JP2952566B2 - ワーク洗浄装置 - Google Patents
ワーク洗浄装置Info
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- JP2952566B2 JP2952566B2 JP31473295A JP31473295A JP2952566B2 JP 2952566 B2 JP2952566 B2 JP 2952566B2 JP 31473295 A JP31473295 A JP 31473295A JP 31473295 A JP31473295 A JP 31473295A JP 2952566 B2 JP2952566 B2 JP 2952566B2
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ワーク洗浄装置に
関するもので、主としてパレット上に配置されるセラミ
ック基板のパッケージフレーム等の小型の部品の洗浄に
好適な洗浄装置に関するものである。
関するもので、主としてパレット上に配置されるセラミ
ック基板のパッケージフレーム等の小型の部品の洗浄に
好適な洗浄装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、セラミック基板のようなワークの
洗浄は、高圧水洗浄装置よりなる洗浄ゾーンで行われて
いるが、そのためにはワークを洗浄ゾーンまで搬送する
手段が必要であった。通常、ワークはパレットより取出
され、取り出されたワークを別の手段で搬送して洗浄
し、その後、さらに搬送して別のパレットへ収納すると
いうものであった。
洗浄は、高圧水洗浄装置よりなる洗浄ゾーンで行われて
いるが、そのためにはワークを洗浄ゾーンまで搬送する
手段が必要であった。通常、ワークはパレットより取出
され、取り出されたワークを別の手段で搬送して洗浄
し、その後、さらに搬送して別のパレットへ収納すると
いうものであった。
【０００３】しかし、セラミック基板のようなワーク
は、搬送が不安定であり、搬送手段にワーク固定手段を
設ける必要があった。これでは搬送装置が大型で複雑の
ものとなり、ひいては洗浄装置そのものが高価なものと
なってしまうものであった。
は、搬送が不安定であり、搬送手段にワーク固定手段を
設ける必要があった。これでは搬送装置が大型で複雑の
ものとなり、ひいては洗浄装置そのものが高価なものと
なってしまうものであった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、洗浄ゾーン
の直前までワークの配置されたワークパレットを搬送の
対象とすることにより搬送手段でのワーク固定手段を少
なくし、小型化したワーク洗浄装置を提供することを目
的とする。
の直前までワークの配置されたワークパレットを搬送の
対象とすることにより搬送手段でのワーク固定手段を少
なくし、小型化したワーク洗浄装置を提供することを目
的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的達成
のため、未処理ワークパレットが設置されるローディン
グ部と同様に既処理ワークパレットが設置されるアンロ
ーディング部及びワークパレットのワークを順に洗浄ゾ
ーンへ送るワーク取出部とワーク取出部から洗浄ゾーン
へワークを搬送するワーク搬送手段と高圧水による洗浄
ゾーンとを有するワーク洗浄装置において、ローディン
グ部とアンローディング部及びワーク取出部間へワーク
パレットを移動させるキャリアを設けるとともに、各部
のキャリア停止位置にエレベータとワークパレット保持
具よりなる各部とキャリア間のワークパレット搬送手段
を有することを特徴とするワーク洗浄装置を提供する。
のため、未処理ワークパレットが設置されるローディン
グ部と同様に既処理ワークパレットが設置されるアンロ
ーディング部及びワークパレットのワークを順に洗浄ゾ
ーンへ送るワーク取出部とワーク取出部から洗浄ゾーン
へワークを搬送するワーク搬送手段と高圧水による洗浄
ゾーンとを有するワーク洗浄装置において、ローディン
グ部とアンローディング部及びワーク取出部間へワーク
パレットを移動させるキャリアを設けるとともに、各部
のキャリア停止位置にエレベータとワークパレット保持
具よりなる各部とキャリア間のワークパレット搬送手段
を有することを特徴とするワーク洗浄装置を提供する。
【０００６】
【発明の実施の形態】以下図面に従って本発明の実施の
形態につき説明する。図１は、本発明の全体を示す説明
図であり、本発明は、ワークパレット供給収納機構１、
キャリアチェンジャ２、ワークピックアンドプレース機
構３、回転テーブル４、高圧水洗浄装置２７を有するワ
ーク洗浄装置である。
形態につき説明する。図１は、本発明の全体を示す説明
図であり、本発明は、ワークパレット供給収納機構１、
キャリアチェンジャ２、ワークピックアンドプレース機
構３、回転テーブル４、高圧水洗浄装置２７を有するワ
ーク洗浄装置である。
【０００７】ワークパレット供給収納機構１は、ワーク
パレットが段積みされたパレット群１１、１２を移動さ
せる機構群である。パレット群１１の供給部は、載置テ
ーブル１０上のパレット群１１をＸ軸方向（図１中パレ
ット群１１上方の矢印方向）へ移動させる機構と所定位
置に移動させられたパレット群１１をローディング部５
へと移動させる搬入駆動機構１４とを有する。尚、図１
では部分的にしか表現されていないが、パレット群１１
がスライド可能なスライドレール１６がパレット群１１
の供給部よりローディング部５に向かって設けられてい
る。このスライドレール１６はその幅を変える機構を有
している。
パレットが段積みされたパレット群１１、１２を移動さ
せる機構群である。パレット群１１の供給部は、載置テ
ーブル１０上のパレット群１１をＸ軸方向（図１中パレ
ット群１１上方の矢印方向）へ移動させる機構と所定位
置に移動させられたパレット群１１をローディング部５
へと移動させる搬入駆動機構１４とを有する。尚、図１
では部分的にしか表現されていないが、パレット群１１
がスライド可能なスライドレール１６がパレット群１１
の供給部よりローディング部５に向かって設けられてい
る。このスライドレール１６はその幅を変える機構を有
している。
【０００８】他方、ワークパレット供給収納機構１の収
納部は、搬出路１３（図１には示されずキャリアチェン
ジャ２の平面図である図２中の矢印で示される）、アン
ローディング部７よりパレット群１２を搬出路１３へ移
動させる搬出枠２５及びアンローディング部７付近より
供給部のパレット群１１側に処理済ワークパレット群１
２を移動させる搬出駆動機構１５を有する。
納部は、搬出路１３（図１には示されずキャリアチェン
ジャ２の平面図である図２中の矢印で示される）、アン
ローディング部７よりパレット群１２を搬出路１３へ移
動させる搬出枠２５及びアンローディング部７付近より
供給部のパレット群１１側に処理済ワークパレット群１
２を移動させる搬出駆動機構１５を有する。
【０００９】キャリアチェンジャ２には、図１及び図２
に示されるようにローディング部５、ワーク取出部６及
びアンローディング部７が存在し、各部にワークパレッ
ト８を移動させるキャリア９が設けてられている。
に示されるようにローディング部５、ワーク取出部６及
びアンローディング部７が存在し、各部にワークパレッ
ト８を移動させるキャリア９が設けてられている。
【００１０】キャリア９は、Ｌ字型に連結された板状の
もので、図４に部分平面図として表されたように両先端
付近にリフタ２０の通過空部２１が穿設され、通過空部
２１の周辺にワークパレット保持枠２２が形成されたも
ので、図２に示されるように曲折部分にて回転軸２３に
装着されており、駆動モータＭ１にて、回転停止するよ
う制御されている。
もので、図４に部分平面図として表されたように両先端
付近にリフタ２０の通過空部２１が穿設され、通過空部
２１の周辺にワークパレット保持枠２２が形成されたも
ので、図２に示されるように曲折部分にて回転軸２３に
装着されており、駆動モータＭ１にて、回転停止するよ
う制御されている。
【００１１】ローディング部５は、パレット群１１のス
ライドレール１６、ワークパレット８の保持爪１７、ワ
ークパレット８の昇降を行うリフタ２０を上端に取り付
けたエレベータ１８を有する。尚、エレベータ１８は、
昇降用のシリンダ１９の先端にリフタ２０を装着したも
のであり、保持爪１７は上下動機構及び爪の開閉機構を
有してる。
ライドレール１６、ワークパレット８の保持爪１７、ワ
ークパレット８の昇降を行うリフタ２０を上端に取り付
けたエレベータ１８を有する。尚、エレベータ１８は、
昇降用のシリンダ１９の先端にリフタ２０を装着したも
のであり、保持爪１７は上下動機構及び爪の開閉機構を
有してる。
【００１２】ここでローディング部５での各部の動作を
説明すると、パレット群１１が図１中点線部分で示され
るように、搬入駆動機構１４により、スライドレール１
６上をローディング部５へと搬入される。パレット群１
１は、保持爪１７にて保持され、スライドレール１６
は、その後拡幅し、ワークパレット８が下方より取り出
される空間を確保する。スライドレール１６の下方には
キャリア９が位置しており、キャリア９の通過空部２１
にはリフタ２０が、キャリア９より高い位置にて待機し
ている。尚、図示されたキャリア９は回転運動によりワ
ークパレット８を移動させる方式を採用しているが、直
線運動により移動させる方式のものでもよい。
説明すると、パレット群１１が図１中点線部分で示され
るように、搬入駆動機構１４により、スライドレール１
６上をローディング部５へと搬入される。パレット群１
１は、保持爪１７にて保持され、スライドレール１６
は、その後拡幅し、ワークパレット８が下方より取り出
される空間を確保する。スライドレール１６の下方には
キャリア９が位置しており、キャリア９の通過空部２１
にはリフタ２０が、キャリア９より高い位置にて待機し
ている。尚、図示されたキャリア９は回転運動によりワ
ークパレット８を移動させる方式を採用しているが、直
線運動により移動させる方式のものでもよい。
【００１３】その後エレベータ１８が上昇し、パレット
群１１の最下部のパレット８をリフタ２０が保持する。
ここで保持爪１７は、保持を解放し、パレット１枚分上
昇し、保持爪１７が下から２枚目のワークパレット８を
爪を閉じる動作を行いながら保持し、それより上方のワ
ークパレット８全体を支える。リフタ２０は、エレベー
タ１８の下降により下降し、同時に保持爪１７も初期位
置に戻る。最下部のワークパレット８のみがリフタ２０
と共に下降し、該ワークパレット８はキャリア９の保持
枠２２に保持され、リフタ２０はキャリア９の下方へと
退避する。この状態を示すのが図３の部分断面図であ
る。
群１１の最下部のパレット８をリフタ２０が保持する。
ここで保持爪１７は、保持を解放し、パレット１枚分上
昇し、保持爪１７が下から２枚目のワークパレット８を
爪を閉じる動作を行いながら保持し、それより上方のワ
ークパレット８全体を支える。リフタ２０は、エレベー
タ１８の下降により下降し、同時に保持爪１７も初期位
置に戻る。最下部のワークパレット８のみがリフタ２０
と共に下降し、該ワークパレット８はキャリア９の保持
枠２２に保持され、リフタ２０はキャリア９の下方へと
退避する。この状態を示すのが図３の部分断面図であ
る。
【００１４】次に、キャリア９は９０度右回転して、ワ
ーク取出部６へとワークパレット８を移動させる。２番
目のワークパレット８のローディングもリフタ２０が上
昇し、積載されたワークパレット８を支え、保持爪１７
が解放された後は、同様の動作となる。
ーク取出部６へとワークパレット８を移動させる。２番
目のワークパレット８のローディングもリフタ２０が上
昇し、積載されたワークパレット８を支え、保持爪１７
が解放された後は、同様の動作となる。
【００１５】ワーク取出部６も、リフタ２０を上端に取
り付けたエレベータ１８が、キャリア９の下方に配置さ
れ、ローディング部５と同様の保持爪１７が配置され
る。但し、ワーク取出部６の保持爪１７は上下動機構は
有せず、代わりに水平の移動機構２４を装備している。
り付けたエレベータ１８が、キャリア９の下方に配置さ
れ、ローディング部５と同様の保持爪１７が配置され
る。但し、ワーク取出部６の保持爪１７は上下動機構は
有せず、代わりに水平の移動機構２４を装備している。
【００１６】ワーク取出部６の動作について説明する
と、ワークパレット８がキャリア９にて運ばれてくる
と、キャリア９停止位置の下方に設置されたエレベータ
１８が動作し、リフタ２０が上昇する。リフタ２０がキ
ャリア９の通過空部２１より上方に達すると、ワークパ
レット８はキャリア９の保持枠２２より上方に移動す
る。このとき保持爪１７が水平移動してワークパレット
８に近接し、爪を閉じる動作によりワークパレット８を
保持する。その後、保持爪１７は、最初に取り出すワー
クの列がピックアンドプレース機構３の吸着位置に位置
するようパレット８を移動させる。そして一列が洗浄ゾ
ーンに送られると第２列目のワークの列がピックアンド
プレース位置に位置するよう保持爪１７はパレット８を
移動させる。
と、ワークパレット８がキャリア９にて運ばれてくる
と、キャリア９停止位置の下方に設置されたエレベータ
１８が動作し、リフタ２０が上昇する。リフタ２０がキ
ャリア９の通過空部２１より上方に達すると、ワークパ
レット８はキャリア９の保持枠２２より上方に移動す
る。このとき保持爪１７が水平移動してワークパレット
８に近接し、爪を閉じる動作によりワークパレット８を
保持する。その後、保持爪１７は、最初に取り出すワー
クの列がピックアンドプレース機構３の吸着位置に位置
するようパレット８を移動させる。そして一列が洗浄ゾ
ーンに送られると第２列目のワークの列がピックアンド
プレース位置に位置するよう保持爪１７はパレット８を
移動させる。
【００１７】ピックアンドプレース機構３は、ワークを
吸着し、移動するもので通常利用されるものと異なるも
のではない。ワーク取出部６のワークパレット８上に配
置されたワークをピックアップし、回転テーブル４の所
定位置に移動させ、更に、洗浄後のワークを回転テーブ
ル４よりピックアップし、ワーク取出部６のワークパレ
ット８の所定位置に移動させることのできるものであれ
ばよい。
吸着し、移動するもので通常利用されるものと異なるも
のではない。ワーク取出部６のワークパレット８上に配
置されたワークをピックアップし、回転テーブル４の所
定位置に移動させ、更に、洗浄後のワークを回転テーブ
ル４よりピックアップし、ワーク取出部６のワークパレ
ット８の所定位置に移動させることのできるものであれ
ばよい。
【００１８】回転テーブル４には、ワークのクランプ爪
２６が設けられており、ワーククランプ位置が高圧水洗
浄装置２７の下方である洗浄ゾーンで停止し、この停止
時に高圧水洗浄装置２７がワーク上を水平移動し、ワー
クを洗浄する。
２６が設けられており、ワーククランプ位置が高圧水洗
浄装置２７の下方である洗浄ゾーンで停止し、この停止
時に高圧水洗浄装置２７がワーク上を水平移動し、ワー
クを洗浄する。
【００１９】洗浄後のワークは、ピックアンドプレース
機構３によりワーク取出部６のワークパレット８に戻さ
れ、ワークパレット８は再度、逆の工程によりキャリア
９の保持枠２２内に配置される。処理済ワークパレット
８を載置したキャリア９は９０度右回転し、アンローデ
ィング部７にて停止する。
機構３によりワーク取出部６のワークパレット８に戻さ
れ、ワークパレット８は再度、逆の工程によりキャリア
９の保持枠２２内に配置される。処理済ワークパレット
８を載置したキャリア９は９０度右回転し、アンローデ
ィング部７にて停止する。
【００２０】アンローディング部７においても、キャリ
ア９停止位置下方にエレベータ１８が設置されており、
キャリア９停止位置上方に保持爪１７が上下動と爪の開
閉機構を有して設置されており、保持爪１７上にパレッ
ト群１２が保持されている。
ア９停止位置下方にエレベータ１８が設置されており、
キャリア９停止位置上方に保持爪１７が上下動と爪の開
閉機構を有して設置されており、保持爪１７上にパレッ
ト群１２が保持されている。
【００２１】アンローディング部７の動作に付き説明す
ると、キャリア９にて運ばれてきたワークパレット８
は、エレベータ１８のリフタ２０により、上昇させられ
保持爪１７にて保持されている直前のワークパレット８
に接し、アンローディング部７のワークパレット８全体
をリフタ２０にて保持する。そのとき保持爪１７は解放
され、新しく下方から追加されるワークパレット８の位
置に下降して、再度ワークパレット８を保持するために
閉じられる。その後、保持爪１７は、所定位置に上昇し
て待機する。
ると、キャリア９にて運ばれてきたワークパレット８
は、エレベータ１８のリフタ２０により、上昇させられ
保持爪１７にて保持されている直前のワークパレット８
に接し、アンローディング部７のワークパレット８全体
をリフタ２０にて保持する。そのとき保持爪１７は解放
され、新しく下方から追加されるワークパレット８の位
置に下降して、再度ワークパレット８を保持するために
閉じられる。その後、保持爪１７は、所定位置に上昇し
て待機する。
【００２２】この繰り返しにより所定数のワークパレッ
ト８が段積みされた段階で、保持爪１７の下に搬出プレ
ート２５が差込まれ、保持爪１７が解放され、パレット
群１２が搬出プレート２５により保持され、搬出プレー
ト２５によりワークパレット供給収納機構１の搬出路１
３へと移動させられる。搬出路１３では、搬出駆動機構
１５により、搬出プレート２５の移動方向と直交する方
向へ移動させられるのである。このようにして図５に示
す一連の動作手順が終了する。
ト８が段積みされた段階で、保持爪１７の下に搬出プレ
ート２５が差込まれ、保持爪１７が解放され、パレット
群１２が搬出プレート２５により保持され、搬出プレー
ト２５によりワークパレット供給収納機構１の搬出路１
３へと移動させられる。搬出路１３では、搬出駆動機構
１５により、搬出プレート２５の移動方向と直交する方
向へ移動させられるのである。このようにして図５に示
す一連の動作手順が終了する。
【００２３】
【発明の効果】本発明は、如上のようにワーク洗浄装置
の搬送手段において、ワーク自体を搬送するのではな
く、ワークパレットを搬送するものであるため、搬送の
大部分でワーク固定手段を妨げる必要なく、ワーク洗浄
装置の小型化を図ることができた。更に、パレットに配
列可能なワークであれば他の品種にも兼用ができる安価
なワーク洗浄装置となった。
の搬送手段において、ワーク自体を搬送するのではな
く、ワークパレットを搬送するものであるため、搬送の
大部分でワーク固定手段を妨げる必要なく、ワーク洗浄
装置の小型化を図ることができた。更に、パレットに配
列可能なワークであれば他の品種にも兼用ができる安価
なワーク洗浄装置となった。
【図１】本発明の全体を示す説明図
【図２】キャリアチェンジャ付近を示す平面図
【図３】エレベータとキャリアの関係を示すの説明図
【図４】キャリアとエレベータとの位置関係を示す説明
図
図
【図５】本発明の動作手順を示す説明図
１．．．．ワークパレット供給収納機構 ２．．．．キャリアチェンジャ ３．．．．ピックアンドプレース機構 ４．．．．回転テーブル ５．．．．ローディング部 ６．．．．ワーク取出部 ７．．．．アンローディング部 ８．．．．ワークパレット ９．．．．キャリア １０．．．．載置テーブル １１、１２．パレット群 １３．．．．搬出路 １４．．．．搬入駆動機構 １５．．．．搬出駆動機構 １６．．．．スライドレール １７．．．．保持爪 １８．．．．エレベータ １９．．．．シリンダ ２０．．．．リフタ ２１．．．．通過空部 ２２．．．．保持枠 ２３．．．．回転軸 ２４．．．．移動機構 ２５．．．．搬出プレート ２６．．．．クランプ爪 ２７．．．．高圧水洗浄装置
Claims (1)
- 【請求項１】未処理ワークパレットが設置されるローデ
ィング部と同様に既処理ワークパレットが設置されるア
ンローディング部及びワークパレットのワークを順に洗
浄ゾーンへ送るワーク取出部とワーク取出部から洗浄ゾ
ーンへワークを搬送するワーク搬送手段と高圧水による
洗浄ゾーンとを有するワーク洗浄装置において、ローデ
ィング部とアンローディング部及びワーク取出部間へワ
ークパレットを移動させるキャリアを設けるとともに、
各部のキャリア停止位置にエレベータとワークパレット
保持具よりなる各部とキャリア間のワークパレット搬送
手段を有することを特徴とするワーク洗浄装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31473295A JP2952566B2 (ja) | 1995-11-08 | 1995-11-08 | ワーク洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31473295A JP2952566B2 (ja) | 1995-11-08 | 1995-11-08 | ワーク洗浄装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09131576A JPH09131576A (ja) | 1997-05-20 |
| JP2952566B2 true JP2952566B2 (ja) | 1999-09-27 |
Family
ID=18056915
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31473295A Expired - Fee Related JP2952566B2 (ja) | 1995-11-08 | 1995-11-08 | ワーク洗浄装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2952566B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108788793A (zh) * | 2017-04-27 | 2018-11-13 | 弗迪亚有限公司 | 用于机床的托盘更换系统和机床组件 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111790710B (zh) * | 2019-04-09 | 2022-07-22 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 位置转换装置和清洗设备 |
-
1995
- 1995-11-08 JP JP31473295A patent/JP2952566B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108788793A (zh) * | 2017-04-27 | 2018-11-13 | 弗迪亚有限公司 | 用于机床的托盘更换系统和机床组件 |
| CN108788793B (zh) * | 2017-04-27 | 2021-09-21 | 弗迪亚有限公司 | 用于机床的托盘更换系统和机床组件 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH09131576A (ja) | 1997-05-20 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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