 구비하는 리프팅용 실린더(240)를 포함한다.
이러한 리프팅유닛(200)은 리프팅용 실린더(240)를 통해 지지 플레이트(230)를 상승시켜 트레이(T1)를 클램핑유닛(300)쪽으로 이동시키며, 클램핑유닛(300)이 트레이(T1)를 클램핑한 후 하강하여 다른 트레이(T1)와의 간섭을 회피한다. 본 실시예에서 리프팅용 실린더(240)는 공압 또는 유압 방식의 실린더로 이루어진다.
도 7은 도 3의 클램핑유닛의 사시도이다. 도 4 및 도 7을 참조하면, 상기 클램핑유닛(300)은, 트레이 이송유닛(100)에 연결되고 트레이 이송유닛(100)의 트레이(T1)의 이송을 비간섭하는 위치에 배치되며, 리프팅유닛(200)을 통해 리프팅된 트레이(T1)를 클램핑한다.
이러한 클램핑유닛(300)은, 리프팅유닛(200)을 중심으로 상호 대칭되게 배치되며, 트레이(T1)를 클램핑하는 한 쌍의 클램핑부(310)를 포함한다.
본 실시예에서 한 쌍의 클램핑부(310)는 서로 마주보고 배치되어 리프팅유닛(200)에 의해 리프팅된 트레이(T1)를 가압하여 트레이(T1)를 클램핑한다.
이러한 클램핑부(310)는, 이송유닛에 지지되는 클램핑 프레임부(320)와, 클램핑 프레임부(320)에 상대이동 가능하게 연결되며 트레이(T1)에 대하여 접근 및 이격되는 방향으로 이동되어 트레이(T1)를 파지 및 파지 해제하는 파지부(330)와, 클램핑 프레임부(320)에 지지되며 파지부(330)에 연결되어 파지부(330)를 이동시키는 파지부용 구동부(340)를 포함한다.
본 실시예에서 파지부(330)에는 봉 형상의 가이드부(331)가 마련되며, 클램핑 프레임부(320)에는 가이드부(331)가 삽입되며 파지부(330)의 이동을 안내하는 가이드공(321)이 형성된다.
파지부용 구동부(340)는, 클램핑 프레임부(320)에 지지되며 파지부(330)에 연결되어 파지부(330)를 이동시킨다. 본 실시예에서 파지부용 구동부(340)는, 클램핑 프레임에 결합되는 가압 실린더 본체(341)와 파지부(330)에 결합되며 가압 실린더 본체(341)에 대하여 상대이동 가능하게 연결되는 로드부(342)를 구비하는 가압 실린더(341, 342)를 포함한다.
도 8은 도 1의 피검사물 이동유닛의 상세도이다. 도 8을 참조하면, 상기 피검사물 이동유닛(400)은, 트레이 이송유닛(100)에 이웃하게 배치되며, 클램핑유닛(300)에 클램핑된 트레이(T1)에 적재된 피검사물(미도시)을 검사위치로 이동시킨다. 본 실시예에서 검사위치는 포커싱 검사(초점 조정 검사), 근거리 해상도 검사, 원거리 해상도 검사, 이물 및 쉐이딩(Shading) 검사 등이 수행되는 곳을 말하며, 검사위치에는 개별적인 검사장비가 준비된다.
이러한 피검사물 이동유닛(400)은, 피검사물(미도시)을 진공 흡착하는 진공 흡착하며 진공 흡착된 피검사물(미도시)을 제1축 방향으로 승강시키는 제1 피검사물 이동모듈(410)와, 제1 피검사물 이동모듈(410)을 지지하며 제1 피검사물 이동모듈(410)을 제1축 방향에 교차하는 제2축 방향으로 이동시키는 제2 피검사물 이동부(420)와, 제2 피검사물 이동부(420)를 지지하며 제2 피검사물 이동부(420)를 제1축 방향 및 제2축 방향에 교차하는 제3축 방향으로 이동시키는 제3 피검사물 이동부(430)와, 제3 피검사물 이동부(430)를 지지하는 이동유닛용 프레임부(440)를 포함한다.
도 9는 도 8의 제3 피검사물 이동부의 상세도이다. 도 9를 참조하면, 상기 제3 피검사물 이동부(430)는, 제2 피검사물 이동부(420)를 지지하며, 제2 피검사물 이동부(420)를 제3축 방향으로 이동시킨다.
이러한 제3 피검사물 이동부(430)는, 제2 피검사물 이동부(420)가 결합되는 제3 피검사물 이동부용 엘엠 블록(LM block, 431)과, 제3 피검사물 이동부용 엘엠 블록(431)에 연결되며 제3 피검사물 이동부용 엘엠 블록(431)의 이동을 안내하는 제3 피검사물 이동부용 엘엠 가이드(LM guide, 432)와, 제3 피검사물 이동부용 엘엠 블록(431)을 이동시키는 제3 피검사물 이동부용 구동부(433)를 포함한다.
상기 제3 피검사물 이동부용 구동부(433)는, 제3 피검사물 이동부용 엘엠 블록(431)에 결합되는 제3 피검사물 이동부용 이동 너트(미도시)와, 제3 피검사물 이동부용 이동 너트(미도시)에 치합되는 제3 피검사물 이동부용 볼 스크류(435)와, 제3 피검사물 이동부용 볼 스크류(435)에 연결되며 제3 피검사물 이동부용 볼 스크류(435)를 회전시키는 제3 피검사물 이동부용 모터(436)를 포함한다.
도 10은 도 8의 제2 피검사물 이동부의 상세도이다. 도 10을 참조하면, 상기 제2 피검사물 이동부(420)는, 제1 피검사물 이동모듈(410)을 지지하며, 제1 피검사물 이동모듈(410)을 제2축 방향으로 이동시킨다.
이러한 제2 피검사물 이동부(420)는, 제1 피검사물 이동모듈(410)이 결합되는 제2 피검사물 이동부용 엘엠 블록(LM block, 미도시)과, 제2 피검사물 이동부용 엘엠 블록(미도시)에 연결되며 제2 피검사물 이동부용 엘엠 블록(미도시)의 이동을 안내하는 제2 피검사물 이동부용 엘엠 가이드(LM guide, 422)와, 제2 피검사물 이동부용 엘엠 블록(미도시)을 이동시키는 제2 피검사물 이동부용 구동부(423)를 포함한다.
상기 제2 피검사물 이동부용 구동부(423)는, 제2 피검사물 이동부용 엘엠 블록(미도시)에 결합되는 제2 피검사물 이동부용 이동 너트(미도시)와, 제2 피검사물 이동부용 이동 너트(미도시)에 치합되는 제2 피검사물 이동부용 볼 스크류(425)와, 제2 피검사물 이동부용 볼 스크류(425)에 연결되며 제2 피검사물 이동부용 볼 스크류(425)를 회전시키는 제2 피검사물 이동부용 모터(426)를 포함한다.
도 11은 도 8의 제1 피검사물 이동부의 상세도이다. 도 11을 참조하면, 상기 제1 피검사물 이동모듈(410)은, 피검사물(미도시)을 진공 흡착하는 진공 흡착하며 진공 흡착된 피검사물(미도시)을 제1축 방향으로 승강시킨다.
이러한 제1 피검사물 이동모듈(410)은, 피검사물(미도시)을 진공 흡착하는 진공 흡착모듈(411)과, 제2 피검사물 이동부(420)에 지지되며 진공 흡착모듈(411)에 연결되어 진공 흡착모듈(411)을 제1축 방향으로 승강시키는 제1 승강부(412)를 포함한다.
제1 승강부(412)는, 진공 흡착모듈(411)이 결합되는 제1 승강부용 엘엠 블록(414)과, 제1 승강부용 엘엠 블록(414)의 승강 이동을 가이드하는 제1 승강부용 엘엠 가이드(415)와, 제1 승강부용 엘엠 블록(414)을 이동시키는 제1 승강부용 구동부(416)를 포함한다.
도 12는 도 11의 분해사시도이다. 도 12를 참조하면, 상기 제1 승강부용 구동부(416)는, 제1 승강부용 엘엠 블록(414)에 결합되는 제1 승강부용 이동 너트(416a)와, 제1 승강부용 엘엠 블록(414)용 이동 너트에 치합되는 제1 승강부용 볼 스크류(416b)와, 제1 승강부용 엘엠 블록(414)용 볼 스크류에 연결되며, 제1 승강부용 엘엠 블록(414)용 볼 스크류를 회전시키는 제1 승강부용 모터(416c)를 포함한다.
본 실시예에서 제1 승강부용 볼 스크류(416b)와 제1 승강부용 모터(416c)는 제1 승강부용 동력전달부(417)를 통해 연결된다. 이러한 제1 승강부용 동력전달부(417)는, 제1 승강부용 볼 스크류(416b)와 제1 승강부용 모터(416c)는, 제1 승강부용 모터(416c)에 연결되는 제1 승강부용 주동풀리(417a)와, 제1 승강부용 볼 스크류(416b)에 연결되는 제1 승강부용 종동풀리(417b)와, 1 승강부용 주동풀리와 제1 승강부용 종동풀리(417b)를 연결하는 제1 승강부용 전동벨트(417c)를 포함한다.
한편, 진공 흡착모듈(411)은 피검사물(미도시)을 진공 흡착한다. 이러한 진공 흡착모듈(411)은, 제1 승강부용 엘엠 블록(414)에 지지되고, 상호 이웃하게 배치되는 적어도 하나의 진공 흡착부(413)를 포함한다.
본 실시예에서 진공 흡착부(413)는 2개로 마련되며, 어느 하나의 진공 흡착부(413)는 클램핑된 트레이(T1)에서 피검사물(미도시)을 진공 흡착하며, 다른 하나의 진공 흡착부(413)는 검사위치에서 검사가 완료된 피검사물(미도시)을 진공 흡착한다.
이와 같이 본 실시예에 따른 인라인 핸들러는, 진공 흡착부(413)가 한 쌍으로 마련됨으로써, 한 쌍의 진공 흡착부(413)가 클램핑된 트레이(T1)에서 검사위치로의 1회 왕복만으로 검사위치로의 피검사물(미도시) 이송 및 검사완료된 피검사물(미도시)의 회수를 할 수 있고, 그에 따라 택타임(tact time)을 줄일 수 있다.
이러한 진공 흡착부(413)는, 피검사물(미도시)을 진공 흡착하는 흡착 헤드부(413a)와, 흡착 헤드부(413a)를 제1축 방향으로 승강시키는 제2 승강부(413b)를 포함한다.
제2 승강부(413b)는 앞서 설명한 제1 승강부(412)와 달리 한 쌍의 진공 흡착부(413) 전체를 제1축 방향으로 승강시키는 것이 아니라 하나의 진공 흡착부(413)를 개별적으로 제1축 방향으로 승강시킨다.
이러한 제2 승강부(413b)는, 흡착 헤드부(413a)가 결합되는 제2 승강부용 이동 블록(413e)과, 제2 승강부용 이동 블록(413e)에 연결되며 제2 승강부용 이동 블록(413e)의 이동을 가이드하는 제2 승강부용 가이드 레일(413f)과, 제2 승강부용 이동 블록(413e)을 이동시키는 제2 승강부용 구동부(413g)를 포함한다.
제2 승강부용 구동부(413g)는, 제2 승강부용 이동 블록(413e)을 이동시키는 제2 승강부용 실린더(413j, 413k)를 구비한다. 이러한 제2 승강부용 실린더(413j, 413k)는, 제1 승강부용 엘엠 블록(414)에 결합되는 제2 승강부용 실린더 몸체(413j)와, 제2 승강부용 이동 블록(413e)에 연결되며 제2 승강부용 실린더 몸체(413j)에 상대이동 가능하게 연결되는 제2 승강부용 실린더 로드(413k)를 포함한다.
본 실시예에서 제2 승강부용 이동 블록(413e)과 승강부용 실린더 로드는 충격 흡수부(413c)를 통해 연결된다. 이러한 충격 흡수부(413c)는 흡착 헤드부(413a)의 하강 시 흡착 헤드부(413a)와 피검사물(미도시), 트레이(T1) 또는 후술할 불량품용 트레이(T2) 등과의 충돌에 의한 충격을 흡수한다.
도 13은 도 12의 A' 부분의 확대도이다. 도 13을 참조하면, 상기 충격 흡수부(413c)는, 제2 승강부용 실린더 로드(413k)에 결합되며 제2 승강부용 이동 블록(413e)이 상대이동 가능하게 연결되는 가이드 샤프트부(413m)와, 가이드 샤프트부(413m)에 마련되며 제2 승강부용 이동 블록(413e)을 지지하는 플랜지부(413n)와, 가이드 샤프트부(413m)에 결합되며 플랜지부(413n)에 대하여 이격되게 배치되는 스토퍼부(413p)와, 스토퍼부(413p) 및 제2 승강부용 이동 블록(413e)에 지지되며 제2 승강부용 이동 블록(413e)을 플랜지부(413n)로 탄성바이어스하는 탄성체(413g)를 포함한다.
본 실시예에서 제1 승강부(412)는 트레이(T1), 검사위치 및 후술할 불량품용 트레이(T2) 사이의 높이차에 따른 진공 흡착부(413)의 제1축 방향 위치를 조정하고, 제2 승강부(413b)가 진공 흡착부(413)의 제1축 방향 위치가 조정된 상태에서 흡착 헤드부(413a)를 개별적으로 하강시킴으로써, 본 실시예에 따른 인라인 핸들러는 정확하고 안정적으로 피검사물(미도시)의 픽업할 수 있으며 마찬가지로 정확하고 안정적으로 피검사물(미도시)을 내려놓을 수 있다.
한편, 본 실시예에 따른 진공 흡착부(413)는, 흡착 헤드부(413a)를 제1축 방향을 회전 축심으로 하여 회전시키는 헤드 회전부(413d)를 더 포함한다.
헤드 회전부(413d)는 제2 승강부용 이동 블록(413e)에 지지되는 회전용 모터(413r)와, 회전용 모터(413r)에 연결되는 회전용 주동풀리(413s)와, 흡착 헤드부(413a)에 연결되는 회전용 종동풀리(413t)와, 회전용 주동풀리(413s)와 회전용 종동풀리(413t)를 연결하는 회전용 전동벨트(413u)를 포함한다.
이러한 헤드 회전부(413d)는 흡착 헤드부(413a)를 제1축 방향을 회전 축심으로 하여 회전시킴으로써, 피검사물(미도시)을 트레이(T1), 검사위치 또는 후술할 불량품용 트레이(T2)에 내려놓을 시 피검사물(미도시)을 정위치시킬 수 있다.
한편 본 실시예에 따른 인라인 핸들러는, 트레이 이송유닛(100)에 지지되고 트레이 이송유닛(100)의 트레이(T1)의 이송을 비간섭하는 위치에 배치되며 불량 피검사물(미도시)이 적재되는 불량품용 트레이(T2)를 지지하는 선반(500)을 더 포함한다.
한편 본 실시예에 따른 인라인 핸들러는, 제1 피검사물 이동모듈(410)에 지지되며, 트레이(T1)를 감지하는 감지센서(V)를 더 포함한다.
지금부터는 상술한 인라인 핸들러의 작동에 대하여 설명한다. 본 실시예에서는 2개의 이송부가 구비된 트레이 이송유닛이 설치된 것이 도시되어 있다.
도 14 내지 도 18은 본 발명의 제1실시예에 따른 인라인 핸들러의 작동상태도이다. 먼저, 도 14를 참조하면, 트레이 이송유닛(100)의 좌측의 이송부(110A)와 우측의 이송부(110B) 각각을 따라 검사가 필요한 피검사물(미도시)이 적재된 트레이(T11,T12)가 이송되면, 리프팅유닛(200)이 지지 플레이트(230)를 상승시켜 각각의 트레이(T11,T12)를 리프팅시킨다.
리프팅된 각각의 트레이(T11,T12)를 클램핑유닛(300)이 클램핑한다. 이때, 리프팅유닛(200)의 지지 플레이트(230)는 하강하여 후속하며 대기중인 다른 트레이의 이송을 간섭하지 않는다.
그리고, 도 15를 참조하면, 피검사물 이동유닛(400)은 좌측의 클램핑된 트레이(T11)에 적재된 피검사물(미도시)을 각 이송부의 외측방향으로 이동하여 검사위치로 이동시킨다. 이때, 피검사물 이동유닛(400)의 진공 흡착부(413)는 2개로 마련됨으로써, 어느 하나는 피검사물(미도시)을 검사위치로 공급하도록 사용되며, 다른 하나는 검사위치에서 검사완료된 피검사물(미도시)의 회수에 사용되도록 하여, 공급 및 회수를 동시에 진행할 수 있다.
이어, 검사위치에서 검사완료된 피검사물(미도시)이 양품일 경우 피검사물(미도시)은 해당 트레이인 좌측 트레이(T11)의 원래 위치에 적재된다.
반면에, 도 16을 참조하면, 검사된 피검사물(미도시)이 불량품인 경우에는, 피검사물 이동유닛(400)이 트레이 이송방향을 따라 소정의 이송부(TR)에 의해 이동하여 불량 피검사물(미도시)은 선반(500)에 지지된 불량품용 트레이(T21)에 적재된다. 이때, 불량품용 트레이(T21)는 사전에 미리 설치되어 있는 것이 바람직하다.
그리고, 도 17을 참조하면, 좌측 트레이(T11)의 피검사물의 검사가 완료되면, 좌측 트레이(T11)는 클램핑 해제된 후, 리프팅 유닛에 의해 하강되어 이송부에 의해 후속공정으로 이송된다.
이때, 피검사물 이동유닛(400)은 우측 이송부(110B)를 통해 대기중인 우측 트레이(T12)의 피검사물을 파지하여 검사위치로 이동시킨다.
이와 동시에, 좌측 이송부(110A)에 대기중인 좌측 트레이(T11)을 클램핑 유닛(300)에 의해 클램핑되도록 이송시킨다.
이와 같이 본 실시예에 따른 인라인 핸들러는, 이송부가 2열로 배치됨으로써 트레이의 이송에 필요한 별도의 대기시간 없이도 검사공정을 연속적으로 진행할 수 있게 된다.
또한, 리프팅유닛(200)에 의해 리프팅된 트레이를 트레이 이송유닛(100)에 의해 이송되는 다른 트레이에 비간섭되는 위치에서 클램핑유닛(300)이 클램핑함으로써, 피검사물(미도시)의 검사시 클램핑유닛(300)에 클램핑된 트레이가 트레이 이송유닛(100)에 의해 이송되는 다른 트레이의 이송을 간섭하지 않아 특정 검사공정에서 트레이의 이송이 적체되는 것을 방지할 수 있어 피검사물(미도시)의 전체 검사시간을 단축할 수 있다.
본 발명의 권리범위는 상술한 실시예에 한정되는 것이 아니라 첨부된 특허청구범위 내에서 다양한 형태의 실시예로 구현될 수 있다. 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 변형 가능한 다양한 범위까지 본 발명의 청구범위 기재의 범위 내에 있는 것으로 본다.
※도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명※
100: 트레이 이송유닛 110: 이송부
120: 컨베이어부 121: 컨베이어 벨트
122: 메인 롤러 123: 서브 롤러
130: 컨베이어 구동부 131: 회전축
132: 컨베이어 구동용 모터 140: 이송 프레임부
200: 리프팅유닛 210: 리프팅 프레임부
220: 리프팅 구동부 230: 지지 플레이트
240: 리프팅용 실린더 241: 리프팅용 실린더 본체
242: 리프팅용 실린더 로드 300: 클램핑유닛
310: 클램핑부 320: 클램핑 프레임부
321: 가이드공 330: 파지부
331: 가이드부 340: 파지부용 구동부
341: 가압 실린더 본체 342: 로드부
400: 피검사물 이동유닛 410: 제1 피검사물 이동모듈
411: 진공 흡착모듈 412: 제1 승강부
413: 진공 흡착부 413a: 흡착 헤드부
413b: 제2 승강부 413e: 제2 승강부용 이동 블록
413f: 제2 승강부용 가이드 레일 413g: 제2 승강부용 구동부
413j: 제2 승강부용 실린더 몸체 413k: 제2 승강부용 실린더 로드
413c: 충격 흡수부 413m: 가이드 샤프트부
413n: 플랜지부 413p: 스토퍼부
413g: 탄성체 413d: 헤드 회전부
413r: 회전용 모터 413s: 회전용 주동풀리
413t: 회전용 종동풀리 413u: 회전용 전동벨트
414: 제1 승강부용 엘엠 블록 415: 제1 승강부용 엘엠 가이드
416: 제1 승강부용 구동부 416a: 제1 승강부용 이동 너트
416b: 제1 승강부용 볼 스크류 416c: 제1 승강부용 모터
417: 제1 승강부용 동력전달부 417a: 제1 승강부용 주동풀리
417b: 제1 승강부용 종동풀리 417c: 제1 승강부용 전동벨트
420: 제2 피검사물 이동부
422: 제2 피검사물 이동부용 엘엠 가이드
423: 제2 피검사물 이동부용 구동부
425: 제2 피검사물 이동부용 볼 스크류
426: 제2 피검사물 이동부용 모터
430: 제3 피검사물 이동부
431: 제3 피검사물 이동부용 엘엠 블록
432: 제3 피검사물 이동부용 엘엠 가이드
433: 제3 피검사물 이동부용 구동부
435: 제3 피검사물 이동부용 볼 스크류
436: 제3 피검사물 이동부용 모터
440: 이동유닛용 프레임부
500: 선반

Claims (10)

  1. 피검사물이 적재된 트레이를 일 방향으로 이송하도록 마련되며, 상기 피검사물의 이송방향을 따라 이웃하여 나란하게 배치되는 복수 개의 이송부를 포함하는 트레이 이송유닛;
    상기 트레이 이송유닛을 통해 이송되는 트레이를 지지 플레이트에 의해 지지된 상태로 상하 방향으로 이동시키는 리프팅유닛;
    상기 트레이 이송유닛에 연결되고, 상기 트레이 이송유닛의 상기 트레이의 이송을 비간섭하는 위치에 배치되며, 상기 리프팅유닛을 통해 리프팅된 상기 트레이를 클램핑하는 클램핑유닛; 및,
    상기 트레이 이송유닛에 이웃하게 배치되며, 상기 클램핑유닛에 클램핑된 상기 트레이에 적재된 상기 피검사물을 검사위치로 이동시키는 피검사물 이동유닛;을 포함하고,
    상기 피검사물 이동유닛은, 클램핑된 상기 트레이에서 피검사물을 진공 흡착하는 진공 흡착부와 검사위치에서 피검사물을 진공 흡착하는 진공 흡착부를 별도로 구비하는 진공 흡착모듈을 포함하며, 진공 흡착된 상기 피검사물을 제1축 방향으로 승강시키는 제1 피검사물 이동부; 상기 제1 피검사물 이동부을 지지하며, 상기 제1 피검사물 이동부를 상기 제1축 방향에 교차하는 제2축 방향으로 이동시키는 제2 피검사물 이동부; 상기 제2 피검사물 이동부를 지지하며, 상기 제2 피검사물 이동부를 상기 제1축 방향 및 상기 제2축 방향에 교차하는 제3축 방향으로 이동시키는 제3 피검사물 이동부; 및, 상기 제3 피검사물 이동부를 지지하는 이동유닛용 프레임부;를 포함하며,
    상기 트레이는 상기 리프팅유닛에 의해 상향으로 이동시에는 지지 플레이트에 의해 지지된 트레이를 상기 이송부로부터 상향으로 이격되고, 상기 리프팅유닛에 의해 하향으로 이동시에는 트레이를 상기 이송부에 안착시는 인라인 핸들러.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 피검사물 이동유닛은, 어느 하나의 이송부에 클램핑되어 있는 트레이에 적재된 피검사물의 검사가 완료되어 이후 공정으로 이송시, 다른 하나의 이송부에 클램핑되어 있는 트레이의 피검사물을 검사위치로 이동시키는 인라인 핸들러.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 이송부는,
    이송 프레임부;
    상기 이송 프레임부에 지지되고, 상호 이격되게 배치되며, 상기 트레이를 이송하는 한 쌍의 컨베이어부; 및,
    상기 컨베이어부에 연결되며, 상기 컨베이어부를 구동시키는 컨베이어 구동부를 포함하는 인라인 핸들러.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 리프팅유닛은 상기 지지 플레이트를 상하 방향으로 승강시키는 리프팅용 실린더를 포함하는 인라인 핸들러.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 클램핑유닛은,
    상기 리프팅유닛을 중심으로 상호 대칭되게 배치되며, 상기 트레이를 클램핑하는 한 쌍의 클램핑부를 포함하는 인라인 핸들러.
  6. 삭제
  7. 삭제
  8. 제1항에 있어서,
    상기 트레이 이송유닛에 지지되고, 상기 트레이 이송유닛의 상기 트레이의 이송을 비간섭하는 위치에 배치되며, 불량 피검사물이 적재되는 불량품용 트레이를 지지하는 선반을 더 포함하는 인라인 핸들러.
  9. 피검사물이 적재된 복수 개의 트레이를 각각의 이송부를 통해 일 방향으로 이송시키는 단계;
    상기 복수 개의 이송부를 통해 이송된 트레이를 지지 플레이트에 지지된 상태로 상기 이송부와 이격되도록 지지 플레이트를 상기 이송부의 상향으로 이동시키는 단계;
    상향으로 이동된 트레이를 클램핑하도록 설치된 클램핑 유닛을 통해 클램핑하는 단계;
    상기 지지 플레이트를 하향으로 이동시켜 원위치시키는 단계;
    어느 하나의 클램핑 유닛에 의해 클램핑된 트레이의 피검사물을 피검사물 이동유닛을 통해 파지하여 검사위치로 이동시키는 동시에, 검사위치에서 검사가 완료된 피검사물을 회수하는 단계;
    피검사물이 양품인지 불량품인지를 검사하여, 상기 피검사물이 양품인 경우 해당 트레이의 원래 위치로 이동시키는 단계; 및,
    어느 하나의 클램핑된 트레이의 피검사물 검사가 완료되면 상기 어느 하나의 클램핑된 트레이를 클램핑 해제한 후 리프팅 유닛에 의해 하강시켜 다음 공정으로 이송시키고, 이와 동시에 피검사물 이동유닛은 다른 하나의 클램핑된 트레이의 피검사물을 검사위치로 이동시키는 단계;를 포함하는 인라인 핸들러를 이용한 검사방법.
  10. 제9항에 있어서,
    피검사물 검사시 상기 피검사물이 불량품인 경우, 불량품인 피검사물은 준비된 불량품 트레이에 별도로 적재하도록 이동시키는 인라인 핸들러를 이용한 검사방법.
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