JPWO2008142752A1 - トレイ格納装置及び電子部品試験装置 - Google Patents
トレイ格納装置及び電子部品試験装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JPWO2008142752A1 JPWO2008142752A1 JP2009515022A JP2009515022A JPWO2008142752A1 JP WO2008142752 A1 JPWO2008142752 A1 JP WO2008142752A1 JP 2009515022 A JP2009515022 A JP 2009515022A JP 2009515022 A JP2009515022 A JP 2009515022A JP WO2008142752 A1 JPWO2008142752 A1 JP WO2008142752A1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tray
- stocker
- test
- storage device
- customer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/01—Subjecting similar articles in turn to test, e.g. "go/no-go" tests in mass production; Testing objects at points as they pass through a testing station
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
- G01R31/2893—Handling, conveying or loading, e.g. belts, boats, vacuum fingers
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
Abstract
電子部品試験装置のトレイ格納部(100)は、ICデバイスを収容するカスタマトレイ(KST)を搬入出するための1個のアクセスポート(110)と、カスタマトレイを格納する36個のストッカ(161)から構成されるストッカ群(164)と、アクセスポート(110)とストッカ群(164)との間でカスタマトレイ(KST)の受け渡しを行うための搬入出ユニット(120)及び第1のトレイ移送アーム(130)と、を備えている。
Description
本発明は、半導体集積回路等の各種電子部品(以下、代表的にICデバイスとも称する。)を収容するトレイを格納するトレイ格納装置及びそのトレイ格納装置を備えた電子部品試験装置に関する。
ICデバイス等の電子部品の製造過程においては、パッケージングされた状態でのICデバイスの性能や機能を試験するために、ハンドラ(Handler)と称される電子部品試験装置が用いられている。
ハンドラでは、多数のICデバイスを収納したトレイからICデバイスをコンタクトアームに供給し、このコンタクトアームがICデバイスをテストヘッドに押し付けることでICデバイスの入出力端子とソケットのコンタクトピンとを電気的に接触させ、その状態で電子部品試験装置本体(以下、テスタとも称する。)がICデバイスの試験を実行する。そして、試験が終了したら、コンタクトアームが各ICデバイスをテストヘッドから払い出して、試験結果に応じたトレイ(以下、カスタマトレイとも称する。)に載せ替えることで、良品や不良品といったカテゴリへの仕分けが行われている。
こうしたハンドラでは、未試験のICデバイスはカスタマトレイに収容した状態で供給され、又は、試験済みのICデバイスは試験結果の分類に応じたカスタマトレイにそれぞれ収容されてハンドラから取り出される。こうしたカスタマトレイは、ハンドラの格納部内に設けられた複数のストッカにそれぞれ格納されるようになっている。
このように、ストッカを複数設けることで、未試験のICデバイスを収容したカスタマトレイ、試験結果の各分類のICデバイスをそれぞれ分けて収容したカスタマトレイ、及び、空のカスタマトレイなど、カスタマトレイを複数の種類に分けて格納、管理することができる。
この際、従来の格納部では、未試験のICデバイスを搭載した複数のカスタマトレイをストッカに格納する作業、ストッカに格納された試験済みのICデバイスを収容した複数のカスタマトレイを取り出す作業、及び、空のカスタマトレイを出し入れする作業は、作業者が手作業で行っている。
しかしながら、ストッカが複数あるため、作業者が誤ったストッカに対してカスタマトレイの出し入れをしてしまう恐れがあった。誤ったストッカにカスタマトレイを格納してしまうと、ICデバイスの試験が正常に行えず、電子部品試験装置を停止させてしまい、電子部品試験装置のスループットを悪化させてしまう場合があった。
本発明が解決しようとする課題は、複数のストッカにおけるカスタマトレイの出し入れのミスを防止することが可能なトレイ格納装置及び電子部品試験装置を提供することである。
(1)上記目的を達成するために、本発明によれば、電子部品を収容可能なトレイを搬入出するためのm個(但しmは自然数)のポートと、前記トレイを格納するn個(但しnは自然数)のストッカから構成されるストッカ群と、前記ポートと前記ストッカ群との間で前記トレイの受け渡しを行うためのトレイ搬送手段と、を備え、前記ポートの数mよりも前記ストッカの数nの方が大きい(m<n)トレイ格納装置が提供される(請求項1参照)。
上記発明においては特に限定されないが、前記ストッカ群は、前記ストッカがマトリクス状に配列されて構成されていることが好ましい(請求項2参照)。
上記発明においては特に限定されないが、前記ポートを1つ備え(m=1)、前記ポートを介して前記トレイ格納装置内に前記トレイを搬入及び搬出することが好ましい(請求項3参照)。
上記発明においては特に限定されないが、前記ポートを2つ備え(m=2)、一方の前記ポートから前記トレイ格納装置内に前記トレイが搬入され、他方の前記ポートを介して前記トレイ格納装置内から前記トレイが搬出されることが好ましい(請求項4参照)。
上記発明においては特に限定されないが、前記トレイ搬送手段は、前記ストッカ群から、前記ストッカ自体又は前記トレイを出し入れする第1の搬送手段と、前記ポートと前記第1の搬送手段との間で前記トレイを搬送する第2の搬送手段と、を有することが好ましい(請求項5参照)。
上記発明においては特に限定されないが、前記トレイ搬送手段は、前記被試験電子部品のテストを行うテスト部と前記トレイ格納装置との間で前記被試験電子部品の搬送を行うデバイス搬送部に、前記第1の搬送手段から、前記トレイを搬送する第3の搬送手段をさらに有することが好ましい(請求項6参照)。
(2)上記目的を達成するために、本発明の第2の観点によれば、被試験電子部品の入出力端子をテストヘッドのコンタクト部に電気的に接触させて、前記被試験電子部品のテストを行うための電子部品試験装置であって、前記被試験電子部品のテストを行うテスト部と、上記トレイ格納装置と、前記テスト部と前記トレイ格納装置との間で前記被試験電子部品の搬送を行うデバイス搬送部と、を備えた電子部品試験装置が提供される(請求項7参照)。
(1)本発明では、トレイ格納装置のトレイを搬入出するためのポートの数mが、カスタマトレイを格納するストッカの数nよりも少なくなっている。そして、各ポートから各ストッカへのカスタマトレイの受け渡しはトレイ搬送手段により行われる。
そのため、作業者はn個のストッカの全てを確認してカスタマトレイの出し入れをする必要が無くなり、n個よりも少ないm個のポートにおけるトレイの搬入出についてのみ注意を払えばよくなる。
これにより、作業者がストッカを選び間違えてカスタマトレイを出し入れするというミスの発生を抑制することができる。
特に、本発明では、ポートの数を1つ又は2つとし、そのポートから複数のストッカに対して、トレイ搬送手段によりカスタマトレイを出し入れするようにすることで、作業者は1箇所又は2箇所のポートについてのみ注意を払えばよくなり、作業が簡略化され、作業者による作業ミスの発生を大幅に抑制することができる。
(2)本発明では、トレイを搬入出するためのポートの数mが、カスタマトレイを格納するストッカの数nよりも小さくなっていて、各ポートからストッカへのカスタマトレイの受け渡しはトレイ搬送手段により行われるトレイ格納装置を備えた電子部品試験装置となっている。
そのため、作業者はストッカにおけるカスタマトレイの出し入れで、m個のポートのみについてのみ注意を払えばよくなり、作業が簡略化され、作業者による作業ミスの発生を大幅に抑制することができる。
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
図1は本発明の実施形態における電子部品試験装置を示す平面図、図2は図1のII-II線に沿った断面図、図3は図1に示す電子部品試験装置におけるICデバイス及びカスタマトレイの取り廻しの方法を示す概念図である。
本発明の実施形態における電子部品試験装置1は、ICデバイスに高温又は低温の温度ストレスを与えた状態でICデバイスが適切に動作するか否かを試験(検査)し、当該試験結果に基づいてICデバイスを分類する装置であり、図1〜図3に示すように、ハンドラ10、テストヘッド5及びテスタ7を備えており、テストヘッド5とテスタ7とはケーブル8を介して接続されている。
ハンドラ10は、格納部100、搬送部200及びテスト部300から構成されている。
格納部100には、これから試験を受けるICデバイスを収容したカスタマトレイKSTが多数格納されていると共に、試験を終えたICデバイスを試験結果に応じて収容しているカスタマトレイKSTが多数格納されている。搬送部200は、格納部100から試験前のICデバイスを取り出して、当該ICデバイスに所定の熱ストレスを印加した後にテスト部300に供給する。そして、テスト部300において、コンタクトアーム321,331がテストヘッド5のソケット6にICデバイスを押し付けて、テスタ7がテストヘッド5及びケーブル8を介してICデバイスのテストを実行する。テスト部300にて試験の完了したICデバイスは、搬送部200によりテスト部300から搬出されて、それぞれのテスト結果に応じたカスタマトレイKSTに分類されながら格納部100に格納されるようになっている。
<格納部100>
図4は図1のIV-IV線に沿った断面図、図5は図4のV-V線に沿った断面図、図6は図1に示す電子部品試験装置の搬入出ユニットを示す平面図、図7は図4のVII-VII線に沿った断面図、図8は図1に示す電子部品試験装置のストッカを示す分解斜視図、図9は図1に示す電子部品試験装置に投入されるカスタマトレイを示す斜視図である。
図4は図1のIV-IV線に沿った断面図、図5は図4のV-V線に沿った断面図、図6は図1に示す電子部品試験装置の搬入出ユニットを示す平面図、図7は図4のVII-VII線に沿った断面図、図8は図1に示す電子部品試験装置のストッカを示す分解斜視図、図9は図1に示す電子部品試験装置に投入されるカスタマトレイを示す斜視図である。
格納部100は、図3及び図4に示すように、搬入出ユニット120、第1のトレイ移送アーム130、セットプレート140、第2のトレイ移送アーム150、及び、マトリクスストッカユニット160を備えている。図3に示すように、アクセスポート110とマトリクスストッカユニット160との間のカスタマトレイKSTの搬送は、搬入出ユニット120及び第1のトレイ移送アーム130が行い、マトリクススストッカユニット160と各窓部170との間の搬送は、第2のトレイ移送アーム150及びセットプレート140が行うようになっている。
搬入出ユニット120は、図4及び図5に示すように、支持装置121、第1の昇降装置122及びスライド装置123から構成されている。
支持装置121は、複数枚のカスタマトレイKSTを支持可能であると共に、昇降装置122との間でのカスタマトレイKSTの授受の際にアクチュエータ(不図示)により左右方向(図4の矢印方向)に沿って摺動して退避することが可能となっている。この支持装置121は、作業者が格納部100に唯一アクセス可能な出入口110(以下単にアクセスポート110と称する。)内に設けられている。作業者はこのアクセスポート110のみを介してカスタマトレイKSTを投入及び搬出することが可能となっている。このように、本実施形態では、格納部100へのカスタマトレイKSTの搬入出口を一つに限ることで、人為的なミス(例えば、作業者がカスタマトレイKSTを異なるストッカにセットしてしまう)を防止したり、ハンドラ10外における搬送の自動化を図ることができる。
なお、本発明においては、アクセスポート110の数は一つに限定されず、例えば、搬入専用と搬出専用の合計2つのアクセスポートを設けても良い。このように、2つのアクセスポート110を用いる場合も、作業者は1つのアクセスポート110からカスタマトレイKSTを投入し、もう1つのアクセスポート110からカスタマトレイKSTを搬出すればよく、作業が簡略化される。これにより、作業者の人為的なミスを防止したり、ハンドラ10外における搬送の自動化を図ることができる。
第1の昇降装置122は、図5及び図6に示すように、Z軸方向に沿って設けられたZ軸方向レール122aと、Z軸方向レール122aに昇降可能に設けられている昇降部材122bと、から構成されている。この第1の昇降装置122aは、作業者によりアクセスポート110に投入されたカスタマトレイKSTを、支持装置121から受け取って下降することで、開口110aを介して格納部100内にカスタマトレイKSTを搬入し、次いで当該カスタマトレイKSTをスライド装置123に受け渡す。
スライド装置123は、図5及び図6に示すように第1の昇降装置122の下方と第1のトレイ移送アーム130の下方との間にY軸方向に沿って設けられた2本のY軸方向レール123aと、Y軸方向レール123aにY軸方向に沿って摺動可能に設けられた摺動部材123bと、から構成されている。図6に示すように、2本のX軸方向レール123aは、これらレール123aの間を第1の昇降装置122が通過可能なように間隔を空けて配置されている。また、摺動部材123bは、複数枚のカスタマトレイKSTを積層した状態で保持することが可能になっていると共に、昇降部材122bとの干渉を回避するために切欠部123cが形成されている。スライド装置123は、第1の昇降装置122から受け取ったカスタマトレイKSTをY軸方向に沿って移動させて、第1のトレイ移送アーム130に受け渡す。
第1のトレイ移送アーム130は、図4及び図5に示すように、格納部100の上部に全域に亘ってX軸方向に沿って設けられたX軸方向レール131と、X軸方向レール131上に昇降可能に設けられたZ軸方向レール132と、Z軸方向レール132上に昇降可能に設けられている保持ヘッド133と、保持ヘッド133の下側に設けられ、複数枚のカスタマトレイKSTを同時に把持することが可能な開閉式の把持爪134と、から構成されている。なお、X軸方向レール131は、第1のトレイ移送アーム130と第2のトレイ移送アーム150とで兼用されている。
この第1のトレイ移送アーム130は、スライド装置123からカスタマトレイKSTを受け取ると、Z軸方向レール132に沿って把持ヘッド133が上昇した後に、Z軸方向レール132がX軸方向レール131上をX軸方向に沿って移動し、マトリクスストッカユニット160内において第2の昇降装置163に当該カスタマトレイKSTを受け渡す。
マトリクスストッカユニット160は、図4及び図7に示すように、複数枚のカスタマトレイKSTを積層した状態で格納するストッカ161と、ストッカ161をY軸方向に沿って摺動可能に保持しているスライド装置162と、トレイ移送アーム130,150とストッカ161との間でカスタマトレイKSTの受け渡しを行う第2の昇降装置163と、から構成されている。
マトリクスストッカユニット160には、図3及び図4に示すように、多数のストッカ161がマトリクス状に配置されており(以下、図4においてX方向及びZ方向に対してマトリクス状に配列されている複数のストッカ161を総称してストッカ群164と称する。)、本実施形態では、合計36個のストッカ161が4行9列に配置されている。そのため、本実施形態では、複数のロットのICデバイスのテストを連続的に実施することで段取時間を減少させたり、試験結果の分類数(カテゴリ数)を増加させることが可能となっている。
例えば、本実施形態では、図3に示すように、試験開始当初には、マトリックスストッカユニット160において1行1列〜4行4列に位置する16個のストッカ161(同図中にて符号ULで示すストッカ)に、試験済みのICデバイスを収容したカスタマトレイKSTが割り当てられ、1行5列〜4行8列に位置する16個のストッカ161(同図中にて符号LDで示すストッカ)に、試験前のICデバイスを収容しているカスタマトレイKSTが割り当てられ、9列目に位置する4個のストッカ161(同図中にて符号ETで示すストッカ)に、ICデバイスを搭載していない空のカスタマトレイKSTが割り当てる。そして、試験が開始してICデバイスが試験結果に応じて分類されると、特に図示しないが、1行1列〜4行3列に位置する12個のストッカ161に、試験済みのICデバイスの第1ロットが格納され、1行4列〜4行6列に位置する12個のストッカ161に、試験済みのICデバイスの第2のロットが格納される。なお、試験済みのICデバイスは、良品と不良品の別の他に、良品の中でも動作速度が高速なもの、中速なもの、低速なもの、或いは、不良品の中でも再試験が必要なもの等の数種類のカテゴリに仕分けされる。
各ストッカ161は、図8に示すように、枠状のトレイ支持枠161aと、このトレイ支持枠161aの下部から進入して上部に向かって昇降可能なエレベータ161bと、を備えている。トレイ支持枠161aには、カスタマトレイKSTが複数積み重ねられており、この積み重ねられたカスタマトレイKSTのみがエレベータ161bによって上下に移動するようになっている。このエレベータ161bは図示せぬアクチュエータにより上下動可能となっている。
なお、マトリクスストッカユニット160のいずれのストッカ161も同一構造となっているので、本発明においては、試験前又は試験済みのカスタマトレイKSTを格納するストッカの数や、空トレイを格納するストッカの数は、必要に応じて適宜数に設定することができる。
因みに、本実施形態におけるカスタマトレイKSTは、図9に示すように、ICデバイスを収容するための複数の凹部が10行×6列に配置されたトレイであり、試験前のICデバイスを収容したカスタマトレイも、試験済みのICデバイスを収容するカスタマトレイも、ICデバイスを搭載していない空のカスタマトレイも、同一形状のトレイである。
マトリクスストッカユニット160において、スライド装置162は、図4に示すように、各ストッカ161に一台ずつ配置されている。スライド装置162は、図7に示すように、Y軸方向に沿って設けられた2本のY軸方向レール162aと、Y軸方向レール161a上にY軸方向に沿って摺動可能に設けられた摺動部材162bと、を備えている。2本のY軸方向レール162aは、上述の図6を参照して説明したY軸方向レール123aと同様に、これらレール162aの間を第2の昇降装置161の昇降部材161bが通過することが可能なように間隔を空けて配置されている。摺動部材162bは、ストッカ161を保持することが可能であると共に、第2の昇降装置162の昇降部材162bとの干渉を回避するために切欠部162cが形成されている。
マトリクスストッカユニット160において、第2の昇降装置163は、図4に示すように、ストッカ161の各列に一台ずつ配置されている。第2の昇降装置163は、図7に示すように、Z軸方向に沿って設けられたZ軸方向レール163aと、Z軸方向レール163aに昇降可能に設けられた昇降部材163bと、から構成されており、昇降部材163bが、トレイ移送アーム130,150の動作範囲と、最下段のスライド装置162の動作範囲との間を昇降することが可能となっている。
アクセスポート110から投入されたカスタマトレイKSTをマトリクスストッカユニット160に格納する場合には、第2の昇降装置163がスライド装置162からストッカ161を受け取った後に上昇し、マトリクスストッカユニット160内に移動してきた第1のトレイ移送アーム130がカスタマトレイKSTをストッカ161に引き渡す。ストッカ161内にカスタマトレイKSTが格納されたら、第2の昇降装置163が下降してスライド装置162にストッカ161を引き渡し、スライド装置162が元の位置に戻る。
カスタマトレイKSTをマトリクスストッカユニット160から窓部140に供給する場合には、スライド装置162が移動すると共に第2の昇降装置163が上昇することで、スライド装置162から第2の昇降装置163にストッカ161が受け渡され、さらに第2の昇降装置163が上昇して、第2のトレイ移送アーム150がストッカ161からカスタマトレイKSTを取り出す。ストッカ161からカスタマトレイKSTが取り出されたら、第2の昇降装置163が下降してスライド装置162にストッカ161を引渡し、スライド装置162が元の位置に戻る。
第2のトレイ移送アーム150は、図4に示すように、第1のトレイ移送アーム130のX軸方向レール131上にX軸方向に摺動可能に設けられているZ軸方向レール151と、Z軸方向レール151上に昇降可能に設けられている2つの把持ヘッド152と、把持ヘッド152の下側に設けられ、1枚のカスタマトレイKSTを把持することが可能な開閉式の把持爪153と、から構成されている。なお、本発明においては、2つの把持ヘッド152は、相互に独立してX軸方向に移動可能であっても良い。また、本発明においては、把持爪153により複数枚のカスタマトレイKSTを同時に把持するように構成しても良い。
第2のトレイ移送アーム150は、一方の把持ヘッド152により、マトリクスストッカユニット160において第2の昇降装置163に保持されているストッカ161からカスタマトレイKSTを受け取る。次に、下降しているセットプレート140から、他方の把持ヘッド152が、空又はICデバイスが満載のカスタマトレイKSTを受け取ると共に、一方の把持ヘッド152がストッカ161から取り出した新規なカスタマトレイKSTを当該セットプレート140に受け渡す。
ハンドラ10のメインベース11には、図3に示すように、複数(本例では9個)の窓部170が形成されており、各窓部170を介して格納部100と搬送部200とが連通している。各窓部170の下方には、カスタマトレイKSTを保持した状態で昇降可能なセットプレート140がそれぞれ設けられている。
セットプレート140は、第2のトレイ移送アーム150からカスタマトレイKSTを受け取ると上昇して、窓部170を介して、当該カスタマトレイKSTを搬送部200に位置させる。
本実施形態では、例えば、図3の左側から2、3、7及び8番目の窓部170に、試験前のICデバイスを収容しているカスタマトレイKSTが割り当てられ(同図中において符号LDにて示す)、同図の左側から1、4、5、6及び9番目の窓部170に、試験済みのICデバイスを分類・収容するためのカスタマトレイKSTが割り当てられている(同図中において符号ULにて示す)。
新規のカスタマトレイKSTをマトリクスユニット160内に格納する場合に、作業者がアクセスポート110にカスタマトレイKSTを投入すると、そのカスタマトレイKSTは搬入出ユニット120によりマトリクスストッカユニット160内へ運ばれてストッカ161にそれぞれ格納される。
次いで、試験前のICデバイスを収容したカスタマトレイKSTを搬送部200に供給する場合には、スライド装置162により移動したストッカ161が第2の昇降装置163により上昇し、第2のトレイ移送アーム150が当該ストッカ161からカスタマトレイKSTを受け取ってセットプレート140に引き渡す。そして、セットプレート140が窓部170に向かって上昇することで、カスタマトレイKSTが搬送部200に臨む。
窓部170に位置しているカスタマトレイKST上の全ての未試験ICデバイスが搬送部200に供給されると、セットプレート140が窓部170から下降して、第2のトレイ移送アーム150がセットプレート140から空になったカスタマトレイKSTを受け取り、マトリクスストッカユニット160において9列目に位置するストッカ161に当該カスタマトレイKSTを受け渡す。
一方、試験済みのICデバイスを収容したカスタマトレイKSTをマトリクスストッカユニット160に戻す場合には、セットプレート140が窓部170から下降して、第2のトレイ移送アーム150がカスタマトレイKSTをセットプレート140から受け取り、第2の昇降装置163により上昇しているストッカ161に当該カスタマトレイKSTを受け渡す。なお、試験済みのICデバイスが満載となったカスタマトレイKSTが搬出された窓部170には、マトリクスストッカユニット160において第9列目に位置しているストッカ161から第2のトレイ移送アーム150及びセットプレート140を介して空のカスタマトレイKSTが供給される。
さらに、マトリクスストッカユニット160に格納されているカスタマトレイKSTをアクセスポート110に搬出する場合には、マトリクスストッカユニット160において、第2の昇降装置163により上昇しているストッカ161から第1のトレイ移送アーム130がカスタマトレイKSTを受け取り、さらに第1のトレイ移送アーム130が搬入出ユニット120に受け渡すことで、カスタマトレイKSTがアクセスポート110に搬出される。
<搬送部200>
図10は図1のX-X線に沿った断面図、図11は図1に示す電子部品試験装置の第2の温度調整装置を示す断面図である。
図10は図1のX-X線に沿った断面図、図11は図1に示す電子部品試験装置の第2の温度調整装置を示す断面図である。
搬送部200は、図1に示すように、搬送装置210、ヒートプレート220及び2つの搬送系230,240を備えており、図3に示すように、窓部170に位置しているカスタマトレイKSTから試験前のICデバイスを取り出して所定の熱ストレスを印加した後にテスト部300に供給すると共に、試験を終えたICデバイスを分類しながら格納部100に搬出することが可能となっている。
搬送装置210は、図1に示すように、ハンドラ10のメインベース11上にY軸方向に沿って設けられた支持レール211と、2本の支持レール211の間にY軸方向に沿って移動可能に支持されている可動レール212と、可動レール212にX軸方向に沿って相互に独立して移動可能に支持されている2つの可動ヘッド213,214と、から構成されている。各可動ヘッド213,214の下側には8個の吸着パッドがそれぞれ装着されており、特に図示しないアクチュエータによりZ軸方向に沿って移動可能となっている。この搬送装置210は、格納部100の全ての窓部170、ヒートプレート220及び各搬送系230,240を包含する動作範囲を有している。例えば、本実施形態では、第1の可動ヘッド213が、図3において左側から1〜5番目の窓部170と第1のバッファステージ231との間の搬送を担当し、第2の可動ヘッド214が、図3において左側から6〜9番目の窓部170と第2のバッファステージ241との間の搬送を担当するようになっている。
この搬送装置210は、格納部100の窓部170に位置しているカスタマトレイKSTからヒートプレート220に一度に8つの未試験のICデバイスを搬送し、ヒートプレート220にてICデバイスに所定の熱ストレスが印加された後、さらにそのICデバイスをヒートプレート220からいずれかの搬送系230,240のバッファステージ231,241に移動させる。
ヒートプレート220は、例えば下部に発熱源(不図示)を有する金属製プレートであり、試験前のICデバイスの高温の熱ストレスを印加することが可能となっている。このヒートプレート220の上部表面には、ICデバイスを収容可能な凹部221が多数形成されている。なお、例えばICデバイスに印加する熱ストレスがそれほど高温でない場合には、第1のバッファステージ231に熱源を設けて、ヒートプレート220を経由せずに、第1のバッファステージ231に収容されている間にICデバイスに熱ストレスを印加するようにしても良い。
第1の搬送系230は、図1及び図10に示すように、第1のバッファステージ231、第1の上側送風装置232及び第1の下側送風装置233から構成されている。
第1のバッファステージ231は、搬送装置210により搬送されたICデバイスが載置される略平板状の移動部材231aと、ハンドラ10のメインベース11上にY軸方向に沿って設けられたY軸方向レール231dと、から構成されている。第1のバッファステージ231の移動部材231aは、Y軸方向レール231d上をY軸方向に沿って移動することで、搬送装置210の動作領域とテスト部300の移動装置310の第1の可動ヘッド320の動作領域との間を往復移動することが可能となっている。
移動部材231aの表面には、ICデバイスを収容するための凹部231b、231cが16個形成されている。本実施形態では、図1において上側の2行4列に配列された8個の搬入用凹部231bに未試験のICデバイスが収容され、同図において下側の2行4列に配列された8個の搬出用凹部231cに試験済みのICデバイスが収容されるようになっている。
第1の上側送風装置232は、図10に示すように、第1のバッファステージ231の左端上方に固定されており、8個の搬入用凹部231bを覆うことが可能な大きさを有するカバー部材232aと、下方に向かって温風を吹き出すようにカバー部材232aの底部に設けられた吹出口232bと、を備えている。各吹出口232bは、第1のバッファステージ231における搬入用凹部231bの配列に対応するように配置されており、配管を介して温風供給装置234(図11参照)にそれぞれ接続されている。
本実施形態では、第1のバッファステージ231の8個の搬出用凹部231cに、第1のコンタクトアーム321が試験済みのICデバイスを載置している際に、搬入用凹部231bに対して第1の上側送風装置232が対向し、吹出口232bからICデバイスに向かって温風を吹き付けることで、試験済みのICデバイスが搬出される際に、待機している試験前のICデバイスが冷めてしまうのを抑制することが可能となっている。
この際、第1の上側送風装置232は、ICデバイスにおいて入出力端子が導出していない上面に対して温風を吹き付けるので、ICデバイスに印加されている熱ストレスを効率的に維持することができる。
第1の下側送風装置233は、図10及び図11に示すように、鉛直方向において第1のバッファステージ231と第1のアライメント装置340との間に設けられており、コンタクトアーム321に吸着保持されているICデバイスを覆うことが可能な大きさを有するカバー部材233aと、上方に向かって温風を吹き出すようにカバー部材233aの底部に設けられた吹出口233bと、ハンドラ10のメインベース11上にY軸方向に沿って設けられたY軸方向レール233cと、を備えている。
カバー部材233aは、Y軸方向レール233c上をY軸方向に沿って移動することで、第1のアライメント装置340の上方と第1の上側送風装置232の下方との間を往復移動することが可能となっている。各吹出口233bは、第1のコンタクトアーム321に吸着保持されたICデバイスに対応するように配置されており、配管を介して温風供給装置234にそれぞれ接続されている。
本実施形態では、第2のコンタクトアーム331がテストヘッド5にアクセスしている間、第1のコンタクトアーム321により第1のバッファステージ231から吸着保持されて待機中のICデバイスに向かって、第1の下側送風装置233が温風を吹き付けることで、待機している試験前のICデバイスが冷めてしまうのを抑制することができる。
また、第1の下側送風装置233を第1のバッファステージ231と第1のアライメント装置340との間に移動可能に設けることで、第1のコンタクトアーム321の動作範囲を広げずに第1の下側送風装置233を設置することができる。
第2の搬送系240も、第1の搬送系230と同様に、図1に示すように、第2のバッファステージ241、第2の上側送風装置242及び第2の下側送風装置243から構成されている。
第2のバッファステージ241は、第1のバッファステージ231と同様に、移動部材241a及びY軸方向レール241dを備えており、移動部材241aがY軸方向レール241d上を移動することで、搬送装置210の動作領域とテスト部300の移動装置310の第2の可動ヘッド330の動作領域との間を往復移動することが可能となっている。
第2の上側送風装置242は、第1の上側送風装置232と同様に、カバー部材及び吹出口を備えており、第2のバッファステージ241の8個の搬出用凹部241cに、第2のコンタクトアーム331が試験済みのICデバイスを載置している際に、8個の搬入用凹部241bに収容されている試験前のICデバイスに対して第2の上側送風装置242が温風を吹き付けるようになっている。
第2の下側送風装置243も、第1の下側送風装置233と同様に、カバー部材243a、吹出口243b及びY軸方向レール243cを備え、鉛直方向において第2のバッファステージ241と第2のアライメント装置350との間に移動可能に設けられており、第2のコンタクトアーム331に吸着保持されて待機中のICデバイスに温風を吹き付けるようになっている。
格納部100の窓部170に位置しているカスタマトレイKSTから搬送装置210が試験前のICデバイスを吸着保持すると、ヒートプレート220にてICデバイスに所定の熱ストレスを印加した後に、第1又は第2の搬送系230,240のいずれかのバッファステージ231,241に搬送される。バッファステージ231,241は図1の上方に向かって移動し、コンタクトアーム321,331が試験済みのICデバイスを搬出している間は、上側送風装置232,242が待機中の試験前のICデバイスに温風を送風する。
コンタクトアーム321,331により試験済みのICデバイスがバッファステージ231,241に載置されると、当該コンタクトアーム321,331に試験前のICデバイスが吸着保持される。この際、他方のコンタクトアーム331,321が試験を行っているために当該コンタクトアーム321,331がテストヘッド5にアクセスすることができない場合に、コンタクトアーム321,331に吸着保持されて待機中の試験前のICデバイスに向かって下側送風装置233,243が温風を吹き付ける。
試験が完了すると、コンタクタアーム321,331によりテスト部300から試験済みのICデバイスがバッファステージ231,241に搬出され、さらに搬送装置310がバッファステージ231,241から試験結果に応じたカスタマトレイKSTにICデバイスを分類しながら搬送する。
本実施形態では、搬送部200に2つの搬送系230,240が設けられており、テスト部300に交互にICデバイスを供給して効率的にテストを実施することができるので、電子部品試験装置1のスループットを向上させることができる。
<テスト部300>
テスト部300は、図1に示すように、移動装置310及び2つのアライメント装置340,350を備えており、画像処理技術を用いて試験前のICデバイスをテストヘッド5上のソケット6に対して高精度に位置決めした後に、ソケット6に対してICデバイスを押し付けることが可能となっている。
テスト部300は、図1に示すように、移動装置310及び2つのアライメント装置340,350を備えており、画像処理技術を用いて試験前のICデバイスをテストヘッド5上のソケット6に対して高精度に位置決めした後に、ソケット6に対してICデバイスを押し付けることが可能となっている。
図2に示すように、テスト部300の下部に空間12が形成されており、この空間12にテストヘッド5が挿入され、テスト部300の下方にテストヘッド5が位置している。
テスト部300におけるハンドラ10のメインベース11には開口13が形成されている。また、テストヘッド5の上部には、8つのソケット6が装着されている。各ソケット6は、特に図示しないが、ICデバイスの入出力端子に対応するように配置されたコンタクトピンを多数備えている。そして、テストヘッド5の上部に装着されたソケット6が、開口13を介してハンドラ10の内部を臨んでいる。
移動装置310は、ハンドラ10のメインベース11上にX軸方向に沿って設けられた支持レール311と、支持レール311上にX軸方向に沿って移動可能に支持されている2つの可動ヘッド320,330と、から構成されており、開口13を介してハンドラ10内部を臨んでいるソケット6と、2つのアライメント装置340,350と、を包含する動作範囲を有している。なお、可動ヘッド320,330は、特に図示しないZ軸方向アクチュエータにより昇降可能となっている。
なお、図1に示すように、本実施形態では、同一の支持レール311に2つの可動ヘッド320,330が相互に独立して移動可能に支持されている。このたえ、例えば、第1の可動ヘッド320がソケット6に移動してICデバイスのテストを行っている間に、第2の可動ヘッド330が第2のバッファステージ241との間でICデバイスの授受を行ったり、第2のアライメント装置350に移動してICデバイスの位置補正を行うことが可能となっている。
第1の可動ヘッド320には、ICデバイスを吸着保持することが可能な8つの第1のコンタクトアーム321が、テストヘッド5上の8つのソケット6に対応するように下向きに装着されている。
各第1のコンタクトアーム321は、図11に示すように、保持側アーム321a、ロックアンドフリー機構321b及び固定側アーム321cから構成されており、固定側アーム321cが可動ヘッド320の下面に固定され、固定側アーム321cの下端に、ロックアンドフリー機構321bを介して、保持側アーム321aが連結されている。
ロックアンドフリー機構321bは、特に図示しないが、加圧エアを利用して、固定側アーム321cに対する保持側アーム321aのXY平面に沿った相対移動動作及びZ軸を中心とした相対的な回転動作を拘束したり、非拘束したりすることが可能となっている。また、このロックアンドフリー機構321bは、固定側アーム321cの中心軸と保持側アーム321aの中心軸とを一致させるセンタリング機能も備えている。
保持側アーム321aは、その下端にICデバイスを吸着保持するための吸着パッドを備えていると共に、その内部にヒータ及び温度センサ(いずれも不図示)が埋め込まれている。
第2のコンタクトアーム331も、第1のコンタクトアーム321と同様に、固定側アーム331c、ロックアンドフリー機構331b及び保持側アーム331aから構成されている。なお、第1のコンタクトアーム321が、第1のバッファステージ231とテストヘッド5との間でICデバイスを移動させ、第2のコンタクトアーム331が、第2のバッファステージ241とテストヘッド5との間でICデバイスを移動させる。
第1のアライメント装置340は、図10に示すように、アライメントステージ341、ミラー342及びカメラ343を備えており、アライメントステージ341に当接している保持側アーム321cの位置や姿勢のアライメントを行うことで、ICデバイスをソケット6に対して高精度に位置決めすることが可能となっている。
アライメントステージ341は、特に図示しないモータ機構により、XY平面に沿った移動動作及びZ軸を中心とした回転動作が可能となっている。そして、ロックアンドフリー機構321bが非拘束な状態で、保持側アーム321aがアライメントステージ341に当接し、アライメントステージ341が移動した際に保持側アーム421aがその動きに追従することで、保持側アーム321aに保持されているICデバイスの位置がアライメントされるようになっている。
カメラ343は、XY平面に沿って横置きに設置された例えばCCDカメラであり、ミラー342及びアライメントステージ341の開口を介して、保持側アーム321aに吸着保持されているICデバイスを撮像することが可能となっている。
このカメラ343は、特に図示しないが画像処理装置等に接続されており、ICデバイスのテストに際して画像処理装置等が画像処理により保持側アーム321aに保持されているICデバイスの位置及び姿勢を認識し、ソケット6の位置及び姿勢と相対的に一致させるようなアライメント量を算出し、アライメントステージ341がこのアライメント量に基づいてICデバイスの位置や姿勢のアライメントを行うようになっている。
第2のアライメント装置350も、第1のアライメント装置340と同様に、アライメントステージ、ミラー及びカメラを備えており、画像処理装置等を用いてICデバイスの位置や姿勢を補正することが可能となっている。なお、第1のアライメント装置340が、第1のコンタクトアーム321に吸着保持されているICデバイスの位置や姿勢をアライメントし、第2のアライメント装置350が、第2のコンタクトアーム331に吸着保持されているICデバイスの位置や姿勢をアライメントする。
バッファステージ231,241によりテスト部300に供給された試験前のICデバイスを、コンタクトアーム321,331が吸着保持して一旦上昇する。バッファステージ231,241がコンタクトアーム321,331の下方から退避したら、コンタクトアーム321,331が再度下降して、アライメントステージ341,351に当接する。アライメント装置340,350によるICデバイスの位置及び姿勢のアライメントが完了したら、コンタクトアーム321,331はICデバイスをテストヘッド5のソケット6に移動させ、コンタクトアーム321,331がICデバイスをソケット6に押し付けて、ICデバイスの入出力端子とソケットのコンタクトピンとを電気的に接触させる。この状態で、テスタ7がICデバイスに対して試験信号を入出力することで、ICデバイスのテストが実行される。ICデバイスのテスト結果はテスタ7に記憶され、搬送部200の搬送装置210は、この試験結果に基づいてICデバイスを分類する。試験が完了したICデバイスは、コンタクトアーム321,331によりバッファステージ231,241に搬出される。
図12A〜図12Gは本実施形態においてカスタマトレイがアクセスポートから第1のトレイ移送アームへと搬送される様子を示す断面図、図13A〜図13Gは本実施形態においてカスタマトレイが第1のトレイ移送アームからストッカへと搬送される様子を示す断面図である。
以下に、図12A〜図13Gを参照しながら、アクセスポート110からストッカ群164への搬入出ユニット120によるカスタマトレイKSTの格納手順について説明する。
まず、作業者やAGV等により、図12Aに示すように、カスタマトレイKSTがアクセスポート110の支持装置121へと載置されると、図12Bに示すように、第1の昇降装置122の昇降部材122bが支持装置121よりも上側(図12BにおけるZ方向)へと上昇し、第1の昇降装置122の昇降部材122b上にカスタマトレイKSTが載る。このとき、支持装置121が図12BにおいてX方向に沿って摺動することで、上下動する昇降部材122b及びカスタマトレイKSTに干渉しない位置に退避する。なお、アクセスポート110の支持装置121に載置されるカスタマトレイKSTの枚数は特に限定されない。
次に、図12Cに示すように、カスタマトレイKSTを載せた昇降部材122bが−Z方向に降下する。これにより、カスタマトレイKSTは電子部品試験装置1内部へと取り込まれる。また、スライド装置123は、第1の昇降装置122からカスタマトレイKSTを受け取れるように、降下する第1の昇降装置122の下側に至るまで−Y方向に移動する。
次に、図12Dに示すように、昇降部材122bが更に−Z方向に降下することで、カスタマトレイKSTをスライド装置123の摺動部材123bへと受け渡す。この際、スライド装置123に切欠部123cが設けられているため、昇降部材122bはスライド装置123に干渉することなくスライド装置123の下側にまで移動することができる。
こうしてカスタマトレイKSTが載置されたスライド装置123の摺動部材123bは、図12Eに示すように、Y方向へと移動を開始する。そして、第1のトレイ移送アーム130が摺動部材123bからカスタマトレイKSTを受け取れる位置まで移動したら、摺動部材123bはY方向への移動を停止する。
次に、図12Fに示すように、第1のトレイ移送アーム130の可動ヘッド133が把持爪134をX方向に沿って開き、降下する。そして、把持爪134の間にカスタマトレイKSTが位置した状態で把持爪134を閉じることで、摺動部材123bに載置されたカスタマトレイKSTが第1のトレイ移送アーム130の把持爪134に把持される。
次に、図12Gに示すように、把持爪134がカスタマトレイKSTを把持した状態で可動ヘッド133がZ方向に上昇することで、カスタマトレイKSTが第1のトレイ移送アーム130の可動ヘッド133に保持される。
このようにしてカスタマトレイKSTを保持した可動ヘッド133は、カスタマトレイKSTを所望のストッカ161に収納するため、ストッカ群164へとX軸方向レール131上をX軸方向に沿って移動する。
図13Aは、第1のトレイ移送アーム130の可動ヘッド133がストッカ群164内に移動してきた様子を示している。ここで、第1のトレイ移送アーム130に保持されているカスタマトレイKSTが、ストッカ群164において2行6列に位置するストッカ161へと収納される場合を例に説明を行う。
図13Aに示すように、可動ヘッド133がマトリクスストッカ160内においてカスタマトレイKSTをストッカ群164の6列上に移動するとともに、スライド装置162が目的のストッカ161をY方向へと移動させる。具体的には、ストッカ161が載置されている摺動部材162bがY軸方向レール162a上をY方向へと移動することで、ストッカ161がY方向へと移動される。そして、ストッカ161が第2の昇降装置163の動作範囲内に入ったら、スライド装置162は動作を停止する。スライド装置162の移動と同時に、第2の昇降装置163の昇降部材163bも、Z軸方向レール163aに沿ってZ方向に移動を開始する。
次に、図13Bに示すように、上昇してきた昇降部材163bが、スライド装置162により移動された目的のストッカ161の下部に当接する。この際、摺動部材162bには上述したスライド装置123の摺動部材123bと同様の切欠部162cが設けられていることから、昇降部材163bと摺動部材162bとが干渉することはない。
次に、図13Cに示すように、ストッカ161を持ち上げた昇降部材163bはZ方向にさらに上昇し、ストッカ161が第1のトレイ移送アーム130からカスタマトレイKSTを受け取れる位置に到達する。そして、第1のトレイ移送アーム130の可動ヘッド133が、ストッカ161へのトレイの受け渡しのために−Z方向に降下を開始する。
次に、図13Dに示すように、第1のトレイ移送アーム130から第2の昇降装置163に保持されたストッカ161内に、カスタマトレイKSTが受け渡される。このとき、ストッカ161内部にあるエレベータ161bが、トレイ支持枠161aの開口部まで上昇している。そして、エレベータ161bにカスタマトレイKSTが載置されるとエレベータ161bが沈み込み、エレベータ161b上のカスタマトレイKSTがトレイ支持枠161aの内部に格納されるようになっている。
こうしてストッカ161にカスタマトレイKSTが格納されると、次に図13Eに示すように、第2の昇降装置163の昇降部材163bが降下し、ストッカ161を元の高さにまで戻す。次に、図13Fに示すように、昇降部材163bが更に降下し、ストッカ161を再びスライド装置162の摺動部材162b上へと受け渡す。
次に、図13Gに示すように、ストッカ161を搭載した摺動部材162bが−Y方向へと移動し、ストッカ161をマトリクスストッカユニット160内の元の位置へと戻す。このようにして、アクセスポート110からストッカ161へのカスタマトレイKSTの移動と格納が完了する。
なお、ストッカ161からアクセスポート110へのカスタマトレイKSTの搬送は、上述した手順と逆の要領で行われる。
以上のように、本実施形態においてはアクセスポート110の数を1つとすることで、作業者によるカスタマトレイKSTの搬入及び搬出作業を簡略化することができる。これにより、作業者がカスタマトレイKSTを異なるストッカにセットしてしまうなどの人為的なミスを防止することができ、また、ハンドラ10外における搬送の自由化を図ることができる。
なお、以上説明した実施形態は、本発明の理解を容易にするために記載されたものであって、本発明を限定するために記載されたものではない。したがって、上記の実施形態に開示された各要素は、本発明の技術的範囲に属する全ての設計変更や均等物をも含む趣旨である。
例えば、本実施形態においてはスライド装置162によりストッカ161がストッカ群164から取り出され、ストッカ161が元々位置していた場所と異なる場所においてストッカ161に対するカスタマトレイKSTの搬入出が行われている。しかしながら、本発明においては特にそれに限定されず、ストッカ161を移動させずに、そのストッカ161からカスタマトレイKSTを直接出し入れしても良い。
また、本実施形態においてはアクセスポート110の数を1つとしたが、本発明においては特にこれに限らず、ストッカ161の数より少なければ2個以上のアクセスポートを設けてもよい。
Claims (7)
- 電子部品を収容可能なトレイを搬入出するためのm個(但しmは自然数)のポートと、
前記トレイを格納するn個(但しnは自然数)のストッカから構成されるストッカ群と、
前記ポートと前記ストッカ群との間で前記トレイの受け渡しを行うためのトレイ搬送手段と、を備え、
前記ポートの数mよりも前記ストッカの数nの方が大きい(m<n)トレイ格納装置。 - 前記ストッカ群は、前記ストッカがマトリクス状に配列されて構成されている請求項1記載のトレイ格納装置。
- 前記ポートを1つ備え(m=1)、前記ポートを介して前記トレイ格納装置内に前記トレイを搬入及び搬出する請求項1又は2記載のトレイ格納装置。
- 前記ポートを2つ備え(m=2)、
一方の前記ポートから前記トレイ格納装置内に前記トレイが搬入され、
他方の前記ポートを介して前記トレイ格納装置内から前記トレイが搬出される請求項1又は2記載のトレイ格納装置。 - 前記トレイ搬送手段は、
前記ストッカ群から、前記ストッカ自体又は前記トレイを出し入れする第1の搬送手段と、
前記ポートと前記第1の搬送手段との間で前記トレイを搬送する第2の搬送手段と、を有する請求項1〜4の何れかに記載のトレイ格納装置。 - 前記トレイ搬送手段は、前記被試験電子部品のテストを行うテスト部と前記トレイ格納装置との間で前記被試験電子部品の搬送を行うデバイス搬送部に、前記第1の搬送手段から、前記トレイを搬送する第3の搬送手段をさらに有する請求項5記載のトレイ格納装置。
- 被試験電子部品の入出力端子をテストヘッドのコンタクト部に電気的に接触させて、前記被試験電子部品のテストを行うための電子部品試験装置であって、
前記被試験電子部品のテストを行うテスト部と、
請求項1〜6の何れかに記載のトレイ格納装置と、
前記テスト部と前記トレイ格納装置との間で前記被試験電子部品の搬送を行うデバイス搬送部と、を備えた電子部品試験装置。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
PCT/JP2007/060210 WO2008142752A1 (ja) | 2007-05-18 | 2007-05-18 | トレイ格納装置及び電子部品試験装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2008142752A1 true JPWO2008142752A1 (ja) | 2010-08-05 |
Family
ID=40031479
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009515022A Pending JPWO2008142752A1 (ja) | 2007-05-18 | 2007-05-18 | トレイ格納装置及び電子部品試験装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPWO2008142752A1 (ja) |
TW (1) | TW200911653A (ja) |
WO (1) | WO2008142752A1 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI384223B (zh) * | 2009-02-18 | 2013-02-01 | Keystone Electronics Corp | 用於最終測試的裝置及方法 |
US8116079B2 (en) * | 2009-07-15 | 2012-02-14 | Teradyne, Inc. | Storage device testing system cooling |
JP2013053991A (ja) * | 2011-09-06 | 2013-03-21 | Seiko Epson Corp | ハンドラー及び部品検査装置 |
JP2013057572A (ja) * | 2011-09-07 | 2013-03-28 | Seiko Epson Corp | ハンドラー及び部品検査装置 |
TWI808748B (zh) * | 2022-05-06 | 2023-07-11 | 四方自動化機械股份有限公司 | 晶片托盤之換盤機構 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6123008A (ja) * | 1984-06-29 | 1986-01-31 | Fujitsu Ltd | プリント板ユニット試験装置のスケジュール制御方式 |
JP2002164406A (ja) * | 2000-11-27 | 2002-06-07 | Tokyo Electron Ltd | 処理装置 |
JP2004304056A (ja) * | 2003-03-31 | 2004-10-28 | Fujitsu Display Technologies Corp | 製造設備の搬送システム |
JP2006049454A (ja) * | 2004-08-03 | 2006-02-16 | Asyst Shinko Inc | ストッカ |
-
2007
- 2007-05-18 JP JP2009515022A patent/JPWO2008142752A1/ja active Pending
- 2007-05-18 WO PCT/JP2007/060210 patent/WO2008142752A1/ja active Application Filing
-
2008
- 2008-04-14 TW TW097113467A patent/TW200911653A/zh unknown
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6123008A (ja) * | 1984-06-29 | 1986-01-31 | Fujitsu Ltd | プリント板ユニット試験装置のスケジュール制御方式 |
JP2002164406A (ja) * | 2000-11-27 | 2002-06-07 | Tokyo Electron Ltd | 処理装置 |
JP2004304056A (ja) * | 2003-03-31 | 2004-10-28 | Fujitsu Display Technologies Corp | 製造設備の搬送システム |
JP2006049454A (ja) * | 2004-08-03 | 2006-02-16 | Asyst Shinko Inc | ストッカ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW200911653A (en) | 2009-03-16 |
TWI363730B (ja) | 2012-05-11 |
WO2008142752A1 (ja) | 2008-11-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100301750B1 (ko) | 반도체디바이스용트레이꺼내기장치및반도체디바이스용트레이수납장치 | |
US7511522B2 (en) | Electronic device test apparatus | |
KR100857911B1 (ko) | 반도체 소자 테스트 핸들러용 소팅장치 및 소팅방법 | |
WO2004106953A1 (ja) | 電子部品試験装置 | |
WO1997005495A1 (fr) | Testeur de dispositif a semi-conducteurs | |
US20090314607A1 (en) | Electronic device conveying method and electronic device handling apparatus | |
JPWO2008142754A1 (ja) | 電子部品試験装置及び電子部品試験方法 | |
US7153087B2 (en) | Centering mechanism, centering unit, semiconductor manufacturing apparatus, and centering method | |
JPWO2008139853A1 (ja) | 電子部品試験装置、電子部品試験システム及び電子部品の試験方法 | |
JPWO2008142752A1 (ja) | トレイ格納装置及び電子部品試験装置 | |
JP4222442B2 (ja) | 電子部品試験装置用インサート | |
JPH112657A (ja) | 複合ic試験装置 | |
JP2001033518A (ja) | 電子部品試験装置用インサート | |
JP5022375B2 (ja) | トレイ搬送装置及びそれを備えた電子部品試験装置 | |
JP5282032B2 (ja) | トレイ格納装置、電子部品試験装置及びトレイ格納方法 | |
KR20220103075A (ko) | 전자부품 테스트 핸들러의 스태커 및 이를 포함하는 전자부품 테스트 핸들러 | |
JP2000162268A (ja) | 電子部品の温度印加方法および電子部品試験装置 | |
WO2007135710A1 (ja) | 電子部品試験装置 | |
WO2009116165A1 (ja) | トレイ搬送装置およびそれを備えた電子部品試験装置 | |
JP5314668B2 (ja) | 電子部品移載装置およびそれを備えた電子部品試験装置 | |
WO2003091741A1 (fr) | Appareil d'essai de composants electroniques | |
WO2008032396A1 (fr) | Plateau d'essai et dispositif d'essai de composant électronique ainsi équipé | |
WO2007083357A1 (ja) | 電子部品試験装置及び電子部品の試験方法 | |
WO2010052771A1 (ja) | 電子部品ハンドリング装置および電子部品移送方法 | |
JP2001235512A (ja) | 電子部品試験装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120828 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20121023 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20130129 |