JPH0642505B2 - ウエハの抜取方法 - Google Patents
ウエハの抜取方法Info
- Publication number
- JPH0642505B2 JPH0642505B2 JP4131141A JP13114192A JPH0642505B2 JP H0642505 B2 JPH0642505 B2 JP H0642505B2 JP 4131141 A JP4131141 A JP 4131141A JP 13114192 A JP13114192 A JP 13114192A JP H0642505 B2 JPH0642505 B2 JP H0642505B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- tray
- cassette
- inspection
- inspected
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ウエハの抜取方法に係
り、特にプロービングマシンによる検査済ウエハをイン
スペクション用の為に選択的に抜取るウエハの抜取方法
に関する。
り、特にプロービングマシンによる検査済ウエハをイン
スペクション用の為に選択的に抜取るウエハの抜取方法
に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体の製造工程においては、プロービ
ングマシンによりウエハ上に形成された半導体は検査さ
れ、かつその結果によりウエハ上にマーキングされる。
その後、プロービングマシンによる検査済のウエハは自
動的に全部カセットに収納されるのであるが、この中か
ら一枚のウエハがインスペクション用のために選択的に
取り出される。ここでウエハのインスペクションとはプ
ロービングマシンによる検査の際測定用接触触針が正確
に接触されているか、不合格チップに正しくマーキング
されているかをチェックする作業であって、プロービン
グマシンの取り扱い上不可欠の作業である。
ングマシンによりウエハ上に形成された半導体は検査さ
れ、かつその結果によりウエハ上にマーキングされる。
その後、プロービングマシンによる検査済のウエハは自
動的に全部カセットに収納されるのであるが、この中か
ら一枚のウエハがインスペクション用のために選択的に
取り出される。ここでウエハのインスペクションとはプ
ロービングマシンによる検査の際測定用接触触針が正確
に接触されているか、不合格チップに正しくマーキング
されているかをチェックする作業であって、プロービン
グマシンの取り扱い上不可欠の作業である。
【０００３】従来自動収納形のプロービングマシンにお
いては、第２図に示すように、プロービングマシンによ
る検査済のウエハ１は搬送ベルト２に載せられて図の右
方向に搬送されて、送込機構３に載せられる。ついでウ
エハの送込機構３はその右側に位置するカセット４の所
定の高さの棚まで上下動して、その上に載せられたウエ
ハをその棚に押し込む。以上の動作を繰り返し、ウエハ
収納カセットに検査済ウエハを収納してゆく。
いては、第２図に示すように、プロービングマシンによ
る検査済のウエハ１は搬送ベルト２に載せられて図の右
方向に搬送されて、送込機構３に載せられる。ついでウ
エハの送込機構３はその右側に位置するカセット４の所
定の高さの棚まで上下動して、その上に載せられたウエ
ハをその棚に押し込む。以上の動作を繰り返し、ウエハ
収納カセットに検査済ウエハを収納してゆく。
【０００４】この作業中、検査済ウエハを１枚抜き取っ
てプロービングマシンが正常に動作しているか否かをイ
ンスペクションする時は、収納カセットに送られている
ウエハを抜き出してインスペクションし、検査終了後カ
セットの空いている棚に戻す。
てプロービングマシンが正常に動作しているか否かをイ
ンスペクションする時は、収納カセットに送られている
ウエハを抜き出してインスペクションし、検査終了後カ
セットの空いている棚に戻す。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかし従来の抜取方法
はウエハがカセット内に所定の順序で自動的に収納され
る為、検査終了して空の棚が分るまで抜き取ったウエハ
をどこかに置いて待つ必要があり、作業者に無駄な待ち
時間を必要とさせ、かつカセットに正確に戻すための繁
雑な作業が要求され、作業の合理化に反する。本発明は
この点を改善したものである。
はウエハがカセット内に所定の順序で自動的に収納され
る為、検査終了して空の棚が分るまで抜き取ったウエハ
をどこかに置いて待つ必要があり、作業者に無駄な待ち
時間を必要とさせ、かつカセットに正確に戻すための繁
雑な作業が要求され、作業の合理化に反する。本発明は
この点を改善したものである。
【０００６】
【実施例】第１図において、カセット４の上にチェック
すべきウエハを１枚受け取るためのインスペクション用
トレー５を後述する磁石７を介して着脱自在に別枠に設
ける。そしてプロービングマシンによる検査済でカセッ
トに送り込まれるウエハ１に対して、インスペクション
指令を発することにより、ウエハ送り込み機構３は受け
取ったウエハを保持してインスペクショントレー５の高
さに上下動して、ウエハをトレー５の中に送り込む。そ
して収容完了を表示する。そこでトレー５の上のカバー
６を開いて、トレー上のウエハを取り出して顕微鏡によ
ってインスペクションを行なう。このときピンセットで
ウエハをつまんで出しても良いが、滑り落ちることを防
止するため、トレー５をカバー６から取り出して取り扱
う。
すべきウエハを１枚受け取るためのインスペクション用
トレー５を後述する磁石７を介して着脱自在に別枠に設
ける。そしてプロービングマシンによる検査済でカセッ
トに送り込まれるウエハ１に対して、インスペクション
指令を発することにより、ウエハ送り込み機構３は受け
取ったウエハを保持してインスペクショントレー５の高
さに上下動して、ウエハをトレー５の中に送り込む。そ
して収容完了を表示する。そこでトレー５の上のカバー
６を開いて、トレー上のウエハを取り出して顕微鏡によ
ってインスペクションを行なう。このときピンセットで
ウエハをつまんで出しても良いが、滑り落ちることを防
止するため、トレー５をカバー６から取り出して取り扱
う。
【０００７】そしてインスペクションが終わった所で再
びトレー５に納めて、インスペクション終了の信号を入
れる。そこでウエハ送り込み機構３はトレー５からウエ
ハを受け取って、そのウエハが入るために空にして置い
たカセットの棚にウエハを押し込む。なお第３図、第４
図に取り出し可能のトレーの一例を示す。ここでは径の
相違するウエハを滑り落とすことなく安定して保持取り
扱うことができるように径に対応した段が付けられ、固
定部との間に磁石７をもって着脱自在にセットされるよ
うにする。トレーには中心に向かって切り欠け９を有
し、ここからピンセットをもってウエハを挟むこともで
きる。ハンドル１０はカバー６内からトレーを引き出し
てインスペクションを行なう時に用いる。
びトレー５に納めて、インスペクション終了の信号を入
れる。そこでウエハ送り込み機構３はトレー５からウエ
ハを受け取って、そのウエハが入るために空にして置い
たカセットの棚にウエハを押し込む。なお第３図、第４
図に取り出し可能のトレーの一例を示す。ここでは径の
相違するウエハを滑り落とすことなく安定して保持取り
扱うことができるように径に対応した段が付けられ、固
定部との間に磁石７をもって着脱自在にセットされるよ
うにする。トレーには中心に向かって切り欠け９を有
し、ここからピンセットをもってウエハを挟むこともで
きる。ハンドル１０はカバー６内からトレーを引き出し
てインスペクションを行なう時に用いる。
【０００８】なお本装置の制御は電機装置によって行な
われ、トレーが所定の位置にセットされており、かつト
レー上にウエハが存在していないことを電気的に確認し
たときインスペクション指令がウエハのトレーへの送り
込みを作動指令する。またインスペクションが終了し
て、トレーにウエハが載った状態でインスペクション終
了の指令がインスペクション済ウエハの棚入れ作動の指
令を行なう。
われ、トレーが所定の位置にセットされており、かつト
レー上にウエハが存在していないことを電気的に確認し
たときインスペクション指令がウエハのトレーへの送り
込みを作動指令する。またインスペクションが終了し
て、トレーにウエハが載った状態でインスペクション終
了の指令がインスペクション済ウエハの棚入れ作動の指
令を行なう。
【０００９】なお、上記の説明においてはカセットを固
定して、送り込み機構３が上下動する場合について述べ
たカセットを上下動し、送り込み機構が固定状態にある
場合もまったく同じである。
定して、送り込み機構３が上下動する場合について述べ
たカセットを上下動し、送り込み機構が固定状態にある
場合もまったく同じである。
【００１０】
【発明の効果】この発明により、ウエハのサンプル取り
出しが簡単になり、インスペクションの終わったウエハ
は直ちに定位置に戻され、自動的に決められた棚に押し
込まれる。そのため従来のように待ち時間の浪費がな
く、ウエハの収容順序も間違いがなく、以後の工程に関
する管理が連続して可能となる。
出しが簡単になり、インスペクションの終わったウエハ
は直ちに定位置に戻され、自動的に決められた棚に押し
込まれる。そのため従来のように待ち時間の浪費がな
く、ウエハの収容順序も間違いがなく、以後の工程に関
する管理が連続して可能となる。
【図１】図１は本発明の収容部の構成をなす説明図
【図２】図２は従来技術の説明図
【図３】図３はインスペクショントレーの断面図
【図４】図４はその平面図
１…ウエハ ２…搬送ベルト ３…ウエハ送り込み機構 ４…カセット ５…インスペクショントレー ６…カバー
Claims (1)
- 【請求項１】 ウエハ上の半導体チップを検査するプロ
ービングマシンのウエハをカセットに収容する方法にお
いて、 プロービングマシンでウエハ上の半導体を検査する工程
と、 検査済のウエハをカセットに向けて搬送し、カセットに
収納する工程と、 インスペクション指令に基づいて検査済のウエハをカセ
ットに併設されたトレーに収納する工程と、 トレー内のウエハを取り出してインスペクションを行な
う工程と、 インスペクション済のウエハをトレーに戻す工程と、 トレーのウエハをカセットに搬送する工程、とにより構
成されるウエハの抜取方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4131141A JPH0642505B2 (ja) | 1992-05-22 | 1992-05-22 | ウエハの抜取方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4131141A JPH0642505B2 (ja) | 1992-05-22 | 1992-05-22 | ウエハの抜取方法 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7179981A Division JP2500006B2 (ja) | 1995-07-17 | 1995-07-17 | ウエハの抜取装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05175292A JPH05175292A (ja) | 1993-07-13 |
| JPH0642505B2 true JPH0642505B2 (ja) | 1994-06-01 |
Family
ID=15050959
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4131141A Expired - Fee Related JPH0642505B2 (ja) | 1992-05-22 | 1992-05-22 | ウエハの抜取方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0642505B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011060898A (ja) * | 2009-09-08 | 2011-03-24 | Disco Abrasive Syst Ltd | ワーク収納カセット |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59175740A (ja) * | 1983-03-25 | 1984-10-04 | Telmec Co Ltd | ウエハ検出装置 |
| JPS59139642A (ja) * | 1984-01-23 | 1984-08-10 | Hitachi Ltd | ウエ−ハ検査装置 |
| JPS60239036A (ja) * | 1984-05-12 | 1985-11-27 | Yoshie Hasegawa | 半導体ウエハプロ−バ |
-
1992
- 1992-05-22 JP JP4131141A patent/JPH0642505B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05175292A (ja) | 1993-07-13 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |