KR100867386B1 - 반도체 소자 비전 검사 시스템 - Google Patents

반도체 소자 비전 검사 시스템 Download PDF

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KR100867386B1
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임쌍근
이상윤
손동규
장성민
안주훈
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Abstract

본 발명은 반도체 트레이가 수납되는 매거진 상의 트레이 정렬 작업을 용이하게 실시할 수 있도록 하는 반도체 소자의 비전 검사 시스템에 관한 것이다.
이를 위한 본 발명의 반도체 소자의 비전 검사 시스템은, 본체의 전방 양측에 각각 설치되며 반도체 소자가 수납된 다수의 트레이가 로딩된 매거진이 적재되어 상승 또는 하강 되는 한쌍의 로더와, 로더 후방에 구비되어 소팅 영역 및 비전 검사 영역으로 트레이를 이송하는 인덱서와, 반도체 소자를 촬영하는 비전 검사 장치와, 비전 검사될 반도체 소자를 픽업하여 이송하는 이송 픽커, 및 상기 비전 검사 완료된 반도체 소자를 분류하는 소팅 장치를 포함하는 반도체 소자의 비전 검사 시스템에 관한 것으로서, 상기 매거진은 좌우 양측에 이동을 위한 회전 바퀴가 구비되고 반도체 패키지가 로딩되는 몸체와, 상기 몸체의 일측에 슬라이딩 방식으로 좌우 방향 이동 가능하게 구비되어 상기 트레이 사이즈에 따라 트레이를 정렬시키는 트레이정렬수단을 포함하여 구성된다.
반도체, 트레이, 정렬, 매거진, 래치

Description

반도체 소자 비전 검사 시스템{SYSTEM FOR VISION INSPECTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE}
도 1은 본 발명에 따른 반도체 소자 비전 검사 시스템을 도시한 전방 사시도.
도 2는 본 발명에 따른 반도체 소자 비전 검사 시스템을 도시한 후방 사시도.
도 3은 본 발명에 따른 반도체 소자 비전 검사 시스템을 도시한 평면도.
도 4는 도 1의 매거진을 상세하게 나타낸 사시도.
도 5는 도 4의 평면도.
도 6은 도 1의 매거진의 다른 실시예를 나타낸 사시도.
도 7은 도 6의 평면도.
도 8은 도 1의 인덱서 전방 사시도.
도 9는 도 1의 인덱서 후방 사시도.
<도면 주요 부분에 대한 부호 설명>
1 : 로더
2 : 인덱서
21: 가이드, 21a : 일측 가이드, 21b : 타측 가이드
211 : 가이드부, 211a : 일측 가이드부, 211b : 타측 가이드부
212 : 홈부
22 : 매거진 이송수단
22a : 제 1 매거진 이송수단
22b : 제 2 매거진 이송수단
221 : 보조정렬수단
221a : 정렬바
221b : 정렬바 이동수단
3 : 비전검사장치
4 : 매거진
41 : 몸체
411 : 회전바퀴
42 : 트레이정렬수단
421 : 정렬대
422 : 래치
423 : 정렬대 가이드
424 : 텐션수단
425 : 잠금장치
43 : 정렬포인트
본 발명은 반도체 소자의 비전 검사 시스템에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 반도체 트레이가 수납되는 매거진 상의 트레이 정렬 작업을 용이하게 실시할 수 있도록 하는 반도체 소자의 비전 검사 시스템에 관한 것이다.
메모리 모듈, 포괄적으로 반도체 소자는 일련의 공정을 통하여 제조된 후에 출하 전에 정밀한 검사를 마치게 되는데, 이러한 정밀 검사는 반도체 소자의 패키지 내부 불량뿐만 아니라, 그 외관에 미소한 결함이 발생하더라도 성능에 치명적인 영향을 미치게 되므로, 전기적인 동작 검사뿐만 아니라, 비전 카메라를 이용한 외관 검사와 같은 여러 가지 검사를 수행하게 된다.
일반적으로, 반도체 소자의 외형적인 결함, 특히 BGA(Ball Grid Array) 및 리드의 결함은 반도체 소자를 PCB(Printed Circuit Board) 등에 조립하는 과정에서도 발생할 수 있으므로, 리드 또는 볼의 상태 검사는 매우 중요하다.
이러한 반도체 소자의 외관 검사 시스템의 일례로, 본 출원인에 의해 출원되어 등록된 대한민국 등록특허 제0663385호에 "반도체 소자의 비전 검사 시스템" 이라는 제목으로 개시된바 있다.
그런데, 대한민국 등록특허 제0663385호에 개시된 반도체 소자의 비전 검사 시스템은 비전 검사될 트레이가 적재되는 로딩 영역, 비점 검사 결과에 따라 불량품 및 양품으로 분류하는 소팅 영역 및 버퍼 영역으로 공트레이를 공급하기 위한 리사이클 영역이 본체의 전방 또는 후방을 차지함에 따라, 작업 공간을 많이 차지하게 되어, 설치 공간을 효율적으로 이용할 수 없게 되는 문제점이 있었다.
그리고, 비전 검사된 반도체 소자 중 양품 또는 불량품으로 분류되는 반도체 소자를 수납하기 위한 트레이로 공급되는 공트레이가 적재되는 공트레이 적재를 위한 영역이 별도로 확보되어야 함에 따라 장치의 소형화가 어려운 문제점이 있었다.
이러한 문제점을 해결하기 위한 기술이 본 출원인에 의해 기출원된 대한민국 특허출원 제2007-0031866호에 "반도체 소자 비전 검사 시스템"이라는 기술로 개시된 바 있다.
대한민국 특허출원 제2007-0031866호에 따르면, 비전 검사될 트레이와 비전 검사 결과 양품으로 분류되는 반도체 소자를 수납하기 위한 언로딩 트레이를 하나의 로더에 동시에 수납하고, 비전 검사 결과에 따라 양품 소자를 동일한 로더에 적재된 트레이에 분류하거나, 상호 반대 로더에 적재된 트레이에 분류함으로써 로더와 언로더를 별도로 구비하지 않음으로써 장비를 소형화 할 수 있다.
그런데, 이러한 기존의 비전 검사 시스템에서 일반적으로 이용되는 로더는 트레이가 수납된 매거진이 구비되는데, 매거진에 상에 트레이를 고정시키기 위하여 트레이 사이즈에 맞게 정렬대의 간격을 조절하고 볼트 타입의 체결 방식을 채택하여 정렬대를 고정한다.
이에 따라, 다양한 사이즈의 트레이를 로딩하는 경우 수작업으로 볼트를 체결해야 하는 번거로움이 있다.
즉, 트레이 사이즈가 변화할 경우 볼트 체결을 해제한 후 트레이 사이즈에 맞게 작업자가 수동으로 정렬대를 좌우로 이동시켜 간격 조절을 한 후 정렬대를 고정시키기 위하여 볼트를 재결합시켜야 하므로, 작업이 번거로우며 트레이 사이즈 변화에 따른 간격 조절 시간이 오래 걸리는 단점이 있다.
상기 종래 기술에 따른 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은, 슬라이딩 방식으로 좌우 방향 이동이 가능하게 구비되어 트레이의 좌우 정렬을 터치 방식으로 수행하는 트레이정렬수단을 이용하여 매거진 상에 로딩되는 트레이의 사이즈 변화에 따라 정렬을 용이하게 실시할 수 있도록 하는 반도체 소자의 비전 검사 시스템을 제공함에 있다.
또한, 본 발명은 트레이가 로딩된 매거진이 인덱서 상을 이동하면서 트레이를 이송하도록 구성하고, 인덱서에 트레이의 전후 방향 정렬을 수행하는 보조 정렬수단을 더 구비하여 트레이의 전후 방향 정렬을 실시할 수 있도록 하는 반도체 소자의 비전 검사 시스템을 제공함에 있다.
상기 기술적 과제를 해결하기 위한 본 발명의 반도체 소자의 비전 검사 시스템은, 본체의 전방 양측에 각각 설치되며 반도체 소자가 수납된 다수의 트레이가 로딩된 매거진이 적재되어 상승 또는 하강 되는 한쌍의 로더와, 로더 후방에 구비되어 소팅 영역 및 비전 검사 영역으로 트레이를 이송하는 인덱서와, 반도체 소자를 촬영하는 비전 검사 장치와, 비전 검사될 반도체 소자를 픽업하여 이송하는 이 송 픽커, 및 상기 비전 검사 완료된 반도체 소자를 분류하는 소팅 장치를 포함하는 반도체 소자의 비전 검사 시스템에 관한 것으로서, 상기 매거진은 좌우 양측에 이동을 위한 회전 바퀴가 구비되고 반도체 패키지가 로딩되는 몸체와, 상기 몸체의 일측에 슬라이딩 방식으로 좌우 방향 이동 가능하게 구비되어 상기 트레이 사이즈에 따라 트레이를 정렬시키는 트레이정렬수단을 포함하여 구성된다.
여기서, 트레이정렬수단은 상기 트레이의 일측면에 밀착되는 정렬대와, 상기 정렬대의 일방향 이동을 안내하며 타방향 이동을 제한하는 래치와, 상기 정렬대의 좌우 이동을 안내하는 정렬대 가이드를 포함하여 구성된다.
그리고, 상기 트레이정렬수단은 상기 정렬대를 이용한 트레이 사이즈 정렬 오차를 보정하기 위하여 내측면에 텐션수단을 더 구비할 수 있으며, 상기 정렬대는 상기 래치의 일방향 이동을 제한하기 위한 잠금장치를 더 구비할 수 있다.
또한, 상기 정렬대의 좌우 이동은 모터 구동에 의해 자동으로 제어될 수 있다.
또, 상기 매거진은 상기 인덱서 상에서 모터 구동에 의해 이동되도록 구성되어 트레이를 로딩한 상태로 소팅 영역 및 비전 검사 영역에 트레이를 이송하며, 상기 인덱서는 상기 매거진 양측 회전바퀴가 로딩되는 가이드부가 각각 형성되어 상기 회전바퀴의 이동을 안내하도록 일정 높이를 가지는 좌우측 한쌍의 가이드와, 상기 한쌍의 가이드 내측에 구비되며 상기 매거진의 후방에 결합되어 상기 매거진을 전후 방향으로 이동시키는 매거진 이동수단을 포함하여 구성된다.
또, 상기 매거진 이동수단은 상기 매거진의 양측에 각각 결합되어 상기 매거 진 이동 거리별로 교호로 구동되도록 제 1 매거진 이동수단과 제 2 매거진 이동수단으로 구성되어 듀얼모드로 구동된다.
또한, 상기 각각의 매거진 이동수단은 상기 매거진에 로딩된 트레이의 전후 방향 정렬을 위한 보조정렬수단을 더 구비할 수 있으며, 상기 보조 정렬 수단은 실린더 구동에 의해 회전되는 정렬바와, 상기 정렬바를 모터 구동에 의해 전후 방향으로 이동시키는 정렬바 이동수단을 포함하여 구성된다.
또, 상기 한쌍의 가이드는 상기 매거진 전후 이동의 직진성을 확보하기 위하여 일측 가이드의 가이드부에 일측 회전바퀴가 끼워지는 홈부가 형성될 수 있고, 상기 일측 가이드의 가이드부의 홈부는 V 형상을 가지며, 상기 매거진의 일측 회전바퀴는 상기 V 형상의 홈부 내부에 끼워지도록 바퀴 바닥면의 중심에서 외측으로 경사진 형상을 가진다.
본 발명은 첨부된 도면을 참조하여 후술하는 바람직한 실시예를 통하여 더욱 명백해질 것이다. 이하에서는 본 발명의 실시예를 통해 당업자가 용이하게 이해하고 재현할 수 있도록 상세히 설명하도록 한다.
도 1은 본 발명에 따른 반도체 소자 비전 검사 시스템을 도시한 전방 사시도이고, 도 2는 본 발명에 따른 반도체 소자 비전 검사 시스템을 도시한 후방 사시도이며, 도 3은 본 발명에 따른 반도체 소자 비전 검사 시스템을 도시한 평면도이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명은 본 발명은 한쌍의 로더(1)와, 인덱서(2)와, 비전검사장치(3)와 이송 픽커(미도시함) 및 소팅 장치(미도시함)를 포함하여 구성된다.
여기서, 한쌍의 로더(1)는 본체의 전방 양측에 각각 설치되며 반도체 소자가 수납된 다수의 트레이가 로딩된 매거진(4)이 적재되어 상승 또는 하강 될 수 있도록 구성된 것으로서, 로더(1) 상에서 매거진이 엘리베이터 구동에 의해 상승 또는 하강되는 기술은 당 분야에서는 자명한 것으로서 이에 대한 구체적인 설명은 생략하도록 한다.
또한, 인덱서(2)는 각각의 로더(1) 후방에 구비되어 소팅 영역 및 비전 검사 영역으로 트레이를 이송한다.
그리고, 비전검사장치(3)는 반도체 소자를 촬영하는 것이고, 이송 픽커(미도시함)는 비전 검사될 반도체 소자를 픽업하여 이송하는 것이고, 소팅 장치(미도시함)는 비전 검사 완료된 반도체 소자를 분류하는 것으로서, 이송 픽커(미도시함)와 소팅 장치(미도시함)는 비전검사장치(3) 상부의 프레임에 설치되는 것으로서 당업자에게는 자명한 것이므로 이에 대한 도면 상 표기를 생략하도록 한다.
도 4는 도 1의 매거진을 상세하게 나타낸 사시도이고, 도 5는 도 4의 평면도이다.
본 발명의 특징적인 양상에 따르면, 매거진(4)은 로딩되는 트레이의 사이즈에 따라 트레이의 양측 정렬을 위한 트레이정렬수단(42)을 구비한다.
더욱 상세하게 설명하면 매거진(4)은, 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이 좌우 양측에 이동을 위한 회전 바퀴(411; 411a, 411b)가 구비되고 반도체 패키지가 로딩되며 정렬포인트(43)가 마킹된 몸체(41)와, 몸체(41)의 일측에 슬라이딩 방식으로 좌우 방향 이동 가능하게 구비되어 로딩되는 트레이 사이즈에 따라 트레이를 정렬시키는 트레이정렬수단(42)을 포함하여 구성된다.
여기서, 트레이정렬수단(42)은 몸체(41) 상에 로딩되는 트레이의 일측면에 밀착되는 정렬대(421)와, 정렬대(421)의 일방향 이동을 안내하며 타방향 이동을 제한하는 래치(422)와, 정렬대(421)의 좌우 이동을 안내하는 정렬대 가이드(423)를 포함하여 구성될 수 있다.
그리고, 트레이정렬수단(42)은 정렬대(421)를 이용한 트레이 사이즈 정렬 오차를 보정하기 위하여 내측면에 텐션수단(424)을 더 구비할 수 있다.
도 6은 도 1의 매거진의 다른 실시예를 나타낸 사시도이고, 도 7은 도 6의 평면도로서, 도 4와 동일한 구성 요소에 대한 구체적인 설명은 생략하도록 한다.
매거진의 또 다른 실시예에 따르면, 트레이정렬수단(42)은 래치(422)의 일방향 이동을 제한하기 위하여 정렬대(421)에 잠금장치(425)를 더 구비함이 바람직하다.
즉, 래치(422)를 이용하여 정렬대(421)를 일방향 쪽으로 이동시켜 정렬 작업을 마친 상태에서 작업자에 의해 의도하지 않게 래치(422)가 더 이동될 수 있으므로, 정렬대의 이동을 제한하기 위한 잠금장치(425)를 구비함이 바람직한 것이다.
한편, 본 발명의 일실시예에서는 트레이 사이즈에 따른 정렬을 위하여 래치 타입으로 정렬대를 이동시키도록 구성하였으나, 정렬대의 좌우 이동이 모터 구동에 의해 자동으로 이루어지도록 할 수 있다.
이러한 모터 구동 방식에 따르면 정렬의 자동화 뿐만 아니라, 모터 구동에 의해 정렬대를 고정시킴에 따라 별도의 잠금장치를 필요로 하지 않는다.
그리고, 본 발명에서는 매거진(4)이 인덱서(2) 상에서 모터 구동에 의해 이동되도록 구성되어 트레이를 로딩한 상태로 소팅 영역(미도시함) 및 비전 검사 영역(미도시함)에 트레이를 이송하도록 구성된다.
즉, 종래에는 매거진(4)이 인덱서(2) 상에서 이동하는 방식이 아닌 트레이만을 이동시키는 방식이었으나, 본 발명은 매거진(4)을 이동시키도록 구성된다.
이러한 구성에 따르면, 매거진(4)의 몸체(41)에 표시된 정렬 포인트(43)에 따라 래치(422)를 이용하여 정렬대(421)를 일방향으로 이동시켜 정렬 작업을 수행한다. 이때, 정렬대의 이동을 제한하기 위하여 잠금장치(425)를 이용하여 정렬대(421)를 고정시킨다.
한편, 인덱서(2)는 도 8 및 도 9에 도시된 바와 같이 좌우측 한쌍의 가이드(21;21a,21b)와 매거진 이동수단(22; 22a,22b)을 포함하여 구성된다.
여기서, 가이드(21)는 매거진(4) 양측 회전바퀴(411; 411a,411b)가 로딩되는 가이드부(211)가 각각 형성되어 회전바퀴(411)의 이동을 안내하도록 일정 높이를 가지도록 구성된다.
그리고, 매거진 이동수단(22;22a,22b)은 한쌍의 가이드(21;21a,21b) 내측에 구비되며 매거진(4)의 후방에 결합되어 매거진(4)을 전후 방향으로 이동시킨다.
이때, 매거진 이동수단(22;22a,22b)은 매거진(4)의 양측에 각각 결합되어 매거진(4) 이동 거리별로 교호로 구동되도록 제 1 매거진 이동수단(22a)과 제 2 매거진 이동수단(22b)으로 구성되어 듀얼모드로 구동된다.
그리고, 각각의 매거진 이동수단(22a,22b)은 매거진(4)에 로딩된 트레이의 전후 방향 정렬을 위한 보조정렬수단(221)을 더 구비할 수 있다.
보조 정렬 수단(221)은 도 6에 도시된 바와 같이 실린더 구동에 의해 회전되는 정렬바(221a)와, 정렬바(221a)를 모터 구동에 의해 전후 방향으로 이동시키는 정렬바 이동수단(221b)을 포함하여 구성된다.
즉, 트레이의 전후 방향 정렬을 위하여 실린더를 구동시켜 바닥면과 평행한 정렬바(221a)를 회전시켜 바닥면과 수직한 상태가 되도록 한 후, 정렬바 이동수단(221b)을 구동시켜 정렬바(221a)를 후방으로 이동시킴으로써 트레이를 정렬시킨다.
이때, 모터 구동에 의해 정렬바 이동수단(221b)의 이동을 정밀하게 제어함으로써 정렬바(221a)가 무리하게 트레이를 푸싱(pushing)하지 않도록 할 수 있다.
한편, 일측 가이드(21)의 가이드부(211)에 홈부(212)가 형성되고, 매거진(4)의 일측 회전바퀴(411a)는 홈부(212)에 끼워진다.
이때, 가이드부(211)의 홈부(212)는 V 형상을 가지며, 매거진(4)의 일측 회전바퀴(411a)는 V 형상의 홈부(212) 내부에 끼워지도록 바퀴 바닥면의 중심에서 외측으로 경사지게 함으로써, 매거진의 전후 이동시 바퀴의 좌우 이동이 방지되어 매거진(4) 전후 이동의 직진성을 확보된다.
그리고, 매거진 타측 회전바퀴(411b)는 가이드부(211)와의 접촉 면적을 넓혀 안전 구동을 위하여 바퀴 바닥면이 평탄하게 형성된 것이 바람직하다.
이하, 이러한 본 발명의 반도체 소자의 비전 검사 시스템의 작용을 도 1 내지 도 9를 참조하여 설명하면 다음과 같다.
우선, 수납되는 트레이의 사이즈에 따라 래치(422)를 조작하여 정렬대(421)를 이동시켜 정렬을 시킨 후 잠금장치(425)를 이용하여 정렬대(421)를 고정시킨다.
즉, 종래에는 볼트 체결된 정렬대의 체결 상태를 해제하고 정렬 포인트에 맞춰 정렬대의 정렬 위치를 맞춘 다음 다시 볼트 체결하는 과정을 일일이 수작업으로 진행함에 따라, 간격 정렬 시간이 오래 소요되고 정렬 과정이 번거로웠다.
그러나, 본 발명은 래치를 이용하여 가볍게 터치하여 정렬대를 정렬 포인트에 맞춘 다음 잠금장치를 이용하여 고정하거나, 모터 구동을 통해 자동으로 정렬대를 이동시켜 정렬하므로 정렬 작업이 간편하며, 단시간에 수행할 수 있다.
또한, 본 발명은 정렬 오차를 보정해주는 텐션장치(424)가 구비됨에 따라 트레이의 사이즈가 정렬 포인트에 맞지 않을 경우에도 트레이 정렬이 수행되는 이점이 있다.
한편, 정렬대를 이용하여 트레이의 좌우 정렬을 수행 한 다음에는, 로더(1)에 로딩된 매거진(4)을 제 1 매거진 이동수단(22a) 구동시켜 소팅 영역으로 이동시키고, 제 2 매거진 이동수단(22b)을 구동시켜 비전 검사 영역으로 매거진을 이동시킨다.
이때, 매거진(4)의 이동에 따른 진동으로 인하여 트레이의 전후 방향 정렬 상태가 흐트러질 수 있는데, 이 경우 보조정렬수단(221)을 이용하여 전후 방향 정렬을 수행한다.
다시 말해, 실린더 구동을 통해 정렬바(221a)를 회전시켜 바닥과 수직 상태가 되도록 한 후 모터 구동되는 정렬바 이동수단(221b)을 이용하여 정렬바(221a)를 후방으로 이동시켜 트레이의 전후 방향 정렬을 수행한다.
이때, 모터 구동에 의한 정밀 제어를 통해 정렬바(221a)에 의해 트레이가 푸싱되어 트레이가 손상되거나 트레이에 수납된 반도체 소자의 수납 상태가 흐트러지는 것을 방지함이 바람직하다.
상술한 바와 같이 본 발명은 슬라이딩 방식으로 좌우 방향 이동이 가능하게 구비되어 트레이의 좌우 정렬을 하는 트레이정렬수단을 이용하되, 트레이정렬수단이 터치에 의해 좌우 이동하는 래치 타입의 정렬바를 이용함으로써 매거진 상에 로딩되는 트레이의 사이즈 변화에 따라 정렬을 용이하게 실시하여 정렬 작업의 번거로움 및 시간 소요를 줄임으로써 검사 속도를 향상시킬 수 있도록 하는 이점이 있다.
또한, 본 발명은 인덱서 상을 매거진 이동을 안내하는 한쌍의 가이드 중 일측 가이드의 가이드부 좌우 단면이 V홈 형상을 가지며, 매거진의 일측 회전바퀴가 V홈 형상의 가이드부 이동을 용이하게 V 형상의 홈부에 끼워지도록 바퀴 바닥면의 중심에서 외측으로 경사진 형상을 갖도록 함으로써, 일측 가이드부에 의해 매거진 정렬이 이루어지도록 하여 매거진 전후 이동의 직진성을 확보할 수 있도록 하는 이점이 있다.
또한, 본 발명은 트레이가 로딩된 매거진이 인덱서 상을 이동하면서 트레이를 이송하도록 구성하고, 인덱서에 트레이의 전후 방향 정렬을 수행하는 보조 정렬수단을 더 구비하여 트레이의 전후 방향 정렬을 실시하여 검사 신뢰도를 향상시킬 수 있는 이점이 있다.
본 발명은 첨부된 도면을 참조하여 바람직한 실시예를 중심으로 기술되었지만 당업자라면 이러한 기재로부터 본 발명의 범주를 벗어남이 없이 많은 다양하고 자명한 변형이 가능하다는 것은 명백하다. 따라서 본 발명의 범주는 이러한 많은 변형예들을 포함하도록 기술된 특허청구범위에 의해서 해석되어져야 한다.

Claims (13)

  1. 본체의 전방 양측에 각각 설치되며 반도체 소자가 수납된 다수의 트레이가 로딩된 매거진(4)이 적재되어 상승 또는 하강 되는 한쌍의 로더(1)와, 로더(1) 후방에 구비되어 소팅 영역 및 비전 검사 영역으로 트레이를 이송하는 인덱서(2)와, 반도체 소자를 촬영하는 비전검사장치(3)와, 비전 검사될 반도체 소자를 픽업하여 이송하는 이송 픽커(미도시함), 및 상기 비전 검사 완료된 반도체 소자를 분류하는 소팅 장치(미도시함)를 포함하는 반도체 소자의 비전 검사 시스템에 있어서,
    상기 매거진(4)은;
    좌우 양측에 이동을 위한 회전 바퀴(411;411a,411b)가 구비되고 반도체 패키지가 로딩되는 몸체(41)와,
    상기 몸체(41)의 일측에 슬라이딩 방식으로 좌우 방향 이동 가능하게 구비되어 상기 트레이 사이즈에 따라 트레이를 정렬시키는 트레이정렬수단(42)을 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 반도체 소자의 비전 검사 시스템.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 트레이정렬수단(42)은;
    상기 트레이의 일측면에 밀착되는 정렬대(421)와,
    상기 정렬대(421)의 일방향 이동을 안내하며 타방향 이동을 제한하는 래치(422)와,
    상기 정렬대(421)의 좌우 이동을 안내하는 정렬대 가이드(423)를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 반도체 소자의 비전 검사 시스템.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 트레이정렬수단(42)은;
    상기 정렬대(421)를 이용한 트레이 사이즈 정렬 오차를 보정하기 위하여 내측면에 텐션수단(424)을 더 구비함을 특징으로 하는 반도체 소자의 비전 검사 시스템.
  4. 제 2항 또는 제 3항에 있어서,
    상기 정렬대(421)는;
    상기 래치(422)의 일방향 이동을 제한하기 위한 잠금장치(425)를 더 구비함을 특징으로 하는 반도체 소자의 비전 검사 시스템.
  5. 제 2항에 있어서,
    상기 정렬대(421)의 좌우 이동은 모터 구동에 의해 자동으로 제어됨을 특징으로 하는 반도체 소자의 비전 검사 시스템.
  6. 제 1항에 있어서,
    상기 매거진(4)은;
    상기 인덱서(2) 상에서 모터 구동에 의해 이동되도록 구성되어 트레이를 로딩한 상태로 소팅 영역(미도시함) 및 비전 검사 영역(미도시함)에 트레이를 이송함을 특징으로 하는 반도체 소자의 비전 검사 시스템.
  7. 제 6항에 있어서,
    상기 인덱서(2)는;
    상기 매거진(4) 양측 회전바퀴(411; 411a,411b)가 로딩되는 가이드부(211)가 각각 형성되어 상기 회전바퀴(211)의 이동을 안내하도록 일정 높이를 가지는 좌우측 한쌍의 가이드(21;21a,21b)와,
    상기 한쌍의 가이드(21) 내측에 구비되며 상기 매거진(4)의 후방에 결합되어 상기 매거진을 전후 방향으로 이동시키는 매거진 이동수단(22)을 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 반도체 소자의 비전 검사 시스템.
  8. 제 7항에 있어서,
    상기 매거진 이동수단(22)은;
    상기 매거진(4)의 양측에 각각 결합되어 상기 매거진(4) 이동 거리별로 교호로 구동되도록 제 1 매거진 이동수단(22a)과 제 2 매거진 이동수단(22b)으로 구성되어 듀얼모드로 구동됨을 특징으로 하는 반도체 소자의 비전 검사 시스템.
  9. 제 8항에 있어서,
    상기 각각의 매거진 이동수단(22;22a,22b)은;
    상기 매거진(4)에 로딩된 트레이의 전후 방향 정렬을 위한 보조정렬수단(221)을 더 구비함을 특징으로 하는 반도체 소자의 비전 검사 시스템.
  10. 제 9항에 있어서,
    상기 보조 정렬 수단(221)은;
    실린더 구동에 의해 회전되는 정렬바(221a)와,
    상기 정렬바(221a)를 모터 구동에 의해 전후 방향으로 이동시키는 정렬바 이동수단(221b)을 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 반도체 소자의 비전 검사 시스템.
  11. 제 7항에 있어서,
    상기 한쌍의 가이드(21;21a,21b)는;
    상기 매거진(4) 전후 이동의 직진성을 확보하기 위하여 일측 가이드(21a)의 가이드부(211)에 일측 회전바퀴(411a)가 끼워지는 홈부(212)가 형성된 것을 특징으로 하는 반도체 소자의 비전 검사 시스템.
  12. 제 11항에 있어서,
    상기 일측 가이드(21a)의 가이드부(211)의 홈부(212)는 V 형상을 가지며,
    상기 매거진(4)의 일측 회전바퀴(411)는 상기 V 형상의 홈부(212) 내부에 끼 워지도록 바퀴 바닥면의 중심에서 외측으로 경사진 것을 특징으로 하는 반도체 소자의 비전 검사 시스템.
  13. 제 11항 또는 제 12항에 있어서,
    상기 매거진 타측 회전바퀴(411b)는;
    상기 가이드부(411)와의 접촉 면적을 넓혀 안전 구동을 위하여 바퀴 바닥면이 평탄하게 형성된 것을 특징으로 하는 반도체 소자의 비전 검사 시스템.
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