WO2016204513A1 - 인라인 핸들러 및 이를 이용한 검사방법 - Google Patents

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WO2016204513A1
WO2016204513A1 PCT/KR2016/006360 KR2016006360W WO2016204513A1 WO 2016204513 A1 WO2016204513 A1 WO 2016204513A1 KR 2016006360 W KR2016006360 W KR 2016006360W WO 2016204513 A1 WO2016204513 A1 WO 2016204513A1
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unit
tray
inspected object
moving
lifting
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PCT/KR2016/006360
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이병대
최창원
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주식회사 이즈미디어
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    • B65G15/10—Conveyors having endless load-conveying surfaces, i.e. belts and like continuous members, to which tractive effort is transmitted by means other than endless driving elements of similar configuration comprising two or more co-operating endless surfaces with parallel longitudinal axes, or a multiplicity of parallel elements, e.g. ropes defining an endless surface
    • B65G15/12—Conveyors having endless load-conveying surfaces, i.e. belts and like continuous members, to which tractive effort is transmitted by means other than endless driving elements of similar configuration comprising two or more co-operating endless surfaces with parallel longitudinal axes, or a multiplicity of parallel elements, e.g. ropes defining an endless surface with two or more endless belts
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    • B65G47/00—Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
    • B65G47/74—Feeding, transfer, or discharging devices of particular kinds or types
    • B65G47/90—Devices for picking-up and depositing articles or materials
    • B65G47/91—Devices for picking-up and depositing articles or materials incorporating pneumatic, e.g. suction, grippers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03B—APPARATUS OR ARRANGEMENTS FOR TAKING PHOTOGRAPHS OR FOR PROJECTING OR VIEWING THEM; APPARATUS OR ARRANGEMENTS EMPLOYING ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ACCESSORIES THEREFOR
    • G03B43/00—Testing correct operation of photographic apparatus or parts thereof

Definitions

  • the present invention relates to an inline handler and an inspection method using the same, and more particularly, a plurality of trays for automatically transporting an inspection object to an inspection place for inspecting defects of an inspection object such as a camera module and the like.
  • the present invention relates to an inline handler and an inspection method using the same, by reducing the waiting time for inspection by ensuring that the dog is transferred and waiting.
  • Portable terminals such as mobile phones and PDAs perform additional functions such as watching movies and taking pictures as well as the functions of the terminals.
  • One of the things leading the development of such a portable terminal into multi-convergence is the camera module (CAMERA MODULE) is the most representative.
  • the camera module not only increases the resolution to higher pixels but also implements various additional functions such as auto focusing (AF) and optical zoom.
  • AF auto focusing
  • optical zoom optical zoom
  • a camera module mounted on a portable terminal is manufactured in a small size and manufactured using an image sensor such as a CCD or a CMOS as a main component.
  • the camera module collects an image of an object through an image sensor and stores the image on the memory of the device, and the stored data is displayed as an image through a display unit of the corresponding portable terminal.
  • Normal camera module is manufactured by COB (CHIP ON BOARD), COF (CHIP ON FLEXIBLE), etc., and after manufacturing, it performs a series of inspections on the abnormality of the finished camera module.
  • Examples of such a series of inspection methods include focusing inspection (focus adjustment inspection), near-resolution resolution inspection, far resolution inspection, foreign material and shading inspection, and the like.
  • an object of the present invention is to solve such a conventional problem, and to provide an inline handler and an inspection method using the same, which are capable of automatically transferring a tray loaded with an inspection object such as a camera module to an inspection place.
  • the tray on which the inspected object is loaded is transferred to a position where the inspected object moving unit grips the inspected object through a plurality of transfer parts, and after the inspection of the inspected object of one tray is completed, the inspected object of the other tray. It is to provide an inline handler and an inspection method using the same that can be continuously gripped and moved to ensure the continuity of the process.
  • a tray conveying unit is provided to convey the tray loaded with the inspected object in one direction, the tray conveying unit including a plurality of conveying portions arranged side by side along the conveying direction of the inspected object;
  • a lifting unit connected to the tray transfer unit and lifting the tray to be transferred through the tray transfer unit;
  • a clamping unit connected to the tray transfer unit and disposed at a position that does not interfere with the transfer of the tray of the tray transfer unit, and clamping the tray lifted through the lifting unit;
  • an inspecting object moving unit disposed adjacent to the tray conveying unit and moving the inspected object loaded in the tray clamped to the clamping unit to an inspecting position.
  • the inspected object moving unit when the inspection of the inspected object loaded in the tray clamped to any one of the transfer is completed and transferred to the subsequent process, the inspected object of the tray clamped to the other transport to the inspection position It is preferable to move.
  • the transfer unit a transfer frame unit; A pair of conveyor parts supported by the transport frame part and spaced apart from each other, and configured to transport the tray; And a conveyor driving unit connected to the conveyor unit and driving the conveyor unit.
  • the conveyor unit a conveyor belt for supporting the tray;
  • a main roller rotatably coupled to the transfer frame part and connected to the conveyor belt to rotate the conveyor belt;
  • a plurality of sub rollers rotatably coupled to the transfer frame part and supporting the conveyor belt.
  • the conveyor drive unit the rotating shaft coupled to the main roller; And a conveyor driving motor connected to the rotating shaft to rotate the rotating shaft.
  • the lifting unit the lifting frame portion coupled to the tray transfer unit; And a lifting driving part supported by the lifting frame part and connected to a lower wall of the tray to lift the tray.
  • the lifting drive unit the support plate for supporting the tray; And a lifting cylinder having a lifting cylinder body coupled to the lifting frame part, and a lifting cylinder rod coupled to the support plate and connected to the lifting cylinder body so as to be movable relative to the lifting cylinder body.
  • the clamping unit may be disposed symmetrically with respect to the lifting unit, and may include a pair of clamping units for clamping the tray.
  • the clamping unit may include a clamping frame unit supported by the transfer unit; A gripping part connected to the clamping frame part to be movable relative to the clamping frame part, the gripping part being moved in a direction approaching and spaced apart from the tray to hold and release the tray; And a gripping part driving part supported by the clamping frame part and connected to the gripping part to move the gripping part.
  • the clamping frame part may include a guide part provided in the gripping part and a guide hole for guiding movement of the gripping part.
  • the test object moving unit may further include: a first test object moving unit configured to perform vacuum suction to vacuum the test target, and to lift the test target which is vacuum adsorbed in a first axis direction; A second inspected object moving part supporting the first inspected object moving part and moving the first inspected object moving part in a second axial direction crossing the first axial direction; A third inspected object moving part supporting the second inspected object moving part and moving the second inspected object moving part in a third axial direction crossing the first axial direction and the second axial direction; And, it may include a frame unit for a mobile unit for supporting the third inspected object moving.
  • the third test object moving unit may further include a third block for moving the second test object to which the second test object moving unit is coupled (LM block); An LM guide for a third inspected object moving part connected to the EL block for the third inspected object moving part and guiding movement of the EL block for the third inspected object moving part; And a third inspector moving unit driving unit for moving the third block to be moved.
  • LM block third block for moving the second test object to which the second test object moving unit is coupled
  • An LM guide for a third inspected object moving part connected to the EL block for the third inspected object moving part and guiding movement of the EL block for the third inspected object moving part
  • a third inspector moving unit driving unit for moving the third block to be moved.
  • the third inspector moving unit driving unit may further include: a moving nut for the third inspector moving unit coupled to the EL block for the third inspector moving unit; A ball screw for a third inspected object moving part engaged with the movable nut for the third inspected object moving part; And a third inspector moving unit motor connected to the third inspector moving unit ball screw and rotating the third inspector moving unit ball screw.
  • the second object to be inspected may include: an LM block for moving the second object to be inspected to which the first object to be inspected is moved (LM block); An LM guide for the second inspected object moving part connected to the EL block for the second inspected object moving part and guiding a movement of the EL block for the second inspected object moving part; And a second inspector moving unit driving unit for moving the second block to be moved.
  • LM block for moving the second object to be inspected to which the first object to be inspected is moved
  • An LM guide for the second inspected object moving part connected to the EL block for the second inspected object moving part and guiding a movement of the EL block for the second inspected object moving part
  • a second inspector moving unit driving unit for moving the second block to be moved.
  • the second inspector moving unit driving unit may include a moving nut for the second inspector moving unit coupled to the EL block for the second inspector moving unit; A ball screw for a second inspected object moving part engaged with the movable nut for the second inspected object moving part; And a motor for a second inspected object moving part connected to the ball screw for the second inspected object moving part and rotating the ball screw for the second inspected object moving part.
  • the first inspection object moving unit may include: a vacuum adsorption module configured to vacuum adsorb the inspected object; And a first lifter which is supported by the second inspected object moving part and is connected to the vacuum suction module to lift the vacuum suction module in the first axial direction.
  • the first lift unit, the EL block for the first lift unit coupled to the vacuum adsorption module; A first elevating unit L guide for elevating movement of the first elevating unit EL block; And a driving unit for the first lifting unit for moving the first elevating unit L block.
  • the first lifting unit driving unit may include a first lifting unit moving nut coupled to the first lifting unit EL block; A first screw for elevating portion engaged with the moving nut for the first elevating portion for the L block; And a first lifting unit motor connected to the first elevating unit EL block, and rotating the first elevating unit EL block ball screw.
  • first elevating unit ball screw and the first elevating unit motor is connected via a first elevating unit power transmission unit, the first elevating unit power transmission unit, the first elevating unit main shaft connected to the first elevating unit motor Pulleys; A driven pulley for a first lift unit connected to the ball screw for the first lift unit; And a first elevating unit transmission belt connecting the first elevating unit driving pulley and the first elevating unit driven pulley.
  • the vacuum adsorption module may include at least one vacuum adsorption unit supported by the first elevating unit L block and disposed adjacent to each other.
  • the vacuum suction unit may include an suction head unit for vacuum suction of the inspected object; And a second elevating unit configured to elevate the suction head unit in the first axial direction.
  • the second lifting unit may include: a moving block for a second lifting unit to which the suction head unit is coupled; A guide rail for a second lifting unit connected to the moving block for the second lifting unit and guiding movement of the moving block for the second lifting unit; And, the second lifting unit for moving the second lifting unit may include a driving unit for moving.
  • the second lifting unit driving unit may be connected to the second lifting unit cylinder body coupled to the first lifting unit EL block, and the second lifting unit moving block and relatively movable to the second lifting unit cylinder body. And a second lift cylinder having a second lift cylinder rod connected thereto.
  • the second lifting unit moving block and the lifting unit cylinder rod is connected via a shock absorbing unit, the shock absorbing unit is coupled to the second lifting unit cylinder rod, the second lifting unit moving block is relatively movable.
  • Guide shaft portion that is connected to; A flange part provided on the guide shaft and supporting the moving block for the second lifting part; A stopper portion coupled to the guide shaft portion and spaced apart from the flange portion; And an elastic body supported by the stopper part and the moving block for the second lifting part and elastically biasing the moving block for the second lifting part to the flange part.
  • the vacuum suction unit may further include a head rotating unit configured to rotate the suction head unit with the first axis direction as the rotation axis.
  • the head head unit may include a rotating motor supported by the moving block for the second lifting unit; A rotating main pulley connected to the rotating motor; Rotating driven pulleys connected to the suction head; And, it may include a rotating electric belt for connecting the rotating main pulley and the rotating driven pulley.
  • the apparatus may further include a shelf supported by the tray transfer unit, disposed at a position that does not interfere with the transfer of the tray of the tray transfer unit, and supporting a tray for the defective article on which the defective inspection object is loaded.
  • the inspection method of the inspected object using the inline handler may include: transferring a plurality of trays on which the inspected object is loaded in one direction through respective conveying units; Lifting each tray conveyed through the plurality of conveying units through a lifting unit; Clamping through a clamping unit installed to clamp each of the trays lifted through the lifting unit; Holding the inspected object of the tray clamped by any one clamping unit through the inspected object moving unit to move the inspected object to the inspected position; Checking whether the inspected object is a good product or a defective product, and moving the inspected object to an original position of the tray when the inspected object is a good product; And, when the inspection of the inspected object of any one of the clamped tray is completed, the clamping of the one clamped tray is released and then lowered by the lifting unit to transfer to the next process, and at the same time the test object moving unit is clamping the other And moving the inspected object of the tray to the inspected position.
  • the inspected object when the inspected object is a defective product, it is preferable to move the inspected object which is a defective product so as to be separately loaded on the prepared defective tray.
  • an inline handler capable of automatically transferring a tray on which an inspection object such as a camera module is loaded to an inspection place, and an inspection method using the same.
  • the tray on which the inspected object is loaded is transferred to a position where the inspected object moving unit grips the inspected object through a plurality of transfer parts, and after the inspection of the inspected object of one tray is completed, the inspected object of the other tray.
  • an inline handler and inspection method using the same that can be continuously gripped and moved to ensure continuity of the process.
  • FIG. 1 is a schematic diagram of an inline handler according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is a detailed view of the tray transfer unit of FIG.
  • FIG. 3 is a detailed view of the lifting unit and the clamping unit of FIG.
  • FIG. 4 is a detailed view of the conveyor drive unit of FIG. 1.
  • FIG. 5 is a front view of FIG. 2.
  • FIG. 6 is a schematic view of the lifting unit of FIG. 3.
  • FIG. 7 is a perspective view of the clamping unit of FIG. 3.
  • FIG. 8 is a detailed view of the inspection object moving unit of FIG.
  • FIG. 9 is a detailed view of a third inspected object moving part of FIG. 8.
  • FIG. 10 is a detailed view of the second inspection object moving unit of FIG. 8.
  • FIG. 11 is a detailed view of a first inspected object moving part of FIG. 8.
  • FIG. 12 is an exploded perspective view of FIG. 11.
  • FIG. 13 is an enlarged view of a portion A ′ of FIG. 12.
  • the first axis direction is indicated by the Z-axis direction
  • the second axis direction by the Y-axis direction
  • the third axis direction by the X-axis direction.
  • FIG. 1 is a schematic diagram of an inline handler according to an embodiment of the present invention.
  • the inline handler includes a tray transfer unit 100 for transferring a tray T1 on which an object to be inspected (not shown) and a lifting unit 200 and a tray T1 for lifting the tray T1. It includes a clamping unit 300 for clamping and the inspected object moving unit 400 for moving the inspected object (not shown) of the clamped tray (T1).
  • in-line handler referring to Figure 1, to the tray transfer unit 100 and the tray transfer unit 100 for continuously transferring the tray (T1) loaded with the inspection object (not shown)
  • the lifting unit 200 connected to the tray transfer unit 100 and the lifting unit 200 for lifting the tray T1 to be transferred through the tray transfer unit 100 and the transfer of the tray T1 of the tray transfer unit 100
  • a clamping unit 300 disposed at an interfering position and clamping the tray T1 lifted through the lifting unit 200, and a tray disposed adjacent to the tray transfer unit 100 and clamped to the clamping unit 300
  • an inspection object moving unit 400 for moving the inspection object (not shown) loaded on the T1) to an inspection position (not shown).
  • the lifting unit 200, the clamping unit 300, and the inspection object moving unit 400 are provided along a plurality of tray transfer units 100 to allow various inspections to proceed simultaneously.
  • FIG. 2 is a detailed view of the tray transfer unit of FIG.
  • the tray transfer unit 100 continuously transfers a tray T1 on which an object to be inspected (not shown) is loaded.
  • the tray transfer unit 100 includes a plurality of transfer units 110 disposed adjacent to each other and independently transferring the tray T1.
  • the transfer unit 110 is provided in two, and thus the scope of the present invention is not limited, and the transfer unit 110 may be provided in various numbers.
  • FIG. 3 is a detailed view of the lifting unit and the clamping unit of FIG. 1
  • FIG. 4 is a detailed view of the conveyor driving unit of FIG. 1.
  • the transfer unit 110 may include a transfer frame unit 140, a pair of conveyor units supported by the transfer frame unit 140, spaced apart from each other, and transferring the tray T1. 120 and a conveyor driver 130 connected to the conveyor unit 120 and driving the conveyor unit 120.
  • the pair of conveyor units 120 are supported by the transfer frame unit 140 and are disposed to be spaced apart from each other and transfer the tray T1.
  • the conveyor unit 120 is rotatably coupled to the conveyor belt 121 supporting the tray T1 and the transfer frame unit 140 and connected to the conveyor belt 121 to rotate the conveyor belt 121.
  • a plurality of sub rollers 123 rotatably coupled to the main roller 122 and the transfer frame unit 140 and supporting the conveyor belt 121.
  • the conveyor driver 130 is connected to the main roller 122 and rotates the conveyor belt 121 by rotating the main roller 122.
  • the conveyor drive unit 130 includes a rotating shaft 131 coupled to the main roller 122 and a conveyor driving motor 132 connected to the rotating shaft 131 to rotate the rotating shaft 131.
  • FIG. 5 is a front view of FIG. 2
  • FIG. 6 is a schematic view of the lifting unit of FIG. 3. 5 and 6, the lifting unit 200 is connected to the tray transfer unit 100 and lifts the tray T1 transferred through the tray transfer unit 100 in the first axis direction.
  • the lifting unit 200 is supported by the lifting frame unit 210 and the lifting frame unit 210 coupled to the tray transfer unit 100 and connected to the lower wall of the tray T1 to lift and lower the tray T1.
  • Lifting driver 220 to include.
  • the lifting drive unit 220 is coupled to the support plate 230 for supporting the tray T1, the lifting cylinder body 241 and the support plate 230 coupled to the lifting frame unit 210, and the lifting cylinder body. And a lifting cylinder 240 having a lifting cylinder rod 242 connected movably with respect to 241.
  • the lifting unit 200 moves the tray T1 toward the clamping unit 300 by raising the support plate 230 through the lifting cylinder 240, and the clamping unit 300 clamps the tray T1. After the support plate 230 is lowered to avoid interference with the other tray (T1).
  • the lifting cylinder 240 is formed of a pneumatic or hydraulic cylinder.
  • FIG. 7 is a perspective view of the clamping unit of FIG. 3. 4 and 7, the clamping unit 300 is connected to the tray transfer unit 100 and is disposed at a position that does not interfere with the transfer of the tray T1 of the tray transfer unit 100, and the lifting unit The tray T1 lifted through the 200 is clamped.
  • the clamping unit 300 is arranged symmetrically with respect to the lifting unit 200, and includes a pair of clamping portions 310 for clamping the tray (T1).
  • the pair of clamping parts 310 are disposed to face each other and press the tray T1 lifted by the lifting unit 200 to clamp the tray T1.
  • the clamping part 310 is connected to the clamping frame part 320 and the clamping frame part 320 supported by the transfer unit so as to be movable relative to the tray T1 and moved in a direction approaching and spaced apart from the tray ( And a gripping part 330 for gripping and releasing gripping T1, and a gripping part driving part 340 supported by the clamping frame part 320 and connected to the gripping part 330 to move the gripping part 330.
  • the gripping portion 330 is provided with a rod-shaped guide portion 331, the clamping frame portion 320 is inserted into the guide portion 331 guide hole (guiding the movement of the gripping portion 330 ( 321 is formed.
  • the gripping driver 340 is supported by the clamping frame part 320 and connected to the gripping part 330 to move the gripping part 330.
  • the driving part 340 for the gripper is coupled to the pressing cylinder body 341 and the gripper 330 coupled to the clamping frame, and is connected to the pressing cylinder body 341 so as to be movable relative to the pressing cylinder body 341. Pressurization cylinders 341 and 342 are provided.
  • the inspected object moving unit 400 is disposed adjacent to the tray conveying unit 100 and includes an inspected object (not shown) loaded on the tray T1 clamped to the clamping unit 300.
  • the inspection position refers to a place where focusing inspection (focus adjustment inspection), near-resolution resolution inspection, far-resolution resolution inspection, foreign matter and shading inspection, etc. are performed, and individual inspection equipment is prepared at the inspection position.
  • the inspected object moving unit 400 may include a first suctioned object moving module 410 which vacuum-adsorbs an inspected object (not shown) and lifts a vacuum-adsorbed inspected object (not shown) in a first axis direction.
  • a second inspected object moving part 420 supporting the first inspected object moving module 410 and moving the first inspected object moving module 410 in a second axis direction crossing the first axis direction;
  • a third inspected object moving part 430 supporting the inspected object moving part 420 and moving the second inspected object moving part 420 in a third axis direction crossing the first and second axis directions; It includes a frame unit 440 for the mobile unit for supporting the third inspected object moving part 430.
  • FIG. 9 is a detailed view of a third inspected object moving part of FIG. 8.
  • the third inspected object moving part 430 supports the second inspected object moving part 420 and moves the second inspected object moving part 420 in the third axis direction.
  • the third inspected object moving part 430 includes an LM block 431 for a third inspected object moving part to which the second inspected object moving part 420 is coupled, and an LM block 431 for a third inspected object moving part. 3) the LM guide (LM guide) 432 for guiding the movement of the third block to be moved LM block 431 and the third block to be moved LM guide 431 And a driving unit 433 for the third inspected object moving unit.
  • LM guide LM guide
  • the third inspector moving unit driving unit 433 may include a moving nut for a third inspecting unit moving unit (not shown) coupled to the third block to test object moving unit LM block 431, and a moving nut for a third inspecting unit moving unit ( A third test piece which is connected to the third test piece moving part ball screw 435 and the third test piece moving part ball screw 435 which is engaged with the third test object moving part and rotates the ball screw 435 for the third test moving object. And a motor 436 for the object moving unit.
  • FIG. 10 is a detailed view of the second inspection object moving unit of FIG. 8.
  • the second inspected object moving part 420 supports the first inspected object moving module 410 and moves the first inspected object moving module 410 in the second axis direction.
  • the second inspected object moving part 420 includes an LM block (LM block, not shown) for the second inspected object moving part to which the first inspected object moving module 410 is coupled, and an EL block for the second inspected object moving part ( LM guide (422 guide) for the second inspected object moving part and guiding movement of the L block for the second inspected object moving part (not shown), and an LM block for the second inspected object moving part (not shown). And a driving part 423 for a second inspected object moving part to move the c).
  • LM block LM block
  • the second inspector moving part driving unit 423 includes a moving nut for a second inspector moving part (not shown) coupled to an L block for a second inspector moving part and a moving nut for a second inspector moving part.
  • a second screw connected to the second inspected object moving part and a second screwed object to be moved the ball screw 425 for the second inspected object moving part and the second screw to be rotated.
  • the motor 426 for a test object moving part is included.
  • FIG. 11 is a detailed view of a first inspected object moving part of FIG. 8.
  • the first inspected object moving module 410 lifts the vacuum-adsorbed inspected object (not shown) to vacuum-adsorb the inspected object (not shown) in the first axis direction.
  • the first inspected object moving module 410 is supported by a vacuum adsorption module 411 and a second inspected object moving part 420 for vacuum adsorption of an inspected object (not shown) and connected to the vacuum adsorption module 411. And a first elevating unit 412 for elevating the vacuum adsorption module 411 in the first axis direction.
  • the first elevating unit driver 416 may include a first elevating unit moving nut 416a coupled to the first elevating unit EL block 414, and a first elevating unit EL block 414.
  • the first lift is connected to the ball screw for the first lifting unit 416b and the first lifting unit EL block 414 to be engaged with the moving nut, and the first lift for rotating the ball screw for the EL block 414 for the first lifting unit
  • a bouillon motor 416c is included.
  • the first elevating unit power transmission unit 417 includes a first elevating unit main pulley 417a connected to the first elevating unit motor 416c and a first elevating unit connected to the first elevating unit ball screw 416b.
  • An auxiliary driven pulley 417b, a first elevating unit driving pulley and a first elevating unit driven pulley 417b includes a first elevating unit transmission belt 417c.
  • the vacuum adsorption module 411 vacuum sucks the inspected object (not shown).
  • the vacuum adsorption module 411 includes at least one vacuum adsorption part 413 supported by the first elevating part L block 414 and disposed adjacent to each other.
  • two vacuum adsorption units 413 are provided, and one of the vacuum adsorption units 413 vacuums up the inspected object (not shown) from the clamped tray T1 and the other vacuum adsorption unit 413 vacuum-absorbs the inspected object (not shown) in which the inspection was completed at the inspection position.
  • the inline handler is provided with a pair of vacuum adsorption units 413, so that the pair of vacuum adsorption units 413 is inspected only once from the clamped tray T1 to the inspection position. It is possible to transfer the inspected object (not shown) to the position and to recover the inspected object (not shown), thereby reducing the tact time.
  • the vacuum adsorption part 413 includes an adsorption head 413a for vacuum adsorption of the inspected object (not shown), and a second elevating part 413b for elevating the adsorption head 413a in the first axial direction. do.
  • the second lifting unit 413b does not lift the entire pair of vacuum adsorption units 413 in the first axial direction, but individually moves one vacuum suction unit 413 individually. Raise and lower in the first axis direction.
  • the second lifting unit 413b is connected to the second lifting unit moving block 413e to which the suction head 413a is coupled, and the second lifting unit moving block 413e, and the second lifting unit moving block 413e. And a second elevating unit guide rail 413f for guiding the movement, and a second elevating unit driver 413g for moving the second elevating unit moving block 413e.
  • the 2nd lifting part drive part 413g is equipped with the 2nd lifting part cylinders 413j and 413k which move the 2nd lifting part moving block 413e.
  • the second lifting unit cylinders 413j and 413k are connected to the second lifting unit cylinder body 413j coupled to the first lifting unit EL block 414 and connected to the second lifting unit moving block 413e.
  • a second lift cylinder rod 413k connected to the lift cylinder body 413j so as to be movable relative to the lift cylinder.
  • the second lifting unit moving block 413e and the lifting unit cylinder rod are connected via the shock absorbing unit 413c.
  • the shock absorbing part 413c is impacted by a collision between the suction head 413a and the inspected object (not shown), the tray T1, or the tray T2 for defective products described later when the suction head 413a is lowered. Absorb it.
  • FIG. 13 is an enlarged view of a portion A ′ of FIG. 12.
  • the shock absorbing part 413c is coupled to a cylinder rod 413k for a second lifting part, and a guide shaft part 413m to which the second lifting part moving block 413e is connected in a relative movement.
  • a flange portion 413n provided at the guide shaft portion 413m and supporting the moving block 413e for the second lifting portion, and a stopper coupled to the guide shaft portion 413m and spaced apart from the flange portion 413n.
  • an elastic body 413g supported by the stopper portion 413p and the moving block 413e for the second lifting portion and elastically biasing the moving block 413e for the second lifting portion to the flange portion 413n.
  • the first lifting unit 412 adjusts the first axial position of the vacuum suction unit 413 according to the height difference between the tray T1, the inspection position, and the tray T2 for defective products, which will be described later.
  • the second lifting unit 413b individually lowers the adsorption head 413a while the first axial position of the vacuum adsorption unit 413 is adjusted, whereby the inline handler according to the present embodiment is accurately and stably.
  • the object to be inspected (not shown) can be picked up and the object to be inspected (not shown) can be put down accurately and stably.
  • the vacuum suction part 413 further includes a head rotating part 413d for rotating the suction head part 413a with the first axis direction as the rotation axis center.
  • the head rotating part 413d includes a rotating motor 413r supported by the second lifting unit moving block 413e, a rotating main pulley 413s connected to the rotating motor 413r, and an adsorption head part 413a.
  • Rotating driven pulley 413t connected to the rotational rotation belt 413u for connecting the main rotational pulley 413s and the rotational driven pulley 413t.
  • the head rotating portion 413d rotates the suction head portion 413a with the first axis direction as the rotation axis to rotate the inspected object (not shown) to the tray T1, the inspection position, or the tray T2 for defective items to be described later.
  • the test object (not shown) may be placed in position.
  • the in-line handler is supported at the tray transfer unit 100 and is disposed at a position that does not interfere with the transfer of the tray T1 of the tray transfer unit 100, and a bad inspected object (not shown) is loaded. It further comprises a shelf 500 for supporting the tray for defectives (T2).
  • the inline handler may be supported by the first inspected object moving module 410 and further includes a detection sensor V for detecting the tray T1.
  • the tray transfer unit is provided with two transfer units.
  • FIG. 14 to 17 are operation state diagrams of the inline handler according to the first embodiment of the present invention.
  • the trays T11 and T12 loaded with the inspected object (not shown) that need to be inspected along each of the transfer part 110A on the left side and the transfer part 110B on the right side of the tray transfer unit 100 are provided.
  • the lifting unit 200 lifts the support plates 230 to lift the respective trays T11 and T12.
  • the clamping unit 300 clamps each of the lifted trays T11 and T12. At this time, the supporting plate 230 of the lifting unit 200 is lowered and subsequent and does not interfere with the transfer of other trays waiting.
  • the inspected object moving unit 400 moves the inspected object (not shown) loaded on the clamped tray T11 on the left side to the outside of each conveying part to move to the inspected position.
  • the vacuum suction unit 413 of the inspected object moving unit 400 is provided with two, one of which is used to supply the inspected object (not shown) to the inspected position, the other inspected object at the inspected position It can be used for recovery (not shown), so that supply and recovery can be performed simultaneously.
  • the inspected object (not shown) completed at the inspection position is a good product
  • the inspected object (not shown) is loaded at the original position of the left tray T11 corresponding to the tray.
  • the inspected object moving unit 400 is moved by a predetermined conveying unit TR along the tray conveying direction so that the inspected object ( Not shown) is stacked in the tray for defectives (T21) supported on the shelf (500). At this time, it is preferable that the defective product tray T21 is provided in advance.
  • the left tray T11 is released by clamping and then lowered by the lifting unit and transferred to the subsequent process by the transfer unit.
  • the inspected object moving unit 400 grips the inspected object of the right side tray T12 that is waiting through the right conveying part 110B and moves to the inspected position.
  • the left tray T11 which is waiting on the left conveying unit 110A, is conveyed to be clamped by the clamping unit 300.
  • the inline handler according to the present exemplary embodiment can continuously proceed the inspection process without the additional waiting time required for the transfer of the tray by arranging the transfer units in two rows.
  • the clamping unit 300 is clamped at a position where the tray lifted by the lifting unit 200 is not interfered with another tray conveyed by the tray transfer unit 100, thereby clamping the inspection object (not shown).
  • the tray clamped to the unit 300 does not interfere with the transfer of other trays conveyed by the tray transfer unit 100, thereby preventing stacking of the trays in a specific inspection process, thereby preventing the entire stack of inspected objects (not shown). Inspection time can be shortened.

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Abstract

본 발명은 인라인 핸들러 및 이를 이용한 검사방법에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 인라인 핸들러는 피검사물이 적재된 트레이를 일 방향으로 이송하도록 마련되며, 상기 피검사물의 이송방향을 따라 이웃하여 나란하게 배치되는 복수 개의 이송부를 포함하는 트레이 이송유닛; 상기 트레이 이송유닛에 연결되며, 상기 트레이 이송유닛을 통해 이송되는 상기 트레이를 리프팅시키는 리프팅유닛; 상기 트레이 이송유닛에 연결되고, 상기 트레이 이송유닛의 상기 트레이의 이송을 비간섭하는 위치에 배치되며, 상기 리프팅유닛을 통해 리프팅된 상기 트레이를 클램핑하는 클램핑유닛; 및, 상기 트레이 이송유닛에 이웃하게 배치되며, 상기 클램핑유닛에 클램핑된 상기 트레이에 적재된 상기 피검사물을 검사위치로 이동시키는 피검사물 이동유닛을 포함할 수 있다.

Description

인라인 핸들러 및 이를 이용한 검사방법
본 발명은 인라인 핸들러 및 이를 이용한 검사방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 카메라 모듈 등의 피검사물의 불량 등을 검사하기 위한 검사장소로 자동으로 이송할 수 있으며, 피검사물을 이송하는 트레이를 복수 개 이송시켜 대기하도록 함으로써 검사를 위해 대기하는 시간을 줄이고, 검사공정의 연속성을 확보할 수 있는 인라인 핸들러 및 이를 이용한 검사방법에 관한 것이다.
휴대폰, PDA 등과 같은 휴대용 단말기는 단말기 본연의 기능 뿐만 아니라, 영화감상, 사진촬영 등의 부가적인 기능을 수행하고 있다. 이러한 휴대용 단말기의 멀티 컨버전스로의 전개를 이끌어 가는 것 중의 하나로서 카메라 모듈(CAMERA MODULE)이 가장 대표적이라 할 수 있다.
이러한 카메라 모듈은 해상도가 점차 고화소로 높아질 뿐만 아니라, 오토 포커싱(AF), 광학 줌(OPTICAL ZOOM) 등과 같은 다양한 부가 기능을 추가적으로 구현하고 있다.
한편, 휴대용 단말기에 장착되는 카메라 모듈(CCM: COMPACT CAMERA MOUDULE)은 소형으로 제작되고, CCD나 CMOS 등의 이미지센서를 주요 부품으로 하여 제작되고 있다.
여기서 카메라 모듈은 이미지센서를 통해 사물의 이미지를 집광시켜 기기내의 메모리상에 데이터로 저장되고, 저장된 데이터는 해당 휴대용 단말기의 표시부를 통해 영상으로 디스플레이한다.
통상의 카메라 모듈은 COB(CHIP ON BOARD), COF(CHIP ON FLEXIBLE) 등의 방식으로 제작되며, 제작 후에 카메라 모듈 완성품의 이상 유무에 대한 일련의 검사를 진행하여 검사에 이상이 없으면 출하되게 되는데, 이러한 일련의 검사 방법들의 예로는 포커싱 검사(초점 조정 검사), 근거리 해상도 검사, 원거리 해상도 검사, 이물 및 쉐이딩(Shading) 검사 등등 다양하게 있다.
그런데 이러한 여러 가지의 검사는 한 장소에서 수행되기 어려우므로, 카메라 모듈이 복수의 검사장소로 이동되는 과정에서 많은 인력과 시간이 필요하고, 특정 검사공정에서 검사시간이 많이 소요되는 경우 미검사된 카메라 모듈이 특정 검사를 기다리며 대기상태로 있어야 해서 전체 검사공정의 시간이 길어지는 문제점이 있다.
선행기술문헌으로서 대한민국 등록특허공보 제10-0551994호가 있다.
따라서 본 발명의 목적은 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 카메라 모듈과 같은 피검사물이 적재된 트레이를 자동으로 검사장소로 이송이 가능한 인라인 핸들러 및 이를 이용한 검사방법을 제공함에 있다.
또한, 피검사물이 적재되는 트레이를 복수 개의 이송부를 통해 이송시켜 피검사물 이동유닛이 피검사물을 파지하는 위치에 위치시켜, 어느 하나의 트레이의 피검사물의 검사가 완료된 후 다른 하나의 트레이의 피검사물을 연속적으로 파지 및 이동 가능하여 공정의 연속성을 확보할 수 있는 인라인 핸들러 및 이를 이용한 검사방법을 제공함에 있다.
상기 과제는, 본 발명에 따라, 피검사물이 적재된 트레이를 일 방향으로 이송하도록 마련되며, 상기 피검사물의 이송방향을 따라 이웃하여 나란하게 배치되는 복수 개의 이송부를 포함하는 트레이 이송유닛; 상기 트레이 이송유닛에 연결되며, 상기 트레이 이송유닛을 통해 이송되는 상기 트레이를 리프팅시키는 리프팅유닛; 상기 트레이 이송유닛에 연결되고, 상기 트레이 이송유닛의 상기 트레이의 이송을 비간섭하는 위치에 배치되며, 상기 리프팅유닛을 통해 리프팅된 상기 트레이를 클램핑하는 클램핑유닛; 및 상기 트레이 이송유닛에 이웃하게 배치되며, 상기 클램핑유닛에 클램핑된 상기 트레이에 적재된 상기 피검사물을 검사위치로 이동시키는 피검사물 이동유닛을 포함하는 인라인 핸들러에 의해 달성될 수 있다.
여기서, 상기 피검사물 이동유닛은, 어느 하나의 이송부에 클램핑되어 있는 트레이에 적재된 피검사물의 검사가 완료되어 이후 공정으로 이송시, 다른 하나의 이송부에 클램핑되어 있는 트레이의 피검사물을 검사위치로 이동시키는 것이 바람직하다.
또한, 상기 이송부는, 이송 프레임부; 상기 이송 프레임부에 지지되고, 상호 이격되게 배치되며, 상기 트레이를 이송하는 한 쌍의 컨베이어부; 및, 상기 컨베이어부에 연결되며, 상기 컨베이어부를 구동시키는 컨베이어 구동부를 포함할 수 있다.
또한, 상기 컨베이어부는, 상기 트레이를 지지하는 컨베이어 벨트; 상기 이송 프레임부에 회전 가능하게 결합되며, 상기 컨베이어 벨트에 연결되어 상기 컨베이어 벨트를 회전시키는 메인 롤러; 및, 상기 이송 프레임부에 회전 가능하게 결합되며, 상기 컨베이어 벨트를 지지하는 복수의 서브 롤러를 포함할 수 있다.
또한, 상기 컨베이어 구동부는, 상기 메인 롤러에 결합되는 회전축; 및, 상기 회전축에 연결되며, 상기 회전축을 회전시키는 컨베이어 구동용 모터를 포함할 수 있다.
또한, 상기 리프팅유닛은, 상기 트레이 이송유닛에 결합되는 리프팅 프레임부; 및, 상기 리프팅 프레임부에 지지되며, 상기 트레이의 하측벽에 연결되어 상기 트레이를 승강시키는 리프팅 구동부를 포함할 수 있다.
또한, 상기 리프팅 구동부는, 상기 트레이를 지지하는 지지 플레이트; 및, 상기 리프팅 프레임부에 결합되는 리프팅용 실린더 본체와, 상기 지지 플레이트에 결합되며 상기 리프팅용 실린더 본체에 대하여 상대이동 가능하게 연결되는 리프팅용 실린더 로드 구비하는 리프팅용 실린더를 포함할 수 있다.
또한, 상기 클램핑유닛은, 상기 리프팅유닛을 중심으로 상호 대칭되게 배치되며, 상기 트레이를 클램핑하는 한 쌍의 클램핑부를 포함할 수 있다.
또한, 상기 클램핑부는, 상기 이송유닛에 지지되는 클램핑 프레임부; 상기 클램핑 프레임부에 상대이동 가능하게 연결되며, 상기 트레이에 대하여 접근 및 이격되는 방향으로 이동되어 상기 트레이를 파지 및 파지 해제하는 파지부; 및, 상기 클램핑 프레임부에 지지되며, 상기 파지부에 연결되어 상기 파지부를 이동시키는 파지부용 구동부를 포함할 수 있다.
또한, 상기 클램핑 프레임부에는 상기 파지부에 마련되는 가이드부가 삽입되며 상기 파지부의 이동을 안내하는 가이드공이 형성될 수 있다.
또한, 상기 피검사물 이동유닛은 상기 피검사물을 진공 흡착하는 진공 흡착하며, 진공 흡착된 상기 피검사물을 제1축 방향으로 승강시키는 제1 피검사물 이동부; 상기 제1 피검사물 이동부을 지지하며, 상기 제1 피검사물 이동부을 상기 제1축 방향에 교차하는 제2축 방향으로 이동시키는 제2 피검사물 이동부; 상기 제2 피검사물 이동부를 지지하며, 상기 제2 피검사물 이동부를 상기 제1축 방향 및 상기 제2축 방향에 교차하는 제3축 방향으로 이동시키는 제3 피검사물 이동부; 및, 상기 제3 피검사물 이동부를 지지하는 이동유닛용 프레임부를 포함할 수 있다.
또한, 상기 제3 피검사물 이동부는 상기 제2 피검사물 이동부가 결합되는 제3 피검사물 이동부용 엘엠 블록(LM block); 상기 제3 피검사물 이동부용 엘엠 블록에 연결되며, 상기 제3 피검사물 이동부용 엘엠 블록의 이동을 안내하는 제3 피검사물 이동부용 엘엠 가이드(LM guide); 및, 상기 제3 피검사물 이동부용 엘엠 블록을 이동시키는 제3 피검사물 이동부용 구동부를 포함할 수 있다.
또한, 상기 제3 피검사물 이동부용 구동부는 상기 제3 피검사물 이동부용 엘엠 블록에 결합되는 제3 피검사물 이동부용 이동 너트; 상기 제3 피검사물 이동부용 이동 너트에 치합되는 제3 피검사물 이동부용 볼 스크류; 및, 상기 제3 피검사물 이동부용 볼 스크류에 연결되며, 상기 제3 피검사물 이동부용 볼 스크류를 회전시키는 제3 피검사물 이동부용 모터를 포함할 수 있다.
또한, 상기 제2 피검사물 이동부는 상기 제1 피검사물 이동부이 결합되는 제2 피검사물 이동부용 엘엠 블록(LM block); 상기 제2 피검사물 이동부용 엘엠 블록에 연결되며, 상기 제2 피검사물 이동부용 엘엠 블록의 이동을 안내하는 제2 피검사물 이동부용 엘엠 가이드(LM guide); 및, 상기 제2 피검사물 이동부용 엘엠 블록을 이동시키는 제2 피검사물 이동부용 구동부를 포함할 수 있다.
또한, 상기 제2 피검사물 이동부용 구동부는 상기 제2 피검사물 이동부용 엘엠 블록에 결합되는 제2 피검사물 이동부용 이동 너트; 상기 제2 피검사물 이동부용 이동 너트에 치합되는 제2 피검사물 이동부용 볼 스크류; 및, 상기 제2 피검사물 이동부용 볼 스크류에 연결되며, 상기 제2 피검사물 이동부용 볼 스크류를 회전시키는 제2 피검사물 이동부용 모터를 포함할 수 있다.
또한, 상기 제1 피검사물 이동부은 상기 피검사물을 진공 흡착하는 진공 흡착모듈; 및, 상기 제2 피검사물 이동부에 지지되며, 상기 진공 흡착모듈에 연결되어 상기 진공 흡착모듈을 상기 제1축 방향으로 승강시키는 제1 승강부를 포함할 수 있다.
또한, 상기 제1 승강부는, 상기 진공 흡착모듈이 결합되는 제1 승강부용 엘엠 블록; 상기 제1 승강부용 엘엠 블록의 승강 이동을 가이드하는 제1 승강부용 엘엠 가이드; 및, 상기 제1 승강부용 엘엠 블록을 이동시키는 상기 제1 승강부용 구동부를 포함할 수 있다.
또한, 상기 제1 승강부용 구동부는, 상기 제1 승강부용 엘엠 블록에 결합되는 제1 승강부용 이동 너트; 상기 제1 승강부용 엘엠 블록용 이동 너트에 치합되는 제1 승강부용 볼 스크류; 및, 상기 제1 승강부용 엘엠 블록용 볼 스크류에 연결되며, 상기 제1 승강부용 엘엠 블록용 볼 스크류를 회전시키는 제1 승강부용 모터를 포함할 수 있다.
또한, 상기 제1 승강부용 볼 스크류와 제1 승강부용 모터는 제1 승강부용 동력전달부를 통해 연결되며, 상기 제1 승강부용 동력전달부는, 상기 제1 승강부용 모터에 연결되는 제1 승강부용 주동풀리; 상기 제1 승강부용 볼 스크류에 연결되는 제1 승강부용 종동풀리; 및, 상기 1 승강부용 주동풀리와 상기 제1 승강부용 종동풀리를 연결하는 제1 승강부용 전동벨트를 포함할 수 있다.
또한, 상기 진공 흡착모듈은, 상기 제1 승강부용 엘엠 블록에 지지되고, 상호 이웃하게 배치되는 적어도 하나의 진공 흡착부를 포함할 수 있다.
또한, 상기 진공 흡착부는, 상기 피검사물을 진공 흡착하는 흡착 헤드부; 및, 상기 흡착 헤드부를 상기 제1축 방향으로 승강시키는 제2 승강부를 포함할 수 있다.
또한, 상기 제2 승강부는, 상기 흡착 헤드부가 결합되는 제2 승강부용 이동 블록; 상기 제2 승강부용 이동 블록에 연결되며, 상기 제2 승강부용 이동 블록의 이동을 가이드하는 제2 승강부용 가이드 레일; 및, 상기 제2 승강부용 이동 블록을 이동시키는 제2 승강부용 구동부를 포함할 수 있다.
또한, 상기 제2 승강부용 구동부는, 상기 제1 승강부용 엘엠 블록에 결합되는 제2 승강부용 실린더 몸체와, 상기 제2 승강부용 이동 블록에 연결되며 상기 제2 승강부용 실린더 몸체에 상대이동 가능하게 연결되는 제2 승강부용 실린더 로드를 구비하는 제2 승강부용 실린더를 포함할 수 있다.
또한, 상기 제2 승강부용 이동 블록과 상기 승강부용 실린더 로드는 충격 흡수부를 통해 연결되며, 상기 충격 흡수부는, 상기 제2 승강부용 실린더 로드에 결합되며, 상기 제2 승강부용 이동 블록이 상대이동 가능하게 연결되는 가이드 샤프트부; 상기 가이드 샤프트에 마련되며, 상기 제2 승강부용 이동 블록을 지지하는 플랜지부; 상기 가이드 샤프트부에 결합되며, 상기 플랜지부에 대하여 이격되게 배치되는 스토퍼부; 및, 상기 스토퍼부 및 상기 제2 승강부용 이동 블록에 지지되며, 상기 제2 승강부용 이동 블록을 상기 플랜지부로 탄성바이어스하는 탄성체를 포함할 수 있다.
또한, 상기 진공 흡착부는, 상기 흡착 헤드부를 제1축 방향을 회전 축심으로 하여 회전시키는 헤드 회전부를 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 헤드 헤드부는, 상기 제2 승강부용 이동 블록에 지지되는 회전용 모터; 상기 회전용 모터에 연결되는 회전용 주동풀리; 상기 흡착 헤드부에 연결되는 회전용 종동풀리; 및, 상기 회전용 주동풀리와 상기 회전용 종동풀리를 연결하는 회전용 전동벨트를 포함할 수 있다.
또한, 상기 트레이 이송유닛에 지지되고, 상기 트레이 이송유닛의 상기 트레이의 이송을 비간섭하는 위치에 배치되며, 불량 피검사물이 적재되는 불량품용 트레이를 지지하는 선반을 더 포함할 수 있다.
상기 인라인 핸들러를 이용한 피검사물의 검사방법은, 피검사물이 적재된 복수 개의 트레이를 각각의 이송부를 통해 일 방향으로 이송시키는 단계; 상기 복수 개의 이송부를 통해 이송되는 각각의 트레이를 리프팅 유닛을 통해 리프팅시키는 단계; 상기 리프팅유닛을 통해 리프팅된 트레이를 각각 클램핑하도록 설치된 클램핑 유닛을 통해 클램핑하는 단계; 어느 하나의 클램핑 유닛에 의해 클램핑된 트레이의 피검사물을 피검사물 이동유닛을 통해 파지하여 검사위치로 이동시키는 단계; 피검사물이 양품인지 불량품인지를 검사하여, 상기 피검사물이 양품인 경우 해당 트레이의 원래 위치로 이동시키는 단계; 및, 어느 하나의 클램핑된 트레이의 피검사물 검사가 완료되면 상기 어느 하나의 클램핑된 트레이를 클램핑 해제한 후 리프팅 유닛에 의해 하강시켜 다음 공정으로 이송시키고, 이와 동시에 피검사물 이동유닛은 다른 하나의 클램핑된 트레이의 피검사물을 검사위치로 이동시키는 단계;를 포함할 수 있다.
또한, 피검사물 검사시 상기 피검사물이 불량품인 경우, 불량품인 피검사물은 준비된 불량품 트레이에 별도로 적재하도록 이동시키는 것이 바람직하다.
본 발명에 따르면, 카메라 모듈과 같은 피검사물이 적재된 트레이를 자동으로 검사장소로 이송이 가능한 인라인 핸들러 및 이를 이용한 검사방법이 제공된다.
또한, 피검사물이 적재되는 트레이를 복수 개의 이송부를 통해 이송시켜 피검사물 이동유닛이 피검사물을 파지하는 위치에 위치시켜, 어느 하나의 트레이의 피검사물의 검사가 완료된 후 다른 하나의 트레이의 피검사물을 연속적으로 파지 및 이동 가능하여 공정의 연속성을 확보할 수 있는 인라인 핸들러 및 이를 이용한 검사방법이 제공된다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 인라인 핸들러의 개략도이다.
도 2는 도 1의 트레이 이송유닛의 상세도이다.
도 3은 도 1의 리프팅유닛 및 클램핑유닛의 상세도이다.
도 4는 도 1의 컨베이어 구동부의 상세도이다.
도 5는 도 2의 정면도이다.
도 6은 도 3의 리프팅유닛의 개략도이다.
도 7은 도 3의 클램핑유닛의 사시도이다.
도 8은 도 1의 피검사물 이동유닛의 상세도이다.
도 9는 도 8의 제3 피검사물 이동부의 상세도이다.
도 10은 도 8의 제2 피검사물 이동부의 상세도이다.
도 11은 도 8의 제1 피검사물 이동부의 상세도이다.
도 12는 도 11의 분해사시도이다.
도 13은 도 12의 A' 부분의 확대도이다.
도 14 내지 도 17은 본 발명의 제1실시예에 따른 인라인 핸들러의 작동상태도이다.
설명에 앞서, 여러 실시예에 있어서, 동일한 구성을 가지는 구성요소에 대해서는 동일한 부호를 사용하여 대표적으로 제1실시예에서 설명하고, 그 외의 실시예에서는 제1실시예와 다른 구성에 대해서 설명하기로 한다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 제1실시예에 따른 인라인 핸들러에 대하여 상세하게 설명한다.
이하의 도면에서 제1축 방향은 Z축 방향, 제2축 방향은 Y축 방향, 제3축 방향은 X축 방향으로 표시한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 인라인 핸들러의 개략도이다.
본 실시예에 따른 인라인 핸들러는 피검사물(미도시)이 적재된 트레이(T1)를 이송하는 트레이 이송유닛(100)과 트레이(T1)를 리프팅시키는 리프팅유닛(200)과 리프팅된 트레이(T1)를 클램핑하는 클램핑유닛(300) 및 클램핑된 트레이(T1)의 피검사물(미도시)을 이동시키는 피검사물 이동유닛(400)을 포함한다.
구체적으로 본 실시예에 따른 인라인 핸들러는, 도 1을 참조하면, 피검사물(미도시)이 적재된 트레이(T1)를 연속적으로 이송하는 트레이 이송유닛(100)과, 트레이 이송유닛(100)에 연결되며 트레이 이송유닛(100)을 통해 이송되는 트레이(T1)를 리프팅시키는 리프팅유닛(200)과, 트레이 이송유닛(100)에 연결되고 트레이 이송유닛(100)의 트레이(T1)의 이송을 비간섭하는 위치에 배치되며 리프팅유닛(200)을 통해 리프팅된 트레이(T1)를 클램핑하는 클램핑유닛(300)과, 트레이 이송유닛(100)에 이웃하게 배치되며 클램핑유닛(300)에 클램핑된 트레이(T1)에 적재된 피검사물(미도시)을 검사위치(미도시)로 이동시키는 피검사물 이동유닛(400)을 포함한다.
본 실시예에서 리프팅유닛(200), 클램핑유닛(300) 및 피검사물 이동유닛(400)은 트레이 이송유닛(100)을 따라 복수로 마련되어 다양한 검사가 동시에 진행될 수 있도록 한다.
도 2는 도 1의 트레이 이송유닛의 상세도이다. 도 2를 참조하면, 트레이 이송유닛(100)은 피검사물(미도시)이 적재된 트레이(T1)를 연속적으로 이송한다. 이러한 트레이 이송유닛(100)은, 상호 이웃하게 배치되며 독립적으로 트레이(T1)를 이송하는 복수의 이송부(110)를 포함한다. 본 실시예에서 이송부(110)는 2개로 마련되는데, 이에 본 발명의 권리범위가 한정되지 않으며 이송부(110)는 다양한 개수로 마련될 수 있다.
도 3은 도 1의 리프팅유닛 및 클램핑유닛의 상세도이고, 도 4는 도 1의 컨베이어 구동부의 상세도이다. 도 3 및 도 4를 참조하면, 상기 이송부(110)는, 이송 프레임부(140)과, 이송 프레임부(140)에 지지되고 상호 이격되게 배치되며 트레이(T1)를 이송하는 한 쌍의 컨베이어부(120)와, 컨베이어부(120)에 연결되며 컨베이어부(120)를 구동시키는 컨베이어 구동부(130)를 포함한다.
본 실시예에서 한 쌍의 컨베이어부(120)는, 이송 프레임부(140)에 지지되고 상호 이격되게 배치되며 트레이(T1)를 이송한다. 이러한 컨베이어부(120)는, 트레이(T1)를 지지하는 컨베이어 벨트(121)와, 이송 프레임부(140)에 회전 가능하게 결합되며 컨베이어 벨트(121)에 연결되어 컨베이어 벨트(121)를 회전시키는 메인 롤러(122)와, 이송 프레임부(140)에 회전 가능하게 결합되며 컨베이어 벨트(121)를 지지하는 복수의 서브 롤러(123)를 포함한다.
컨베이어 구동부(130)는 메인 롤러(122)에 연결되며 메인 롤러(122)를 회전시킴으로써 컨베이어 벨트(121)를 회전시킨다. 이러한 컨베이어 구동부(130)는, 메인 롤러(122)에 결합되는 회전축(131)과, 회전축(131)에 연결되며 회전축(131)을 회전시키는 컨베이어 구동용 모터(132)를 포함한다.
도 5는 도 2의 정면도이고, 도 6은 도 3의 리프팅유닛의 개략도이다. 도 5 및 도 6을 참조하면, 상기 리프팅유닛(200)은, 트레이 이송유닛(100)에 연결되며 트레이 이송유닛(100)을 통해 이송되는 트레이(T1)를 제1축 방향으로 리프팅시킨다.
이러한 리프팅유닛(200)은, 트레이 이송유닛(100)에 결합되는 리프팅 프레임부(210)와, 리프팅 프레임부(210)에 지지되며 트레이(T1)의 하측벽에 연결되어 트레이(T1)를 승강시키는 리프팅 구동부(220)를 포함한다.
리프팅 구동부(220)는, 트레이(T1)를 지지하는 지지 플레이트(230)와, 리프팅 프레임부(210)에 결합되는 리프팅용 실린더 본체(241)와 지지 플레이트(230)에 결합되며 리프팅용 실린더 본체(241)에 대하여 상대이동 가능하게 연결되는 리프팅용 실린더 로드(242)를 구비하는 리프팅용 실린더(240)를 포함한다.
이러한 리프팅유닛(200)은 리프팅용 실린더(240)를 통해 지지 플레이트(230)를 상승시켜 트레이(T1)를 클램핑유닛(300)쪽으로 이동시키며, 클램핑유닛(300)이 트레이(T1)를 클램핑한 후 지지 플레이트(230)를 하강시켜 다른 트레이(T1)와의 간섭을 회피한다. 본 실시예에서 리프팅용 실린더(240)는 공압 또는 유압 방식의 실린더로 이루어진다.
도 7은 도 3의 클램핑유닛의 사시도이다. 도 4 및 도 7을 참조하면, 상기 클램핑유닛(300)은, 트레이 이송유닛(100)에 연결되고 트레이 이송유닛(100)의 트레이(T1)의 이송을 비간섭하는 위치에 배치되며, 리프팅유닛(200)을 통해 리프팅된 트레이(T1)를 클램핑한다.
이러한 클램핑유닛(300)은, 리프팅유닛(200)을 중심으로 상호 대칭되게 배치되며, 트레이(T1)를 클램핑하는 한 쌍의 클램핑부(310)를 포함한다.
본 실시예에서 한 쌍의 클램핑부(310)는 서로 마주보고 배치되어 리프팅유닛(200)에 의해 리프팅된 트레이(T1)를 가압하여 트레이(T1)를 클램핑한다.
이러한 클램핑부(310)는, 이송유닛에 지지되는 클램핑 프레임부(320)와, 클램핑 프레임부(320)에 상대이동 가능하게 연결되며 트레이(T1)에 대하여 접근 및 이격되는 방향으로 이동되어 트레이(T1)를 파지 및 파지 해제하는 파지부(330)와, 클램핑 프레임부(320)에 지지되며 파지부(330)에 연결되어 파지부(330)를 이동시키는 파지부용 구동부(340)를 포함한다.
본 실시예에서 파지부(330)에는 봉 형상의 가이드부(331)가 마련되며, 클램핑 프레임부(320)에는 가이드부(331)가 삽입되며 파지부(330)의 이동을 안내하는 가이드공(321)이 형성된다.
파지부용 구동부(340)는, 클램핑 프레임부(320)에 지지되며 파지부(330)에 연결되어 파지부(330)를 이동시킨다. 본 실시예에서 파지부용 구동부(340)는, 클램핑 프레임에 결합되는 가압 실린더 본체(341)와 파지부(330)에 결합되며 가압 실린더 본체(341)에 대하여 상대이동 가능하게 연결되는 로드부(342)를 구비하는 가압 실린더(341, 342)를 포함한다.
도 8은 도 1의 피검사물 이동유닛의 상세도이다. 도 8을 참조하면, 상기 피검사물 이동유닛(400)은, 트레이 이송유닛(100)에 이웃하게 배치되며, 클램핑유닛(300)에 클램핑된 트레이(T1)에 적재된 피검사물(미도시)을 검사위치로 이동시킨다. 본 실시예에서 검사위치는 포커싱 검사(초점 조정 검사), 근거리 해상도 검사, 원거리 해상도 검사, 이물 및 쉐이딩(Shading) 검사 등이 수행되는 곳을 말하며, 검사위치에는 개별적인 검사장비가 준비된다.
이러한 피검사물 이동유닛(400)은, 피검사물(미도시)을 진공 흡착하는 진공 흡착하며 진공 흡착된 피검사물(미도시)을 제1축 방향으로 승강시키는 제1 피검사물 이동모듈(410)와, 제1 피검사물 이동모듈(410)을 지지하며 제1 피검사물 이동모듈(410)을 제1축 방향에 교차하는 제2축 방향으로 이동시키는 제2 피검사물 이동부(420)와, 제2 피검사물 이동부(420)를 지지하며 제2 피검사물 이동부(420)를 제1축 방향 및 제2축 방향에 교차하는 제3축 방향으로 이동시키는 제3 피검사물 이동부(430)와, 제3 피검사물 이동부(430)를 지지하는 이동유닛용 프레임부(440)를 포함한다.
도 9는 도 8의 제3 피검사물 이동부의 상세도이다. 도 9를 참조하면, 상기 제3 피검사물 이동부(430)는, 제2 피검사물 이동부(420)를 지지하며, 제2 피검사물 이동부(420)를 제3축 방향으로 이동시킨다.
이러한 제3 피검사물 이동부(430)는, 제2 피검사물 이동부(420)가 결합되는 제3 피검사물 이동부용 엘엠 블록(LM block, 431)과, 제3 피검사물 이동부용 엘엠 블록(431)에 연결되며 제3 피검사물 이동부용 엘엠 블록(431)의 이동을 안내하는 제3 피검사물 이동부용 엘엠 가이드(LM guide, 432)와, 제3 피검사물 이동부용 엘엠 블록(431)을 이동시키는 제3 피검사물 이동부용 구동부(433)를 포함한다.
상기 제3 피검사물 이동부용 구동부(433)는, 제3 피검사물 이동부용 엘엠 블록(431)에 결합되는 제3 피검사물 이동부용 이동 너트(미도시)와, 제3 피검사물 이동부용 이동 너트(미도시)에 치합되는 제3 피검사물 이동부용 볼 스크류(435)와, 제3 피검사물 이동부용 볼 스크류(435)에 연결되며 제3 피검사물 이동부용 볼 스크류(435)를 회전시키는 제3 피검사물 이동부용 모터(436)를 포함한다.
도 10은 도 8의 제2 피검사물 이동부의 상세도이다. 도 10을 참조하면, 상기 제2 피검사물 이동부(420)는, 제1 피검사물 이동모듈(410)을 지지하며, 제1 피검사물 이동모듈(410)을 제2축 방향으로 이동시킨다.
이러한 제2 피검사물 이동부(420)는, 제1 피검사물 이동모듈(410)이 결합되는 제2 피검사물 이동부용 엘엠 블록(LM block, 미도시)과, 제2 피검사물 이동부용 엘엠 블록(미도시)에 연결되며 제2 피검사물 이동부용 엘엠 블록(미도시)의 이동을 안내하는 제2 피검사물 이동부용 엘엠 가이드(LM guide, 422)와, 제2 피검사물 이동부용 엘엠 블록(미도시)을 이동시키는 제2 피검사물 이동부용 구동부(423)를 포함한다.
상기 제2 피검사물 이동부용 구동부(423)는, 제2 피검사물 이동부용 엘엠 블록(미도시)에 결합되는 제2 피검사물 이동부용 이동 너트(미도시)와, 제2 피검사물 이동부용 이동 너트(미도시)에 치합되는 제2 피검사물 이동부용 볼 스크류(425)와, 제2 피검사물 이동부용 볼 스크류(425)에 연결되며 제2 피검사물 이동부용 볼 스크류(425)를 회전시키는 제2 피검사물 이동부용 모터(426)를 포함한다.
도 11은 도 8의 제1 피검사물 이동부의 상세도이다. 도 11을 참조하면, 상기 제1 피검사물 이동모듈(410)은, 피검사물(미도시)을 진공 흡착하는 진공 흡착하며 진공 흡착된 피검사물(미도시)을 제1축 방향으로 승강시킨다.
이러한 제1 피검사물 이동모듈(410)은, 피검사물(미도시)을 진공 흡착하는 진공 흡착모듈(411)과, 제2 피검사물 이동부(420)에 지지되며 진공 흡착모듈(411)에 연결되어 진공 흡착모듈(411)을 제1축 방향으로 승강시키는 제1 승강부(412)를 포함한다.
제1 승강부(412)는, 진공 흡착모듈(411)이 결합되는 제1 승강부용 엘엠 블록(414)과, 제1 승강부용 엘엠 블록(414)의 승강 이동을 가이드하는 제1 승강부용 엘엠 가이드(415)와, 제1 승강부용 엘엠 블록(414)을 이동시키는 제1 승강부용 구동부(416)를 포함한다.
도 12는 도 11의 분해사시도이다. 도 12를 참조하면, 상기 제1 승강부용 구동부(416)는, 제1 승강부용 엘엠 블록(414)에 결합되는 제1 승강부용 이동 너트(416a)와, 제1 승강부용 엘엠 블록(414)용 이동 너트에 치합되는 제1 승강부용 볼 스크류(416b)와, 제1 승강부용 엘엠 블록(414)용 볼 스크류에 연결되며, 제1 승강부용 엘엠 블록(414)용 볼 스크류를 회전시키는 제1 승강부용 모터(416c)를 포함한다.
본 실시예에서 제1 승강부용 볼 스크류(416b)와 제1 승강부용 모터(416c)는 제1 승강부용 동력전달부(417)를 통해 연결된다. 이러한 제1 승강부용 동력전달부(417)는, 제1 승강부용 모터(416c)에 연결되는 제1 승강부용 주동풀리(417a)와, 제1 승강부용 볼 스크류(416b)에 연결되는 제1 승강부용 종동풀리(417b)와, 1 승강부용 주동풀리와 제1 승강부용 종동풀리(417b)를 연결하는 제1 승강부용 전동벨트(417c)를 포함한다.
한편, 진공 흡착모듈(411)은 피검사물(미도시)을 진공 흡착한다. 이러한 진공 흡착모듈(411)은, 제1 승강부용 엘엠 블록(414)에 지지되고, 상호 이웃하게 배치되는 적어도 하나의 진공 흡착부(413)를 포함한다.
본 실시예에서 진공 흡착부(413)는 2개로 마련되며, 어느 하나의 진공 흡착부(413)는 클램핑된 트레이(T1)에서 피검사물(미도시)을 진공 흡착하며, 다른 하나의 진공 흡착부(413)는 검사위치에서 검사가 완료된 피검사물(미도시)을 진공 흡착한다.
이와 같이 본 실시예에 따른 인라인 핸들러는, 진공 흡착부(413)가 한 쌍으로 마련됨으로써, 한 쌍의 진공 흡착부(413)가 클램핑된 트레이(T1)에서 검사위치로의 1회 왕복만으로 검사위치로의 피검사물(미도시) 이송의 및 검사완료된 피검사물(미도시)의 회수를 할 수 있고, 그에 따라 택타임(tact time)을 줄일 수 있다.
이러한 진공 흡착부(413)는, 피검사물(미도시)을 진공 흡착하는 흡착 헤드부(413a)와, 흡착 헤드부(413a)를 제1축 방향으로 승강시키는 제2 승강부(413b)를 포함한다.
제2 승강부(413b)는 앞서 설명한 제1 승강부(412)와 달리 한 쌍의 진공 흡착부(413) 전체를 제1축 방향으로 승강시키는 것이 아니라 하나의 진공 흡착부(413)를 개별적으로 제1축 방향으로 승강시킨다.
이러한 제2 승강부(413b)는, 흡착 헤드부(413a)가 결합되는 제2 승강부용 이동 블록(413e)과, 제2 승강부용 이동 블록(413e)에 연결되며 제2 승강부용 이동 블록(413e)의 이동을 가이드하는 제2 승강부용 가이드 레일(413f)과, 제2 승강부용 이동 블록(413e)을 이동시키는 제2 승강부용 구동부(413g)를 포함한다.
제2 승강부용 구동부(413g)는, 제2 승강부용 이동 블록(413e)을 이동시키는 제2 승강부용 실린더(413j, 413k)를 구비한다. 이러한 제2 승강부용 실린더(413j, 413k)는, 제1 승강부용 엘엠 블록(414)에 결합되는 제2 승강부용 실린더 몸체(413j)와, 제2 승강부용 이동 블록(413e)에 연결되며 제2 승강부용 실린더 몸체(413j)에 상대이동 가능하게 연결되는 제2 승강부용 실린더 로드(413k)를 포함한다.
본 실시예에서 제2 승강부용 이동 블록(413e)과 승강부용 실린더 로드는 충격 흡수부(413c)를 통해 연결된다. 이러한 충격 흡수부(413c)는 흡착 헤드부(413a)의 하강 시 흡착 헤드부(413a)와 피검사물(미도시), 트레이(T1) 또는 후술할 불량품용 트레이(T2) 등과의 충돌에 의한 충격을 흡수한다.
도 13은 도 12의 A' 부분의 확대도이다. 도 13을 참조하면, 상기 충격 흡수부(413c)는, 제2 승강부용 실린더 로드(413k)에 결합되며 제2 승강부용 이동 블록(413e)이 상대이동 가능하게 연결되는 가이드 샤프트부(413m)와, 가이드 샤프트부(413m)에 마련되며 제2 승강부용 이동 블록(413e)을 지지하는 플랜지부(413n)와, 가이드 샤프트부(413m)에 결합되며 플랜지부(413n)에 대하여 이격되게 배치되는 스토퍼부(413p)와, 스토퍼부(413p) 및 제2 승강부용 이동 블록(413e)에 지지되며 제2 승강부용 이동 블록(413e)을 플랜지부(413n)로 탄성바이어스하는 탄성체(413g)를 포함한다.
본 실시예에서 제1 승강부(412)는 트레이(T1), 검사위치, 및 후술할 불량품용 트레이(T2) 사이의 높이차에 따른 진공 흡착부(413)의 제1축 방향 위치를 조정하고, 제2 승강부(413b)가 진공 흡착부(413)의 제1축 방향 위치가 조정된 상태에서 흡착 헤드부(413a)를 개별적으로 하강시킴으로써, 본 실시예에 따른 인라인 핸들러는 정확하고 안정적으로 피검사물(미도시)의 픽업할 수 있으며 마찬가지로 정확하고 안정적으로 피검사물(미도시)을 내려놓을 수 있다.
한편, 본 실시예에 따른 진공 흡착부(413)는, 흡착 헤드부(413a)를 제1축 방향을 회전 축심으로 하여 회전시키는 헤드 회전부(413d)를 더 포함한다.
헤드 회전부(413d)는 제2 승강부용 이동 블록(413e)에 지지되는 회전용 모터(413r)와, 회전용 모터(413r)에 연결되는 회전용 주동풀리(413s)와, 흡착 헤드부(413a)에 연결되는 회전용 종동풀리(413t)와, 회전용 주동풀리(413s)와 회전용 종동풀리(413t)를 연결하는 회전용 전동벨트(413u)를 포함한다.
이러한 헤드 회전부(413d)는 흡착 헤드부(413a)를 제1축 방향을 회전 축심으로 하여 회전시킴으로써, 피검사물(미도시)을 트레이(T1), 검사위치 또는 후술할 불량품용 트레이(T2)에 내려놓을 시 피검사물(미도시)을 정위치시킬 수 있다.
한편 본 실시예에 따른 인라인 핸들러는, 트레이 이송유닛(100)에 지지되고 트레이 이송유닛(100)의 트레이(T1)의 이송을 비간섭하는 위치에 배치되며 불량 피검사물(미도시)이 적재되는 불량품용 트레이(T2)를 지지하는 선반(500)을 더 포함한다.
한편 본 실시예에 따른 인라인 핸들러는, 제1 피검사물 이동모듈(410)에 지지되며, 트레이(T1)를 감지하는 감지센서(V)를 더 포함한다.
지금부터는 상술한 인라인 핸들러의 작동에 대하여 설명한다. 본 실시예에서는 2개의 이송부가 구비된 트레이 이송유닛이 설치된 것이 도시되어 있다.
도 14 내지 도 17은 본 발명의 제1실시예에 따른 인라인 핸들러의 작동상태도이다. 먼저, 도 14를 참조하면, 트레이 이송유닛(100)의 좌측의 이송부(110A)와 우측의 이송부(110B) 각각을 따라 검사가 필요한 피검사물(미도시)이 적재된 트레이(T11,T12)가 이송되면, 리프팅유닛(200)이 지지 플레이트(230)를 상승시켜 각각의 트레이(T11,T12)를 리프팅시킨다.
리프팅된 각각의 트레이(T11,T12)를 클램핑유닛(300)이 클램핑한다. 이때, 리프팅유닛(200)의 지지 플레이트(230)는 하강하여 후속하며 대기중인 다른 트레이의 이송을 간섭하지 않는다.
그리고, 도 15를 참조하면, 피검사물 이동유닛(400)은 좌측의 클램핑된 트레이(T11)에 적재된 피검사물(미도시)을 각 이송부의 외측방향으로 이동하여 검사위치로 이동시킨다. 이때, 피검사물 이동유닛(400)의 진공 흡착부(413)는 2개로 마련됨으로써, 어느 하나는 피검사물(미도시)을 검사위치로 공급하도록 사용되며, 다른 하나는 검사위치에서 검사완료된 피검사물(미도시)의 회수에 사용되도록 하여, 공급 및 회수를 동시에 진행할 수 있다.
이어, 검사위치에서 검사완료된 피검사물(미도시)이 양품일 경우 피검사물(미도시)은 해당 트레이인 좌측 트레이(T11)의 원래 위치에 적재된다.
반면에, 도 16을 참조하면, 검사된 피검사물(미도시)이 불량품인 경우에는, 피검사물 이동유닛(400)이 트레이 이송방향을 따라 소정의 이송부(TR)에 의해 이동하여 불량 피검사물(미도시)은 선반(500)에 지지된 불량품용 트레이(T21)에 적재된다. 이때, 불량품용 트레이(T21)는 사전에 미리 설치되어 있는 것이 바람직하다.
그리고, 도 17을 참조하면, 좌측 트레이(T11)의 피검사물의 검사가 완료되면, 좌측 트레이(T11)는 클램핑 해제된 후, 리프팅 유닛에 의해 하강되어 이송부에 의해 후속공정으로 이송된다.
이때, 피검사물 이동유닛(400)은 우측 이송부(110B)를 통해 대기중인 우측 트레이(T12)의 피검사물을 파지하여 검사위치로 이동시킨다.
이와 동시에, 좌측 이송부(110A)에 대기중인 좌측 트레이(T11)를 클램핑 유닛(300)에 의해 클램핑되도록 이송시킨다.
이와 같이 본 실시예에 따른 인라인 핸들러는, 이송부가 2열로 배치됨으로써 트레이의 이송에 필요한 별도의 대기시간 없이도 검사공정을 연속적으로 진행할 수 있게 된다.
또한, 리프팅유닛(200)에 의해 리프팅된 트레이를 트레이 이송유닛(100)에 의해 이송되는 다른 트레이에 비간섭되는 위치에서 클램핑유닛(300)이 클램핑함으로써, 피검사물(미도시)의 검사시 클램핑유닛(300)에 클램핑된 트레이가 트레이 이송유닛(100)에 의해 이송되는 다른 트레이의 이송을 간섭하지 않아 특정 검사공정에서 트레이의 이송이 적체되는 것을 방지할 수 있어 피검사물(미도시)의 전체 검사시간을 단축할 수 있다.
본 발명의 권리범위는 상술한 실시예에 한정되는 것이 아니라 첨부된 특허청구범위 내에서 다양한 형태의 실시예로 구현될 수 있다. 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 변형 가능한 다양한 범위까지 본 발명의 청구범위 기재의 범위 내에 있는 것으로 본다.

Claims (10)

  1. 피검사물이 적재된 트레이를 일 방향으로 이송하도록 마련되며, 상기 피검사물의 이송방향을 따라 이웃하여 나란하게 배치되는 복수 개의 이송부를 포함하는 트레이 이송유닛;
    상기 트레이 이송유닛에 연결되며, 상기 트레이 이송유닛을 통해 이송되는 상기 트레이를 리프팅시키는 리프팅유닛;
    상기 트레이 이송유닛에 연결되고, 상기 트레이 이송유닛의 상기 트레이의 이송을 비간섭하는 위치에 배치되며, 상기 리프팅유닛을 통해 리프팅된 상기 트레이를 클램핑하는 클램핑유닛; 및,
    상기 트레이 이송유닛에 이웃하게 배치되며, 상기 클램핑유닛에 클램핑된 상기 트레이에 적재된 상기 피검사물을 검사위치로 이동시키는 피검사물 이동유닛을 포함하는 인라인 핸들러.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 피검사물 이동유닛은, 어느 하나의 이송부에 클램핑되어 있는 트레이에 적재된 피검사물의 검사가 완료되어 이후 공정으로 이송시, 다른 하나의 이송부에 클램핑되어 있는 트레이의 피검사물을 검사위치로 이동시키는 인라인 핸들러.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 이송부는,
    이송 프레임부;
    상기 이송 프레임부에 지지되고, 상호 이격되게 배치되며, 상기 트레이를 이송하는 한 쌍의 컨베이어부; 및,
    상기 컨베이어부에 연결되며, 상기 컨베이어부를 구동시키는 컨베이어 구동부를 포함하는 인라인 핸들러.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 리프팅유닛은,
    상기 트레이 이송유닛에 결합되는 리프팅 프레임부; 및,
    상기 리프팅 프레임부에 지지되며, 상기 트레이의 하측벽에 연결되어 상기 트레이를 승강시키는 리프팅 구동부를 포함하는 인라인 핸들러.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 클램핑유닛은,
    상기 리프팅유닛을 중심으로 상호 대칭되게 배치되며, 상기 트레이를 클램핑하는 한 쌍의 클램핑부를 포함하는 인라인 핸들러.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 피검사물 이동유닛은,
    상기 피검사물을 진공 흡착하는 진공 흡착하며, 진공 흡착된 상기 피검사물을 제1축 방향으로 승강시키는 제1 피검사물 이동부;
    상기 제1 피검사물 이동부를 지지하며, 상기 제1 피검사물 이동부를 상기 제1축 방향에 교차하는 제2축 방향으로 이동시키는 제2 피검사물 이동부;
    상기 제2 피검사물 이동부를 지지하며, 상기 제2 피검사물 이동부를 상기 제1축 방향 및 상기 제2축 방향에 교차하는 제3축 방향으로 이동시키는 제3 피검사물 이동부; 및,
    상기 제3 피검사물 이동부를 지지하는 이동유닛용 프레임부를 포함하는 인라인 핸들러.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 제1 피검사물 이동부는 상기 피검사물을 진공 흡착하는 진공 흡착모듈을 더 포함하고, 상기 진공 흡착모듈은 상호 이웃하게 배치되는 적어도 하나의 진공 흡착부를 포함하는 인라인 핸들러.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 트레이 이송유닛에 지지되고, 상기 트레이 이송유닛의 상기 트레이의 이송을 비간섭하는 위치에 배치되며, 불량 피검사물이 적재되는 불량품용 트레이를 지지하는 선반을 더 포함하는 인라인 핸들러.
  9. 피검사물이 적재된 복수 개의 트레이를 각각의 이송부를 통해 일 방향으로 이송시키는 단계;
    상기 복수 개의 이송부를 통해 이송되는 각각의 트레이를 리프팅 유닛을 통해 리프팅시키는 단계;
    상기 리프팅유닛을 통해 리프팅된 트레이를 각각 클램핑하도록 설치된 클램핑 유닛을 통해 클램핑하는 단계;
    어느 하나의 클램핑 유닛에 의해 클램핑된 트레이의 피검사물을 피검사물 이동유닛을 통해 파지하여 검사위치로 이동시키는 단계;
    피검사물이 양품인지 불량품인지를 검사하여, 상기 피검사물이 양품인 경우 해당 트레이의 원래 위치로 이동시키는 단계; 및,
    어느 하나의 클램핑된 트레이의 피검사물 검사가 완료되면 상기 어느 하나의 클램핑된 트레이를 클램핑 해제한 후 리프팅 유닛에 의해 하강시켜 다음 공정으로 이송시키고, 이와 동시에 피검사물 이동유닛은 다른 하나의 클램핑된 트레이의 피검사물을 검사위치로 이동시키는 단계;를 포함하는 인라인 핸들러를 이용한 검사방법.
  10. 제9항에 있어서,
    피검사물 검사시 상기 피검사물이 불량품인 경우, 불량품인 피검사물은 준비된 불량품 트레이에 별도로 적재하도록 이동시키는 인라인 핸들러를 이용한 검사방법.
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