KR100304254B1

KR100304254B1 - 모듈외관검사설비

Info

Publication number: KR100304254B1
Application number: KR1019980053556A
Authority: KR
Inventors: 고석
Original assignee: 윤종용; 삼성전자 주식회사
Priority date: 1998-12-08
Filing date: 1998-12-08
Publication date: 2002-03-21
Also published as: JP2000205848A; KR20000038533A; US6343503B1; TW480339B

Abstract

본 발명은 모듈이 수납된 모듈 트레이로부터 모듈을 언로딩한 후, 모듈의 휨을 검사하는 휨 검사 유닛의 상부에 모듈을 올려놓음으로써, 모듈의 휨 발생 여부를 확인하고, 모듈중 휨이 발생하지 않은 모듈을 선별하여 비주얼 검사 유닛으로 다시 이송한 후, 모듈의 전면, 후면을 모두 비주얼 검사하여 모듈 외관 검사의 신뢰도를 크게 향상시킨다.

Description

모듈 외관 검사 설비

본 발명은 모듈(module) 외관 검사 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 물리적 또는 제작 중에 발생할 수 있는 요인에 의하여 모듈에 발생한 휨, 깨짐 및 소자 실장 불량 등 모듈의 전체적인 외관 검사를 수행하여 불량이 발생한 모듈을 선별하는 모듈 외관 검사 설비에 관한 것이다.

일반적으로 모듈이란 개별적으로 알려진 특성을 갖는 기계, 전자 기기의 구성 단위로 탈착 가능한 부품 집합을 의미한다. 예를 들어, 전자 기기에서 말하는 모듈은 컴퓨터 등과 같은 하드웨어의 메인보드에 설치되는 메모리 보드 및 각종 인터페이스 보드와 같이 교환이 쉽도록 두 개 이상의 부품이 합쳐진 부품 집합을 의미한다.

이와 같은 모듈은 소정 회로 패턴이 형성된 인쇄회로기판, 인쇄회로기판에 적합하게 실장되는 각종 소자들로 형성되며, 소자들이 실장된 모듈은 전기적 검사 및 외관 검사가 수행되어 일정 검사 기준을 만족한 모듈만이 포장, 출하되어 수요자에게 판매된다.

모듈의 전기적 검사는 모듈이 정확하게 동작하는가를 판단하기 위한 검사로, 모듈이 전기적 검사의 일정 기준을 만족하였다 하더라도 모듈의 외관 불량, 예를 들어 모듈에 휨이 발생하였거나 다른 물체와 충돌 등의 원인에 의하여 모듈의 일부분에 깨짐 또는 일부 부품이 인쇄회로기판에 미실장되는 등의 경우 모듈이 정상적으로 작동되더라도 불량으로 처리되어 포장 출하되지 않토록 해야 함으로, 이를 위하여 모듈의 전기적 검사와 더불어 모듈의 전체 외관 검사를 반드시 수행하여야 한다.

그러나, 모듈을 출하하기 위하여 포장하기 전에 수행되는 모듈 외관 검사는 작업자에 의하여 수행됨으로써 다음의 다양한 문제점이 발생하고 있다.

첫 번째로, 작업자에 의한 모듈 외관 검사는 정밀도가 크게 떨어지는 문제점이 있다. 대표적인 경우로 모듈 휨에 대한 외관 검사의 경우, 다른 육안 검사 항목과 달리 휨의 정도에 따라서 작업자가 모듈의 휨을 인식하지 못하는 경우이다.

두 번째로, 작업자에 의하여 보다 정밀하게 외관 검사를 수행하기 위해서는 보다 많은 외관 검사 시간을 필요로 하여 모듈의 초기 생산으로부터 모듈의 최종 출하에 걸리는 전체 시간이 증대되는 문제점이 있다.

세 번째로, 작업자가 장시간 외관 검사를 수행할 경우, 작업자의 신체 피로도가 크게 증대되고 이로 인하여 작업자의 검사 능력이 크게 떨어져 정밀한 외관 검사가 어렵고, 검사 신뢰도의 저하가 발생하는 문제점이 있다.

따라서, 본 발명은 이와 같은 종래 문제점을 감안한 것으로써, 본 발명의 목적은 싱글-인라인-메모리 모듈(Single-inline-memory-modules:SIMMs)과 듀얼-인라인-메모리-모듈(Dual-inline-memory-modules:DIMMs)과 같은 반도체 장치 모듈의 외관을 정확하게 검사하는데 있다.

본 발명의 다른 목적은 모듈 외관 검사에 소요되는 시간을 크게 단축시켜 모듈의 전체 생산 시간을 단축시킴에 있다.

본 발명의 또다른 목적은 반복적으로 모듈의 외관 검사를 수행함으로써 증가되는 작업자의 신체 피로도를 낮춤에 있다.

본 발명의 다른 목적들은 후술될 본 발명의 상세한 설명에서 보다 명확해질 것이다.

도 1은 본 발명에 의한 모듈 외관 검사 설비의 구성을 전체적으로 도시한 개념도.

도 2는 도 1을 구체적으로 도시한 사시도.

도 3은 본 발명에 의한 모듈 언로딩부에 설치된 XY 이송장치, 모듈 픽업 유닛, 컨베이어 벨트를 도시한 사시도.

도 4는 본 발명에 의한 모듈 픽업 유닛의 분해 사시도.

도 5는 본 발명에 의한 모듈 픽업 유닛의 작동을 설명하기 위한 설명도.

도 6은 본 발명에 의한 휨 검사 유닛과 모듈 반전 장치를 도시한 사시도.

도 7은 도 6의 A-A 단면도.

도 8a 내지 도 8f는 본 발명에 의한 비주얼 검사 방법을 설명하기 위한 작동 설명도.

도 9는 본 발명의 다른 실시예에 따른 모듈 외관 검사 설비의 개념도.

도 10은 도 9를 구체적으로 도시한 사시도.

도 11은 본 발명에 의한 제 1, 제 2 적재 유닛의 일실시예를 도시한 사시도.

도 12a 내지 12d는 본 발명에 의한 트레이 이송 유닛의 작용을 설명하기 위한 작동 설명도.

이와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위한 모듈 외관 검사 설비는 모듈의 외관을 검사하기 위하여 모듈이 수납된 모듈 트레이로부터 모듈을 언로딩하고, 언로딩된 모듈은 복수개의 감지 센서가 배열된 휨 검사 유닛으로 이송되어 휨 검사를 받고, 휨 검사가 끝난 모듈은 다시 비주얼 검사 유닛으로 이송되어 모듈의 전면 및 후면 모두의 비주얼 검사가 수행된 후, 일정 외관 검사 조건을 만족하는 모듈만이 다시 모듈 트레이에 수납한다.

본 발명의 목적을 달성하기 위하여 바람직하게 트레이에 수납된 모듈은 모듈의 크기가 바뀌더라도 모듈을 그립하여 모듈 트레이로부터 뽑을 수 있는 모듈 픽업 유닛에 의하여 언로딩된 후, 휨 검사 유닛으로 이송되어 휨 검사가 수행된다.

바람직하게, 휨 검사 유닛에는 적어도 모듈의 2 개 이상의 부분, 바람직하게 3 개 이상의 부분과 접촉하는 접촉 감지 센서가 설치되어 모듈의 휨을 인식하는데, 이를 위하여 접촉 감지 센서와 접촉 감지 센서의 간격은 검사 대상 모듈의 크기에 따라서 변경된다.

바람직하게, 휨 검사를 통과한 모듈은 비주얼 검사 유닛에 의하여 모듈 전면이 비주얼 검사되고, 모듈 전면의 비주얼 검사가 종료되면 모듈은 반전되어 모듈 후면이 비주얼 검사된 후, 검사를 통과한 모듈만이 트레이에 로딩된다.

이하, 본 발명에 의한 모듈 외관 검사장치의 일실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.

<제 1 실시예>

본 발명의 일측면에 따르면, 모듈 외관 검사설비(500)는 싱글-인라인-메모리-모듈(Single-inline-memory-modules:SIMMs)과 듀얼-인라인-메모리-모듈(Dual-inline-memory-modules:SIMMs)과 같은 반도체 장치 모듈들의 외관을 자동으로 검사한다.

첨부된 도1을 참조하면, 모듈 외관 검사 설비(500)는 전체적으로 보아 트레이로부터 모듈(미도시)을 언로딩하는 모듈 언로딩부(100), 제 1 검사부(200), 제 2 검사부(300) 및 검사가 종료된 모듈을 다시 트레이에 수납하는 모듈 로딩부(400)로 구성된다.

구체적으로, 모듈 언로딩부(100)에는 제 1 모듈 이송 유닛(50)이 설치되고, 모듈 언로딩부(100)에 인접한 제 1 검사부(200)에는 모듈 이송 유닛(50)으로부터 공급된 모듈의 휨 여부를 검사하는 휨 검사 유닛(250)이 설치된다, 배출 컨베이어벨트(또는 제 1배출 유닛:260)는 검사후 휜 것으로 판정된 모듈을 배출한다.

제 1 검사부(200)에 인접 형성된 제 2 검사부(300)에는 적어도 1 개 이상의 모듈 비주얼 검사 유닛(310), 모듈을 휨 검사 유닛(250)으로부터 모듈 비주얼 검사 유닛(310)으로 이송시키는 제 2 모듈 이송 유닛(350)이 설치된다.

또한, 제 2 검사부(300)에 인접 형성된 모듈 로딩부(400)의 버퍼 스테이지(410)는 제 1, 제 2 검사부(200, 300)의 검사를 통과한 모듈이 수납되고,제 2 배출 유닛(420)은 제 2 검사부 (300)에서 불량으로 판정된 모듈이 수납된다.제 3 모듈 이송 유닛(450)은 버퍼 스테이지(410)로부터 모듈을 로딩한다.

이들 구성요소는 제어유닛(미도시)에 의하여 전반적으로 제어된다.

앞서 설명한 모듈 언로딩부(100), 제 1 검사부(200), 제 2 검사부(300), 모듈 로딩부(400)에 설치된 각각의 구성 요소를 도 1 내지 도 7을 참조하여 보다 상세하게 설명하면 다음과 같다.

먼저, 도 2에 도시된 바와 같이 모듈 언로딩부(100)에는 모듈 트레이(10)를 소정 거리 이송시키는 컨베이어 벨트(20)가 설치되고, 컨베이어 벨트(20)를 통하여 이송된 모듈 트레이(10)에 수납된 복수개의 모듈중 어느 하나의 모듈(1)을 뽑아 제 1 검사부(200)로 이송하는 제 1 모듈 이송 유닛(50)이 설치된다.

일실시예로, 제 1 모듈 이송 유닛(50)은 첨부된 도 3에 도시된 공간 좌표계를 기준으로 XY 평면상에서 자유롭게 이동하는 XY 이송장치(30), XY 이송장치(30)에 의하여 모듈 트레이(10)의 상부로 이동된 후, 모듈 트레이(10)에 수납된 모듈(1)을 그립하여 후속 공정으로 이송하는 모듈 픽업 유닛(40)으로 구성된다.

XY 이송장치(30)를 첨부된 도 3 내지 도 5를 참조하여 보다 상세하게 설명하면, XY 이송장치(30)는 지지플레이트(2)의 상면으로부터 Z 축 방향으로 소정 높이를 갖도록 설치된 한 쌍의 고정 플레이트(31), 고정 플레이트(31)의 상면으로부터 Y축 방향으로 소정 길이 연장되어 고정된 판 형상의 Y축 이송 플레이트(32), Y축이송 플레이트(32)의 위에 실장되어 Y축 이송 플레이트(32)를 따라서 움직이는 Y축 이송 블록(32a)과, Y축 이송 블록(32a)의 상면에 실장되어 직사각형 판 형상의 X축 이송 플레이트(33)를 따라 움직이는 X축 이송 블록(33a)을 포함한다.

이들중 X축 이송 플레이트(33)의 밑면에는 리프트 유닛(34)이 설치되고, 리프트 유닛(34)에는 모듈 픽업 유닛(40)이 설치된다.

리프트 유닛(34)은 다시 X축 이송 플레이트(33)의 밑면에 고정 설치되는 Z축 구동 실린더(34a), Z축 구동 실린더(34a)로부터 하부 방향, 즉 Z축 방향으로 연장된 실린더 로드(34b)에 고정되어 모듈 픽업 유닛(40)을 고정하기 위한 픽업 유닛 고정 블록(34c)으로 구성된다.

Y 축과 평행하도록 픽업 유닛 고정 블록(34c)에 체결된 모듈 픽업 유닛(40)은 도 3 또는 도 4에 도시되어 있는 바와 같이 전체적으로 보아 고정 프레임(41), 회동 프레임(42) 및 모듈 그립퍼(49)로 구성된다.

고정 프레임(41)은 플레이트의 양단부가 서로 대칭 되도록 일정 길이만큼 하부 방향, 즉 Z축 방향으로 절곡하여 형성한다. 이와 같이 고정 프레임(41)이 앞서 설명한 픽업 유닛 고정 블록(34c)에 나사 등에 의하여 고정되는데 이때, 고정 프레임(41)중 하부 방향으로 절곡된 양단부에는 소정 직경을 갖는 관통공(41a)이 형성된다.

한편, 회동 프레임(42)은 고정 프레임(41)에 대해 회동 가능하게 결합된다. 구체적으로, 회동 프레임(42)은 전체적으로 보아 플레이트의 양단부를 고정 프레임(41)에 대칭 되도록 양단부를 상부 방향, 즉 Z축 방향으로 일정 길이 절곡하여 형성하며, 양단부에는 소정 직경을 갖는 결합공(42a)을 형성한다.

이때, 회동 프레임(42)의 양단부 내측면은 고정 프레임(41)의 양단부 외측면에 접촉되도록 고정 프레임(41)에 끼워진다. 이와 같이 회동 프레임(42)이 고정 프레임(41)에 끼워진 후, 고정 프레임(41)의 관통공(41a)과 회동 프레임(42)의 결합공(42a)이 얼라인먼트된 상태에서 고정 프레임(41)의 내측면에는 회동프레임 회동용 서보 모터(43)의 몸체(43a)가 용접 등의 방법에 의하여 결합된다.

이때, 회동프레임 회동용 서보 모터(43)의 회전축(43b)은 관통공(41a)과 결합공(42a)을 관통한 후, 회전축(43b)과 회동 프레임(42)은 용접 등의 방법에 의하여 결합된다.

이와 같은 구성에 의하여 회동프레임 회동용 서보 모터(43)에 구동 신호가 인가되어 회전축(43b)이 회동됨에 따라서 회동 프레임(42)은 고정 프레임(41)에 대하여 소정 각도만큼 회동된다.

또한, 고정 프레임(41)을 기준으로 회동하는 회동 프레임(42)에는 모듈 그립퍼(49)가 설치된다. 모듈 그립퍼(40)는 한 쌍의 풀리(45a, 45b)와, 텐션 벨트(46),가이드 레일(47), 한 쌍의 가이드 블록(48), 및 한 쌍의 그립부(48a, 48b)를 포함한다.

모듈 그립퍼(49)이 설치되기 위하여 회동 프레임(41)의 밑면에는 고정축(42b)이 설치되며, 고정축(42b)과 소정 간격 이격된 곳에는 관통공이 형성되어, 이 관통공에 서보 모터(44)의 회전축(44b)이 삽입되고, 서보 모터(44)의 몸체(44a)는 회동 프레임(42)과 용접 등의 방법으로 고정된다.

이때, 고정축(42b)과 회전축(44b)에는 공통적으로 풀리(pulley;45)가 설치되는데, 서보 모터(44)의 회전축(44b)에 설치된 풀리를 구동 풀리, 고정축(42b)에 설치된 풀리를 피동 풀리(45b)라 정의하기로 하며, 구동 풀리(45a)와 피동 풀리(45b)에는 텐션 벨트(46)가 소정 장력을 갖도록 설치된다.

이와 같이 설치된 구동 풀리(45a)와 피동 풀리(45b)는 텐션 벨트(46)에 의해 상호 연동된다. 또한, 구동 풀리(45a)와 피동 풀리(45b) 사이에는 소정 길이를 갖는 가이드 레일(47)이 회동 프레임(42)의 밑면이면서 텐션 벨트(46)의 사이의 위치에 설치되고, 가이드 레일(47)에는 가이드 레일(47)을 따라서 이동 가능하도록 가이드 블록(48)이 삽입된다.

이때, 가이드 블록(48)에는 도 4에 도시된 바와 같이 얇은 플레이트 형상을 갖는 한 쌍의 그립부(48a,48b)가 서로 마주보도록 결합된다.

이처럼 그립부(48a,48b)가 결합된 각각의 가이드 블록(48)에는 벨트 클립(48c)들이 형성되어 가이드 블록(48)과 텐션 벨트(46)는 슬립 없이 고정된다.

앞서 설명한 바와 같이 가이드 블록(48)에 그립퍼(48a,48b)를 설치하고, 가이드 블록(48)을 텐션 벨트(46)에 결합시킴으로써, 서보모터(44)의 회전 방향에 따라서 텐션벨트(46)의 가이드 블록(48)이 설치된 부분이 서로 반대 방향으로 이동하기 때문에 그립부(48a,48b)의 사이 간격은 커질 수도 작아질 수도 있다. 따라서, 모듈의 크기에 상관없이 모든 크기를 갖는 모듈을 그립할 수 있다.

도 3에 도시된 바와 같이 XY 이송장치(30)에 의하여 모듈 픽업 유닛(40)이 모듈 트레이(10)의 상부로 이동되면, 모듈 트레이(10)에 수직으로 세워져 수납된모듈(1)의 길이보다 그립퍼(48a,48b)의 폭이 커지도록 서보 모터(44)가 구동된 후, Z축 구동 실린더(34a)가 작동하여 모듈 픽업 유닛(40)의 그립부(48a,48b)가 하방으로 이동되며, 그립부(48a,48b) 사이에 모듈(1)이 위치했을 때, 서보모터(44)가 역회전되어 그립부(48a,48b) 간격을 좁힘으로써 모듈(1)의 양단부는 그립된다.

이어서, Z축 구동 실린더(34a)가 다시 역방향으로 이동하면 모듈 트레이(10)에 수납된 모듈(1)은 모듈 픽업 유닛(40)에 의하여 모듈 트레이(10)로부터 뽑히고, 그립부(48a,48b)에 의하여 고정된 모듈(1)은 회동 프레임(42)을 구동시키는 회동프레임 회동용 서보 모터(43)의 회전에 의하여 소정 각도로 회동되기 시작한다.

회동 프레임(42)이 계속 회동하다 고정 프레임(41)과 회동 프레임(42)이 소정 각도, 바람직하게 모듈(1)과 후술될 제 1 검사부(200)의 휨 검사 유닛이 평행하게 되면 회동프레임 회동용 서보 모터(43)의 회전이 정지되어 도 5에 도시된 바와 같이 수직(YZ 평면과 평행)이던 모듈(1)은 수평(XY 평면과 평행)으로 위치가 변환된다.

모듈(1)은 모듈 픽업유닛(40)의 그립부(48a,48b)에 그립된 상태로 XY 이송장치(30)의 구동에 의하여 모듈 언로딩부(100)로부터 제 1 검사부(200)에 설치된 휨 검사 유닛(250)으로 이송되고, Z축 구동 실린더(34a)의 하방 이송에 의하여 상세하게 후술될 휨 검사 유닛의 상면에 안착된다.

일실시예로, 휨 검사 유닛(250)은 도 6 또는 도 7에 도시된 바와 같이 동일한 높이를 갖는 모듈 감지 돌기가 형성된 적어도 1 개 이상의 접촉감지센서(210),접촉감지센서(210)의 폭을 가변시키는 접촉감지센서 폭 조절장치(220), 접촉감지센서(210) 및 접촉감지센서 폭 조절장치(220)가 설치된 케이스(230)를 포함한다.

접촉감지센서(210)는 모듈 픽업 유닛(40)에 의하여 이송된 모듈(1)이 안착된 상태에서 모듈(1)의 양면 중 어느 일면에 복수 부분이 접촉됨으로써 모듈(1)의 휨 상태를 검사한다.

예를 들어, 휨 검사 유닛(250)에 접촉감지센서(210)들이 3 개가 설치되었을 때, 3 개의 접촉감지센서들(210a, 210b, 210c) 중 가운데 위치한 접촉감지센서(210b)가 모듈(1)을 감지하지 못하거나, 3 개의 접촉감지센서(210a, 210b, 210c)들 중 가운데 위치한 접촉감지센서(210b)를 제외한 나머지 접촉감지센서들(210a, 210c)이 모듈(1)을 감지하지 못하였을 때에는 모듈(1)에 휨이 발생한 대표적인 경우이다.

돌기(212)의 하부에는 스프링(미도시)이 위치하고, 이 스프링은 모듈이 휜 경우 공차를 허용하도록 돌기(212)를 약간 움직이도록 한다.

이처럼 휨이 발생한 모듈(1)은 모듈 픽업 유닛(40)에 의하여 다시 그립된 후, XY 이송장치(30)에 의하여 도 2에 도시된 바와 같은 배출 컨베이어 벨트(260)로 이송된 후, 배출 컨베이어 벨트(260)에 의하여 모듈 외관 검사 설비(500)의 외부로 배출된다.

한편, 검사 대상 모듈(1)의 크기가 변경될 경우, 예를 들어 모듈(1)의 크기가 이전에 검사한 모듈(1)의 크기보다 크거나 작은 모듈을 검사할 때, 접촉감지센서(210)들의 검사 범위를 조정하지 않은 상태에서 검사를 수행할 경우 휨 검사가 부정확하게 될 수 있음으로, 검사 대상 모듈의 크기가 변경될 경우에는 접촉감지센서(210)들의 간격 또한 모듈의 크기에 적합하도록 조절되어야 한다.

이처럼 접촉감지센서(210)들의 간격을 조절하기 위하여 도 6 또는 도 7에 도시된 바와 같이 접촉감지센서(210) 및 케이스(230)에는 접촉감지센서 폭 조절장치(220)가 설치된다.

접촉감지센서 폭 조절장치(220)를 보다 상세하게 설명하면 다음과 같다.

접촉감지센서 폭 조절장치(220)는 전체적으로 보아 케이스(230)의 상면에 형성된 슬릿(232;도7 참조)을 따라서 접촉감지센서(210)들이 가이드되도록 접촉감지센서(210)에 설치된 가이드 블록(222a, 222b), 스텝 모터(224), 풀리(226a,226b) 및 텐션 벨트(228)를 포함한다.

보다 상세하게, 속이 빈 직육면체 형상인 케이스(230)의 상면에는 슬릿(232)이 형성되고, 슬릿(232)에는 모듈 감지 돌기가 돌출 되도록 접촉감지센서(210)가 삽입된 상태로 슬릿(232)을 따라서 이동되는 가이드 블록(222a, 222b)이 설치된다.

이와 같이 슬릿(232)을 따라 움직이는 접촉 감지 센서(210)를 구동하기 위하여 케이스(230)의 상면에 형성된 슬릿(232)의 일측 단부로부터 소정 간격 이격된 곳에 관통공이 형성된다.

관통공에는 스텝 모터(224)의 회전축(224a)이 케이스(230) 밑면으로부터 케이스(230)의 상부 방향으로 삽입되고, 스텝 모터(224)의 몸체(224b)는 케이스(230)에 고정된다. 한편, 슬릿(232)의 타측 단부로부터 소정 거리 이격된 곳에는 고정축(227)이 설치된다.

회전축(224a)과 고정축(227)에는 각각 풀리가 설치되는데, 스텝 모터(224)의회전축(224a)에 설치된 풀리는 구동 풀리(226a)가 되고, 고정축(227)에 설치된 풀리는 피동 풀리(226b)가 된다.

구동 풀리(226a)와 피동 풀리(226b)에는 텐션 벨트(228)가 소정 장력이 걸리도록 설치되고, 평행하게 설치된 텐션 벨트(228) 각각에는 접촉감지센서(210)들 중 가운데 접촉감지센서(210b)를 제외한 양쪽 접촉감지센서(210a,210c)가 결합되는데, 두 개의 접촉감지센서(210a,210c)는 텐션 벨트(228)가 회전될 때 가운데 접촉감지센서를 기준으로 간격이 커지거나 작아지도록 텐션 벨트(228)의 평행한 두 부분에 각각 결합된다.

이와 같이 구성된 휨 검사 유닛(250)에 의하여 휨 검사가 종료된 모듈(1)은 도 6에 휨 검사 유닛(250)과 함께 도시된 제 2 모듈 이송장치(350)에 의하여 제 2 검사부(300)에 설치된 복수개의 비주얼 검사 유닛(310)중 어느 하나로 이송되어 모듈(1)의 깨짐, 소자 실장 불량 등이 비주얼 검사된다.

제 2 검사부(300)는 비주얼 검사 유닛(310)과 제 2 모듈 이송장치(350)로 포함한다.

본 발명에서는 바람직하게 2 개의 비주얼 검사 유닛(310)을 설치하였는데, 이는 휨 검사를 통과한 모듈(1)이 휨 검사 유닛(250)에 의하여 상대적으로 긴 검사 소요 시간으로 인해 대기되는 시간을 최소화함과 동시에 어느 하나의 비주얼 검사 유닛(310)이 고장을 일으키더라도 모듈 외관 검사 설비(500) 전체의 공정이 이로 인하여 중단되지 않토록 하기 위함이다.

일실시예로, 비주얼 검사 유닛(310)은 도 2 또는 도 6에 도시된 바와 같이고체촬상소자 카메라(Charge Coupled Device camera, 이하 CCD 카메라 칭한다;312), 고체촬상소자 카메라(312)를 지지하는 꺽쇠 형상으로 단부가 지지플레이트(2)의 상면에 고정된 카메라 고정 브라켓(314)을 포함한다.

한편, 휨 검사 유닛(250)으로부터 휨 검사에 통과한 모듈(1)을 비주얼 검사 유닛(310)으로 이송하기 위하여 휨 검사 유닛(250)으로부터 비주얼 검사 유닛(310)까지 이동 가능한 제 2 모듈 이송장치(350)가 설치된다.

도 2 또는 도 6의 도면을 참조하여 제 2 모듈 이송장치(350)중 어느 하나를 일실시예로 설명하면 다음과 같다.

제 2 모듈 이송장치(350)는 전체적으로 보아 휨 검사 유닛(250)으로부터 모듈(1)을 흡착 고정함과 동시에 모듈(1)의 앞면, 뒷면을 반전시키는 반전 유닛(330), 반전 유닛(330)을 앞서 설명한 CCD 카메라(312)로 이송하는 이송장치(320)를 포함한다.

이를 보다 상세하게 설명하면, 이송장치(320)는 도 6에 정의된 좌표계에 따라서 X축 방향으로 뻗은 X축 이송 플레이트(322), X축 이송 플레이트(322)를 따라서 이동되는 X축 이송블록(322a) 및 X축 이송블록(322a)의 상면에 고정되며 Y축으로 뻗은 Y축 이송 플레이트(324), Y축 이송 플레이트(324)를 따라서 이동하는 Y축 이송블록(미도시)으로 구성된다.

한편, 반전 유닛(310)은 Y축 이송블록의 상면에 설치되며 판 형상인 장착 플레이트(311), 장착 플레이트(311)의 상면에 설치되며 회전축(미도시)이 Z축을 향하도록 설치된 서보 모터(318)를 포함한다.

이에 더하여, 서보 모터(312)의 회전축에는 "L" 자형으로 꺽어진 브라켓(313)이 용접 등의 방법에 의하여 고정된다. 이 브라켓(313)의 상면에는 Y축 방향으로 뻗은 회전축(314a)이 설치된 서보 모터(314)가 설치된다.

이때, 회전축(314a)의 단부에는 척(chuck;315)이 설치되며, 척(315)에는 반전 플레이트(316)가 결합되어 반전 플레이트(316)는 회전축(314a)의 회전에 의하여 XZ 평면상에서 180°회전된다.

이와 같이 서보 모터(314)에 의하여 XZ 평면에서 회동하는 반전 플레이트(316)의 일측면에는 휨 검사 유닛(250)으로부터 모듈(1)을 픽업(Pick up)하기 위한 두 개의 모듈 고정 장치(317)가 설치된다.

일실시예로 모듈 고정 장치(317)는 전체적으로 보아 반전 플레이트(316)에 설치된 가이드 레일(317a), 가이드 레일(317a)을 따라서 Y 축 상에서 이동되는 모듈 흡착 몸체(317b) 및 모듈 흡착 몸체(317b)에 설치되어 모듈(1)이 흡착 고정되는 흡착 부재(317c)로 구성된다.

흡착 부재(317)는 모듈(1)을 물리적으로 클램핑하여 고정하거나, 모듈(1)의 일측면 또는 양측면을 진공압으로 흡착하여 고정하는데, 이를 위하여 흡착 부재(317c)는 최소한 모듈(1)이 삽입될 정도의 간격을 갖도록 두 겹으로 형성되는 것이 무방하다. 본 발명에서는 바람직하게 모듈(1)을 실린더에 의하여 물리적으로 클램핑하여 고정한다. 제 2 모듈 이송 장치(350)는 휨 검사 유닛(250)으로부터 모듈(1)을 그립한 후, 비주얼 검사를 위하여 모듈(1)을 CCD 카메라(312)로 이송한다. 카메라(312)에 의하여 촬상된 모듈(1)의 외관 이미지는 이상적인 모듈이 외관 이미지와 비교 분석된다. 두 이미지의 비교분석을 통하여, 모듈이 양불이 판단된다.

도 8은 본 발명에 의한 휨 검사 유닛에 의하여 휨 검사가 종료된 모듈을 비주얼 검사하는 것을 순서대로 도시한 설명도이다.

보다 상세하게, 도 8a를 참조하면, 휨 검사 유닛(250)에 의한 휨 검사가 수행되고 검사 결과 모듈(1)이 휨 검사의 일정 기준을 통과할 경우, 제 2 모듈 이송장치(350)들 중 대기중인 어느 하나의 제 2 모듈 이송장치가 이송장치에 의하여 휨 검사 유닛(250)에 안착된 모듈(1)로 이동되고, 모듈(1)은 제 2 모듈 이송장치(350)의 반전 유닛(310)에 형성된 흡착 부재(317c)에 의하여 고정된다.

이후, 도 8b에 도시된 바와 같이, 앞서 언급한 제 2 모듈 이송장치(350)의 장착 플레이트(311)의 상면에 설치된 서보 모터(318)가 작동됨으로써, 브라켓(313)은 CCD 카메라(312)를 향하여 소정 각도 회동되고, 이 상태에서 모듈(1)은 이송장치(320)에 의하여 CCD 카메라(312) 저면의 지정된 위치로 정확하게 이동된다.

모듈(1)이 CCD 카메라(312)로 정확하게 이동되면, CCD 카메라(312)를 통하여 모듈(1)의 1 차 비주얼 검사가 진행되는데, 이때 모듈(1)을 고정한 흡착 부재(317c) 자체에 의하여 가려져 모듈(1)중 검사를 할 수 없는 부분이 발생된다.

이와 같은 부분의 검사를 수행하기 위하여, 도 8c에 도시된 바와 같이 모듈(1)과 결합된 흡착 부재(317c)중 어느 하나의 결합이 해제되면서, 가이드 레일(317a)을 따라서 후퇴하게 되고, CCD 카메라(312)는 가려졌던 부분을 촬상하여 2차 비주얼 검사를 수행한다.

2차 비주얼 검사가 수행되면, 후퇴하였던 하나의 흡착 부재(317c)는 전진하여 2차 비주얼 검사가 종료된 부분을 고정하고, 도 8d에 도시된 바와 같이 다른 하나의 흡착 부재에 의해 비주얼 검사가 수행되지 않은 나머지 부분에 대해 2 차 비주얼 검사와 같은 방법으로 3 차 비주얼 검사를 수행한다.

3차 비주얼 검사가 종료되면, 도 8e에 도시된 바와 같이 2 개의 흡착 부재(317c)에 의하여 모듈(1)이 고정된 상태에서 도 8f에 도시된 바와 같이 서보 모터(319)가 구동되어 반전 플레이트(316)를 180°반전시키면서 모듈(1)의 타측면이 CCD 카메라(312)와 대향하도록 한 후, 도 8b의 검사 과정이 반복하여 수행된다.

이와 같이 모듈(1)의 전면, 후면에 1차 비주얼 검사, 2차 비주얼 검사, 3차 비주얼 검사가 수행된 후 일정 검사 기준을 통과한 모듈(1)은 첨부된 도 1 또는 도 2에 도시된 바와 같이 모듈 로딩부(100)에 위치한 버퍼 스테이지(410)로 이송되어 안착된 후, 모듈 언로딩부(100)에 설치된 제 1 모듈 이송 유닛(50)과 동일한 구성을 갖지만 외관 검사가 종료된 모듈(1)을 언로딩하여 수납하는 기능을 갖는 제 3 모듈 이송 유닛(450)에 의하여 빈 모듈 트레이(미도시)로 이송된 후 수납된다.

이때, 빈 모듈 트레이는 앞서 설명한 모듈 언로딩부(100)로부터 모듈(1)이 언로딩됨으로써, 발생한 빈 모듈 트레이를 사용하도록 한다.

한편, 모듈(1)의 전면, 후면에 1차 비주얼 검사 및 2차 비주얼 검사, 3차 비주얼 검사가 모두 수행된 후, 일정 검사 기준을 만족시키지 못한 모듈(1)은 제 2 모듈 이송장치(350)에 의하여 버퍼 스테이지(410)로 이송되고, 제 3 모듈 이송 유닛(450)은 버퍼 스테이지(450)에 안착된 모듈(1)을 픽업하여 모듈 로딩부(400)에 위치한 배출 컨베이어 벨트(420)로 이송하고, 배출 컨베이어 벨트(420)가 구동되면서 불량이 발생한 모듈(1)은 모듈 외관 검사 설비(500)의 외부로 배출된다.

지금까지 상세하게 설명한 모듈 외관 검사 설비의 일실시예는 제 1 검사부(200) 및 제 2 검사부(300)의 일측에 모듈 언로딩부(100)를 형성하고, 타측에 모듈 로딩부(400)를 형성하였다.

또한, 앞서 설명한 일실시예는 모듈 언로딩부(100) 및 모듈 로딩부(400)가 서로 분리되고, 이로 인하여 모듈을 로딩, 언로딩하기 위한 제 1 모듈 이송 장치(150) 및 제 2 모듈 이송 장치(350)를 필요로 하는 바, 본 발명에서 제공하는 다른 실시예에서는 모듈 외관 검사 설비의 레이아웃을 변경하여, 단일 모듈 이송 유닛에 의하여 모듈의 이송이 해결되도록 하여 모듈 외관 검사 설비의 크기도 크게 감소된다.

<제 2 실시예>

첨부된 도 9, 도 10을 참조하면, 모듈 외관 검사 설비(950)는 트레이 이송부(600), 모듈 공급부(700), 제 1 검사부(800), 및 제 2 검사부(900)를 포함한다. 모듈 공급부(700)는 모듈을 트레이 이송부(600)로부터 제 1 검사부(800)로 또는 제 2 검사부(900)로부터 트레이 이송부(600)로 공급하는 제 1 모듈 이송 유닛(730)을 포함한다. 제 1 검사부(800)는 휨 검사 유닛(850)과 배출 유닛(810)을 포함한다. 제 2 검사부(900)는 적어도 하나의 비주얼 검사 유닛(910)과 제 2 모듈 이송 유닛(940)을 포함한다.

이와 같은 구성을 포함한 모듈 외관 검사 설비(950)중 제 1 모듈 이송 유닛(730), 휨 검사 유닛(850) 및 비주얼 검사 유닛(910), 제 2 모듈 이송유닛(940)은 <제 1 실시예>에 도시된 휨 검사 유닛(250) 및 비주얼 검사 유닛(310), 제 2 모듈 이송 유닛(350)과 동일한 구성임으로 그 중복된 설명을 생략하기로 한다.

트레이 이송부(600)는 지지플레이트(951)의 상면에 설치된 벨트 컨베이어(610), 검사될 모듈용 모듈 트레이(640)가 다수 수납된 공급 유닛(620), 검사된 모듈 트레이(640)가 다수 수납된 적재 유닛(630)으로 구성된다. 공급 유닛(620)은 벨트 컨베이어(610)의 일측 단에 위치하고, 적재 유닛(630)은 타측 단에 위치한다.

공급 유닛(620)은 복수매가 적층 수납된 상태인 모듈 트레이(640)중 한 장을 분리하는 역할을 하고, 적재 유닛(630)은 공급 유닛(620)으로부터 분리된 모듈 트레이(640)에 수납된 모듈(601)을 모두 검사한 후, 모듈 트레이(640)를 다시 적층 수납하여 작업자가 모듈 트레이(640)를 후속 공정으로 이송할 수 있도록 소정 개수를 적층 수납하는 역할을 한다.

공급 유닛(620)을 첨부된 도 10 또는 도 11을 참조하여 설명하면, 공급 유닛(620)은 지지플레이트(951)의 상면에 설치되어 복수매의 모듈 트레이(640)가 지정된 위치에 적재되도록 설치된 트레이 로딩 폴(622), 트레이 분리 실린더(627) 및 트레이 업-다운 유닛(628)으로 구성된다.

트레이 업-다운 유닛(628)은 지지플레이트(951) 상의 트레이 로딩 폴(622) 사이에 설치되며, 트레이 로딩 폴(622)이 뻗은 방향과 동일한 방향으로 뻗은 실린더 로드(628a)를 구동시키는 업-다운 유닛 실린더(628b), 실린더 로드(628b)의 단부에 트레이 로딩 폴(622)과 평행하도록 설치되어 실린더 로드(628b)의 상, 하 변위에 대응하여 상, 하 변위가 발생하는 업-다운 플레이트(628c)를 포함한다. 모듈트레이 분리 실린더(627)는 업-다운 플레이트(628a)에 연결된다.

모듈 트레이 분리 실린더(627)는 실린더 몸체(627a)와 트레이 지지 로드 (627b)를 포함한다.

실린더 몸체(627a)는 업-다운 플레이트(628c)에 연결되는데, 이때 트레이 지지 로드(627b)는 트레이(640)를 지지하도록 수평으로 배치되어 업-다운 플레이트(628c)와 상호 수직을 이루도록 설치된다.

적재 유닛(630)의 구성은 공급 유닛(620)과 동일한 구성임으로 중복된 설명을 생략하기로 한다.

이와 같이 구성 및 설치된 공급 유닛(620) 및 적재 유닛(630)에 의하여 모듈 트레이를 이송하는 작용을 첨부된 도 12를 참조하여 설명하면 다음과 같다.

첨부된 도 12a에 도시된 바와 같이 공급 유닛(620)의 트레이 로딩 폴(622)에는 검사 대상 모듈(601)이 수납된 모듈 트레이(640)가 복수매 적층되는데, 이때 가장 밑에 위치한 모듈 트레이(640)는 모듈 트레이 분리 실린더(627)의 트레이 지지 로드(627b) 및 업-다운 플레이트(628c)에 의하여 지지된다.

이와 같은 상태에서 업-다운 유닛 실린더(628b)의 실린더 로드(628a)가 하방으로 작동되면서 적층된 모듈 트레이(640)는 트레이 지지 로드(627b)에 의하여 점차 하방으로 이동된다.

도 12b에 도시된 바와 같이 가장 밑에 위치했던 모듈 트레이(640)는 벨트 컨베이어(610)의 상면에 안착되고, 트레이 지지 로드(627b)는 모듈 트레이(640)로부터 결합이 분리된다.

이후, 업-다운 유닛 실린더(628b)의 실린더 로드(628a)는 하나의 모듈 트레이(640)에 해당하는 높이 만큼 이동된 후, 멈추고 도 12c에 도시된 바와 같이 트레이 지지 로드(627b)가 작동하여 적층된 모듈 트레이(640)중 밑에서 두 번째에 해당하는 모듈 트레이(640)는 다시 트레이 지지 로드(627b)의 구동에 의하여 결합된다.

이어서, 도 12d에 도시된 바와 같이 업-다운 유닛 실린더(628b)가 작동되어 실린더 로드(628a)는 상방으로 이동되고 가장 밑에 적층된 모듈 트레이(640)를 제외한 나머지 모듈 트레이(640)는 상방으로 이동되고, 벨트 컨베이어(610)가 소정 방향으로 진행되면서 벨트 컨베이어(610)의 상부에 놓여진 모듈 트레이(640)는 배출 유닛(630) 방향으로 이송된다.

이와 같이 구성된 <제 2 실시예>에 적용된 모듈 외관 검사 설비의 작용을 첨부된 도 9를 참조하여 설명하면 다음과 같다.

먼저, 지지플레이트(951)에 설치된 공급 유닛(620)의 트레이 로딩 폴(622)에 복수매의 모듈 트레이(640)가 적층 수납된 후, 공급 유닛(620)에 의하여 한 장의 모듈 트레이(640)가 적층된 복수개의 모듈 트레이(640)로부터 분리된다.

이어서, 벨트 컨베이어(610)의 구동에 의하여 모듈 트레이(640)는 소정 거리 이송된 후, 바람직하게 공급 유닛(620)과 적재 유닛(630)의 사이에 위치한 후, 멈추고, 제 1 모듈 이송 유닛(730)에 의하여 모듈 트레이(640)에 수납된 복수매의 모듈(601)중 하나가 그립되어 뽑힌 후 휨 검사 유닛(850)으로 이송된다.

휨 검사 유닛(850)에서 모듈(601)의 휨 검사가 수행된 후, 휨 검사 기준을 만족시킨 모듈(601)은 제 2 모듈 이송 유닛(940)에 의하여 비주얼 검사 유닛(910)중 현재 아이들(idle) 상태인 비주얼 검사 유닛으로 이송된 후, 비주얼 검사가 진행되고 소정 휨 검사 기준을 만족시키지 못한 모듈(601)은 비주얼 검사 유닛(910)으로 이송되지 않고 배출 컨베이어 벨트(또는 배출 유닛:810)로 이송된 후, 외부로 배출된다.

계속해서 소정 휨 검사 기준을 만족시킨 모듈은 비주얼 검사가 진행되고 소정 비주얼 검사 기준을 만족시킨 모듈은 다시 역순으로 모듈 트레이(640)에 수납되고, 소정 비주얼 검사 기준을 만족시키지 못한 모듈은 앞서 언급한 배출 컨베이어 벨트(810)를 통하여 외부로 배출된다.

이와 같은 과정을 반복하여 모듈 트레이(640)에 수납된 복수매의 모듈에 대한 외관 검사가 모두 종료되면, 배출 유닛(630)은 현재 적재중인 모듈 트레이(640)를 모두 소정 높이 들어올리고, 검사가 종료된 모듈 트레이(640)는 컨베이어 벨트(610)에 의하여 적재 유닛(630)으로 이동된 후, 적재 유닛(630)에 적재중인 모듈 트레이(640)와 이송된 모듈 트레이(640)를 합치는 과정을 반복하여 모듈 외관 검사를 수행한다.

이상에서 상세하게 설명한 바와 같이, 모듈의 외관 검사를 자동화하여 모듈 검사에 소요되는 시간을 크게 단축시킴과 동시에 작업자의 신체 피로도를 크게 절감하고 무엇보다도 외관 검사의 정확도를 크게 향상시켜 모듈 외관 검사 신뢰도를크게 향상시키는 효과가 있다.

Claims

모듈의 복수 부분과 접촉되어 상기 모듈의 휨을 검사하는 모듈 휨 검사 유닛과;

상기 모듈의 양면을 비주얼 검사하는 모듈 비주얼 검사 유닛을 포함하는 모듈 외관 검사 설비.
제 1 항에 있어서, 제 1 모듈 트레이로부터 상기 모듈을 언로딩하여 상기 모듈 휨 검사 유닛으로 이송하는 제 1 모듈 이송장치;

상기 모듈을 상기 모듈 휨 검사 유닛으로부터 상기 모듈 비주얼 검사 유닛으로 이송하는 제 2 모듈 이송장치; 및

상기 모듈을 제 2 모듈 트레이로 이송하여 수납하는 제 3 모듈 이송장치를 더 포함하는 모듈 외관 검사 설비.
제 2 항에 있어서, 상기 제 1 모듈 이송장치 및 제 3 모듈 이송장치의 각각은,

상기 모듈을 그립하는 모듈 픽업 유닛과;

상기 모듈이 그립되도록 상기 모듈 픽업 유닛을 X-Y 방향으로 이송시키는 모듈 픽업 유닛 이송장치를 포함하는 모듈 외관 검사 설비.
제 3 항에 있어서, 상기 모듈 픽업 유닛 이송장치는

제 1 축방향으로 뻗은 제 1 이송 플레이트와;

상기 제 1 이송 플레이트에 결합되어 상기 제 1 이송 플레이트를 따라 구동되는 제 1 이송 블록과;

상기 제 1 이송 블록에 결합되며 상기 제 1 축방향에 대하여 직각 방향으로 구동되는 제 2 이송 블록과;

상기 제 2 이송 블록에 결합되는 제 2 이송 플레이트를 포함하는 모듈 외관 검사 설비.
제 3 항에 있어서, 상기 모듈 픽업 유닛은

상기 픽업 유닛 이송장치에 연결되어 상기 모듈 픽업 유닛을 상하로 움직이는 모듈 로딩/언로딩 실린더와;

상기 픽업 유닛 고정 블록에 설치된 고정 프레임과;

상기 로딩/언로딩 실린더에 상기 고정 프레임을 연결하는 고정 블록과;

상기 고정 프레임에 결합되고 상기 고정 프레임에 대하여 회동할 수 있도록 모터에 의하여 구동되는 회동 프레임과;

상기 회동 프레임에 연결되어 상기 모듈을 그립하는 모듈 그립퍼를 포함하는모듈 외관 검사 설비.
제 5 항에 있어서, 상기 고정 프레임은 양단부가 서로 대칭되도록 절곡되어상기 양단부에 관통공이 각각 형성되고,

상기 회동 프레임은 양단부가 서로 대칭되도록 절곡되어 상기 양단부에 결합공이 각각 형성되며,

상기 각각의 결합공과 관통공의 중심을 일치시킨 상태에서 회동프레임 회동용 모터의 회전축이 삽입되어 상기 회전축은 상기 회동 프레임에 고정되고,

상기 모터 본체는 상기 고정 프레임에 고정되는 모듈 외관 검사 설비.
제 5 항에 있어서, 상기 모듈 그립퍼는,

가이드 레일;

상기 회동 프레임에 고정된 간격 조절용 모터와;

상기 가이드 레일의 일측단에 가깝게 설치되고, 상기 간격 조절용 모터에 의하여 구동되는 구동풀리와;

상기 가이드 레일의 타단에 가깝게 설치되고 상기 구동 풀리와의 둘레에 감겨진 텐션벨트를 통하여 상기 구동 풀리에 의하여 구동되는 피동풀리;

상기 가이드레일을 따라서 움직이고, 상기 텐션벨트와 결합되는 한 쌍의 가이드 블록과;

상기 가이드 블록에 각각 결합된 한 쌍의 그립부를 포함하며, 상기 그립부는 상기 구동 풀리의 회동방향에 따라서 서로에게 근접하게 또는 서로로부터 이격되어 움직여서 상기 모듈을 배출하는 모듈 외관 검사 설비.
제 7 항에 있어서, 상기 한 쌍의 그립부는 상기 모듈의 양단부를 그립하는 모듈 외관 검사 설비.
제 1 항에 있어서, 상기 모듈 휨 검사 유닛은 상호 소정 간격을 가지는 복수개의 접촉감지센서들을 포함하며, 상기 모듈은 휨 검사용 상기 센서들 위에 놓여지는 모듈 외관 검사 설비.
제 9 항에 있어서, 상기 모듈 휨 검사 유닛은 상기 접촉감지센서들의 간격을 가변시키는 접촉감지센서 간격 변경 수단을 더 포함하는 모듈 외관 검사 설비.
제 10 항에 있어서, 상기 접촉감지센서 간격 변경 수단은,

상기 센서들의 이동방향을 따라 슬롯을 갖는 몸체와;

가이드 풀리;

상기 가이드 레일의 일측 단 가까이에 설치되어 콘트롤 모터에 의하여 회동되는 구동 풀리와;

상기 가이드 레일의 다른 끝단 가까이에 설치되어 상기 구동 풀리와의 사이에 감겨진 벨트를 통하여 상기 구동 풀리에 의하여 구동되는 피동 풀리와;

상기 슬롯을 따라 움직이며 상기 벨트에 결합된 다수의 가이드 불록을 포함하며, 상기 센서들의 상기 가이드 블록에 각각 결합되고, 상기 센서들은 상기 구동풀리의 회동방향에 따라서 서로에게 가까이 또는 서로로부터 멀리 떨어져서 움직여서, 센서들의 위치들이 상기 모듈의 여러 사이즈로 조절될 수 있는 모듈 외관 검사 설비.
제 10 항에 있어서, 상기 접촉감지센서는 3 개이며, 가운데 위치한 접촉감지센서를 제외한 나머지 2 개의 접촉감지센서를 지지하는 가이드 블록이 상기 텐션벨트에 각각 결합되는 모듈 외관 검사 설비.
제 1 항에 있어서, 상기 비주얼 검사 유닛은,

비주얼 검사를 진행하기 위한 고체촬상소자 카메라와;

상기 고체촬상소자 카메라를 지지하는 카메라 프레임을 포함하는 모듈 외관 검사 설비.
제 2 항에 있어서, 상기 제 2 모듈 이송 유닛은

상기 모듈을 반전시키기 위한 모듈 반전 유닛과; 및

상기 모듈 반전 유닛을 X-Y 방향으로 움직이기 위한 이송 유닛을 포함하는 모듈 외관 검사 설비.
제 14 항에 있어서, 상기 이송 유닛은

제 1 축방향으로 뻗은 제 1 이송 플레이트와;

상기 제 1 이송 플레이트에 결합되어 상기 제 1 이송플레이트를 따라 구동되는 제 1 이송 블록과;

상기 제 1 이송블록에 결합되며 상기 제 1 축방향에 대하여 직각 방향으로 구동되는 제 2 이송 블록과;

상기 제 2 이송 블록에 결합되는 제 2 이송 플레이트를 포함하는 모듈 외관 검사 설비.
제 14 항에 있어서, 상기 모듈 반전 유닛은

상기 모듈 반전 유닛의 수직 사프트를 구동하여, 상기 모듈 반전 유닛을 상하로 움직이는 제 1 모터와;

상기 수직 샤프트에 연결된 브라켓과;

상기 브라켓에 연결되어, 상기 모듈 반전 유닛의 수평 샤프트를 회동하는 제 2모터; 및

상기 수평 샤프트에 결합되어. 상기 수평 샤프트와 연동하여 회동하는 모듈 그립 부재를 포함하는 모듈 외관 검사 설비.
제 16 항에 있어서, 상기 모듈 그립 부재는 진공 흡입력으로 상기 모듈을 잡는 것을 특징으로 하는 모듈 외관 검사 설비.
제 1 항에 있어서, 상기 모듈이 휜 것으로 판정될 때, 상기 휜 모듈을 배출하는 제 1 배출 유닛을 추가로 포함하는 모듈 외관 검사 설비.
제 1 항에 있어서, 상기 모듈이 상기 비쥬얼 검사 유닛에서 불량일 때, 상기 모듈을 배출하기 위한 제 2 배출 유닛을 추가로 포함하는 모듈 외관 검사 설비.
검사될 다수의 모듈을 수납한 다수의 모듈 트레이가 적제되는 공급 유닛과;

검사가 종료된 다수의 모듈을 수납한 다수의 모듈 트레이가 적재되는 적재 유닛과;

모듈 트레이가 상기 공급 유닛으로부터 배출되어 상기 적재 유닛으로 이송되는 트레이 이송 유닛과;

상기 모듈의 복수 부분과 접촉되어 상기 모듈의 휨을 검사하는 모듈 휨 검사 유닛과;

상기 모듈의 양면을 비주얼 검사하는 모듈 비주얼 검사 유닛과;

상기 트레이 이송 유닛 상에서 상기 모듈을 상기 모듈 트레이로부터 또는 상기 모듈 트레이로 로딩 및 언로딩하며, 상기 모듈을 상기 휨 검사 유닛으로 이송하는 제 1 모듈 이송 유닛과;

상기 모듈을 상기 휨 검사 유닛으로부터 상기 비쥬얼 검사 유닛으로 또는 상기 비쥬얼 검사 유닛으로부터 상기 휨 검사 유닛으로 이송하는 제 2 모듈 이송 유닛을 포함하는 모듈 외관 검사 설비.
제 20 항에 있어서, 상기 공급 유닛과 상기 적재 유닛 각각은 모듈 트레이분리/적층 수단을 포함하는 모듈 외관 검사 설비.
제 21 항에 있어서, 상기 모듈 트레이 분리/적층 수단은

저부 모듈 트레이가 상기 공급 유닛의 위에 놓인 모듈 트레이로부터 고립되거나, 상기 적재 유닛의 적재된 모듈 트레이들 아래에 삽입될 모듈을 위한 공간이 제공되도록 모듈 트레이들을 들어 올리는 모듈 트레이 지지 장치를 갖는 것을 특징으로 하는 모듈 외관 검사 설비.
제 22 항에 있어서, 상기 모듈 트레이 지지 장치는,

제 1 실린더에 의하여 상하로 구동되어 움직이는 수직 샤프트와;

상기 수직 샤프트에 결합된 모듈 트레이 지지 로드와;

상기 모듈 트레이 지지 로드를 전후로 구동하여 상기 모듈 트레이 지지 로드를 상기 적재된 모듈 트레이 아래로 움직이거나 상기 모듈 트레이의 아래로부터 회수하는 제 2 실린더를 포함하는 모듈 외관 검사 설비.