WO2017119786A1 - 이송툴모듈 및 그를 가지는 소자핸들러 - Google Patents

이송툴모듈 및 그를 가지는 소자핸들러 Download PDF

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loading
picker
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유홍준
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(주)제이티
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Definitions

  • the present invention relates to an element handler, and more particularly, to a transfer tool module for picking up and unloading an element from a loading member such as a wafer ring in which a plurality of elements are loaded, and an element handler having the same.
  • DRAM dynamic random access memory
  • flash lamp flash lamp
  • LSI LSI and LED
  • the types of chips such as lead frames and BGAs, have diversified terminal structures.
  • semiconductor devices tend to be significantly smaller in total size as micro processes such as nano processes are developed.
  • the process is performed in the clean room, and the processing speed of the equipment that performs each process in the clean room is directly related to the productivity.
  • Handlers are also important to speed up equipment.
  • the device handler for unloading the device at the wafer level is configured to pick up the device from the wafer ring after the semiconductor process and the sawing process and to load the device from the wafer ring in a loading member such as a carrier tape.
  • the processing speed of the element handler (usually checked by the number of times per hour UPH) is determined by the throughput of picking up the element from the wafer ring and placing the element on a loading member such as a carrier tape.
  • the processing speed of the device handler is determined by device pickup efficiency on the wafer ring, such as device recognition by the camera, position correction between the wafer ring and the picker, and device loading efficiency to the loading member after pickup.
  • the processing speed of the device handler is determined by the pick-up speed and the accuracy of the pickup to pick up the device from the wafer ring to which the plurality of devices are attached.
  • the device handler has a problem that the footprint efficiency of the device may decrease when the space occupied by the device is large even though the processing speed is high.
  • the loading member from the loading member cassette unit 100 is loaded with a plurality of loading members 60 with a plurality of elements (1) attached
  • a loading member table 200 which receives the member 60 and moves the loading member 60 in a horizontal direction
  • An unloading unit 300 disposed spaced apart from the loading member table 200 in a horizontal direction and provided with an unloading member 70 loaded with the element 1 from the loading member 60;
  • the device 1 is picked up from the loading member 60 at a pickup position P1 and the device 1 is unloaded from the loading member 60 to the unloading member 20 at an unloading position P2 of each of the unloading units 300.
  • a device handler comprising a transfer tool module 500 for loading.
  • the transfer tool module 500 includes: a first rotary drive unit 10 having a first rotary shaft 11; A plurality of pickers 20 radially coupled to the first rotational shaft 11 and disposed in the circumferential direction of the first rotational shaft 11 to rotate about the first rotational shaft 11; The second rotary shaft 31 is perpendicular to the first rotary shaft 11 and rotates the first rotary driver 10 about the second rotary shaft 31 about the second rotary shaft 31. It may include a second rotary drive unit (30).
  • the number of installation of the plurality of pickers 20 is preferably 2n (n is a natural number).
  • the transfer tool module 500 includes: a first transfer tool 510 for picking up the element 1 at a pickup position P1;
  • the device may include a second transfer tool 520 that receives the device from the first transfer tool 510 and unloads the device 1 at the unloading position P2.
  • the first rotary shaft 11 and the second rotary shaft 31 of the first transfer tool 510 are parallel to each other with the first rotary shaft 11 and the second rotary shaft 31 of the second transfer tool 520, respectively.
  • the virtual line L is disposed and connects the rotation center O of the picker 20 of the first transfer tool 510 and the rotation center O of the picker 20 of the second transfer tool 520.
  • the transfer position P3 for transferring the device 1 to the picker 20 of the picker 20 of the picker 20 of the picker 20 of the first transfer tool 510 and the picker of the second transfer tool 520 20 may be located between the centers of rotation (O).
  • the first transfer tool 510 and the second transfer tool 520 may be detachably coupled to each other.
  • the first transfer tool 510 and the second transfer tool 520 are separated from each other and installed to be movable. When the reloading is not necessary when the device is placed on the unloading member, the first transfer tool 510 and the second transfer tool 520 are installed.
  • the second transfer tool 520 may sequentially pick up the element 1 at the pick-up position P1 and load the element 1 onto the unloading member 70 at the unloading position P2. have.
  • the device may further include an image acquisition device 90 installed at the second transfer tool 520 to acquire an image of the back surface of the device 1 picked up by the picker 20.
  • an image acquisition device 80 installed at the side of the first transfer tool 510 to acquire an image of the back surface of the element 1 picked up by the picker 20 of the first transfer tool 510. can do.
  • the unloading unit 300 is provided in two or more in the vicinity of the loading member table 200, the transfer tool module 500, corresponding to each of the two or more unloading unit 300 It can be installed in two or more.
  • the two or more unloading units 300 may include a first unloading unit 300 and a second unloading unit 300 which are installed to face each other with respect to the loading member table 200.
  • the at least one transfer tool module 500 may include a first transfer tool module 500 and the loading member table for transferring the element 1 between the loading member table 200 and the first unloading unit 300.
  • a second transfer tool module 500 for transferring the device 1 between the 200 and the second unloading unit 300 may be included.
  • the two or more unloading units 300 may include a first unloading unit 300 installed in front of the loading member table 200 based on the loading member table 200, and the loading member table 200. At least one second unloading unit 300 is installed on at least one side of the left and right sides of the loading member table 200, the two or more transfer tool module 500, the loading member Between the first transfer tool module 500 and the loading member table 200 and the second unloading unit 300 for transferring the device 1 between the table 200 and the first unloading unit 300 In may include a second transfer tool module 500 for transferring the device (1).
  • the loading member 60 includes a tape to which the plurality of elements 1 are attached, and the transfer tool module 500 includes the elements 1 attached to the loading member 60 at the pickup position P1.
  • a plurality of pickers 20 for picking up sequentially and the plurality of pickers 20 rotate to the pick-up position P1 to sequentially pick up the element 1 attached to the loading member 60.
  • a picker moving unit which sequentially moves by at least one of the linear movements, wherein the first linear moving unit 623 and the transfer tool module 500 linearly move the transfer tool module 500 in the X-axis direction.
  • the transfer tool module 500 may further include one or more image acquisition devices for acquiring an image of the back surface of the element 1 picked up by the picker 20.
  • the images acquired by the image acquisition device are stored in a memory constituting a part of the control unit, and after the pickers 20 pick up the device 1, the unloading position ( P2) or when moved to the transfer position for device transfer to another transfer tool module, the controller may finish to complete the image analysis.
  • the transfer tool module and the element handler having the same can perform pick-up and place of elements by constructing the transfer tool module with a plurality of pickers rotated about a rotation axis parallel to the upper surface of the loading member such as wafer ring. At this time, it is possible to pick up and place a larger number of devices at a time, which significantly increases the device unloading speed.
  • the transfer tool module and the device handler having the same according to the present invention, when picking up a device from a loading member to which a plurality of devices are attached, such as a blue tape, such as wafer ring, each of the devices to pick up separately, such as wafer ring
  • the transfer tool module consists of a plurality of pickers that are rotated about a rotation axis parallel to the upper surface of the loading member, so that the number of devices can be picked up and placed at a time when picking up and placing the devices. There is an advantage that can be significantly increased.
  • the transfer tool module and the element handler having the same according to the present invention, a pair of transfer tool module consisting of a plurality of pickers rotated about a rotation axis parallel to the upper surface of the loading member such as wafer ring, that is, the first
  • the transfer tool module and the second transfer tool module the element can be loaded on an unloading member such as a tape and reel after picking up and inverting the element.
  • the device when device inversion is necessary, the device is picked up by the first transfer tool module and the second transfer tool module receives the element picked up by the first transfer tool module and loads the element on an unloading member such as a tape and reel. After picking up and inverting the device, the device can be loaded into an unloading member such as a tape and reel.
  • the first transfer tool module and the second transfer tool module are detachably coupled to each other, so that when device inversion is unnecessary, only one of the first transfer tool module and the second transfer tool module is used.
  • the transfer tool module and the second transfer tool module in combination with each other, it is possible to load the device in an unloading member such as a tape and reel after picking up and inverting the device.
  • first transfer tool module and the second transfer tool module is installed in a state separated from each other, if the element inversion is required when the element inversion is picked up by the first transfer tool module by the first transfer tool module
  • the second transfer tool module receives the picked-up device and loads the device onto an unloading member such as a tape and reel, thereby loading the device onto an unloading member such as a tape and reel after picking up and inverting the device.
  • the first transfer tool module and the second transfer tool module may move independently of each other to pick up the element, and load the element in the unloading member.
  • Needle pin assembly according to the present invention, the element handler having it, by picking up the tape with the element in the device pick-up by the picker first by the needle pin body is installed by the needle pin member, and secondly by the needle pin member When picking up the device by the picker, the tape to which the device is attached can be raised more quickly, thereby significantly increasing the device pickup speed.
  • the needle pin assembly according to the present invention by the pressure of the needle pin member in a state in which the tape with the element attached to the needle pin member to form a vacuum pressure on the needle pin member in close contact with the upper surface Since only the device to be picked up can be stably pushed upward, there is a stable advantage of the device pick-up operation.
  • FIG. 1 is a plan view showing the concept of a device handler according to the present invention.
  • FIG. 2A and 2B are respectively a perspective view and a cross-sectional view showing an example of a loading member used in the element handler of FIG.
  • FIG. 3 is a perspective view illustrating another example of a loading member used in the element handler of FIG. 1.
  • FIG. 4 is a cross-sectional view taken along the line IV-IV in FIG. 1.
  • 5A is a conceptual diagram illustrating a concept of a transfer tool module installed in the device handler of FIG. 1.
  • 5B is a perspective view illustrating a concept of a transfer tool module according to a first embodiment installed in the device handler of FIG. 1.
  • FIG. 6 is a side view showing the transfer tool module of FIG.
  • FIG. 7 is a front view showing the transfer tool module of FIG.
  • FIG. 8A is a side view illustrating a transfer tool module according to a second embodiment, which is a modified example of the transfer tool module of FIG. 6.
  • Figure 8b is a partial plan view showing the operation of the transfer tool module of Figure 8a.
  • 9A is a side view illustrating a transfer tool module according to a third embodiment, which is a modification of the transfer tool module of FIG. 6.
  • Figure 9b is a partial plan view showing the operation of the transfer tool module of Figure 9a.
  • FIG. 10 is a plan view illustrating a modification of the device handler of FIG. 1.
  • the device 1 is picked up at the pick-up position P1 from the loading member 60 on which the plurality of devices 1 are loaded, thereby unloading the position P2.
  • the device handler receives the loading member 60 from the loading member cassette unit 100 in which the plurality of loading members 60 to which the plurality of devices 1 are attached are loaded.
  • the unloading unit 300 may be installed to be spaced apart from the loading member table 200 in a horizontal direction, and the unloading member 70 may be installed to receive and load the device 1 from the loading member 60.
  • the loading member cassette unit 100 may be configured in a variety of configurations as a plurality of loading members 60 to which the plurality of elements 1 are attached.
  • the device loaded on the loading member 60 may be a device that is finished by the semiconductor process and sawing process in the wafer state, the device classified by a separate device handler through vision inspection, etc. in the wafer state.
  • the device 1 unlike the conventional device that goes through the packaging process after the semiconductor process, a variety of devices, such as a so-called wafer-level device that does not require a packaging process may be the target.
  • the loading member 60 has a structure in which the device 1 that has completed the semiconductor process and the sawing process is loaded, and the tape 61 and the tape to which the device 1 is attached. It may be configured to include a frame member 62 for fixing the (61).
  • the tape 61 may be any member as long as the elements 1 can be attached thereto, and a so-called attachment tape may be used.
  • the frame member 62 is configured to fix the tape 61 to which the elements 1 are attached, as shown in FIGS. 2A and 2B, and various configurations such as a circular ring and a square ring as shown in FIG. 3. This is possible.
  • the unloading member 70 may be any configuration as long as the device is loaded, and includes a tape and reel (carrier tape and cover tape) as shown in FIG. 1, and an adhesive tape as shown in FIG. 3.
  • Various members may be used that are temporarily loaded for shipping or performing other processes, such as a plate and a tray in which a plurality of insertion grooves containing the element 1 are formed.
  • the unloading member 70 may be a substrate such as a PCB on which the device 1 is mounted, a strip, a lead frame for manufacturing a chip, etc., in addition to a member in which the device 1 is temporarily loaded.
  • a substrate such as a PCB on which the device 1 is mounted, a strip, a lead frame for manufacturing a chip, etc.
  • Members for chip mounting and packaging processes can be used.
  • the loading member cassette unit 100 may be any configuration as long as the loading members 60 may be stacked up and down as a configuration for loading the plurality of loading members 60.
  • the loading member table 200 is configured to move the loading member 60 in a horizontal direction by receiving the loading member 60 from the loading member cassette unit 100.
  • the loading member table 200 receives the loading member 60 from the loading member cassette unit 100 by a wafer ring loading unit (not shown), so that the transfer tool module 500 receives the device 1.
  • a wafer ring loading unit not shown
  • the transfer tool module 500 receives the device 1.
  • various configurations such as XY table, XY- ⁇ table is possible.
  • the loading member table 200 may be moved in the vertical direction, that is, the Z axis direction.
  • the needle pin assembly 600 is installed at the lower side of the loading member table 200 for smooth device pickup at the pickup position P1.
  • the needle pin assembly 600 presses the bottom surface of the loading member 60, for example, the tape 61 of the wafer ring, when the picker 20 picks up the element 1 at the pick-up position P1.
  • the needle pin assembly 600 includes a needle pin member 615 that is moved up and down from the lower side of the loading member 60, and a vertical drive unit which moves the needle pin member 615 in the vertical direction. Any configuration is possible.
  • the image acquisition unit 890 for acquiring an image of the device 1 loaded on the loading member 60 above the picker 20 at the pick-up position (P1) is installed.
  • the image acquisition unit 890 is configured to acquire an image of the device 1 loaded in the loading member 60, and various configurations such as a scanner and a camera are possible.
  • the image acquisition unit 890 may be used to determine the position of the device 1 to be picked up by the picker 20 and to inspect the top surface of the device 1.
  • the transfer tool module 500 which will be described later, includes a plurality of pickers 20, and it is preferable that all of the plurality of pickers 20 pick up the elements 1, thereby obtaining an image of the plurality of elements 1. It is preferable to.
  • the image acquisition unit 890 is preferably installed close to the loading member 60, and can be moved horizontally or vertically from the top of the loading member table 200 to prevent interference with the transfer tool module 500. Can be installed.
  • a loading member loading unit (not shown) for transferring the loading member 60 from the loading member cassette unit 100 to the loading member table 200 may move the loading member 60 from the loading member cassette unit 100. Any configuration may be used as long as it is configured to transfer the extracted loading member 60 to the loading member table 200.
  • the loading member loading unit may be configured as a clamping device and a linear driving device, or may be configured as a pusher and a linear driving device for linearly moving the pusher.
  • the unloading unit 300 is installed spaced apart from the loading member table 200 in the horizontal direction, and has a variety of configurations in which the unloading member 70 is installed to receive and load the device 1 from the loading member 60. This is possible
  • the configuration of the unloading unit 300 is determined according to the configuration of the unloading member 70 such as a tape and reel (carrier tape and cover tape).
  • the pocket part 71 in which the device 1 is loaded is formed along the length direction, and the tape after the device loading is not shown.
  • the carrier tape sealed by the constituting the unloading member 70 is rotatably installed at one end and the release roll portion 311 is wound around the carrier tape on which the element 1 is to be loaded, and is rotatably installed at the other end.
  • the unloading member 70 may have a plurality of holes 22 formed on a bottom surface of the pocket portion 71 in which the device 1 is contained.
  • a vacuum pressure forming device 24 is formed below the unloading member 70 to form a vacuum pressure.
  • the unloading member 70 is a carrier tape
  • a pair of roller members 78 installed to guide the wing portions of the carrier tape, and a support member 79 to which the roller members are fixed. The movement can be guided by the guide of the.
  • the unloading part 70 is a plate to which the unloading member 70 is attached (see FIG. 3).
  • a plate loading portion on which the plate to be attached is loaded, an XY table for supporting and moving the plate at a loading position so that the elements 1 are transferred by the transfer tool module 500, and a plate transferring from the tray loading portion to the XY table.
  • It may be configured to include a tray moving unit (not shown).
  • the plate as shown in Figure 3, the structure similar to the loading member 60, and includes a tape to which the device 1 is attached, and a frame member having a mark such as LOT number, classification grade while fixing the tape Or a tray formed of a plurality of insertion grooves in which the element 1 is contained.
  • a tray standardized according to the type of the element 1 may be used, that is, a JEDEC tray.
  • the unloading unit 300 includes only one configuration 1 310 for loading the device 1 on the carrier tape, and configuration 2 for loading the device 1 on the plate. Or two or both of configurations 1 and 2, or both.
  • the unloading unit 300 may be provided with two or more of the same configuration, such as configuration 1 310 for loading the device 1 on the carrier tape, configuration 2 for loading the device 1 on the plate.
  • configuration 1 310 for loading the device 1 on the carrier tape
  • configuration 2 for loading the device 1 on the plate.
  • the unloading unit 300 may include two or more components 1 310 for mounting the element 1 on the carrier tape, for example, as shown in FIG. Can be.
  • the unloading unit 300 it is preferable that two or more are installed in the vicinity of the loading member table 200 for rapid device unloading from the loading member 60.
  • the device handler according to the present invention are spaced apart from each other in the horizontal direction from the loading member table 200, and receives the device 1 from the loading member 60 and loaded
  • the unloading member 70 may include two or more unloading parts 300 installed therein.
  • the transfer tool module 500 corresponds to each of the two or more unloading units 300, and picks up the element 1 from the loading member 60 at the pickup position P1, and thus, each unloading unit ( The number of two or more unloading parts 300, that is, two or more, is installed to unload the device 1 into the unloading member 20 at the unloading position P2 of 300.
  • the two or more unloading units 300 may have various arrangement structures according to their arrangement.
  • the two or more unloading parts 300 are, as shown in FIG. 1, the first unloading part 300 and the second unloading which are installed to face each other with respect to the loading member table 200. It may include a portion 300.
  • the two or more transfer tool module 500, the first transfer tool module 500 and the loading member table for transferring the device 1 between the loading member table 200 and the first unloading unit 300 A second transfer tool module 500 for transferring the device 1 between the 200 and the second unloading unit 300 may be included.
  • the two or more unloading units 300 may include a first unloading unit installed in front of the loading member table 200 based on the loading member table 200 as illustrated in FIG. 10. 300 and at least one second unloading unit 300 installed on at least one of the left side and the right side of the loading member table 200 based on the loading member table 200.
  • the two or more transfer tool module 500, the first transfer tool module 500 and the loading member table for transferring the device 1 between the loading member table 200 and the first unloading unit 300 A second transfer tool module 500 for transferring the device 1 between the 200 and the second unloading unit 300 may be included.
  • the transfer tool module 500 picks up the element 1 at the pick-up position P1 from the loading member 60 on which the plurality of elements 1 are loaded and unloads the member 70 at the unloading position P2.
  • the processing speed of the apparatus is determined according to the configuration.
  • the transfer tool module 500 according to the first embodiment of the present invention, as shown in Figures 5a to 8b, the first rotary drive unit having a first rotary shaft (11); A plurality of pickers 20 radially coupled to the first rotation shaft 11 and disposed in the circumferential direction of the first rotation shaft 11 to be rotated about the first rotation shaft 11;
  • the second rotary drive unit having a second rotary shaft 31 perpendicular to the first rotary shaft 11 and rotating the first rotary drive unit 10 about the second rotary shaft 31 about the second rotary shaft 31. 30 may be included.
  • the first rotation driving unit 10 may be configured as a rotation motor having a first rotation shaft 11 to which the plurality of pickers 20 are coupled.
  • the first rotation shaft 11 is configured to rotate the plurality of pickers 20 by rotation so as to be parallel to the upper surface of the loading member 60 or the upper surface of the unloading member 70, that is, perpendicular to the Z axis. Preferably disposed.
  • the first rotating shaft 11 may be disposed perpendicular to the Z axis, that is, parallel to the X axis or the Y axis, and more preferably disposed parallel to the X axis.
  • the rotation direction of the first rotation shaft 11 may be variously rotated according to the control of the rotation direction with respect to the picker 20 such as one direction or two directions.
  • the plurality of pickers 20 may be coupled to the first rotation shaft 11 in a radial direction and arranged in the circumferential direction of the first rotation shaft 11 to rotate about the first rotation shaft 11. Do.
  • the picker 20 may be configured to pick up the element 1 from the loading member 60 by vacuum pressure.
  • the picker 20 may include a pneumatic connection portion that receives air pressure from the outside, and a pickup head installed at the end to pick up or release the element 1 by pneumatic pressure delivered by the pneumatic connection portion. have.
  • the plurality of pickers 20 may include a rotation support member 13 in connection with the first rotation shaft 11.
  • the rotation support member 13 may be configured in a variety of configurations in which a plurality of pickers 20 are coupled to support the plurality of pickers 20.
  • the rotation supporting member 13 may be configured similarly to the rotation driving unit 320 in the Patent No. 10-1338182.
  • the number of installation of the plurality of pickers 20 may vary depending on the number of installation of the unloading member 70, for example, may be composed of 2n (n is a natural number).
  • the plurality of pickers 20 need to be installed to allow linear movement toward the upper surface of the loading member 60 or the upper surface of the unloading member 70 so as to facilitate the operation during pick-up and place of the element 1. There is.
  • the plurality of pickers 20 may be installed to be linearly movable in a radial direction with respect to the first rotation shaft 11, and may be linearly moved in a radial direction by a radial moving part (not shown). .
  • the linear drive unit is configured to linearly move at least some of the pickers 20 in the radial direction of the first rotating shaft 11, and selectively pressurizes the radially by contact with the actuator or the picker 20 by electric or pneumatic pressure.
  • Various configurations such as a cam member for linear movement are possible.
  • the plurality of pickers 20 may be disposed at an angle of 180 °, 90 °, 60 °, etc. with respect to the first rotation shaft 11.
  • the plurality of pickers 20 are rotated about the first rotation shaft 11 from the outside by a rotary pneumatic joint that is capable of rotating and smoothly rotating the vacuum pressure transfer to the pickers 20 and transmitting the pneumatic pressure. Pneumatic can be delivered.
  • the second rotary driver 30 has a second rotary shaft 31 perpendicular to the first rotary shaft 11 and has the second rotary shaft 31 centered on the second rotary shaft 31.
  • Various configurations are possible as the configuration to rotate around the center.
  • the second rotary drive unit 30 may have a second rotary shaft 31 and may be configured as a rotary motor as a configuration for rotating the second rotary shaft 11.
  • the second rotation driving unit 30 is installed to enable movement of at least one of the X-axis movement and the Y-axis movement by the linear movement unit described later.
  • the second rotary shaft 31 is configured to rotate the first rotary drive unit 10 by rotation by supporting the first rotary drive unit 10, and thus various configurations are possible.
  • the second rotation shaft 31 may support the first rotation driving unit 10 in various forms, and the first rotation driving unit 10 may be coupled to the support member 33 supporting the first rotation driving unit 10. Can support
  • the second rotation shaft 31 is a plurality of pickers 20 so as to smoothly correct the error in the ⁇ direction of the element 1 picked up by the picker 20, that is, the error of the rotation angle with the Z axis as the rotation axis. It is preferable to pass through the center of rotation (O) of the ().
  • the transfer tool module 500 may further include image acquisition devices 80 and 90 for acquiring an image of the back surface of the element 1 picked up by the picker 20.
  • the image acquisition apparatuses 80 and 90 as shown in Figs. 5A and 6, images of the back side of the element 1 to calculate the horizontal error of the element 1 picked up by the picker 20.
  • a camera is possible.
  • the image acquisition apparatuses 80 and 90 may be used to perform vision inspection on the rear surface of the device 1 by analyzing an image of the rear surface of the device 1.
  • the installation position of the image acquisition device (80, 90), the picker 20, the rotation of the picker 20 is stopped when picking up the device, as will be described later, when the transfer tool module is combined as described below, picker in consideration of the interference with other members It is located at a position opposite to the picker 20 located behind the picker 20 located at the pick-up position P1 or the loading position P2 at the time of element pick-up or element loading with respect to the rotational direction of (20). It is preferable.
  • the picker 20 located at the pick-up position P1 or the stacking position P2 is placed in the lower order when the picker 20 is numbered 1, and the second picker is installed when four pickers 20 are installed.
  • Pickers 3 and 4 preferably pickers 2 or 4 (in the case of picker 3 is not preferable to increase the installation height of the second rotational drive 30), more preferably located on picker 4 This is preferred.
  • the transfer tool module 500 picks up the element 1 at the pickup position P1 on the loading member 60, such as wafer ring, as shown in FIG. 1. Afterwards, the device 1 is loaded in the unloading position P2 by moving to the unloading member 70 installed to be spaced apart from the loading member 60.
  • the transfer tool module 500 is installed so as to linearly move in the Y-axis direction, moreover, in the X-axis direction and the Y-axis direction based on the arrangement direction of the loading position P1 and the unloading position P2. Can be.
  • the transfer tool module 500 may be installed in plurality, such as to be installed in pairs to face each other.
  • the element handler supports the transfer tool module 500 for linear driving of the transfer tool module 500, and includes a first linear moving part 623 and a first linear moving part (200) for linearly moving in the X-axis direction.
  • 623 may include a second linear moving part 622 to linearly move in the Y-axis direction.
  • the first linear moving part 623 supports various types of configurations to support the transfer tool module 500 and to linearly move in the X-axis direction for linear driving of the transfer tool module 500.
  • the second linear moving part 622 supports the first linear moving part 623 and linearly moves in the Y-axis direction, and includes various guide rails.
  • first linear moving unit 623 and the second linear moving unit 622 may constitute an X-Y robot.
  • the transfer tool module 500 it is preferable that all the pickers 20 pick up the element 1 at the pickup position P1.
  • the transfer tool module 500 when the element loading at the loading position (P2) is positioned in the loading position (P2) smoothly, the first rotating shaft 11, which is the rotation axis of the pickers 20, the unloading member 70 It is preferable to be perpendicular to the moving direction of the.
  • the transfer tool module 500 when a plurality of unloading members 70 are arranged in parallel, the picker 20 when the device in the loading position (P2) is positioned in the loading position (P2) to smoothly
  • the first axis of rotation 11, which is the axis of rotation of the wheels, may be parallel to the moving direction of the unloading member 70.
  • the transfer tool module may be variously modified, such as the transfer tool module according to the first embodiment, that is, the configuration of FIGS. 5A to 7 as a basic configuration, and a plurality of such basic configurations are installed.
  • the configuration of FIGS. 5A to 7 may be modified when the transfer tool module is combined according to the first embodiment.
  • the transfer tool module 500 according to the second embodiment of the present invention, as shown in Figures 8a and 8b, the first transfer tool module 510 having the configuration shown in Figures 5a to 7 And, in the configuration shown in Figures 5a to 7 may include a second transfer tool module 520.
  • the transfer tool module 500 according to the second embodiment of the present invention as shown in Figures 8a and 8b, the element (1) in the pickup position (P1) as the transfer tool module according to the first embodiment
  • the transfer tool module according to the first embodiment may include a second transfer tool 520 that receives the device 1 from the first transfer tool 510 and unloads the device 1 at the unloading position P2. Can be.
  • first rotary shaft 11 and the second rotary shaft 31 of the first transfer tool 510 are parallel to the first rotary shaft 11 and the second rotary shaft 31 of the second transfer tool 520, respectively. To be placed.
  • the virtual line L connecting the center of rotation O of the picker 20 of the first transfer tool 510 and the center of rotation O of the picker 20 of the second transfer tool 520 is a first line. It is perpendicular to the first rotary shaft 11 and the second rotary shaft 31 of the transfer tool 510.
  • the transfer position P3 for transferring the device 1 from the picker 20 of the first transfer tool 510 to the picker 20 of the second transfer tool 520 is a picker of the first transfer tool 510. It is located between the rotation center O of 20 and the rotation center O of the picker 20 of the second transfer tool 520.
  • the first transfer tool 510 and the second transfer tool 520 are fixed to each other to form one module.
  • the first transfer tool 510 and the second transfer tool 520 may be used as a transfer tool module by separating any one of the first transfer tool 510 and the second transfer tool 520 when device inversion is unnecessary.
  • the first transfer tool 510 and the second transfer tool 520 may be combined and used as a transfer tool module.
  • At least one of the first transfer tool 510 and the second transfer tool 520 may include an image acquisition device 90 that acquires an image of the back surface of the element 1 picked up by the picker 20.
  • the position error of the device 1 to be unloaded at the unloading position P2 can be calculated from the image acquired by the image acquisition apparatus 90.
  • the image acquisition device 90 may be configured in consideration of the calculation of the position error of the device 1 to be unloaded at the unloading position P2 from the image acquired by the image acquisition device 90.
  • 2 is preferably installed on the side of the transfer tool 520.
  • an image acquisition device 80 separate from the image acquisition device 90 may be additionally installed on the first transfer tool 510, and the separate image acquisition device 80 may be formed rather than calculating the position error.
  • the image of the back surface of the device 1 picked up by the picker 20 of the single transfer tool 510 may be used to perform vision inspection through image analysis.
  • the pickers 20 of the first transfer tool 510 and the second transfer tool 520 positioned at the transfer position P3 may be smoothly transferred without damage and spillage of the device 1 through experiments or the like. Installed at appropriate intervals.
  • the picker 20 of the first transfer tool 510 at the transfer position P3 may be configured to smoothly transfer the device to the picker 20 of the second transfer tool 520. It is preferable to be installed to allow linear movement toward the picker 20.
  • the picker 20 of the first transfer tool 510 is linearly moved toward the picker 20 of the second transfer tool 520 at the transfer position P3, so that the picker 20 of the second transfer tool 520 is moved. Can be performed smoothly.
  • the first transfer tool 510 and the second transfer tool 520 are picked up by the coupling direction of the first transfer tool 510 and the second transfer tool 520. It is preferable that the straight lines connecting the position P1 and the unloading position P2 are arranged sequentially in the Y-axis direction.
  • the first transfer tool 510 and the second transfer tool 520 are sequentially disposed in the Y-axis direction, as shown in FIGS. 8B and 9B, the first transfer tool 510 at the pickup position P1.
  • the second transfer tool 520 receives the device and minimizes the moving distance to the device unloading position P2 to increase the transfer speed of the device 1 to increase the processing speed of the device.
  • Transfer tool module 500 according to the second embodiment having the configuration as described above, one or more, as shown in Figure 1, may be installed in a pair.
  • the transfer tool module according to the second embodiment, as in the first embodiment, based on the arrangement direction of the loading position (P1) and the unloading position (P2), for example, in the Y-axis direction, further X-axis direction And it may be installed to linearly move in the Y-axis direction.
  • the device 1 when the device 1 is picked up and loaded onto the unloading member 70, another method for the device 1 to be inverted and loaded, i.e., inverted and loaded, the first embodiment of the transfer tool module according to the second embodiment
  • the transfer tool 510 and the second transfer tool 520 may be separated and configured.
  • the transfer tool module according to the third embodiment of the present invention unlike the second embodiment in the pickup position (P1) as the transfer tool module according to the first embodiment
  • the transfer tool module according to the first embodiment receives the element 1 from the first transfer tool 510 at the transfer position P3, unloads the element 1 at the unloading position P2, and transfers the transfer position P3.
  • first rotary shaft 11 and the second rotary shaft 31 of the first transfer tool 510 are parallel to the first rotary shaft 11 and the second rotary shaft 31 of the second transfer tool 520, respectively. To be placed.
  • the center of rotation of the picker 20 of the first transfer tool 510 O and an imaginary line L connecting the center of rotation O of the picker 20 of the second transfer tool 520 to the first rotary shaft 11 and the second rotary shaft 31 of the first transfer tool 510. Perpendicular to).
  • the transfer position P3 is a position for transferring the device 1 from the picker 20 of the first transfer tool 510 to the picker 20 of the second transfer tool 520. It is located between the center of rotation O of the picker 20 of 510 and the center of rotation O of the picker 20 of the second transfer tool 520.
  • the delivery position P3 is located between the loading position P1 and the unloading position P2.
  • the picker 20 of the first transfer tool 510 at the transfer position P3 smoothly transfers the device to the picker 20 of the second transfer tool 520.
  • the picker 20 of the second transfer tool 520 In order to linear movement toward the picker 20 of the second transfer tool 520 is preferably installed.
  • the picker 20 of the first transfer tool 510 is linearly moved toward the picker 20 of the second transfer tool 520 at the transfer position P3, so that the picker 20 of the second transfer tool 520 is moved. Can be performed smoothly.
  • the present invention also proposes the following configuration.
  • each element due to the limitation of the needle pin assembly configuration when picking up the element 1 from the loading member 60 including a tape to which the plurality of elements 1 are attached, such as wafer ring Start by recognizing the problem of picking up (1) one by one.
  • the limit of the number of pick-ups of this element 1 limits the device unloading speed from the loading member 60 such as wafer ring to the unloading member 70 such as tape & reel (T & R).
  • the limitation of the device unloading speed acts as a limit to increase the productivity by lowering the production speed of semiconductor devices and the like.
  • the transfer tool module from the loading member 60 including a tape with a plurality of elements 1, at least two, preferably a plurality of elements (1) in the pickup position (P1) After picking up, it moves to the unloading position P2 and unloads the element 1 with the unloading member 70 located at the unloading position P2.
  • the pick-up position P1 is a transfer position with respect to another transfer tool module when the element 1 is sequentially unloaded by two transfer tool modules from the loading member 60 to the unloading member 70. Can be replaced with
  • the transfer tool module may include a plurality of pickers for sequentially picking up the device 1 at a pickup position P1, specifically, at a portion where the needle pin assembly 600 is located so as to pick up two or more devices 1. And 20).
  • the transfer tool module may be the transfer tool module illustrated in FIGS. 5A to 6.
  • a plurality of pickers 20 are installed on one support structure, and each picker 20 picks up the element 1 sequentially. Any configuration can be used as long as it can be done.
  • the transfer tool module including a plurality of pickers 20 as described above, when the picker 20 is located in the pick-up position (P1), the needle pin assembly 600 is located at the portion where the element 1 effectively It is preferable to install the linear movement toward the needle pin assembly 600 to pick up.
  • the transfer tool module including the plurality of pickers 20 as described above, after picking up the elements 1, the plurality of pickers 20 are moved to the unloading position P2 or the transfer position as one module. It is preferred to be moved so that it can be.
  • the transfer tool module including a plurality of pickers 20 as described above, after the pick-up of the element 1, the calculation of the horizontal error for the elements (1) picked up to each picker 20, It may further include an image acquisition device for acquiring an image of the back surface of the element 1 picked up by the picker 20 for surface vision inspection and the like.
  • the image acquisition device 90 is a picker 20 for the calculation of the horizontal error for the elements 1 picked up to each picker 20 after the pickup of the element 1, the surface vision inspection of the element 1, etc.
  • a configuration for acquiring an image of the back surface of the element 1 picked up by various configurations are possible according to its function.
  • the elements 1 picked up by each picker 20 may generate a horizontal error of the element 1 with respect to the picker 20 during the pick-up process. Failure to accurately seat the member 70 may result in a mounting failure.
  • the horizontal error means that the device 1 with respect to the picker 20 in the pickup process is an error in the X-Y direction, a rotational error in the reference X-Y direction, that is, a ⁇ error.
  • the image acquisition apparatus is configured to include the rear surface of the element 1 picked up by the picker 20 to calculate the horizontal error for the elements 1 picked up by each picker 20 after the pick-up of the element 1.
  • an image of the back surface is defined as the opposite surface of the element 1 of the surface picked up to the picker 20-.
  • the image acquisition device is configured to picker 20 to perform vision inspection on the back surface of device 1, that is, 2D inspection of the presence of cracks, bump formation state, etc., together with the horizontal error calculation.
  • the image of the back surface of the element 1 picked up by this can be obtained.
  • the image acquisition device may be installed separately from the transfer tool module, but is preferably configured as a module together with the transfer tool module for effective vision inspection.
  • the image acquisition device is composed of a transfer tool module and one module has the following advantages.
  • the pick-up position (P1) specifically the needle pin assembly 600 is located so that the pick-up two or more elements (1) element (1) It comprises a plurality of pickers 20 to pick up).
  • the image acquisition speed of the device 1 may lower the pickup speed of the device 1. There is a problem.
  • the transfer tool module acquires an image when each picker 20 is moved to an unloading position P2 or a transfer position for transferring the element to another transfer tool module after picking up the element 1.
  • the device may be configured to acquire an image of the device 1 and to perform image analysis by means of the respective pickers 20.
  • the image acquisition speed may not affect the pickup speed of the device 1 according to the specifications of the image to be acquired, that is, the resolution, depth, etc., the transfer tool module according to the present invention
  • Each of the plurality of pickers 20 may be configured to perform image acquisition on the back side of the device 1 after device pickup and pickup.
  • the images acquired by the image acquisition device are stored in a memory constituting a part of the control unit in consideration of the fact that the image analysis speed may be slow, and the unloading position after each picker 20 finishes the pickup of the device 1.
  • the control unit may be configured to complete the image analysis when moved to the transfer position for device transfer to (P2) or another transfer tool module.
  • the element handler including the transfer tool module and the transfer tool module according to the present invention may include an image acquisition device as one module.
  • the element handler including the transfer tool module and the transfer tool module according to the present invention includes a device pick-up at the pick-up position P1 and the picker 20 picked up from the device 1 during rotational movement and linear movement toward the image acquisition device. It may be configured to perform image acquisition for the element 20 picked up by at least one movement.
  • the image acquisition process may be performed when the device is moved to the unloading position P2 or the transfer position for transferring the device to another transfer tool module according to the image acquisition speed.
  • the element handler including the transfer tool module and the transfer tool module according to the present invention stores the image of the back side of the element 1 after the element pick-up and pick-up, and stores and stores the part of the controller in a memory or the like.
  • the controller may be configured to complete the image analysis when moved to the loading position P2 or the transfer position for device delivery to another transfer tool module.
  • the vision inspection requires a sufficient image processing speed in comparison with the calculation of the horizontal error.
  • the control unit It can be configured to complete the image analysis.
  • the present invention has the advantage of significantly increasing the unloading speed of the device when the image pickup is performed in parallel with the device pickup and image acquisition, and the device 1 is picked up.
  • the transfer tool module for performing image analysis during movement after finishing the pickup of the element 1 may adopt the configuration of the transfer tool module, as shown in FIG. 5A. .
  • the transfer tool module it is preferable that the image acquisition device (80, 90) is installed on the side of the picker rotates in the direction of pickup.
  • the image acquisition apparatuses 80 and 90 may refer to the rotation axis O of the pickers 20. It is preferably located on the left side.
  • the image acquisition device (80, 90) it is preferable that two or more are installed in accordance with the purpose of image acquisition (horizontal error calculation, vision inspection).
  • the image acquisition device 90 for calculating the horizontal error based on the rotation axis O of the pickers 20 and the rotation direction thereof is smaller than the image acquisition device 80 for vision inspection. It is preferably located on the rear side.
  • the picker 20 picking up the device 1 is first rotated to acquire the image through the image acquisition device 80 for vision inspection and then through the image acquisition device 90 for horizontal error calculation.
  • the device 80 is arranged.
  • At least one image acquisition device (80, 90), in particular, the image acquisition device 80 for vision inspection, is preferably configured to move with the transfer tool module.
  • the image acquisition device (80, 90), as a configuration for acquiring an image on the back surface of the device 1 can be a variety of configurations, such as a scanner, a camera.

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Abstract

본 발명은 소자핸들러에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 다수의 소자들이 적재된 웨이퍼링 등과 같은 로딩부재로부터 소자를 픽업하여 언로딩하는 소자핸들러에 관한 것이다. 본 발명은 다수의 소자(1)들이 부착된 복수의 로딩부재(60)들이 적재된 로딩부재카세트부(100)로부터 로딩부재(60)를 공급받아 상기 로딩부재(60)를 수평방향으로 이동시키는 로딩부재테이블(200)과; 상기 로딩부재테이블(200)로부터 수평방향으로 각각 이격되어 배치되며 로딩부재(60)로부터 소자(1)를 전달받아 적재되는 언로딩부재(70)가 설치된 언로딩부(300)와; 상기 로딩부재(60)로부터 픽업위치(P1)에서 소자(1)를 픽업하여 상기 각 언로딩부(300)의 언로딩위치(P2)에서 상기 언로딩부재(20)로 소자(1)를 언로딩하는 이송툴모듈(500)을 포함하는 것을 특징으로 하는 소자핸들러를 개시한다.

Description

이송툴모듈 및 그를 가지는 소자핸들러
본 발명은 소자핸들러에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 다수의 소자들이 적재된 웨이퍼링 등과 같은 로딩부재로부터 소자를 픽업하여 언로딩하는 이송툴모듈 및 그를 가지는 소자핸들러에 관한 것이다.
D 램, 프래쉬램, LSI, LED 등 반도체소자(이하 '소자'라 한다)는 반도체공정을 마친 후 소잉공정, 패키징공정 등을 마친 후 시장에 출하됨이 일반적이다.
또한 소자는 리드프레임, BGA 등 단자구조가 다양해지는 등 칩의 종류가 다양해지고 있다.
더 나아가 반도체소자는, 나노공정 등 미세공정이 발전하면서 전체 크기가 기존에 비하여 현저히 작아지는 추세에 있다.
또한 스마트폰의 발전 및 스마트폰의 박형화 추세에 따라 스마트폰, 스마트시계 등에 사용되는 경우 소자의 크기는 물론 두께의 최소화가 요구되고 있다.
이러한 추세 및 요구에 부응하여, 반도체 소자는 소잉공정 후 본더에 의하여 몰딩 등에 의한 패키징 공정을 수행하는 대신에 웨이퍼 수준에서 패키징 공정까지 수행한 후 소잉공정을 통하여 개별 소자로 패키지화하는 기술, 소위 WL-CSP (Wafer level chip scale pacake)이 등록특허 제10-1088205호에서와 같이 사용되고 있다.
한편, WL-CSP 소자를 형성함에 있어 소자가 소형인 경우 웨이퍼 수준에서 볼단자를 형성하는데 많은 제약이 있어 소자 제조공정이 어려운 문제점이 있다.
이에, 반도체 공정을 마친 소자에 대하여, 소잉공정을 수행하고 개별소자를 몰딩, 단자 형성 등을 수행하는 소위 Fan-Out WLP 공정이 제안되고 있다.
한편 SD램, 모바일 SD램, 모바일 CPU와 같은 LSI, 등 반도체 시장에서 경쟁이 격화되면서 소자제조비용의 절감될 필요가 있으며 궁극적으로 생산성을 높이는 것이 매우 절실하다.
그리고 반도체 생산은 클린룸 내에서 공정이 수행되는바 클린룸 내에서 각 공정을 수행하는 장비의 처리속도가 생산성에 직결되는바, 패키징 공정을 거치지 않거나 수행 전인 웨이퍼 수준에서의 소자를 언로딩하는 소자핸들러 또한 장비의 처리속도를 높이는 것이 중요하다.
특히 반도체 생산은 웨이퍼 수준에서 소자를 언로딩하는 소자핸들러 또한 장비의 처리속도를 높이는 것이 중요하다.
그런데 웨이퍼 수준에서 소자를 언로딩하는 소자핸들러는 반도체 공정 및 소잉공정을 마친 웨이퍼링으로부터 소자를 픽업하여 캐리어테이프와 같은 적재부재에 담아 웨이퍼링으로부터 소자를 언로딩하도록 구성된다.
여기서 소자핸들러의 처리속도(통상 시간당 처리개수(UPH)로 체크된다)는 웨이퍼링으로부터 소자를 픽업하여 캐리어테이프와 같은 적재부재에 소자를 플레이스하는 처리량에 의하여 결정된다.
구체적으로 소자핸들러의 처리속도는, 카메라에 의한 소자인식 및 웨이퍼링과 픽커와의 위치보정 등 웨이퍼링 상의 소자픽업 효율, 픽업 후 적재부재로의 소자적재 효율에 의하여 결정된다.
또한 소자핸들러의 처리속도는, 다수의 소자들이 부착된 웨이퍼링으로부터 소자를 픽업하는 픽업의 정확성, 픽업속도에 의하여 결정된다.
한편 소자핸들러는, 처리속도가 높더라도 장치가 차지하는 공간이 큰 경우에는 장치의 풋프린트 효율이 저하될 수 있는 문제점이 있다.
본 발명의 목적은, 상기와 같은 이슈 및 문제점들을 해결하기 위하여, 웨이퍼로부터 신속한 소자픽업을 가능케 하여 장치의 처리속도를 현저히 높일 수 있는 이송툴모듈 및 그를 가지는 소자핸들러를 제공하는 데 있다.
본 발명은 상기와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위하여 창출된 것으로서, 본 발명은, 다수의 소자(1)들이 부착된 복수의 로딩부재(60)들이 적재된 로딩부재카세트부(100)로부터 로딩부재(60)를 공급받아 상기 로딩부재(60)를 수평방향으로 이동시키는 로딩부재테이블(200)과; 상기 로딩부재테이블(200)로부터 수평방향으로 각각 이격되어 배치되며 로딩부재(60)로부터 소자(1)를 전달받아 적재되는 언로딩부재(70)가 설치된 언로딩부(300)와; 상기 로딩부재(60)로부터 픽업위치(P1)에서 소자(1)를 픽업하여 상기 각 언로딩부(300)의 언로딩위치(P2)에서 상기 언로딩부재(20)로 소자(1)를 언로딩하는 이송툴모듈(500)을 포함하는 것을 특징으로 하는 소자핸들러를 개시한다.
상기 이송툴모듈(500)은, 제1회전축(11)을 가지는 제1회전구동부(10)와; 상기 제1회전축(11)과 반경방향으로 결합되며 상기 제1회전축(11)의 원주방향으로 배치되어 상기 제1회전축(11)을 중심으로 회전되는 복수의 픽커(20)들과; 상기 제1회전축(11)과 수직을 이루는 제2회전축(31)을 가지며 상기 제2회전축(31)을 중심으로 상기 제1회전구동부(10)를 상기 제2회전축(31)을 중심으로 회전시키는 제2회전구동부(30)를 포함할 수 있다.
상기 복수의 픽커(20)들의 설치개수는 2n개(n은 자연수)인 것이 바람직하다.
상기 이송툴모듈(500)은, 픽업위치(P1)에서 소자(1)를 픽업하는 제1이송툴(510)과; 상기 제1이송툴(510)로부터 소자를 전달받아 언로딩위치(P2)에서 소자(1)를 언로딩하는 제2이송툴(520)을 포함할 수 있다.
상기 제1이송툴(510)의 제1회전축(11) 및 제2회전축(31)은 상기 제2이송툴(520)의 제1회전축(11) 및 제2회전축(31)과 각각 서로 평행하게 배치되며, 상기 제1이송툴(510)의 픽커(20)의 회전중심(O)과 상기 제2이송툴(520)의 픽커(20)의 회전중심(O)을 연결하는 가상선(L)이 상기 제1이송툴(510)의 제1회전축(11) 및 제2회전축(31)과 수직을 이루며, 상기 제1이송툴(510)의 픽커(20)로부터 상기 제2이송툴(520)의 픽커(20)로 소자(1)를 전달하는 전달위치(P3)는 상기 제1이송툴(510)의 픽커(20)의 회전중심(O)과 상기 제2이송툴(520)의 픽커(20)의 회전중심(O) 사이에 위치될 수 있다.
상기 제1이송툴(510) 및 상기 제2이송툴(520)은, 서로 탈착가능하게 결합될 수 있다.
상기 제1이송툴(510) 및 상기 제2이송툴(520)은, 서로 분리되어 이동가능하게 설치되며, 상기 언로딩부재에 소자적재시 반전이 불필요한 경우 상기 제1이송툴(510) 및 상기 제2이송툴(520)은, 순차적으로 상기 픽업위치(P1)에서 소자(1)를 픽업하여 상기 언로딩위치(P2)에서 소자(1)를 언로딩부재(70)에 소자를 적재할 수 있다.
상기 제2이송툴(520) 측에 설치되어 상기 픽커(20)에 의하여 픽업된 소자(1)의 이면에 대한 이미지를 획득하는 이미지획득장치(90)를 추가로 포함할 수 있다.
상기 제1이송툴(510) 측에 설치되어 제1이송툴(510)의 픽커(20)에 의하여 픽업된 소자(1)의 이면에 대한 이미지를 획득하는 이미지획득장치(80)를 추가로 포함할 수 있다.
상기 언로딩부(300)는, 상기 로딩부재테이블(200)의 부근에 2개 이상으로 설치되며, 상기 이송툴모듈(500)은, 상기 2개 이상의 언로딩부(300)들 각각에 대응되어 2개 이상으로 설치될 수 있다.
상기 2개 이상의 언로딩부(300)는, 상기 로딩부재테이블(200)을 중심으로 서로 대향되어 설치되는 제1언로딩부(300) 및 제2언로딩부(300)를 포함하며, 상기 2개 이상의 이송툴모듈(500)은, 상기 로딩부재테이블(200) 및 상기 제1언로딩부(300) 사이에서 소자(1)를 이송하는 제1이송툴모듈(500) 및 상기 로딩부재테이블(200) 및 상기 제2언로딩부(300) 사이에서 소자(1)를 이송하는 제2이송툴모듈(500)을 포함할 수 있다.
상기 2개 이상의 언로딩부(300)는, 상기 로딩부재테이블(200)을 기준으로 상기 로딩부재테이블(200)의 전방에 설치되는 제1언로딩부(300)와, 상기 로딩부재테이블(200)을 기준으로 상기 로딩부재테이블(200)의 좌측 및 우측 중 적어도 일측에 설치되는 하나 이상의 제2언로딩부(300)를 포함하며, 상기 2개 이상의 이송툴모듈(500)은, 상기 로딩부재테이블(200) 및 상기 제1언로딩부(300) 사이에서 소자(1)를 이송하는 제1이송툴모듈(500) 및 상기 로딩부재테이블(200) 및 상기 제2언로딩부(300) 사이에서 소자(1)를 이송하는 제2이송툴모듈(500)을 포함할 수 있다.
상기 로딩부재(60)는, 복수의 소자(1)들이 부착된 테이프를 포함하며, 상기 이송툴모듈(500)은, 상기 픽업위치(P1)에서 상기 로딩부재(60)에 부착된 소자(1)를 순차적으로 픽업하는 복수의 픽커(20)들과, 상기 복수의 픽커(20)들이 상기 로딩부재(60)에 부착된 소자(1)를 순차적으로 픽업하도록 상기 픽업위치(P1)로 회전이동 및 선형이동 중 적어도 하나의 이동에 의하여 순차적으로 이동시키는 픽커이동부를 포함하며, 상기 이송툴모듈(500)을 X축방향으로 선형이동시키는 제1선형이동부(623) 및 상기 이송툴모듈(500)을 Y축방향으로 선형이동시키는 제2선형이동부(622) 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.
상기 이송툴모듈(500)은, 상기 픽커(20)에 의하여 픽업된 소자(1)의 이면에 대한 이미지를 획득하는 하나 이상의 이미지획득장치를 추가로 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 소자핸들러는, 상기 이미지획득장치에 의하여 획득된 이미지들은, 제어부의 일부를 구성하는 메모리에 저장하고 상기 각 픽커(20)들이 소자(1)의 픽업을 마친후 상기 언로딩위치(P2) 또는 다른 이송툴모듈로의 소자전달을 위한 전달위치로 이동될 때 제어부는 이미지분석을 마치도록 마칠 수있다.
본 발명에 따른 이송툴모듈 및 그를 가지는 소자핸들러는, 웨이퍼링과 같은 로딩부재의 상면과 평행한 회전축을 중심으로 회전되는 복수의 픽커들로 이송툴모듈을 구성함으로써 소자의 픽업 및 플레이스를 수행할 때 한번에 보다 많은 수의 소자들을 픽업 및 플레이스가 가능하여 소자 언로딩 속도를 현저히 높일 수 있는 이점이 있다.
특히 본 발명에 따른 이송툴모듈 및 그를 가지는 소자핸들러는, 웨이퍼링과 같이 블루테이프와 같이 복수의 소자들이 부착된 로딩부재로부터 소자를 픽업할 때 각각의 소자를 별도로 픽업하는바, 웨이퍼링과 같은 로딩부재의 상면과 평행한 회전축을 중심으로 회전되는 복수의 픽커들로 이송툴모듈을 구성함으로써 소자의 픽업 및 플레이스를 수행할 때 한번에 보다 많은 수의 소자들을 픽업 및 플레이스가 가능하여 소자 언로딩 속도를 현저히 높일 수 있는 이점이 있다.
또한 본 발명에 따른 이송툴모듈 및 그를 가지는 소자핸들러는, 웨이퍼링과 같은 로딩부재의 상면과 평행한 회전축을 중심으로 회전되는 복수의 픽커들로 이루어진 이송툴모듈을 한 쌍으로 조합, 즉 제1이송툴모듈 및 제2이송툴모듈로 구성함으로써 소자의 픽업 및 반전 후 테이프앤릴과 같은 언로딩부재에 소자를 적재할 수 있다.
구체적으로, 소자반전이 필요한 경우 제1이송툴모듈에 의하여 소자를 픽업하고 제1이송툴모듈에 의하여 픽업된 소자를 제2이송툴모듈이 전달받아 테이프앤릴과 같은 언로딩부재에 소자를 적재함으로써 소자의 픽업 및 반전 후 테이프앤릴과 같은 언로딩부재에 소자를 적재할 수 있다.
여기서 상기 제1이송툴모듈 및 제2이송툴모듈은 분리가능하게 결합되어, 소자반전이 불필요한 경우 제1이송툴모듈 및 제2이송툴모듈 중 어느 하나만으로 사용하고, 소자반전이 필요한 경우 제1이송툴모듈 및 제2이송툴모듈을 서로 결합시켜 사용함으로써 소자의 픽업 및 반전 후 테이프앤릴과 같은 언로딩부재에 소자를 적재할 수 있다.
또한 상기 제1이송툴모듈 및 제2이송툴모듈은 서로 분리된 상태로 설치되어, 소자반전이 필요한 경우 소자반전이 필요한 경우 제1이송툴모듈에 의하여 소자를 픽업하고 제1이송툴모듈에 의하여 픽업된 소자를 제2이송툴모듈이 전달받아 테이프앤릴과 같은 언로딩부재에 소자를 적재함으로써 소자의 픽업 및 반전 후 테이프앤릴과 같은 언로딩부재에 소자를 적재할 수 있다.
이때 소자반전이 불필요한 경우, 제1이송툴모듈 및 제2이송툴모듈은 각각 독립적으로 이동하여 소자를 픽업하여 언로딩부재에 소자를 적재할 수 있다.
본 발명에 따른 니들핀조립체, 그를 가지는 소자핸들러는, 픽커에 의한 소자픽업시 소자가 부착된 테이프를 니들핀부재가 설치된 니들핀본체에 의하여 1차로 상승시키고, 니들핀부재에 의하여 2차로 상승시킴으로써, 픽커에 의한 소자픽업시 소자가 부착된 테이프를 보다 신속하게 상승시켜 소자픽업속도를 현저히 높일 수 있는 이점이 있다.
또한 본 발명에 따른 니들핀조립체, 그를 가지는 소자핸들러는, 픽커에 의한 소자픽업시 소자가 부착된 테이프를 니들핀부재에 진공압을 형성하여 상면에 밀착시킨 상태에서, 니들핀부재의 가압에 의하여 픽업될 소자 만을 안정적으로 상측으로 가압할 수 있어 소자픽업작업이 안정적인 이점이 있다.
도 1은, 본 발명에 따른 소자핸들러의 개념을 보여주는 평면도이다.
도 2a 및 도 2b는, 각각 도 1의 소자핸들러에서 사용되는 로딩부재의 일 예를 보여주는 사시도 및 단면도이다.
도 3은, 도 1의 소자핸들러에서 사용되는 로딩부재의 다른 예를 보여주는 사시도이다.
도 4는, 도 1에서 Ⅳ-Ⅳ방향의 단면도이다.
도 5a는, 도 1의 소자핸들러에 설치되는 이송툴모듈의 개념을 보여주는 개념도이다.
도 5b는, 도 1의 소자핸들러에 설치되는 제1실시예에 따른 이송툴모듈의 개념을 보여주는 사시도이다.
도 6은, 도 6의 이송툴모듈을 보여주는 측면도이다.
도 7은, 도 6의 이송툴모듈을 보여주는 정면도이다.
도 8a는, 도 6의 이송툴모듈의 변형 예인 제2실시예에 따른 이송툴모듈을 보여주는 측면도이다.
도 8b는 도 8a의 이송툴모듈의 작동과정을 보여주는 일부평면도이다.
도 9a는, 도 6의 이송툴모듈의 변형 예인 제3실시예에 따른 이송툴모듈을 보여주는 측면도이다.
도 9b는 도 9a의 이송툴모듈의 작동과정을 보여주는 일부평면도이다.
도 10은, 도 1의 소자핸들러의 변형례를 보여주는 평면도이다.
이하 본 발명에 따른 이송툴모듈 및 소자핸들러에 관하여 첨부된 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.
본 발명에 따른 소자핸들러는, 도 1에 도시된 바와 같이, 다수의 소자(1)들이 적재된 로딩부재(60)로부터 픽업위치(P1)에서 소자(1)를 픽업하여 언로딩위치(P2)에서 하나 이상의 언로딩부재(70)로 소자(1)를 언로딩하는 하나 이상의 이송툴모듈을 포함한다.
여기서 본 발명에 따른 소자핸들러는, 다수의 소자(1)들이 부착된 복수의 로딩부재(60)들이 적재된 로딩부재카세트부(100)로부터 로딩부재(60)를 공급받아 로딩부재(60)를 수평방향으로 이동시키는 로딩부재테이블(200)과; 로딩부재테이블(200)로부터 수평방향으로 이격되어 설치되며 로딩부재(60)로부터 소자(1)를 전달받아 적재되는 언로딩부재(70)가 설치된 언로딩부(300)를 포함할 수 있다.
상기 로딩부재카세트부(100)는, 다수의 소자(1)들이 부착된 복수의 로딩부재(60)들이 적재된 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.
여기서 상기 로딩부재(60)에 적재되는 소자는, 웨이퍼상태에서 반도체공정 및 소잉공정을 마친 소자, 웨이퍼 상태에서 비전검사 등을 통하여 별도의 소자핸들러에 의하여 분류된 소자 등 다양하다.
특히 상기 소자(1)는, 반도체공정 후 패키징공정을 거치는 기존 소자와는 달리, 패키징공정을 요하지 않은 소위, 웨이퍼레벨소자 등 다양한 소자들이 그 대상이 될 수 있다.
한편 상기 로딩부재(60)는, 도 2a 및 도 2b에 도시된 바와 같이, 반도체공정 및 소잉공정을 마친 소자(1)가 적재되는 구성으로서, 소자(1)가 부착되는 테이프(61) 및 테이프(61)를 고정하는 프레임부재(62)를 포함하여 구성될 수 있다.
그리고 상기 테이프(61)는 소자(1)들이 부착될 수 있는 부재이면 어떠한 부재도 가능하며 소위 부착테이프가 사용될 수 있다.
상기 프레임부재(62)는 소자(1)들이 부착된 테이프(61)를 고정하기 위한 구성으로서 도 2a 및 도 2b에 도시된 바와 같이, 원형링, 도 3에 도시된 바와 같이 사각링 등 다양한 구성이 가능하다.
한편 상기 언로딩부재(70)는, 소자가 적재되는 구성이면 어떠한 구성도 가능하며, 도 1에 도시된 바와 같은 테이프앤릴(캐리어테이프 및 커버테이프), 도 3에 도시된 바와 같이 부착테이프를 구비한 플레이트, 소자(1)가 담기는 복수의 삽입홈들이 형성된 트레이 등 시장출하 또는 타공정 수행을 위하여 임시로 적재되는 다양한 부재가 사용될 수 있다.
또한 상기 언로딩부재(70)는, 소자(1)가 임시로 적재되는 부재 이외에, 소자(1)가 실장되는 PCB와 같은 기판, 스트립(strip), 칩 제조를 위한 리드프레임(Lead Frame) 등 칩실장, 패키징 공정을 위한 부재가 사용될 수 있다.
상기 로딩부재카세트부(100)는, 복수의 로딩부재(60)들의 적재를 위한 구성으로서 로딩부재(60)들이 상하로 적층될 수 있는 구성이면 어떠한 구성도 가능하다.
상기 로딩부재테이블(200)은, 로딩부재카세트부(100)로부터 로딩부재(60)를 공급받아 로딩부재(60)를 수평방향으로 이동시키는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.
예로서, 상기 로딩부재테이블(200)은, 웨이퍼링로딩부(미도시)에 의하여 로딩부재카세트부(100)로부터 로딩부재(60)를 전달받아 이송툴모듈(500)이 소자(1)를 픽업할 수 있도록 로딩부재(60)를 수평방향으로 이동시키는 구성으로서, X-Y테이블, X-Y-Θ테이블 등 다양한 구성이 가능하다.
또한 상기 로딩부재테이블(200)은, 상하방향 즉, Z축방향으로 이동될 수도 있다.
또한 상기 로딩부재테이블(200)의 하측에는, 도 6 내지 도 9a에 도시된 바와 같이, 픽업위치(P1)에서 원활한 소자픽업을 위하여 니들핀조립체(600)가 설치됨이 바람직하다.
상기 니들핀조립체(600)는, 픽업위치(P1)에서 픽커(20)가 소자(1)를 픽업할 때 로딩부재(60), 예를 들면 웨이퍼링의 테이프(61)의 저면을 가압하여 소자(1)가 부착된 테이프(61)를 픽커(20) 쪽으로 밀어 올리는 구성으로 다양한 구성이 가능하다.
일예로서, 상기 니들핀조립체(600)는, 로딩부재(60)의 하측에서 상하로 이동되는 니들핀부재(615)와, 니들핀부재(615)를 상하방향으로 이동시키는 상하구동부를 포함하는 구성이면 어떠한 구성도 가능하다.
한편 상기 픽업위치(P1)에서 픽커(20)의 상측에 로딩부재(60)에 적재된 소자(1)에 대한 이미지를 획득하는 이미지획득부(890)가 설치됨이 바람직하다.
상기 이미지획득부(890)는, 로딩부재(60)에 적재된 소자(1)에 대한 이미지를 획득하는 구성으로서 스캐너, 카메라 등 다양한 구성이 가능하다.
그리고 상기 이미지획득부(890)는, 픽커(20)에 의하여 픽업될 소자(1)의 위치파악, 소자(1)의 상면에 대한 검사 등으로 활용될 수 있다.
특히 후술하는 이송툴모듈(500)이 복수의 픽커(20)들을 구비하고, 복수의 픽커(20)들이 모두 소자(1)를 픽업함이 바람직한바 복수의 소자(1)들에 대한 이미지를 획득함이 바람직하다.
이에 상기 이미지획득부(890)는, 로딩부재(60)에 가깝게 설치됨이 바람직하며 이송툴모듈(500)과의 간섭을 방지하기 위하여 로딩부재테이블(200)의 상부에서 수평이동 또는 수직이동이 가능하도록 설치될 수 있다.
한편 상기 로딩부재카세트부(100)로부터 로딩부재테이블(200)로 로딩부재(60)를 전달하기 위한 로딩부재로딩부(미도시)는, 로딩부재카세트부(100)로부터 로딩부재(60)를 인출하고 인출된 로딩부재(60)를 로딩부재테이블(200)로 전달할 수 있는 구성이면 어떠한 구성도 가능하다.
일예로서, 상기 로딩부재로딩부는, 클램핑 장치 및 선형구동장치로 구성되거나, 푸셔 및 푸셔를 선형이동시키기 위한 선형구동장치로 구성되는 등 다양한 구성이 가능하다.
상기 언로딩부(300)는, 로딩부재테이블(200)로부터 수평방향으로 이격되어 설치되며 로딩부재(60)로부터 소자(1)를 전달받아 적재하는 언로딩부재(70)가 설치된 구성으로서 다양한 구성이 가능하다
특히 상기 언로딩부(300)는, 테이프앤릴(캐리어테이프 및 커버테이프) 등 언로딩부재(70)의 구성에 따라서 그 구성이 결정된다.
예로서, 상기 언로딩부(300)는, 도 1 및 도 4에 도시된 바와 같이, 소자(1)가 적재되는 포켓부(71)가 길이방향을 따라서 형성되며 소자적재 후 테이프(미도시)에 의하여 밀봉되는 캐리어테이프가 언로딩부재(70)를 구성하는 경우 일단에 회전가능하게 설치되어 소자(1)가 적재될 캐리어테이프가 감겨진 풀림롤부(311)와, 타단에 회전가능하게 설치되며 소자적재 후 테이프에 의하여 밀봉된 캐리어테이프가 감기는 감길롤부(312)와, 풀림롤부(311)로부터 풀린 캐리어테이프가 적재위치를 지나도록 캐리어테이프의 이동을 안내하는 캐리어테이프가이드부(미도시)를 포함하여 구성될 수 있다.
여기서 상기 언로딩부재(70)는 도 4에 도시된 바와 같이, 소자(1)가 담겨지는 포켓부(71)의 저면에 복수의 홀(22)들이 형성될 수 있다.
그리고 상기 언로딩부재(70)가 적재위치에 위치되었을 때 언로딩부재(70)의 직하방에 진공압을 형성하는 진공압형성장치(24)가 설치되어 후술하는 이송툴모듈(500)에 의하여 적재될 때 소자(1)가 안정적으로 적재될 수 있도록 할 수 있다.
여기서 상기 언로딩부재(70)가 캐리어테이프인 경우 도 4에 도시된 바와 같이, 캐리어테이프의 날개부분을 가이드하도록 설치된 한 쌍의 롤러부재(78)와, 롤러부재가 고정되는 지지부재(79)의 가이드에 의하여 그 이동이 가이드될 수 있다.
상기 언로딩부(300)의 다른 예로서, 언로딩부재(70)가 부착되는 플레이트(도 3 참조)인 경우로서, 언로딩부(300)는, 일단에 위치되어 복수의 소자(1)들이 부착되는 플레이트가 적재되는 플레이트적재부와, 이송툴모듈(500)에 의하여 소자(1)들을 전달받도록 적재위치에서 플레이트를 지지하여 이동시키는 X-Y테이블과, 트레이적재부로부터 플레이트를 X-Y테이블로 전달하는 트레이이동부(미도시)를 포함하여 구성될 수 있다.
여기서 상기 플레이트는, 도 3에 도시된 바와 같이, 로딩부재(60)와 유사한 구성으로서 소자(1)가 부착되는 테이프와, 테이프를 고정시키면서 LOT번호, 분류등급 등의 표식이 있는 프레임부재를 포함하여 구성되거나, 소자(1)가 담기는 삽입홈들이 복수 개로 형성된 트레이로서, 소자(1)의 종류에 따라서 규격화된 트레이, 즉, JEDEC 트레이가 사용될 수 있다.
한편 상기 언로딩부(300)는, 도 1에 도시된 바와 같이, 캐리어테이프에 소자(1)를 적재하는 구성1(310), 플레이트에 소자(1)를 적재하는 구성2 등 어느 하나로만 구성되거나, 구성 1 및 2 중 2개, 또는 모두를 포함하여 구성될 수 있다.
또한 상기 언로딩부(300)는, 캐리어테이프에 소자(1)를 적재하는 구성1(310), 플레이트에 소자(1)를 적재하는 구성2 등 동일한 구성이 2개 이상으로 설치될 수도 있음은 물론이다.
예를 들면, 상기 언로딩부(300)는, 캐리어테이프에 소자(1)를 적재하는 구성1(310)이 2개 이상, 예를 들면 도 1에 도시된 바와 같이, 4개로 평행하게 설치될 수 있다.
한편 상기 언로딩부(300)는, 로딩부재(60)로부터 신속한 소자언로딩을 위하여 로딩부재테이블(200) 부근에 2개 이상으로 설치됨이 바람직하다.
즉, 본 발명에 따른 소자핸들러는, 도 1 및 도 10에 도시된 바와 같이, 로딩부재테이블(200)로부터 수평방향으로 각각 이격되어 배치되며 로딩부재(60)로부터 소자(1)를 전달받아 적재되는 언로딩부재(70)가 설치된 2개 이상의 언로딩부(300)를 포함할 수 있다.
이때, 상기 이송툴모듈(500)은, 2개 이상의 언로딩부(300)들 각각에 대응되며, 로딩부재(60)로부터 픽업위치(P1)에서 소자(1)를 픽업하여 각 언로딩부(300)의 언로딩위치(P2)에서 언로딩부재(20)로 소자(1)를 언로딩하도록 2개 이상의 언로딩부(300)들의 수, 즉 2개 이상으로 설치된다.
한편 상기 2개 이상의 언로딩부(300)들은, 그 배치에 따라서 다양한 배치구조가 가능하다.
예로서, 상기 2개 이상의 언로딩부(300)들은, 도 1에 도시된 바와 같이, 로딩부재테이블(200)을 중심으로 서로 대향되어 설치되는 제1언로딩부(300) 및 제2언로딩부(300)를 포함할 수 있다.
이때, 상기 2개 이상의 이송툴모듈(500)은, 로딩부재테이블(200) 및 제1언로딩부(300) 사이에서 소자(1)를 이송하는 제1이송툴모듈(500) 및 로딩부재테이블(200) 및 제2언로딩부(300) 사이에서 소자(1)를 이송하는 제2이송툴모듈(500)을 포함할 수 있다.
다른 예로서, 상기 2개 이상의 언로딩부(300)는, 도 10에 도시된 바와 같이, 로딩부재테이블(200)을 기준으로 로딩부재테이블(200)의 전방에 설치되는 제1언로딩부(300)와, 로딩부재테이블(200)을 기준으로 로딩부재테이블(200)의 좌측 및 우측 중 적어도 일측에 설치되는 하나 이상의 제2언로딩부(300)를 포함할 수 있다.
이때, 상기 2개 이상의 이송툴모듈(500)은, 로딩부재테이블(200) 및 제1언로딩부(300) 사이에서 소자(1)를 이송하는 제1이송툴모듈(500) 및 로딩부재테이블(200) 및 제2언로딩부(300) 사이에서 소자(1)를 이송하는 제2이송툴모듈(500)을 포함할 수 있다.
상기 이송툴모듈(500)은, 다수의 소자(1)들이 적재된 로딩부재(60)로부터 픽업위치(P1)에서 소자(1)를 픽업하여 언로딩위치(P2)에서 언로딩부재(70)로 소자(1)를 언로딩하는 구성으로서 그 구성에 따라서 장치의 처리속도가 결정된다.
이에, 본 발명의 제1실시예에 따른 이송툴모듈(500)은, 도 5a 내지 도 8b에 도시된 바와 같이, 제1회전축(11)을 가지는 제1회전구동부(10)와; 제1회전축(11)과 반경방향으로 결합되며 제1회전축(11)의 원주방향으로 배치되어 제1회전축(11)을 중심으로 회전되는 복수의 픽커(20)들과; 제1회전축(11)과 수직을 이루는 제2회전축(31)을 가지며 제2회전축(31)을 중심으로 제1회전구동부(10)를 제2회전축(31)을 중심으로 회전시키는 제2회전구동부(30)를 포함할 수 있다.
상기 제1회전구동부(10)는, 복수의 픽커(20)들이 결합되는 제1회전축(11)을 가지는 구성으로서 회전모터로 구성될 수 있다.
여기서 상기 제1회전축(11)은, 복수의 픽커(20)들을 회전에 의하여 회전시키는 구성으로서 로딩부재(60)의 상면 또는 언로딩부재(70)의 상면과 평행, 즉 Z축과 수직을 이루도록 배치됨이 바람직하다.
특히 상기 제1회전축(11)는, Z축과 수직 즉, X축 또는 Y축과 평행하게 배치될 수 있으며 X축과 평행하게 배치되는 것이 더욱 바람직하다.
그리고 상기 제1회전축(11)의 회전방향을 일방향 또는 양방향 등 픽커(20)에 대한 회전방향의 제어에 따라서 다양하게 회전될 수 있다.
상기 복수의 픽커(20)들은, 제1회전축(11)과 반경방향으로 결합되며 제1회전축(11)의 원주방향으로 배치되어 제1회전축(11)을 중심으로 회전되는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.
상기 픽커(20)는, 진공압에 의하여 로딩부재(60)로부터 소자(1)를 픽업하도록 구성될 수 있다.
일예로서, 상기 픽커(20)는, 외부로부터 공압을 전달받은 공압연결부와, 끝단에 설치되어 공압연결부에 의하여 전달된 공압에 의하여 소자(1)를 픽업하거나 픽업을 해제하는 픽업헤드를 포함할 수 있다.
또한 상기 복수의 픽커(20)들은, 제1회전축(11)과의 연결에 있어서 회전지지부재(13)를 포함할 수 있다.
상기 회전지지부재(13)는, 복수의 픽커(20)들이 결합되어 복수의 픽커(20)들을 지지하는 구성으로 다양한 구성이 가능하다.
일예로서, 상기 회전지지부재(13)는, 등록특허 제10-1338182호에서 회전구동부(320)와 유사하게 구성될 수 있다.
한편 상기 복수의 픽커(20)들의 설치개수는 언로딩부재(70)의 설치개수에 따라서 달라질 수 있으며, 예로서 2n개(n은 자연수)로 구성될 수 있다.
그리고 상기 복수의 픽커(20)들은, 소자(1)의 픽업 및 플레이스시 그 작업이 용이하도록 로딩부재(60)의 상면 또는 언로딩부재(70)의 상면을 향하여 선형이동이 가능하게 설치될 필요가 있다.
이에, 상기 복수의 픽커(20)들은, 제1회전축(11)에 대하여 반경방향으로 선형이동가능하게 설치될 수 있으며, 반경방향이동부(도시하지 않음)에 의하여 반경방향으로 선형이동될 수 있다.
상기 선형구동부는 픽커(20)들 중 적어도 일부를 제1회전축(11)의 반경방향으로 선형이동시키는 구성으로서, 전기 또는 공압에 의한 액츄에이터, 픽커(20)와의 접촉에 의하여 반경방향으로 선택적으로 가압하여 선형이동시키는 캠부재 등 다양한 구성이 가능하다.
그리고 상기 복수의 픽커(20)들은, 제1회전축(11)을 중심으로 180°, 90°, 60° 등 등각으로 배치될 수 있다.
한편 상기 복수의 픽커(20)들은 제1회전축(11)을 중심으로 회전되는바 픽커(20)들에 대한 진공압전달이 원활하도록 회전이 가능하면서 공압을 전달할 수 있는 로터리공압조인트에 의하여 외부로부터 공압을 전달받을 수 있다.
상기 제2회전구동부(30)는, 제1회전축(11)과 수직을 이루는 제2회전축(31)을 가지며 제2회전축(31)을 중심으로 제1회전구동부(10)를 제2회전축(31)을 중심으로 회전시키는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.
상기 제2회전구동부(30)는, 제2회전축(31)을 가지며 제2회전축(11)을 회전시키는 구성으로서 회전모터로 구성될 수 있다.
그리고 상기 제2회전구동부(30)는, 후술하는 선형이동부에 의하여 X축이동 및 Y축이동 중 적어도 어느 하나의 이동이 가능하도록 설치된다.
상기 제2회전축(31)은, 제1회전구동부(10)를 지지함으로써 회전에 의하여 제1회전구동부(10)를 회전시키는 구성으로 다양한 구성이 가능하다.
여기서 상기 제2회전축(31)은, 제1회전구동부(10)를 다양한 형태로 지지할 수 있으며 제1회전구동부(10)를 지지하는 지지부재(33)가 결합됨으로써 제1회전구동부(10)를 지지할 수 있다.
한편 상기 제2회전축(31)은, 픽커(20)에 의하여 픽업된 소자(1)의 Θ방향의 오차, 즉 Z축을 회전축으로 하는 회전각도의 오차를 원활하게 보정할 수 있도록 복수의 픽커(20)들의 회전중심(O)을 지나는 것이 바람직하다.
한편 상기 이송툴모듈(500)은, 픽커(20)에 의하여 픽업된 소자(1)의 이면에 대한 이미지를 획득하는 이미지획득장치(80, 90)를 추가로 포함할 수 있다.
상기 이미지획득장치(80, 90)는, 도 5a, 도 6에 도시된 바와 같이, 픽커(20)에 의하여 픽업된 소자(1)의 수평오차를 계산하기 위하여 소자(1)의 이면에 대한 이미지를 획득하는 구성으로서 스캐너, 카메라 등 다양한 구성이 가능하다.
여기서 상기 이미지획득장치(80, 90)는, 소자(1)의 이면에 대한 이미지를 분석하여 소자(1)의 이면에 대한 비전검사를 수행하는데 활용될 수도 있다.
상기 이미지획득장치(80, 90)의 설치위치는, 소자픽업시 픽커(20)의 회전이 정지되는 것과, 후술하는 바와 같이 이송툴모듈이 조합되는 경우 인접한 타부재와의 간섭을 고려하여, 픽커(20)의 회전방향을 기준으로 소자픽업시 또는 소자적재시 픽업위치(P1) 또는 적재위치(P2)에 위치된 픽커(20)보다 뒤쪽에 위치된 픽커(20)에 대향되는 위치에 위치되는 것이 바람직하다.
구체적으로, 소자픽업시 또는 소자적재시 픽업위치(P1) 또는 적재위치(P2)에 위치된 픽커(20)를 1번으로 하였을 때 후순위에 위치, 4개의 픽커(20)들이 설치되었을 때 2번, 3번 및 4번 픽커, 바람직하게는 2번 또는 4번 픽커(3번 픽커의 경우 제2회전구동부(30)의 설치높이를 높여 바람직하지 않다), 보다 바람직하게는 4번 픽커에 위치됨이 바람직하다.
상기와 같은 구성을 가지는 제1실시예에 따른 이송툴모듈(500)은, 도 1에 도시된 바와 같이, 웨이퍼링과 같은 로딩부재(60) 상의 픽업위치(P1)에서 소자(1)를 픽업한 후 로딩부재(60)로부터 이격되어 설치된 언로딩부재(70)으로 이동하여 언로딩위치(P2)에 소자(1)를 적재한다.
이에, 상기 이송툴모듈(500)은, 로딩위치(P1) 및 언로딩위치(P2)의 배치방향을 기준, 예를 들면 Y축방향, 더 나아가 X축방향 및 Y축방향으로 선형이동되도록 설치될 수 있다.
그리고 상기 이송툴모듈(500)은, 서로 대향되어 한 쌍으로 설치되는 등 복수개로 설치될 수 있다.
이를 위하여 상기 소자핸들러는, 이송툴모듈(500)의 선형구동을 위하여 이송툴모듈(500)을 지지하며 X축방향으로 선형이동시키는 제1선형이동부(623)과, 제1선형이동부(623)을 지지하며 Y축방향으로 선형이동시키는 제2선형이동부(622)를 포함할 수 있다.
상기 제1선형이동부(623)는, 이송툴모듈(500)의 선형구동을 위하여 이송툴모듈(500)을 지지하며 X축방향으로 선형이동시키는 다양한 구성이 가능하다.
상기 제2선형이동부(622)는, 제1선형이동부(623)을 지지하며 Y축방향으로 선형이동시키는 구성으로서 가이드레일을 구비하는 등 다양한 구성이 가능하다.
상기 제1선형이동부(623) 및 제2선형이동부(622)는, X-Y로봇을 구성할 수도 있음은 물론이다.
한편 상기 이송툴모듈(500)은, 픽업위치(P1)에서 모든 픽커(20)들이 소자(1)를 픽업함이 바람직하다.
그리고 상기 이송툴모듈(500)은, 적재위치(P2)에서의 소자적재가 원활하도록 적재위치(P2)에 위치되었을 때 픽커(20)들의 회전축인 제1회전축(11)이 언로딩부재(70)의 이동방향과 수직을 이루는 것이 바람직하다.
또한 상기 이송툴모듈(500)은, 복수의 언로딩부재(70)들이 평행하게 배치되는 경우, 적재위치(P2)에서의 소자적재가 원활하도록 적재위치(P2)에 위치되었을 때 픽커(20)들의 회전축인 제1회전축(11)이 언로딩부재(70)의 이동방향과 평행을 이룰 수 있다.
한편 소자(1)의 픽업 후 언로딩부재(70)에 적재할 때 소자(1)가 뒤집어 적재, 즉 반전되어 적재될 것이 필요한 경우가 있다.
이에 이송툴모듈은, 제1실시예에 따른 이송툴모듈, 즉 도 5a 내지 7의 구성을 기본구성으로 하고, 이러한 기본구성이 복수 개로 설치되는 등 다양한 변형이 가능하다. 여기서 제1실시예에 따른 이송툴모듈의 조합시 도 5a 내지 7의 구성 중 적어도 일부가 변형될 수 있다.
예를 들면, 본 발명의 제2실시예에 따른 이송툴모듈(500)은, 도 8a 및 도 8b에 도시된 바와 같이, 도 5a 내지 7에 도시된 구성을 가지는 제1이송툴모듈(510)과, 도 5a 내지 7에 도시된 구성에서 제2이송툴모듈(520)을 포함할 수 있다.
즉, 본 발명의 제2실시예에 따른 이송툴모듈(500)은, 도 8a 및 도 8b에 도시된 바와 같이, 제1실시예에 따른 이송툴모듈로서 픽업위치(P1)에서 소자(1)를 픽업하는 제1이송툴(510)과; 제1실시예에 따른 이송툴모듈로서 제1이송툴(510)로부터 소자(1)를 전달받아 언로딩위치(P2)에서 소자(1)를 언로딩하는 제2이송툴(520)을 포함할 수 있다.
이때, 상기 제1이송툴(510)의 제1회전축(11) 및 제2회전축(31)은 제2이송툴(520)의 제1회전축(11) 및 제2회전축(31)과 각각 서로 평행하게 배치된다.
그리고 상기 제1이송툴(510)의 픽커(20)의 회전중심(O)과 제2이송툴(520)의 픽커(20)의 회전중심(O)을 연결하는 가상선(L)이 제1이송툴(510)의 제1회전축(11) 및 제2회전축(31)과 수직을 이룬다.
그리고 상기 제1이송툴(510)의 픽커(20)로부터 제2이송툴(520)의 픽커(20)로 소자(1)를 전달하는 전달위치(P3)는 제1이송툴(510)의 픽커(20)의 회전중심(O)과 제2이송툴(520)의 픽커(20)의 회전중심(O) 사이에 위치된다.
그리고 상기 제1이송툴(510) 및 제2이송툴(520)은, 서로 고정된 상태로서 하나의 모듈을 구성한다.
여기서 상기 제1이송툴(510) 및 제2이송툴(520)은, 소자반전이 불필요한 경우 제1이송툴(510) 및 제2이송툴(520) 중 어느 하나를 분리하여 이송툴모듈로 사용하고 소자반전이 필요한 경우 제1이송툴(510) 및 제2이송툴(520)를 결합시켜 이송툴모듈로 사용할 수 있다.
그리고, 상기 제1이송툴(510) 및 제2이송툴(520) 중 적어도 하나는, 픽커(20)에 의하여 픽업된 소자(1)의 이면에 대한 이미지를 획득하는 이미지획득장치(90)를 추가로 포함하며, 이미지획득장치(90)에 의하여 획득된 이미지로부터 언로딩위치(P2)에서 언로딩될 소자(1)의 위치오차가 계산될 수 있다.
상기 이미지획득장치(90)는, 앞서 설명한 바와 같이, 이미지획득장치(90)에 의하여 획득된 이미지로부터 언로딩위치(P2)에서 언로딩될 소자(1)의 위치오차가 계산하는 것을 고려하여 제2이송툴(520) 쪽에 설치됨이 바람직하다.
이때 제1이송툴(510) 쪽에는, 이미지획득장치(90)와는 별도의 이미지획득장치(80)이 추가로 설치될 수 있으며, 별도의 이미지획득장치(80)는, 위치오차의 계산보다는 제1이송툴(510)의 픽커(20)에 의하여 픽업된 소자(1)의 이면에 대한 이미지를 획득하여 이미지 분석을 통한 비전검사를 수행하는데 활용될 수 있다.
또한 상기 전달위치(P3)에 위치된 제1이송툴(510) 및 제2이송툴(520)의 픽커(20)들은 소자(1)의 손상 및 흘림없이 원활하게 전달될 수 있도록 실험 등을 통하여 적절한 간격을 두고 설치된다.
또한 상기 전달위치(P3)에서 제1이송툴(510)의 픽커(20)는, 제2이송툴(520)의 픽커(20)로의 소자전달을 원활하게 하기 위하여 제2이송툴(520)의 픽커(20)로 향하여 선형이동이 가능하도록 설치됨이 바람직하다.
즉, 상기 전달위치(P3)에서 제1이송툴(510)의 픽커(20)는, 제2이송툴(520)의 픽커(20) 쪽으로 선형이동됨으로써 제2이송툴(520)의 픽커(20)에 대한 소자전달을 원활하게 수행할 수 있다.
한편 상기 제1이송툴(510) 및 제2이송툴(520)의 결합방향은, 도 8a 내지 도 9b에 도시된 바와 같이, 제1이송툴(510) 및 제2이송툴(520)이 픽업위치(P1) 및 언로딩위치(P2)를 연결하는 직선, 즉 Y축방향으로 순차적으로 배치되는 것이 바람직하다.
상기 제1이송툴(510) 및 제2이송툴(520)가 Y축방향으로 순차적으로 배치되면, 도 8b 및 도 9b에 도시된 바와 같이, 픽업위치(P1)에서의 제1이송툴(510)의 소자픽업 후 제2이송툴(520)이 소자를 전달받아 소자언로딩위치(P2)까지의 이동거리를 최소화하여 소자(1)의 전달속도를 높여 장치의 처리속도를 높일 수 있다.
상기와 같은 구성을 가지는 제2실시예에 따른 이송툴모듈(500)은, 하나 이상, 도 1에 도시된 바와 같이, 한 쌍으로 설치될 수 있다.
이때 상기 제2실시예에 따른 이송툴모듈은, 제1실시예와 동일하게 로딩위치(P1) 및 언로딩위치(P2)의 배치방향을 기준, 예를 들면 Y축방향, 더 나아가 X축방향 및 Y축방향으로 선형이동되도록 설치될 수 있다.
한편 소자(1)의 픽업 후 언로딩부재(70)에 적재할 때 소자(1)가 뒤집어 적재, 즉 반전되어 적재하기 위한 다른 방법으로서, 제2실시예에 따른 이송툴모듈의 구성에서 제1이송툴(510) 및 제2이송툴(520)을 분리하여 구성할 수 있다.
즉, 본 발명의 제3실시예에 따른 이송툴모듈은, 도 9a 및 도 9b에 도시된 바와 같이, 제2실시예와는 달리 제1실시예에 따른 이송툴모듈로서 픽업위치(P1)에서 소자(1)를 픽업하며 픽업위치(P1) 및 전달위치(P2) 사이에서 이동되는 제1이송툴(510)과; 제1실시예에 따른 이송툴모듈로서 전달위치(P3)에서 제1이송툴(510)로부터 소자(1)를 전달받아 언로딩위치(P2)에서 소자(1)를 언로딩하며 전달위치(P3) 및 언로딩위치(P2) 사이에서 이동되는 제2이송툴(520)을 포함할 수 있다.
이때, 상기 제1이송툴(510)의 제1회전축(11) 및 제2회전축(31)은 제2이송툴(520)의 제1회전축(11) 및 제2회전축(31)과 각각 서로 평행하게 배치된다.
그리고 상기 제1이송툴(510)이 제2이송툴(520)로 소자를 전달하기 위하여 제2이송툴(520)에 접근하였을 때 제1이송툴(510)의 픽커(20)의 회전중심(O)과 제2이송툴(520)의 픽커(20)의 회전중심(O)을 연결하는 가상선(L)이 제1이송툴(510)의 제1회전축(11) 및 제2회전축(31)과 수직을 이룬다.
한편 상기 전달위치(P3)는, 제1이송툴(510)의 픽커(20)로부터 제2이송툴(520)의 픽커(20)로 소자(1)를 전달하는 위치로서, 제1이송툴(510)의 픽커(20)의 회전중심(O)과 제2이송툴(520)의 픽커(20)의 회전중심(O) 사이에 위치된다.
특히 상기 전달위치(P3)는, 로딩위치(P1) 및 언로딩위치(P2) 사이에 위치된다.
그리고 도 9b에 도시된 바와 같이, 상기 제1이송툴(510)이 제2이송툴(520)로 소자를 전달하기 위하여 제2이송툴(520)에 접근하였을 때 제1이송툴(510) 및 제2이송툴(520)는 도 9a에 도시된 바와 같은 상태가 된다.
여기서 제2실시예에서 설명한 바와 같이, 또한 상기 전달위치(P3)에서 제1이송툴(510)의 픽커(20)는, 제2이송툴(520)의 픽커(20)로의 소자전달을 원활하게 하기 위하여 제2이송툴(520)의 픽커(20)로 향하여 선형이동이 가능하도록 설치됨이 바람직하다.
즉, 상기 전달위치(P3)에서 제1이송툴(510)의 픽커(20)는, 제2이송툴(520)의 픽커(20) 쪽으로 선형이동됨으로써 제2이송툴(520)의 픽커(20)에 대한 소자전달을 원활하게 수행할 수 있다.
한편 상기와 같은 실시예들을 종합하면, 본 발명은 또한 다음과 같은 구성을 제시한다.
본 발명의 착안배경에 따르면, 웨이퍼링과 같이 복수의 소자(1)들이 부착된 테이프를 포함하는 로딩부재(60)로부터 소자(1)를 픽업할 때 니들핀조립체 구성의 한계로 인하여 각각의 소자(1)를 하나씩 픽업하여야 하는 문제점의 인식부터 시작한다.
이러한 소자(1) 픽업 숫자의 한계는, 웨이퍼링과 같은 로딩부재(60)로부터 테이프 앤 릴(T&R)과 같은 언로딩부재(70)로의 소자언로딩 속도를 제한한다. 그리고 소자언로딩 속도의 제한은, 반도체소자 등의 생산속도를 저하시켜 생산성을 높이는데 한계로서 작용한다.
이에, 본 발명에 따른 이송툴모듈은, 복수의 소자(1)들이 부착된 테이프를 포함하는 로딩부재(60)로부터 픽업위치(P1)에서 2개 이상, 바람직하게는 다수의 소자(1)들을 픽업한 후 언로딩위치(P2)로 이동하여 언로딩위치(P2)에 위치된 언로딩부재(70)로 소자(1)를 언로딩함을 특징으로 한다. 여기서 상기 픽업위치(P1)는, 로딩부재(60)로부터 언로딩부재(70)까지 2개의 이송툴모듈에 의하여 순차적으로 소자(1)를 언로딩하는 경우에는, 다른 이송툴모듈에 대한 전달위치로 대체될 수 있다.
이러한 이송툴모듈은, 2개 이상의 소자(1)를 픽업할 수 있도록 픽업위치(P1), 구체적으로 니들핀조립체(600)가 위치된 부분에서 소자(1)를 순차적으로 픽업하는 복수의 픽커(20)들을 포함함을 특징으로 한다.
상기와 같은 이송툴모듈은, 구체적 실시예로서, 도 5a 내지 도 6에 도시된 이송툴모듈이 될 수 있다.
또한 상기와 같이 복수의 픽커(20)들을 포함하는 이송툴모듈의, 다른 실시예서, 하나의 지지구조물에 복수의 픽커(20)들이 설치되고 각 픽커(20)들이 소자(1)를 순차적으로 픽업할 수 있는 구성이면 어떠한 구성도 가능하다.
한편 상기와 같이 복수의 픽커(20)들을 포함하는 이송툴모듈은, 각 픽커(20)가 픽업위치(P1)에 위치되었을 때 니들핀조립체(600)가 위치된 부분에서 소자(1)를 효과적으로 픽업할 수 있도록 니들핀조립체(600)을 향하여 선형이동이 가능하도록 설치됨이 바람직하다.
또한 상기와 같이 복수의 픽커(20)들을 포함하는 이송툴모듈은, 소자(1)들을 픽업한 후, 복수의 픽커(20)들이 하나의 모듈로서 언로딩위치(P2), 또는 전달위치로 이동될 수 있도록 이동됨이 바람직하다.
한편 상기와 같이 복수의 픽커(20)들을 포함하는 이송툴모듈은, 소자(1)의 픽업 후 각 픽커(20)에 픽업된 소자(1)들에 대한 수평오차의 계산, 소자(1)의 표면비전검사 등을 위하여 픽커(20)에 의하여 픽업된 소자(1)의 이면에 대한 이미지를 획득하는 이미지획득장치를 추가로 포함할 수 있다.
상기 이미지획득장치(90)는, 소자(1)의 픽업 후 각 픽커(20)에 픽업된 소자(1)들에 대한 수평오차의 계산, 소자(1)의 표면비전검사 등을 위하여 픽커(20)에 의하여 픽업된 소자(1)의 이면에 대한 이미지를 획득하는 구성으로서 그 기능에 따라서 다양한 구성이 가능하다.
예로서, 상기 각 픽커(20)에 픽업된 소자(1)들은, 픽업과정에서 픽커(20)에 대한 소자(1)의 수평오차가 발생될 수 있는데, 수평오차가 허용범위를 넘어서는 경우 언로딩부재(70)에 정확하게 안착시키지 못하여 안착불량이 발생될 수 있다.
여기서 수평오차란, 픽업과정에서 픽커(20)에 대한 소자(1)가 X-Y 방향의 오차, 기준 X-Y방향에 대한 회전오차, 즉 Θ오차 등을 말한다.
이에 픽업과정에서 픽커(20)에 대한 소자(1)의 수평오차, 특히 회전오차의 유무를 확인하여 언로딩부재(70)로의 안착시 이를 보정하여 안착시킬 필요가 있다.
따라서 상기 이미지획득장치는, 소자(1)의 픽업 후 각 픽커(20)에 픽업된 소자(1)들에 대한 수평오차의 계산을 위하여 픽커(20)에 의하여 픽업된 소자(1)의 이면-여기서 이면은 픽커(20)에 픽업된 면의 소자(1)의 반대면으로 정의된다-에 대한 이미지를 획득할 수 있다.
또한 상기 이미지획득장치는, 수평오차의 계산과 함께, 또는 단독으로 소자(1)의 이면에 대한 비전검사, 즉 크랙의 유무, 범프의 형성상태 등의 2D검사를 수행하기 위하여 픽커(20)에 의하여 픽업된 소자(1)의 이면에 대한 이미지를 획득할 수 있다.
한편 상기 이미지획득장치는, 이송툴모듈과 별도로 설치될 수 있으나, 효과적인 비전검사의 수행을 위하여 이송툴모듈과 함께 하나의 모듈로 구성됨이 바람직하다.
특히 상기 이미지획득장치가 이송툴모듈과 하나의 모듈로 구성되는 경우 다음과 같은 장점이 있다.
먼저, 앞서 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 이송툴모듈은, 2개 이상의 소자(1)를 픽업할 수 있도록 픽업위치(P1), 구체적으로 니들핀조립체(600)가 위치된 부분에서 소자(1)를 픽업하는 복수의 픽커(20)들을 포함함을 특징한다.
그런데, 상기 소자(1)의 픽업 및 소자(1)에 대한 이미지획득, 특히 이미지획득 및 이미지분석이 병행되는 경우 소자(1)에 대한 이미지 획득 속도가 소자(1)의 픽업속도를 저하시킬 수 있는 문제점이 있다.
이에 본 발명에 따른 이송툴모듈은, 각 픽커(20)들이 소자(1)의 픽업을 마친후 언로딩위치(P2) 또는 다른 이송툴모듈로의 소자전달을 위한 전달위치로 이동될 때 이미지획득장치에 의하여 각 픽커(20)들에 의하여 소자(1)에 대한 이미지획득 더 나아가 이미지분석을 수행하도록 구성될 수 있다.
여기서 상기 이미지획득장치에 의한 이미지획득은, 획득될 이미지의 스펙, 즉 해상도, 심도 등에 따라서 이미지획득속도가 소자(1)의 픽업속도에 영향을 주지 않을 수 있는바, 본 발명에 따른 이송툴모듈은, 복수의 픽커(20)들 각각이 소자픽업 및 픽업 후 소자(1)의 이면에 대한 이미지획득을 병행하도록 구성될 수 있다.
여기서 상기 이미지획득장치에 의하여 획득된 이미지들은, 이미지 분석속도가 늦을 수도 있음을 감안하여 제어부의 일부를 구성하는 메모리 등에 저장하고 각 픽커(20)들이 소자(1)의 픽업을 마친후 언로딩위치(P2) 또는 다른 이송툴모듈로의 소자전달을 위한 전달위치로 이동될 때 제어부는 이미지분석을 마치도록 구성될 수 있다.
다시 말하면, 본 발명에 따른 이송툴모듈 및 이송툴모듈을 구비한 소자핸들러는, 이미지획득장치를 하나의 모듈로서 포함할 수 있다.
그리고 발명에 따른 이송툴모듈 및 이송툴모듈을 구비한 소자핸들러는, 픽업위치(P1)에서의 소자픽업, 소자(1)를 픽업한 픽커(20)를 이미지획득장치 쪽으로 회전이동 및 선형이동 중 적어도 하나의 이동에 의하여 픽업된 소자(20)에 대한 이미지획득을 수행하도록 구성될 수 있다. 여기서 상기 이미지획득과정은, 이미지획득속도에 따라서 소자픽업 후 언로딩위치(P2) 또는 다른 이송툴모듈로의 소자전달을 위한 전달위치로 이동될 때 수행될 수도 있음은 물론이다.
그리고, 발명에 따른 이송툴모듈 및 이송툴모듈을 구비한 소자핸들러는, 소자픽업 및 픽업 후 소자(1)의 이면에 대한 이미지획득을 병행한 후, 제어부의 일부를 구성하는 메모리 등에 저장하고 언로딩위치(P2) 또는 다른 이송툴모듈로의 소자전달을 위한 전달위치로 이동될 때 제어부는 이미지분석을 마치도록 구성될 수 있다.
특히 수평오차의 계산에 비하여 비전검사의 경우 충분한 이미지처리속도를 요하는바, 복수의 픽커(20)들 각각에 의한 소자픽업 및 픽업 후 소자(1)의 이면에 대한 이미지획득을 병행한 후, 제어부의 일부를 구성하는 메모리 등에 저장하고 각 픽커(20)들이 소자(1)의 픽업을 마친후 언로딩위치(P2) 또는 다른 이송툴모듈로의 소자전달을 위한 전달위치로 이동될 때 제어부는 이미지분석을 마치도록 구성될 수 있다.
상기와 같이 소자픽업 및 이미지획득의 병행, 소자(1)의 픽업을 마친후 언로딩위치(P2) 또는 다른 이송툴모듈로의 소자전달을 위한 전달위치로 이동될 때 이미지분석을 수행하게 되면, 별도의 비전검사장치 또는 모듈의 설치함 없이 소자의 언로딩 및 비전검사의 수행이 가능한 이점이 있다.
더 나아가, 본 발명은, 소자픽업 및 이미지획득의 병행, 소자(1)의 픽업을 마친 후 이동시 이미지분석을 하게 되면 소자의 언로딩속도를 현저하게 높일 수 있는 이점도 있다.
상기와 같은 소자픽업 및 이미지획득의 병행, 소자(1)의 픽업을 마친 후 이동시 이미지분석의 수행을 위한 이송툴모듈은, 도 5a에 도시된 바와 같은, 이송툴모듈의 구성을 채택할 수 있다.
이때 상기 이송툴모듈은, 각 픽커(20)의 픽업 후 회전되는 방향 쪽에 이미지획득장치(80, 90)가 설치됨이 바람직하다.
구체적으로, 도 5a 및 도 5b에서 각 픽커(20)들이 소자(1)의 픽업 후 시계방향으로 회전될 때 이미지획득장치(80, 90)는, 픽커(20)들의 회전축(O)을 기준으로 좌측에 위치됨이 바람직하다.
한편 상기 이미지획득장치(80, 90)는, 이미지획득 목적(수평오차계산, 비전검사)에 따라서 2개 이상으로 설치됨이 바람직하다.
여기서 수평오차의 계산은 상대적으로 빠르게 수행되므로 픽커(20)들의 회전축(O) 및 그 회전방향을 기준으로 수평오차계산을 위한 이미지획득장치(90)가 비전검사를 위한 이미지획득장치(80)보다 후방 쪽에 위치됨이 바람직하다.
다시 말하면, 소자(1)를 픽업한 픽커(20)는, 회전에 의하여 먼저 비전검사를 위한 이미지획득장치(80)를 거치고 그 후에 수평오차계산을 위한 이미지획득장치(90)를 거치도록 이미지획득장치(80)가 배치됨이 바람직하다.
한편 앞서 설명한 바와 같이, 하나 이상의 이미지획득장치(80, 90), 특히 비전검사를 위한 이미지획득장치(80)는, 이송툴모듈과 함께 이동되도록 구성됨이 바람직하다.
한편 상기 이미지획득장치(80, 90)는, 소자(1)의 이면에 대한 이미지를 획득하는 구성으로서 스캐너, 카메라 등 다양한 구성이 가능하다.
이상은 본 발명에 의해 구현될 수 있는 바람직한 실시예의 일부에 관하여 설명한 것에 불과하므로, 주지된 바와 같이 본 발명의 범위는 위의 실시예에 한정되어 해석되어서는 안 될 것이며, 위에서 설명된 본 발명의 기술적 사상과 그 근본을 함께 하는 기술적 사상은 모두 본 발명의 범위에 포함된다고 할 것이다.

Claims (15)

  1. 다수의 소자(1)들이 부착된 복수의 로딩부재(60)들이 적재된 로딩부재카세트부(100)로부터 로딩부재(60)를 공급받아 상기 로딩부재(60)를 수평방향으로 이동시키는 로딩부재테이블(200)과;
    상기 로딩부재테이블(200)로부터 수평방향으로 각각 이격되어 배치되며 로딩부재(60)로부터 소자(1)를 전달받아 적재되는 언로딩부재(70)가 설치된 언로딩부(300)와;
    상기 로딩부재(60)로부터 픽업위치(P1)에서 소자(1)를 픽업하여 상기 각 언로딩부(300)의 언로딩위치(P2)에서 상기 언로딩부재(20)로 소자(1)를 언로딩하는 이송툴모듈(500)을 포함하는 것을 특징으로 하는 소자핸들러.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 이송툴모듈(500)은,
    제1회전축(11)을 가지는 제1회전구동부(10)와;
    상기 제1회전축(11)과 반경방향으로 결합되며 상기 제1회전축(11)의 원주방향으로 배치되어 상기 제1회전축(11)을 중심으로 회전되는 복수의 픽커(20)들과;
    상기 제1회전축(11)과 수직을 이루는 제2회전축(31)을 가지며 상기 제2회전축(31)을 중심으로 상기 제1회전구동부(10)를 상기 제2회전축(31)을 중심으로 회전시키는 제2회전구동부(30)를 포함하는 것을 특징으로 하는 소자핸들러.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 복수의 픽커(20)들의 설치개수는 2n개(n은 자연수)인 것을 특징으로 하는 소자핸들러.
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 이송툴모듈(500)은,
    픽업위치(P1)에서 소자(1)를 픽업하는 제1이송툴(510)과;
    상기 제1이송툴(510)로부터 소자를 전달받아 언로딩위치(P2)에서 소자(1)를 언로딩하는 제2이송툴(520)을 포함하는 것을 특징으로 하는 소자핸들러.
  5. 청구항 4에 있어서,
    상기 제1이송툴(510)의 제1회전축(11) 및 제2회전축(31)은 상기 제2이송툴(520)의 제1회전축(11) 및 제2회전축(31)과 각각 서로 평행하게 배치되며,
    상기 제1이송툴(510)의 픽커(20)의 회전중심(O)과 상기 제2이송툴(520)의 픽커(20)의 회전중심(O)을 연결하는 가상선(L)이 상기 제1이송툴(510)의 제1회전축(11) 및 제2회전축(31)과 수직을 이루며,
    상기 제1이송툴(510)의 픽커(20)로부터 상기 제2이송툴(520)의 픽커(20)로 소자(1)를 전달하는 전달위치(P3)는 상기 제1이송툴(510)의 픽커(20)의 회전중심(O)과 상기 제2이송툴(520)의 픽커(20)의 회전중심(O) 사이에 위치된 것을 특징으로 하는 소자핸들러.
  6. 청구항 4에 있어서,
    상기 제1이송툴(510) 및 상기 제2이송툴(520)은, 서로 탈착가능하게 결합된 것을 특징으로 하는 소자핸들러.
  7. 청구항 4에 있어서,
    상기 제1이송툴(510) 및 상기 제2이송툴(520)은, 서로 분리되어 이동가능하게 설치되며,
    상기 언로딩부재에 소자적재시 반전이 불필요한 경우 상기 제1이송툴(510) 및 상기 제2이송툴(520)은, 순차적으로 상기 픽업위치(P1)에서 소자(1)를 픽업하여 상기 언로딩위치(P2)에서 소자(1)를 언로딩부재(70)에 소자를 적재하는 것을 특징으로 하는 소자핸들러.
  8. 청구항 4에 있어서,
    상기 제2이송툴(520) 측에 설치되어 상기 픽커(20)에 의하여 픽업된 소자(1)의 이면에 대한 이미지를 획득하는 이미지획득장치(90)를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 소자핸들러.
  9. 청구항 8에 있어서,
    상기 제1이송툴(510) 측에 설치되어 제1이송툴(510)의 픽커(20)에 의하여 픽업된 소자(1)의 이면에 대한 이미지를 획득하는 이미지획득장치(80)를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 소자핸들러.
  10. 청구항 1 내지 청구항 9 중 어느 하나의 항에 있어서,
    상기 언로딩부(300)는, 상기 로딩부재테이블(200)의 부근에 2개 이상으로 설치되며,
    상기 이송툴모듈(500)은, 상기 2개 이상의 언로딩부(300)들 각각에 대응되어 2개 이상으로 설치된 것을 특징으로 하는 소자핸들러.
  11. 청구항 10에 있어서,
    상기 2개 이상의 언로딩부(300)는,
    상기 로딩부재테이블(200)을 중심으로 서로 대향되어 설치되는 제1언로딩부(300) 및 제2언로딩부(300)를 포함하며,
    상기 2개 이상의 이송툴모듈(500)은, 상기 로딩부재테이블(200) 및 상기 제1언로딩부(300) 사이에서 소자(1)를 이송하는 제1이송툴모듈(500) 및 상기 로딩부재테이블(200) 및 상기 제2언로딩부(300) 사이에서 소자(1)를 이송하는 제2이송툴모듈(500)을 포함하는 것을 특징으로 하는 소자핸들러.
  12. 청구항 10에 있어서,
    상기 2개 이상의 언로딩부(300)는,
    상기 로딩부재테이블(200)을 기준으로 상기 로딩부재테이블(200)의 전방에 설치되는 제1언로딩부(300)와, 상기 로딩부재테이블(200)을 기준으로 상기 로딩부재테이블(200)의 좌측 및 우측 중 적어도 일측에 설치되는 하나 이상의 제2언로딩부(300)를 포함하며,
    상기 2개 이상의 이송툴모듈(500)은, 상기 로딩부재테이블(200) 및 상기 제1언로딩부(300) 사이에서 소자(1)를 이송하는 제1이송툴모듈(500) 및 상기 로딩부재테이블(200) 및 상기 제2언로딩부(300) 사이에서 소자(1)를 이송하는 제2이송툴모듈(500)을 포함하는 것을 특징으로 하는 소자핸들러.
  13. 청구항 1 내지 청구항 7 중 어느 하나의 항에 있어서,
    상기 로딩부재(60)는, 복수의 소자(1)들이 부착된 테이프를 포함하며,
    상기 이송툴모듈(500)은, 상기 픽업위치(P1)에서 상기 로딩부재(60)에 부착된 소자(1)를 순차적으로 픽업하는 복수의 픽커(20)들과, 상기 복수의 픽커(20)들이 상기 로딩부재(60)에 부착된 소자(1)를 순차적으로 픽업하도록 상기 픽업위치(P1)로 회전이동 및 선형이동 중 적어도 하나의 이동에 의하여 순차적으로 이동시키는 픽커이동부를 포함하며,
    상기 이송툴모듈(500)을 X축방향으로 선형이동시키는 제1선형이동부(623) 및 상기 이송툴모듈(500)을 Y축방향으로 선형이동시키는 제2선형이동부(622) 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 이송툴모듈.
  14. 청구항 13에 있어서,
    상기 이송툴모듈(500)은, 상기 픽커(20)에 의하여 픽업된 소자(1)의 이면에 대한 이미지를 획득하는 하나 이상의 이미지획득장치를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 소자핸들러.
  15. 청구항 14에 있어서,
    상기 이미지획득장치에 의하여 획득된 이미지들은, 제어부의 일부를 구성하는 메모리에 저장하고 상기 각 픽커(20)들이 소자(1)의 픽업을 마친후 상기 언로딩위치(P2) 또는 다른 이송툴모듈로의 소자전달을 위한 전달위치로 이동될 때 제어부는 이미지분석을 마치는 것을 특징으로 하는 소자핸들러.
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