WO2017052090A1 - 소자핸들러 - Google Patents

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WO2017052090A1
WO2017052090A1 PCT/KR2016/009609 KR2016009609W WO2017052090A1 WO 2017052090 A1 WO2017052090 A1 WO 2017052090A1 KR 2016009609 W KR2016009609 W KR 2016009609W WO 2017052090 A1 WO2017052090 A1 WO 2017052090A1
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WO
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transfer
transfer tool
pickup
loading
unit
Prior art date
Application number
PCT/KR2016/009609
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English (en)
French (fr)
Inventor
유홍준
Original Assignee
(주)제이티
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/26—Testing of individual semiconductor devices
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer

Definitions

  • the present invention relates to an element handler, and more particularly, to an element handle device that picks up an element from an element loading member and makes an element in the element loading member.
  • Semiconductor devices such as SD RAM, flash lamp, LSI and LED (hereinafter referred to as 'devices') are generally shipped to the market after the sawing process and the packaging process after the semiconductor process.
  • the products of the good products are sorted and shipped to the market through automatic inspection and classification according to the inspection result by the inspection device, the classification device, the inspection and classification device.
  • the types of chips are diversified, such as lead frames such as SD RAM, flash RAM, and LSI, and terminal structures such as BGA.
  • devices have a trend of increasing productivity through not only final inspection after the packaging process but also inspection and inspection of devices in the state of wafers after semiconductor processing.
  • An object of the present invention is to provide an element handler which can pick up an element from an element loading member and stably load it on an element loading member in accordance with the above trend.
  • the present invention was created in order to achieve the object of the present invention as described above, the present invention, a device loading member table for moving a plurality of device loading member 10 to which a plurality of devices (1) is attached in a horizontal direction ( 200); It is installed on one side of the device loading member table 200 and includes an unloading unit 800 is installed, the device loading member 20 is installed by receiving the device by one or more transfer tools from the device loading member 10, The at least one transfer tool is installed above the element loading member table 200 and picks up the element 1 at a pickup position 1 of the element loading member 10, and then rotates and picks up the element 1.
  • the first transfer tool 400 may pick up the element from the element loading member and linearly move it in a diagonal direction at the same time as the inversion operation by rotation.
  • a second camera 812a for acquiring an image of the bottom surface of the picked-up device 1 may be additionally installed at the upper portion of the first transfer tool 400 at the transfer position 2.
  • the element handler may include a pair of first transfer tools 400 disposed symmetrically with respect to the first direction from the pickup position 1 to the loading position 3.
  • the first transfer tool 400 the rotary motor 612 having a rotary shaft 611 disposed perpendicular to the first direction from the pickup position (1) to the loading position (3);
  • a linear moving part 620 which is rotated by the rotation of the rotary shaft 611 and linearly moves in a second direction perpendicular to the first direction; It may include one or more first pickers 600 coupled to the linear mover 620 to pick up the device 1.
  • the device handler may include a pair of second transfer tools 500 corresponding to the pair of first transfer tools 400.
  • a top vision inspection unit for performing a top vision inspection of the picked-up device is installed at an upper portion of the transfer path between the transfer position 2 and the stacking position 3 of the second transfer tool 500, and the second transfer tool
  • the reference numeral 500 may be rotated between the transfer position 2 and the vision inspection position 2-1 corresponding to the upper vision inspection unit to reverse the bottom surface of the picked-up device 1 toward the lower side.
  • the upper vision inspection unit is located at an upper portion of the transfer path of the second transfer tool 500 at the vision inspection position 2-1 to obtain a top image of the picked-up device 1. It may include.
  • the third camera 813a may acquire images of the top surface and four side surfaces of the picked-up device 1.
  • the second transfer tool 500 may move relative to the upper vision inspection unit in the vertical direction to adjust the vertical distance from the vision inspection position 2-1 to the upper vision inspection unit.
  • the first picker 600 includes a detachable support part 630 coupled to the linear moving part 620, and a pickup part 640 detachably coupled to the detachable support part 630 to pick up the device 1.
  • the pickup unit 640 may include a main body unit 645 detachably coupled to the detachable support unit 630, a pickup member 641 rotatably coupled up and down in the main body unit 645, and It includes an anti-rotation unit 650 for transmitting the air pressure to the pickup member 641 and preventing rotation of the pickup member 641, and an up-and-down driving unit 642 for driving the shank-dong of the pickup member 641.
  • the removable support 630 may include a pneumatic transfer unit 631 for pneumatic transfer to the pickup unit 640, and a power supply unit for supplying power to the upper and lower driving units 642.
  • the anti-rotation part 650 includes a rod member 653 installed on the main body 645 so as to be movable, and an upper side of the main body 645, and the rod member 653 and the pickup member. And a connection member 652 penetratingly coupled to the upper portion of the upper portion 641, wherein the upper and lower driving portions 642 drive the Shanghai copper by applying power to the pickup member 641 during device pickup. ) May be included.
  • the device handler according to the present invention is configured to load an element into an unloading member such as a carrier tape through pick-up and transfer using one or more transfer tools from a device loading member having a plurality of elements such as wafer ring.
  • the advantage is that the unloading can be performed more quickly.
  • the device handler according to the present invention by the transfer tool for linearly moving in the diagonal direction at the same time as the flip operation by the rotation on the element loading member, the element is first conveyed, picked up the flipped element and the element is conveyed secondary By loading the device on the loading member, there is an advantage that the pickup and loading of the device can be performed more quickly.
  • the device handler according to the present invention by the transfer tool for linearly moving in the diagonal direction at the same time as the flip operation by the rotation on the element loading member, the element is first conveyed, picked up the flipped element and the element is conveyed secondary By loading the device on the loading member, there is an advantage that the pickup and loading of the device can be performed more quickly.
  • the camera module for performing the vision inspection is located on the upper side, the vertical height in the region where the flip and transfer of the device is made There is an advantage that can be minimized.
  • the vertical height of the flip picker that is, the first transfer tool is minimized, thereby minimizing the size of the first transfer tool and minimizing the transfer distance.
  • the device loading member that is, the distance between the wafer and the tape and reel is minimized, thereby reducing the plane size of the device and minimizing the transfer time of the device.
  • This has the advantage of improving units per hour (UPH).
  • the relative movement between the camera module and the second transfer tool is performed when the five-side inspection of the element, that is, the inspection on the top and four sides of the rectangular shape element, is performed.
  • FIG. 1 is a plan view showing the concept of a device handler according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is a perspective view illustrating an example of a device loading member used in the device handler of FIG. 1.
  • 3A and 3B are perspective views and cross-sectional views showing a case of wafer ring as a modification of the device loading member used in the device handler of FIG.
  • FIG. 4 is a conceptual diagram illustrating a device transfer concept from a device loading member to a device loading member in the device handler of FIG. 1.
  • 5A to 5C are partial perspective views illustrating an operation process of the first transfer tool for performing pickup, flip and diagonal movement of devices in the device handler of FIG. 1.
  • FIG. 6 is a plan view illustrating a picker of the first transfer tool of FIG. 5A.
  • FIG. 7A is a side view illustrating a device transfer process in the Y-axis direction in FIG. 6.
  • FIG. 7B is a conceptual diagram illustrating non-inverting and inverting states of devices in the transfer process in FIG. 7A.
  • FIG. 7C is a cross-sectional view of the Y-axis direction in FIG. 6.
  • FIG. 8 is a perspective view illustrating a second transfer tool of the device handler of FIG. 1.
  • FIG. 9 is a plan view of the second transfer tool of FIG. 8.
  • 10A and 10B are plan views illustrating an example of a first transfer tool for performing pickup, flip, and diagonal movement of devices in the device handler of FIG. 1.
  • FIG. 11 is a conceptual diagram illustrating a process of transferring a device according to a modification of the device handler according to the present invention.
  • the device handler according to an embodiment of the present invention is configured to pick up the device 1 loaded in the device loading member 10 and to load the device 1 into the device loading member 20 of the unloading unit. Do.
  • the device handler according to an embodiment of the present invention, as shown in Figure 1, and the loading member cassette unit 100 is loaded with a plurality of device loading members 10 attached to a plurality of devices (1) ;
  • An element loading member table 200 which receives the element loading member 10 from the loading member cassette 100 and moves the element loading member 10 in a horizontal direction; It is installed spaced apart from the device loading member table 200 in the horizontal direction and the device loading member 20 for receiving and loading the device 1 by the one or more transfer tools (400, 500) from the device loading member 10 is installed It may include an unloading unit 800.
  • the loading member cassette unit 100 may be configured in a variety of configurations as a plurality of device loading members 10 having a plurality of devices 1 attached thereto.
  • the semiconductor device, the LED device, and the solar cell device which are loaded on the device loading member 10, are semiconductor devices and a sawing process.
  • the device 1 may be a wafer level device that has completed the semiconductor process and the sawing process as well as a device that has completed the packaging process after the semiconductor process.
  • the device loading member 10 is a member that can be loaded with a plurality of elements 1 as a member capable of loading the element 1 can be a variety of configurations, such as trays, wafer ring.
  • the device loading member 10 is a component in which a device 1 that has undergone a semiconductor process and a sawing process, such as wafering, is loaded. ) May be configured to include a tape 11 to which the tape is attached and a frame member 12 fixing the tape 11.
  • the tape 11 may be any member as long as the elements 1 can be attached thereto, and a so-called blue tape may be used.
  • the frame member 12 is configured to fix the tape 11 to which the elements 1 are attached, and various configurations such as a square ring and a circular ring (wafer ring) are possible.
  • the loading member cassette 100 may be any configuration as long as the device loading members 10 may be stacked up and down as a configuration for loading the plurality of device loading members 10.
  • the device loading member table 200 is configured to move the device loading member 10 in a horizontal direction by receiving the device loading member 10 from the loading member cassette unit 100.
  • the device loading member table 200 receives the device loading member 10 from the loading member cassette unit 100 by a wafer ring loading unit (not shown), and transfers a tool such as the first transfer tool 400.
  • a wafer ring loading unit not shown
  • a tool such as the first transfer tool 400.
  • various configurations such as an XY table and an XY- ⁇ table are possible.
  • the device loading member loading unit for transferring the device loading member 10 from the loading member cassette unit 100 to the device loading member table 200, withdraws the device loading member 10 from the loading member cassette unit 100.
  • Any configuration may be used as long as the device loading member 10 can be transferred to the device loading member table 200.
  • the unloading part 800 is installed spaced apart from the device loading member table 200 in the horizontal direction, and is provided with a device loading member 20 configured to receive and load the device 1 from the device loading member 10.
  • a device loading member 20 configured to receive and load the device 1 from the device loading member 10.
  • the configuration of the unloading unit 800 depends on the combination of the carrier tape and the cover tape (tape & reel), the tray, and the element loading member 20 for unloading the device 1.
  • the unloading part 800 is a combination of a carrier tape and a cover tape.
  • a pocket part on which the device 1 is mounted is formed along the length direction and the cover is loaded after the device is loaded at the device loading position.
  • the carrier tape sealed by the tape may constitute the element loading member 20.
  • the unloading unit 800 includes a tape supply unit 810 for supplying a carrier tape 20 in which the device 1 is to be contained, and a carrier tape supplied by the tape supply unit 810.
  • a sealing portion (not shown) provided on the movement path of the carrier tape 20 between the 820 and the cover tape to the upper surface of the carrier tape 20, and from the tape supply portion 810 to the tape winding portion 820.
  • the carrier tape 2 so that the carrier tape 20 can be moved smoothly.
  • a plurality of feed rollers (not shown) for guiding the movement of the cover tape.
  • the carrier tape 20 having the pocket portion in which the element 1 is contained may have any configuration as long as the structure in which the pocket portion in which the element 1 is contained is formed, and may be formed of a plastic material.
  • the tape supply unit 810 may have any configuration as long as the carrier tape supply reel 811 on which the carrier tape 20 on which the pocket of the element 1 is formed is wound may be rotatably installed.
  • the tape winding part 820 is configured to wind the carrier tape 20 after the element 1 is contained in the pocket of the carrier tape 20, and the cover tape is attached to the carrier tape 20 via a sealing part.
  • any configuration can be used as long as the winding roll on which the carrier tape 20 is wound can be rotatably installed.
  • the tape winding unit 820 may be provided with a rotation control unit to control the movement of the carrier tape 20 in conjunction with the tape supply unit 810.
  • the cover tape supply unit is a configuration for supplying a cover tape attached to the upper surface of the carrier tape 20 in which the element 1 is contained, and can be configured in various ways, and the roll on which the cover tape is wound can be rotatably installed. Any configuration is possible as long as it is a configuration.
  • the cover tape supply unit may be provided with a rotation control unit to control the movement of the carrier tape 20 in conjunction with the tape winding unit 820.
  • the cover tape may be configured in various ways according to the adhesive method with the carrier tape 20.
  • the cover tape may be configured to be bonded to the carrier tape 20 by an infrared heater.
  • the sealing part is installed on the movement path of the carrier tape 20 and attaches the cover tape to the upper surface of the carrier tape 20.
  • Various configurations are possible according to the adhesive method between the cover tape and the carrier tape 20.
  • the sealing part may be provided with a pressing structure by tilting to induce firm adhesion of the cover tape and the carrier tape 20.
  • the transfer rollers are configured to guide the movement of the carrier tape 20 and the cover tape so that the carrier tape 20 can be smoothly moved from the tape supply part 810 to the tape winding part 820. ), The number, size, installation location, etc. are determined so that the movement of the cover tape can be stably implemented.
  • the unloading part 800 is a cutter for cutting the carrier tape 20 that needs to cut the carrier tape 20 after the carrier tape 20 is wound around the take-up roll by an appropriate rotational speed. Not shown) may be installed at an appropriate position between the tape supply unit 810 and the tape winding unit 820.
  • the carrier tape 20 in the tape supply unit 810 is configured to be wound on the tape winding unit 820 at a time, the cutter does not necessarily need to be installed.
  • the unloading part 800 may further include a loading state vision inspection device 710 for checking whether the device 1 is properly contained in the pocket of the carrier tape 20.
  • the loaded state vision inspection device 710 is installed between the element loading position 3 and the tape winding part 820 based on the conveying direction of the carrier tape 20 to be placed in the pocket of the carrier tape 20. You can check whether (1) is properly contained.
  • the unloading unit 800 may further include a tape vision inspection apparatus for inspecting whether the cover tape is properly attached to the carrier tape 20.
  • the tape vision inspection apparatus is installed between the device loading position (3) and the tape winding unit 820 on the basis of the conveying direction of the carrier tape 20 to a camera for acquiring an image of the carrier tape 20. By being configured, it is possible to inspect whether the cover tape is properly attached to the carrier tape 20.
  • the transfer tools 400 and 500 pick up the element 1 from the element loading member 10 seated on the element loading member table 200 and unload the portion by at least one of rotational movement and linear movement. It may be configured as one or more as a configuration for transferring the device 1 to the device stacking member 20 of (800).
  • the transfer tools 400 and 500 may include a first transfer tool installed at an upper side of the element loading member table 200 and flipped so that the bottom surface of the picked up element 1 faces upward. 400); After picking up the device 1 inverted by the first transfer tool 400, the device 1 is moved to the device loading member 20 of the unloading unit 800 by at least one of rotational movement and linear movement. It may include a second transfer tool 500 to deliver.
  • the first transfer tool 400 is installed above the element loading member table 200 and picks up the element 1 from the element loading member 10 seated on the element loading member table 200, and rotates to pick up the element 1.
  • Various configurations are possible as the configuration in which the bottom surface of the device 1 is inverted to face upward.
  • the first transfer tool 400 inverts the element 1 picked up by rotation and moves from the pickup position 1 to the transfer position 2. It can be configured to.
  • the first transfer tool 400 is inclined with respect to the first direction (Y-axis direction) connecting the pick-up position (1) and the loading position (3), that is, the element in the transmission position (2) located in the diagonal direction. It is preferable to be configured to perform the pick-up and transfer of (1).
  • first transfer tool 400 may be arranged symmetrically with respect to the first direction (Y-axis direction) in pairs for faster element pickup and transfer.
  • the first transfer tool 400 includes a rotation motor having a rotation shaft 611 disposed perpendicular to the first direction (Y-axis direction). 612 and a linear moving part 620 which is rotated by the rotation of the rotating shaft 611 and is linearly moved in a second direction (X axis direction) perpendicular to the first direction (Y axis direction), and a linear moving part. It may include one or more first pickers 600 coupled with 620 to pick up device 1.
  • the linear moving part 620 is coupled to the rotation shaft 611 to implement linear movement by rotation.
  • the linear movement part 620 is coupled to the rotation shaft 611 to be rotated and has a male screw part 621 formed therein, and a screw part. 621 may include a female screw portion 622 for linearly moving the screw portion 621 when rotated by screwing.
  • the linear moving part 620 may use a cam member having a cam groove formed on an outer circumferential surface instead of the screw part 621 and may include a cam coupling member for linearly moving the cam member rotated corresponding to the cam member.
  • a cam member having a cam groove formed on an outer circumferential surface instead of the screw part 621 and may include a cam coupling member for linearly moving the cam member rotated corresponding to the cam member.
  • the first picker 600 is coupled to the linear moving unit 620 to pick up the device 1 can be configured in various ways.
  • the first picker 600 is a detachable support part 630 coupled to the linear moving part 620 and a detachable support part 630. It may include a pickup unit 640 to pick up 1).
  • the detachable support part 630 is coupled to the linear moving part 620 and supports a pickup part 640.
  • the detachable support part 630 is for supplying power to the pneumatic transfer part 631 for pneumatic transfer to the pickup part 640 and the vertical drive part 642 for driving the shanghai movement of the pickup member 641 to be described later.
  • a power supply unit (not shown) may be installed.
  • the pick-up unit 640 is detachably coupled to the detachable support unit 630 to pick up the element 1, and various configurations are possible.
  • the pickup unit 640 may include a main body unit 645 detachably coupled to the detachable support unit 630, a pickup member 641 movably coupled up and down in the main body unit 645, and a pickup. It may include an anti-rotation unit 650 for transmitting the air pressure to the member 641 and preventing rotation of the pickup member 641, and an up-and-down driving unit 642 for driving a shanghai movement of the pickup member 641. .
  • the main body 645 may be formed of one or more members as the pickup member 641 is installed.
  • the pickup member 641 is coupled to the main body 645 so as to be movable up and down and picks up the device 1 by vacuum pressure, and a pickup head (not shown) for picking up the device 1 is provided at the end thereof. It may consist of a hollow rod installed.
  • the pick-up member 641, the pneumatic flow path (641a) is formed in the vertical direction is formed at the end can be various structures depending on the structure and type of the element (1) to be picked up.
  • the anti-rotation part 650 is configured to transmit the air pressure to the pickup member 641 and to prevent rotation of the pickup member 641.
  • the anti-rotation part 650 may include a rod member 653 installed on the main body 645 so as to be movable, and an upper side of the main body 645 and having a rod member 653 and a pickup member ( It may include a connection member 652 through the upper portion of the 641.
  • the pickup member 641 may be installed to protrude upward by penetrating up and down with respect to the connection member 652.
  • the fixing member 651 may be fixedly coupled to the connecting member 652 such that the rotation of the connecting member 652 is impossible by the fixing member 651.
  • the configuration as described above may be used as a pickup part in the second transfer tool 500 to be described later separated from the removable support 630.
  • the vertical driving unit 642 is configured to move the pick-up member 641 up and down or to alleviate the impact on the device 1 when the device is picked up. It may include.
  • the first transfer tool 400 for efficiency of device pickup, it is preferable to be arranged in pairs symmetrical with respect to the Y-axis direction described above.
  • any one of the pair of first transfer tools 400 picks up the element 1 on the element loading member 10, that is, wafer ring
  • the other first transfer tool 400 The device 1 may be transferred by the second transfer tool 500 which will be moved to each device transfer position 2 for transmission.
  • the second transfer tool 500 is also disposed in pair in correspondence thereto.
  • the device transfer position 2 from the first transfer tool 400 is preferably arranged in line symmetry with respect to the Y-axis direction rather than one position.
  • the first transfer tool 400 picks up the device 1 from the device loading member 10 at the device pickup position 1.
  • the lower side of the device loading member 10 is provided with a needle pin 90 for pushing up the device (1) located in the device pickup position (1) to the upper side.
  • the pickup member 641 of the first transfer tool 400 is moved downward by the vertical drive of the vertical drive unit 642 to pick up the element 1.
  • the other one of the pair of first transfer tools 400 is inverted, that is, the device 1 at the device delivery position 2 with the device 1 picked up on the pickup member 641 located at the upper side. To pass.
  • the first transfer tool 400 which finishes the device pickup at the device pick-up position 1 transfers the device 1 by rotation and linear movement to the device transfer position 2 through FIGS. 5B and 5C. .
  • the first transfer tool 400 is implemented by a combination of rotation and linear movement when moved from the device pick-up position (1) to the device transfer position (2) and may be implemented by various patterns.
  • the first transfer tool 400 may first linearly move in the X-axis direction after the first X-axis is rotated 180 degrees to the rotation axis.
  • rotation and linear movement can be performed in reverse.
  • the first transfer tool 400 may simultaneously perform 180 ° rotation with the X axis as the rotation axis and linear movement in the X axis direction.
  • the device pick-up position Is moved to 1).
  • the first transfer tool 400 may be different from the first direction (Y-axis direction), as shown in FIGS. 10A and 10B.
  • a rotation motor 612 having a rotation shaft 611 disposed in an oblique, ie diagonal direction, and one or more first pickers 600 coupled to the rotation shaft 611 and installed eccentrically from the rotation shaft 611. Can be.
  • the first picker 600 may be configured to pick up the device, and pick up the device 1 from the device loading member 10 by vacuum pressure.
  • the first transfer tool 400 is inclined from the first direction (Y-axis direction) connecting the pickup position 1 and the loading position 3, that is, diagonally.
  • first direction Y-axis direction
  • the agent connecting the pick-up position 1 and the loading position 3 is shown.
  • the pick-up and transfer of the element 1 can be performed perpendicular to the one direction (Y-axis direction).
  • the second transfer tool 500 picks up the element 1 inverted by the first transfer tool 400 and then moves it to the element unloading member 20 of the unloading part 300 by one or more linear movements.
  • the structure for delivering the element various configurations are possible according to the movement form.
  • the second transfer tool 500 picked up the element 1 in the transfer position (2) and then moved to the loading position (3) unloading unit 300 It may include a second picker 540 for transferring the device 1 to the device unloading member 20 of the device, and a picker moving part 520 for moving the second picker 540 by one or more linear movements. .
  • the second picker 540 picks up the element 1 from the transfer position 2 and moves to the loading position 3 to the element unloading member 20 of the unloading unit 300.
  • Various configurations are possible as a configuration for transmitting the
  • the second picker 540 may be configured of the remaining parts of the first picker part 600 illustrated in FIGS. 7B and 8 except for the detachable support part 630.
  • the second picker 540 requires horizontal rotation of the device 1 when the device is loaded into the device loading member 20 (the rotation center axis is rotated in the Z-axis direction), and thus the pickup member 641 is rotated.
  • the upper portion of the pickup member 641 may be coupled by the coupler 589 so that the pickup member 641 may be rotated by removing the fixing member 651 described above and rotating by the rotation motor 580.
  • the element 1 picked up by the second picker 540 may be picked up in an unsuitable state for loading on the carrier tape 20 by a pick-up process, and the horizontal rotation, that is, the center of rotation is rotated in order to correct this. It needs to be rotated and corrected in the Z-axis direction.
  • the rotary motor 580 analyzes an image of the device 1 photographed by a third camera, which will be described later, and rotates the second picker 540 that picks up the device 1 with a rotational error according to the analysis result. To correct it.
  • the rotary motor 580 is directly connected by the coupler 589 in a configuration for rotating the pickup member 641, or as shown in FIGS. 8 and 9, by a combination of a belt and a pulley, the pickup member. 641 may be rotated.
  • the second picker 540 may be coupled to the picker moving part 520 by various structures and may be supported by the detachable support part similar to the detachable support part 630 in the first picker part 600.
  • the detachable support part may have a configuration similar to that of the detachable support part 630 of the first picker part 600.
  • the picker mover 520 is linearly moved after the second picker 540 picks up the element 1 inverted by the first transfer tool 400 between the transfer position 2 and the load position 3.
  • Various configurations are possible as the configuration to move the second picker 540 by.
  • the picker moving part 520 supports a detachable support part 730 and a first linear moving part for moving in the Y axis direction, and a second linear shape for linearly moving the detachable support part 730 in the X axis direction. It may include a moving unit.
  • the first linear moving part and the second linear moving part are configured to move the second picker 540 supported by the detachable support part 730, in particular, the detachable support part 730 in the X and Y axis directions.
  • the moving method it can be implemented by a variety of structures, such as screw jacks, belts and screws.
  • the second transfer tool 500 corresponds to the pair of first transfer tools 400 in order to increase the transfer efficiency of the device, and thus, the device pick-up position 1 and the device loading position 3. It is preferable to be arranged so as to be mutually symmetric with respect to the Y axis connecting the.
  • reference numerals 811 and 812 which are not described in FIGS. 4 to 5C indicate lighting units for irradiating light to the element 1, respectively.
  • the lighting unit may have any configuration such as an LED element as long as it can illuminate the device 1.
  • the first lighting unit 811 is disposed above the device loading member 10 so that a first camera (not shown) positioned above the image of the device 1, specifically, the bottom surface of the device 1. Illuminate the device (1) located at the device pick-up position (1) to take an image for.
  • the second lighting unit 812 is disposed above the first transfer tool 400 positioned at the element transfer position 2, and the second camera 812a located above the second transfer unit 400 is located on the first transfer tool 400.
  • the picked up element 1 is illuminated.
  • the element 1 picked up by the second transfer tool 500 is positioned below the second transfer tool 500 in the transfer path in which the element 1 picked up by the second transfer tool 500 moves from the element transfer position 2 to the element loading position 3.
  • a third camera 813a is installed to check at least one of a pickup state of the element 1 by the second transfer tool 500 and a state (top vision inspection) for the upper surface of the element 1. Can be.
  • a third lighting unit 813 may be installed to assist the photographing by the third camera 813a.
  • the top vision inspection may be a vision inspection of the device 1 having various protrusions formed on the top surface of the device 1, such as the formation of terminals, bumps, and the like.
  • the upper vision inspection may be performed on a relative surface between the camera module and the second transfer tool 500 when the five-side inspection of the element 1, that is, the inspection on the upper surface and four sides of the rectangular-shaped element 1, is performed. It can be performed by.
  • the third lighting unit 813 and the third camera 813a are installed on the lower side of the transfer path of the second transfer tool 500 in order to perform the upper vision inspection as described above. The position rises.
  • the third lighting unit 813 and the third camera 813a may be configured to perform the top vision inspection as shown in FIGS. 4, 7A, 7B, and 11, of the second transfer tool 500. It is preferably located at the top of the feed path.
  • the second transfer tool 500 moves the device 1 to perform the top vision inspection by the third lighting unit 813 and the third camera 813a located above.
  • the picker In the picked-up state, the picker is configured to be rotated 180 degrees, that is, rotated 180 degrees about the axis of rotation in the X-axis direction in the drawing. 2-1 in the figure indicates the upper vision inspection position.
  • the second transfer tool 500 can be any configuration as long as the picker can be rotated 180 degrees, that is, 180 degrees around the axis of rotation in the X-axis direction in the drawing.
  • the upper vision inspection may be performed by inspecting five surfaces of the device 1, that is, inspecting the upper surface and four sides of the rectangular shape device 1, wherein the camera module and the second transfer tool 500 are interposed. It can be performed by the opponent Shanghaidong.
  • the second transfer tool 500 may include a 5D vision inspection module (not shown) for performing 5D vision inspection while the picker is rotated 180 °, that is, 180 ° rotated about the X axis direction in the drawing. Can be moved upwards.
  • a 5D vision inspection module (not shown) for performing 5D vision inspection while the picker is rotated 180 °, that is, 180 ° rotated about the X axis direction in the drawing. Can be moved upwards.
  • the second transfer tool 500 after the 5D vision inspection, the picker loads after 180 ° additional inversion, that is, 180 ° additional rotation about the X axis direction in the drawing, or the opposite direction rotation
  • the device 1 may be transferred to the device unloading member 20 of the unloading unit 300 by moving to (3).
  • the second transfer tool 500 transfers the device 1 by rotation only about the rotation axis in the X-axis direction or in combination with horizontal movement when moving from the pickup position 1 to the loading position 3. can do.
  • the device handler after the pickup of the device by the first transfer tool 400, that is, after flipping, the device from the first transfer tool 400 by the second transfer tool 500 It is characterized in that it has a configuration to pick up the carrier tape 20, but is not limited to this, the first transfer tool 400 is not operated and the second loading tool 500 by the element loading member 10
  • the element 1 can be configured such that it can be picked up and modified such that the element 1 is loaded onto the carrier tape 20 without inversion, i.e. without flipping.
  • the first transfer tool 400 may be separated from the apparatus and installed in a separate loading place, or may be moved to an appropriate position without being disturbed by the element pickup of the second transfer tool 500.
  • the second transfer tool 500 is moved up and down by the height difference for device pick-up and inversion by the first transfer tool 400, specifically, the difference between the device pick-up position 1 and the device transfer position 2. Need to be.
  • the second transfer tool 500 as shown in Figure 8 and 9, further comprises a shanghai East 570 for linearly moving the second picker 540 in the vertical direction, that is, Z-axis direction can do.
  • the shanghai eastern part 570 may be configured in various ways as a configuration for moving the second picker 540 in the vertical direction.
  • the shanghai 570 is added to the first linear moving part and the second linear moving part described above, and includes a rotating motor, a screw part rotated by the rotating motor, and a linear driving of the screw part.
  • the second picker 540 may include a linear guide part for moving the detachable support part coupled to the vertical direction.

Abstract

본 발명은 소자핸들러에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 캐리어테이프에 소자들을 적재하는 소자핸들러에 관한 것이다. 본 발명은, 다수의 소자들이 부착된 복수의 소자로딩부재들이 적재된 로딩부재카세트부와; 상기 로딩부재카세트부로부터 소자로딩부재를 공급받아 소자로딩부재를 수평방향으로 이동시키는 소자로딩부재테이블과; 상기 소자로딩부재테이블로부터 수평방향으로 이격되어 설치되며 소자로딩부재로부터 하나 이상의 이송툴에 의하여 소자를 전달받아 적재되는 캐리어테이프가 설치된 언로딩부를 포함하는 것을 특징으로 하는 소자핸들러를 개시한다.

Description

소자핸들러
본 발명은 소자핸들러에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 소자로딩부재로부터 소자를 픽업하여 소자적재부재에 소자를 하는 소자핸들장치에 관한 것이다.
SD 램, 프래쉬램, LSI, LED 등 반도체소자(이하 '소자'라 한다)는 반도체공정을 마친 후 소잉공정, 패키징공정 등을 마친 후 시장에 출하됨이 일반적이다.
여기서 시장에 출하된 제품에 대한 신뢰성을 확보하기 위하여 검사장치, 분류장치, 검사 및 분류장치 등에 의하여 자동검사 및 검사결과에 따른 분류를 통하여 양품의 제품들을 선별하여 시장에 출하하고 있다.
한편 소자는 SD 램, 프래쉬램, LSI 등 리드프레임, BGA 등 단자구조가 다양해지는 등 칩의 종류가 다양해지고 있다.
또한 소자는 패키징 공정 후에 최종검사는 물론, 반도체공정을 마친 웨이퍼 상태에서의 소자에 대한 검사 및 검사결과에 따른 소자분류의 공정을 거쳐 생산성을 높이고 있는 추세이다.
더 나아가 최근에는 소자에 대한 소형화요구에 따라서 소자가 수지 등에 의한 몰딩공정을 거치지 않고 웨이퍼 레벨에서 최종 제품화되는 것이 확대되고 있는 추세이다.
이에 웨이퍼링 등과 같은 소자로딩부재에서 시장출하 등을 위하여 테이프앤릴과 같은 소자적재부재로의 소자적재를 보다 신속하게 수행될 수 있는 소자핸들러의 개발이 시급하다.
본 발명의 목적은 상기와 같은 추세에 맞추어, 소자로딩부재로부터 소자를 픽업하여 소자적재부재에 안정적으로 적재할 수 있는 소자핸들러를 제공하는 데 있다.
본 발명은 상기와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위하여 창출된 것으로서, 본 발명은, 다수의 소자(1)들이 부착된 복수의 소자로딩부재(10)를 수평방향으로 이동시키는 소자로딩부재테이블(200)과; 상기 소자로딩부재테이블(200)의 일측에 설치되며 소자로딩부재(10)로부터 하나 이상의 이송툴에 의하여 소자를 전달받아 적재되는 소자적재부재(20)가 설치된 언로딩부(800)를 포함하며, 상기 하나 이상의 이송툴은, 상기 소자로딩부재테이블(200)의 상측에 설치되고 상기 소자로딩부재(10)의 픽업위치(①)에서 소자(1)를 픽업한 후 상기 회전되어 픽업된 소자(1)의 저면이 상측을 향하도록 반전시키는 제1이송툴(400)과; 상기 제1이송툴(400)에 의하여 반전된 소자(1)를 전달위치(②)에서 픽업한 후 회전이동 및 선형이동 중 적어도 하나의 이동에 의하여 상기 언로딩부(800)의 소자적재부재(20)의 적재위치(③)로 소자(1)를 전달하는 제2이송툴(500)를 포함하는 것을 특징으로 하는 소자핸들러를 개시한다.
상기 제1이송툴(400)은, 상기 소자적재부재로부터 소자를 픽업한 후 회전에 의한 반전동작과 동시에 대각선 방향으로 선형이동시킬 수 있다.
상기 전달위치(②)에서 상기 제1이송툴(400)의 상부에는 픽업된 소자(1)의 저면에 대한 이미지를 획득하기 위한 제2카메라(812a)가 추가로 설치될 수 있다.
상기 소자핸들러는, 상기 픽업위치(①)에서 적재위치(③)로 향하는 제1방향을 기준으로 서로 대칭되어 배치되는 한 쌍의 제1이송툴(400)을 포함할 수 있다.
상기 제1이송툴(400)은, 상기 픽업위치(①)에서 적재위치(③)로 향하는 제1방향과 수직을 이루어 배치되는 회전축(611)을 구비한 회전모터(612)와; 상기 회전축(611)의 회전에 의하여 회전됨과 아울러 상기 제1방향과 수직을 이루는 제2방향으로 선형이동되는 선형이동부(620)와; 상기 선형이동부(620)와 결합되어 소자(1)를 픽업하는 하나 이상의 제1픽커(600)를 포함할 수 있다.
상기 소자핸들러는, 상기 한 쌍의 제1이송툴(400)과 대응되는 한 쌍의 제2이송툴(500)을 포함할 수 있다.
상기 제2이송툴(500)의 상기 전달위치(②)와 상기 적재위치(③) 사이의 이송경로 상부에는 픽업된 소자의 상면비전검사를 수행하는 상면비전검사부가 설치되며, 상기 제2이송툴(500)은, 상기 전달위치(②) 및 상기 상면비전검사부에 대응되는 비전검사위치(②-1) 사이에서 회전되어 픽업된 소자(1)의 저면이 하측을 향하도록 반전시킬 수 있다.
상기 상면비전검사부는, 상기 비전검사위치(②-1)에서 제2이송툴(500)의 이송경로의 상부에 위치되어 픽업된 소자(1)의 상면이미지를 획득하기 위한 제3카메라(813a)를 포함할 수 있다.
상기 제3카메라(813a)는, 픽업된 소자(1)의 상면 및 네 개의 측면에 대한 이미지를 획득할 수 있다.
상기 제2이송툴(500)은, 상기 비전검사위치(②-1)에서 상기 상면비전검사부와의 수직거리를 조절하기 위하여 상기 상면비전검사부에 대해 수직방향으로 상대이동할 수 있다.
상기 제1픽커(600)는, 선형이동부(620)에 결합되는 탈착지지부(630)와, 상기 탈착지지부(630)에 탈착결합되어 소자(1)를 픽업하는 픽업부(640)를 포함하며, 상기 픽업부(640)는, 상기 탈착지지부(630)와 탈착가능하게 결합되는 본체부(645)와, 상기 본체부(645)에서 상하로 이동가능하게 결합되는 픽업부재(641)와, 상기 픽업부재(641)에 공압을 전달함과 아울러 상기 픽업부재(641)의 회전을 방지하는 회전방지부(650)와, 상기 픽업부재(641)의 상하이동을 구동하는 상하구동부(642)를 포함하며, 상기 탈착지지부(630)는, 상기 픽업부(640)에 대한 공압전달을 위한 공압전달부(631)와, 상기 상하구동부(642)의 전원공급을 위한 전원공급부가 설치될 수 있다.
상기 회전방지부(650)는, 상기 본체부(645)에 상하이동이 가능하게 설치되는 로드부재(653)와, 상기 본체부(645)의 상측에 설치되며 상기 로드부재(653) 및 상기 픽업부재(641)의 상부에 관통결합되는 연결부재(652)를 포함하며, 상기 상하구동부(642)는, 소자픽업시 상기 픽업부재(641)를 전원인가에 의하여 상하이동을 구동하는 VCM(Voice Coil Motor)를 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 소자핸들러는, 웨이퍼링과 같은 다수의 소자들이 적재된 소자로딩부재로부터 하나 이상의 이송툴을 이용하여 픽업 및 이송을 통하여 캐리어테이프와 같은 언로딩부재에 소자를 적재하도록 구성함으로써 소자의 언로딩작업을 보다 신속하게 수행할 수 있는 이점이 있다.
또한 본 발명에 따른 소자핸들러는, 소자적재부재 상에서 회전에 의한 플립동작과 동시에 대각선 방향으로 선형이동시키는 이송툴에 의하여 소자를 1차로 이송하고, 플립된 소자를 픽업하고 소자를 2차로 이송하여 소자적재부재에 소자를 적재함으로써 보다 신속하게 소자의 픽업 및 적재를 수행할 수 있는 이점이 있다.
또한 본 발명에 따른 소자핸들러는, 소자적재부재 상에서 회전에 의한 플립동작과 동시에 대각선 방향으로 선형이동시키는 이송툴에 의하여 소자를 1차로 이송하고, 플립된 소자를 픽업하고 소자를 2차로 이송하여 소자적재부재에 소자를 적재함으로써 보다 신속하게 소자의 픽업 및 적재를 수행할 수 있는 이점이 있다.
특히 본 발명에 따른 소자핸들러는, 플립 후 소자의 상면비전검사를 소자의 이송과정에서 수행할 때 그 비전검사 수행을 위한 카메라모듈이 상측에 위치됨으로써 소자의 플립 및 이송이 이루어지는 영역에서의 상하높이를 최소화할 수 있는 이점이 있다.
또한 소자의 플립 및 이송이 이루어지는 영역에서의 상하높이를 최소화됨으로써 플립픽커, 즉 제1이송툴의 상하 높이가 최소화되어 제1이송툴의 크기의 최소화 및 이송거리의 최소화로 시간당 처리속도(UPH; units per hour)를 향상시킬 수 있는 이점이 있다.
또한 카메라모듈이 제2이송툴의 이송경로의 상부에 위치됨에 따라서 소자적재부재, 즉 웨이퍼와 테이프앤릴로의 이송거리를 최소화함으로써 장치의 평면크기를 감소시키는 한편 소자의 이송시간을 최소화하여 시간당 처리속도(UPH; units per hour)를 향상시킬 수 있는 이점이 있다.
또한 카메라모듈이 제2이송툴의 이송경로의 상부에 위치됨에 따라서 소자의 5면검사, 즉 직사각형 형상 소자의 상면 및 네 개의 측면에 대한 검사의 수행시 카메라모듈 및 제2이송툴 간의 상대 상하이동에 의하여 수행됨으로써 보다 신속하고 편리하게 5면검사를 수행할 수 있는 이점이 있다.
도 1은, 본 발명의 일실시예 따른 소자핸들러의 개념을 보여주는 평면도이다.
도 2는, 도 1의 소자핸들러에서 사용되는 소자로딩부재의 일예를 보여주는 사시도이다.
도 3a 및 도 3b는, 도 1의 소자핸들러에서 사용되는 소자로딩부재의 변형예로서 웨이퍼링인 경우를 보여주는 사시도 및 단면도이다.
도 4는, 도 1의 소자핸들러에서 소자로딩부재로부터 소자적재부재로의 소자이송 개념을 도시한 개념도이다.
도 5a 내지 도 5c는, 도 1의 소자핸들러에서 소자의 픽업, 플립 및 대각선 이동을 수행하는 제1이송툴의 작동과정을 보여주는 일부 사시도이다.
도 6은, 도 5a의 제1이송툴의 픽커를 보여주는 평면도이다.
도 7a는, 도 6에서 Y축 방향의 소자 이송과정을 보여주는 측면도이다.
도 7b는, 도 7a에서 이송과정에서의 소자의 비반전 및 반전상태를 보여주는 개념도이다.
도 7c는, 도 6에서 Y축 방향의 단면도이다.
도 8은, 도 1의 소자핸들러의 제2이송툴을 보여주는 사시도이다.
도 9은, 도 8의 제2이송툴의 평면도이다.
도 10a 및 도 10b는, 도 1의 소자핸들러에서 소자의 픽업, 플립 및 대각선 이동을 수행하는 제1이송툴의 일예를 보여주는 평면도들이다.
도 11은, 본 발명에 따른 소자핸들러의 변형예에 의한 소자의 이송과정을 보여주는 개념도이다.
이하 본 발명에 따른 소자핸들러에 관하여 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.
본 발명의 일실시에 따른 소자핸들러는, 소자로딩부재(10)에 적재된 소자(1)를 픽업하여 언로딩부의 소자적재부재(20)로 소자(1)를 적재하는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.
예로서, 본 발명의 일실시에 따른 소자핸들러는, 도 1에 도시된 바와 같이, 다수의 소자(1)들이 부착된 복수의 소자로딩부재(10)들이 적재된 로딩부재카세트부(100)와; 로딩부재카세트부(100)로부터 소자로딩부재(10)를 공급받아 소자로딩부재(10)를 수평방향으로 이동시키는 소자로딩부재테이블(200)과; 소자로딩부재테이블(200)로부터 수평방향으로 이격되어 설치되며 소자로딩부재(10)로부터 하나 이상의 이송툴(400, 500)에 의하여 소자(1)를 전달받아 적재하는 소자적재부재(20)가 설치된 언로딩부(800)를 포함할 수 있다.
상기 로딩부재카세트부(100)는, 다수의 소자(1)들이 부착된 복수의 소자로딩부재(10)들이 적재된 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.
여기서 상기 소자로딩부재(10)에 적재되는 반도체소자, 엘이디소자, 태양전지소자 등 반도체공정 및 소잉공정을 마친 소자이다.
특히 상기 소자(1)는, 반도체공정 후 패키징공정을 마친 소자는 물론, 반도체공정 및 소잉공정을 마친 웨이퍼레벨소자가 그 대상이 될 수 있다.
한편 상기 소자로딩부재(10)는, 다수의 소자(1)가 적재되는 부재로서 소자(1)를 적재할 수 있는 부재이면 트레이, 웨이퍼링 등 다양한 구성이 가능하다.
일예로서, 상기 소자로딩부재(10)는, 도 2 및 도 3a 및 도 3b에 도시된 바와 같이, 웨이퍼링과 같이 반도체공정 및 소잉공정을 마친 소자(1)가 적재되는 구성으로서, 소자(1)가 부착되는 테이프(11) 및 테이프(11)를 고정하는 프레임부재(12)를 포함하여 구성될 수 있다.
그리고 상기 테이프(11)는 소자(1)들이 부착될 수 있는 부재이면 어떠한 부재도 가능하며 소위 블루테이프가 사용될 수 있다.
상기 프레임부재(12)는 소자(1)들이 부착된 테이프(11)를 고정하기 위한 구성으로서 사각링, 원형링(웨이퍼링) 등 다양한 구성이 가능하다.
상기 로딩부재카세트부(100)는, 복수의 소자로딩부재(10)의 적재를 위한 구성으로서 소자로딩부재(10)들이 상하로 적층될 수 있는 구성이면 어떠한 구성도 가능하다.
상기 소자로딩부재테이블(200)은, 로딩부재카세트부(100)로부터 소자로딩부재(10)를 공급받아 소자로딩부재(10)를 수평방향으로 이동시키는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.
예로서, 상기 소자로딩부재테이블(200)은 웨이퍼링로딩부(미도시)에 의하여 로딩부재카세트부(100)로부터 소자로딩부재(10)를 전달받아 제1이송툴(400)과 같은 이송툴이 소자(1)를 픽업할 수 있도록 소자로딩부재(10)를 수평방향으로 이동시키는 구성으로서, X-Y테이블, X-Y-Θ테이블 등 다양한 구성이 가능하다.
한편 상기 로딩부재카세트부(100)로부터 소자로딩부재테이블(200)로 소자로딩부재(10)를 전달하기 위한 소자로딩부재로딩부는, 로딩부재카세트부(100)로부터 소자로딩부재(10)를 인출하고 인출된 소자로딩부재(10)를 소자로딩부재테이블(200)로 전달할 수 있는 구성이면 어떠한 구성도 가능하다.
상기 언로딩부(800)는, 소자로딩부재테이블(200)로부터 수평방향으로 이격되어 설치되며 소자로딩부재(10)로부터 소자(1)를 전달받아 적재하는 소자적재부재(20)가 설치된 구성으로서 다양한 구성이 가능하다
특히 상기 언로딩부(800)는, 캐리어테이프 및 커버테이프의 조합(테이프앤릴), 트레이 등 소자(1)의 언로딩을 위한 소자적재부재(20)의 구성에 따라서 그 구성이 결정된다.
예로서, 상기 언로딩부(800)는, 캐리어테이프 및 커버테이프의 조합이 사용된 예로서, 소자(1)가 적재되는 포켓부가 길이방향을 따라서 형성되며 소자적재위치에서 소자가 적재된 후 커버테이프(미도시)에 의하여 밀봉되는 캐리어테이프가 소자적재부재(20)를 구성할 수 있다.
이때 상기 언로딩부(800)는, 도 1에 도시된 바와 같이, 소자(1)가 담길 캐리어테이프(20)를 공급하는 테이프공급부(810)와, 테이프공급부(810)에 의하여 공급되는 캐리어테이프(20)가 소자적재위치를 거치면서 소자(1)가 담겨진 후 캐리어테이프(20)를 권취하는 테이프권취부(820)와, 테이프공급부(810)와 테이프권취부(820) 사이에서 캐리어테이프(20)의 이동경로 상에 설치되어 소자(1)가 담겨진 후 캐리어테이프(20)의 상면에 부착되는 커버테이프를 공급하는 커버테이프공급부(미도시)와, 테이프공급부(810)와 테이프권취부(820) 사이에서 캐리어테이프(20)의 이동경로상에 설치되어 커버테이프를 캐리어테이프(20)의 상면에 부착시키는 실링부(미도시)와, 테이프공급부(810)로부터 테이프권취부(820)에까지 캐리어테이프(20)가 원활하게 이동될 수 있도록 캐리어테이프(20) 및 커버테이프의 이동을 안내하는 복수의 이송롤러(미도시)들을 포함할 수 있다.
여기서 소자(1)가 담기는 포켓부가 형성된 캐리어테이프(20)는, 소자(1)가 담기는 포켓부가 형성된 구성이면 어떠한 구성도 가능하며, 통상 플라스틱 재질에 의하여 형성될 수 있다.
상기 테이프공급부(810)는, 소자(1)가 담겨질 포켓부가 형성된 캐리어테이프(20)가 감겨진 캐리어테이프공급릴(811)이 회전가능하게 설치될 수 있는 구성이면 어떠한 구성도 가능하다.
상기 테이프권취부(820)는, 소자(1)가 캐리어테이프(20)의 포켓부에 담겨지고, 실링부를 거쳐 커버테이프가 캐리어테이프(20)에 부착된 후 캐리어테이프(20)를 권취하는 구성으로서, 캐리어테이프(20)가 권취되는 권취롤이 회전가능하게 설치될 수 있는 구성이면 어떠한 구성도 가능하다.
이때 상기 테이프권취부(820)는, 테이프공급부(810)와 연동하여 캐리어테이프(20)의 이동을 제어할 수 있도록 회전제어부가 설치될 수 있다.
상기 커버테이프공급부는, 소자(1)가 담겨진 캐리어테이프(20)의 상면에 부착되는 커버테이프를 공급하는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하며, 커버테이프가 감겨진 롤이 회전가능하게 설치될 수 있는 구성이면 어떠한 구성도 가능하다.
여기서 상기 커버테이프공급부는, 테이프권취부(820)와 연동하여 캐리어테이프(20)의 이동을 제어할 수 있도록 회전제어부가 설치될 수 있다.
그리고 상기 커버테이프는, 캐리어테이프(20)과의 접착방식에 따라서 다양한 구성이 가능하며, 예로서 적외선히터에 의하여 캐리어테이프(20)와 접착되도록 구성될 수 있다.
상기 실링부는, 캐리어테이프(20)의 이동경로상에 설치되어 커버테이프를 캐리어테이프(20)의 상면에 부착시키는 구성으로서 커버테이프 및 캐리어테이프(20)와의 접착방식에 따라서 다양한 구성이 가능하다.
특히 상기 실링부는, 틸팅에 의한 가압구조를 구비하여 커버테이프 및 캐리어테이프(20)의 견고한 접착을 유도할 수 있다.
상기 이송롤러들은, 테이프공급부(810)로부터 테이프권취부(820)에까지 캐리어테이프(20)가 원활하게 이동될 수 있도록 캐리어테이프(20) 및 커버테이프의 이동을 안내하는 구성으로서, 캐리어테이프(20) 및 커버테이프의 이동을 안정적으로 구현할 수 있도록 그 숫자, 크기, 설치위치 등이 결정된다.
한편 상기 언로딩부(800)는, 캐리어테이프(20)가 권취롤에 적정회전수에 의하여 감겨진 후 캐리어테이프(20)를 절단할 필요가 있는바 캐리어테이프(20)의 절단을 위한 커터(미도시)가 테이프공급부(810) 및 테이프권취부(820) 사이의 적절한 위치에 설치될 수 있다.
여기서 상기 테이프공급부(810)에서의 캐리어테이프(20)가 한번에 테이프권취부(820)에 권취되도록 구성되면 커터가 반드시 설치될 필요가 없음은 물론이다.
또한 상기 언로딩부(800)는, 캐리어테이프(20)의 포켓 내에 소자(1)가 제대로 담겨져 있는지 여부를 검사하기 위한 적재상태비전검사장치(710)가 추가로 설치될 수 있다.
상기 적재상태비전검사장치(710)는, 캐리어테이프(20)의 이송방향을 기준으로 소자적재위치(③) 및 테이프권취부(820) 사이에서 상측에 설치되어 캐리어테이프(20)의 포켓 내에 소자(1)가 제대로 담겨져 있는지 여부를 검사할 수 있다.
또한 상기 언로딩부(800)는, 캐리어테이프(20)에 커버테이프가 제대로 부착되었는지를 검사하기 위한 테이프비전검사장치가 추가로 설치될 수 있다.
상기 테이프비전검사장치는, 캐리어테이프(20)의 이송방향을 기준으로 소자적재위치(③) 및 테이프권취부(820) 사이에서 상측에 설치되어 캐리어테이프(20)에 대한 이미지를 획득하는 카메라로 구성됨으로써 캐리어테이프(20)에 커버테이프가 제대로 부착되었는지 등을 검사할 수 있다.
한편 상기 이송툴(400, 500)은, 소자로딩부재테이블(200)에 안착된 소자로딩부재(10)로부터 소자(1)를 픽업하여 회전이동 및 선형이동 중 적어도 하나의 이동에 의하여 언로딩부(800)의 소자적재부재(20)로 소자(1)를 전달하는 구성으로서 하나 이상으로 구성될 수 있다.
예로서, 상기 이송툴(400, 500)은, 소자로딩부재테이블(200)의 상측에 설치되고 회전되어 픽업된 소자(1)의 저면이 상측을 향하도록 반전(flip)시키는 제1이송툴(400)과; 제1이송툴(400)에 의하여 반전된 소자(1)를 픽업한 후 회전이동 및 선형이동 중 적어도 하나의 이동에 의하여 언로딩부(800)의 소자적재부재(20)로 소자(1)를 전달하는 제2이송툴(500)를 포함할 수 있다.
상기 제1이송툴(400)은, 소자로딩부재테이블(200)의 상측에 설치되며 소자로딩부재테이블(200)에 안착된 소자로딩부재(10)로부터 소자(1)를 픽업하고 회전되어 픽업된 소자(1)의 저면이 상측을 향하도록 반전시키는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.
특히, 상기 제1이송툴(400)은, 도 4 내지 도 7b에 도시된 바와 같이, 회전에 의하여 픽업된 소자(1)를 반전시킴과 아울러 픽업위치(①)에서 전달위치(②)로 이동시키도록 구성될 수 있다.
이때 상기 제1이송툴(400)은, 픽업위치(①)와 적재위치(③)를 연결하는 제1방향(Y축방향)과는 경사, 즉 대각선 방향에 위치된 전달위치(②)로 소자(1)의 픽업 및 이송을 수행하도록 구성됨이 바람직하다.
더 나아가 보다 신속한 소자 픽업 및 이송을 위하여 상기 제1이송툴(400)은, 한 쌍으로 제1방향(Y축방향)를 기준으로 서로 대칭되어 배치될 수 있다.
제1실시예에 따른 제1이송툴(400)은, 도 4 내지 도 7b에 도시된 바와 같이, 제1방향(Y축방향)과 수직을 이루어 배치되는 회전축(611)을 구비한 회전모터(612)와, 회전축(611)의 회전에 의하여 회전됨과 아울러 제1방향(Y축방향)과 수직을 이루는 제2방향(X축방향)으로 선형이동되는 선형이동부(620)와, 선형이동부(620)와 결합되어 소자(1)를 픽업하는 하나 이상의 제1픽커(600)를 포함할 수 있다.
상기 선형이동부(620)는, 회전축(611)과 결합되어 회전에 의하여 선형이동을 구현하기 위한 구성으로서, 회전축(611)과 결합되어 회전되며 수사나부가 형성된 스크류부(621)와, 스크류부(621)와 나사결합에 의하여 회전시 스크류부(621)를 선형이동시키는 암나사부(622)를 포함할 수 있다.
여기서 상기 선형이동부(620)는, 스크류부(621) 대신에 외주면에 캠홈이 형성되는 캠부재를 사용하고 캠부재에 대응되어 회전되는 캠부재를 선형이동시키는 캠결합부재를 포함하여 구성될 수도 있음은 물론이다.
상기 제1픽커(600)는, 선형이동부(620)와 결합되어 소자(1)를 픽업하는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.
상기 제1픽커(600)는, 일예로서, 도 6 및 도 7b에 도시된 바와 같이, 선형이동부(620)에 결합되는 탈착지지부(630)와, 탈착지지부(630)에 탈착결합되어 소자(1)를 픽업하는 픽업부(640)를 포함할 수 있다.
상기 탈착지지부(630)는, 선형이동부(620)에 결합됨과 아울러 픽업부(640)를 지지하는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.
그리고 상기 탈착지지부(630)는, 픽업부(640)에 대한 공압전달을 위한 공압전달부(631), 후술하는 픽업부재(641)의 상하이동을 구동하는 상하구동부(642)의 전원공급을 위한 전원공급부(미도시)가 설치될 수 있다.
상기 픽업부(640)는, 탈착지지부(630)에 탈착결합되어 소자(1)를 픽업하는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.
예로서, 상기 픽업부(640)는, 탈착지지부(630)와 탈착가능하게 결합되는 본체부(645)와, 본체부(645)에서 상하로 이동가능하게 결합되는 픽업부재(641)와, 픽업부재(641)에 공압을 전달함과 아울러 픽업부재(641)의 회전을 방지하는 회전방지부(650)와, 픽업부재(641)의 상하이동을 구동하는 상하구동부(642)를 포함할 수 있다.
상기 본체부(645)는, 픽업부재(641) 등이 설치되는 구성으로서 하나 이상의 부재로 구성될 수 있다.
상기 픽업부재(641)는, 본체부(645)에서 상하로 이동가능하게 결합되어 진공압에 의하여 소자(1)를 픽업하는 구성으로서 끝단에 소자(1) 픽업을 위한 픽업헤드(미도시)가 설치된 중공형 로드로 구성될 수 있다.
구체적으로, 상기 픽업부재(641)는, 상하방향으로 형성된 공압유로(641a)가 형성되며 끝단에는 픽업될 소자(1)의 구조 및 종류에 따라서 다양한 구조가 가능하다.
상기 회전방지부(650)는, 픽업부재(641)에 공압을 전달함과 아울러 픽업부재(641)의 회전을 방지하는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.
일예로서, 상기 회전방지부(650)는, 본체부(645)에 상하이동이 가능하게 설치되는 로드부재(653)와, 본체부(645)의 상측에 설치되며 로드부재(653) 및 픽업부재(641)의 상부에 관통결합되는 연결부재(652)를 포함할 수 있다.
여기서 상기 픽업부재(641)는, 연결부재(652)에 대하여 회전가능하게 상하로 관통하여 상측으로 돌출되어 설치될 수 있다.
그리고 상기 연결부재(652)의 상측으로 돌출된 부분에 고정부재(651)에 의하여 연결부재(652)에 대하여 회전이 불가능하도록 연결부재(652)에 고정결합될 수 있다.
상기와 같은 구성은 탈착지지부(630)으로부터 분리되어 후술하는 제2이송툴(500)에서 일부가 픽업부로서 활용될 수 있다.
상기 상하구동부(642)는, 소자픽업시 픽업부재(641)를 상하로 이동시키거나 소자(1)에 대한 충격을 완화시키기 위한 구성으로서 전원인가에 의하여 상하이동을 구동하는 VCM(Voice Coil Motor)를 포함할 수 있다.
한편 상기 제1이송툴(400)은, 소자픽업의 효율성을 위하여, 앞서 설명한 Y축방향을 기준으로 선대칭되어 한 쌍으로 배치됨이 바람직하다.
즉, 한 쌍의 제1이송툴(400)들 중 어느 하나가, 소자로딩부재(10), 즉 웨이퍼링 상에서 소자(1)를 픽업하는 동안, 나머지 하나의 제1이송툴(400)은 소자전달을 위한 각 소자전달위치(②)로 이동되어 후술하는 제2이송툴(500)에 의하여 소자(1)를 전달할 수 있다.
여기서 상기 제1이송툴(400)이 한 쌍으로 배치된 경우, 이에 대응되어 제2이송툴(500) 또한 한 쌍으로 배치되는 것이 바람직하다.
그리고 상기 제1이송툴(400)로부터의 소자전달위치(②)는, 도 1 및 도 4에 도시된 바와 같이, 하나의 위치보다는 Y축방향을 기준으로 선대칭되어 배치됨이 바람직하다.
이하 상기와 같은 구성을 가지는 제1이송툴(400)의 작동에 관하여 설명한다.
상기 제1이송툴(400)은, 도 5a에 도시된 바와 같이, 소자픽업위치(①)에서 소자로딩부재(10)로부터 소자(1)를 픽업한다.
이때 상기 소자로딩부재(10)의 하측에는 소자픽업위치(①)에 위치된 소자(1)를 상측으로 밀어올리기 위한 니들핀(90)이 설치된다.
그리고 상기 제1이송툴(400)의 픽업부재(641)는, 상하구동부(642)의 상하구동에 의하여 하측으로 이동되어 소자(1)를 픽업한다.
이때 한 쌍의 제1이송툴(400)들 중 다른 하나는, 반전, 즉 픽업부재(641)에 픽업된 소자(1)가 상측에 위치된 상태로 소자전달위치(②)에서 소자(1)를 전달한다.
한편, 상기 소자픽업위치(①)에서 소자픽업을 마친 제1이송툴(400)은, 도 5b 및 도 5c를 거쳐 소자전달위치(②)로 회전 및 선형이동에 의하여 소자(1)를 이송한다.
여기서 상기 제1이송툴(400)은, 소자픽업위치(①)로부터 소자전달위치(②)로 이동될 때 회전 및 선형이동의 조합에 의하여 구현되며 다양한 패턴에 의하여 구현될 수 있다.
예로서, 상기 제1이송툴(400)은, 1차로 X축을 회전축으로 180°회전 된 후에 X축방향으로 2차로 선형이동될 수 있다. 여기서 회전 및 선형이동이 반대로 수행될 수 있다.
또한 상기 제1이송툴(400)은, X축을 회전축으로 한 180°회전 및 X축방향의 선형이동을 동시에 수행될 수 있다.
한편, 상기 한 쌍의 제1이송툴(400)들 중 제2이송툴(500)로의 소자전달을 마친 나머지 제1이송툴(400)은, 도 5a 내지 도 5c의 반대과정으로 소자픽업위치(①)로 이동된다.
상기 제1이송툴(400)의 다른 실시예로서, 제2실시예에 따른 제1이송툴(400)은, 도 10a 및 도 10b에 도시된 바와 같이, 제1방향(Y축방향)과는 경사, 즉 대각선 방향을 이루어 배치된 회전축(611)을 구비한 회전모터(612)와, 회전축(611)과 결합되며 회전축(611)으로부터 편심되어 설치되는 하나 이상의 제1픽커(600)을 포함할 수 있다.
상기 제1픽커(600)는, 소자를 픽업하는 위한 구성으로서 진공압에 의하여 소자로딩부재(10)로부터 소자(1)를 픽업하는 구성으로 다양한 구성이 가능하다.
한편 상기 제1이송툴(400)은, 도 4 및 도 10a에 도시된 바와 같이, 픽업위치(①)와 적재위치(③)를 연결하는 제1방향(Y축방향)과는 경사, 즉 대각선 방향에 위치된 전달위치(②)로 소자(1)의 픽업 및 이송을 수행하는 예를 들어 설명하였으나, 도 11에 도시된 바와 같이, 픽업위치(①)와 적재위치(③)를 연결하는 제1방향(Y축방향)과 수직을 이루어 소자(1)의 픽업 및 이송을 수행할 수 있음은 물론이다.
상기 제2이송툴(500)은, 제1이송툴(400)에 의하여 반전된 소자(1)를 픽업한 후 하나 이상의 선형이동에 의하여 언로딩부(300)의 소자언로딩부재(20)로 소자(1)를 전달하는 구성으로서 그 이동형태에 따라서 다양한 구성이 가능하다.
구체적인 예로서, 상기 제2이송툴(500)은, 도 1에 도시된 바와 같이, 전달위치(②)에서 소자(1)를 픽업한 후 적재위치(③)로 이동되어 언로딩부(300)의 소자언로딩부재(20)로 소자(1)를 전달하는 제2픽커(540)와, 하나 이상의 선형이동에 의하여 제2픽커(540)를 이동시키는 픽커이동부(520)를 포함할 수 있다.
상기 제2픽커(540)는, 전달위치(②)에서 소자(1)를 픽업한 후 적재위치(③)로 이동되어 언로딩부(300)의 소자언로딩부재(20)로 소자(1)를 전달하는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.
특히 상기 제2픽커(540)는, 도 7b 및 도 8에 도시된 제1픽커부(600)에서 탈착지지부(630)를 제외한 나머지 부분으로 구성될 수 있다.
이때 상기 제2픽커(540)는, 소자적재부재(20)로의 소자적재시 소자(1)의 수평회전(회전중심축이 Z축방향으로 한 회전)이 필요한바, 픽업부재(641)의 회전이 가능하도록 앞서 설명한 고정부재(651)를 제거하고 회전모터(580)에 의하여 회전되도록 픽업부재(641)의 상단부분은 커플러(589)에 의하여 결합되어 픽업부재(641)가 회전될 수 있다.
구체적으로, 제2픽커(540)에 픽업된 소자(1)는 픽업 과정 등에 의하여 캐리어테이프(20)에 적재에 부적절한 상태로 픽업될 수 있으며 이를 교정하기 위하여 수평방향으로 회전, 즉 회전중심축이 Z축방향으로 하여 회전되어 보정될 필요가 있다.
이에, 상기 회전모터(580)는, 후술하는 제3카메라에 의하여 촬영된 소자(1)의 이미지를 분석하고 분석결과에 따른 회전오차를 소자(1)를 픽업한 제2픽커(540)를 회전시켜 이를 보정한다.
한편 상기 회전모터(580)는, 픽업부재(641)를 회전시키기 위한 구성으로 커플러(589)에 의하여 직접 연결되거나, 도 8 및 도 9에 도시된 바와 같이, 벨트 및 풀리의 조합에 의하여 픽업부재(641)를 회전시킬 수 있다.
상기 제2픽커(540)는, 다양한 구조에 의하여 픽커이동부(520)에 결합되며 제1픽커부(600)에서 탈착지지부(630)와 유사하게 탈착지지부에 지지될 수 있다.
상기 탈착지지부는, 도 7b 및 도 8에 명확히 도시되지 않았지만 제1픽커부(600)의 탈착지지부(630)와 유사한 구성을 가질 수 있다.
상기 픽커이동부(520)는, 제2픽커(540)가 전달위치(②)와 적재위치(③) 사이에서 제1이송툴(400)에 의하여 반전된 소자(1)를 픽업한 후 선형이동에 의하여 제2픽커(540)를 이동시키는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.
상기 픽커이동부(520)는, 탈착지지부(730)를 지지함과 아울러 Y축방향으로 이동시키기 위한 제1선형이동부와, 탈착지지부(730)를 X축방향으로 선형이동시키기 위한 제2선형이동부를 포함할 수 있다.
상기 제1선형이동부 및 상기 제2선형이동부는, 탈착지지부(730), 특히 탈착지지부(730)에 지지된 제2픽커(540)를 X축 및 Y축방향으로 이동시키기 위한 구성으로서 그 이동방식에 따라서 스크류잭, 벨트 및 스크류 등 다양한 구조에 의하여 구현될 수 있다.
한편 상기 제2이송툴(500)은, 앞서 설명한 바와 같이, 소자의 이송효율을 높이기 위하여, 한 쌍의 제1이송툴(400)에 대응되어 소자픽업위치(①) 및 소자적재위치(③)를 연결하는 Y축을 중심으로 서로 선대칭되도록 배치됨이 바람직하다.
그리고 상기 한 쌍의 제2이송툴(500)은, 도 4에 도시된 바와 같이, 각 소자전달위치(②)에서 소자적재위치(③)로 번갈아가면서 이동하게 된다.
한편 도 4 내지 도 5c 중 설명되지 않은 도면부호 811, 812는, 각각 소자(1)에 대하여 광을 조사하기 위한 조명부들을 가리킨다.
상기 조명부는, 소자(1)를 조명할 수 있는 구성이면 엘이디소자 등 어떠한 구성도 가능하다.
구체적으로 제1조명부(811)는, 소자로딩부재(10)의 상부에 배치되어 그 상측에 위치된 제1카메라(미도시)가 소자(1)에 대한 이미지, 구체적으로 소자(1)의 저면에 대한 이미지를 촬영하도록 소자픽업위치(①)에 위치된 소자(1)를 조명한다.
상기 제2조명부(812)는, 소자전달위치(②)에 위치된 제1이송툴(400)의 상부에 배치되어 그 상측에 위치된 제2카메라(812a)가 제1이송툴(400)에 픽업된 소자(1)를 조명한다.
한편 도시되지 않았지만, 제2이송툴(500)에 의하여 픽업된 소자(1)가 소자전달위치(②)로부터 소자적재위치(③)로 이동되는 이송경로에서 제2이송툴(500)의 하측에 설치되어 제2이송툴(500)에 의한 소자(1)의 픽업상태 및 소자(1)의 상면에 대한 상태(상면비전검사) 중 적어도 어느 하나를 확인하기 위한 제3카메라(813a)가 설치될 수 있다.
이때 상기 제3카메라(813a)에 의한 촬영을 보조하기 위하여 제3조명부(813)이 설치될 수 있다.
그리고 상기 상면비전검사는, 소자(1)의 상면에 단자, 범프 등의 형성등 다양한 돌출부가 형성된 소자(1)에 대한 비전검사일 수 있다.
또한 상기 상면비전검사는, 소자(1)의 5면검사, 즉 직사각형 형상 소자(1)의 상면 및 네 개의 측면에 대한 검사의 수행시 카메라모듈 및 제2이송툴(500) 간의 상대 상하이동에 의하여 수행될 수 있다.
한편 상기와 같은 상면비전검사의 수행을 위하여 제3조명부(813) 및 제3카메라(813a)가 제2이송툴(500)의 이송경로 중 하측에 설치됨에 따라서 제2이송툴(500)의 설치위치가 높아진다.
그런데 상기 제2이송툴(500)의 설치위치가 높아지면 제2이송툴(500)로의 소자 전달을 위하여 제1이송툴(400)의 소자(1)의 상하이동높이가 높아져 전체적으로 장치의 크기를 증가시키고 이동스트로크 또한 증가시키는 문제점이 있다.
이에, 상기 상면비전검사의 수행을 위하여 제3조명부(813) 및 제3카메라(813a)는, 도 4, 도 7a, 도 7b 및 도 11에 도시된 바와 같이, 제2이송툴(500)의 이송경로의 상부에 위치됨이 바람직하다.
이때 상기 제2이송툴(500)은, 도 7a에 도시된 바와 같이, 상부에 위치된 제3조명부(813) 및 제3카메라(813a)에 의한 상면비전검사의 수행을 위하여 소자(1)를 픽업한 상태에서 픽커가 180°반전, 즉 도면에서 X축 방향의 회전축을 중심으로 한 180°회전되도록 구성된다. 도면에서 ②-1은 상면비전검사위치를 가리킨다.
상기 제2이송툴(500)은, 픽커가 180°반전, 즉 도면에서 X축 방향의 회전축을 중심으로 한 180°회전되도록 할 수 있는 구성이면 어떠한 구성도 가능하다.
한편 상기 상면비전검사는, 소자(1)의 5면검사, 즉 직사각형 형상 소자(1)의 상면 및 네 개의 측면에 대한 검사로 수행될 수 있으며 ,이때 카메라모듈 및 제2이송툴(500) 간의 상대 상하이동에 의하여 수행될 수 있다.
예로서, 상기 제2이송툴(500)은, 픽커가 180°반전, 즉 도면에서 X축 방향의 회전축을 중심으로 한 180°회전 상태에서 5D비전검사 수행을 위한 5D비전검사모듈(미도시) 쪽으로 상측으로 이동될 수 있다.
한편 상기 제2이송툴(500)은, 5D비전검사의 수행 후 픽커가 180°추가반전, 즉 도면에서 X축 방향의 회전축을 중심으로 한 180°추가회전, 또는 그 반대방향의 회전 후에 적재위치(③)로 이동되어 언로딩부(300)의 소자언로딩부재(20)로 소자(1)를 전달할 수 있다.
여기서 상기 제2이송툴(500)은, 픽업위치(①)에서 적재위치(③)로의 이동시 X축 방향의 회전축을 중심으로 한 회전만에 의하여 또는 수평이동과의 조합에 의하여 소자(1)를 이송할 수 있다.
한편, 본 발명의 실시예에 따른 소자핸들러는, 제1이송툴(400)에 의하여 소자의 픽업 후 반전, 즉 플립 후, 제2이송툴(500)에 의하여 제1이송툴(400)로부터 소자를 픽업하여 캐리어테이프(20)에 적재하는 구성을 가지는 것을 특징으로 하나, 이에 국한되지 않고 제1이송툴(400)이 작동되지 않고 제2이송툴(500)에 의하여 소자로딩부재(10)로부터 소자(1)를 픽업하여, 반전, 즉 플립 없이 소자(1)를 캐리어테이프(20)에 적재하도록 변경이 가능하게 구성될 수 있다.
이때, 제1이송툴(400)은, 장치로부터 분리되어 별도의 적재장소에 설치되거나, 제2이송툴(500)의 소자픽업에 방해받지 않는 적절한 위치로 이동될 수 있다.
이때 상기 제2이송툴(500)은, 제1이송툴(400)에 의한 소자픽업 및 반전하기 위한 높이차, 구체적으로 소자픽업위치(①) 및 소자전달위치(②)의 차이만큼 상하로 이동될 필요가 있다.
이에 상기 제2이송툴(500)은, 도 8 및 도 9에 도시된 바와 같이, 제2픽커(540)를 상하방향, 즉 Z축방향으로 선형이동시키기 위한 상하이동부(570)를 추가로 포함할 수 있다.
상기 상하이동부(570)는, 제2픽커(540)를 상하방향으로 이동시키기 위한 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.
일예로서, 상기 상하이동부(570)는, 앞서 설명한, 제1선형이동부 및 제2선형이동부에 추가된 구성으로서, 회전모터와, 회전모터에 의하여 회전되는 스크류부와, 스크류부의 선형구동에 의하여 제2픽커(540)가 결합된 탈착지지부를 상하방향으로 이동시키는 선형가이드부를 포함할 수 있다.
이상은 본 발명에 의해 구현될 수 있는 바람직한 실시예의 일부에 관하여 설명한 것에 불과하므로, 주지된 바와 같이 본 발명의 범위는 위의 실시예에 한정되어 해석되어서는 안 될 것이며, 위에서 설명된 본 발명의 기술적 사상과 그 근본을 함께 하는 기술적 사상은 모두 본 발명의 범위에 포함된다고 할 것이다.

Claims (16)

  1. 다수의 소자(1)들이 부착된 복수의 소자로딩부재(10)를 수평방향으로 이동시키는 소자로딩부재테이블(200)과;
    상기 소자로딩부재테이블(200)의 일측에 설치되며 소자로딩부재(10)로부터 하나 이상의 이송툴에 의하여 소자를 전달받아 적재되는 소자적재부재(20)가 설치된 언로딩부(800)를 포함하며,
    상기 하나 이상의 이송툴은,
    상기 소자로딩부재테이블(200)의 상측에 설치되고 상기 소자로딩부재(10)의 픽업위치(①)에서 소자(1)를 픽업한 후 상기 회전되어 픽업된 소자(1)의 저면이 상측을 향하도록 반전시키는 제1이송툴(400)과;
    상기 제1이송툴(400)에 의하여 반전된 소자(1)를 전달위치(②)에서 픽업한 후 회전이동 및 선형이동 중 적어도 하나의 이동에 의하여 상기 언로딩부(800)의 소자적재부재(20)의 적재위치(③)로 소자(1)를 전달하는 제2이송툴(500)를 포함하는 것을 특징으로 하는 소자핸들러.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 제1이송툴(400)은, 상기 소자적재부재로부터 소자를 픽업한 후 회전에 의한 반전동작과 동시에 대각선 방향으로 선형이동시키는 것을 특징으로 하는 소자핸들러.
  3. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
    상기 전달위치(②)에서 상기 제1이송툴(400)의 상부에는 픽업된 소자(1)의 저면에 대한 이미지를 획득하기 위한 제2카메라(812a)가 추가로 설치되는 것을 특징으로 하는 소자핸들러.
  4. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
    상기 소자핸들러는, 상기 픽업위치(①)에서 적재위치(③)로 향하는 제1방향을 기준으로 서로 대칭되어 배치되는 한 쌍의 제1이송툴(400)을 포함하는 것을 특징으로 하는 소자핸들러.
  5. 청구항 4에 있어서,
    상기 제1이송툴(400)은,
    상기 픽업위치(①)에서 적재위치(③)로 향하는 제1방향과 수직을 이루어 배치되는 회전축(611)을 구비한 회전모터(612)와;
    상기 회전축(611)의 회전에 의하여 회전됨과 아울러 상기 제1방향과 수직을 이루는 제2방향으로 선형이동되는 선형이동부(620)와;
    상기 선형이동부(620)와 결합되어 소자(1)를 픽업하는 하나 이상의 제1픽커(600)를 포함하는 것을 특징으로 하는 소자핸들러.
  6. 청구항 4에 있어서,
    상기 소자핸들러는, 상기 한 쌍의 제1이송툴(400)과 대응되는 한 쌍의 제2이송툴(500)을 포함하는 것을 특징으로 하는 소자핸들러.
  7. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
    상기 제2이송툴(500)의 상기 전달위치(②)와 상기 적재위치(③) 사이의 이송경로 상부에는 픽업된 소자의 상면비전검사를 수행하는 상면비전검사부가 설치되며,
    상기 제2이송툴(500)은, 상기 전달위치(②) 및 상기 상면비전검사부에 대응되는 비전검사위치(②-1) 사이에서 회전되어 픽업된 소자(1)의 저면이 하측을 향하도록 반전시키는 것을 특징으로 하는 소자핸들러.
  8. 청구항 7에 있어서,
    상기 상면비전검사부는,
    상기 비전검사위치(②-1)에서 제2이송툴(500)의 이송경로의 상부에 위치되어 픽업된 소자(1)의 상면이미지를 획득하기 위한 제3카메라(813a)를 포함하는 것을 특징으로 하는 소자핸들러.
  9. 청구항 8에 있어서,
    상기 제3카메라(813a)는, 픽업된 소자(1)의 상면 및 네 개의 측면에 대한 이미지를 획득하는 것을 특징으로 하는 소자핸들러.
  10. 청구항 8에 있어서,
    상기 제2이송툴(500)은,
    상기 비전검사위치(②-1)에서 상기 상면비전검사부와의 수직거리를 조절하기 위하여 상기 상면비전검사부에 대해 수직방향으로 상대이동하는 것을 특징으로 하는 소자핸들러.
  11. 청구항 8에 있어서,
    상기 전달위치(②)에서 상기 제1이송툴(400)의 상부에는 픽업된 소자(1)의 저면에 대한 이미지를 획득하기 위한 제2카메라(812a)가 추가로 설치되는 것을 특징으로 하는 소자핸들러.
  12. 청구항 8에 있어서,
    상기 소자핸들러는, 상기 픽업위치(①)에서 적재위치(③)로 향하는 제1방향을 기준으로 서로 대칭되어 배치되는 한 쌍의 제1이송툴(400)을 포함하는 것을 특징으로 하는 소자핸들러.
  13. 청구항 12에 있어서,
    상기 제1이송툴(400)은,
    상기 픽업위치(①)에서 적재위치(③)로 향하는 제1방향과 수직을 이루어 배치되는 회전축(611)을 구비한 회전모터(612)와;
    상기 회전축(611)의 회전에 의하여 회전됨과 아울러 상기 제1방향과 수직을 이루는 제2방향으로 선형이동되는 선형이동부(620)와;
    상기 선형이동부(620)와 결합되어 소자(1)를 픽업하는 하나 이상의 제1픽커(600)를 포함하는 것을 특징으로 하는 소자핸들러.
  14. 청구항 12에 있어서,
    상기 소자핸들러는, 상기 한 쌍의 제1이송툴(400)과 대응되는 한 쌍의 제2이송툴(500)을 포함하는 것을 특징으로 하는 소자핸들러.
  15. 청구항 5에 있어서,
    상기 제1픽커(600)는,
    선형이동부(620)에 결합되는 탈착지지부(630)와,
    상기 탈착지지부(630)에 탈착결합되어 소자(1)를 픽업하는 픽업부(640)를 포함하며,
    상기 픽업부(640)는,
    상기 탈착지지부(630)와 탈착가능하게 결합되는 본체부(645)와,
    상기 본체부(645)에서 상하로 이동가능하게 결합되는 픽업부재(641)와,
    상기 픽업부재(641)에 공압을 전달함과 아울러 상기 픽업부재(641)의 회전을 방지하는 회전방지부(650)와,
    상기 픽업부재(641)의 상하이동을 구동하는 상하구동부(642)를 포함하며,
    상기 탈착지지부(630)는, 상기 픽업부(640)에 대한 공압전달을 위한 공압전달부(631)와, 상기 상하구동부(642)의 전원공급을 위한 전원공급부가 설치된 것을 특징으로 하는 소자핸들러.
  16. 청구항 15에 있어서,
    상기 회전방지부(650)는, 상기 본체부(645)에 상하이동이 가능하게 설치되는 로드부재(653)와, 상기 본체부(645)의 상측에 설치되며 상기 로드부재(653) 및 상기 픽업부재(641)의 상부에 관통결합되는 연결부재(652)를 포함하며,
    상기 상하구동부(642)는, 소자픽업시 상기 픽업부재(641)를 전원인가에 의하여 상하이동을 구동하는 VCM(Voice Coil Motor)를 포함하는 것을 특징으로 하는 소자핸들러.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111886509A (zh) * 2018-03-06 2020-11-03 宰体有限公司 元件处理器

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6823534B2 (ja) * 2017-04-28 2021-02-03 株式会社アドバンテスト 電子部品試験装置用のキャリア
CN112987643B (zh) * 2021-05-13 2021-08-10 中科长光精拓智能装备(苏州)有限公司 一种智能调节伺服电机速度的方法及系统

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20070206967A1 (en) * 2004-06-08 2007-09-06 Advantest Corporation Image sensor test system
KR20100079883A (ko) * 2008-12-31 2010-07-08 (주)제이티 비전검사장치
KR20120106495A (ko) * 2011-03-18 2012-09-26 (주)제이티 로터리조인트 및 그를 가지는 엘이디소자검사장치
KR20130042945A (ko) * 2011-10-19 2013-04-29 (주)제이티 소자검사장치 및 그에 사용되는 소자가압장치
KR101496796B1 (ko) * 2014-03-07 2015-02-27 (주)제이티 소자핸들러 및 소자핸들링방법

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3349339B2 (ja) * 1996-04-24 2002-11-25 シャープ株式会社 外観検査機能を備えたダイシング装置
JP4744689B2 (ja) * 2000-12-11 2011-08-10 パナソニック株式会社 粘性流体転写装置及び電子部品実装装置
KR100904496B1 (ko) * 2007-02-09 2009-06-24 한미반도체 주식회사 반도체 패키지 가공시스템 및 반도체 패키지 가공방법
KR101169406B1 (ko) * 2010-04-12 2012-08-03 (주)제이티 반도체소자 검사장치 및 반도체소자 검사방법
KR101339394B1 (ko) * 2012-07-13 2014-01-10 (주) 티피씨 메카트로닉스 픽커 및 픽커 모듈
CN104012427A (zh) * 2014-06-30 2014-09-03 王帅 一种鸡蛋自动拾取及装箱装置

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20070206967A1 (en) * 2004-06-08 2007-09-06 Advantest Corporation Image sensor test system
KR20100079883A (ko) * 2008-12-31 2010-07-08 (주)제이티 비전검사장치
KR20120106495A (ko) * 2011-03-18 2012-09-26 (주)제이티 로터리조인트 및 그를 가지는 엘이디소자검사장치
KR20130042945A (ko) * 2011-10-19 2013-04-29 (주)제이티 소자검사장치 및 그에 사용되는 소자가압장치
KR101496796B1 (ko) * 2014-03-07 2015-02-27 (주)제이티 소자핸들러 및 소자핸들링방법

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111886509A (zh) * 2018-03-06 2020-11-03 宰体有限公司 元件处理器

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