JPH0964148A - ウェーハリングの供給・返送装置 - Google Patents

ウェーハリングの供給・返送装置

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JPH0964148A
JPH0964148A JP7232109A JP23210995A JPH0964148A JP H0964148 A JPH0964148 A JP H0964148A JP 7232109 A JP7232109 A JP 7232109A JP 23210995 A JP23210995 A JP 23210995A JP H0964148 A JPH0964148 A JP H0964148A
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wafer ring
wafer
ring
cassette
claw
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JP7232109A
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Osamu Nakamura
修 中村
Shigeru Ichikawa
茂 市川
Tsuneharu Arai
常晴 荒井
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Shinkawa Ltd
Original Assignee
Shinkawa Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【課題】センサの数を極力少なくし、また即座に搬送ミ
スが検知できる。 【解決手段】ウェーハリングカセット１０とペレットピ
ックアップ装置２０とにウェーハリング１を搬送するウ
ェーハリング搬送手段３５の上爪４５及び下爪４６のい
ずれか一方には、ウェーハリング１を検知するセンサ４
７を設けた。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はウェーハリングの供
給・返送装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、ウェーハリングの供給・返送装置
として、例えば特開昭６２−１０６６４２号公報に記載
のものがある。この装置は、ウェーハリングを一定ピッ
チで収納するウェーハリングカセットと、このウェーハ
リングカセットを上下動させるエレベータ装置と、ウェ
ーハリングカセットに収納されたウェーハリングを１個
ずつ搬送してペレットピックアップ装置に供給すると共
に、半導体ペレットがピックアップされた後の使用済ウ
ェーハリングを前記ウェーハリングカセットの空になっ
ている収納部に返送するウェーハリング搬送手段と、こ
のウェーハリング搬送手段によって搬送されるウェーハ
リングの両側端部を案内する一対のガイドレールとを備
えている。なお、ウェーハリングには、ウェーハシート
の外周部が取付けられ、ウェーハシートには半導体ペレ
ットがＸＹ方向に整列して貼り付けられている。
【０００３】そこで、ウェーハリングカセット内のウェ
ーハリングは、ウェーハリング搬送手段の上爪と下爪と
でクランプして搬送され、ペレットピックアップ装置に
供給される。ペレットピックアップ装置で半導体ペレッ
トがピックアップされた後の使用済ウェーハリングは、
再びウェーハリング搬送手段の上爪と下爪とでクランプ
して搬送され、ウェーハリングカセットの空になってい
る収納部に返送される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、かかるウェ
ーハリングの供給・返送装置においては、次のような場
合に搬送ミスが生じる恐れがある。ウェーハリングを上
爪と下爪とで確実にクランプしなかった場合。搬送途中
でウェーハリングが上爪と下爪とから抜けた場合。ペレ
ットピックアップ装置にウェーハリングを供給した後、
上爪及び下爪の開きが悪くてウェーハリングをクランプ
したまま上爪及び下爪がペレットピックアップ装置より
離れた場合。ウェーハリングカセットの複数個の収納部
の内の１つにたまたまウェーハリングが収納されていな
かった場合。
【０００５】上記従来技術には、前記したような搬送ミ
スについては何ら配慮されていないが、ウェーハリング
が確実に搬送されたか否かを確認するには、次のような
手段を採る必要がある。ウェーハリングカセットの収納
口部、ウェーハリングカセットとペレットピックアップ
装置間の搬送途中部、ペレットピックアップ装置部、ペ
レットピックアップ装置より上爪及び下爪が離れる位置
等のそれぞれの部分にウェーハリング検出用のセンサを
設ける必要がある。しかし、このような手段は、非常に
多くのセンサを必要とする。
【０００６】本発明の課題は、センサの数を極力少なく
し、また即座に搬送ミスが検知できるウェーハリングの
供給・返送装置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の本発明の手段は、ペレットが貼付けられたウェーハシ
ートが粘着固定されたウェーハリングを一定ピッチで収
納するウェーハリングカセットと、このウェーハリング
カセットを上下動させるエレベータ装置と、ウェーハリ
ングをクランプする上爪及び下爪を有し、ウェーハリン
グカセットに収納されたウェーハリングを１個ずつ搬送
してペレットピックアップ装置に供給すると共に、半導
体ペレットがピックアップされた後の使用済ウェーハリ
ングを前記ウェーハリングカセットの空になっている収
納部に返送するウェーハリング搬送手段とを備えたウェ
ーハリングの供給・返送装置において、前記ウェーハリ
ング搬送手段の前記上爪及び下爪のいずれか一方には、
ウェーハリングを検知するセンサを設けたことを特徴と
する。
【０００８】
【発明の実施の形態】発明の実施の形態を図１乃至図３
により説明する。ウェーハリング１をウェーハリングカ
セット１０からペレットピックアップ装置２０に、また
ペレットピックアップ装置２０からウェーハリングカセ
ット１０に移送するウェーハリング搬送手段３５には、
ウェーハリング１をクランプする上爪４５及び下爪４６
が設けられている。上爪４５には、ウェーハリング１の
有無を検知するファイバセンサ４７が設けられている。
なお、ファイバセンサ４７は下爪４６に設けてもよい。
【０００９】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図１乃至図５によ
り説明する。図１及び図２に示すように、ウェーハリン
グ１には、ウェーハシート２の外周部が取付けられ、ウ
ェーハシート２には半導体ペレット３群がＸＹ方向に整
列して貼り付けられている。本実施例は、ウェーハリン
グ１を収納しるウェーハリングカセット１０と、このウ
ェーハリングカセット１０を上下動させるエレベータ装
置１３と、ウェーハリングカセット１０内のウェーハリ
ング１を押し出すプッシャ手段１６と、ウェーハリング
カセット１０の収納口１１側に一定距離離れて配設され
たペレットピックアップ装置２０と、前記ウェーハリン
グカセット１０内の未使用のウェーハリング１を１個ず
つ搬送してペレットピックアップ装置２０に供給すると
共に、半導体ペレット３がピックアップされた後の使用
済ウェーハリング１をウェーハリングカセット１０の空
になっている収納部１２に返送するウェーハリング搬送
手段３５と、このウェーハリング搬送手段３５による搬
送時にウェーハリング１を案内するウェーハリングガイ
ド手段６５とからなっている。以下、各手段の構造につ
いて説明する。
【００１０】まず、ウェーハリングカセット１０、エレ
ベータ装置１３及びプッシャ手段１６の構造について説
明する。これらウェーハリングカセット１０、エレベー
タ装置１３及びプッシャ手段１６は、従来周知の構造で
あるので簡単に説明する。ウェーハリングカセット１０
は、上下方向（Ｚ方向）に複数の収納部１２を所定ピッ
チで備えており、各収納部１２にはウェーハリング１が
収納されている。エレベータ装置１３は、ウェーハリン
グカセット１０を位置決め載置するエレベータ部１４を
有し、エレベータ部１４は、図示しないモータで回転駆
動されるねじ軸１５に螺合している。プッシャ手段１６
は、エアシリンダよりなり、ウェーハリングカセット１
０に収納されたウェーハリング１を作動ロッド１６ａで
収納口１１から押し出すように、ウェーハリング搬送レ
ベル１７に配設されている。
【００１１】次にペレットピックアップ装置２０につい
て説明する。このペレットピックアップ装置２０も従来
周知の構造であるので簡単に説明する。基板２１上には
ＸＹ方向に駆動させられるＸＹテーブル２２が設けら
れ、ＸＹテーブル２２上には支持板２３が固定されてい
る。支持板２３上には、ウェーハリング１よりも小さい
円環部２４ａを有するウェーハリング支持リング２４が
設けられている。またウェーハリング支持リング２４の
上方には、図示しない上下駆動手段で上下方向（Ｚ方
向）に駆動されるチャックリング２５が配設されてい
る。ピックアップ位置２６の上方側には、図示しない上
下駆動手段及びＸＹテーブルでＺ方向及びＸＹ方向に移
動させられる吸着ノズル２７が配設され、ピックアップ
位置２６の下方側には、図示しない上下駆動手段でＺ方
向に移動させられるニードル２８が配設されている。
【００１２】次にウェーハリング搬送手段３５の構造に
ついて説明する。基板２１上には支持板３６、３７が固
定されており、支持板３６、３７の上端部には、Ｘ方向
に伸びたガイドレール３８が固定されている。ガイドレ
ール３８にはスライダ３９が摺動自在に嵌挿されてお
り、スライダ３９には上方に伸びた支持棒４０が固定さ
れている。支持棒４０の上端部には支持ブロック４１が
固定され、支持ブロック４１にはＹ方向に伸びた支持棒
４２が固定されている。支持棒４２の先端部には爪ホル
ダ４３が固定され、爪ホルダ４３には図３に示すように
エアシリンダ４４が固定されている。エアシリンダ４４
の作動ロッド４４ａには上爪４５が固定され、この上爪
４５の下面に対向して爪ホルダ４３には下爪４６が固定
されている。上爪４５のクランプ部４５ａにはファイバ
センサ４７が固定されている。下爪４６には、前記クラ
ンプ部４５ａに対向した部分に溝４６ａが設けられてい
る。
【００１３】前記支持板３６のガイドレール３８の下方
にはプーリ軸５０が回転自在に支承されている。プーリ
軸５０には２個のプーリ５１、５２が固定されている。
前記支持板３７には、前記プーリ軸５０に対応してプー
リ軸５３が回転自在に支承され、プーリ軸５３には前記
プーリ５１に対応してプーリ５４が固定されている。前
記基板２１にはモータ５５が固定され、モータ５５の出
力軸にはプーリ５６が固定されている。そして、プーリ
５１、５４、５６には搬送ベルト５７が掛けられ、搬送
ベルト５７の上端部の一部は前記スライダ３９に固定さ
れている。またプーリ５２と５６にはベルト５８が掛け
られている。
【００１４】最後にウェーハリングガイド手段６５の構
造を図１乃至図５（特に図４及び図５参照）により説明
する。前記ウェーハリングカセット１０の前記ペレット
ピックアップ装置２０側には、枠体６６が配設されてい
る。枠体６６の上端部には、ウェーハリング搬送レベル
１７より僅かに下方でＹ方向に伸びた回転軸６７が回転
自在に支承されており、回転軸６７にはガイドレール支
持板６８が固定されている。ガイドレール支持板６８上
には、ウェーハリング１の両側端部を案内する一対のガ
イドレール６９、７０が固定されている。ここで、ガイ
ドレール６９、７０が水平状態の時、ガイドレール６
９、７０の搬送面６９ａ、７０ａはウェーハリング搬送
レベル１７に位置するようになっている。前記回転軸６
７の側板６６ａより突出した部分には、クランクレバー
７１が固定されている。側板６６ａの下方側には、エア
シリンダ支持ブロック７２が固定され、エアシリンダ支
持ブロック７２にはエアシリンダ７３が回転自在に支承
されている。エアシリンダ７３の作動ロッド７３ａに
は、連結具７４が固定され、連結具７４は前記クランク
レバー７１に回転自在に連結されている。
【００１５】次に作用について説明する。エレベータ装
置１３のねじ軸１５が回転すると、エレベータ部１４及
びウェーハリングカセット１０が上下動する。これによ
り、ウェーハリングカセット１０の対応する収納部１２
は、ウェーハリング搬送レベル１７に位置する。この
時、ウェーハリングガイド手段６５のガイドレール６
９、７０は水平状態にある。次に上爪４５は開いた状態
でウェーハリング搬送手段３５のスライダ３９はウェー
ハリングカセット１０側に位置し、上爪４５は図１の左
方に２点鎖線で示すようにウェーハリング１の上方に位
置する。そこで、プッシャ手段１６が作動して作動ロッ
ド１６ａが前進し、ウェーハリングカセット１０内のウ
ェーハリング１を押し、ウェーハリング１は上爪４５と
下爪４６間に供給される。これにより、下爪４６の溝４
６ａはウェーハリング１で塞がれるので、ファイバセン
サ４７の光は遮断され、ファイバセンサ４７はオン信号
を出力する。このオン信号によりエアシリンダ４４が作
動して作動ロッド４４ａが下降し、上爪４５と下爪４６
とでウェーハリング１の端部をクランプする。
【００１６】次にモータ５５が矢印Ａ方向に正回転し、
プーリ５６によって搬送ベルト５７が矢印Ｂ方向（図１
の右方向）に移動し、スライダ３９がガイドレール３８
に沿って同方向に移動する。これにより、ウェーハリン
グ１はウェーハリングガイド手段６５の一対のガイドレ
ール６９、７０に案内されてペレットピックアップ装置
２０に向けて搬送される。ウェーハリング１がペレット
ピックアップ装置２０のウェーハリング支持リング２４
の中心位置２９に達するとモータ５５の回転は一時停止
する。次にエアシリンダ４４が前記と逆方向に引っ込
み、ウェーハリング１のクランプを解除する。続いてモ
ータ５５が再度正回転し、上爪４５及び下爪４６はスラ
イダ３９の下降により図１に２点鎖線で示すようにウェ
ーハリング支持リング２４の右方に位置させられる。こ
れにより、ウェーハリング１はウェーハリング支持リン
グ２４上に載置される。
【００１７】またウェーハリング１がウェーハリング支
持リング２４上に移動すると、ウェーハリングガイド手
段６５のエアシリンダ７３が作動して作動ロッド７３ａ
が引っ込む。これにより、図４の状態よりクランクレバ
ー７１及び回転軸６７が矢印Ｃ方向に回動し、一対のガ
イドレール６９、７０も同方向に回動し、図５に示すよ
うに垂直状態となる。
【００１８】前記したように、ウェーハリング支持リン
グ２４上にウェーハリング１が載置されると、ウェーハ
リング支持リング２４が図示しない駆動手段で下降して
ウェーハリング１を下方に押し下げる。これにより、ウ
ェーハシート２が引き伸ばされ、ウェーハリング１に貼
り付けられた半導体ペレット３間に一定の間隔が形成さ
れる。次にＸＹテーブル２２が駆動してピックアップさ
れる半導体ペレット３がピックアップ位置２６に位置決
めされる。その後、ニードル２８が上昇して半導体ペレ
ット３を突き上げ、また吸着ノズル２７が下降してピッ
クアップ位置２６に位置させられた半導体ペレット３を
吸着してピックアップする。半導体ペレット３を吸着保
持した吸着ノズル２７は上昇、ＸＹ方向に移動及び下降
させられ、図示しない半導体ペレット位置決め部又はボ
ンデイング位置に半導体ペレット３を載置し、再びピッ
クアップ位置２６に移動する。
【００１９】このようにしてピックアップ位置２６に位
置決めされた半導体ペレット３がピックアップされる
と、ＸＹテーブル２２が駆動して次にピックアップされ
る半導体ペレット３がピックアップ位置２６に位置決め
される。このようにして、半導体ペレット３が吸着ノズ
ル２７より順次ピックアップされ、ウェーハシート２上
の全ての半導体ペレット３のピックアップが完了する
と、ウェーハリング１は、使用済ウェーハリングとして
再びウェーハリングカセット１０に返送される。
【００２０】次に使用済ウェーハリング１の返送につい
て説明する。ＸＹテーブル２２が駆動され、ペレットピ
ックアップ装置２０は初期位置（ウェーハリング１が供
給される場合の位置）に移動する。チャックリング２５
が上昇してウェーハリング１をウェーハリング支持リン
グ２４上に持ち上げる。次にエアシリンダ７３が前記と
逆方向に作動して作動ロッド７３ａが突出し、クランク
レバー７１、回転軸６７が前記と逆方向に回動してガイ
ドレール６９、７０は図３に示すように水平状態とな
る。また上爪４５、下爪４６が開状態でモータ５５が前
記と逆方向に回転して図１の左方向に移動させられ、上
爪４５と下爪４６間に使用済ウェーハリング１の端部が
位置させられる。この時、上爪４５と下爪４６間にウェ
ーハリング１が存在するか否かはファイバセンサ４７に
よって検出される。続いてエアシリンダ４４の作動ロッ
ド４４ａが作動して下降し、ウェーハリング１は上爪４
５と下爪４６とでクランプされる。
【００２１】次にモータ５５が再び作動してスライダ３
９が図１の左方に移動して上爪４５及び下爪４６にクラ
ンプされた使用済ウェーハリング１は、ガイドレール６
９、７０に案内されてウェーハリングカセット１０の空
の収納部１２内に移送される。その後、エアシリンダ４
４が作動して作動ロッド４４ａが引っ込み、上爪４５は
ウェーハリング１を開放する。これにより、使用済ウェ
ーハリング１は収納部１２内に収納される。このように
して、１つのウェーハリング１の供給・返送が完了する
と、エレベータ装置１３のエレベータ部１４の下降動作
によりウェーハリングカセット１０が１ピッチ下降させ
られ、次に供給される未使用のウェーハリング１がウェ
ーハリング搬送レベル１７に位置決めされる。そして、
前記したような一連の動作により、該ウェーハリング１
の供給・返送が行なわれる。
【００２２】このように、本実施例においては、ウェー
ハリング１をクランプして搬送するウェーハリング搬送
手段３５の上爪４５にファイバセンサ４７を設けたの
で、ウェーハリング１をクランプしなかった場合、また
上爪４５及び下爪４６よりウェーハリング１が抜けた場
合、また上爪４５及び下爪４６がウェーハリング１を開
放しなかった場合などの時は、即座にウェーハリング１
の搬送ミスが判明する。なお、上記実施例は、上爪４５
にファイバセンサ４７を設けたが、下爪４６にファイバ
センサ４７を設けてもよい。またセンサとしてファイバ
センサ４７を設けたが、一般的な反射型センサでもよ
い。
【００２３】
【発明の効果】本発明によれば、ウェーハリング搬送手
段の上爪及び下爪のいずれか一方には、ウェーハリング
を検知するセンサを設けたので、センサの数は１個でよ
く、また即座に搬送ミスが検知できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のウェーハリングの供給・返送装置の一
実施例を示す一部断面正面図である。
【図２】図１の平面図である。
【図３】ウェーハリングをクランプする上爪及び下爪部
分を示し、（ａ）は一部断面正面図、（ｂ）は底面図で
ある。
【図４】ガイドレールが水平状態にあるウェーハリング
ガイド手段を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は正面図、
（ｃ）は右側面図である。
【図５】ガイドレールが垂直状態にあるウェーハリング
ガイド手段を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は正面図、
（ｃ）は右側面図である。
【符号の説明】
１ ウェーハリング ３ 半導体ペレット １０ ウェーハリングカセット １２ 収納部 １３ エレベータ装置 １７ ウェーハリング搬送レベル ２０ ペレットピックアップ装置 ３５ ウェーハリング搬送手段 ３９ スライダ ４４ エアシリンダ ４５ 上爪 ４６ 下爪 ４７ ファイバセンサ ５７ 搬送ベルト ６５ ウェーハリングガイド手段 ６６ 枠体 ６７ 回転軸 ６９、７０ ガイドレール ７３ エアシリンダ

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 ペレットが貼付けられたウェーハシート
    が粘着固定されたウェーハリングを一定ピッチで収納す
    るウェーハリングカセットと、このウェーハリングカセ
    ットを上下動させるエレベータ装置と、ウェーハリング
    をクランプする上爪及び下爪を有し、ウェーハリングカ
    セットに収納されたウェーハリングを１個ずつ搬送して
    ペレットピックアップ装置に供給すると共に、半導体ペ
    レットがピックアップされた後の使用済ウェーハリング
    を前記ウェーハリングカセットの空になっている収納部
    に返送するウェーハリング搬送手段とを備えたウェーハ
    リングの供給・返送装置において、前記ウェーハリング
    搬送手段の前記上爪及び下爪のいずれか一方には、ウェ
    ーハリングを検知するセンサを設けたことを特徴とする
    ウェーハリングの供給・返送装置。
  2. 【請求項２】 前記ウェーハリング搬送手段は、モータ
    によって駆動される搬送ベルトを有し、この搬送ベルト
    によって前記上爪及び下爪は移動させられることを特徴
    とする請求項１記載のウェーハリングの供給・返送装
    置。
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