KR100833716B1 - 반도체 소자 비전 검사 시스템 - Google Patents

반도체 소자 비전 검사 시스템 Download PDF

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Abstract

본 발명은 메모리 모듈과 같은 반도체 소자의 자동 광학 검사 시스템의 장비 소형화 및 검사 속도를 개선할 수 있는 반도체 소자 비전 검사 시스템에 관한 것이다.
이를 위한 본 발명의 일양상에 따른 반도체 소자 비전 검사 시스템은, 반도체 소자 표면 영상을 촬영하고 촬영 결과에 따라 불량 여부를 자동으로 검사하는 비전 검사 시스템에 있어서, 본체와, 상기 본체의 전방 양측에 각각 설치되며 반도체 소자가 수납된 다수의 트레이가 상승 또는 하강 될 수 있도록 적재된 한쌍의 로더; 상기 각각의 로더 후방에 전후 방향으로 구비되어 트레이를 전후 방향으로 이송하는 제 1 이송 레일과 제 2 이송 레일; 상기 각 이송 레일 사이에 구비되어 반도체 소자의 전,후면 영상을 촬영하는 한쌍의 비전 카메라로 구성되는 비전 검사 장치; 상기 각 이송 레일 상의 트레이로부터 비전 검사될 반도체 소자를 픽업하여 좌우 수평 이동을 통해 이송하도록 구비되는 제 1 및 제 2 이송 픽커와, 상기 각 이송 레일 사이에 구비되어 상기 이송 픽커의 좌우 수평 이동을 안내하는 픽커 이동 수단과, 상기 각각의 로더 후방의 이송 레일 사이에 구비되며 불량품 반도체 소자가 수납되는 리젝트 트레이; 및 비전 검사 완료된 반도체 소자를 리젝트 트레이 및 각 로더로부터 반출되는 트레이로 분류하는 소팅 장치를 포함하여 구성된다.
겐트리, 소형화, 로더, 버퍼, 언로더

Description

반도체 소자 비전 검사 시스템{SYSTEM FOR VISION INSPECTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE}
도 1은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 반도체 소자 비전 검사 시스템 구성도.
도 2는 도 1의 "A"부 단면도.
도 3은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 반도체 소자 비전 검사 시스템 구성도.
<도면 주요 부분에 대한 부호 설명>
100 : 본체
110 : 로더
111 : 제 1 로더
112 : 제 2 로더
120 : 이송 레일
121 : 제 1 이송 레일
122 : 제 2 이송 레일
130 : 비전 검사 장치
131 : 제 1 비전 카메라
132 : 제 2 비전 카메라
140 : 이송 픽커
141 : 제 1 이송 픽커
142 : 제 2 이송 픽커
150 : 픽커 이송 수단
151 : 제 1 픽커 이송 수단
152 : 제 2 픽커 이송 수단
160 : 리젝트 트레이
170 : 소팅 장치
180 : 클리닝 수단
181 : 제 1 클리닝 수단
182 : 제 2 클리닝 수단
본 발명은 비전 검사 시스템에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 메모리 모듈과 같은 반도체 소자의 자동 광학 검사 시스템의 장비 소형화 및 검사 속도를 개선할 수 있는 반도체 소자 비전 검사 시스템에 관한 것이다.
메모리 모듈, 포괄적으로 반도체 소자는 일련의 공정을 통하여 제조된 후에 출하 전에 정밀한 검사를 마치게 되는데, 이러한 정밀 검사는 반도체 소자의 패키지 내부 불량뿐만 아니라, 그 외관에 미소한 결함이 발생하더라도 성능에 치명적인 영향을 미치게 되므로, 전기적인 동작 검사뿐만 아니라, 비전 카메라를 이용한 외관 검사와 같은 여러 가지 검사를 수행하게 된다.
일반적으로, 반도체 소자의 외형적인 결함, 특히 BGA(Ball Grid Array) 및 리드의 결함은 반도체 소자를 PCB(Printed Circuit Board) 등에 조립하는 과정에서도 발생할 수 있으므로, 리드 또는 볼의 상태 검사는 매우 중요하다.
이러한 반도체 소자의 외관 검사 시스템의 일례로, 본 출원인에 의해 출원되어 등록된 대한민국 등록특허 제0663385호에 "반도체 소자의 비전 검사 시스템" 이라는 제목으로 개시된바 있다.
상기 반도체 소자의 비전 검사 시스템은 비전 검사될 반도체 소자가 수납된 트레이가 적재된 로딩 스택커가 설치되도록 본체 전방부에 구비되는 로딩 영역(A)과; 본체 전방부에서 로딩 영역(A)의 일측에 배치되어 정상품 소자 또는 불량품 소자가 분류되는 소팅 영역(B)과; 본체의 상부에 구비되어 비전 검사될 반도체 소자가 클리닝 되는 클리닝 영역(C)과; 클리닝 영역(C)에서 클리닝된 반도체 소자의 전,후면을 검사하는 비전 검사 영역(D)과; 비전 검사될 반도체 소자를 픽업한 후 이송하는 핸들러가 이동되는 핸들링 영역(E)과; 비전 검사가 완료된 반도체 소자가 재수납되는 버퍼 영역(F); 및 로딩 영역(A)을 통해 공급되는 트레이 중 공트레이를 버퍼 영역(F)으로 이송하는 리사이클 영역(G)을 포함하여 구성된다.
그리고, 본체의 전방부에는 공트레이가 적재되는 공트레이 영역(Empty)이 더 포함된다.
그런데, 이러한 반도체 소자의 비전 검사 시스템은 비전 검사될 트레이가 적재되는 로딩 영역, 비점 검사 결과에 따라 불량품 및 양품으로 분류하는 소팅 영역 및 버퍼 영역으로 공트레이를 공급하기 위한 리사이클 영역이 본체의 전방 또는 후방을 차지함에 따라, 작업 공간을 많이 차지하게 되어, 설치 공간을 효율적으로 이용할 수 없게 되는 문제점이 있었다.
그리고, 비전 검사된 반도체 소자 중 양품 또는 불량품으로 분류되는 반도체 소자를 수납하기 위한 트레이로 공급되는 공트레이가 적재되는 공트레이 적재를 위한 영역이 별도로 확보되어야 함에 따라 장치의 소형화가 어려운 문제점이 있었다.
상기 종래 기술에 따른 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은, 비전 검사될 트레이와 비전 검사 결과 양품으로 분류되는 반도체 소자를 수납하기 위한 언로딩 트레이를 하나의 장치인 로더에 동시에 수납하고, 비전 검사 결과에 따라 양품 소자를 동일한 로더에 적재된 트레이에 분류하거나, 상호 반대 로더에 적재된 트레이에 분류함으로써 로더와 언로더를 별도로 구비하지 않음으로써 장비를 소형화 할 수있도록 하는 반도체 소자의 비전 검사 시스템을 제공함에 있다.
또한, 본 발명은 양측에서 트레이 이송 및 비전 검사를 교호로 연속하여 수행함으로써 검사 속도 개선을 할 수 있도록 하는 반도체 소자 비전 검사 시스템을 제공하기 위한 것이다.
또, 본 발명은 동일한 로더에 적재되는 트레이가 비전 검사될 로딩 트레이, 양품 소자가 수납될 언로딩 트레이 및 불량품 소자가 빠져나간 자리를 채우기 위한 양품 소자가 수납되는 버퍼 트레이 역할을 하도록 함으로써, 버퍼 영역을 별도로 확보하지 않아도 되므로 장비를 소형화 할 수 있는 반도체 소자의 비전 검사 시스템을 제공하기 위한 것이다.
또, 본 발명은 겐트리 방식을 이용하며 이송 및 소팅이 동시에 가능한 픽커 모듈을 구비함으로써, 비전 카메라를 좌우 양측에 구비하여 전후 방향으로 비전 카메라를 배치하는 기존 시스템에 비하여 장비의 길이 방향 사이즈를 감소시킬 수 있도록 하는 반도체 소자의 비전 검사 시스템을 제공하기 위한 것이다.
상기 기술적 과제를 해결하기 위한 본 발명의 일양상에 따른 반도체 소자 비전 검사 시스템은, 반도체 소자 표면 영상을 촬영하고 촬영 결과에 따라 불량 여부를 자동으로 검사하는 비전 검사 시스템에 있어서, 본체와, 상기 본체의 전방 양측에 각각 설치되며 반도체 소자가 수납된 다수의 트레이가 상승 또는 하강 될 수 있도록 적재된 한쌍의 로더; 상기 각각의 로더 후방에 전후 방향으로 구비되어 트레이를 전후 방향으로 이송하는 제 1 이송 레일과 제 2 이송 레일; 상기 각 이송 레일 사이에 구비되어 반도체 소자의 전,후면 영상을 촬영하는 한쌍의 비전 카메라로 구성되는 비전 검사 장치; 상기 각 이송 레일 상의 트레이로부터 비전 검사될 반도체 소자를 픽업하여 좌우 수평 이동을 통해 이송하도록 구비되는 제 1 및 제 2 이송 픽커와, 상기 각 이송 레일 사이에 구비되어 상기 이송 픽커의 좌우 수평 이동 을 안내하는 픽커 이동 수단과, 상기 각각의 로더 후방의 이송 레일 사이에 구비되며 불량품 반도체 소자가 수납되는 리젝트 트레이; 및 비전 검사 완료된 반도체 소자를 리젝트 트레이 및 각 로더로부터 반출되는 트레이로 분류하는 소팅 장치를 포함하여 구성된다.
또한, 상기 기술적 과제를 해결하기 위한 본 발명의 다른 양상에 따른 반도체 소자 비전 검사 시스템은, 반도체 소자 표면 영상을 촬영하고 촬영 결과에 따라 불량 여부를 자동으로 검사하는 비전 검사 시스템에 있어서, 본체와, 상기 본체의 전방 양측에 각각 설치되며 반도체 소자가 수납된 다수의 트레이가 상승 또는 하강 될 수 있도록 적재된 제 1 및 제 2 로더; 상기 각 로더 사이의 후방에 구비되어 반도체 소자의 전,후면 영상을 촬영하도록 구비되는 제 1 비전 카메라와 제 2 비전 카메라로 구성되는 비전 검사 장치; 상기 각각의 로더와 비전 검사 장치 사이에 구비되며 불량품 반도체 소자가 수납되는 리젝트 트레이; 및 상기 각 로더 후방에 구비되어 비전 검사될 반도체 소자를 픽업하여 전후 방향으로 이송하고 비전 검사 완료된 반도체 소자를 리젝트 트레이 또는 로더에서 반출되는 트레이로 소팅하는 픽커 모듈과, 상기 픽커 모듈의 전후 방향 이동을 안내하도록 상기 로더 후방에 구비되는 픽커 이동 수단, 및 상기 픽커 이동 수단의 좌,우 수평 이동을 안내하여 픽커 모듈을 좌우 이동시키는 겐트리를 포함하여 구성된다.
본 발명은 첨부된 도면을 참조하여 후술하는 바람직한 실시예를 통하여 더욱 명백해질 것이다. 이하에서는 본 발명의 실시예를 통해 당업자가 용이하게 이해하고 재현할 수 있도록 상세히 설명하도록 한다.
도 1은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 반도체 소자 비전 검사 시스템 구성도이고, 도 2는 도 1의 "A"부 단면도이다.
도면을 참조하면, 본 발명은 반도체 소자 표면 영상을 촬영하고 촬영 결과에 따라 불량 여부를 자동으로 검사하는 비전 검사 시스템에 관한 것으로서, 본체(100), 로더(110), 이송 레일(120)과, 비전 검사 장치(130), 이송 픽커(140), 픽커 이동 수단(150)과, 리젝트 트레이(160), 및 소팅 장치(170)를 포함하여 구성된다.
여기서, 로더(110)는 슬롯 방식으로 반도체 소자가 수납된 다수의 트레이(300)가 적재된 것으로서, 본체(100)의 전방 양측에 각각 한 쌍으로 설치되는 제 1 로더(111)와 제 2 로더(112)로 구성된다.
본 발명의 제 1 실시예에서 각 로더(111, 112)는 도면에 구체적으로 도시하지는 않았으나, 적재되는 트레이(300)의 승강 높이를 제어하면서 상승 및 하강시킬 수 있는 승강 장치(미도시함)를 구비함이 바람직하다. 그리고, 본 발명의 제 1 실시예는 도면에 미표시 하였으나 승강 장치(미도시함)에 의해 일정 높이에 놓여진 트레이를 각각의 로더(111, 112)로부터 반입 또는 반출시키는 인덱서를 구비해야 함을 자명하다.
그리고, 제 1 이송 레일(121)과 제 2 이송 레일(122)로 구성되는 이송 레일(120)은 각각의 로더(111, 112) 후방 구비되어, 트레이(300)를 전,후 방향으로 이송하는 것이다.
비전 검사 장치(130)는 각 이송 레일(121, 122) 사이에 구비되고 반도체 소 자의 전,후면 영상을 촬영하도록 전후 한쌍으로 이루어지는 제 1 비전 카메라(131)와 제 2 비전 카메라(132)로 구성된다.
이때, 본 발명은 제 1 비전 카메라(131)와 제 2 비전 카메라(132)를 통해 비전 검사가 수행되기 이전에 반도체 소자를 클리닝 하는 클리닝 수단(180: 181, 182)을 더 구비함이 바람직하다.
다시 말해, 반도체 소자 표면에 미세 먼지나 오염 물질과 같은 이물질을 흡착되면, 해당 반도체 소자가 이물질에 의해 불량 판별될 수 있으므로 반도체 표면에 흡착된 이물질을 클리닝 수단으로 제거함으로써, 검사 오류 원인을 해소함이 바람직하다.
한편, 이송 픽커(140)는 비전 검사 장치(130)를 통해 비전 검사가 수행될 반도체 소자를 각 이송 레일(121, 122) 상의 트레이로부터 픽업하여 이송하는 것으로서, 본체(100) 상부에서 좌우 수평 이동하는 제 1 이송 픽커(141)와 제 2 이송 픽커(142)로 구성된다.
이때, 이송 픽커(140)의 좌우 방향 수평 이동을 안내하기 위하여 픽커 이동 수단(150; 151,152)이 각 이송 레일 사이에 좌우 방향으로 구비된다.
그리고, 리젝트 트레이(160)는 상기 각각의 로더(111, 112) 후방 이송 레일(121, 122) 사이에 구비되어, 불량품으로 판별된 반도체 소자가 수납되는 것이다.
또한, 소팅 장치(170)는 비전 검사 장치(130)를 통한 비전 검사 결과에 따라 반도체 소자를 리젝트부(150) 또는 각 로더(111,112)로부터 반출되는 트레이(300) 로 분류하는 것이다.
다시 말해, 소팅 장치(170)는 비전 검사 결과 불량으로 판별된 반도체 소자를 리젝트 트레이(160)로 이송하여 수납시키고, 양품으로 판별된 반도체 소자는 로더(110)로부터 반출된 트레이(300)로 이송하여 수납시킨다.
이러한 본 발명의 제 1 실시예에 따른 반도체 소자 비전 검사 시스템은, 양품 반도체 소자를 비전 검사 이전에 반출된 해당 트레이에 분류하여 각각의 로더가 로더 및 언로더 역할을 하도록 한다.
더욱 상세하게는, 제 1 로더(111)에 수납된 트레이를 반출하여 제 1 이송 레일(121) 후방으로 이송한 후 제 1 이송 픽커(131)로 각각의 반도체 소자를 이송하여 비전 검사를 수행한다.
그리고, 제 2 로더(112)로부터 트레이를 반출하여 제 2 이송 레일(122) 후방으로 이송하여 대기 상태가 되도록 한다.
이어서, 제 1 이송 레일(121)의 반도체 소자에 대한 비전 검사가 완료되면 해당 반도체 소자들을 해당 트레이에 수납하여 전방으로 이송하고, 제 2 이송 레일(122) 상의 트레이에 수납된 반도체 소자를 제 2 이송 픽커(132)로 이송하여 비전 검사를 수행한다.
이때, 소팅 장치(160)를 이용하여 비전 검사 완료된 반도체 소자 중 불량품은 리젝트 트레이(160)로 분류하고, 양품 소자는 해당 트레이에 수납된 상태로 제 1 로더(111)로 반입시킨다.
이어서, 제 1 로더(111)로부터 비전 검사될 반도체 소자가 수납된 트레이를 반출하여 제 1 이송 레일(121)을 통해 본체 후방으로 이송하여 대기 상태가 되도록 한다.
그리고, 제 2 이송 레일(122) 상의 트레이에 수납된 반도체 소자에 대한 검사가 완료되면 전방으로 이송하고, 제 1 이송 레일(121) 상의 트레이에 수납된 반도체 소자에 대한 검사를 시작한다.
그리고, 제 2 이송 레일(122) 상의 트레이에 수납된 반도체 소자 중 불량품을 리젝트 트레이(160)로 분류하고, 양품을 해당 트레이에 수납된 상태로 제 2 로더(112)에 반입시킨다.
이후, 비전 검사된 제 1 이송 레일 상의 트레이에 수납된 반도체 소자 중 불량품은 리젝트 트레이(160)로 분류하고 불량품이 빠져 나간 자리는 제 1 로더()에 적재된 트레이를 반출하여 채워 넣는다.
이후, 일련의 이송, 소팅 및 검사 공정을 반복하여 검사 완료된 트레이의 양품이 빠져 나간 빈자리가 생기면 해당 로더에 적재된 트레이의 양품 소자를 공급하여 채워 넣음으로써, 동일 로더에 구비되는 트레이가 로딩 트레이, 언로딩 트레이, 및 버퍼 트레이 역할을 하도록 한다.
이와 같이 본 발명의 일양상에 따른 반도체 소자의 비전 검사 시스템은, 본체의 양측에 구비된 각각 로더가 검사 대상 반도체 소자 및 양품 반도체 소자가 수납되는 트레이를 모두 구비하여, 로더와 언로더를 별도로 구비하는 시스템 대비 장비 사이즈를 축소시킬 수 있으며, 비전 검사 공정 연속하여 실시함에 따라 검사 속도를 향상시킬 수 있는 것이다.
한편, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 반도체 소자 검사 시스템은, 양품 소자를 비전 검사 이전에 반출된 로더 반대 로더의 트레이에 분류하여 각 로더가 상호 언로더 역할을 하도록 할 수 있다.
더욱 상세하게는, 제 1 로더(111)에 수납된 트레이를 반출하여 제 1 이송 레일(112) 후방으로 이송한 후 제 1 이송 픽커(131)로 각각의 반도체 소자를 이송하여 비전 검사를 수행한다.
그리고, 제 2 로더(112)로부터 반출되는 트레이를 제 2 이송 레일(122) 후방으로 이송하여 대기 상태가 되도록 한다.
이어서, 제 1 이송 레일(121) 상의 트레이에 수납된 반도체 소자에 대한 비전 검사가 완료되면 해당 반도체 소자들을 해당 트레이에 수납하여 전방으로 이송하고, 제 2 이송 레일(122) 상의 반도체 소자를 제 2 이송 픽커(132)로 이송하여 비전 검사를 수행한다.
이때, 소팅 장치(170)를 이용하여 비전 검사 완료된 반도체 소자 중 불량품은 리젝트 트레이(160)로 분류하고, 제 2 이송 픽커(132)에 의해 반도체 소자가 이송된 제 2 이송 레일(122) 상의 트레이를 전방으로 이송시켜 양품 반도체 소자를 여기에 분류하여 수납한다.
그리고, 소팅이 완료된 트레이는 제 1 로더(111)에 반입시키고 비전 검사를 수행하기 위한 트레이를 제 1 로더(111)로부터 반출한다.
이어서, 제 1 로더(111)로부터 반출된 트레이를 제 1 이송 레일(121)을 통해 본체 후방으로 이송하여 대기 상태가 되도록 하고, 제 2 이송 레일(122) 상의 트레 이에 수납된 반도체 소자에 대한 검사가 완료되면 제 1 이송 레일(121) 상의 트레이에 수납된 반도체 소자에 대한 검사를 시작한다.
그리고, 제 2 이송 레일(122) 상의 트레이를 전방으로 이송하여 불량품은 리젝트 트레이(160)로 분류하고, 양품 소자는 제 1 로더(111)로부터 반출되는 트레이에 분류한다.
이후, 이송, 검사 및 소팅을 반복한다.
이와 같이 본 발명의 다른 양상에 따른 반도체 소자의 비전 검사 시스템은, 본체의 양측에 구비된 각각 로더가 검사 대상 반도체 소자 및 양품 반도체 소자가 수납되는 트레이를 모두 구비하고, 상호 언로더 역할을 함으로써, 로더와 언로더를 별도로 구비하는 시스템 대비 장비 사이즈를 축소시킬 수 있으며, 비전 검사 공정 연속하여 실시함에 따라 검사 속도를 향상시킬 수 있는 것이다.
또한, 본 발명의 실시예들은 검사 결과 불량품이 빠져나간 트레이의 빈자리를 양품으로 채우기 위한 버퍼 트레이 없이, 동일한 로더에 적재되는 트레이로부터 공급하여 채워 넣음에 따라, 별도의 버퍼 영역을 확보하지 않아도 되므로 장비를 소형화 할 수 있으며, 검사 속도 저하 없이 소팅 할 수 있다.
도 3은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 반도체 소자의 비전 검사 시스템 구성도로, 도 1과 동일한 구성 요소에 대한 작용 설명은 생략하도록 한다.
도 3을 참조하면, 본 발명의 제 2 실시예는 반도체 소자 표면 영상을 촬영하고 촬영 결과에 따라 불량 여부를 자동으로 검사하는 비전 검사 시스템에 관한 것으로서, 본체(200)와, 로더(210)와, 비전 검사 장치(220)와, 리젝트 트레이(230) 와, 픽커 모듈(240)과, 픽커 이동 수단(250) 및 겐트리(gentry; 260)를 포함하여 구성된다.
로더(210)는 본체(200)의 전방 양측에 각각 설치되며 반도체 소자가 수납된 다수의 트레이가 상승 또는 하강 될 수 있도록 적재된 제 1 및 제 2 로더(211,212) 한쌍으로 구성된다.
비전 검사 장치(220)는 각 로더(211, 212) 사이의 후방에 좌, 우 한쌍으로 구비되어 반도체 소자의 전,후면 영상을 촬영하도록 제 1 비전 카메라(221) 및 제 2 비전 카메라(222)로 구성된다.
여기서, 각 비전 카메라(221, 22)의 전단에는 반도체 표면 클리닝을 위한 클리닝 수단(270)이 더 구비된다.
그리고, 리젝트 트레이(230)는 각각의 로더(211, 212)와 각 비전 카메라(221, 222) 사이에 구비되며 불량품 반도체 소자가 수납된다.
픽커 모듈(240)은 로더(211, 212)의 후방에 구비되어 비전 검사될 반도체 소자를 픽업하여 전후 방향으로, 이송하고 비전 검사 완료된 반도체 소자를 리젝트 트레 또는 각 로더(211, 212)에서 반출되는 트레이로 소팅하는 역할을 한다.
이에 따라, 본 발명의 제 2 실시예는 단일 픽커 모듈을 이용하여 반도체 소자 이송 및 소팅 역할을 하도록 함으로써, 장비 구성을 간소화할 수 있다.
한편, 픽커 이동 수단(250)은 픽커 모듈(240)의 전후 방향 이동을 안내하도록 각 로더(211, 212) 후방에 전,후 방향으로 길게 구비되고, 겐트리(gentry; 260)는 픽커 이동 수단(250)의 좌우 수평 이동을 안내하여 픽커 모듈(240)을 좌우 이동 시키기 위하여 구비된다.
이와 같이 본 발명의 제 2 실시예는 겐트리 방식을 이용하며 이송 및 소팅이 동시에 가능한 픽커 모듈을 구비함으로써, 비전 카메라를 좌우 양측에 구비하여 전후 방향으로 비전 카메라를 배치하는 기존 시스템에 비하여 장비의 길이 방향 사이즈를 감소시킬 수 있다.
상술한 바와 같이 본 발명은 비전 검사될 트레이와 비전 검사 결과 양품으로 분류되는 반도체 소자를 수납하기 위한 언로딩 트레이를 하나의 장치인 로더에 동시에 수납하고, 비전 검사 결과에 따라 양품 소자를 동일한 로더에 적재된 트레이에 분류하거나, 상호 반대 로더에 적재된 트레이에 분류함으로써 로더와 언로더를 별도로 구비하지 않음으로써 장비를 소형화 할 수 있다.
또한, 본 발명은 양측에서 트레이 이송 및 비전 검사를 교호로 연속하여 수행함으로써 검사 속도 개선을 할 수 있다.
또, 본 발명은 동일한 로더에 적재되는 트레이가 비전 검사될 로딩 트레이, 양품 소자가 수납될 언로딩 트레이 및 불량품 소자가 빠져나간 자리를 채우기 위한 양품 소자가 수납되는 버퍼 트레이 역할을 하도록 함으로써, 버퍼 영역을 별도로 확보하지 않아도 되므로 장비를 소형화 할 수 있다.
또, 본 발명은 겐트리 방식을 이용하며 이송 및 소팅이 동시에 가능한 픽커 모듈을 구비함으로써, 비전 카메라를 좌우 양측에 구비하여 전후 방향으로 비전 카메라를 배치하는 기존 시스템에 비하여 장비의 길이 방향 사이즈를 감소시킬 수 있 다.
본 발명은 첨부된 도면을 참조하여 바람직한 실시예를 중심으로 기술되었지만 당업자라면 이러한 기재로부터 본 발명의 범주를 벗어남이 없이 많은 다양하고 자명한 변형이 가능하다는 것은 명백하다. 따라서 본 발명의 범주는 이러한 많은 변형예들을 포함하도록 기술된 특허청구범위에 의해서 해석되어져야 한다.

Claims (8)

  1. 반도체 소자 표면 영상을 촬영하고 촬영 결과에 따라 불량 여부를 자동으로 검사하는 비전 검사 시스템에 있어서,
    본체(100)와,
    상기 본체(100)의 전방 양측에 각각 설치되며 반도체 소자가 수납된 다수의 트레이(200)가 상승 또는 하강 될 수 있도록 적재된 한쌍의 로더(111,112);
    상기 각각의 로더(111, 112) 후방에 전후 방향으로 구비되어 트레이를 전후 방향으로 이송하는 제 1 이송 레일(121)과 제 2 이송 레일(122);
    상기 각 이송 레일(121, 122) 사이에 구비되어 반도체 소자의 전,후면 영상을 촬영하는 한쌍의 비전 카메라(131,132)로 구성되는 비전 검사 장치(130);
    상기 각 이송 레일(121, 122) 상의 트레이로부터 비전 검사될 반도체 소자를 픽업하여 좌우 수평 이동을 통해 이송하도록 구비되는 제 1 및 제 2 이송 픽커(141, 142)와,
    상기 각 이송 레일(121, 122) 사이에 구비되어 상기 이송 픽커(141,142)의 좌우 수평 이동을 안내하는 픽커 이동 수단(151, 152)과,
    상기 각각의 로더(111, 112) 후방의 이송 레일(121, 122) 사이에 구비되며 불량품 반도체 소자가 수납되는 리젝트 트레이(160); 및
    비전 검사 완료된 반도체 소자를 리젝트 트레이(160) 및 각 로더(111, 112)로부터 반출되는 트레이(200)로 분류하는 소팅 장치(170)를 포함하여 구성되는 것 을 특징으로 하는 반도체 소자 비전 검사 시스템.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 비전 검사 장치(130)의 전단에는 비전 검사 수행 이전에 반도체 소자 표면을 클리닝 하는 클리닝 수단(180)이 더 구비됨을 특징으로 하는 반도체 소자 비전 검사 시스템.
  3. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,
    상기 각각의 로더는;
    양품 반도체 소자를 비전 검사 이전에 트레이가 반출된 해당 로더의 트레이에 분류하도록 하여 각각 로더 및 언로더 역할을 동시에 수행하도록 하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자의 비전 검사 시스템.
  4. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,
    상기 각각의 로더는;
    양품 반도체 소자를 비전 검사 이전에 트레이가 반출된 해당 로더의 반대 로더 트레이에 분류하여 각각의 로더가 상호 언로더 역할을 하도록 함을 특징으로 하는 반도체 소자의 비전 검사 시스템.
  5. 반도체 소자 표면 영상을 촬영하고 촬영 결과에 따라 불량 여부를 자동으로 검사하는 비전 검사 시스템에 있어서,
    본체(200)와,
    상기 본체(100)의 전방 양측에 각각 설치되며 반도체 소자가 수납된 다수의 트레이가 상승 또는 하강 될 수 있도록 적재된 제 1 및 제 2 로더(211,212);
    상기 각 로더(211, 212) 사이의 후방에 구비되어 반도체 소자의 전,후면 영상을 촬영하도록 구비되는 제 1 비전 카메라(221)와 제 2 비전 카메라(222)로 구성되는 비전 검사 장치(220);
    상기 각각의 로더(211, 212)와 비전 검사 장치(220) 사이에 구비되며 불량품 반도체 소자가 수납되는 리젝트 트레이(230); 및
    상기 각 로더(211, 212) 후방에 구비되어 비전 검사될 반도체 소자를 픽업하여 전후 방향으로 이송하고 비전 검사 완료된 반도체 소자를 리젝트 트레이(230) 또는 로더(211, 212)에서 반출되는 트레이로 소팅하는 픽커 모듈(240)과,
    상기 픽커 모듈(240)의 전후 방향 이동을 안내하도록 상기 로더 후방에 구비되는 픽커 이동 수단(250), 및
    상기 픽커 이동 수단(250)의 좌,우 수평 이동을 안내하여 픽커 모듈(240)을 좌우 이동시키는 겐트리(gentry;260)를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 비전 검사 시스템.
  6. 제 5항에 있어서,
    상기 비전 검사 장치(220)의 전단에는 비전 검사 수행 이전에 반도체 소자 표면을 클리닝 하는 클리닝 수단(270)이 더 구비됨을 특징으로 하는 반도체 소자 비전 검사 시스템.
  7. 제 5항 또는 제 6항에 있어서,
    상기 각각의 로더는;
    양품 반도체 소자를 비전 검사 이전에 트레이가 반출된 해당 로더의 트레이에 분류하도록 하여 각각 로더 및 언로더 역할을 동시에 수행하도록 하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자의 비전 검사 시스템.
  8. 제 5항 또는 제 6항에 있어서,
    상기 각각의 로더는;
    양품 반도체 소자를 비전 검사 이전에 트레이가 반출된 해당 로더의 반대 로더 트레이에 분류하여 각각의 로더가 상호 언로더 역할을 하도록 함을 특징으로 하는 반도체 소자의 비전 검사 시스템.
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