JP2002164406A

JP2002164406A - 処理装置

Info

Publication number: JP2002164406A
Application number: JP2000358600A
Authority: JP
Inventors: Yasushi Takeuchi; 靖竹内
Original assignee: Tokyo Electron Ltd
Current assignee: Tokyo Electron Ltd
Priority date: 2000-11-27
Filing date: 2000-11-27
Publication date: 2002-06-07
Anticipated expiration: 2020-11-27
Also published as: JP3642729B2

Abstract

(57)【要約】【課題】頭上搬送装置の適用およびバッチ式処理を可
能とする。【解決手段】複数の被処理体ｗが密閉状態で収容され
た蓋付きの運搬容器２を搬入搬出する搬出入口６を有す
る筐体１と、該筐体１内に設けられ前記運搬容器２を搬
送する搬送機構１１および複数個の運搬容器２を保管す
る保管棚８を有する搬送保管領域Ｓａと、前記運搬容器
２内から被処理体ｗを取出して所定の処理を施す処理領
域Ｓｂとを備えた処理装置であって、前記搬出入口６の
外側に運搬容器２を載置する載置台７を設け、該載置台
７に運搬容器２を前記搬送機構１１との受渡位置ハまで
移動可能な移動機構１０を設けている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、処理装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】半導体装置の製造においては、被処理体
例えば半導体ウエハに酸化、拡散、ＣＶＤ等の各種の処
理を施す処理装置（半導体製造装置）として、例えば一
度に多数枚の半導体ウエハの処理が可能なバッチ式の縦
型熱処理装置が用いられている。このような縦型熱処理
装置としては、ウエハのパーティクルの付着や自然酸化
膜の形成を抑制して歩留りの向上等を図るために、複数
例えば２５枚或いは１３枚程度のウエハを密閉状態で収
容する蓋付きの運搬容器であるクローズ型キャリアを用
いると共に、装置の筐体内をキャリアの搬送保管を行う
搬送保管領域と、キャリア内からウエハを取出してボー
トへの移載や熱処理炉内へのボートの搬入搬出等の所定
の処理を行う処理領域とに仕切って処理領域内の清浄度
を高めるようにしたものが提案されている（例えば、特
開２０００−１５０４００号公報参照）。

【０００３】この縦型熱処理装置においては、筐体の前
面部に作業員または搬送ロボットにより前記キャリアの
搬入搬出を行う搬出入口を有し、この搬出入口の内側に
キャリアを載置する載置台が設置されている。また、搬
送保管領域には、複数個のキャリアを保管する保管棚、
ウエハの移載を行うためのキャリアの移載台（移載ステ
ージ）や、これらの間でキャリアの搬送を行う搬送機構
が設置されている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記縦
型熱処理装置においては、筐体内にキャリアの載置台が
設置されているため、クリーンルームの天井部に配設さ
れた頭上搬送装置との間でキャリアの受け渡しを行うこ
とができず、頭上搬送装置を適用することが困難であっ
た。なお、ウエハを一枚ずつ処理する枚葉式処理装置に
おいては、頭上搬送装置との間でキャリアの受け渡しが
行えるように搬出入口の外側に載置台を設置したものも
提案されているが、これは載置台上でキャリアの蓋を取
ってウエハの移載を行うように構成されているため、バ
ッチ式処理には適用することができない。

【０００５】本発明は、前記事情を考慮してなされたも
ので、頭上搬送装置の適用およびバッチ式処理が可能な
処理装置を提供することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明のうち、請求項１
の発明は、複数の被処理体が密閉状態で収容された蓋付
きの運搬容器を搬入搬出する搬出入口を有する筐体と、
該筐体内に設けられ前記運搬容器を搬送する搬送機構お
よび複数個の運搬容器を保管する保管棚を有する搬送保
管領域と、前記運搬容器内から被処理体を取出して所定
の処理を施す処理領域とを備えた処理装置であって、前
記搬出入口の外側に運搬容器を載置する載置台を設け、
該載置台に運搬容器を前記搬送機構との受渡位置まで移
動可能な移動機構を設けたことを特徴とする。

【０００７】請求項２の発明は、請求項１の処理装置に
おいて、前記移動機構が運搬容器を一時的に固定する固
定機構を備えていることを特徴とする。

【０００８】請求項３の発明は、請求項１の処理装置に
おいて、前記移動機構が左右に２つ並設されていると共
に左右の中心側へ横移動可能に構成されていることを特
徴とする。

【０００９】請求項４の発明は、請求項１の処理装置に
おいて、前記載置台が運搬容器から蓋を一時的に取外す
蓋脱着機構と、蓋が取外された運搬容器内にセンサ部を
挿入して被処理体の位置および数を検出する検出機構と
を備えていることを特徴とする。

【００１０】請求項５の発明は、請求項１の処理装置に
おいて、前記搬送機構の受渡位置の下方に電装ユニット
が設置されていることを特徴とする。

【００１１】

【発明の実施の形態】以下に、本発明の実施の形態を添
付図面に基いて詳述する。

【００１２】本発明を縦型熱処理装置に適用した実施の
形態を示す図１ないし図２において、１はクリーンルー
ムＣ内に設置される縦型熱処理装置の外郭を形成する筐
体である。この筐体１内は、キャリア２の搬入搬出およ
び保管を行うための搬送保管領域Ｓａと、キャリア２内
から半導体ウエハｗを取出してボート３への移替え（移
載）、熱処理炉４へのボート３の搬入搬出等の所定の処
理を行うための処理領域であるローディングエリアＳｂ
とに隔壁５により仕切られている。

【００１３】前記キャリア２は、図８に示すように、所
定口径例えば直径３００ｍｍの被処理体例えばウエハｗ
を水平状態で上下方向に所定間隔で複数例えば１３枚も
しくは２５枚程度収容可能なプラスチック製の蓋付き運
搬容器、いわゆるクローズ型キャリアであり、その前面
部の開口（ウエハ出入口）２ａにこれを密封状態に塞ぐ
ための蓋２ｂを脱着可能に備えている。この蓋２ｂに
は、これをキャリア２の開口２ａに保持するための図示
しないラッチ機構が設けられ、このラッチ機構の解除に
よりキャリア２の開口２ａから蓋２ｂが取外せるように
なっている。

【００１４】前記筐体１の前面部には、キャリア２を搬
入搬出するための搬出入口６が設けられ、この搬出入口
６の外側にはキャリア２を載置するための後述の載置台
７が設置されている。前記搬送保管領域Ｓａには、上方
の前部と後部に複数個のキャリア２を一時的に保管して
おくための保管棚８が対向して設けられていると共に、
下方の隔壁５側にウエハ移載を行うためにキャリア２を
載置するための移載台（移載ステージ）９が設けられて
いる。

【００１５】また、搬送保管領域Ｓａには、前記載置台
７の後述する移動機構１０、保管棚８および移載台９の
間でキャリア２の搬送を行うための搬送機構（キャリア
搬送機構）１１が設けられている。この搬送機構１１
は、搬送保管領域Ｓａの一側部に設けられた昇降機構１
１ａにより昇降移動される昇降アーム１１ｂと、この昇
降アーム１１ｂに設けられ、キャリア２の底部を支持し
て水平方向に搬送する搬送アーム１１ｃとから主に構成
されている。

【００１６】搬送保管領域Ｓａは、搬出入口６を通って
クリーンルームＣ内と連通されている。ローディングエ
リアＳｂは、清浄な空気が供給される大気雰囲気または
不活性ガス例えば窒素ガスが供給される不活性ガス雰囲
気とされており、何れの場合でもクリーンルームＣ内よ
りも充分に清浄度が高く維持されている。

【００１７】前記隔壁５には、移載台９に載置されたキ
ャリア２を搬送保管領域Ｓａ側から当接させてキャリア
２内とローディングエリアＳｂ内を連通するための開口
部１２が設けられていると共に、開口部１２をローディ
ングエリアＳｂ側から閉鎖する扉１３が開閉可能に設け
られている。開口部１２は、キャリア２の開口２ａとほ
ぼ同口径に形成されており、開口部１２からキャリア２
内のウエハｗの出し入れが可能になっている。

【００１８】前記扉１３には、キャリア２の蓋を脱着
（開閉）する図示しない脱着機構および扉１３をローデ
ィングエリアＳｂ側から開閉する図示しない扉開閉機構
が設けられ、この扉開閉機構により扉１３および蓋がロ
ーディングエリアＳｂ側に開放移動され、更に半導体ウ
エハＷの移載の邪魔にならないように上方または下方へ
移動（退避）されるようになっている。

【００１９】前記移載台９の下方には、結晶方向を揃え
るためにウエハｗの周縁部に設けられているノッチ（切
欠部）を一方向に整列させるためのノッチ整列機構１４
が設けられている。このノッチ整列機構１４は、ローデ
ィングエリアＳｂ側に臨んで開放されており、後述する
移載機構１５により移載台９上のキャリア２から移載さ
れたウエハｗのノッチを整列させるように構成されてい
る。

【００２０】一方、ローディングエリアＳｂの奥部上方
には、多数例えば１００枚もしくは１５０枚程度の半導
体ウエハｗを上下方向に所定間隔で多段に支持する支持
具である例えば石英製のボート３を載置して熱処理炉４
内への搬入搬出および炉口４ａの開閉を行う蓋体１６が
図示しない昇降機構により昇降可能に設けられている。
炉口４ａの近傍には、蓋体１６が開放されて熱処理後の
ボート３が搬出された際に炉口４ａを遮蔽するためのシ
ャッター１７が水平方向に開閉移動可能に設けられてい
る。

【００２１】ローディングエリアＳｂには、移載台９上
のキャリア２とボート３との間、具体的には移載台９上
のキャリア２とノッチ整列機構１４との間、ノッチ整列
機構１４とボート３との間、熱処理後のボート３と移載
台９上の空のキャリア２との間で半導体ウエハｗの移載
（移替え）を行う移載機構１５が設けられている。前記
移載機構１５は、昇降可能、水平移動可能および水平回
動可能な基台１５ａ上に半導体ウエハを載置する複数枚
例えば２枚もしくは５枚の薄板フォーク状の支持アーム
１５ｂを進退可能に設けて構成されている。なお、ロー
ディングエリアＳｂ内は、ボート３を２個使用し、一方
のボートを熱処理炉内に搬入して被処理体の熱処理を行
っている間に、他方のボートに対するウエハの移載を行
うようして処理能力の向上を図る２ボートシステムとさ
れていてもよい。

【００２２】一方、前記筐体１における搬出入口６の外
側に設置された載置台７には、その上部に載置されたキ
ャリア２を前記搬送機構１１との受渡位置ハまで移動可
能な移動機構が設されている。載置台７上には、左右方
向に所定の間隔例えば５０５ｍｍでキャリアを２個載置
できるように移動機構１０が左右に２つ並設されてい
る。この移動機構１０は、図３ないし図５に示すよう
に、キャリア２を載置して、リニアガイドおよび第１、
第２および第３のエアシリンダ１８，１９，２０を介し
て載置台７上の待機位置イから搬送機構１１との受渡位
置ハに向って進退移動される可動板２１を有している。

【００２３】更に具体的には、移動機構１０は、リニア
ガイドを介して複数段例えばベースフレーム１０ａ、中
間フレーム１０ｂおよび先端フレーム１０ｃからなる３
段式の伸縮可能なフレーム構造をなし、その先端フレー
ム１０ｃに可動板２１が取付けられている。第１のエア
シリンダ１８は、後述する如く固定機構２２の進退移動
用と可動板２１の進退移動用に兼用され、第１のエアシ
リンダ１８のピストンロッド先端１８ａと第２のエアシ
リンダ１９のピストンロッド先端１９ａとは連結フレー
ム２３を介して連結されている。第２のエアシリンダ１
９と第３のエアシリンダ２０とは、ピストンロッド先端
１９ａ，２０ａを互いに逆向きにした状態で、互いに並
列状に連結されており、その第３のエアシリンダ２０の
ピストンロッド先端１９ａが可動板２１に連結されてい
る。

【００２４】前記可動板２１上には、キャリア２を位置
決めする複数例えば３本の位置決めピン２４が突設され
ていると共にキャリア２が正しい位置に載置されたか否
かを検知するキャリアセンサが設けられている。また、
可動板２１上には、キャリア２の種類を識別するための
識別機構として複数例えば４本のピン２５ａ，２５ｂ，
２５ｃ，２５ｄが突設され、その内の２本のピン２５
ａ，２５ｂが没入可能で通常時はバネで突出状態にあ
り、没入した時にこれを検知するセンサを備えている。
キャリア２の底部には、前記ピン２５ａ〜２５ｄと対応
する箇所にキャリアの種類に応じてピン２５ａ〜２５ｄ
を通す穴が空けられている。例えば、ピン２５ａに対応
する箇所の穴の有無により当該キャリアが２５枚入りか
１３枚入りかを識別し、ピン２５ｂに対応する箇所の穴
の有無により当該キャリアがクローズ型か蓋なしのオー
プン型かを識別し、ピン２５ｃ，２５ｄに対応する箇所
の穴の有無により当該キャリアが前工程か後工程かを識
別し得るようになっている。なお、キャリアが前工程か
後工程の場合には片乗り状態となるため、キャリアセン
サによってこれを検知することができるようになってい
る。

【００２５】前記移動機構１０は、搬送機構１１の狭い
動作範囲に対応するために左右の中心側へ横移動可能に
構成されている。また、移動機構１０には、作業員が誤
って載置台７上のキャリア２を持ち去る誤作業を防止す
るために、図４ないし図６に示すようにキャリア２を一
時的に固定する固定機構２２が設けられている。具体的
には、前記載置台７上には、移動機構１０のベースフレ
ーム１０ａがリニアガイド２６を介して横方向に移動可
能に取付けられていると共に、このベースフレーム１０
ａを横移動させるエアシリンダ２７が設けられている。
これにより、載置台７上の横方向のキャリア載置間隔
（ピッチ）を例えば５０５ｍｍから搬送機構１１の動作
範囲に対応するピッチ例えば４７５ｍｍに変換できるよ
うになっている。

【００２６】前記ベースフレーム１０ａには、進退フレ
ーム２８がリニアガイド２９および第１のエアシリンダ
１８を介して前後方向に移動可能に設けられ、この進退
フレーム２８に前記固定機構２２の昇降フレーム３０が
昇降用エアシリンダ３１を介して昇降可能に設けられて
いる。このように固定機構２２は、進退および昇降可能
な昇降フレーム３０を有し、この昇降フレーム３０上に
は、前記キャリア２の下部に形成された係合凹部２ｃに
着脱可能に係合する係合フック３２がエアシリンダ３３
により回動可能に設けられている。すなわち、固定機構
２２は、載置台７上の待機位置イにある可動板２１上に
キャリア２を載置すると、昇降フレーム３０を上昇させ
てキャリア２の底部に接近させ、係合フック３２を回動
によりキャリア２の係合凹部２ｃに係合させてキャリア
２を固定し、この固定状態を第１のエアシリンダ１８に
よりキャリア２が前進された後述のウエハカウント位置
（蓋取位置ともいう）ロまで維持し、これによりキャリ
ア２が載置台７上にある限り作業員によって持ち去られ
ないようになっている。

【００２７】また、固定機構２２は、キャリア２をウエ
ハカウント位置ロから搬送機構１１との受渡位置ハに移
動させる時に係合フック３２の係合を解除し、キャリア
２の移動の邪魔にならぬよう昇降フレーム３０を降下さ
せて退避するようになっている。また、前記移動機構１
０は、先ず第１のエアシリンダ１８を利用して昇降フレ
ーム３０と共に可動板２１を載置台７上の待機位置イか
らウエハカウント位置ロまで前進移動させ、次いで第２
および第３のエアシリンダ１９，２０により可動板２１
を搬送機構１１との受渡位置ロまで前進移動させるよう
に構成されている。

【００２８】前記キャリア２には当該キャリアの情報を
書き込んだ情報記録部３４が設けられ、前記載置台７に
はその情報記録部３４の情報を読み取る情報読取器３５
が設けられている。この情報読取器３５としては、バー
コード式、赤外線式、電波式等の何れであってもよい。
また、情報読取器３５は、前記情報記録部３４に情報を
書き込み可能に構成されていてもよい。

【００２９】前記載置台７の背面部には、クリーンルー
ムＣ内と筐体１内の搬送保管領域Ｓａとを連通する搬出
入口６が形成されたフレーム３６が設けられ、図８の
（ｂ）に示すように、このフレーム３６の搬出入口６に
キャリア２の前部が位置するキャリアの位置がウエハカ
ウント位置ロとされている。前記載置台７のフレーム３
６内には、ウエハカウント位置ロのキャリア２から蓋２
ｂを一時的に取外す蓋脱着機構３７と、蓋２ｂが取外さ
れたキャリア２内にセンサ部３８を挿入してウエハｗの
位置および数を検出（ウエハカウント）する検出機構３
９とがそれぞれキャリア２の移動通過時には下方に退避
できるように図示しないエアシリンダを介して昇降可能
に設けられている。

【００３０】蓋脱着機構３７は、ウエハカウント位置ロ
に停止されたキャリア２の蓋２ｂに接近してラッチ機構
を解除すると共に蓋２ｂを真空吸着または機械的クラン
プ機構により保持して蓋２ｂを開け、ウエハカウント
後、逆の手順で蓋２ｂを閉めるように構成されている。
検出機構３９は、図７に示すように、ウエハカウント時
にステッピングモータ４０およびボールネジ４１により
上下方向に移動される箱状の本体４２を有し、この本体
４２内にはエアシリンダ（例えばロッドレスシリンダ）
４３を介して昇降部材４４が昇降可能に設けられてい
る。この昇降部材４４には本体４２の上面部４２ａを垂
直に貫通したロッド４５を介してブラケット４６が設け
られ、このブラケット４６には投光素子と受光素子から
なるセンサ部３８を有するＵ字状のセンサアーム４７が
起立状態から倒伏状態になるよう垂直回動可能に取付け
られている。

【００３１】また、センサアーム４７の起立倒伏操作を
自動的に行うために、本体４２の上面部４２ａには上端
を前記センサアーム４７の付根部に軸支した操作ロッド
４８が垂直に貫通され、本体４２には操作ロッド４８を
上昇ストロークエンドの少し手前で停止させてセンサア
ーム４７を起立状態から倒伏させるためのストッパ４９
が設けられていると共に、操作ロッド４８の下端と前記
昇降部材４４との間には上昇ストロークエンドから下降
する時にセンサアーム４７を起立させるべく操作ロッド
４８を上方へ付勢するバネ５０が介設されている。この
ようにセンサアーム４７を起立状態から倒伏させること
によりセンサ部３８をキャリア２内に挿入し、ウエハｗ
の位置および枚数を確実且つ容易に検出可能になってい
る。

【００３２】前記キャリア２の蓋２ｂを開けた時に、キ
ャリア２に付着していたパーティクルが飛散してウエハ
ｗに付着するのを抑制ないし防止するために、前記筐体
１内の搬出入口６の上方には、搬送保管領域Ｓａ内の空
気をフィルタにより濾過して清浄空気を下方へ吹出す空
気清浄器５１が取付けられていると共に、前記フレーム
３６内にはキャリア２の開口２ａおよびこの開口２ａか
ら前方へ取外された蓋２ｂを取り囲んで前記清浄空気を
下方へ導くダクト５２がキャリア２の移動通過時には下
方に退避できるように図示しないエアシリンダを介して
昇降可能に設けられている。

【００３３】前記筐体１内における搬送機構１１との受
渡位置ハの下方は空間（デッドスペース）となるので、
スペースの有効利用を図るために、搬送機構１１との受
渡位置ハの下方には搬送機構１１や移動機構１０等の制
御を行う電装品が収容された電装ユニット５３が設置さ
れている。また、クリーンルームＣの天上部５４には、
前記キャリア２を搬送する頭上搬送機構（Overhead Ho
ist Transport）５５が走行レール５５ａを介して走行
可能に設けられ、その真下に前記載置台７が設置され、
載置台７の上部が待機位置（頭上搬送機構５５との受渡
位置）イとされている。

【００３４】次に、以上の構成からなる縦型熱処理装置
の作用について述べる。頭上搬送機構５５によって搬送
されたキャリア２が載置台７上で待機する可動板２１上
に降ろされる（載置される）(図８の（ａ）の状態)と、
識別機構によってキャリア２が２５枚用か１３枚用セン
サか、クローズ型かオープン型か等が識別されると共
に、情報読取器３５によってキャリア２の情報が読み取
られる。ここで、規定外のキャリアは排除されることに
なる。

【００３５】そして、固定機構２２の昇降プレート３０
が待機位置から上昇し、係合フック３２がキャリア底部
の係合凹部２ｃに回動しつつ係合してキャリア２を固定
する。次に、載置台７上の移動機構１０によってキャリ
ア２がウエハカウント位置ロまで前進移動され、蓋脱着
機構３７が上昇してキャリア２から蓋２ｂを取外す(図
８の（ｂ）)。これに際して、予めダクト５２が上昇し
て搬出入口６に位置されており、空気清浄器５１によっ
てクラス１程度の清浄度の高い清浄空気Ｆがダクト５２
内に流下されているため、キャリア２の外周面等に付着
しているパーティクルがキャリア２内に入り込んでウエ
ハｗに付着するのを抑制ないし防止することができる。

【００３６】次に、検出機構３９の起立状態のセンサア
ーム４７がエアシリンダ４３の駆動によって上昇され、
そのストロークエンドでセンサアーム４７がキャリア２
側に倒伏することによってセンサ部３８がキャリア２内
に挿入される(図８の（ｃ）)。そして、ステッピングモ
ータ４０の駆動によりセンサ部３８を所定の速度で上昇
させてスキャンし、キャリア２内のウエハｗの位置およ
び枚数を検出する(図８の（ｄ）)。次に、前記とは逆の
手順で、検出機構３９のセンサアーム４７を降下させて
搬出入口６から退避させ、次いで、蓋脱着機構３７によ
り蓋２ｂをキャリア２の開口２ａに装着して密閉する
(図８の（ｅ）)。キャリア２に蓋２ｂを装着して密閉し
たなら、空気清浄器５１による送風を停止してもよい。

【００３７】次に、一旦、キャリア２を載置台７上の待
機位置イまで後退させ、前記蓋脱着機構３７およびダク
ト５２を降下させて搬出入口６から退避させたなら、キ
ャリア２をウエハカウント位置ロまで前進させ、固定機
構２２の係合フック３２をキャリア２の係合凹部２ｃか
ら離脱させて係合を解除すると共に昇降プレート３０を
下方に退避させた後、キャリア２を搬送機構１１との受
渡位置ハまで前進移動させる(図８の（ｆ）)。

【００３８】このようにして受渡位置ハに順次搬送移動
されるキャリア２は、搬送機構１１によって保管棚８に
搬送されて一時的に保管される。また、搬送機構１１に
よって保管棚８からキャリア２が移載台９に順次搬送さ
れ、移載台９上のキャリア２の蓋２ｂおよび隔壁５の開
口部１３の扉１３が開放されると、移載機構１５がキャ
リア２内からウエハｗを取出し、ノッチ整列機構１４を
経由してボート３に順次移載する。そして、前記ボート
３を熱処理炉４内に搬入してウエハwに所定の熱処理を
施した後、ボート３をローディングエリアＳｂに搬出
し、前記とは逆の手順で、ボート３から空のキャリア２
に処理後のウエハｗが戻され、キャリア２は搬送機構１
１および移動機構１０を介して載置台７上まで搬出さ
れ、この載置台７から頭上搬送機構５５によって搬送さ
れる。

【００３９】このように、縦型熱処理装置によれば、複
数枚のウエハｗが密閉状態で収容された蓋付きのキャリ
ア２を搬入搬出する搬出入口６を有する筐体１と、この
筐体１内に設けられ前記キャリア２を搬送する搬送機構
１１および複数個のキャリア２を保管する保管棚８を有
する搬送保管領域Ｓａと、前記キャリア２内からウエハ
ｗを取出して所定の処理を施す処理領域Ｓｂとを備えた
縦型熱処理装置であって、前記搬出入口６の外側にキャ
リア２を載置する載置台７を設け、この載置台７にキャ
リア２を前記搬送機構１１との受渡位置ハまで移動可能
な移動機構１０を設けているため、頭上搬送装置５５を
適用することができると共にバッチ式処理が可能であ
り、処理能力の向上が図れる。

【００４０】また、前記移動機構１０がキャリア２を一
時的に固定する固定機構２２を備えているため、載置台
７上のキャリア２を作業員が誤って取り去る誤作業を防
止することができる。前記移動機構１０が左右に２つ並
設されていると共に左右の中心側へ横移動可能に構成さ
れているため、搬送機構１１の狭い動作範囲に移動機構
１０を合せることができ、装置のコンパクト化および処
理能力の向上が図れる。

【００４１】更に、前記載置台７がキャリア２から蓋２
ｂを一時的に取外す蓋脱着機構３７と、蓋２ｂが取外さ
れたキャリア２内にセンサ部３８を挿入してウエハｗの
位置および数を検出する検出機構３９とを備えているた
め、載置台７上でキャリア内のウエハｗの位置および数
を確実且つ容易に検出することができる。前記搬送機構
１１の受渡位置ハの下方に電装ユニット５３が設置され
ているため、筐体１の外側に電装ユニットを設置してい
た従来のものと異なり、ケーブルの引き回しが容易にな
ると共に装置のコンパクト化が図れる。

【００４２】以上、本発明の実施の形態を図面により詳
述してきたが、本発明は前記実施の形態に限定されるも
のではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲での種々の
設計変更等が可能である。例えば、処理装置としては、
縦型以外の横型であってもよく、また、熱処理以外の処
理を行うものであってもよい。被処理体としては、半導
体ウエハ以外に、例えばガラス基板やＬＣＤ基板等が適
用可能である。

【００４３】

【発明の効果】以上要するに本発明によれば、次のよう
な効果を奏することができる。

【００４４】（１）請求項１の発明によれば、複数の被
処理体が密閉状態で収容された蓋付きの運搬容器を搬入
搬出する搬出入口を有する筐体と、該筐体内に設けられ
前記運搬容器を搬送する搬送機構および複数個の運搬容
器を保管する保管棚を有する搬送保管領域と、前記運搬
容器内から被処理体を取出して所定の処理を施す処理領
域とを備えた処理装置であって、前記搬出入口の外側に
運搬容器を載置する載置台を設け、該載置台に運搬容器
を前記搬送機構との受渡位置まで移動可能な移動機構を
設けているため、頭上搬送装置の適用およびバッチ式処
理が可能で、処理能力の向上が図れる。

【００４５】（２）請求項２の発明によれば、前記移動
機構が運搬容器を一時的に固定する固定機構を備えてい
るため、載置台上の運搬容器を作業員が誤って取り去る
誤作業を防止することができる。

【００４６】（３）請求項３の発明によれば、前記移動
機構が左右に２つ並設されていると共に左右の中心側へ
横移動可能に構成されているため、搬送機構の狭い動作
範囲に移動機構を合せることができ、装置のコンパクト
化および処理能力の向上が図れる。

【００４７】（４）請求項４の発明によれば、前記載置
台が運搬容器から蓋を一時的に取外す蓋脱着機構と、蓋
が取外された運搬容器内にセンサ部を挿入して被処理体
の位置および数を検出する検出機構とを備えているた
め、載置台上で運搬容器内の被処理体の位置および数を
確実且つ容易に検出することができる。

【００４８】（５）請求項５の発明によれば、前記搬送
機構との受渡位置の下方に電装ユニットが設置されてい
るため、筐体の外側に電装ユニットを設置していた従来
のものと異なり、ケーブルの引き回しが容易になると共
に装置のコンパクト化が図れる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明を縦型熱処理装置に適用した実施の形態
を示す斜視図である。

【図２】同縦型熱処理装置の縦断面図である。

【図３】載置台の平面図である。

【図４】固定機構の斜視図である。

【図５】移動機構を示す図で、（ａ）は側面図、（ｂ）
は平面図である。

【図６】固定機構の作動を示す側面図である。

【図７】検出機構の斜視図である。

【図８】移動機構およびその関連機構の動作を説明する
説明図である。

【符号の説明】

Ｓａ搬送保管領域Ｓｂローディングエリア（処理領域）ｗ半導体ウエハ（被処理体）１筐体２キャリア（運搬容器）２ａ蓋６搬出入口７載置台８保管棚１０移動機構１１搬送機構２２固定機構３７蓋脱着機構３８センサ部３９検出機構５３電装ユニット

フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号ＦＩテーマコート゛(参考）Ｈ０１Ｌ 21/22 ５１１Ｈ０１Ｌ 21/22 ５１１Ｂ５１１Ｊ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】複数の被処理体が密閉状態で収容された
蓋付きの運搬容器を搬入搬出する搬出入口を有する筐体
と、該筐体内に設けられ前記運搬容器を搬送する搬送機
構および複数個の運搬容器を保管する保管棚を有する搬
送保管領域と、前記運搬容器内から被処理体を取出して
所定の処理を施す処理領域とを備えた処理装置であっ
て、前記搬出入口の外側に運搬容器を載置する載置台を
設け、該載置台に運搬容器を前記搬送機構との受渡位置
まで移動可能な移動機構を設けたことを特徴とする処理
装置。
【請求項２】前記移動機構が、運搬容器を一時的に固
定する固定機構を備えていることを特徴とする請求項１
記載の処理装置。
【請求項３】前記移動機構が、左右に２つ並設されて
いると共に左右の中心側へ横移動可能に構成されている
ことを特徴とする請求項１記載の処理装置。
【請求項４】前記載置台が、運搬容器から蓋を一時的
に取外す蓋脱着機構と、蓋が取外された運搬容器内にセ
ンサ部を挿入して被処理体の位置および数を検出する検
出機構とを備えていることを特徴とする請求項１記載の
処理装置。
【請求項５】前記搬送機構の受渡位置の下方に電装ユ
ニットが設置されていることを特徴とする請求項１記載
の処理装置。