CN103996641B - 分选机以及部件检查装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供分选机以及部件检查装置，其中，分选机具备：基台，其具有开口部；第1手部，其输送输送对象物；第1输送部，其将第1手部向开口部的上方输送并下降；第2手部，其输送输送对象物；第2输送部，其将第2手部向开口部的上方输送并下降；以及控制部，其控制第1输送部的动作和第2输送部的动作，具有第1手部和第2手部朝向开口部的上方相互靠近，并排配置于开口部的状态。

Description

分选机以及部件检查装置
本申请是申请日为2012年08月28日、申请号为201210310719.6、发明名称为“分选机以及部件检查装置”的发明申请的分案申请。
技术领域
本发明涉及对输送对象物进行输送的分选机(Handler)以及具备该分选机的部件检查装置，特别涉及将输送对象物输送至设置于基台的开口部的分选机以及具备该分选机的部件检查装置。
背景技术
以往公知有检查半导体芯片等电子部件的电气特性的部件检查装置。这种部件检查装置例如构成为包含：具备安装电子部件的检查插座的测试器(tester)、搭载该测试器并且将检查前的电子部件输送至测试器的分选机。
这样的分选机具有输送部，该输送部具备利用真空吸附保持收纳于供给托盘的多个电子部件的手部。输送部使保持了电子部件的手部移动至检查插座上后，使该手部朝向检查插座下降，将电子部件压入检查插座。由此，检查插座的端子和电子部件的端子电连接，检查电子部件的电气特性。若电子部件的检查结束，则输送部使手部移动，使该手部保持的检查后的电子部件从检查插座脱离后，使该手部移动至回收托盘，使该手部保持的电子部件排出至回收托盘。而且，输送部使手部吸附收纳于供给托盘的新的电子部件，使手部再次朝向检查插座移动。
然而，为了高效进行这种电子部件的检查，优选使检查后的电子部件从检查插座脱离后至将下一电子部件配置于检查插座的时间较短。因此，为了缩短这样的时间，在专利文献1公开了以下的分选机。
即，专利文献1所记载的分选机具有相互独立控制的一对输送部，针对利用该一对输送部输送的电子部件的检查在共用的检查插座中交替进行。在进行保持于一方的输送部的手部的电子部件的检查期间，另一方的输送部使从手部排出检查后的电子部件，且使该手部重新保持检查前的电子部件，使在检查插座的附近待机。根据这样的构成，保持于一方的输送部的手部的电子部件从检查插座脱离后，立即将保持于另一方的输送部的手部的电子部件配置于检查插座。因此，能够高效地进行电子部件的检查。
专利文献1：日本特开2002-148307号公报
近些年，为了提高电子部件的检查效率，在一次的检查中，嵌入至检查插座的电子部件的个数逐渐增多。然而，若通过手部压入的电子部件的个数增多，则会带来手部本身的大型化、重量化，使得电子部件的输送速度降低、电子部件的输送距离增大。因此，在上述的分选机中，虽通过使手部大型化，能够使嵌入至检查插座的电子部件增加，但在抑制手部的大型化所引起的输送速度降低、输送距离增大的输送效率降低的方面，依然留有改善的余地。
发明内容
本发明是鉴于上述实际情况而完成的，其目的在于提供维持手部能够保持的输送对象物的个数，且增加配置于设置在基台的开口部的输送对象物的个数，且能够高效地进行多个输送对象物的输送的分选机以及部件检查装置。
本发明的方式之一的分选机具备：基台，其具有开口部；第1输送部，其具有保持输送对象物的第1手部，使该第1手部移动至与上述开口部对置的位置后，朝向上述开口部移动；第2输送部，其具有保持输送对象物的第2手部，使该第2手部移动至与上述开口部对置的位置后，朝向上述开口部移动；以及控制部，其控制上述第1输送部的动作和上述第2输送部的动作，具有上述第1手部以及上述第2手部从相互分离的位置以相互不同的方向移动至与上述开口部对置的位置后，朝向上述开口部移动，从而该第1手部和该第2手部邻接配置于上述开口部的状态。
另外，本发明的方式之一的部件检查装置具备：检查电子部件的测试器；搭载上述测试器，且将上述电子部件压入至该测试器的检查插座的分选机，上述分选机具备：基台，其具有使上述检查插座露出的开口部；第1输送部，其具有保持输送对象物的第1手部，使该第1手部移动至与上述开口部对置的位置后，朝向上述开口部移动；第2输送部，其具有保持输送对象物的第2手部，使该第2手部移动至与上述开口部对置的位置后，朝向上述开口部移动；控制部，其控制上述第1输送部的动作和上述第2输送部的动作，具有上述第1手部以及上述第2手部从相互分离的位置以相互不同的方向移动至与上述开口部对置的位置后，朝向上述开口部移动，从而该第1手部和该第2手部邻接配置于上述开口部的状态。
根据本发明的方式之一，具有第1手部和第2手部以朝向与开口部对置的位置相互靠近的方式移动后，朝向开口部移动，从而并排配置于开口部的状态。因此，与仅通过第1手部将输送对象物输送至开口部的方式和仅通过第2手部将输送对象物输送至开口部的方式相比，能够维持该手部能够保持的输送对象物的个数，且增加输送至开口部的输送对象物的个数。即，不使手部大型化，就能够增加输送至开口部的输送对象物的个数。因此，手部的大型化引起的输送速度的降低、输送距离的增大被抑制，所以使向作为输送目的地的开口部输送的输送对象物的个数增加，且能够高效地进行多个输送对象物的输送。
在本发明的方式之一，上述第1输送部使上述第1手部在上述开口部配置上述第1手部的第1位置和进行利用上述第1手部的输送对象物的保持以及排出的第1交接位置之间移动，上述第2输送部使上述第2手部在上述开口部配置上述第2手部的第2位置和进行利用上述第2手部的输送对象物的保持以及排出的第2交接位置之间移动，具有配置于上述第1位置的上述第1手部以及配置于上述第2位置的上述第2手部以从上述开口部脱离的方式移动后，朝向各自的交接位置向相互不同的方向移动的状态。
根据本发明的方式之一，由于第1手部和第2手部以从与开口部对置的位置相互远离的方式移动，所以第1手部一边保持后续的输送对象物一边移动的时刻和第2手部一边保持后续的输送对象物一边移动的时刻容易重合。其结果，通过第1输送部移动至开口部的第1手部和通过第2输送部移动至开口部的第2手部容易再次在开口部相互邻接。因此，上述的效果更加显著。
本发明的方式之一具备：第1梭动构件，其分别设置有将要由上述第1手部保持的上述输送对象物供给至该第1手部的第1供给托盘和从该第1手部回收上述第1手部排出的上述输送对象物的第1回收托盘；第2梭动构件，其分别设置有将要由上述第2手部保持的上述输送对象物供给至该第2手部的第2供给托盘和从该第2手部回收上述第2手部保持的上述输送对象物的第2回收托盘，上述控制部控制上述第1梭动构件的动作和上述第2梭动构件的动作，将配置于上述第1交接位置的托盘交替更换成上述第1供给托盘和上述第1回收托盘，且将配置于上述第2交接位置的托盘交替更换成上述第2供给托盘和上述第2回收托盘。
这里，在供给托盘和回收托盘是共用的托盘的情况下，从手部排出该手部保持的输送对象物后至保持下一输送对象物的期间，依次执行从托盘回收从该手部排出的输送对象物，将下一输送对象物供给至该托盘。即，手部必须待机至下一输送对象物被供给至托盘，由此存在输送对象物的输送效率显著下降的问题。
在该点上，若是上述的方式，将配置于各交接位置的托盘交替更换成供给托盘和回收托盘。因此，在交接位置从供给托盘接受了输送对象物的供给的手部再次返回至交接位置的期间，能够将配置于交接位置的托盘从供给托盘更换成回收托盘。而且，在回收托盘被配置于交接位置的期间，能够将下一输送对象物供给至供给托盘。
另外，若从手部向配置于交接位置的回收托盘排出输送对象物，则为了将新的输送对象物供给至手部，将配置于交接位置的托盘更换成供给托盘。在供给托盘被配置于交接位置的期间，能够回收排出至回收托盘的输送对象物。
换句话说，在上述的方式之一，能够在各手部移动的期间进行向供给托盘的输送对象物的供给和从回收托盘的输送对象物的回收。其结果，与供给托盘和回收托盘为共用的托盘的情况相比，在输送对象物的保持以及排出时，能够缩短手部的待机时间。因此，能够顺畅地进行利用手部的输送对象物的供给以及回收。
本发明的方式之一具有在上述第1交接位置配置有上述第1供给托盘，且在上述第2交接位置配置有上述第2供给托盘的状态。
根据本发明的方式之一，由于在第1交接位置配置第1供给托盘，且在第2交接位置配置第2供给托盘，所以在向第1手部供给输送对象物时，能够向第2手部供给输送对象物。因此，能够缩短在第1手部和第2手部朝向与开口部对置的位置相互靠近前，另一方的手部等待向一方的手部供给输送对象物结束的期间。
本发明的方式具有在上述第1交接位置配置上述第1回收托盘，且在上述第2交接位置配置上述第2回收托盘的状态。
根据本发明的方式之一，由于在第1交接位置配置第1回收托盘，且在第2交接位置配置第2回收托盘，因此在回收第1手部保持的输送对象物时，能够回收第2手部保持的输送对象物。因此，能够缩短在第1手部和第2手部从与开口部对置的位置相互远离后，另一方的手部等待针对一方的手部的回收输送对象物结束的期间。
在本发明的方式之一，上述控制部以在相同的时刻进行对上述第1交接位置的上述第1供给托盘的配置和对上述第2交接位置的上述第2供给托盘的配置的方式控制上述第1梭动构件的动作和上述第2梭动构件的动作，并且，上述控制部以在相同的时刻进行对上述第1交接位置的上述第1回收托盘的配置和对上述第2交接位置的上述第2回收托盘的配置的方式控制上述第1梭动构件的动作和上述第2梭动构件的动作。
根据本发明的方式之一，由于第1梭动构件和第2梭动构件进行相同的动作，所以能够有效缩短另一方的手部等待针对一方的手部的供给输送对象物结束的期间。另外，也能够更加有效地缩短另一方的手部等待针对一方的手部的回收输送对象物结束的期间。
在本发明的方式之一中，上述控制部以在相同的时刻进行利用上述第1手部的上述输送对象物的保持和利用上述第2手部的上述输送对象物的保持的方式控制上述第1输送部的动作和上述第2输送部的动作，并且，上述控制部以在相同的时刻进行利用上述第1手部的上述输送对象物的排出和利用上述第2手部的上述输送对象物的排出的方式控制上述第1输送部的动作和上述第2输送部的动作。
根据本发明的方式之一，由于第1输送部和第2输送部进行相同的动作，所以能够更加有效地缩短另一方的手部等待针对一方的手部供给输送对象物结束的期间。另外，也能够更加有效地缩短另一方的手部等待针对一方的手部的回收输送对象物结束的期间。
附图说明
图1是表示搭载有本发明的一实施方式的分选机的部件检查装置的全体构成的构成图。
图2是示意地表示该实施方式的分选机的端面构造的端面图。
图3是表示该实施方式的分选机的电气构成的框图。
图4是表示该实施方式的分选机的第1工作方式的时序图。
图5(a)～(d)是表示第1工作方式中的输送单元的配置的端面图。
图6(a)～(d)是表示第1工作方式中的输送单元的配置的端面图。
图7是表示该实施方式的分选机中的第2工作方式的时序图。
图8(a)～(d)是表示第2工作方式中的输送单元的配置的端面图。
图9(a)、(b)是表示第2工作方式中的输送单元的配置的端面图。
图10是表示该实施方式的分选机中的第3工作方式的时序图。
图11(a)～(d)是表示第3工作方式中的输送单元的配置的端面图。
图12(a)～(c)是表示第3工作方式中的输送单元的配置的端面图。
图13是表示该实施方式的分选机中的第4工作方式的时序图。
图14(a)～(d)是表示第4工作方式中的输送单元的配置的端面图。
具体实施方式
以下，参照图1～图14对将本发明的分选机具体化的一实施方式进行说明。首先，参照图1以及图2对使用了分选机的部件检查装置的构成进行说明。
部件检查装置的构成
如图1所示，在分选机10的基台11上设置有搭载各种机械手的搭载面11a作为上表面，该搭载面11a的大部分被罩部件12覆盖。被上述罩部件12和搭载面11a围起的空间亦即输送空间的湿度和温度通过从部件检查装置的外部供给的干燥空气维持在规定的值。
在基台11的搭载面11a上，沿一个方向延伸的4个传送带沿与该传送带的输送方向正交的方向排列。4个传送带中，在传送带的排列方向亦即X方向的一侧敷设有一个供给用传送带C1，在X方向的另一侧敷设有3个回收用传送带C2、C3、C4。而且，利用供给用传送带C1，将供给用传送带托盘C1a从罩部件12的外侧输送至内侧。而且，利用回收用传送带C2、C3、C4，将回收用传送带托盘C2a、C3a、C4a从罩部件12的内侧输送至外侧。此外，在供给用传送带托盘C1a收纳有作为输送对象物的多个电子部件T，而且，在回收用传送带托盘C2a、C3a、C4a收纳有检查后的多个电子部件T。此外，在本实施方式的供给用传送带托盘C1a以及回收用传送带托盘C2a、C3a、C4a中，沿X方向以及Y方向以矩阵状收纳多个电子部件T。
在上述基台11的搭载面11a上搭载有在X方向相互相对的供给机械手20和回收机械手40。供给机械手20配置于供给用传送带C1的Y方向，另外，回收机械手40配置于回收用传送带C2、C3、C4的Y方向。
供给机械手20具有沿Y方向延伸的固定轴亦即供给侧固定引导件21、与供给侧固定引导件21连结的可动轴亦即供给侧可动引导件22、与供给侧可动引导件22连结且沿供给侧可动引导件22移动的供给用手部单元23。
供给侧可动引导件22是从供给侧固定引导件21向回收机械手40侧延伸的可动轴，以沿Y方向能够往复运动的方式与供给侧固定引导件21连结。供给用手部单元23是配置于供给侧可动引导件22的搭载面11a侧的手端操作装置，以沿X方向能够往复运动的方式与供给侧可动引导件22连结。而且，供给用手部单元23以能够从供给侧可动引导件22朝向搭载面11a下降，和从搭载面11a侧朝向供给侧可动引导件22上升的方式与供给侧可动引导件22连结。
而且，供给侧可动引导件22沿供给侧固定引导件21向供给用传送带C1侧移动，且供给用手部单元23沿供给侧可动引导件22移动至供给用传送带托盘C1a的上方。由此，载置于供给用传送带托盘C1a的电子部件T被供给用手部单元23的吸盘吸附，然后从供给用传送带托盘被抬起。另外，从该状态，供给侧可动引导件22沿供给侧固定引导件21从供给用传送带C1上离开，从而被供给用手部单元23吸附的电子部件T被供给至上述的输送空间内的规定的位置。此外，本实施方式的供给用手部单元23同时吸附保持多个电子部件。
回收机械手40与供给机械手20相同，具有沿Y方向延伸的固定轴亦即回收侧固定引导件41、与回收侧固定引导件41连结的可动轴亦即回收侧可动引导件42、与回收侧可动引导件42连结且沿回收侧可动引导件42在X方向移动的回收用手部单元43。
回收侧可动引导件42是从回收侧固定引导件41向供给机械手20侧延伸的可动轴，以能够沿Y方向往复运动的方式与回收侧固定引导件41连结。回收用手部单元43是配置于回收侧可动引导件42的搭载面11a侧的手端操作装置，以能够沿X方向往复运动的方式与回收侧可动引导件42连结。另外，回收用手部单元43以能够从回收侧可动引导件42朝向搭载面11a下降和从搭载面11a侧朝向回收侧可动引导件42上升的方式与回收侧可动引导件42连结。
而且，回收侧可动引导件42沿回收侧固定引导件41向回收用传送带C2、C3、C4侧移动，且回收用手部单元43沿着回收侧可动引导件42移动至回收用传送带托盘C2a、C3a、C4a的上方。由此，被回收用手部单元43的吸盘吸附的电子部件T被载置在回收用传送带托盘C2a、C3a、C4a上。此外，本实施方式的回收用手部单元43与供给用手部单元23相同，同时吸附保持多个电子部件。
另外，在罩部件12的内侧面且在该内侧面的X方向的大致中央固定有沿Y方向延伸的输送引导件31。在该输送引导件31的两端部的下方配设有沿X方向延伸的第1梭动构件(shuttle)32和同样沿X方向延伸的第2梭动构件35。
第1梭动构件32与固定设置于搭载面11a的沿X方向延伸的第1梭动构件引导件32c连结且沿X方向往复运动。在第1梭动构件32的上述供给机械手20侧固定有作为第1供给托盘的供给用梭动构件托盘32a，另外，在第1梭动构件32的上述回收机械手40侧固定有作为第1回收托盘的回收用梭动构件托盘32b。在供给用梭动构件托盘32a收纳有作为处理对象的检查前的多个电子部件T，另外，在回收用梭动构件托盘32b收纳有检查后的多个电子部件T。
而且，第1梭动构件32的供给用梭动构件托盘32a配置于供给侧可动引导件22的下方，且回收用梭动构件托盘32b配置于位于输送引导件31的下方的位置的供给位置。而且，第1梭动构件32的供给用梭动构件托盘32a配置于输送引导件31的下方，且回收用梭动构件托盘32b配置于位于回收侧可动引导件42的下方的位置的回收位置。而且，第1梭动构件32在供给位置和回收位置之间沿X方向往复运动。即，第1梭动构件32在利用供给用手部单元23能够向供给用梭动构件托盘32a供给电子部件T的供给位置和利用回收用手部单元43能够从回收用梭动构件托盘32b回收电子部件的回收位置之间往复运动。
除此之外，第2梭动构件35也与固定设置于搭载面11a的沿X方向延伸的第2梭动构件引导件35c连结，沿X方向往复运动。在第2梭动构件35的上述供给机械手20侧固定有作为第2供给托盘的供给用梭动构件托盘35a，另外，在第2梭动构件35的上述回收机械手40侧固定有作为第2回收托盘的回收用梭动构件托盘35b。在供给用梭动构件托盘35a收纳作为输送对象的检查前的多个电子部件T，另外，在回收用梭动构件托盘35b收纳检查后的多个电子部件T。
而且，第2梭动构件35的供给用梭动构件托盘35a配置于供给侧可动引导件22的下方，且回收用梭动构件托盘35b配置于位于输送引导件31的下方的位置的供给位置。另外，第2梭动构件35的供给用梭动构件托盘35a配置于输送引导件31的下方，且回收用梭动构件托盘35b配置于位于回收侧可动引导件42的下方的位置的回收位置。而且，第2梭动构件35在供给位置和回收位置之间沿X方向往复运动。即，第2梭动构件35在利用供给用手部单元23能够向供给用梭动构件托盘35a供给电子部件T的供给位置和利用回收用手部单元43能够从回收用梭动构件托盘35b回收电子部件T的回收位置之间往复运动。
另外，在本实施方式的供给用梭动构件托盘32a、35a以及回收用梭动构件托盘32b、35b，在X方向以及Y方向以矩阵状收纳多个电子部件T。即，供给用梭动构件托盘32a、35a通过利用供给用手部单元23接受两次电子部件T的供给，而载满电子部件T。另外，回收用梭动构件托盘32b、35b通过利用回收用手部单元43接受两次电子部件T的回收，而回收全部的电子部件T。
另外，搭载面11a中，在输送空间的大致中央形成有贯通搭载面11a的矩形状的开口部45。在该开口部45安装有与分选机10独立的装置亦即测试器的测试头33。测试头33是嵌入电子部件T的插座，与用于检查该电子部件T的检查电路电连接。
在测试头33的上表面凹设有能够同时收纳多个电子部件T的检查用凹部33a，另外，在检查用凹部33a的底面凹设有能够与电子部件T的阳端子嵌合的多个阴端子。而且，通过将电子部件T所具有的阳端子嵌入至检查用凹部33a的阴端子，能够利用测试器检查电子部件T的电气特性。测试器从分选机接受表示检查开始的电信号，开始电子部件T的检查，将其检查结果输出至分选机10。
另外，在上述输送引导件31上沿Y方向排列连结有第1输送单元34和第2输送单元36。
如图2所示，构成第1输送单元34的水平移动臂51以能够沿输送引导件31往复运动的方式连结。水平移动臂51通过内置的输送马达MA正转或反转，沿输送引导件31进行往复运动。在水平移动臂51的下端部连结有相对水平移动臂51能够上升以及下降的垂直移动臂52。垂直移动臂52通过内置于水平移动臂51的按压马达MB正转或反转，相对水平移动臂51上升或下降。
另外，在垂直移动臂52的下端部例如连结有具有多个吸附部54的第1手部53，其中，上述吸附部54是能够利用真空吸附来吸附电子部件T的手端操作装置。吸附部54例如由吸嘴、与该吸嘴连接的吸引泵、将压缩空气供给至该吸嘴的放气阀等构成。此外，包含这些输送引导件31、水平移动臂51、输送马达MA、垂直移动臂52、按压马达MB以及第1手部53而构成第1输送部。
即，第1输送单元34具有第1手部53与第1梭动构件32相互相对的状态和第1手部53与开口部45相互相对的状态。另外，第1输送单元34使第1手部53在输送引导件31和搭载面11a之间沿Z方向上升以及下降。
而且，第1输送单元34利用第1手部53保持收纳于第1梭动构件32的供给用梭动构件托盘32a的检查前的电子部件T，将电子部件T从作为输送源的第1梭动构件32的上方输送至测试头33的上方。另外，第1输送单元34以第1手部53保持处于测试头33的检查后的电子部件T，使第1手部53返回作为输送源的第1往返机32的上方。而且，第1输送单元34将第1手部53保持的电子部件T输送至第1梭动构件32的回收用梭动构件托盘32b。
此外，本实施方式中，在第1手部53移动的范围内，在第1手部53配置于第1检查位置的状态下，将电子部件T嵌入至测试头33。另外，在第1手部53移动的范围内，在第1手部53配置于第1交接位置的状态下，利用第1梭动构件32中的任意的托盘进行电子部件T的交接。
如图2所示，构成第2输送单元36的水平移动臂56以沿输送引导件31能够往复运动的方式连结。水平移动臂56通过内置的输送马达MA正转或反转，沿输送引导件31往复运动。在水平移动臂56的下端部连结有相对水平移动臂56能够上升以及下降的垂直移动臂57。垂直移动臂57通过内置于水平移动臂51的按压马达MB正转或反转，相对水平移动臂51上升或下降。
另外，在垂直移动臂57的下端部例如连结有具有多个吸附部59的第2手部58，其中，上述吸附部59是利用能够真空吸附来吸附电子部件T的手端操作装置。吸附部59例如由吸附用的吸嘴、与该吸嘴连接的吸引泵、向该吸嘴供给压缩空气的放气阀等构成。此外，包含这些输送引导件31、水平移动臂56、输送马达MA、垂直移动臂57、按压马达MB以及第2手部58而构成第2输送部。
即，第2输送单元36具有第2手部58与第2梭动构件35相互相对的状态和第2手部58与开口部45相互相对的状态。另外，第2输送单元36使第2手部58在输送引导件31和搭载面11a之间沿Z方向上升以及下降。
而且，第2输送单元36利用第2手部58保持收纳于第2梭动构件35的供给用梭动构件托盘35a的检查前的电子部件T，将电子部件T从作为输送源的第2梭动构件35的上方输送至测试头33的上方。另外，第2输送单元36利用第2手部58保持处于测试头33的检查后的电子部件T，使第2手部58返回至作为输送源的第2梭动构件35的上方。而且，第2输送单元36将第2手部58所保持的电子部件T输送至第2梭动构件35的回收用梭动构件托盘35b。
此外，本实施方式中，在第2手部58移动的范围内，在第2手部58配置于第2检查位置的状态下，将电子部件T嵌入至测试头33。另外，在第2手部58移动的范围内，在第2手部58配置于第2交接位置的状态下，利用第2梭动构件35中的任意的托盘进行电子部件T的交接。
另外，分选机10的开口部45形成为第1手部53和第2手部58在Y方向能够排列插入的大小。即，开口部45形成为，沿Y方向排列配置第1手部53保持的电子部件T和第2手部58保持的电子部件T，能够将这些电子部件T安装到测试头33的大小。
分选机10的电气构成
参照图3，以分选机10的电气构成为中心对上述部件检查装置的电气构成进行说明。上述分选机10所具备的构成控制部的控制装置60以具有中央处理装置(CPU)、非易失性存储器(ROM)以及易失性存储器(RAM)的微型计算机为中心而构成。控制装置60基于存储于上述ROM以及RAM的各种数据以及程序，进行分选机10的动作所涉及的各种控制。
在控制装置60电连接有使传送带马达MC旋转驱动的传送带驱动部61。在传送带驱动部61连接有检测传送带马达MC的旋转位置的编码器EMC。传送带驱动部61基于从控制装置60输入的位置指令和从编码器EMC输入的传送带马达MC的旋转位置，生成传送带马达MC的驱动电流，且将该驱动电流输出至传送带马达MC。传送带马达MC通过进行与上述驱动电流对应的旋转，来驱动上述传送带C1～C4。此外，按每个传送带C1～C4设置有上述传送带驱动部61以及传送带马达MC，而且，针对各传送带马达MC设置编码器EMC。即，控制装置60在使各传送带C1～C4的动作相互独立的方式下进行控制。
另外，在控制装置60电连接有使X轴马达MX旋转驱动的X轴引导件驱动部62。在X轴引导件驱动部62连接有检测X轴马达MX的旋转位置的编码器EMX。X轴引导件驱动部62基于从控制装置60输入的位置指令和从编码器EMX输入的旋转位置，生成X轴马达MX的驱动电流，且将该驱动电流输出至X轴马达MX。X轴马达MX通过进行与输入的上述驱动电流对应的旋转，来使上述手部单元23、43沿可动引导件22、42往复运动。此外，分别针对供给用手部单元23以及回收用手部单元43设置有上述X轴引导件驱动部62以及X轴马达MX，而且，针对各X轴马达MX设置编码器EMX。
在控制装置60连接有使Y轴马达MY旋转驱动的Y轴引导件驱动部63。在Y轴引导件驱动部63连接有检测Y轴马达MY的旋转位置的编码器EMY。Y轴引导件驱动部63基于从控制装置60输入的位置指令和从编码器EMY输入的旋转位置，生成Y轴马达MY的驱动电流，且将该驱动电流输出至Y轴马达MY。Y轴马达MY通过进行与输入的上述驱动电流对应的旋转，使上述可动引导件22、42沿固定引导件21、41往复运动。此外，分别针对供给侧可动引导件22以及回收侧可动引导件42设置有上述Y轴引导件驱动部63以及Y轴马达MY，另外，针对各Y轴马达MY设置编码器EMY。
在控制装置60连接有具有手部马达驱动部64a和阀驱动部64b的手部单元驱动部64。其中，在手部马达驱动部64a连接有检测手部马达MZ的旋转位置的编码器EMZ。手部马达驱动部64a基于从控制装置60输入的位置指令和从编码器EMZ输入的旋转位置，生成手部马达MZ的驱动电流，且将该驱动电流输出至手部马达MZ。手部马达MZ通过进行与输入的上述驱动电流对应的旋转，使上述手部单元23、43上升以及下降。
在阀驱动部64b连接有设置于手部单元23、43的前端的吸引阀SV1和放气阀DV1。阀驱动部64b基于从控制装置60输入的吸引阀SV1的开闭指令，生成吸引阀SV1的驱动信号，且将该驱动信号输出至吸引阀SV1。吸引阀SV1通过进行与输入的上述驱动信号对应的开闭动作，以规定的吸引力吸引上述电子部件T。另外，阀驱动部64b基于从控制装置60输入的放气阀DV1的开闭指令，生成放气阀DV1的驱动信号，且将该驱动信号输出至放气阀DV1。放气阀DV1通过进行与输入的上述驱动信号对应的开闭动作，从吸盘送出压缩空气。此外，分别针对供给用手部单元23以及回收用手部单元43设置有上述手部单元驱动部64、手部马达MZ、吸引阀SV1以及放气阀DV1，而且，分别针对手部马达MZ设置有编码器EMZ。即，控制装置60以使供给用手部单元23的动作和回收用手部单元43的动作相互独立的方式进行控制。
另外，在控制装置60连接有使梭动构件马达MS旋转驱动的梭动构件驱动部65。在梭动构件驱动部65连接有检测梭动构件马达MS的旋转位置的编码器EMS。梭动构件驱动部65基于从控制装置60输入的位置指令和从编码器EMS输入的旋转位置，生成梭动构件马达MS的驱动电流，且将该驱动电流输出至梭动构件马达MS。梭动构件马达MS通过进行与输入的上述驱动电流对应的旋转，使梭动构件32、35沿上述引导件32c、35c滑动。此外，分别针对第1梭动构件32以及第2梭动构件35设置有上述梭动构件驱动部65以及梭动构件马达MS，而且，针对各梭动构件马达MS设置有编码器EMS。即，控制装置60以使第1梭动构件32的动作和第2梭动构件35的动作相互独立的方式进行控制。
另外，在控制装置60连接有具有输送马达驱动部66a、按压马达驱动部66b以及吸引阀驱动部66c的输送单元驱动部66。
在输送马达驱动部66a连接有检测输送马达MA的旋转位置的编码器EMA。输送马达驱动部66a基于从控制装置60输入的位置指令和从编码器EMA输入的旋转位置，生成输送马达MA的驱动电流，且将该驱动电流输出至输送马达MA。输送马达MA通过进行与输入的上述驱动电流对应的旋转，使上述水平移动臂沿上述输送引导件31往复运动。此外，分别针对第1输送单元34以及第2输送单元36设置有上述输送马达驱动部66a，而且，分别针对第1输送单元34以及第2输送单元36也设置有编码器EMA。
在按压马达驱动部66b连接有检测按压马达MB的旋转位置的编码器EMB。按压马达驱动部66b基于从控制装置60输入的位置指令和从编码器EMB输入的旋转位置，生成按压马达MB的驱动电流，且将该驱动电流输出至按压马达MB。按压马达MB通过进行与输入的上述驱动电流对应的旋转，使垂直移动臂上升以及下降。此外，分别针对第1输送单元34以及第2输送单元36设置有上述按压马达驱动部66b，而且，分别针对第1输送单元34以及第2输送单元36也设置有编码器EMB。
在阀驱动部66c连接有分别设置于第1手部53以及第2手部58的吸引阀SV2和放气阀DV2。阀驱动部66c基于从控制装置60输入的吸引阀SV2的开闭指令，生成吸引阀SV2的驱动信号，且将该驱动信号输出至吸引阀SV2。而且，吸引阀SV2通过进行与输入的上述驱动信号对应的开闭动作，以规定的吸引力吸引上述电子部件T。另外，阀驱动部66c基于从控制装置60输入的放气阀DV2的开闭指令，生成放气阀DV2的驱动信号，且将该驱动信号输出至放气阀DV2。而且，放气阀DV2通过进行与输入的上述驱动信号对应的开闭动作，从手部的吸附部送出压缩空气。此外，分别针对第1输送单元34以及第2输送单元36设置有吸引阀SV2以及放气阀DV2，而且，分别针对第1输送单元34以及第2输送单元36也设置有阀驱动部66c。即，控制装置60以使第1输送单元34的动作和第2输送单元36的动作相互独立的方式进行控制。
另外，在控制装置60电连接有收纳于分选机10的测试器69。控制装置60在第1手部53配置于第1检查位置，且第2手部58配置于第2检查位置时，向测试器69输出表示开始检查的信号。测试器69通过接受检查开始信号，开始电子部件T的检查，若检查结束，则将表示检查结束的信号与其检查结果一起输出至控制装置60。
分选机10的工作方式
接下来，参照图4～图14对上述的构成的分选机10的工作方式进行说明。其中，以下对相互不同的4个工作方式进行说明，在各工作方式中，说明用测试器69实施电子部件T的检查的期间亦即指数循环时间(index cycle time)最少的情况。图4、7、10、13分别是表示相互不同的4个工作方式的时序图，横轴的1个刻度表示0.2秒。首先，对分选机10进行的动作中的、下述动作A～动作J进行说明。
供给动作A
供给用手部单元23在吸附了收纳于供给用传送带托盘的电子部件T后，向作为供给对象的供给用梭动构件托盘的上方移动。而且，使手部在Z方向往复移动后，将电子部件T供给至该供给用梭动构件托盘。这些一系列动作亦即供给动作A需要2.2秒。即，若通过1次的供给动作A输送8个电子部件T，则供给用手部单元23每1小时能够向供给用梭动构件托盘输送最多13090个供给用传送带托盘的电子部件T。
供给升降动作B
在上述供给动作A中，供给用手部单元23在Z方向下降以及上升来吸附供给用传送带托盘的电子部件T的动作、在Z方向下降以及上升将电子部件T载置到供给用梭动构件托盘上的动作这些各动作的供给升降动作B需要0.4秒。
输送动作C
输送单元34、36在使手部53、58从交接位置的上方移动至检查位置的上方的动作、使手部53、58从检查位置的上方移动至交接位置的上方的动作这些各动作的输送动作C需要0.5秒。此时，输送单元34、36使2个手部53、58朝向检查位置的上方的开口部45的上方相互靠近，在使2个手部53、58并排的状态下配置在各自的检查位置。另外，输送单元34、36使2个手部53、58移动，使得从并排在各自的检查位置的状态，从开口部45上升后2个手部53、58相互远离。
手部升降动作D
输送单元34、36在使手部在交接位置的上方下降以及上升从而将供给用梭动构件托盘的电子部件T吸附于手部的动作、使手部在交接位置的上方下降以及上升从而将电子部件排出至回收用梭动构件托盘的动作这些各动作的升降动作需要0.3秒。
梭动构件动作F
各梭动构件32、35在供给位置和回收位置之间移动需要0.4秒。
回收动作G
回收用手部单元43吸附回收用梭动构件托盘的电子部件T后，向回收用传送带托盘的上方移动。而且，将手部在Z方向往复移动后，移动至收纳作为下次的回收对象的电子部件T的回收用梭动构件托盘的上方。针对这些一系列的动作的回收动作G，回收用手部单元43需要2.2秒。即，若通过1次的回收动作G回收的电子部件T为8个，则回收用手部单元43每1小时能够将最多13090个回收用梭动构件托盘的电子部件T输送至回收用传送带托盘。
回收升降动作H
在上述回收动作G中，回收用手部单元43在Z方向下降以及上升吸附回收用梭动构件托盘的电子部件T的动作、在Z方向下降以及上升将电子部件T载置到回收用传送带托盘上的动作这些各动作的回收升降动作H需要0.4秒。
待机动作J
回收用手部单元43在为了吸附供给用梭动构件托盘32a的电子部件T而第1手部53在Z方向的往复移动期间，不从回收用梭动构件托盘32b回收电子部件T，而是待机。而且，回收用手部单元43在为了吸附供给用梭动构件托盘35a的电子部件T而第2手部58在Z方向的往复移动的期间，也不从回收用梭动构件托盘35b回收电子部件T，而是待机。
第1工作方式
接下来，参照图4～图6对分选机10中的第1工作方式进行说明。在第1工作方式中，各梭动构件32、35和各输送单元34、36以满足下述条件1～条件5的方式动作。
<条件1>各输送单元34、36的输送动作C相互同步。
<条件2>在各输送单元34、36的手部升降动作D中，相对于回收用梭动构件托盘的手部升降动作D相互同步。
<条件3>在各输送单元34、36的手部升降动作D中，相对于供给用梭动构件托盘的手部升降动作D相互同步。
<条件4>朝向各梭动构件32、35的供给位置的梭动构件动作F相互同步。
<条件5>朝向各梭动构件32、35的回收位置的梭动构件动作F相互同步。
首先，在图4所示的时刻t0，各梭动构件32、35均配置于供给位置，各手部53、58配置于检查位置，进行被各手部53、58吸附的电子部件T的检查(参照图5(a))。而且，若从时刻t0经过0.8秒，则在时刻t1，电子部件T的检查结束。若电子部件T的检查结束，则各手部53、58从检查位置向上方移动，接着，以朝向交接位置的上方相互远离的方式进行输送动作C后，进而针对回收梭动构件托盘进行上述手部升降动作D(参照图5(b))。
若利用各手部53、58结束手部升降动作D，则在时刻t2，各梭动构件32、35开始朝向回收位置的梭动构件动作F(参照图5(c))。接下来，若各梭动构件32、35到达回收位置，则在时刻t3，各手部53、58针对供给用梭动构件托盘开始手部升降动作D。而且，若供给用梭动构件托盘32a、35a的电子部件T被各手部53、58吸附，则各手部53、58在时刻t4以朝向检查位置的上方相互靠近的方式开始输送动作C。
此外，在从时刻t3至时刻t4的期间，各梭动构件32、35配置于回收位置，回收用手部单元43在回收用梭动构件托盘32b的上方进行上述待机动作J。若该待机动作J结束，则回收用手部单元43针对回收用梭动构件托盘32b开始上述回收动作G。
此时，在从时刻t3经过0.8秒后的时刻t5，如图5(d)所示，首先，从回收用梭动构件托盘32b回收一部分的电子部件T。接下来，在从时刻t4经过4.4秒后的时刻t6，如图6(a)所示，回收回收用梭动构件托盘32b的全部的电子部件T。
若回收用梭动构件托盘32b的电子部件T被回收，则回收用手部单元43在时刻t6继续针对回收用梭动构件托盘35b开始上述回收动作G。
此时，回收用手部单元43首先在回收用梭动构件托盘35b和回收用传送带托盘C4a之间往复1次，将回收用梭动构件托盘35b的一部分的电子部件T回收至回收用传送带托盘C4a。接下来，为了吸附处于回收用梭动构件托盘35b的剩余的电子部件T，回收用手部单元43进行回收升降动作H。而且，在从时刻t6经过2.6秒后的时刻t7，如图6(b)所示，回收回收用梭动构件托盘32b的全部的电子部件T。
若第2梭动构件35的电子部件T被回收，则各梭动构件32、35从时刻t7进行朝向供给位置的梭动构件动作F(参照图6(c))。而且，若结束梭动构件动作F，则供给用手部单元23从时刻t8针对供给用梭动构件托盘32a开始上述供给动作A。
此时，为了在第1梭动构件32配置于供给位置的时刻t8准时开始电子部件T的供给，从时刻t8的1.8秒前，供给用手部单元23吸附检查前的电子部件T在第1梭动构件32的上方待机。而且，在时刻t8，供给用手部单元23开始供给升降动作B。接下来，供给用手部单元23再次在供给用传送带托盘C1a和供给用梭动构件托盘32a之间往复，进行向供给用梭动构件托盘32a供给剩余的电子部件T的供给动作A(参照图6(d))。
若向第1梭动构件32供给电子部件T，则供给用手部单元23在时刻t9，继续针对供给用梭动构件托盘35a开始上述供给动作A。
此时，供给用手部单元23在第2梭动构件35的供给用梭动构件托盘35a和供给用传送带托盘C1a之间往复2次，将供给用传送带托盘C1a的电子部件T供给至供给用梭动构件托盘35a。而且，若向第2梭动构件35供给电子部件T，则各梭动构件32、35在时刻t11，成为与前面的时刻t2的状态相同的状态。
这里，与相对于前面的时刻t2的时刻t1相当的时刻是相对于时刻t11的时刻t10。在第1工作方式中，若设定该时刻t10作为检查结束的时刻，则从时刻t1至时刻t10的15.2秒成为指数循环时间，从时刻t5至时刻t10的13.2秒成为测试时间。换句话说，在第1工作方式中，若电子部件T的测试时间为13.2秒以下，则维持指数循环时间15.2秒。此时的每1个小时的电子部件T的处理数为，
3600秒÷15.2秒×32个=236.8...×32≈236×32=7552个。
另一方面，在第1手部53保持的电子部件T和第2手部58保持的电子部件T交替配置于开口部45的构成的分选机中，若将各手部53、58的调换时间设为0.4秒，将测试时间设为7.3秒，则每1个小时的处理数为，
3600秒÷7.7秒×16个=467.5...×16≈467×16=7472个。
即，若电子部件T的测试时间为7.3秒以上，则第1工作方式的分选机10能够检查更多的电子部件T。
第2工作方式
接下来，参照图7～图9对分选机10中的第2工作方式进行说明。在第2工作方式中，各梭动构件32、35和各输送单元34、36以仅满足上述的条件中的、条件1～4的方式进行动作。
其中，在第2工作方式中，图7中的从时刻t1至时刻t5的期间与第1工作方式中的从时刻t1至时刻t5的期间进行相同的动作。因此，在第2工作方式中，对与第1工作方式不同的部分进行详细说明。
与第1工作方式相同，回收用手部单元43在时刻t4针对回收用梭动构件托盘32b开始上述回收动作G。
此时，回收用手部单元43在回收用梭动构件托盘32b和回收用传送带托盘C3a之间往复1次，将回收用梭动构件托盘32b的电子部件T回收至回收用传送带托盘C3a。接下来，为了吸附处于回收用梭动构件托盘35b的剩余的电子部件T，回收用手部单元43进行回收升降动作H，之后，第1梭动构件32向供给位置移动。由此，在时刻t4的2.6秒后的时刻t6，如图8(a)所示，回收回收用梭动构件托盘32b的全部的电子部件T。而且，在时刻t6的0.4秒后的时刻t7，如图8(b)所示，第1梭动构件32配置于供给位置。
若第1梭动构件32配置于供给位置，则供给用手部单元23在时刻t7，针对供给用梭动构件托盘32a开始上述供给动作A。
此时，为了在第1梭动构件32配置于供给位置的时刻t7准时地供给电子部件T，从时刻t7的1.8秒前，供给用手部单元23预先使供给用手部单元23吸附检查前的电子部件T，在第1梭动构件32的上方待机。而且，在时刻t7，供给用手部单元23开始供给升降动作B。而且，供给用手部单元23在供给用传送带托盘C1a和供给用梭动构件托盘32a之间再次往复，将电子部件T供给至供给用梭动构件托盘32a。由此，在时刻t7的2.6秒后的时刻t9，第1梭动构件32的供给用梭动构件托盘32a载满电子部件T。
另一方面，在时刻t7和时刻t9之间的时刻t8，回收用手部单元43针对回收用梭动构件托盘35b开始上述回收动作G。
此时，时刻t8从由回收用梭动构件托盘32b回收电子部件T的时刻t6经过1.8秒。因此，回收用手部单元43在时刻t8之前，移动至回收用梭动构件托盘35b的上方(参照图8(c))。而且，回收用手部单元43从时刻t8在第2梭动构件35的回收用梭动构件托盘35b和回收用传送带托盘C4a之间往复1次，将回收用梭动构件托盘35b的电子部件T回收至回收用传送带托盘C4a(参照图8(d))。接下来，为了吸附处于回收用梭动构件托盘35b的剩余的电子部件T，回收用手部单元43开始回收升降动作H，如图9(a)所示，在从时刻t8经过2.6秒后的时刻t10，回收回收用梭动构件托盘35b的全部的电子部件T。
若从回收用梭动构件托盘35b回收电子部件T，则第2梭动构件35从时刻t10进行朝向供给位置的梭动构件动作F(参照图9(b))。而且，若梭动构件动作F结束，则供给用手部单元23针对供给用梭动构件托盘35a从时刻t11开始上述供给动作A。
此时，为了在第2梭动构件35配置于供给位置的时刻t11准时地开始电子部件T的供给，供给用手部单元23吸附检查前的电子部件T，在第1梭动构件32的上方待机。此外，在时刻t10的1.8秒前的时刻t9，供给用梭动构件托盘32a载满电子部件T。因此，供给用手部单元23连续进行针对第1梭动构件32的电子部件T的供给和针对第2梭动构件35的电子部件T的供给。而且，供给用手部单元23在针对供给用梭动构件托盘35a进行供给升降动作B后，进行针对供给用梭动构件托盘35a的供给动作A，向供给用梭动构件托盘35a供给剩余的电子部件T。由此，各梭动构件32、35在时刻t13成为与前面的时刻t2中的状态相同的状态。
这里，与相对于前面的时刻t2的时刻t1相当的时刻是相对于时刻t13的时刻t12。在第2工作方式中，若设定该时刻t12作为检查结束的时刻，则从时刻t1至时刻t12的10.8秒为指数循环时间，从时刻t5至时刻t12的8.8秒为测试时间。换句话说，在第2工作方式中，若电子部件T的测试时间为8.8秒以下，则维持指数循环时间10.8秒。此时的每1个小时的电子部件T的处理数为，
3600秒÷10.8秒×32个=333.3...×32≈333×32=10656个。
另一方面，在第1手部53保持的电子部件T和第2手部58保持的电子部件T被交替配置于开口部45的构成的分选机中，若将各手部53、58的调换时间设为0.4秒，将测试时间设为5.0秒，则每1个小时的处理数为，
3600秒÷5.4秒×16个=666.6...×16≈666×16=10656个。
即，若电子部件T的测试时间超过5.0秒，则第2工作方式的分选机10能够检查处理更多的电子部件T。
第3工作方式
接下来，参照图10～图12对分选机10中的第3工作方式进行说明。在第3工作方式中，各梭动构件32、35和各输送单元34、36以仅满足上述的条件中的、条件1以及条件2的方式进行动作。
首先，在图10所示的时刻t0，第1梭动构件32配置于供给位置，第2梭动构件35配置于回收位置，另外，各手部53、58配置于检查位置，进行被各手部53、58吸附的电子部件T的检查(参照图11(a))。而且，若从时刻t0经过0.6秒，则在时刻t1，第2梭动构件35开始朝向供给位置的梭动构件动作F。
若第2梭动构件35到达供给位置，则在时刻t3，供给用手部单元23针对供给用梭动构件托盘35a开始供给动作A。此时，为了在第2梭动构件35配置于供给位置的时刻t3准时地开始电子部件T的供给，从时刻t3的1.8秒前，供给用手部单元23吸附检查前的电子部件T，在第1梭动构件32的上方待机。而且，若成为时刻t3，则供给用手部单元23进行供给升降动作B后，在供给用传送带托盘C1a和供给用梭动构件托盘35a之间往复，进行供给动作A。
另一方面，若从时刻t1经过0.2秒，则在时刻t2，结束电子部件T的检查。若电子部件T的检查结束，则各手部53、58从检查位置向上方移动，接着，以朝向各交接位置的上方相互远离的方式进行输送动作C，之后，针对回收梭动构件托盘进行手部升降动作D(参照图11(b))。而且，若从时刻t2经过0.8秒，则第1梭动构件32从时刻t4进行朝向回收位置的梭动构件动作F(参照图11(c))。
若朝向第1梭动构件32的回收位置的梭动构件动作F结束，则第1手部53在时刻t5，针对供给用梭动构件托盘开始手部升降动作D。而且，通过第1手部53结束手部升降动作D，第1手部53在时刻t6吸附供给用梭动构件托盘32a的电子部件T(参照图11(d))。另一方面，回收用手部单元43在时刻t6，针对回收用梭动构件托盘32b开始上述回收动作G。此外，在从时刻t5至时刻t6期间，回收用手部单元43在回收用梭动构件托盘32b的上方进行上述待机动作J。
此时，回收用手部单元43在回收用梭动构件托盘32b和回收用传送带托盘C3a之间往复1次，将回收用梭动构件托盘32b的一部分的电子部件T回收至回收用传送带托盘C3a。接下来，为了吸附处于回收用梭动构件托盘32b的剩余的电子部件T，回收用手部单元43进行回收升降动作H。
另一方面，若针对供给用梭动构件托盘35a结束供给动作A，则第2梭动构件35在时刻t7，开始朝向回收位置的梭动构件动作F。由此，在从时刻t7经过了0.4秒的时刻t8，如图12(a)所示，在供给用梭动构件托盘35a载满电子部件T的状态下，第2梭动构件35被配置于回收位置，且从第1梭动构件32的回收用梭动构件托盘32b回收一部分的电子部件T。另外，第2手部58在时刻t8，针对供给用梭动构件托盘35a进行手部升降动作D。而且，第2手部58和已经吸附电子部件T的第1手部53以朝向各自的检查位置的上方相互靠近的方式开始输送动作C。由此，在从时刻t8经过了0.8秒的时刻t9，开始电子部件T的检查。
若开始电子部件T的检查，则各手部53、58在时刻t10配置于检查位置，且从回收用梭动构件托盘32b回收全部的电子部件T(参照图12(b))。另外，第1梭动构件32在时刻t10，开始朝向供给位置的梭动构件动作F。而且，若从时刻t10经过0.4秒，则第1梭动构件32在时刻t11配置于供给位置(参照图12(c))。
若第1梭动构件32配置于供给位置，则供给用手部单元23针对供给用梭动构件托盘32a开始供给动作A。此时，为了在第1梭动构件32配置于供给位置的时刻t11准时地供给电子部件T，从时刻t11的1.8秒前，供给用手部单元23吸附检查前的电子部件T，在第1梭动构件32的上方待机。而且，在时刻t11，供给用手部单元23开始供给升降动作B。接下来，供给用手部单元23在供给用梭动构件托盘32a和供给用传送带托盘C1a之间再次往复，在时刻t13之前，进行将剩余的电子部件T供给至供给用梭动构件托盘32a的供给动作A。
另外，在处于时刻t11和时刻t13之间的时刻t12，回收用手部单元43针对回收用梭动构件托盘35b开始回收动作G。此外，从时刻t10至时刻t12，回收用手部单元43将电子部件T排出至回收用传送带托盘C3a，移动至回收用梭动构件托盘35b的上方。
回收用手部单元43在时刻t12在回收用梭动构件托盘35b和回收用传送带托盘C4a之间往复，回收回收用梭动构件托盘35b的电子部件T。而且，为了吸附处于回收用梭动构件托盘35b的剩余的电子部件T，回收用手部单元43进行回收升降动作H。即，在时刻t12的2.6秒后的时刻t14，与图11(a)所示的时刻t1相同，针对供给用梭动构件托盘32a的电子部件T的供给结束的第1梭动构件32配置于供给位置。另外，在供给用梭动构件托盘35a以及回收用梭动构件托盘35b为空的状态下，将第2梭动构件35配置于回收位置。
第2梭动构件35在时刻t14开始朝向供给位置的梭动构件动作F。而且，供给用手部单元23在时刻t14的0.4秒后的时刻t16，针对供给用梭动构件托盘35a开始供给动作A。
此时，为了在第2梭动构件35配置于供给位置的时刻t16准时地开始电子部件T的供给，供给用手部单元23吸附检查前的电子部件T，在第1梭动构件32的上方待机。此外，在时刻t16的1.8秒前亦即时刻t13，供给用梭动构件托盘32a载满电子部件T。因此，供给用手部单元23连续进行对第1梭动构件32的电子部件T的供给和对第2梭动构件35的电子部件T的供给。而且，供给用手部单元23针对供给用梭动构件托盘35a进行供给升降动作B后，进行针对供给用梭动构件托盘35a的供给动作A，向供给用梭动构件托盘35a供给剩余的电子部件T。由此，各梭动构件32、35在时刻t16成为与前面的时刻t3的状态相同的状态。
这里，与相对于前面的时刻t3的时刻t2相当的时刻是相对于时刻t15的时刻t16。若作为检查结束的时刻设定该时刻t15，则从时刻t2至时刻t15的8.8秒为指数循环时间，从时刻t9至时刻t15的4.8秒为测试时间。换句话说，在第3工作方式中，若电子部件T的测试时间为4.8秒以下，则维持指数循环时间8.8秒。此时的每1个小时的电子部件T的处理数为，
3600秒÷8.8秒×32个=409.0...×32≈409×32=13088个。
另一方面，在第1手部53保持的电子部件T和第2手部58保持的电子部件T被交替配置于开口部45的构成的分选机中，若将各手部53、58的调换时间设为0.4秒，将测试时间设为4.0秒，则每1个小时的处理数为，
3600秒÷4.4秒×16个=818.1...×16≈818×16=13088个。
即，若电子部件T的测试时间超过4.0秒，则第3工作方式的分选机10能够检查处理更多的电子部件T。
第4工作方式
接下来，参照图13～图14对分选机10中的第4工作方式进行说明。在第4工作方式中，与其他的工作方式相比，供给动作A以及回收动作G所需要的时间不同。即，供给动作A以及回收动作G分别需要1、4秒。另外，在第4工作方式中，各梭动构件32、35和各输送单元34、36以仅满足上述的条件中的、条件1的方式动作。
此外，在第4工作方式中，在时刻t1电子部件T的检查结束。该时刻t1中的分选机10的各梭动构件32、35是与第3工作方式中的时刻t0相同的状态。因此，针对第4工作方式的时刻t1，通过图14(a)图示，省略其详细的说明。
若在时刻t1电子部件T的检查结束，则各手部53、58从检查位置向上方移动，接着，以朝向各交接位置的上方相互远离的方式进行输送动作C，之后，仅第1手部53针对回收用梭动构件托盘32b进行手部升降动作D。
第2梭动构件35在从时刻t1经过0.6秒后的时刻t2，开始朝向供给位置的梭动构件动作F。而且，在从时刻t2经过了0.4秒后的时刻t4，第2手部58针对回收用梭动构件托盘35b进行手部升降动作D。另外，在时刻t4，供给用手部单元23针对供给用梭动构件托盘35a开始供给动作A。
此时，为了在第2梭动构件35配置于供给位置的时刻t4准时地供给电子部件T，从时刻t4的1.0秒前亦即时刻t1，供给用手部单元23吸附检查前的电子部件T，在第2梭动构件35的上方待机。而且，若到时刻t4，则供给用手部单元23进行供给升降动作B后，在供给用传送带托盘C1a和供给用梭动构件托盘35a之间往复，进行供给动作A。
另一方面，第1梭动构件32在从时刻t1经过了0.8秒后的时刻t3，开始朝向回收位置的梭动构件动作F。而且，在时刻t3的0.4秒后的时刻t5，第1手部53针对供给用梭动构件托盘32a进行手部升降动作D。
另外，回收用手部单元43在从时刻t5经过0.4秒后的时刻t6，针对回收用梭动构件托盘32b开始回收动作G。此外，从时刻t5至时刻t6的期间，回收用手部单元43在回收用梭动构件托盘32b的上方进行待机动作J。而且，回收用手部单元43在时刻t6在回收用梭动构件托盘32b和回收用传送带托盘C3a之间往复1次，进行回收动作G(参照图14(b))。接着，为了吸附处于回收用梭动构件托盘32b的剩余的电子部件T，回收用手部单元43进行回收升降动作H。即，在从时刻t6经过1.8秒后的时刻t9，从回收用梭动构件托盘32b回收全部的电子部件T。
第1梭动构件32在上述时刻t9开始朝向供给位置的梭动构件动作F。供给用手部单元23在从时刻t9经过0.4秒后的时刻t10，针对供给用梭动构件托盘32a开始供给动作A。
此时，为了在第1梭动构件32配置于供给位置的时刻t10准时地供给电子部件T，从时刻t10的1.0秒前的时刻t7，供给用手部单元23吸附检查前的电子部件T，在第1梭动构件32的上方待机。而且，若到时刻t10，则供给用手部单元23针对供给用梭动构件托盘32a开始供给升降动作B。接着，供给用手部单元23在供给用梭动构件托盘32a和供给用传送带托盘C1a之间再次往复，进行将剩余的电子部件T供给至供给用梭动构件托盘32a的供给动作A。即，在时刻t10的1.8秒后的时刻t13，供给用梭动构件托盘35a载满电子部件T。
另一方面，第2梭动构件35在上述时刻t7，开始朝向回收位置的梭动构件动作F。即，如图14(c)所示，在向供给用梭动构件托盘35a供给了电子部件T的状态下，开始朝向回收位置的梭动构件动作F。而且，在从时刻t7经过了0.4秒后的时刻t8，第2手部58进行针对供给用梭动构件托盘35a的供给升降动作B，之后，各手部53、58以朝向各自的检查位置的上方相互靠近的方式进行输送动作C。即，如图14(d)所示，在时刻t8的0.8秒后的时刻t11，将各手部53、58配置于检查位置，且将一部分的电子部件T供给至第1梭动构件32的供给用梭动构件托盘32a。
回收用手部单元43在从上述时刻t11经过0.4秒后的时刻t12，针对回收用梭动构件托盘35b开始回收动作G。此外，回收用手部单元43在从时刻t9至时刻t12，将回收的电子部件T排出至回收用传送带托盘C3a，并移动至回收用梭动构件托盘35b的上方。而且，回收用手部单元43在时刻t12在回收用梭动构件托盘35b和回收用传送带托盘C4a之间往复，进行回收动作G。接着，回收用手部单元43为了吸附处于回收用梭动构件托盘35b的剩余的电子部件T，进行回收升降动作H。即，在从时刻t12经过了1.8秒后的时刻t14，从第2梭动构件35的回收用梭动构件托盘35b回收全部的电子部件T。由此，各梭动构件32、35在时刻t14成为与前面的时刻t2的状态相同的状态。
这里，与相对于前面的时刻t2的时刻t1相当的时刻是相对于时刻t14的时刻t13。若作为检查结束的时刻设定该时刻t13，则从时刻t1至时刻t13的5.6秒为指数循环时间，从时刻t11至时刻t13的1.6秒为测试时间。换句话说，若电子部件T的测试时间为1.6秒以下，则维持指数循环时间5.6秒。此时的每1个小时的电子部件T的处理数为，
3600秒÷5.6秒×32个=642.8...×32≈642×32=20544个。
另一方面，在第1手部53保持的电子部件T和第2手部58保持的电子部件T被交替地配置于开口部45的构成的分选机中，若将测试时间设为1.6秒，则由于测试时间过短，仅处理与供给用以及回收用手部单元23、43的输送能力对应的部分。即，若电子部件T的测试时间为1.6秒以下，第4工作方式的分选机10能够检查处理更多的电子部件T。
如以上说明所示，根据本实施方式，能够得到以下列举的效果。
(1)在基台11形成有第1手部53和第2手部58能够并排配置的开口部45。因此，第1手部53的电子部件T和第2手部的电子部件T被并排嵌入至测试头33。即，在这样的以2个手部构成的分选机10中，能够在同时期检查最多的电子部件T。其结果，无需像仅将各手部53、58的一方保持的电子部件T嵌入至测试头33的构成的分选机那样，增加同时期配置于开口部45的电子部件T的数量，而使各手部53、58大型化。即，抑制装置的大型化，维持各手部53、58能够保持的电子部件T的数量，且能够使配置于开口部45的电子部件T的数量增加。因此，抑制手部的大型化所带来的输送速度的降低、输送距离的增大，所以使向开口部45输送的电子部件T的个数增加，能够高效地进行电子部件T的输送。
(2)由于在相同的第1交接位置进行基于第1手部53的电子部件T的吸附和排出，所以与在不同的位置进行这些动作的构成相比，能够抑制第1手部53的移动路径以及使第1手部53移动的机构的复杂化。同样，由于在相同的第2交接位置进行基于第2手部58的电子部件T的吸附和排出，所以与不同的位置进行这些动作的构成相比，能够抑制第2手部58的移动路径以及使第2手部58移动的机构的复杂化。据此能够抑制分选机10的大型化。
(3)由于使第1手部53以及第2手部58沿着输送引导件31移动的输送马达相互不同，所以能够在Z方向与开口部45对置的位置以相同的时刻或不同的时刻分别配置各手部53、58。
(4)在第1梭动构件32中，收纳检查前的电子部件T的供给用梭动构件托盘32a和收纳检查后的电子部件T的回收用梭动构件托盘35b不同，且任意一方配置于第1交接位置。因此，在回收用梭动构件托盘32b配置于第1交接位置的情况下，能够向供给用梭动构件托盘32a供给电子部件T。另一方面，在供给用梭动构件托盘32a配置于第1交接位置的情况下，能够回收排出至回收用梭动构件托盘32b的电子部件T。第2梭动构件35也相同。即，能够顺利地进行基于各手部53、58的电子部件T的吸附以及排出。
(5)检查前的电子部件T被供给用手部单元23供给至各梭动构件32、35的供给用梭动构件托盘32a、35a。另外，检查后的电子部件T被回收用手部单元43从各梭动构件32、35的回收用梭动构件托盘32b、35b回收。根据这样的构成，与分别和各梭动构件32、35对应地设置供给用手部单元23以及回收用手部单元43的构成相比，能够抑制分选机大型化。
(6)在第1工作方式以及第2工作方式中，能够在短期间进行基于各手部53、58的检查后的电子部件T的排出和检查前的电子部件T的吸附，所以与其他的工作方式相比，即便是测试时间较长的电子部件T，也能够维持指数循环时间。
(7)在第2工作方式、第3工作方式以及第4工作方式中，以在供给位置配置各梭动构件32、35的时刻以及在回收位置配置各梭动构件32、35的时刻中，至少一个不同的时刻来进行。根据这样的构成，例如能够同时期进行使用了供给用手部单元23的针对第1梭动构件32的电子部件T的供给，和使用了回收用手部单元43的针对第2梭动构件35的电子部件T的回收。因此，与第1工作方式相比，能够使指数循环时间缩短。
(8)在第3工作方式以及第4工作方式中，以在各手部53、58吸附电子部件T的时刻，以及各手部53、58排出电子部件T的时刻中至少一个不同的时刻来进行。根据这样的构成，例如，能够使与向各梭动构件供给电子部件T的时刻，从各梭动构件回收电子部件T的时刻相关的自由度提高。因此，预计指数循环时间的进一步缩短化。
此外，也能够像以下那样适当变更上述实施方式来实施。
也可以是输送对象物被多个供给用手部单元分别供给至多个供给用托盘的构成。根据这样的构成，也能够在相同的时刻分别向多个供给用托盘供给输送对象物。
也可以是输送对象物被多个回收用手部单元分别从多个回收用托盘回收的构成。根据这样的构成，也能够在相同的时刻针对多个回收用托盘进行输送对象物的回收。
还可以是针对一个手部供给输送对象物的位置，和从该一个手部回收输送对象物的位置相互不同的构成。
使2个手部移动的输送马达可以是共用的一个马达。根据这样的构成，容易使2个手部的动作同步。
也可以是从开口部上升的2个手部在相互不同的时刻返回至输送源的方式。
在部件检查装置中，不限于测试器和分选机分别设置的方式，也可以是测试器和分选机一体设置的方式。
符号说明：
T...电子部件；C1...供给用传送带；C2、C3、C4...回收用传送带；C1a...供给用传送带托盘；C2a、C3a、C4a...回收用传送带托盘；MA...输送马达；MC...传送带马达；MS...梭动构件马达；MX...X轴马达；MY...Y轴马达；MZ...手部马达；EMA、EMC、EMS、EMX、EMY、EMZ...编码器；SV1、SV2...吸引阀；DV1、DV2...放气阀；10...分选机；11...基台；11a...搭载面；12...罩部件；20...供给机械手；21...供给侧固定引导件；22...供给侧可动引导件；23...供给用手部单元；31...输送引导件；32...第1梭动构件；32a...供给用梭动构件托盘；32b...回收用梭动构件托盘；32c...第1梭动构件引导件；33...测试头；32a...检查用凹部；34...第1输送单元；35...第2梭动构件；35a...供给用梭动构件托盘；35b...回收用梭动构件托盘；35c...第2梭动构件引导件；36...第2输送单元；40...回收机械手；41...回收侧固定引导件；42...回收侧可动引导件；43...回收用手部单元；45...开口部；51...水平移动臂；52...垂直移动臂；53...第1手部；54...吸附部；56...水平移动臂；57...垂直移动臂；58...第2手部；59...吸附部；60...控制装置；61...传送带驱动部；62...X轴引导件驱动部；63...Y轴引导件驱动部；64...手部单元驱动部；64a...手部马达驱动部；64b...吸引阀驱动部；65...梭动构件驱动部；66...输送单元驱动部；66a...输送马达驱动部；66b...按压马达驱动部；66c...吸引阀驱动部；69...测试器。

Claims (7)

1.一种分选机，其特征在于，
所述分选机具备：
基台，其具有配置输送对象物的开口部；
第1输送部，其具有保持所述输送对象物的第1手部，且使所述第1手部朝向所述开口部移动；以及
第2输送部，其具有保持所述输送对象物的第2手部，且使所述第2手部朝向所述开口部移动，
所述第1手部以及所述第2手部在从相互分离的位置以相互不同的方向移动至所述开口部的位置后，朝与朝向所述开口部进行所述移动的方向相反的方向移动，
所述开口部构成为配置利用第1手部保持的所述输送对象物的部分和配置利用第2手部保持的所述输送对象物的部分排列设置，
所述第1输送部使所述第1手部在所述开口部配置所述第1手部的第1位置和利用所述第1手部进行输送对象物的保持以及排出的第1交接位置之间移动，
所述第2输送部使所述第2手部在所述开口部配置所述第2手部的第2位置和利用所述第2手部进行输送对象物的保持以及排出的第2交接位置之间移动，
具有：配置于所述第1位置的所述第1手部以及配置于所述第2位置的所述第2手部以从所述开口部脱离的方式移动后，朝向各自的交接位置而向相互不同的方向移动的状态，
所述分选机还具备：
第1梭动构件，其分别设置有将要由所述第1手部保持的所述输送对象物供给至该第1手部的第1供给托盘和将所述第1手部保持的所述输送对象物从该第1手部回收的第1回收托盘；
第2梭动构件，其分别设置有将要由所述第2手部保持的所述输送对象物供给至该第2手部的第2供给托盘和将所述第2手部保持的所述输送对象物从该第2手部回收的第2回收托盘；以及
控制部，其控制所述第1输送部的动作和所述第2输送部的动作，
控制所述第1梭动构件的动作和所述第2梭动构件的动作，
将配置于所述第1交接位置的托盘交替更换成所述第1供给托盘和所述第1回收托盘，且将配置于所述第2交接位置的托盘交替更换成所述第2供给托盘和所述第2回收托盘。
2.根据权利要求1所述的分选机，其特征在于，
具有：在所述第1交接位置配置所述第1供给托盘，且在所述第2交接位置配置所述第2供给托盘的状态。
3.根据权利要求1或2所述的分选机，其特征在于，
具有：在所述第1交接位置配置所述第1回收托盘，且在所述第2交接位置配置所述第2回收托盘的状态。
4.根据权利要求1或2所述的分选机，其特征在于，
所述控制部以在相同的时刻进行对所述第1交接位置的所述第1供给托盘的配置和对所述第2交接位置的所述第2供给托盘的配置的方式控制所述第1梭动构件的动作和所述第2梭动构件的动作，并且，
所述控制部以在相同的时刻进行对所述第1交接位置的所述第1回收托盘的配置和对所述第2交接位置的所述第2回收托盘的配置的方式控制所述第1梭动构件的动作和所述第2梭动构件的动作。
5.根据权利要求3所述的分选机，其特征在于，
所述控制部以在相同的时刻进行对所述第1交接位置的所述第1供给托盘的配置和对所述第2交接位置的所述第2供给托盘的配置的方式控制所述第1梭动构件的动作和所述第2梭动构件的动作，并且，
所述控制部以在相同的时刻进行对所述第1交接位置的所述第1回收托盘的配置和对所述第2交接位置的所述第2回收托盘的配置的方式控制所述第1梭动构件的动作和所述第2梭动构件的动作。
6.根据权利要求5所述的分选机，其特征在于，
所述控制部以在相同的时刻进行利用所述第1手部的所述输送对象物的保持和利用所述第2手部的所述输送对象物的保持的方式控制所述第1输送部的动作和所述第2输送部的动作，并且，
所述控制部以在相同的时刻进行利用所述第1手部的所述输送对象物的排出和利用所述第2手部的所述输送对象物的排出的方式控制所述第1输送部的动作和所述第2输送部的动作。
7.一种部件检查装置，其特征在于，
所述部件检查装置具备检查电子部件的测试器、和具有配置所述电子部件的开口部的基台，
所述部件检查装置具备：
第1输送部，其具有保持所述电子部件的第1手部，且使所述第1手部朝向所述开口部移动；以及
第2输送部，其具有保持所述电子部件的第2手部，且使所述第2手部朝向所述开口部移动，
所述第1手部以及所述第2手部在从相互分离的位置以相互不同的方向同时移动至所述开口部的位置后，朝与朝向所述开口部进行所述移动的方向相反的方向移动，
所述开口部构成为配置利用第1手部保持的所述电子部件的部分和配置利用第2手部保持的所述电子部件的部分排列设置，
所述第1输送部使所述第1手部在所述开口部配置所述第1手部的第1位置和利用所述第1手部进行输送对象物的保持以及排出的第1交接位置之间移动，
所述第2输送部使所述第2手部在所述开口部配置所述第2手部的第2位置和利用所述第2手部进行输送对象物的保持以及排出的第2交接位置之间移动，
具有：配置于所述第1位置的所述第1手部以及配置于所述第2位置的所述第2手部以从所述开口部脱离的方式移动后，朝向各自的交接位置而向相互不同的方向移动的状态，
所述部件检查装置还具备：
第1梭动构件，其分别设置有将要由所述第1手部保持的所述输送对象物供给至该第1手部的第1供给托盘和将所述第1手部保持的所述输送对象物从该第1手部回收的第1回收托盘；
第2梭动构件，其分别设置有将要由所述第2手部保持的所述输送对象物供给至该第2手部的第2供给托盘和将所述第2手部保持的所述输送对象物从该第2手部回收的第2回收托盘；以及
控制部，其控制所述第1输送部的动作和所述第2输送部的动作，
控制所述第1梭动构件的动作和所述第2梭动构件的动作，
将配置于所述第1交接位置的托盘交替更换成所述第1供给托盘和所述第1回收托盘，且将配置于所述第2交接位置的托盘交替更换成所述第2供给托盘和所述第2回收托盘。
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