JP2627787B2 - プロービング機のクリーニングウェハ収容装置 - Google Patents
プロービング機のクリーニングウェハ収容装置Info
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- JP2627787B2 JP2627787B2 JP20970288A JP20970288A JP2627787B2 JP 2627787 B2 JP2627787 B2 JP 2627787B2 JP 20970288 A JP20970288 A JP 20970288A JP 20970288 A JP20970288 A JP 20970288A JP 2627787 B2 JP2627787 B2 JP 2627787B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- cleaning
- cleaning wafer
- storage device
- cassette
- Prior art date
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Description
【発明の詳細な説明】 ＜産業上の利用分野＞ この発明は半導体製造の工程において、ウエハ上に構
成された電子回路の性能を検査するプロービング機にお
いて、ウエハ上の回路の電極に接触する触針先端をクリ
ーニングするため、セラミックの板等の一般にクリーニ
ングウエハと称せられるものを収容するクリーニングウ
エハの収容装置に係るものである。
成された電子回路の性能を検査するプロービング機にお
いて、ウエハ上の回路の電極に接触する触針先端をクリ
ーニングするため、セラミックの板等の一般にクリーニ
ングウエハと称せられるものを収容するクリーニングウ
エハの収容装置に係るものである。
＜従来技術＞ 触針の接触不良が発生したとき、プロービング機のウ
エハ搬送経路外の領域に待機させてあるクリーニングウ
エハをウエハ搬送経路に送り出しプロービング部に設置
し、触針先端にクリーニングウエハを押し付けることに
より針先のリフレッシュを行なう。このときには正常の
検査を中止して、人手をもってウエハの代わりにクリー
ニングウエハをウエハテーブル上に送り出し、触針をク
リーニングウエハ上で上下動させるクリーニング操作を
行ない、操作後はクリーニングウエハの取出しを行なっ
ていた。クリーニング作業中は通常作業を休止するた
め、作業能率が低下していた。又、上記作業を自動化す
るためにはプロービング機上の別エリアにクリーニング
ウエハの収納装置を設ける必要があり、そのためには、
新たなエレベータ機構あるいは、クリーニングウエハを
通常検査のためのウエハ搬送路に送り出し回収するため
のローダ、アンローダ等、別な装置を設置する必要があ
り、該装置を設置するためのスペースが問題となってい
た。
エハ搬送経路外の領域に待機させてあるクリーニングウ
エハをウエハ搬送経路に送り出しプロービング部に設置
し、触針先端にクリーニングウエハを押し付けることに
より針先のリフレッシュを行なう。このときには正常の
検査を中止して、人手をもってウエハの代わりにクリー
ニングウエハをウエハテーブル上に送り出し、触針をク
リーニングウエハ上で上下動させるクリーニング操作を
行ない、操作後はクリーニングウエハの取出しを行なっ
ていた。クリーニング作業中は通常作業を休止するた
め、作業能率が低下していた。又、上記作業を自動化す
るためにはプロービング機上の別エリアにクリーニング
ウエハの収納装置を設ける必要があり、そのためには、
新たなエレベータ機構あるいは、クリーニングウエハを
通常検査のためのウエハ搬送路に送り出し回収するため
のローダ、アンローダ等、別な装置を設置する必要があ
り、該装置を設置するためのスペースが問題となってい
た。
＜本発明における問題解決方法＞ 本発明においては、ウエハとほぼ同形のクリーニング
ウエハを使用し、これをエレベータの載置台の下に収容
して通常のエレベータ上下動よりクリーニングウエハの
収容装置の厚み分だけ上下動のストロークを伸ばし、通
常のウエハの供給、回収のコースに従ってクリーニング
ウエハを取扱うようにしたため、プロービング機上の別
エリアにクリーニングウエハの収納装置を設けた場合必
要となる、新たなエレベータ機構あるいは、クリーニン
グウエハを通常検査のためのウエハ搬送路に送り出し回
収するためのローダ、アンローダ等、別な装置を設置す
る必要がなく、クリーニングウエハの収容装置の厚み分
だけ、該エレベータのストロークを伸ばすことによりク
リーニング操作の自動化が可能となり、安価で容易に能
率よくウエハのクリーニング作業を行うことができるよ
うになった。又、ウエハ収容カセットを交換する時にも
関係なく、常時クリーニングウエハはクリーニングウエ
ハの収納装置に待機していて、必要時に直ちにクリーニ
ング作業が行える状態になっている。
ウエハを使用し、これをエレベータの載置台の下に収容
して通常のエレベータ上下動よりクリーニングウエハの
収容装置の厚み分だけ上下動のストロークを伸ばし、通
常のウエハの供給、回収のコースに従ってクリーニング
ウエハを取扱うようにしたため、プロービング機上の別
エリアにクリーニングウエハの収納装置を設けた場合必
要となる、新たなエレベータ機構あるいは、クリーニン
グウエハを通常検査のためのウエハ搬送路に送り出し回
収するためのローダ、アンローダ等、別な装置を設置す
る必要がなく、クリーニングウエハの収容装置の厚み分
だけ、該エレベータのストロークを伸ばすことによりク
リーニング操作の自動化が可能となり、安価で容易に能
率よくウエハのクリーニング作業を行うことができるよ
うになった。又、ウエハ収容カセットを交換する時にも
関係なく、常時クリーニングウエハはクリーニングウエ
ハの収納装置に待機していて、必要時に直ちにクリーニ
ング作業が行える状態になっている。
＜実施例＞ 第１図において、検査されるウエハはカセット２に多
数枚横にして棚に入れられて供給され、プローバの供給
位置のエレベータの載置台３にセットされ、カセットか
ら順次１枚ずつ押出し板によってベルト８の上に送り出
される。なお検査終了のウエハは供給中のカセットの空
の棚に入れられ、１つのカセットが終了するとカセット
を人手により、もしくは自動的に交換する方式が取られ
ている。本発明においては、ウエハとほぼ同形のクリー
ニングウエハを使用し、これをエレベータの載置台３の
下にクリーニングウエハ５の収容箱７を設けて、通常の
エレベータ上下動よりクリーニングウエハの収容装置の
厚み分だけ上下動のストロークを伸ばし、通常のウエハ
の供給、回収のコースに従ってクリーニングウエハを取
扱う。
数枚横にして棚に入れられて供給され、プローバの供給
位置のエレベータの載置台３にセットされ、カセットか
ら順次１枚ずつ押出し板によってベルト８の上に送り出
される。なお検査終了のウエハは供給中のカセットの空
の棚に入れられ、１つのカセットが終了するとカセット
を人手により、もしくは自動的に交換する方式が取られ
ている。本発明においては、ウエハとほぼ同形のクリー
ニングウエハを使用し、これをエレベータの載置台３の
下にクリーニングウエハ５の収容箱７を設けて、通常の
エレベータ上下動よりクリーニングウエハの収容装置の
厚み分だけ上下動のストロークを伸ばし、通常のウエハ
の供給、回収のコースに従ってクリーニングウエハを取
扱う。
クリーニングの必要の際はクリーニングウエハ５の収
容箱７を押出し板４の位置まで上昇させて、クリーニン
グウエハ５を押出し板４により受取りベルト８に送り出
し、普通のウエハと同じ経路を通り吸着搬送器９により
ウエハテーブル上にセットし、検査用触針の下の位置に
まで送り、触針の下でテーブルの上下動を行なってクリ
ーニング操作を実施する。そして再びウエハ供給位置
に、普通のウエハの経路によって再びウエハ供給位置に
戻してクリーニングウエハ収容箱７に入れる。
容箱７を押出し板４の位置まで上昇させて、クリーニン
グウエハ５を押出し板４により受取りベルト８に送り出
し、普通のウエハと同じ経路を通り吸着搬送器９により
ウエハテーブル上にセットし、検査用触針の下の位置に
まで送り、触針の下でテーブルの上下動を行なってクリ
ーニング操作を実施する。そして再びウエハ供給位置
に、普通のウエハの経路によって再びウエハ供給位置に
戻してクリーニングウエハ収容箱７に入れる。
ここでクリーニングウエハは収容箱から、ウエハと同
じコースを通ってテーブルに載せられ、かつ収容のコー
スを通って収容されるので、通常のウエハとほぼ同形で
あることが望ましい。
じコースを通ってテーブルに載せられ、かつ収容のコー
スを通って収容されるので、通常のウエハとほぼ同形で
あることが望ましい。
＜効果＞ これによってクリーニング操作が自動で行なうことが
可能となり、無人化稼動が可能となった。又、クリーニ
ングウエハをエレベータのカセット台の下に収容したた
め、プロービング機の作業領域を小さくすることができ
た。
可能となり、無人化稼動が可能となった。又、クリーニ
ングウエハをエレベータのカセット台の下に収容したた
め、プロービング機の作業領域を小さくすることができ
た。
第１図は本発明を実施するための装置の概要を示す説明
図である。 １…ウエハ、２…カセット、３…エレベータの載置台 ４…押出し板、５…クリーニングウエハ、８…受取りコ
ンベアベルト ９…ウエハ吸着搬送装置、７…クリーニングウエハ収容
箱
図である。 １…ウエハ、２…カセット、３…エレベータの載置台 ４…押出し板、５…クリーニングウエハ、８…受取りコ
ンベアベルト ９…ウエハ吸着搬送装置、７…クリーニングウエハ収容
箱
Claims (1)
- 【請求項１】検査されるべきウエハを多数枚横にして収
容したウエハ収容カセットを載置して該カセットの上下
動により該検査されるべきウエハを検査位置に送り出す
エレベータ装置の該カセット載置台の下に該エレベータ
の上下動と同期して上下動するクリーニングウエハを収
容する収容箱を設けたことを特徴とするプロービング機
のクリーニングウエハ収容装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20970288A JP2627787B2 (ja) | 1988-08-24 | 1988-08-24 | プロービング機のクリーニングウェハ収容装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20970288A JP2627787B2 (ja) | 1988-08-24 | 1988-08-24 | プロービング機のクリーニングウェハ収容装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0258348A JPH0258348A (ja) | 1990-02-27 |
| JP2627787B2 true JP2627787B2 (ja) | 1997-07-09 |
Family
ID=16577222
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20970288A Expired - Fee Related JP2627787B2 (ja) | 1988-08-24 | 1988-08-24 | プロービング機のクリーニングウェハ収容装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2627787B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6672819B1 (en) | 1995-07-19 | 2004-01-06 | Hitachi, Ltd. | Vacuum processing apparatus and semiconductor manufacturing line using the same |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58185465A (ja) * | 1982-04-21 | 1983-10-29 | 株式会社豊田中央研究所 | 耐水性無機材料 |
| JPS6092836U (ja) * | 1983-11-30 | 1985-06-25 | 安藤電気株式会社 | クリーニングウェハの保持機構 |
| JPS61116095A (ja) * | 1984-11-09 | 1986-06-03 | Hitachi Ltd | 扇風機 |
| JPS61228611A (ja) * | 1985-04-03 | 1986-10-11 | Canon Inc | ウエハ処理装置 |
-
1988
- 1988-08-24 JP JP20970288A patent/JP2627787B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0258348A (ja) | 1990-02-27 |
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Legal Events
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