JP2013053991A - ハンドラー及び部品検査装置 - Google Patents

Abstract

【課題】ハンドが保持可能な搬送対象物の数を維持しつつ、基台に設けられた開口部に配置される搬送対象物の個数を増やすとともに多数の搬送対象物の搬送を効率よく行なうことが可能なハンドラーを提供する。
【解決手段】開口部４５を有した基台１１と、搬送対象物を搬送する第１ハンドと、第１ハンドを開口部４５の上方に搬送して下ろす第１搬送部と、搬送対象物を搬送する第２ハンドと、第２ハンドを開口部４５の上方に搬送して下ろす第２搬送部と、第１搬送部の動作と第２搬送部の動作とを制御する制御部とを備えるハンドラーであって、第１ハンドと第２ハンドとが開口部４５の上方に向けて互いに近づき開口部４５に並んで配置される状態を有する。
【選択図】図１

Description

本発明は、搬送対象物を搬送するハンドラー及び該ハンドラーを備える部品検査装置に関し、特に基台に設けられた開口部に搬送対象物を搬送するハンドラー及び該ハンドラーを備える部品検査装置に関する。

従来から、半導体チップ等の電子部品の電気的特性を検査する部品検査装置が知られている。こうした部品検査装置は、例えば、電子部品が装着される検査ソケットを備えたテスターと、該テスターが搭載されて検査前の電子部品をテスターまで搬送するハンドラーとを含み構成されている。

こうしたハンドラーは、供給トレイに収納された複数の電子部品を真空吸着により保持するハンドを備えた搬送部を有している。搬送部は、電子部品を保持したハンドを検査ソケット上まで移動させたのち、該ハンドを検査ソケットに向けて下降させて電子部品を検査ソケットに押し込む。これにより、検査ソケットの端子と電子部品の端子とが電気的に接続されて、電子部品の電気的特性が検査される。電子部品の検査が終了すると、搬送部は、ハンドを移動させて該ハンドが保持している検査後の電子部品を検査ソケットから離脱させた後、該ハンドを回収トレイまで移動させ該ハンドが保持している電子部品を回収トレイに排出させる。そして、搬送部は、供給トレイに収納された新たな電子部品をハンドに吸着させて、再び検査ソケットに向かってハンドを移動させる。

ところで、こうした電子部品の検査を効率よく行うためには、検査後の電子部品を検査ソケットから離脱させてから次の電子部品が検査ソケットに配置されるまでの時間が短い方が好ましい。そこで、特許文献１には、こうした時間を短縮すべく、次のようなハンドラーが開示されている。

すなわち、特許文献１に記載のハンドラーは、互いに独立して制御される一対の搬送部を有しており、これら一対の搬送部によって搬送される電子部品に対する検査が、共通する検査ソケットにおいて交互に行われる。一方の搬送部のハンドに保持された電子部品の検査が行われている間、他方の搬送部は、検査後の電子部品をハンドから排出させるとともに、該ハンドに検査前の電子部品を新たに保持させて検査ソケットの近傍で待機させる。こうした構成によれば、一方の搬送部のハンドに保持された電子部品が検査ソケットから離脱した後、直ちに、他方の搬送部のハンドに保持された電子部品が検査ソケットに配置されることになる。そのため、電子部品の検査を効率よく行うことが可能となる。

特開２００２−１４８３０７号公報

近年では、電子部品の検査効率を高めるために、一度の検査において、検査ソケットに嵌め込まれる電子部品の個数が増えつつある。しかしながら、ハンドによって押し込まれる電子部品の個数が増えることになれば、ハンドそのものの大型化や重量化が進み、電子部品の搬送速度の低下や電子部品の搬送距離の増大が余儀なくされる。そのため、上述したハンドラーでは、ハンドを大型化することによって、検査ソケットに嵌め込まれる電子部品を増やすことは可能ではあるものの、ハンドの大型化にともなう搬送速度の低下や搬送距離の増大に起因した搬送効率の低下を抑えるうえでは、依然として改善の余地が残されたものとなっている。

本発明は、上記実情を鑑みてなされたものであり、その目的は、ハンドが保持可能な搬送対象物の数を維持しつつ、基台に設けられた開口部に配置される搬送対象物の個数を増やすとともに多数の搬送対象物の搬送を効率よく行なうことが可能なハンドラー及び部品検査装置を提供することにある。

本発明の態様の一つは、開口部を有した基台と、搬送対象物を保持する第１ハンドを有し、該第１ハンドを前記開口部に対峙する位置まで移動させたのち、前記開口部に向けて移動させる第１搬送部と、搬送対象物を保持する第２ハンドを有し、該第２ハンドを前記開口部に対峙する位置まで移動させたのち、前記開口部に向けて移動させる第２搬送部と、前記第１搬送部の動作と前記第２搬送部の動作とを制御する制御部とを備えるハンドラーであって、前記第１ハンド及び前記第２ハンドが、互いに離間した位置から互いに異なる方向で前記開口部に対峙する位置まで移動したのち、前記開口部へ向けて移動することにより、当該第１ハンドと当該第２ハンドとが隣接して前記開口部に配置される状態を有する。

また、本発明の態様の一つは、電子部品を検査するテスターと、前記テスターが搭載され該テスターの検査ソケットに対して前記電子部品を押し込むハンドラーとを備える部品検査装置であって、前記ハンドラーは、前記検査ソケットを露出させる開口部を有した基台と、搬送対象物を保持する第１ハンドを有し、該第１ハンドを前記開口部に対峙する位置まで移動させたのち、前記開口部に向けて移動させる第１搬送部と、搬送対象物を保持する第２ハンドを有し、該第２ハンドを前記開口部に対峙する位置まで移動させたのち、前記開口部に向けて移動させる第２搬送部と、前記第１搬送部の動作と前記第２搬送部の動作とを制御する制御部とを備え、前記第１ハンド及び前記第２ハンドが、互いに離間した位置から互いに異なる方向で前記開口部に対峙する位置まで移動したのち、前記開口部へ向けて移動することにより、当該第１ハンドと当該第２ハンドとが隣接して前記開口部に配置される状態を有する。

本発明の態様の一つによれば、第１ハンドと第２ハンドとが開口部に対峙する位置に向けて互いに近づくように移動したのち、開口部に向けて移動することにより、開口部に並んで配置される状態を有する。そのため、第１ハンドのみによって開口部に搬送対象物が搬送される態様や第２ハンドのみによって開口部に搬送対象物が搬送される態様と比べて、該ハンドが保持可能な搬送対象物の個数を維持したうえで、開口部に搬送される搬送対象物の数を増やすことができる。すなわち、ハンドを大型化させることなく、開口部に搬送される搬送対象物の数を増やすことができる。それゆえに、ハンドの大型化にともなう搬送速度の低下や搬送距離の増大が抑えられることから、搬送先である開口部へ搬送される搬送対象物の個数を増やしつつ、多数の搬送対象物の搬送を効率よく行なうことができる。

本発明の態様の一つは、前記第１搬送部は、前記開口部において前記第１ハンドが配置される第１位置と前記第１ハンドによる搬送対象物の保持及び排出が行なわれる第１受け渡し位置との間で前記第１ハンドを移動させ、前記第２搬送部は、前記開口部において前記第２ハンドが配置される第２位置と前記第２ハンドによる搬送対象物の保持及び排出が行なわれる第２受け渡し位置との間で前記第２ハンドを移動させるものであり、前記第１位置に配置された前記第１ハンド及び前記第２位置に配置された前記第２ハンドが、前記開口部から離脱するように移動したのち、各々の受け渡し位置へ向けて互いに異なる方向へ移動する状態を有する。

本発明の態様の一つによれば、第１ハンドと第２ハンドとが開口部に対峙する位置から互いに遠ざかるように移動するため、後続する搬送対象物を第１ハンドが保持しながら移動するタイミングと、後続する搬送対象物を第２ハンドが保持しながら移動するタイミングとが重なりやすくなる。その結果、第１搬送部によって開口部に移動される第１ハンドと第２搬送部によって開口部に移動される第２ハンドとが、再び開口部で互いに隣接しやすくなる。それゆえに、上述した効果がより顕著なものとなる。

本発明の態様の一つは、前記第１ハンドの保持する前記搬送対象物を該第１ハンドに供給する第１供給トレイと前記第１ハンドの排出する前記搬送対象物を該第１ハンドから回収する第１回収トレイとが各別に設けられた第１シャトルと、前記第２ハンドの保持する前記搬送対象物を該第２ハンドに供給する第２供給トレイと前記第２ハンドの保持する前記搬送対象物を該第２ハンドから回収する第２回収トレイとが各別に設けられた第２シャトルとを備え、前記制御部は、前記第１シャトルの動作と前記第２シャトルの動作とを制御し、前記第１受け渡し位置に配置されるトレイを前記第１供給トレイと前記第１回収トレイとに交互に替えるとともに、前記第２受け渡し位置に配置されるトレイを前記第２供給トレイと前記第２回収トレイとに交互に替える。

ここで、供給トレイと回収トレイとが共通するトレイである場合、ハンドが該ハンドの保持していた搬送対象物を排出してから次の搬送対象物を保持するまでの間には、該ハンドから排出された搬送対象物をトレイから回収すること、該トレイに次の搬送対象物を供給すること、これらが順に実行される。すなわち、次の搬送対象物がトレイに供給されるまでハンドは待機していなければならず、これにより搬送対象物の搬送効率が著しく低下してしまう虞がある。

この点、上述した態様であれば、各受け渡し位置に配置されるトレイが供給トレイと回収トレイとに交互に替えられる。そのため、受け渡し位置にて供給トレイから搬送対象物の供給を受けたハンドが再び受け渡し位置に戻ってくるまでの期間に、受け渡し位置に配置されるトレイを供給トレイから回収トレイに替えることが可能である。そして、受け渡し位置に回収トレイが配置されている期間には、供給トレイに対して次の搬送対象物を供給することが可能である。

また、受け渡し位置に配置された回収トレイに対してハンドから搬送対象物が排出されると、ハンドに新たな搬送対象物を供給すべく、受け渡し位置に配置されるトレイが供給トレイに替えられる。供給トレイが受け渡し位置に配置されている期間には、回収トレイに排出された搬送対象物を回収することが可能である。

つまり、上述した態様の一つでは、供給トレイへの搬送対象物の供給と、回収トレイからの搬送対象物の回収とが、各ハンドが移動している間に行なうことが可能である。その結果、供給トレイと回収トレイとが共通するトレイである場合に比べて、搬送対象物の保持及び排出に際してハンドの待機時間を短くすることが可能である。それゆえに、ハンドによる搬送対象物の供給及び回収が円滑に行なわれることとなる。
本発明の態様の一つは、前記第１受け渡し位置に前記第１供給トレイが配置され、且つ前記第２受け渡し位置に前記第２供給トレイが配置される状態を有する。

本発明の態様の一つによれば、第１受け渡し位置に第１供給トレイが配置され、且つ第２受け渡し位置に第２供給トレイが配置されるため、第１ハンドに対して搬送対象物が供給されるときに、第２ハンドに対して搬送対象物を供給することが可能となる。そのため、第１ハンドと第２ハンドとが開口部に対峙する位置に向けて互いに近づく前に、一方のハンドに対して搬送対象物の供給が完了することを他方のハンドが待つという期間を短くすることが可能となる。
本発明の態様の一つは、前記第１受け渡し位置に前記第１回収トレイが配置され、且つ前記第２受け渡し位置に前記第２回収トレイが配置される状態を有する。

本発明の態様の一つによれば、第１受け渡し位置に第１回収トレイが配置され、且つ第２受け渡し位置に第２回収トレイが配置されるため、第１ハンドの保持していた搬送対象物が回収されるときに、第２ハンドの保持していた搬送対象物を回収することが可能となる。そのため、第１ハンドと第２ハンドとが開口部に対峙する位置から互いに遠ざかった後に、一方のハンドに対する搬送対象物の回収が完了することを他方のハンドが待つという期間を短くすることが可能となる。

本発明の態様の一つは、前記制御部が、前記第１受け渡し位置への前記第１供給トレイの配置と前記第２受け渡し位置への前記第２供給トレイの配置とが同じタイミングで行なわれるように前記第１シャトルの動作と前記第２シャトルの動作とを制御するとともに、前記第１受け渡し位置への前記第１回収トレイの配置と前記第２受け渡し位置への前記第２供給トレイの配置とが同じタイミングで行なわれるように前記第１シャトルの動作と前記第２シャトルの動作とを制御する。

本発明の態様の一つによれば、第１シャトルと第２シャトルとが同じ動作をすることになるため、一方のハンドに対して搬送対象物の供給が完了することを他方のハンドが待つという期間を、より効果的に短くすることが可能になる。また、一方のハンドに対する搬送対象物の回収が完了することを他方のハンドが待つという期間を、より効果的に短くすることが可能にもなる。

本発明の態様の一つは、前記制御部が、前記第１ハンドによる前記搬送対象物の保持と前記第２ハンドによる前記搬送対象物の保持とが同じタイミングで行われるように前記第１搬送部の動作と前記第２搬送部の動作とを制御するとともに、前記第１ハンドによる前記搬送対象物の排出と前記第２ハンドによる前記搬送対象物の保持とが同じタイミングで行なわれるように前記第１搬送部の動作と前記第２搬送部の動作とを制御する。

本発明の態様の一つによれば、第１搬送部と第２搬送部とが同じ動作をすることになるため、一方のハンドに対して搬送対象物の供給が完了することを他方のハンドが待つという期間を、さらに効果的に短くすることが可能になる。また、一方のハンドに対する搬送対象物の回収が完了することを他方のハンドが待つという期間を、さらに効果的に短くすることが可能にもなる。

本発明における一実施形態のハンドラーが搭載された部品検査装置の全体構成を示す構成図。 同実施形態のハンドラーの端面構造を模式的に示す端面図。 同実施形態のハンドラーの電気的構成を示すブロック図。 同実施形態のハンドラーにおける第１の作動態様を示すタイムチャート。 （ａ）〜（ｄ）第１の作動態様における搬送ユニットの配置を示す端面図。 （ａ）〜（ｄ）第１の作動態様における搬送ユニットの配置を示す端面図。 同実施形態のハンドラーにおける第２の作動態様を示すタイムチャート。 （ａ）〜（ｄ）第２の作動態様における搬送ユニットの配置を示す端面図。 （ａ）（ｂ）第２の作動態様における搬送ユニットの配置を示す端面図。 同実施形態のハンドラーにおける第３の作動態様を示すタイムチャート。 （ａ）〜（ｄ）第３の作動態様における搬送ユニットの配置を示す端面図。 （ａ）〜（ｃ）第３の作動態様における搬送ユニットの配置を示す端面図。 同実施形態のハンドラーにおける第４の作動態様を示すタイムチャート。 （ａ）〜（ｄ）第４の作動態様における搬送ユニットの配置を示す端面図。

以下、本発明のハンドラーを具体化した一実施形態について、図１〜図１４を参照して説明する。まず、ハンドラーが用いられた部品検査装置の構成について図１及び図２を参照して説明する。

（部品検査装置の構成）
図１に示されるように、ハンドラー１０の基台１１には、各種ロボットの搭載される搭載面１１ａが上面として設けられ、該搭載面１１ａの大部分が、カバー部材１２によって覆われている。これらカバー部材１２と搭載面１１ａとにより囲まれた空間である搬送空間は、部品検査装置の外部から供給されるドライエアーにより湿度と温度とが所定の値に維持されている。

基台１１の搭載面１１ａには、一つの方向に延びる４つのコンベアーが、該コンベアーの搬送方向と直交する方向に配列されている。４つのコンベアーのうち、コンベアーの配列方向であるＸ方向の一方側には、１つの供給用コンベアーＣ１が敷設され、Ｘ方向の他方側には、３つの回収用コンベアーＣ２，Ｃ３，Ｃ４が敷設されている。そして、供給用コンベアーＣ１では、供給用コンベアートレイＣ１ａが、カバー部材１２の外側から内側に向かって運ばれる。また、回収用コンベアーＣ２，Ｃ３，Ｃ４では、回収用コンベアートレイＣ２ａ，Ｃ３ａ，Ｃ４ａが、カバー部材１２の内側から外側に向かって運ばれる。なお、供給用コンベアートレイＣ１ａには、搬送対象物である複数の電子部品Ｔが収容され、また、回収用コンベアートレイＣ２ａ，Ｃ３ａ，Ｃ４ａには、検査後の複数の電子部品Ｔが収容されている。なお、本実施形態の供給用コンベアートレイＣ１ａ及び回収用コンベアートレイＣ２ａ，Ｃ３ａ，Ｃ４ａには、Ｘ方向及びＹ方向に沿って複数の電子部品Ｔがマトリクス状に収容される。

上記基台１１の搭載面１１ａ上には、Ｘ方向において互いに向い合う供給ロボット２０と回収ロボット４０とが搭載されている。供給ロボット２０は、供給用コンベアーＣ１のＹ方向に配置され、また、回収ロボット４０は、回収用コンベアーＣ２，Ｃ３，Ｃ４のＹ方向に配置されている。

供給ロボット２０は、Ｙ方向に延びる固定軸である供給側固定ガイド２１と、供給側固定ガイド２１に連結された可動軸である供給側可動ガイド２２と、供給側可動ガイド２２に連結され、且つ供給側可動ガイド２２に沿って移動する供給用ハンドユニット２３とを有している。

供給側可動ガイド２２は、供給側固定ガイド２１から回収ロボット４０側へ延びる可動軸であって、供給側固定ガイド２１に対し、Ｙ方向に往動及び復動可能に連結されている。供給用ハンドユニット２３は、供給側可動ガイド２２の搭載面１１ａ側に配置されたエンドエフェクターであって、供給側可動ガイド２２に対し、Ｘ方向に往動及び復動可能に連結されている。また、供給用ハンドユニット２３は、供給側可動ガイド２２から搭載面１１ａに向けた下降と、搭載面１１ａ側から供給側可動ガイド２２に向けた上昇とが可能に、供給側可動ガイド２２に連結されている。

そして、供給側可動ガイド２２が、供給側固定ガイド２１に沿って供給用コンベアーＣ１側へ移動するとともに、供給用ハンドユニット２３が、供給側可動ガイド２２に沿って供給用コンベアートレイＣ１ａの上方にまで移動する。これにより、供給用コンベアートレイＣ１ａに載置された電子部品Ｔが、供給用ハンドユニット２３の吸着パットに吸着され、その後、供給用コンベアートレイから持ち上げられる。また、この状態から、供給側可動ガイド２２が、供給側固定ガイド２１に沿って供給用コンベアーＣ１上から離れることによって、供給用ハンドユニット２３に吸着された電子部品Ｔが、上述した搬送空間内の所定の位置へ供給される。なお、本実施形態の供給用ハンドユニット２３は、複数の電子部品を同時に吸着保持する。

回収ロボット４０は、供給ロボット２０と同じく、Ｙ方向に延びる固定軸である回収側固定ガイド４１と、回収側固定ガイド４１に連結された可動軸である回収側可動ガイド４２と、回収側可動ガイド４２に連結され、且つ回収側可動ガイド４２に沿ってＸ方向に移動する回収用ハンドユニット４３とを有している。

回収側可動ガイド４２は、回収側固定ガイド４１から供給ロボット２０側へ延びる可動軸であって、回収側固定ガイド４１に対し、Ｙ方向に往動及び復動可能に連結されている。回収用ハンドユニット４３は、回収側可動ガイド４２の搭載面１１ａ側に配置されたエンドエフェクターであって、回収側可動ガイド４２に対し、Ｘ方向に往動及び復動可能に連結されている。また、回収用ハンドユニット４３は、回収側可動ガイド４２から搭載面１１ａに向けた下降と搭載面１１ａ側から回収側可動ガイド４２に向けた上昇とが可能に、回収側可動ガイド４２に連結されている。

そして、回収側可動ガイド４２が、回収側固定ガイド４１に沿って回収用コンベアーＣ２，Ｃ３，Ｃ４側へ移動するとともに、回収用ハンドユニット４３が、回収側可動ガイド４２に沿って、回収用コンベアートレイＣ２ａ，Ｃ３ａ，Ｃ４ａの上方にまで移動する。これにより、回収用ハンドユニット４３の吸着パットに吸着された電子部品Ｔが、回収用コンベアートレイＣ２ａ，Ｃ３ａ，Ｃ４ａに載置される。なお、本実施形態の回収用ハンドユニット４３は、供給用ハンドユニット２３と同様、複数の電子部品を同時に吸着保持する。

また、カバー部材１２の内側面には、Ｙ方向に延びる搬送ガイド３１が、該内側面におけるＸ方向の略中央に固定されている。この搬送ガイド３１における両端部の下方には、Ｘ方向に延びる第１シャトル３２と、同じくＸ方向に延びる第２シャトル３５とが配設されている。

第１シャトル３２は、搭載面１１ａに固設されたＸ方向に延びる第１シャトルガイド３２ｃに連結されてＸ方向に沿って往動及び復動する。第１シャトル３２における上記供給ロボット２０側には、第１供給トレイとしての供給用シャトルトレイ３２ａが固定され、また、第１シャトル３２における上記回収ロボット４０側には、第１回収トレイとしての回収用シャトルトレイ３２ｂが固定されている。供給用シャトルトレイ３２ａには、処理対象である検査前の複数の電子部品Ｔが収容され、また、回収用シャトルトレイ３２ｂには、検査後の複数の電子部品Ｔが収容される。

そして、第１シャトル３２は、供給用シャトルトレイ３２ａが供給側可動ガイド２２の下に配置され、且つ回収用シャトルトレイ３２ｂが搬送ガイド３１の下に配置される位置である供給位置に配置される。また、第１シャトル３２は、供給用シャトルトレイ３２ａが搬送ガイド３１の下に配置され、且つ回収用シャトルトレイ３２ｂが回収側可動ガイド４２の下に配置される位置である回収位置にも配置される。そして、第１シャトル３２は、供給位置と回収位置との間をＸ方向に沿って往動及び復動する。すなわち、第１シャトル３２は、供給用ハンドユニット２３によって供給用シャトルトレイ３２ａに電子部品Ｔの供給が可能な供給位置と、回収用ハンドユニット４３によって回収用シャトルトレイ３２ｂから電子部品の回収が可能な回収位置との間を往復する。

第２シャトル３５は、これもまた、搭載面１１ａに固設されたＸ方向に延びる第２シャトルガイド３５ｃに連結されてＸ方向に沿って往動及び復動する。第２シャトル３５における上記供給ロボット２０側には、第２供給トレイとしての供給用シャトルトレイ３５ａが固定され、また、第２シャトル３５における上記回収ロボット４０側には、第２回収トレイとしての回収用シャトルトレイ３５ｂが固定されている。供給用シャトルトレイ３５ａには、搬送対象である検査前の複数の電子部品Ｔが収容され、また、回収用シャトルトレイ３５ｂには、検査後の複数の電子部品Ｔが収容される。

そして、第２シャトル３５は、供給用シャトルトレイ３５ａが供給側可動ガイド２２の下に配置され、且つ回収用シャトルトレイ３５ｂが搬送ガイド３１の下に配置される位置である供給位置に配置される。また、第２シャトル３５は、供給用シャトルトレイ３５ａが搬送ガイド３１の下に配置され、且つ回収用シャトルトレイ３５ｂが回収側可動ガイド４２の下に配置される位置である回収位置にも配置される。そして、第２シャトル３５は、供給位置と回収位置との間をＸ方向に沿って往動及び復動する。すなわち、第２シャトル３５は、供給用ハンドユニット２３によって供給用シャトルトレイ３５ａに電子部品Ｔの供給が可能な供給位置と、回収用ハンドユニット４３によって回収用シャトルトレイ３５ｂから電子部品Ｔの回収が可能な回収位置との間を往復する。

また、本実施形態の供給用シャトルトレイ３２ａ，３５ａ及び回収用シャトルトレイ３２ｂ，３５ｂには、Ｘ方向及びＹ方向に複数の電子部品Ｔがマトリクス状に収容される。すなわち、供給用シャトルトレイ３２ａ，３５ａは、供給用ハンドユニット２３による電子部品Ｔの供給を２回受けることにより電子部品Ｔで満載される。また回収用シャトルトレイ３２ｂ，３５ｂは、回収用ハンドユニット４３による電子部品Ｔの回収を２回受けることにより全ての電子部品Ｔが回収される。

また、搭載面１１ａのうち、搬送空間の略中央には、搭載面１１ａを貫通する矩形状の開口部４５が形成されている。この開口部４５には、ハンドラー１０とは別の装置であるテスターのテストヘッド３３が取り付けられている。テストヘッド３３は、電子部品Ｔが嵌め込まれるソケットであって、該電子部品Ｔを検査するための検査回路に電気的に接続されている。

テストヘッド３３の上面には、複数の電子部品Ｔを同時に収容することの可能な検査用ポケット３３ａが凹設され、また、検査用ポケット３３ａの底面には、電子部品Ｔの雄端子と嵌合可能な複数の雌端子が凹設されている。そして、電子部品Ｔの有する雄端子が検査用ポケット３３ａの雌端子に嵌め込まれることによって、電子部品Ｔの電気的特性がテスターにより検査可能になる。テスターは、ハンドラーから検査開始を示す電気的な信号を受けて電子部品Ｔの検査を開始し、その検査結果をハンドラー１０に出力する。
また、上記搬送ガイド３１には、第１搬送ユニット３４と第２搬送ユニット３６とがＹ方向に並んで連結されている。

図２に示されるように、第１搬送ユニット３４を構成する水平移動アーム５１は、搬送ガイド３１に沿って往動及び復動可能に連結されている。水平移動アーム５１は、内蔵された搬送モーターＭＡが正転あるいは逆転されることにより、搬送ガイド３１に沿って往動あるいは復動する。水平移動アーム５１の下端部には、水平移動アーム５１に対し上昇及び下降可能な垂直移動アーム５２が連結されている。垂直移動アーム５２は、水平移動アーム５１に内蔵された押圧モーターＭＢが正転あるいは逆転されることにより、水平移動アーム５１に対して上昇あるいは下降する。

また、垂直移動アーム５２の下端部には、例えば真空吸着によって電子部品Ｔを吸着することの可能なエンドエフェクターである複数の吸着部５４を有する第１ハンド５３が連結されている。吸着部５４は、例えばノズル、該ノズルに接続された吸引ポンプ、該ノズルに圧縮空気を供給するリークバルブ等によって構成されている。なお、これら搬送ガイド３１、水平移動アーム５１、搬送モーターＭＡ、垂直移動アーム５２、押圧モーターＭＢ、及び第１ハンド５３を含み第１搬送部が構成されている。

すなわち、第１搬送ユニット３４は、第１ハンド５３が第１シャトル３２と互いに向かい合う状態と第１ハンド５３が開口部４５と互いに向かい合う状態とを有する。また、第１搬送ユニット３４は、搬送ガイド３１と搭載面１１ａとの間でＺ方向に沿って第１ハンド５３を上昇及び下降させる。

そして、第１搬送ユニット３４は、第１シャトル３２の供給用シャトルトレイ３２ａに収容された検査前の電子部品Ｔを第１ハンド５３で保持し、搬送元である第１シャトル３２の上方からテストヘッド３３の上方まで電子部品Ｔを搬送する。また、第１搬送ユニット３４は、テストヘッド３３にある検査後の電子部品Ｔを第１ハンド５３で保持し、搬送元である第１シャトル３２の上方に第１ハンド５３を戻す。そして、第１搬送ユニット３４は、第１ハンド５３の保持した電子部品Ｔを第１シャトル３２の回収用シャトルトレイ３２ｂまで搬送する。

なお、本実施形態では、第１ハンド５３が移動する範囲のうち、第１ハンド５３が第１検査位置に配置される状態で、テストヘッド３３に電子部品Ｔが嵌め込まれる。また、第１ハンド５３が移動する範囲のうち、第１ハンド５３が第１受け渡し位置に配置される状態で、第１シャトル３２におけるいずれかのトレイで電子部品Ｔの受け渡しが行われる。

図２に示されるように、第２搬送ユニット３６を構成する水平移動アーム５６は、搬送ガイド３１に沿って往動及び復動可能に連結されている。水平移動アーム５６は、内蔵された搬送モーターＭＡが正転あるいは逆転されることにより、搬送ガイド３１に沿って往動あるいは復動する。水平移動アーム５６の下端部には、水平移動アーム５６に対し上昇及び下降可能な垂直移動アーム５７が連結されている。垂直移動アーム５７は、水平移動アーム５１に内蔵された押圧モーターＭＢが正転あるいは逆転されることにより、水平移動アーム５１に対して上昇あるいは下降する。

また、垂直移動アーム５７の下端部には、例えば真空吸着によって電子部品Ｔを吸着することの可能なエンドエフェクターである複数の吸着部５９を有する第２ハンド５８が連結されている。吸着部５９は、例えば吸着用のノズルと、該ノズルに接続された吸引ポンプ、該ノズルに圧縮空気を供給するリークバルブ等によって構成されている。なお、これら搬送ガイド３１、水平移動アーム５６、搬送モーターＭＡ、垂直移動アーム５７、押圧モーターＭＢ、及び第２ハンド５８を含み第２搬送部が構成されている。

すなわち、第２搬送ユニット３６は、第２ハンド５８が第２シャトル３５と互いに向い合う状態と第２ハンド５８が開口部４５と互いに向い合う状態とを有する。また、第２搬送ユニット３６は、搬送ガイド３１と搭載面１１ａとの間でＺ方向に沿って第２ハンド５８を上昇及び下降させる。

そして、第２搬送ユニット３６は、第２シャトル３５の供給用シャトルトレイ３５ａに収容された検査前の電子部品Ｔを第２ハンド５８で保持し、搬送元である第２シャトル３５の上方からテストヘッド３３の上方まで電子部品Ｔを搬送する。また、第２搬送ユニット３６は、テストヘッド３３にある検査後の電子部品Ｔを第２ハンド５８で保持し、搬送元である第２シャトル３５の上方に第２ハンド５８を戻す。そして、第２搬送ユニット３６は、第２ハンド５８の保持した電子部品Ｔを第２シャトル３５の回収用シャトルトレイ３５ｂまで搬送する。

なお、本実施形態では、第２ハンド５８が移動する範囲のうち、第２ハンド５８が第２検査位置に配置される状態で、テストヘッド３３に電子部品Ｔが嵌め込まれる。また、第２ハンド５８が移動する範囲のうち、第２ハンド５８が第２受け渡し位置に配置される状態で、第２シャトル３５におけるいずれかのトレイで電子部品Ｔの受け渡しが行われる。

また、ハンドラー１０の開口部４５は、第１ハンド５３と第２ハンド５８とがＹ方向に並んで挿入されることの可能な大きさに形成されている。すなわち、開口部４５は、第１ハンド５３が保持している電子部品Ｔと第２ハンド５８が保持している電子部品ＴとがＹ方向に並んで配置されて、これらの電子部品Ｔがテストヘッド３３に装着可能となる大きさに形成されている。

（ハンドラー１０の電気的構成）
上記部品検査装置の電気的構成についてハンドラー１０の電気的構成を中心に図３を参照して説明する。上記ハンドラー１０に備えられた制御部を構成する制御装置６０は、中央処理装置（ＣＰＵ）、不揮発性メモリー（ＲＯＭ）、及び揮発性メモリー（ＲＡＭ）を有するマイクロコンピューターを中心に構成されている。制御装置６０は、上記ＲＯＭ及びＲＡＭに格納された各種データ及びプログラムに基づいて、ハンドラー１０の動作にかかわる各種制御を行う。

制御装置６０には、コンベアーモーターＭＣを回転駆動させるコンベアー駆動部６１が電気的に接続されている。コンベアー駆動部６１には、コンベアーモーターＭＣの回転位置を検出するエンコーダーＥＭＣが接続されている。コンベアー駆動部６１は、制御装置６０から入力された位置指令と、エンコーダーＥＭＣから入力されたコンベアーモーターＭＣの回転位置とに基づいて、コンベアーモーターＭＣの駆動電流を生成するとともに、該駆動電流をコンベアーモーターＭＣに出力する。コンベアーモーターＭＣは、上記駆動電流に応じた回転を行うことで、上記コンベアーＣ１〜Ｃ４を駆動する。なお、上記コンベアー駆動部６１及びコンベアーモーターＭＣは、コンベアーＣ１〜Ｃ４毎に設けられ、また、エンコーダーＥＭＣは各コンベアーモーターＭＣに対して設けられている。すなわち、制御装置６０は、各コンベアーＣ１〜Ｃ４の動作を互いに独立させた態様で制御する。

また、制御装置６０には、Ｘ軸モーターＭＸを回転駆動させるＸ軸ガイド駆動部６２が電気的に接続されている。Ｘ軸ガイド駆動部６２には、Ｘ軸モーターＭＸの回転位置を検出するエンコーダーＥＭＸが接続されている。Ｘ軸ガイド駆動部６２は、制御装置６０から入力された位置指令と、エンコーダーＥＭＸから入力された回転位置とに基づいて、Ｘ軸モーターＭＸの駆動電流を生成するとともに、該駆動電流をＸ軸モーターＭＸに出力する。Ｘ軸モーターＭＸは、入力された上記駆動電流に応じた回転を行うことで、上記ハンドユニット２３，４３を可動ガイド２２，４２に沿って往動及び復動させる。なお、上記Ｘ軸ガイド駆動部６２及びＸ軸モーターＭＸは、供給用ハンドユニット２３及び回収用ハンドユニット４３の各々に対して設けられ、また、エンコーダーＥＭＸは、各Ｘ軸モーターＭＸに対して設けられている。

制御装置６０には、Ｙ軸モーターＭＹを回転駆動させるＹ軸ガイド駆動部６３が接続されている。Ｙ軸ガイド駆動部６３には、Ｙ軸モーターＭＹの回転位置を検出するエンコーダーＥＭＹが接続されている。Ｙ軸ガイド駆動部６３は、制御装置６０から入力された位置指令と、エンコーダーＥＭＹから入力された回転位置とに基づいて、Ｙ軸モーターＭＹの駆動電流を生成するとともに、該駆動電流をＹ軸モーターＭＹに出力する。Ｙ軸モーターＭＹは、入力された上記駆動電流に応じた回転を行うことで、上記可動ガイド２２，４２を固定ガイド２１，４１に沿って往動及び復動させる。なお、上記Ｙ軸ガイド駆動部６３及びＹ軸モーターＭＹは、供給側可動ガイド２２及び回収側可動ガイド４２の各々に対して設けられ、また、エンコーダーＥＭＹは、各Ｙ軸モーターＭＹに対して設けられている。

制御装置６０には、ハンドモーター駆動部６４ａとバルブ駆動部６４ｂとを有するハンドユニット駆動部６４が接続されている。このうち、ハンドモーター駆動部６４ａには、ハンドモーターＭＺの回転位置を検出するエンコーダーＥＭＺが接続されている。ハンドモーター駆動部６４ａは、制御装置６０から入力された位置指令と、エンコーダーＥＭＺから入力された回転位置とに基づいて、ハンドモーターＭＺの駆動電流を生成するとともに、該駆動電流をハンドモーターＭＺに出力する。ハンドモーターＭＺは、入力された上記駆動電流に応じた回転を行うことで、上記ハンドユニット２３，４３を上昇及び下降させる。

バルブ駆動部６４ｂには、ハンドユニット２３，４３の先端に設けられた吸引バルブＳＶ１とリークバルブＤＶ１が接続されている。バルブ駆動部６４ｂは、制御装置６０から入力された吸引バルブＳＶ１の開閉指令に基づいて、吸引バルブＳＶ１の駆動信号を生成するとともに、該駆動信号を吸引バルブＳＶ１に出力する。吸引バルブＳＶ１は、入力された上記駆動信号に応じた開閉動作を行うことで、所定の吸引力により上記電子部品Ｔを吸引する。また、バルブ駆動部６４ｂは、制御装置６０から入力されたリークバルブＤＶ１の開閉指令に基づいて、リークバルブＤＶ１の駆動信号を生成するとともに、該駆動信号をリークバルブＤＶ１に出力する。リークバルブＤＶ１は、入力された上記駆動信号に応じた開閉動作を行うことで、吸着パットから圧縮空気を送る。なお、上記ハンドユニット駆動部６４、ハンドモーターＭＺ、吸引バルブＳＶ１、及びリークバルブＤＶ１は、供給用ハンドユニット２３及び回収用ハンドユニット４３の各々に対して設けられ、また、エンコーダーＥＭＺは、ハンドモーターＭＺの各々に対して設けられている。すなわち、制御装置６０は、供給用ハンドユニット２３の動作と回収用ハンドユニット４３の動作とを互いに独立させた態様で制御する。

また、制御装置６０には、シャトルモーターＭＳを回転駆動させるシャトル駆動部６５が接続されている。シャトル駆動部６５には、シャトルモーターＭＳの回転位置を検出するエンコーダーＥＭＳが接続されている。シャトル駆動部６５は、制御装置６０から入力された位置指令と、エンコーダーＥＭＳから入力された回転位置とに基づいて、シャトルモーターＭＳの駆動電流を生成するとともに、該駆動電流をシャトルモーターＭＳに出力する。シャトルモーターＭＳは、入力された上記駆動電流に応じた回転を行うことで、上記ガイド３２ｃ，３５ｃに沿ってシャトル３２，３５をスライドさせる。なお、上記シャトル駆動部６５及びシャトルモーターＭＳは、第１シャトル３２及び第２シャトル３５の各々に対して設けられ、また、エンコーダーＥＭＳは、各シャトルモーターＭＳに対して設けられている。すなわち、制御装置６０は、第１シャトル３２の動作と第２シャトル３５の動作とを互いに独立させた態様で制御する。

また、制御装置６０には、搬送モーター駆動部６６ａ、押圧モーター駆動部６６ｂ、及び吸引バルブ駆動部６６ｃを有した搬送ユニット駆動部６６が接続されている。

搬送モーター駆動部６６ａには、搬送モーターＭＡの回転位置を検出するエンコーダーＥＭＡが接続されている。搬送モーター駆動部６６ａは、制御装置６０から入力された位置指令と、エンコーダーＥＭＡから入力された回転位置とに基づいて、搬送モーターＭＡの駆動電流を生成するとともに、該駆動電流を搬送モーターＭＡに出力する。搬送モーターＭＡは、入力された上記駆動電流に応じた回転を行うことで、上記水平移動アームを上記搬送ガイド３１に沿って往動及び復動させる。なお、上記搬送モーター駆動部６６ａは、第１搬送ユニット３４及び第２搬送ユニット３６の各々に対して設けられ、また、エンコーダーＥＭＡも、第１搬送ユニット３４及び第２搬送ユニット３６の各々に対して設けられている。

押圧モーター駆動部６６ｂには、押圧モーターＭＢの回転位置を検出するエンコーダーＥＭＢが接続されている。押圧モーター駆動部６６ｂは、制御装置６０から入力された位置指令と、エンコーダーＥＭＢから入力された回転位置とに基づいて、押圧モーターＭＢの駆動電流を生成するとともに、該駆動電流を押圧モーターＭＢに出力する。押圧モーターＭＢは、入力された上記駆動電流に応じた回転を行うことで、垂直移動アームを上昇及び下降させる。なお、上記押圧モーター駆動部６６ｂは、第１搬送ユニット３４及び第２搬送ユニット３６の各々に対して設けられ、また、エンコーダーＥＭＢも、第１搬送ユニット３４及び第２搬送ユニット３６の各々に対して設けられている。

バルブ駆動部６６ｃには、第１ハンド５３及び第２ハンド５８の各々に設けられた吸引バルブＳＶ２とリークバルブＤＶ２とが接続されている。バルブ駆動部６６ｃは、制御装置６０から入力された吸引バルブＳＶ２の開閉指令に基づいて、吸引バルブＳＶ２の駆動信号を生成するとともに、該駆動信号を吸引バルブＳＶ２に出力する。そして、吸引バルブＳＶ２は、入力された上記駆動信号に応じた開閉動作を行なうことで、所定の吸引力により上記電子部品Ｔを吸引する。また、バルブ駆動部６６ｃは、制御装置６０から入力されたリークバルブＤＶ２の開閉指令に基づいて、リークバルブＤＶ２の駆動信号を生成するとともに、該駆動信号をリークバルブＤＶ２に出力する。そして、リークバルブＤＶ２は、入力された上記駆動信号に応じた開閉動作を行なうことで、ハンドの吸着部から圧縮空気を送る。なお、吸引バルブＳＶ２及びリークバルブＤＶ２は、第１搬送ユニット３４及び第２搬送ユニット３６の各々に対して設けられており、また、バルブ駆動部６６ｃも、第１搬送ユニット３４及び第２搬送ユニット３６の各々に対して設けられている。すなわち、制御装置６０は、第１搬送ユニット３４の動作と第２搬送ユニット３６の動作とを互いに独立させた態様で制御する。

また、制御装置６０には、ハンドラー１０に収納されるテスター６９が電気的に接続される。制御装置６０は、第１ハンド５３が第１検査位置に配置され、且つ第２ハンド５８が第２検査位置に配置されたときに、テスター６９に対して検査を開始することを示す信号を出力する。テスター６９は、検査開始信号を受けることで電子部品Ｔの検査を開始し、検査が終了するとその検査結果とともに検査の終了を示す信号を制御装置６０に出力する。

（ハンドラー１０の作動態様）
次に、上述した構成のハンドラー１０の作動態様について図４〜図１４を参照して説明する。なお、以下では、互いに異なる４つの作動態様について説明するが、各作動態様においては、電子部品Ｔの検査がテスター６９で実施される期間であるインデックスサイクルタイムが最少となる場合について説明する。図４，７，１０，１３の各々は、互いに異なる４つの作動態様を示すタイムチャートであって、横軸の１目盛りは０．２秒を示している。まず、ハンドラー１０が行う動作のうち、下記動作Ａ〜動作Ｊについて説明する。

＜供給動作Ａ＞
供給用ハンドユニット２３は、供給用コンベアートレイに収容された電子部品Ｔを吸着したのち、供給対象である供給用シャトルトレイの上方へ移動する。そして、ハンドをＺ方向に往復移動したのち、該供給用シャトルトレイに電子部品Ｔを供給する。これら一連の動作である供給動作Ａには、２．２秒を要する。すなわち、１回の供給動作Ａによって８個の電子部品Ｔを搬送すると、供給用ハンドユニット２３は、供給用コンベアートレイの電子部品Ｔを供給用シャトルトレイに対して、１時間あたり最大１３０９０個の電子部品Ｔを供搬送可能である。

＜供給昇降動作Ｂ＞
上記供給動作Ａのうち、供給用ハンドユニット２３は、Ｚ方向に下降及び上昇して供給用コンベアートレイの電子部品Ｔを吸着する動作、また、Ｚ方向に下降及び上昇して供給用シャトルトレイに電子部品Ｔを載置する動作、これら各々の動作である供給昇降動作Ｂに０．４秒を要する。

＜搬送動作Ｃ＞
搬送ユニット３４，３６は、受け渡し位置の上方から検査位置の上方までハンド５３，５８を移動する動作、また、検査位置の上方から受け渡し位置の上方までハンド５３，５８を移動する動作、これら各々の動作である搬送動作Ｃに、０．５秒を要する。この際、搬送ユニット３４，３６は、検査位置の上方である開口部４５の上方に向けて２つのハンド５３，５８を互いに近づけるとともに、２つのハンド５３，５８を並べた状態で各々の検査位置に配置する。また、搬送ユニット３４，３６は、各々の検査位置にて並べられた状態から開口部４５から上昇したのち、２つのハンド５３，５８が互いに遠ざかるように、２つのハンド５３，５８を移動させる。

＜ハンド昇降動作Ｄ＞
搬送ユニット３４，３６は、受け渡し位置の上方でハンドを下降及び上昇させて供給用シャトルトレイの電子部品Ｔをハンドに吸着する動作、また、受け渡し位置の上方でハンドを下降及び上昇させて回収用シャトルトレイに電子部品を排出する動作、これら各々の動作である昇降動作に０．３秒を要する。
＜シャトル動作Ｆ＞
各シャトル３２，３５は、供給位置と回収位置との間の移動に０．４秒を要する。

＜回収動作Ｇ＞
回収用ハンドユニット４３は、回収用シャトルトレイの電子部品Ｔを吸着したのち、回収用コンベアートレイの上へ移動する。そして、ハンドをＺ方向に往復移動したのち、次の回収対象となる電子部品Ｔを収容する回収用シャトルトレイの上に移動する。これら一連の動作である回収動作Ｇに対し、回収用ハンドユニット４３は２，２秒を要する。すなわち、１回の回収動作Ｇによって回収される電子部品Ｔが８個であるとすると、回収用ハンドユニット４３は、回収用シャトルトレイの電子部品Ｔを回収用コンベアートレイに対して、１時間あたり最大１３０９０個の電子部品Ｔを搬送可能である。

＜回収昇降動作Ｈ＞
上記回収動作Ｇのうち、回収用ハンドユニット４３は、Ｚ方向に下降及び上昇して回収用シャトルトレイの電子部品Ｔを吸着する動作、また、Ｚ方向に下降及び上昇して回収用コンベアートレイに電子部品Ｔを載置する動作、これら各々の動作である回収昇降動作Ｈに０．４秒を要する。

＜待機動作Ｊ＞
回収用ハンドユニット４３は、供給用シャトルトレイ３２ａの電子部品Ｔを吸着するために第１ハンド５３がＺ方向の往復移動している間は、回収用シャトルトレイ３２ｂから電子部品Ｔを回収せず、待機する。また、回収用ハンドユニット４３は、供給用シャトルトレイ３５ａの電子部品Ｔを吸着するために第２ハンド５８がＺ方向の往復移動している間は、これもまた回収用シャトルトレイ３５ｂから電子部品Ｔを回収せず、待機する。

（第１の作動態様）
次に、ハンドラー１０における第１の作動態様について、図４〜図６を参照して説明する。第１の作動態様においては、下記条件１〜条件５の満たされるように、各シャトル３２，３５と各搬送ユニット３４，３６とが動作する。
＜条件１＞各搬送ユニット３４，３６の搬送動作Ｃが互いに同調する。
＜条件２＞各搬送ユニット３４，３６のハンド昇降動作Ｄのうち、回収用シャトルトレイに対するハンド昇降動作Ｄが互いに同調する。
＜条件３＞各搬送ユニット３４，３６のハンド昇降動作Ｄのうち、供給用シャトルトレイに対するハンド昇降動作Ｄが互いに同調する。
＜条件４＞各シャトル３２，３５の供給位置へのシャトル動作Ｆが互いに同調する。
＜条件５＞各シャトル３２，３５の回収位置へのシャトル動作Ｆが互いに同調する。

まず、図４に示されるタイミングｔ０では、各シャトル３２，３５が共に供給位置に配置され、各ハンド５３，５８が検査位置に配置され、各ハンド５３，５８に吸着された電子部品Ｔの検査が行われている（図５（ａ）参照）。そして、タイミングｔ０から０．８秒が経過すると、タイミングｔ１にて、電子部品Ｔの検査が終了する。電子部品Ｔの検査が終了すると、各ハンド５３，５８は、検査位置から上方へ移動し、続いて、受け渡し位置の上方に向けて互いに遠ざかるように搬送動作Ｃを行ったのち、さらに回収シャトルトレイに対して上記ハンド昇降動作Ｄを行う（図５（ｂ）参照）。

各ハンド５３，５８でハンド昇降動作Ｄが終了すると、タイミングｔ２にて、各シャトル３２，３５が、回収位置へのシャトル動作Ｆを開始する（図５（ｃ）参照）。次いで、各シャトル３２，３５が回収位置に到達すると、タイミングｔ３にて、各ハンド５３，５８が、供給用シャトルトレイに対してハンド昇降動作Ｄを開始する。そして、供給用シャトルトレイ３２ａ，３５ａの電子部品Ｔが、各ハンド５３，５８に吸着されると、各ハンド５３，５８は、タイミングｔ４にて、検査位置の上方に向けて互いに近づくように搬送動作Ｃを開始する。

なお、タイミングｔ３からタイミングｔ４までの期間では、各シャトル３２，３５が回収位置に配置され、回収用ハンドユニット４３が回収用シャトルトレイ３２ｂの上方で上記待機動作Ｊを行う。この待機動作Ｊが終了すると、回収用ハンドユニット４３は、回収用シャトルトレイ３２ｂに対して上記回収動作Ｇを開始する。

この際、タイミングｔ３から０．８秒が経過したタイミングｔ５では、図５（ｄ）に示されるように、まず、回収用シャトルトレイ３２ｂから一部の電子部品Ｔが回収される。次いで、タイミングｔ４から４．４秒が経過したタイミングｔ６では、図６（ａ）に示されるように、回収用シャトルトレイ３２ｂの全ての電子部品Ｔが回収される。

回収用シャトルトレイ３２ｂの電子部品Ｔが回収されると、回収用ハンドユニット４３は、タイミングｔ６にて、引き続き回収用シャトルトレイ３５ｂに対して上記回収動作Ｇを開始する。

この際、回収用ハンドユニット４３は、まず回収用シャトルトレイ３５ｂと回収用コンベアートレイＣ４ａとの間を１回往復し、回収用シャトルトレイ３５ｂの一部の電子部品Ｔを回収用コンベアートレイＣ４ａに回収する。次いで、回収用シャトルトレイ３５ｂにある残りの電子部品Ｔを吸着するために、回収用ハンドユニット４３は、回収昇降動作Ｈを行う。そして、タイミングｔ６から２．６秒経過したタイミングｔ７にては、図６（ｂ）に示されるように、回収用シャトルトレイ３２ｂの全ての電子部品Ｔが回収される。

第２シャトル３５の電子部品Ｔが回収されると、各シャトル３２，３５は、タイミングｔ７から、供給位置へのシャトル動作Ｆを行う（図６（ｃ）参照）。そして、シャトル動作Ｆが終了すると、供給用ハンドユニット２３は、供給用シャトルトレイ３２ａに対してタイミングｔ８から上記供給動作Ａを開始する。

この際、第１シャトル３２が供給位置に配置されるタイミングｔ８に合わせて電子部品Ｔの供給が開始されるように、タイミングｔ８の１．８秒前から、供給用ハンドユニット２３は、検査前の電子部品Ｔを吸着して第１シャトル３２の上方で待機する。そして、タイミングｔ８にて、供給用ハンドユニット２３が供給昇降動作Ｂを開始する。次いで、供給用ハンドユニット２３は、供給用コンベアートレイＣ１ａと供給用シャトルトレイ３２ａとの間を再び往復して、供給用シャトルトレイ３２ａに残りの電子部品Ｔを供給する供給動作Ａを行う（図６（ｄ）参照）。

第１シャトル３２に電子部品Ｔが供給されると、供給用ハンドユニット２３は、タイミングｔ９にて、引き続き供給用シャトルトレイ３５ａに対して上記供給動作Ａを開始する。

この際、供給用ハンドユニット２３は、第２シャトル３５の供給用シャトルトレイ３５ａと供給用コンベアートレイＣ１ａとの間を２回往復し、供給用コンベアートレイＣ１ａの電子部品Ｔを供給用シャトルトレイ３５ａに供給する。そして、第２シャトル３５に電子部品Ｔが供給されると、各シャトル３２，３５は、タイミングｔ１１にて、先のタイミングｔ２における状態と等しい状態となる。

ここで、先のタイミングｔ２に対するタイミングｔ１に相当するタイミングが、タイミングｔ１１に対してはタイミングｔ１０である。第１の作動態様では、このタイミングｔ１０が検査終了のタイミングとして設定されると、タイミングｔ１からタイミングｔ１０までの１５．２秒がインデックスサイクルタイム、タイミングｔ５からタイミングｔ１０までの１３．２秒がテスト時間となる。言い換えれば、第１の作動態様では、電子部品Ｔのテスト時間が１３．２秒以下であれば、インデックスサイクルタイム１５．２秒が維持される。このときの１時間あたりの電子部品Ｔの処理数は、
３６００秒÷１５．２秒×３２個
＝２３６．８…×３２≒２３６×３２＝７５５２個
となる。

一方、第１ハンド５３の保持する電子部品Ｔと第２ハンド５８の保持する電子部品Ｔとが交互に開口部４５に配置される構成のハンドラーにおいて、各ハンド５３，５８の入替え時間を０．４秒、テスト時間を７，３秒とすると、１時間あたりの処理数は、
３６００秒÷７．７秒×１６個
＝４６７．５…×１６≒４６７×１６＝７４７２個
となる。すなわち、電子部品Ｔのテスト時間が７．３秒以上であれば、第１の作動態様のハンドラー１０の方がより多くの電子部品Ｔを検査することが可能である。

（第２の作動態様）
次に、ハンドラー１０における第２の作動態様について、図７〜図９を参照して説明する。第２の作動態様においては、上述した条件のうち、条件１〜４のみが満たされるように、各シャトル３２，３５と各搬送ユニット３４，３６とが動作する。

なお、第２の作動態様において、図７におけるタイミングｔ１からタイミングｔ５までの期間は、第１の作動態様におけるタイミングｔ１からタイミングｔ５までの期間と同じ動作を行う。そのため、第２の作動態様では、第１の作動態様と異なる部分について詳細に説明する。
第１の作動態様と同様、回収用ハンドユニット４３は、タイミングｔ４にて、回収用シャトルトレイ３２ｂに対して上記回収動作Ｇを開始する。

この際、回収用ハンドユニット４３は、回収用シャトルトレイ３２ｂと回収用コンベアートレイＣ３ａとの間を１回往復し、回収用シャトルトレイ３２ｂの電子部品Ｔを回収用コンベアートレイＣ３ａに回収する。次いで、回収用シャトルトレイ３５ｂにある残りの電子部品Ｔを吸着するために、回収用ハンドユニット４３が回収昇降動作Ｈを行い、その後、第１シャトル３２が供給位置へ移動する。これにより、タイミングｔ４の２．６秒後のタイミングｔ６では、図８（ａ）に示されるように、回収用シャトルトレイ３２ｂの全ての電子部品Ｔが回収される。そして、タイミングｔ６の０．４秒後のタイミングｔ７では、図８（ｂ）に示されるように、第１シャトル３２が供給位置に配置される。

第１シャトル３２が供給位置に配置されると、供給用ハンドユニット２３は、タイミングｔ７にて、供給用シャトルトレイ３２ａに対して上記供給動作Ａを開始する。

この際、第１シャトル３２が供給位置に配置されるタイミングｔ７に合わせて電子部品Ｔが供給されるように、タイミングｔ７の１．８秒前から、供給用ハンドユニット２３は、予め供給用ハンドユニット２３に検査前の電子部品Ｔを吸着させて第１シャトル３２の上方で待機する。そして、タイミングｔ７にて、供給用ハンドユニット２３が供給昇降動作Ｂを開始する。また、供給用ハンドユニット２３は、供給用コンベアートレイＣ１ａと供給用シャトルトレイ３２ａとの間を再び往復し、電子部品Ｔを供給用シャトルトレイ３２ａに供給する。これにより、タイミングｔ７の２．６秒後のタイミングｔ９において、第１シャトル３２の供給用シャトルトレイ３２ａに電子部品Ｔが満載される。

一方、タイミングｔ７とタイミングｔ９の間であるタイミングｔ８にて、回収用ハンドユニット４３は、回収用シャトルトレイ３５ｂに対して上記回収動作Ｇを開始する。

この際、タイミングｔ８は、回収用シャトルトレイ３２ｂから電子部品Ｔが回収されたタイミングｔ６から１．８秒経過している。そこで、回収用ハンドユニット４３は、タイミングｔ８に先駆けて、回収用シャトルトレイ３５ｂの上方まで移動する（図８（ｃ）参照）。そして、回収用ハンドユニット４３は、タイミングｔ８から、第２シャトル３５の回収用シャトルトレイ３５ｂと回収用コンベアートレイＣ４ａとの間を１回往復し、回収用シャトルトレイ３５ｂの電子部品Ｔを回収用コンベアートレイＣ４ａに回収する（図８（ｄ）参照）。次いで、回収用シャトルトレイ３５ｂにある残りの電子部品Ｔを吸着するために、回収用ハンドユニット４３が回収昇降動作Ｈを開始し、図９（ａ）に示されるように、タイミングｔ８から２．６秒後のタイミングｔ１０では、回収用シャトルトレイ３５ｂの全ての電子部品Ｔが回収される。

回収用シャトルトレイ３５ｂから電子部品Ｔが回収されると、第２シャトル３５は、タイミングｔ１０から、供給位置へのシャトル動作Ｆを行う（図９（ｂ）参照）。そして、シャトル動作Ｆが終了すると、供給用ハンドユニット２３は、供給用シャトルトレイ３５ａに対してタイミングｔ１１から上記供給動作Ａを開始する。

この際、第２シャトル３５が供給位置に配置されるタイミングｔ１１に合わせて電子部品Ｔの供給が開始されるように、供給用ハンドユニット２３は、検査前の電子部品Ｔを吸着して第１シャトル３２の上方で待機する。なお、タイミングｔ１０の１．８秒前であるタイミングｔ９にて、供給用シャトルトレイ３２ａに電子部品Ｔが満載される。そこで、供給用ハンドユニット２３は、第１シャトル３２に対する電子部品Ｔの供給と第２シャトル３５に対する電子部品Ｔの供給とを連続して行う。そして、供給用ハンドユニット２３は、供給用シャトルトレイ３５ａに対して供給昇降動作Ｂを行ったのち、供給用シャトルトレイ３５ａに対する供給動作Ａを行い、供給用シャトルトレイ３５ａに残りの電子部品Ｔを供給する。これにより、各シャトル３２，３５は、タイミングｔ１３にて、先のタイミングｔ２における状態と等しい状態となる。

ここで、先のタイミングｔ２に対するタイミングｔ１に相当するタイミングが、タイミングｔ１３に対してはタイミングｔ１２である。第２の作動態様では、このタイミングｔ１２が検査終了のタイミングとして設定されると、タイミングｔ１からタイミングｔ１２までの１０．８秒がインデックスサイクルタイム、タイミングｔ５からタイミングｔ１２までの８．８秒がテスト時間となる。言い換えれば、第２の作動態様では、電子部品Ｔのテスト時間が８．８秒以下であれば、インデックスサイクルタイム１０．８秒が維持される。このときの１時間あたりの電子部品Ｔの処理数は、
３６００秒÷１０．８秒×３２個
＝３３３．３…×３２≒３３３×３２＝１０６５６個
となる。

一方、第１ハンド５３の保持する電子部品Ｔと第２ハンド５８の保持する電子部品Ｔとが交互に開口部４５に配置される構成のハンドラーにおいて、各ハンド５３，５８の入替え時間を０．４秒、テスト時間を５．０秒とすると、１時間あたりの処理数は、
３６００秒÷５．４秒×１６個
＝６６６．６…×１６≒６６６×１６＝１０６５６個
となる。すなわち、電子部品Ｔのテスト時間が５．０秒を超えると、第２の作動態様のハンドラー１０の方がより多くの電子部品Ｔを検査処理することが可能である。

（第３の作動態様）
次に、ハンドラー１０における第３の作動態様について、図１０〜図１２を参照して説明する。第３の作動態様においては、上述した条件のうち、条件１及び条件２のみが満たされるように、各シャトル３２，３５と各搬送ユニット３４，３６とが動作する。

まず、図１０に示されるタイミングｔ０では、第１シャトル３２が供給位置に配置され、第２シャトル３５が回収位置に配置され、また、各ハンド５３，５８が検査位置に配置され、各ハンド５３，５８に吸着された電子部品Ｔの検査が行われている（図１１（ａ）参照）。そして、タイミングｔ０から０．６秒が経過すると、タイミングｔ１にて、第２シャトル３５が供給位置へのシャトル動作Ｆを開始する。

第２シャトル３５が供給位置に到達すると、タイミングｔ３にて、供給用ハンドユニット２３が供給用シャトルトレイ３５ａに対して供給動作Ａを開始する。この際、第２シャトル３５が供給位置に配置されるタイミングｔ３に合わせて電子部品Ｔの供給が開始されるように、タイミングｔ３の１．８秒前から、供給用ハンドユニット２３は検査前の電子部品Ｔを吸着して第１シャトル３２の上方で待機する。そして、タイミングｔ３になると、供給用ハンドユニット２３は、供給昇降動作Ｂを行ったのち、供給用コンベアートレイＣ１ａと供給用シャトルトレイ３５ａとの間を往復して供給動作Ａを行う。

一方、タイミングｔ１から０．２秒後が経過すると、タイミングｔ２にて、電子部品Ｔの検査が終了する。電子部品Ｔの検査が終了すると、各ハンド５３，５８は、検査位置から上方へ移動し、続いて、各受け渡し位置の上方に向けて互いに遠ざかるように搬送動作Ｃを行い、その後、回収シャトルトレイに対してハンド昇降動作Ｄを行う（図１１（ｂ）参照）。そして、タイミングｔ２から０．８秒が経過すると、第１シャトル３２は、タイミングｔ４から、回収位置へのシャトル動作Ｆを行う（図１１（ｃ）参照）。

第１シャトル３２の回収位置へのシャトル動作Ｆが終了すると、第１ハンド５３は、タイミングｔ５にて、供給用シャトルトレイに対してハンド昇降動作Ｄを開始する。そして、第１ハンド５３がハンド昇降動作Ｄを終了することにより、第１ハンド５３は、タイミングｔ６にて、供給用シャトルトレイ３２ａの電子部品Ｔを吸着する（図１１（ｄ）参照）。一方、回収用ハンドユニット４３は、タイミングｔ６にて、回収用シャトルトレイ３２ｂに対して上記回収動作Ｇを開始する。なお、タイミングｔ５からタイミングｔ６までの間、回収用ハンドユニット４３は、回収用シャトルトレイ３２ｂの上方で上記待機動作Ｊを行う。

この際、回収用ハンドユニット４３は、回収用シャトルトレイ３２ｂと回収用コンベアートレイＣ３ａとの間を１回往復し、回収用シャトルトレイ３２ｂの一部の電子部品Ｔを回収用コンベアートレイＣ３ａに回収する。次いで、回収用シャトルトレイ３２ｂにある残りの電子部品Ｔを吸着するために、回収用ハンドユニット４３が回収昇降動作Ｈを行う。

一方、供給用シャトルトレイ３５ａに対して供給動作Ａが終了すると、第２シャトル３５は、タイミングｔ７にて、回収位置へのシャトル動作Ｆを開始する。これにより、タイミングｔ７から０．４秒が経過したタイミングｔ８では、図１２（ａ）に示されるように、供給用シャトルトレイ３５ａに電子部品Ｔが満載された状態で第２シャトル３５が回収位置に配置され、且つ第１シャトル３２の回収用シャトルトレイ３２ｂから一部の電子部品Ｔが回収される。また、第２ハンド５８は、タイミングｔ８にて、供給用シャトルトレイ３５ａに対してハンド昇降動作Ｄを行う。そして、第２ハンド５８と、既に電子部品Ｔを吸着している第１ハンド５３とが、各々の検査位置の上方に向けて互いに近づくように搬送動作Ｃを開始する。これにより、タイミングｔ８から０．８秒が経過したタイミングｔ９にて、電子部品Ｔの検査が開始される。

電子部品Ｔの検査が開始されると、各ハンド５３，５８は、タイミングｔ１０にて、検査位置に配置され、且つ回収用シャトルトレイ３２ｂから全ての電子部品Ｔが回収される（図１２（ｂ）参照）。また、第１シャトル３２は、タイミングｔ１０にて、供給位置へのシャトル動作Ｆを開始する。そして、タイミングｔ１０から０．４秒が経過すると、第１シャトル３２は、タイミングｔ１１にて供給位置に配置される（図１２（ｃ）参照）。

第１シャトル３２が供給位置に配置されると、供給用ハンドユニット２３は、供給用シャトルトレイ３２ａに対して供給動作Ａを開始する。この際、第１シャトル３２が供給位置に配置されるタイミングｔ１１に合わせて電子部品Ｔが供給されるように、タイミングｔ１１の１．８秒前から、供給用ハンドユニット２３は、検査前の電子部品Ｔを吸着して第１シャトル３２の上方で待機する。そして、タイミングｔ１１にて、供給用ハンドユニット２３が供給昇降動作Ｂを開始する。次いで、供給用ハンドユニット２３は、供給用シャトルトレイ３２ａと供給用コンベアートレイＣ１ａとの間を再び往復して、タイミングｔ１３までに、供給用シャトルトレイ３２ａに残りの電子部品Ｔを供給する供給動作Ａを行う。

また、タイミングｔ１１とタイミングｔ１３の間にあるタイミングｔ１２にて、回収用ハンドユニット４３は、回収用シャトルトレイ３５ｂに対して回収動作Ｇを開始する。なお、タイミングｔ１０からタイミングｔ１２までに、回収用ハンドユニット４３は、電子部品Ｔを回収用コンベアートレイＣ３ａに排出して、回収用シャトルトレイ３５ｂの上方まで移動する。

回収用ハンドユニット４３は、タイミングｔ１２にて、回収用シャトルトレイ３５ｂと回収用コンベアートレイＣ４ａとの間を往復し、回収用シャトルトレイ３５ｂの電子部品Ｔを回収する。そして、回収用シャトルトレイ３５ｂにある残りの電子部品Ｔを吸着するために、回収用ハンドユニット４３は、回収昇降動作Ｈを行う。すなわち、タイミングｔ１２の２．６秒後のタイミングｔ１４では、図１１（ａ）に示すタイミングｔ１と同じく、供給用シャトルトレイ３２ａに対する電子部品Ｔの供給が終了した第１シャトル３２が供給位置に配置されている。また、供給用シャトルトレイ３５ａ及び回収用シャトルトレイ３５ｂが空の状態で第２シャトル３５が回収位置に配置されている。

第２シャトル３５は、タイミングｔ１４にて、供給位置へのシャトル動作Ｆを開始する。そして、供給用ハンドユニット２３は、タイミングｔ１４の０．４秒後のタイミングｔ１６にて、供給用シャトルトレイ３５ａに対して供給動作Ａを開始する。

この際、第２シャトル３５が供給位置に配置されるタイミングｔ１６に合わせて電子部品Ｔの供給が開始されるように、供給用ハンドユニット２３は、検査前の電子部品Ｔを吸着して第１シャトル３２の上方で待機する。なお、タイミングｔ１６の１．８秒前であるタイミングｔ１３にて、供給用シャトルトレイ３２ａに電子部品Ｔが満載される。そこで、供給用ハンドユニット２３は、第１シャトル３２へ電子部品Ｔを供給と第２シャトル３５に対する電子部品Ｔの供給とを連続して行う。そして、供給用ハンドユニット２３は、供給用シャトルトレイ３５ａに対して供給昇降動作Ｂを行ったのち、供給用シャトルトレイ３５ａに対する供給動作Ａを行い、供給用シャトルトレイ３５ａに残りの電子部品Ｔを供給する。これにより、各シャトル３２，３５は、タイミングｔ１６にて、先のタイミングｔ３における状態と等しい状態となる。

ここで、先のタイミングｔ３に対するタイミングｔ２に相当するタイミングが、タイミングｔ１６に対してはタイミングｔ１５である。このタイミングｔ１５が検査終了のタイミングとして設定されると、タイミングｔ２からタイミングｔ１５までの８．８秒がインデックスサイクルタイム、タイミングｔ９からタイミングｔ１５までの４．８秒がテスト時間となる。言い換えれば、第３の作動態様では、電子部品Ｔのテスト時間が４．８秒以下であれば、インデックスサイクルタイム８．８秒が維持される。このときの１時間あたりの電子部品Ｔの処理数は、
３６００秒÷８．８秒×３２個
＝４０９．０…×３２≒４０９×３２＝１３０８８個
となる。

一方、第１ハンド５３の保持する電子部品Ｔと第２ハンド５８の保持する電子部品Ｔとが交互に開口部４５に配置される構成のハンドラーにおいて、各ハンド５３，５８の入替え時間を０．４秒、テスト時間を４．０秒とすると、１時間あたりの処理数は、
３６００秒÷４．４秒×１６個
＝８１８．１…×１６≒８１８×１６＝１３０８８個
となる。すなわち、電子部品Ｔのテスト時間が４．０秒を超えると、第３の作動態様のハンドラー１０の方がより多くの電子部品Ｔを検査処理することが可能である。

（第４の作動態様）
次に、ハンドラー１０における第４の作動態様について、図１３〜図１４を参照して説明する。第４の作動態様においては、他の作動態様と比べて、供給動作Ａ及び回収動作Ｇに要する時間が異なる。すなわち、供給動作Ａ及び回収動作Ｇの各々に１，４秒要する。また、第４の作動態様においては、上述した条件のうち、条件１のみが満たされるように、各シャトル３２，３５と各搬送ユニット３４，３６とが動作する。

なお、第４の作動態様においてはタイミングｔ１において電子部品Ｔの検査が終了する。このタイミングｔ１におけるハンドラー１０は、各シャトル３２，３５に関しては第３の作動態様におけるタイミングｔ０と同じ状態である。そのため、第４の作動態様のタイミングｔ１については、図１４（ａ）に図示することによりその詳細な説明は省略する。

タイミングｔ１において電子部品Ｔの検査が終了すると、各ハンド５３，５８は、検査位置から上方へ移動し、続いて、各受け渡し位置の上方に向けて互いに遠ざかるように搬送動作Ｃを行い、その後、第１ハンド５３のみが回収用シャトルトレイ３２ｂに対してハンド昇降動作Ｄを行う。

第２シャトル３５は、タイミングｔ１から０．６秒が経過したタイミングｔ２にて、供給位置へのシャトル動作Ｆを開始する。そして、タイミングｔ２から０．４秒が経過したタイミングｔ４にて、第２ハンド５８が回収用シャトルトレイ３５ｂに対してハンド昇降動作Ｄを行う。また、タイミングｔ４にて、供給用ハンドユニット２３は、供給用シャトルトレイ３５ａに対して供給動作Ａを開始する。

この際、第２シャトル３５が供給位置に配置されるタイミングｔ４に合わせて電子部品Ｔが供給されるように、タイミングｔ４の１．０秒前であるタイミングｔ１から、供給用ハンドユニット２３は、検査前の電子部品Ｔを吸着して第２シャトル３５の上方で待機する。そして、タイミングｔ４になると、供給用ハンドユニット２３は、供給昇降動作Ｂを行ったのち、供給用コンベアートレイＣ１ａと供給用シャトルトレイ３５ａとの間を往復して供給動作Ａを行う。

一方、第１シャトル３２は、タイミングｔ１から０．８秒が経過したタイミングｔ３にて、回収位置へのシャトル動作Ｆを開始する。そして、タイミングｔ３の０．４秒後のタイミングｔ５にて、第１ハンド５３は、供給用シャトルトレイ３２ａに対してハンド昇降動作Ｄを行う。

また、回収用ハンドユニット４３は、タイミングｔ５から０．４秒後のタイミングｔ６にて、回収用シャトルトレイ３２ｂに対して回収動作Ｇを開始する。なお、タイミングｔ５からタイミングｔ６までの間は、回収用ハンドユニット４３は、回収用シャトルトレイ３２ｂの上方で待機動作Ｊを行う。そして、回収用ハンドユニット４３は、タイミングｔ６にて、回収用シャトルトレイ３２ｂと回収用コンベアートレイＣ３ａとの間を１回往復して回収動作Ｇを行う（図１４（ｂ）参照）。続いて、回収用シャトルトレイ３２ｂにある残りの電子部品Ｔを吸着するために、回収用ハンドユニット４３は、回収昇降動作Ｈを行う。すなわち、タイミングｔ６から１．８秒後のタイミングｔ９にて、回収用シャトルトレイ３２ｂから全ての電子部品Ｔが回収される。

第１シャトル３２は、上記タイミングｔ９にて、供給位置へのシャトル動作Ｆを開始する。供給用ハンドユニット２３は、タイミングｔ９から０．４秒後のタイミングｔ１０にて、供給用シャトルトレイ３２ａに対して供給動作Ａを開始する。

この際、第１シャトル３２が供給位置に配置されるタイミングｔ１０に合わせて電子部品Ｔが供給されるように、タイミングｔ１０の１．０秒前のタイミングｔ７から、供給用ハンドユニット２３は、検査前の電子部品Ｔを吸着して第１シャトル３２の上方で待機する。そして、タイミングｔ１０になると、供給用ハンドユニット２３は、供給用シャトルトレイ３２ａに対して供給昇降動作Ｂを開始する。続いて、供給用ハンドユニット２３は、供給用シャトルトレイ３２ａと供給用コンベアートレイＣ１ａとの間を再び往復し、残りの電子部品Ｔを供給用シャトルトレイ３２ａに供給する供給動作Ａを行う。すなわち、タイミングｔ１０の１．８秒後であるタイミングｔ１３にて、供給用シャトルトレイ３５ａに電子部品Ｔが満載される。

他方、第２シャトル３５は、上記タイミングｔ７にて、回収位置へのシャトル動作Ｆを開始する。すなわち、第２シャトル３５は、図１４（ｃ）に示されるように、供給用シャトルトレイ３５ａに電子部品Ｔが供給された状態で、回収位置へのシャトル動作Ｆを開始する。そして、タイミングｔ７から０．４秒が経過したタイミングｔ８にて、第２ハンド５８は、供給用シャトルトレイ３５ａに対する供給昇降動作Ｂを行い、その後、各ハンド５３，５８は、各々の検査位置の上方に向けて互いに近づくように搬送動作Ｃを行う。すなわち、図１４（ｄ）に示されるように、タイミングｔ８の０．８秒後のタイミングｔ１１では、各ハンド５３，５８が検査位置に配置されており、且つ第１シャトル３２の供給用シャトルトレイ３２ａに一部の電子部品Ｔが供給されている。

回収用ハンドユニット４３は、上記タイミングｔ１１から０．４秒後のタイミングｔ１２にて、回収用シャトルトレイ３５ｂに対して回収動作Ｇを開始する。なお、回収用ハンドユニット４３は、タイミングｔ９からタイミングｔ１２までに、回収した電子部品Ｔを回収用コンベアートレイＣ３ａに排出して、回収用シャトルトレイ３５ｂの上方まで移動する。そして、回収用ハンドユニット４３は、タイミングｔ１２にて、回収用シャトルトレイ３５ｂと回収用コンベアートレイＣ４ａとの間を往復して回収動作Ｇを行う。続いて、回収用ハンドユニット４３は、回収用シャトルトレイ３５ｂにある残りの電子部品Ｔを吸着するために回収昇降動作Ｈを行う。すなわち、タイミングｔ１２から１．８秒が経過したタイミングｔ１４では、第２シャトル３５の回収用シャトルトレイ３５ｂから全ての電子部品Ｔが回収される。これにより、各シャトル３２，３５は、タイミングｔ１４にて、先のタイミングｔ２における状態と等しい状態となる。

ここで、先のタイミングｔ２に対するタイミングｔ１に相当するタイミングが、タイミングｔ１４に対してはタイミングｔ１３である。このタイミングｔ１３が検査終了のタイミングとして設定されると、タイミングｔ１からタイミングｔ１３までの５．６秒がインデックスサイクルタイム、タイミングｔ１１からタイミングｔ１３までの１．６秒がテスト時間となる。言い換えれば、電子部品Ｔのテスト時間が１．６秒以下であれば、インデックスサイクルタイム５．６秒が維持される。このときの１時間あたりの電子部品Ｔの処理数は、
３６００秒÷５．６秒×３２個
＝６４２．８…×３２≒６４２×３２＝２０５４４個
となる。

一方、第１ハンド５３の保持する電子部品Ｔと第２ハンド５８の保持する電子部品Ｔとが交互に開口部４５に配置される構成のハンドラーにおいて、テスト時間を１，６秒とすると、テスト時間が短すぎるため供給用及び回収用ハンドユニット２３，４３の搬送能力に応じた分のみが処理される。すなわち、電子部品Ｔのテスト時間が１．６秒以下であれば、第４の作動態様のハンドラー１０の方がより多くの電子部品Ｔを検査処理することが可能である。
以上説明したように、本実施形態によれば、以下に列挙する効果が得られるようになる。

（１）基台１１には、第１ハンド５３と第２ハンド５８とが並んで配置することができる開口部４５が形成されている。そのため、テストヘッド３３に対して、第１ハンド５３の電子部品Ｔと第２ハンドの電子部品Ｔとが並んで嵌め込まれることとなる。すなわち、こうした２つのハンドで構成されるハンドラー１０において、最も多くの電子部品Ｔを同時期に検査することが可能である。その結果、各ハンド５３，５８の一方が保持している電子部品Ｔのみがテストヘッド３３に嵌め込まれる構成のハンドラーのように、開口部４５に同時期に配置される電子部品Ｔの数を増やすうえで各ハンド５３，５８を大型化させる必要がない。すなわち、装置の大型化が抑えられるとともに、各ハンド５３，５８が保持可能な電子部品Ｔの数を維持したうえで、開口部４５に配置される電子部品Ｔの数を増加させることができる。それゆえに、ハンドの大型化にともなう搬送速度の低下や搬送距離の増大が抑えられることから、開口部４５へ搬送される電子部品Ｔの個数を増やしつつ、電子部品Ｔの搬送を効率よく行なうことができる。

（２）第１ハンド５３による電子部品Ｔの吸着と排出とが同じ第１受け渡し位置で行われることから、これらが異なる位置で行われる構成に比べて、第１ハンド５３の移動経路及び第１ハンド５３を移動させる機構の複雑化を抑えることが可能である。同様に、第２ハンド５８による電子部品Ｔの吸着と排出とが同じ第２受け渡し位置で行われることから、これらが異なる位置で行われる構成に比べて、第２ハンド５８の移動経路及び第２ハンド５８を移動させる機構の複雑化を抑えることが可能である。これらのことから、ハンドラー１０の大型化を抑えることが可能である。

（３）搬送ガイド３１に沿って第１ハンド５３及び第２ハンド５８を移動させる搬送モーターが互いに異なることから、Ｚ方向で開口部４５に対峙する位置に各ハンド５３，５８の各々を同じタイミングで配置すること、異なるタイミングで配置すること、それらが可能である。

（４）第１シャトル３２において、検査前の電子部品Ｔが収納される供給用シャトルトレイ３２ａと検査後の電子部品Ｔが収容される回収用シャトルトレイ３５ｂが異なるとともにいずれか一方が第１受け渡し位置に配置される。そのため、回収用シャトルトレイ３２ｂが第１受け渡し位置に配置されている場合には、供給用シャトルトレイ３２ａに対して電子部品Ｔを供給することが可能である。一方、供給用シャトルトレイ３２ａが第１受け渡し位置に配置されている場合には、回収用シャトルトレイ３２ｂに排出された電子部品Ｔを回収することが可能である。第２シャトル３５についても同様である。すなわち、各ハンド５３，５８による電子部品Ｔの吸着ならびに排出を円滑に行うことができる。

（５）検査前の電子部品Ｔは、供給用ハンドユニット２３によって各シャトル３２，３５の供給用シャトルトレイ３２ａ，３５ａに供給される。また、検査後の電子部品Ｔは、回収用ハンドユニット４３によって各シャトル３２，３５の回収用シャトルトレイ３２ｂ，３５ｂから回収される。こうした構成によれば、各シャトル３２，３５の各々に対応するように供給用ハンドユニット２３ならびに回収用ハンドユニット４３が設けられる構成に比べて、ハンドラーが大型化することを抑えることが可能である。

（６）第１の作動態様及び第２の作動態様では、各ハンド５３，５８による検査後の電子部品Ｔの排出と検査前の電子部品Ｔの吸着とを短い期間で行うことができることから、他の作動態様に比べてテスト時間が長い電子部品Ｔであってもインデックスサイクルタイムを維持することが可能である。

（７）第２の作動態様、第３の作動態様、及び第４の作動態様では、供給位置に各シャトル３２，３５が配置されるタイミング、及び回収位置に各シャトル３２，３５が配置されるタイミングのうちで少なくとも１つが異なるタイミングで行われている。こうした構成によれば、例えば、供給用ハンドユニット２３を用いた第１シャトル３２に対する電子部品Ｔの供給と、回収用ハンドユニット４３を用いた第２シャトル３５に対する電子部品Ｔの回収とを同時期に行うことができる。それゆえに、インデックスサイクルタイムを第１の作動態様よりも短くすることができる。

（８）第３の作動態様及び第４の作動態様では、各ハンド５３，５８が電子部品Ｔを吸着するタイミング、及び各ハンド５３，５８が電子部品Ｔを排出するタイミングのうちで少なくとも１つが異なるタイミングで行われている。こうした構成によれば、例えば、各シャトルに電子部品Ｔを供給するタイミング、各シャトルから電子部品Ｔを回収するタイミングに関する自由度を向上させることができる。それゆえに、インデックスサイクルタイムのさらなる短縮化が見込まれる。
なお、上記実施形態は、以下のように適宜変更して実施することもできる。

・搬送対象物は、複数の供給用ハンドユニットによって複数の供給用トレイの各々に供給される構成であってもよい。このような構成によれば、複数の供給用トレイの各々に対して同じタイミングで搬送対象物を供給することが可能にもなる。

・搬送対象物は、複数の回収用ハンドユニットによって複数の回収用トレイの各々から回収される構成であってもよい。このような構成によれば、複数の回収用トレイの各々に対して同じタイミングで搬送対象物の回収を行うことが可能にもなる。
・一つのハンドに対して搬送対象物が供給される位置と、該一つのハンドから搬送対象物が回収される位置とが、互いに異なる構成であってもよい。

・２つのハンドを移動させる搬送モーターは、共通する一つのモーターであってもよい。このような構成によれば、２つのハンドの動作を同調させることが容易なものとなる。
・開口部から上げられた２つのハンドが互いに異なるタイミングで搬送元に戻る態様であってもよい。
・部品検査装置は、テスターとハンドラーとが各別に設けられる態様に限らず、テスターとハンドラーとが一体的に設けられる態様であってもよい。

Ｔ…電子部品、Ｃ１…供給用コンベアー、Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４…回収用コンベアー、Ｃ１ａ…供給用コンベアートレイ、Ｃ２ａ，Ｃ３ａ，Ｃ４ａ…回収用コンベアートレイ、ＭＡ…搬送モーター、ＭＣ…コンベアーモーター、ＭＳ…シャトルモーター、ＭＸ…Ｘ軸モーター、ＭＹ…Ｙ軸モーター、ＭＺ…ハンドモーター、ＥＭＡ，ＥＭＣ，ＥＭＳ，ＥＭＸ，ＥＭＹ，ＥＭＺ…エンコーダー、ＳＶ１，ＳＶ２…吸引バルブ、ＤＶ１，ＤＶ２…リークバルブ、１０…ハンドラー、１１…基台、１１ａ…搭載面、１２…カバー部材、２０…供給ロボット、２１…供給側固定ガイド、２２…供給側可動ガイド、２３…供給用ハンドユニット、３１…搬送ガイド、３２…第１シャトル、３２ａ…供給用シャトルトレイ、３２ｂ…回収用シャトルトレイ、３２ｃ…第１シャトルガイド、３３…テストヘッド、３２ａ…検査用ポケット、３４…第１搬送ユニット、３５…第２シャトル、３５ａ…供給用シャトルトレイ、３５ｂ…回収用シャトルトレイ、３５ｃ…第２シャトルガイド、３６…第２搬送ユニット、４０…回収ロボット、４１…回収側固定ガイド、４２…回収側可動ガイド、４３…回収用ハンドユニット、４５…開口部、５１…水平移動アーム、５２…垂直移動アーム、５３…第１ハンド、５４…吸着部、５６…水平移動アーム、５７…垂直移動アーム、５８…第２ハンド、５９…吸着部、６０…制御装置、６１…コンベアー駆動部、６２…Ｘ軸ガイド駆動部、６３…Ｙ軸ガイド駆動部、６４…ハンドユニット駆動部、６４ａ…ハンドモーター駆動部、６４ｂ…吸引バルブ駆動部、６５…シャトル駆動部、６６…搬送ユニット駆動部、６６ａ…搬送モーター駆動部、６６ｂ…押圧モーター駆動部、６６ｃ…吸引バルブ駆動部、６９…テスター。

Claims (8)

1. 開口部を有した基台と、
   搬送対象物を保持する第１ハンドを有し、該第１ハンドを前記開口部に対峙する位置まで移動させたのち、前記開口部に向けて移動させる第１搬送部と、
   搬送対象物を保持する第２ハンドを有し、該第２ハンドを前記開口部に対峙する位置まで移動させたのち、前記開口部に向けて移動させる第２搬送部と、
   前記第１搬送部の動作と前記第２搬送部の動作とを制御する制御部と
   を備えるハンドラーであって、
   前記第１ハンド及び前記第２ハンドが、互いに離間した位置から互いに異なる方向で前記開口部に対峙する位置まで移動したのち、前記開口部へ向けて移動することにより、当該第１ハンドと当該第２ハンドとが隣接して前記開口部に配置される状態を有する
   ことを特徴とするハンドラー。
2. 前記第１搬送部は、前記開口部において前記第１ハンドが配置される第１位置と前記第１ハンドによる搬送対象物の保持及び排出が行なわれる第１受け渡し位置との間で前記第１ハンドを移動させ、
   前記第２搬送部は、前記開口部において前記第２ハンドが配置される第２位置と前記第２ハンドによる搬送対象物の保持及び排出が行なわれる第２受け渡し位置との間で前記第２ハンドを移動させるものであり、
   前記第１位置に配置された前記第１ハンド及び前記第２位置に配置された前記第２ハンドが、前記開口部から離脱するように移動したのち、各々の受け渡し位置へ向けて互いに異なる方向へ移動する状態を有する
   請求項１に記載のハンドラー。
3. 前記第１ハンドの保持する前記搬送対象物を該第１ハンドに供給する第１供給トレイと前記第１ハンドの排出する前記搬送対象物を該第１ハンドから回収する第１回収トレイとが各別に設けられた第１シャトルと、
   前記第２ハンドの保持する前記搬送対象物を該第２ハンドに供給する第２供給トレイと前記第２ハンドの保持する前記搬送対象物を該第２ハンドから回収する第２回収トレイとが各別に設けられた第２シャトルとを備え、
   前記制御部は、
   前記第１シャトルの動作と前記第２シャトルの動作とを制御し、
   前記第１受け渡し位置に配置されるトレイを前記第１供給トレイと前記第１回収トレイとに交互に替えるとともに、前記第２受け渡し位置に配置されるトレイを前記第２供給トレイと前記第２回収トレイとに交互に替える
   請求項２に記載のハンドラー。
4. 前記第１受け渡し位置に前記第１供給トレイが配置され、且つ前記第２受け渡し位置に前記第２供給トレイが配置される状態を有する
   請求項３に記載のハンドラー。
5. 前記第１受け渡し位置に前記第１回収トレイが配置され、且つ前記第２受け渡し位置に前記第２回収トレイが配置される状態を有する
   請求項３又は４に記載のハンドラー。
6. 前記制御部は、
   前記第１受け渡し位置への前記第１供給トレイの配置と前記第２受け渡し位置への前記第２供給トレイの配置とが同じタイミングで行なわれるように前記第１シャトルの動作と前記第２シャトルの動作とを制御するとともに、
   前記第１受け渡し位置への前記第１回収トレイの配置と前記第２受け渡し位置への前記第２供給トレイの配置とが同じタイミングで行なわれるように前記第１シャトルの動作と前記第２シャトルの動作とを制御する
   請求項３〜５のいずれか一項に記載のハンドラー。
7. 前記制御部は、
   前記第１ハンドによる前記搬送対象物の保持と前記第２ハンドによる前記搬送対象物の保持とが同じタイミングで行われるように前記第１搬送部の動作と前記第２搬送部の動作とを制御するとともに、
   前記第１ハンドによる前記搬送対象物の排出と前記第２ハンドによる前記搬送対象物の保持とが同じタイミングで行なわれるように前記第１搬送部の動作と前記第２搬送部の動作とを制御する
   請求項６に記載のハンドラー。
8. 電子部品を検査するテスターと、前記テスターが搭載され該テスターの検査ソケットに対して前記電子部品を押し込むハンドラーとを備える部品検査装置であって、
   前記ハンドラーは、
   前記検査ソケットを露出させる開口部を有した基台と、
   搬送対象物を保持する第１ハンドを有し、該第１ハンドを前記開口部に対峙する位置まで移動させたのち、前記開口部に向けて移動させる第１搬送部と、
   搬送対象物を保持する第２ハンドを有し、該第２ハンドを前記開口部に対峙する位置まで移動させたのち、前記開口部に向けて移動させる第２搬送部と、
   前記第１搬送部の動作と前記第２搬送部の動作とを制御する制御部とを備え、
   前記第１ハンド及び前記第２ハンドが、互いに離間した位置から互いに異なる方向で前記開口部に対峙する位置まで移動したのち、前記開口部へ向けて移動することにより、当該第１ハンドと当該第２ハンドとが隣接して前記開口部に配置される状態を有する
   ことを特徴とする部品検査装置。

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