JP3099183B2 - ウェーハプロービングマシン - Google Patents
ウェーハプロービングマシンInfo
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/282—Testing of electronic circuits specially adapted for particular applications not provided for elsewhere
- G01R31/2831—Testing of materials or semi-finished products, e.g. semiconductor wafers or substrates
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はウェーハプロービン
グマシンに係り、特に半導体ウェーハ上に配列された集
積回路等の半導体素子の電気的特性を測定検査するウェ
ーハプロービングマシンに関する。
グマシンに係り、特に半導体ウェーハ上に配列された集
積回路等の半導体素子の電気的特性を測定検査するウェ
ーハプロービングマシンに関する。
【０００２】
【従来の技術】ウェーハプロービングマシンには、検査
対象のウェーハが収納されるウェーハカセットの他に、
インスペクション用のウェーハが載置されるインスペク
ショントレイと、プローブニードルをクリーニングする
ためのクリーニングウェーハが載置される専用トレイが
装備されている。
対象のウェーハが収納されるウェーハカセットの他に、
インスペクション用のウェーハが載置されるインスペク
ショントレイと、プローブニードルをクリーニングする
ためのクリーニングウェーハが載置される専用トレイが
装備されている。
【０００３】従来のウェーハプロービングマシンでは、
インスペクショントレイのみが装置本体から引き出し可
能に設けられており、専用トレイは、装置本体内に固定
されて引き出し可能には構成されていなかった。このた
め、オペレータが、現在どの種類のクリーニングウェー
ハが専用トレイに載置されているか知りたい場合は、装
置本体に備えられた搬送アームを用いてクリーニングウ
ェーハを専用トレイから取り出すしか方法がなかった。
インスペクショントレイのみが装置本体から引き出し可
能に設けられており、専用トレイは、装置本体内に固定
されて引き出し可能には構成されていなかった。このた
め、オペレータが、現在どの種類のクリーニングウェー
ハが専用トレイに載置されているか知りたい場合は、装
置本体に備えられた搬送アームを用いてクリーニングウ
ェーハを専用トレイから取り出すしか方法がなかった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ように、搬送アームを用いてクリーニングウェーハを取
り出す方法では、時間もかかり、きわめて不便であっ
た。また、前記搬送アームは、カセットに格納されたウ
ェーハを測定部に搬送する手段も兼ねているため、装置
の稼働中にクリーニングウェーハを取り出すためには、
一旦、装置を停止しなければならなかった。このため、
スループット低下の原因ともなっていた。
ように、搬送アームを用いてクリーニングウェーハを取
り出す方法では、時間もかかり、きわめて不便であっ
た。また、前記搬送アームは、カセットに格納されたウ
ェーハを測定部に搬送する手段も兼ねているため、装置
の稼働中にクリーニングウェーハを取り出すためには、
一旦、装置を停止しなければならなかった。このため、
スループット低下の原因ともなっていた。
【０００５】本発明はこのような事情に鑑みてなされた
もので、ウェーハトレイに載置されたウェーハを簡単に
確認することができるウェーハプロービングマシンを提
供することを目的とする。
もので、ウェーハトレイに載置されたウェーハを簡単に
確認することができるウェーハプロービングマシンを提
供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するために、ウェーハが載置される複数のウェーハトレ
ーを多段に積み重ねて構成するとともに、これらの多段
に積み重ねられて構成されたウェーハトレーのうち少な
くとも１つのウェーハトレーを他のウェーハトレーから
着脱自在に設け、該多段に積み重ねられたウェーハトレ
ーをウェーハプロービングマシンの本体内に収納すると
ともに、該ウェーハプロービングマシンの本体から引き
出し可能に設けたことを特徴とする。
するために、ウェーハが載置される複数のウェーハトレ
ーを多段に積み重ねて構成するとともに、これらの多段
に積み重ねられて構成されたウェーハトレーのうち少な
くとも１つのウェーハトレーを他のウェーハトレーから
着脱自在に設け、該多段に積み重ねられたウェーハトレ
ーをウェーハプロービングマシンの本体内に収納すると
ともに、該ウェーハプロービングマシンの本体から引き
出し可能に設けたことを特徴とする。
【０００７】本発明によれば、装置稼働中においても、
多段に積み重ねられたウェーハトレーをプロービングマ
シンの本体から引き出せば、容易にウェーハトレーに載
置されたウェーハの種類を確認することができる。ま
た、その多段に積み重ねられたウェーハトレーのうちの
１つのウェーハトレーは、他のウェーハトレーから着脱
自在に設けられているため、そのウェーハトレーに載置
されているウェーハを他所へ容易に搬送することもでき
る。
多段に積み重ねられたウェーハトレーをプロービングマ
シンの本体から引き出せば、容易にウェーハトレーに載
置されたウェーハの種類を確認することができる。ま
た、その多段に積み重ねられたウェーハトレーのうちの
１つのウェーハトレーは、他のウェーハトレーから着脱
自在に設けられているため、そのウェーハトレーに載置
されているウェーハを他所へ容易に搬送することもでき
る。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下添付図面に従って本発明に係
るウェーハプロービングマシンの好ましい実施の形態に
ついて詳説する。図１は、ウェーハプロービングマシン
の全体構成を示す斜視図である。同図に示すように、ウ
ェーハプロービングマシン１０は、主として、ウェーハ
Ｗを収納する収納部１２と、ウェーハＷの測定を行う測
定部１４とから構成され、操作パネル１５から入力され
た操作情報に基づいて運転される。
るウェーハプロービングマシンの好ましい実施の形態に
ついて詳説する。図１は、ウェーハプロービングマシン
の全体構成を示す斜視図である。同図に示すように、ウ
ェーハプロービングマシン１０は、主として、ウェーハ
Ｗを収納する収納部１２と、ウェーハＷの測定を行う測
定部１４とから構成され、操作パネル１５から入力され
た操作情報に基づいて運転される。
【０００９】前記収納部１２と測定部１４との間のウェ
ーハＷの搬送は、装置本体１０Ａに内蔵された図示しな
い搬送アームで行われる。搬送アームは、収納部１２に
収納されたウェーハＷを取り出して測定部１４に搬送す
るとともに、測定の終了したウェーハＷを測定部１４か
ら回収して収納部１２の所定の位置に収納する。このウ
ェーハプロービングマシン１０において、ウェーハＷの
測定は、あらかじめ設定されたプログラムに従って全自
動で行われ、プローブニードルのクリーニングも自動で
行われる。
ーハＷの搬送は、装置本体１０Ａに内蔵された図示しな
い搬送アームで行われる。搬送アームは、収納部１２に
収納されたウェーハＷを取り出して測定部１４に搬送す
るとともに、測定の終了したウェーハＷを測定部１４か
ら回収して収納部１２の所定の位置に収納する。このウ
ェーハプロービングマシン１０において、ウェーハＷの
測定は、あらかじめ設定されたプログラムに従って全自
動で行われ、プローブニードルのクリーニングも自動で
行われる。
【００１０】ところで、前記プローブニードルのクリー
ニングには、専用のクリーニングウェーハを用いて行わ
れる。そして、このクリーニングウェーハは、前記収納
部１２と別に設けられた専用トレー１６上に載置されて
おり、クリーニング時には、前記搬送アームが、この専
用トレー１６からクリーニングウェーハを取り出して測
定部１４に搬送する。
ニングには、専用のクリーニングウェーハを用いて行わ
れる。そして、このクリーニングウェーハは、前記収納
部１２と別に設けられた専用トレー１６上に載置されて
おり、クリーニング時には、前記搬送アームが、この専
用トレー１６からクリーニングウェーハを取り出して測
定部１４に搬送する。
【００１１】また、前記のごとく全自動で運転されるウ
ェーハプロービングマシン１０は、その測定状況を確認
するために、オペレータが、測定の終了したウェーハＷ
を抜き出して、別の装置で測定することがある（インス
ペクション作業という）。この時、インスペクション用
のウェーハＷは、前記搬送アームによって前記収納部１
２とは別に設けられたインスペクショントレー１８上に
搬送され、オペレータは、このインスペクショントレー
１８上に搬送されたウェーハＷを装置本体１０Ａから取
り出して、装置外の測定器で測定する。
ェーハプロービングマシン１０は、その測定状況を確認
するために、オペレータが、測定の終了したウェーハＷ
を抜き出して、別の装置で測定することがある（インス
ペクション作業という）。この時、インスペクション用
のウェーハＷは、前記搬送アームによって前記収納部１
２とは別に設けられたインスペクショントレー１８上に
搬送され、オペレータは、このインスペクショントレー
１８上に搬送されたウェーハＷを装置本体１０Ａから取
り出して、装置外の測定器で測定する。
【００１２】ところで、前述したように、インスペクシ
ョントレー１８は、その必要性から、オペレータが、イ
ンスペクション用のウェーハＷを装置外に取り出せる構
成としなければならない。一方、前記専用トレー１６に
おいても、従来のように搬送アームを使用して装置外に
取り出すことなく、どの種類のクリーニングウェーハＷ
が専用トレイに載置されているか確認できるように構成
する必要がある。
ョントレー１８は、その必要性から、オペレータが、イ
ンスペクション用のウェーハＷを装置外に取り出せる構
成としなければならない。一方、前記専用トレー１６に
おいても、従来のように搬送アームを使用して装置外に
取り出すことなく、どの種類のクリーニングウェーハＷ
が専用トレイに載置されているか確認できるように構成
する必要がある。
【００１３】このため、前記専用トレー１６とインスペ
クショントレー１８は、図１に示すように、横方向に引
き出し可能に形成されている。以下、この専用トレー１
６とインスペクショントレー１８の構成について説明す
る。図２は、専用トレーとインスペクショントレーの構
成を示す斜視図であり、図３は、その正面図である。
クショントレー１８は、図１に示すように、横方向に引
き出し可能に形成されている。以下、この専用トレー１
６とインスペクショントレー１８の構成について説明す
る。図２は、専用トレーとインスペクショントレーの構
成を示す斜視図であり、図３は、その正面図である。
【００１４】同図に示すように、前記専用トレー１６
は、一対のスライドレール２０、２０にガイドされて装
置本体１０Ａに形成された取出口３０から引き出し可能
に設けられている。そして、この専用トレー１６の上部
に、前記インスペクショントレー１８が着脱自在に設け
られている。前記スライドレール２０は、いわゆる二段
式のスライドレールである。すなわち、固定レール２０
Ａ上に第１レール２０Ｂがスライド自在に支持されてお
り、更に、その第１レール２０Ｂ上に第２レール２０Ｃ
がスライド自在に支持されている。そして、前記スライ
ドレール２０を構成する固定レール２０Ａは、装置本体
１０Ａのフレームに水平に固定されており、前記第２レ
ール２０Ｃは、前記専用トレー１６の下面に固定されて
いる。前記専用トレー１６は、このスライドレール２０
にガイドされることにより、水平方向に引き出し可能に
形成される。
は、一対のスライドレール２０、２０にガイドされて装
置本体１０Ａに形成された取出口３０から引き出し可能
に設けられている。そして、この専用トレー１６の上部
に、前記インスペクショントレー１８が着脱自在に設け
られている。前記スライドレール２０は、いわゆる二段
式のスライドレールである。すなわち、固定レール２０
Ａ上に第１レール２０Ｂがスライド自在に支持されてお
り、更に、その第１レール２０Ｂ上に第２レール２０Ｃ
がスライド自在に支持されている。そして、前記スライ
ドレール２０を構成する固定レール２０Ａは、装置本体
１０Ａのフレームに水平に固定されており、前記第２レ
ール２０Ｃは、前記専用トレー１６の下面に固定されて
いる。前記専用トレー１６は、このスライドレール２０
にガイドされることにより、水平方向に引き出し可能に
形成される。
【００１５】前記専用トレー１６は、矩形の板状に形成
されており、その上面に、ウェーハＷ（クリーニング用
のウェーハ）を載置するための円形の凹部１６Ａが段状
に形成されている。なお、このように凹部１６Ａが段状
に形成されているのは、様々な径のウェーハを載置でき
るようにしたためであり、本実施の形態においては、３
種類の径のウェーハを載置できるように構成されてい
る。なお、ウェーハＷを載置する場合は、そのウェーハ
Ｗの径が対応する段部のところにウェーハＷを嵌め込む
ようにして載置する。
されており、その上面に、ウェーハＷ（クリーニング用
のウェーハ）を載置するための円形の凹部１６Ａが段状
に形成されている。なお、このように凹部１６Ａが段状
に形成されているのは、様々な径のウェーハを載置でき
るようにしたためであり、本実施の形態においては、３
種類の径のウェーハを載置できるように構成されてい
る。なお、ウェーハＷを載置する場合は、そのウェーハ
Ｗの径が対応する段部のところにウェーハＷを嵌め込む
ようにして載置する。
【００１６】また、前記専用トレー１６は、その中央部
分に溝部１６Ｂが形成されている。前記凹部１６Ａに載
置されているウェーハＷを取り出す場合は、この溝部１
６Ｂからバキュームピンセット等を差し込こんで取り出
す。前記専用トレー１６の上部には、その専用トレー１
６の上面を覆うようにしてカバーフレーム２２が設けら
れている。前記インスペクショントレー１８は、このカ
バーフレーム２２上に載置することにより、前記専用ト
レー１６上に取り付けられる。
分に溝部１６Ｂが形成されている。前記凹部１６Ａに載
置されているウェーハＷを取り出す場合は、この溝部１
６Ｂからバキュームピンセット等を差し込こんで取り出
す。前記専用トレー１６の上部には、その専用トレー１
６の上面を覆うようにしてカバーフレーム２２が設けら
れている。前記インスペクショントレー１８は、このカ
バーフレーム２２上に載置することにより、前記専用ト
レー１６上に取り付けられる。
【００１７】前記インスペクショントレー１８は、前記
専用トレー１６とほぼ同様に形成され、その上面にウェ
ーハＷを載置するための凹部１８Ａが形成されている。
なお、このインスペクショントレー１８が、前記専用ト
レー１６と異なる点は、インスペクショントレー１８に
は、一対の位置決め用の基準穴２４、２４が形成されて
いる点である。この位置決め用の基準穴２４、２４は、
前記カバーフレーム２２の上面に植設された一対の基準
ピン２６、２６と嵌合するように形成されており、この
基準穴２４を前記基準ピン２６に差し込むことにより、
前記インスペクショントレー１８は、前記カバーフレー
ム２２上の所定の位置に位置決めして載置される。な
お、前記基準ピン２６は、前記基準穴２４を嵌入しやす
いように、上端部分がテーパーカットされている。
専用トレー１６とほぼ同様に形成され、その上面にウェ
ーハＷを載置するための凹部１８Ａが形成されている。
なお、このインスペクショントレー１８が、前記専用ト
レー１６と異なる点は、インスペクショントレー１８に
は、一対の位置決め用の基準穴２４、２４が形成されて
いる点である。この位置決め用の基準穴２４、２４は、
前記カバーフレーム２２の上面に植設された一対の基準
ピン２６、２６と嵌合するように形成されており、この
基準穴２４を前記基準ピン２６に差し込むことにより、
前記インスペクショントレー１８は、前記カバーフレー
ム２２上の所定の位置に位置決めして載置される。な
お、前記基準ピン２６は、前記基準穴２４を嵌入しやす
いように、上端部分がテーパーカットされている。
【００１８】また、前記インスペクショントレー１８
は、その着脱時の利便性を考慮して、先端両側部にツバ
２８、２８が形成されている。オペレータは、前記専用
トレー１６からインスペクショントレー１８を着脱する
際は、このツバ２８、２８を持って、その取り付け又は
取り外しを行う。また、前記カバーフレーム２２には、
その両側部に一対のサイドストッパー２２Ａ、２２Ａが
形成されている。このサイドストッパー２２Ａ、２２Ａ
は、前記カバーフレーム２２上に載置されたインスペク
ショントレー１８の側面部分に当接するように形成され
ており、このサイドストッパー２２Ａが、前記インスペ
クショントレー１８の側面部分に当接することにより、
インスペクショントレー１８は、その横ズレを防止され
る。なお、このサイドストッパー２２Ａは、前記カバー
フレーム２２の両側部の一部を上方に折り曲げて形成さ
れている。
は、その着脱時の利便性を考慮して、先端両側部にツバ
２８、２８が形成されている。オペレータは、前記専用
トレー１６からインスペクショントレー１８を着脱する
際は、このツバ２８、２８を持って、その取り付け又は
取り外しを行う。また、前記カバーフレーム２２には、
その両側部に一対のサイドストッパー２２Ａ、２２Ａが
形成されている。このサイドストッパー２２Ａ、２２Ａ
は、前記カバーフレーム２２上に載置されたインスペク
ショントレー１８の側面部分に当接するように形成され
ており、このサイドストッパー２２Ａが、前記インスペ
クショントレー１８の側面部分に当接することにより、
インスペクショントレー１８は、その横ズレを防止され
る。なお、このサイドストッパー２２Ａは、前記カバー
フレーム２２の両側部の一部を上方に折り曲げて形成さ
れている。
【００１９】以上の構成により専用トレー１６とインス
ペクショントレー１８は、装置本体１０Ａに形成された
取出口３０から引き出し可能に構成され、更にインスペ
クショントレー２８は、専用トレー１６から着脱自在に
構成される。なお、装置本体１０Ａに形成された取出口
３０には、扉３２が開閉自在に取り付けられており、専
用トレー１６の引き出し時以外は、取出口３０を閉じら
れるように構成されている。
ペクショントレー１８は、装置本体１０Ａに形成された
取出口３０から引き出し可能に構成され、更にインスペ
クショントレー２８は、専用トレー１６から着脱自在に
構成される。なお、装置本体１０Ａに形成された取出口
３０には、扉３２が開閉自在に取り付けられており、専
用トレー１６の引き出し時以外は、取出口３０を閉じら
れるように構成されている。
【００２０】前記のごとく構成された本発明に係るウェ
ーハプロービングマシンの実施の形態の作用は次の通り
である。まず、インスペクション作業を行う場合につい
て説明する。オペレータがインスペクション作業を希望
する場合は、装置本体１０Ａに形成されている取出口３
０の扉３２を開け、専用トレー１６を装置本体１０Ａか
ら引き出す。
ーハプロービングマシンの実施の形態の作用は次の通り
である。まず、インスペクション作業を行う場合につい
て説明する。オペレータがインスペクション作業を希望
する場合は、装置本体１０Ａに形成されている取出口３
０の扉３２を開け、専用トレー１６を装置本体１０Ａか
ら引き出す。
【００２１】ここで、インスペクション用のウェーハＷ
が載置されているインスペクショントレー１８は、前記
専用トレー１６上に載置されているので、前記専用トレ
ー１６を装置本体１０Ａから引き出すことにより、その
専用トレー１６と一体的に引き出される。また、この装
置本体１０Ａから引き出されたインスペクショントレー
１８は、専用トレー１６から着脱自在に設けられている
ので、他の測定装置にウェーハＷを運ぶ必要がある場合
は、このインスペクショントレー１８ごとその測定装置
に搬送する。
が載置されているインスペクショントレー１８は、前記
専用トレー１６上に載置されているので、前記専用トレ
ー１６を装置本体１０Ａから引き出すことにより、その
専用トレー１６と一体的に引き出される。また、この装
置本体１０Ａから引き出されたインスペクショントレー
１８は、専用トレー１６から着脱自在に設けられている
ので、他の測定装置にウェーハＷを運ぶ必要がある場合
は、このインスペクショントレー１８ごとその測定装置
に搬送する。
【００２２】このように、インスペクショントレー１８
ごとウェーハＷを搬送することにより、直接ウェーハＷ
を持って搬送する場合に比べ、他の機器等にウェーハＷ
が接触して破損する等の危険を回避することができる。
インスペクション作業が終了したら、ウェーハＷを再び
インスペクショントレー１８上に載置し、そのインスペ
クショントレー１８ごとウェーハプロービングマシン１
０まで搬送する。そして、インスペクショントレー１８
を、再び専用トレー１６上に載置し、専用トレー１６を
装置本体１０Ａ内に戻して、扉３２を閉める。
ごとウェーハＷを搬送することにより、直接ウェーハＷ
を持って搬送する場合に比べ、他の機器等にウェーハＷ
が接触して破損する等の危険を回避することができる。
インスペクション作業が終了したら、ウェーハＷを再び
インスペクショントレー１８上に載置し、そのインスペ
クショントレー１８ごとウェーハプロービングマシン１
０まで搬送する。そして、インスペクショントレー１８
を、再び専用トレー１６上に載置し、専用トレー１６を
装置本体１０Ａ内に戻して、扉３２を閉める。
【００２３】このように、本実施の形態によれば、イン
スペクション作業を簡単かつ安全に行うことができる。
次に、専用トレー１６上に載置されているクリーニング
用のウェーハＷを確認する場合について説明する。装置
の稼働中に、オペレータが専用トレー１６上に載置され
ているクリーニング用のウェーハＷの種類を知りたい場
合がある。このような場合は、装置本体１０Ａに形成さ
れている取出口３０の扉３２を開け、専用トレー１６を
装置本体１０Ａから引き出す。なお、このとき、インス
ペクショントレー１８も専用トレー１６と一体的に引き
出される。
スペクション作業を簡単かつ安全に行うことができる。
次に、専用トレー１６上に載置されているクリーニング
用のウェーハＷを確認する場合について説明する。装置
の稼働中に、オペレータが専用トレー１６上に載置され
ているクリーニング用のウェーハＷの種類を知りたい場
合がある。このような場合は、装置本体１０Ａに形成さ
れている取出口３０の扉３２を開け、専用トレー１６を
装置本体１０Ａから引き出す。なお、このとき、インス
ペクショントレー１８も専用トレー１６と一体的に引き
出される。
【００２４】オペレータは、この引き出した専用トレー
１６からバキュームピンセット等を用いてウェーハＷを
取り出し、その種類を確認する。確認後は、ウェーハＷ
を専用トレー１６に戻し、専用トレー１６を装置本体１
０Ａ内に戻して、扉３２を閉める。このように、本実施
の形態によれば、装置の稼働中であっても簡単に専用ト
レー１６上に載置されているクリーニング用のウェーハ
Ｗの種類を確認することができる。
１６からバキュームピンセット等を用いてウェーハＷを
取り出し、その種類を確認する。確認後は、ウェーハＷ
を専用トレー１６に戻し、専用トレー１６を装置本体１
０Ａ内に戻して、扉３２を閉める。このように、本実施
の形態によれば、装置の稼働中であっても簡単に専用ト
レー１６上に載置されているクリーニング用のウェーハ
Ｗの種類を確認することができる。
【００２５】なお、本実施の形態では、インスペクショ
ントレー１８を着脱自在に構成したが、専用トレー１６
に固定してもよい。また、本実施の形態では、専用トレ
ー１６とインスペクショントレー１８は、共に１枚づつ
で構成されているが、複数枚の専用トレー１６、１８、
…を多段に積み重ねて使用してもよいし、また、複数枚
のインスペクショントレー１８、１８、…を多段に積み
重ねて使用してもよい。
ントレー１８を着脱自在に構成したが、専用トレー１６
に固定してもよい。また、本実施の形態では、専用トレ
ー１６とインスペクショントレー１８は、共に１枚づつ
で構成されているが、複数枚の専用トレー１６、１８、
…を多段に積み重ねて使用してもよいし、また、複数枚
のインスペクショントレー１８、１８、…を多段に積み
重ねて使用してもよい。
【００２６】さらに、本実施の形態では、専用トレー１
６には、プローブニードルをクリーニングするためのク
リーニングウェーハを載置する例で説明したが、専用ト
レー１６には、この他、測定値の相関基準となるコリレ
ーションウェーハを載置してもよいし、また、着脱はで
きないが、第２のインスペクショントレーとして使用し
てもよい。
６には、プローブニードルをクリーニングするためのク
リーニングウェーハを載置する例で説明したが、専用ト
レー１６には、この他、測定値の相関基準となるコリレ
ーションウェーハを載置してもよいし、また、着脱はで
きないが、第２のインスペクショントレーとして使用し
てもよい。
【００２７】また、専用トレー１６を第２のインスペク
ショントレーとして使用する場合は、次のような利用方
法もある。例えば、測定部１４で特有の測定結果がでた
ウェーハ（連続フェイルが発生したウェーハ等）を第２
のインスペクショントレー（専用トレー１６）だけに入
れるように指定しておけば、容易に特定ウェーハの検査
を装置本体外の測定装置で検査できる。インスペクショ
ントレー１８を複数枚設けた場合も同様の方法で利用す
ることができる。
ショントレーとして使用する場合は、次のような利用方
法もある。例えば、測定部１４で特有の測定結果がでた
ウェーハ（連続フェイルが発生したウェーハ等）を第２
のインスペクショントレー（専用トレー１６）だけに入
れるように指定しておけば、容易に特定ウェーハの検査
を装置本体外の測定装置で検査できる。インスペクショ
ントレー１８を複数枚設けた場合も同様の方法で利用す
ることができる。
【００２８】また、本実施の形態では、専用トレー１６
の引き出しは、オペレータが手動で行うようにしている
が、ラックとピニオンギア等により自動で引き出しを行
うことができるように構成してもよい。
の引き出しは、オペレータが手動で行うようにしている
が、ラックとピニオンギア等により自動で引き出しを行
うことができるように構成してもよい。
【００２９】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
多段に積み重ねられたウェーハトレーを装置本体から引
き出し可能に設けることにより、装置稼働中において
も、容易にウェーハトレーに載置されたウェーハを確認
することができる。
多段に積み重ねられたウェーハトレーを装置本体から引
き出し可能に設けることにより、装置稼働中において
も、容易にウェーハトレーに載置されたウェーハを確認
することができる。
【図１】ウェーハプロービングマシンの全体構成を示す
斜視図
斜視図
【図２】専用トレーとインスペクショントレーの斜視図
【図３】図２の正面図
【図４】図２の側面図
１０…ウェーハプロービングマシン １０…装置本体 １２…収納部 １４…測定部 １６…専用トレー １８…インスペクショントレー ２０…スライドレール Ｗ…ウェーハ
Claims (2)
- 【請求項１】 ウェーハが載置される複数のウェーハト
レーを多段に積み重ねて構成するとともに、これらの多
段に積み重ねられて構成されたウェーハトレーのうち少
なくとも１つのウェーハトレーを他のウェーハトレーか
ら着脱自在に設け、該多段に積み重ねられたウェーハト
レーをウェーハプロービングマシンの本体内に収納する
とともに、該ウェーハプロービングマシンの本体から引
き出し可能に設けたことを特徴とするウェーハプロービ
ングマシン。 - 【請求項２】 前記多段に積み重ねられたウェーハトレ
ーのうち１つのウェーハトレーには、インスペクション
用のウェーハを載置し、他のウェーハトレーには、プロ
ーブニードルをクリーニングするクリーニングウェーハ
及び／又は測定値の相関基準となるコリレーションウェ
ーハを載置することを特徴とする請求項１記載のウェー
ハプロービングマシン。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP09124336A JP3099183B2 (ja) | 1997-05-14 | 1997-05-14 | ウェーハプロービングマシン |
| US09/076,109 US6366102B1 (en) | 1997-05-14 | 1998-05-12 | Wafer probing machine |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP09124336A JP3099183B2 (ja) | 1997-05-14 | 1997-05-14 | ウェーハプロービングマシン |
Publications (2)
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|---|---|
| JPH10321680A JPH10321680A (ja) | 1998-12-04 |
| JP3099183B2 true JP3099183B2 (ja) | 2000-10-16 |
Family
ID=14882831
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP09124336A Expired - Fee Related JP3099183B2 (ja) | 1997-05-14 | 1997-05-14 | ウェーハプロービングマシン |
Country Status (2)
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| JP (1) | JP3099183B2 (ja) |
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-
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1998
- 1998-05-12 US US09/076,109 patent/US6366102B1/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
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|---|---|
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