TWI401766B - 試驗處理機及其零件移送方法 - Google Patents

Description

試驗處理機及其零件移送方法

發明領域

本發明係關於試驗處理機，尤其係關於可更加迅速且穩定地進行半導體元件之試驗的試驗處理機。

發明背景

以往，包含記憶體或非記憶體半導體元件等裝置、及將裝置等適當構成在一個基板上之模組的電子零件等係在生產後經過各種試驗過程之後再出貨。但是，如上所示之電子零件的試驗係藉由試驗處理機來進行。

習知的試驗處理機係將進行試驗的電子零件由裝載部的裝載堆疊機吸附後使其移動，將前述電子零件收納在被設置在裝載部的試驗托盤，將被收納在試驗托盤的電子零件移動至試驗部來進行試驗。接著，根據電子零件的試驗結果亦即試驗資料按等級別進行分類(sort)，將試驗完畢的電子零件收納在試驗托盤而藉由X-Y臂部(取出單元)卸載在卸載堆疊機。

如上所示之習知的試驗處理機係由收納有試驗完畢之電子零件的試驗托盤直接將電子零件取放(pick-and-placing)在被設置在卸載堆疊機的顧客托盤，或在前述試驗托盤與顧客托盤之間設置一個緩衝部(buffer)，將電子零件由試驗托盤移送至緩衝部後，將收納在緩衝部的電子零件一面在緩衝部移動數次，一面移送至顧客托盤。

但是，如前述所構成的習知處理機係限定可在一定的時間內進行試驗的量，因此若電子零件數量增加，會有作業不易的問題點，包含有即使進行作業，亦會使待機時間增加而處理速度降低的問題點。

此外，習知的試驗處理機係僅進行將在晶舟系統單純作業的電子零件依等級別區分分類而排出的作業，因此包含有在試驗時未進行順利作業的問題點。

本發明係鑑於如上所示之習知技術的問題點所研創者，其目的在提供可簡單且在一定時間內儘可能迅速處理將試驗完畢的電子零件由試驗托盤移送至卸載部之顧客托盤的裝置與方法的試驗處理機及其零件移送方法。

本發明之其他目的在提供可容易去除附著在用以感測半導體元件、載體及托盤之移動的感測器等的塵埃或異物之具備有晶舟系統的試驗處理機。

本發明之試驗處理機，其由以下所構成：具備有已裝載所試驗電子零件的複數個堆疊機的裝載部；設置在前述裝載部的一側，可朝X-Y方向移動的裝載取出單元；用以由前述裝載部的堆疊機，藉由前述裝載取出單元暫時儲存所試驗的電子零件的固定裝載緩衝部；設置在前述固定裝載緩衝部的一側，藉由前述裝載取出單元而使所試驗的電子零件安抵，可朝Y方向移動的移動裝載緩衝部；設置有由前述移動裝載緩衝部接收所試驗的電子零件而安抵的試驗托盤的裝載分類部；設置在前述裝載分類部，使前述電子零件安抵於前述試驗托盤，可朝X-Y方向移動的裝載分類單元；前述試驗托盤由前述裝載分類部流入，對前述電子零件進行試驗的試驗部；用以由試驗結束而被排出的試驗托盤對電子零件進行分類的卸載分類部；設置在前述卸載分類部，可朝X方向移動的第1及第2卸載分類單元；藉由前述第1及第2卸載分類單元而使試驗完畢的電子零件安抵，可朝Y方向移動的第1及第2卸載緩衝部；具備有可裝載由前述第1及第2卸載緩衝部所被分類的電子零件的複數個使用者托盤的卸載部；及設置在前述卸載部，將已安抵於前述卸載分類部之第1及第2卸載緩衝部的電子零件依等級別作分類，使其安抵於前述使用者托盤，可朝X-Y方向移動的卸載取出單元，前述第1及第2卸載分類單元係以將分別相當於前述試驗托盤之一半的電子零件予以分類的方式區分相互作業區域而進行作業。

本發明之試驗處理機為由以下所構成：具備有已裝載所試驗電子零件的複數個堆疊機的裝載部；設置在前述裝載部的一側，可朝X-Y方向移動的裝載取出單元；用以由前述裝載部的堆疊機，藉由前述裝載取出單元暫時儲存所試驗的電子零件的固定裝載緩衝部；設置在前述固定裝載緩衝部的一側，藉由前述裝載取出單元而使所試驗的電子零件安抵，可朝Y方向移動的移動裝載緩衝部；設置有由前述移動裝載緩衝部接收所試驗的電子零件而安抵的試驗托盤的裝載分類部；設置在前述裝載分類部，使前述電子零件安抵於前述試驗托盤，可朝X-Y方向移動的裝載分類單元；前述試驗托盤由前述裝載分類部流入，對前述電子零件進行試驗的試驗部；用以由試驗結束而被排出的試驗托盤對電子零件進行分類的卸載分類部；設置在前述卸載分類部，可朝X-Y方向移動的第1及第2卸載分類單元；可朝Y方向移動的第1、第2、第3及第4卸載緩衝部；具備有複數個使用者托盤的卸載部；及將已安抵於前述卸載部之第1、第2、第3及第4卸載緩衝部的電子零件依等級別作分類，使其安抵於前述使用者托盤，可朝X-Y方向移動的卸載取出單元，前述卸載分類部係由第1卸載分類部與第2卸載分類部所構成，在第1卸載分類部將試驗托盤的第1作業區域的電子零件作分類，在第2卸載分類部將前述試驗托盤的第2作業區域的電子零件作分類。

本發明之試驗處理機係具有：由試驗完畢的試驗托盤將電子零件由複數卸載分類單元區分作業區域來進行作業，並且因前述分類單元的重量減少，不會對裝備造成勉強而可穩定且迅速地處理作業的優點。

此外，導入可將試驗完畢的電子零件由試驗托盤在短時間內裝載全量的複數卸載緩衝部，可縮短作業時間。

而且，前述複數卸載緩衝部可彼此交替移動而可防止干擾試驗托盤移動，此外，可同時進行卸載作業與卸載分類作業，可使作業時間縮短與效率性增大。

此外，亦包含有藉由在卸載分類作業預先依良否等級分類別卸載於卸載緩衝部，即使藉由一個卸載取出單元，亦可輕易進行卸載於使用者托盤的作業的優點。

本發明之試驗處理機係具有：由試驗完畢的試驗托盤將電子零件由複數卸載分類單元區分作業區域來進行作業，並且因前述分類單元的重量減少，不會對裝備造成勉強而可穩定且迅速地處理作業的優點。

此外，導入可將試驗完畢的電子零件由試驗托盤在短時間內裝載全量的複數卸載緩衝部，可縮短作業時間。

此外，在試驗托盤的移送路徑之內設置多數個卸載分類部而可同時進行卸載作業與卸載分類作業，可使作業時間縮短與效率性增大。

用以實施發明之具體內容

參照所附圖示，說明本發明之試驗處理機的實施例如下所示。

第1圖係本發明之處理機的斜視圖，第2圖係第1圖所示之處理機的分解斜視圖，第3圖係概略顯示第2圖所示之處理機的俯視圖。

如第1圖至第3圖所示，本發明之試驗處理機(1000)係由裝載部(100)、裝載分類部(200)、試驗部(300)、卸載分類部(400)及卸載部(500)所構成。前述裝載部(100)係由複數個堆疊機(2)、複數個顧客托盤(10)、設置在前述顧客托盤(10)之後方的固定裝載緩衝部(120)及移動裝載緩衝部(130)所構成。此外，在前述堆疊機(2)、顧客托盤(10)、及固定及移動裝載緩衝部(120、130)的上部分別設置有裝載取出單元(110)。

接著，在裝載分類部(200)設置有試驗托盤(20)與裝載分類單元(210)。在卸載分類部(400)設置有複數個卸載分類單元(410、420)、複數個卸載緩衝部(430、440)及裝載有試驗完畢之電子零件的試驗托盤(20)。卸載部(500)係設置有複數個堆疊機(5)、複數個使用者托盤(50)及卸載取出單元(510)。

本發明之試驗處理機(1)係在其前方部的一側設置裝載部(100)。分別在前述裝載部(100)設置複數個堆疊機(2)，在前述堆疊機(2)的內側設置顧客托盤(10)。在前述顧客托盤(10)的上部側設置可朝X-Y方向移動的裝載取出單元(110)。前述裝載取出單元(110)係在一般使用的X-Y機器人設置複數個取出器(未圖示)而以可一次取放(pick and place)複數個電子零件的方式所構成。

在前述顧客托盤(10)的後方係設置有用以暫時(或臨時)儲存預定的電子零件的固定裝載緩衝部(120)。接著，與前述固定裝載緩衝部(120)隔著一定間隔設置移動裝載緩衝部(130)。由前述顧客托盤(10)接收到所試驗之電子零件的前述移動裝載緩衝部(130)係一面在前述裝載部(100)與前述裝載分類部(200)之間移動，一面將電子零件傳達至前述試驗托盤(20)，在其間，前述裝載取出單元(110)係由前述顧客托盤(10)取出所試驗的電子零件且放入前述固定裝載緩衝部(120)。將電子零件傳達至前述試驗托盤(20)而恢復到原本位置的前述移動裝載緩衝部(130)係由前述顧客托盤(10)與前述固定裝載緩衝部(120)而被傳達電子零件。前述移動裝載緩衝部(130)係再次移動至裝載分類部(200)而將電子零件傳達至試驗托盤(20)。

前述作業反覆進行後，若電子零件完成安抵於前述試驗托盤(20)時，藉由推動器(未圖示)使前述試驗托盤(20)流入至試驗部(300)。

進行使已安抵至已流入前述試驗部(300)之前述試驗托盤(20)的電子零件露出在高溫或低溫的環境的熱衝擊試驗與預定的電性試驗。若試驗結束，即將試驗結果資料傳達至控制部(未圖示)且予以儲存，使收納有電子零件的試驗托盤(20)在常溫下露出，且在經過預定時間之後排出。由前述試驗部(300)所排出的試驗托盤(20)係位於卸載分類部(400)。

藉由第1及第2卸載分類單元(410、420)，由位於前述卸載分類部(400)之一側的試驗托盤(20)，使電子零件根據試驗結果資料予以分類(sorting)且安抵至位於另一側的第1及第2卸載緩衝部(430、440)。

前述第1及第2卸載緩衝部(430、440)係藉由卸載取出單元(510)而將電子零件卸載在使用者托盤(50)，為了再次將分類完畢的電子零件由前述試驗托盤(20)接受傳達而在三個移動區域交替移動。

前述處理機之卸載緩衝部的移動區域如第4圖所示，前述第1及第2卸載緩衝部(430、440)的三個移動區域係由卸載分類區域(ULSA：Un-Loading Sorting Area)、卸載待機區域(ULWA：Un-Loading Waiting Area)及卸載取出區域(ULPA：Un-Loading Picking Area)所構成。

前述卸載分類區域(ULSA)係由試驗托盤(20)藉由第1及第2卸載分類單元(410、420)來卸載試驗完畢的電子零件的前述第1及第2卸載緩衝部(430、440)所在位置的區域，以第1卸載分類區域(ULSA-1)與第2卸載分類區域(ULSA-2)加以區分。

在初期卸載分類作業時，在前述第1卸載分類區域(ULSA-1)係位有前述第1卸載緩衝部(430)，在前述第2卸載分類區域(ULSA-2)係位有第2卸載緩衝部(440)。亦可在持續卸載分類作業的過程中改變前述第1及第2卸載緩衝部(430、440)的位置。

前述卸載待機區域(ULWA)係前述第1及第2卸載緩衝部(430、440)中的一個移動至卸載部(500)之前正在待機的位置，前述卸載取出區域(ULPA)係位於前述卸載部(500)的一側，包含在將被裝載在前述第1及第2卸載緩衝部(430、440)的電子零件卸載在使用者托盤(50)的卸載取出單元(510)的作業區域。

接著，前述第1及第2卸載緩衝部(430、440)移動至前述卸載取出區域(ULPA)與前述卸載待機區域(ULWA)，並且電子零件耗盡後的空試驗托盤(20)係由卸載分類部(400)移動至裝載分類部(200)。

藉由前述卸載取出單元(510)，將位於前述卸載取出區域(ULPA)的第1卸載緩衝部(430)或第2卸載緩衝部(440)所裝載之已經依等級別加以分類的電子零件，依等級別卸載在使用者托盤(50)。

前述第1及第2卸載緩衝部(430、440)的移動方法係為了防止彼此衝撞，藉由卸載分類作業與卸載作業的進行狀況，通過以前述第1及第2卸載緩衝部(430、440)可越過將前述卸載分類區域(ULSA)、卸載待機區域(ULWA)及卸載取出區域(ULPA)加以連結的直線移動路徑及前述直線移動路徑的下部的方式所設置的下部移動路徑而交替移動。

以下參照所附圖示，詳細說明本發明之試驗處理機的作業過程。

本發明之試驗處理機之作業過程的全體流程如第5圖所示，在STEP1中係使裝載有進行試驗的電子零件的顧客托盤(10)位於裝載部(100)，在STEP2中係藉由可由前述顧客托盤(10)朝X-Y方向移動的裝載取出單元(110)，將電子零件依序供給至移動裝載緩衝部(130)與固定裝載緩衝部(120)。

前述STEP2依序進行：由前述顧客托盤(10)將電子零件供給至移動裝載緩衝部(130)的步驟、及在前述移動裝載緩衝部(130)結束供給電子零件之後，對前述固定裝載緩衝部(120)供給電子零件的步驟。

在STEP3中，已結束裝載所試驗之電子零件的前述移動裝載緩衝部(130)係朝Y方向移動至裝載分類部(200)，在STEP4中，將位於前述裝載分類部(200)的前述移動裝載緩衝部(130)的電子零件由裝載分類單元(210)供給至試驗托盤(20)。

在STEP5中，判斷是否已結束在前述試驗托盤(20)供給電子零件，若供給未結束時，前述移動裝載緩衝部(130)係在前述裝載分類部(200)在空的狀態下恢復在前述裝載部(100)的原本位置，由前述固定裝載緩衝部(120)與顧客托盤(10)依序供給電子零件。

接著，反覆進行前述STEP3、STEP4及STEP5至在前述試驗托盤(20)結束供給電子零件為止。

若供給結束，在下一階段的STEP6中，使已耗盡電子零件的前述移動裝載緩衝部(130)回到前述裝載部(100)的原本位置，將已結束供給的試驗托盤(20)流入至試驗部(300)。

在STEP7中，將已流入至前述試驗部(300)的前述試驗托盤(20)的電子零件進行試驗。

在STEP8中，將已結束前述試驗的試驗托盤(20)由前述試驗部(300)排出而使其位於卸載分類部(400)。

在STEP9中，前述第1及第2卸載分類單元(410、420)由已結束試驗且予以排出的前述試驗托盤(20)取出試驗完畢的電子零件的一半，且移動至有前述第1及第2卸載緩衝部(430、440)的位置。之後，前述電子零件中依等級別由前述第1及第2卸載緩衝部(430、440)的最右側裝載良品，由前述第1及第2卸載緩衝部(430、440)的最左側裝載不良品。將前述第1及第2卸載分類單元(410、420)所取出的電子零件全部供給至前述第1及第2卸載緩衝部(430、440)，為了取出剩餘的一半，而移動至有前述試驗托盤的位置。

前述過程係反覆進行至在前述第1及第2卸載緩衝部(430、440)結束供給電子零件為止。

使在STEP10中已結束電子零件之裝載的前述第1及第2卸載緩衝部(430、440)朝Y方向交替移動至卸載部(500)，藉由卸載取出單元(510)，由前述第1及第2卸載緩衝部(430、440)依等級別將電子零件卸載於複數個使用者托盤(50)。

在前述STEP10進行中，前述第1及第2卸載緩衝部(430、440)移動至卸載取出區域(ULPA)與卸載待機區域(ULWA)，並且已耗盡電子零件的空試驗托盤(20)係由卸載分類部(400)移動至裝載分類部(200)。

前述STEP1至STEP10的一連串過程係自動反覆至被裝載在前述複數個堆疊機(2)的顧客托盤(10)的電子零件耗盡為止。

以下參照所附圖示，詳細說明本發明之試驗處理機之作業過程的實施例與卸載緩衝部之移動路徑的實施例。

在第6a圖至第6d圖中係在試驗處理機的作業過程中以流程圖表示STEP10的實施例，在第7a圖至第7d圖中係顯示本發明之試驗處理機之卸載緩衝部的移動路徑依圖式所示編號順序所進行的各種實施例。

(實施例1)

如第6a圖與第7a圖所示，進行STEP101，在前述第1及第2卸載緩衝部(430、440)同時或在前述第2卸載緩衝部(440)先結束裝載電子零件時，在位於卸載分類區域(ULSA)的前述第1及第2卸載緩衝部之中，使第1卸載分類區域(ULSA-1)的第1卸載緩衝部(430)移動至卸載待機區域(ULWA)，使第2卸載分類區域(ULSA-2)的第2卸載緩衝部(440)移動至前述卸載部(500)的卸載取出區域(ULPA)。前述STEP101係在第7a圖中表示箭號過程。

進行STEP102，由位於前述卸載取出區域(ULPA)的前述第2卸載緩衝部(440)，藉由前述卸載取出單元(510)將電子零件依等級別卸載在複數個使用者托盤(50)。

進行STEP103，使位於前述卸載取出區域(ULPA)之已結束卸載作業的前述第2卸載緩衝部(440)移動至前述卸載分類區域(ULSA)的第1卸載分類區域(ULSA-1)，並且使位於前述卸載待機區域(ULWA)的前述第1卸載緩衝部(430)移動至前述卸載取出區域(ULPA)。前述STEP103係在第7a圖中表示箭號過程。

進行STEP104，由位於前述卸載取出區域(ULPA)的前述第1卸載緩衝部(430)，藉由前述卸載取出單元(510)將電子零件依等級別卸載在複數個使用者托盤(50)。

進行STEP105，使已結束卸載作業的前述第1卸載緩衝部(430)移動至前述卸載分類區域(ULSA)的第2卸載分類區域(ULSA-2)。前述STEP105係在第7a圖中表示箭號過程。

(實施例2)

如第6b圖與第7b圖所示，進行STEP201，在前述第1及第2卸載緩衝部(430、440)同時或在第2卸載緩衝部(440)先結束電子零件的裝載時，使前述第1卸載緩衝部(430)在第1卸載分類區域(ULSA-1)待機至裝載電子零件為止，且使第2卸載分類區域(ULSA-2)的第2卸載緩衝部(440)移動至前述卸載部(500)的卸載取出區域(ULPA)。前述STEP201係在第7b圖中表示箭號過程。

進行STEP202，由位於前述卸載取出區域(ULPA)的前述第2卸載緩衝部(440)藉由前述卸載取出單元(510)將電子零件依等級別卸載在複數個使用者托盤(50)。

進行STEP203，使位於前述卸載取出區域(ULPA)之已結束卸載作業的前述第2卸載緩衝部(440)移動至卸載待機區域(ULWA)，且使位於前述第1卸載分類區域(ULSA-1)的前述第1卸載緩衝部(430)移動至前述卸載取出區域(ULPA)。前述STEP203在第7b圖中表示箭號過程。

進行STEP204，由位於前述卸載取出區域(ULPA)的前述第1卸載緩衝部(430)，藉由前述卸載取出單元(510)將電子零件依等級別卸載在複數個使用者托盤(50)。

進行STEP205，使已結束卸載作業的前述第1卸載緩衝部(430)移動至前述卸載分類區域(ULSA)的第2卸載分類區域(ULSA-2)，使在卸載待機區域(ULWA)待機的第2卸載緩衝部(440)移動至第1卸載分類區域(ULSA-1)。前述STEP205係在第7b圖中表示箭號過程。前述過程中，第1卸載緩衝部(430)與第2卸載緩衝部(440)的移動順序係可同時或依序進行。

(實施例3)

如第6c圖與第7c圖所示，進行STEP301，在前述第1及第2卸載緩衝部(430、440)中若在前述第1卸載分類區域(ULSA-1)的前述第1卸載緩衝部(430)先結束電子零件的裝載時，使前述第1卸載緩衝部(430)經由卸載待機區域(ULWA)而移動至前述卸載部(500)的前述卸載取出區域(ULPA)。前述STEP301係在第7c圖中表示箭號過程。

進行STEP302，由位於前述卸載取出區域(ULPA)的前述第1卸載緩衝部(430)藉由前述卸載取出單元(510)而將電子零件依等級別卸載在複數個使用者托盤(50)。

進行STEP303，使卸載作業已結束的前述第1卸載緩衝部(430)移動至前述卸載待機區域(ULWA)，並且使前述第2卸載緩衝部(440)移動至前述卸載取出區域(ULPA)。前述STEP303係在第7c圖中表示箭號過程。

進行STEP304，由位於前述卸載取出區域(ULPA)的前述第2卸載緩衝部(440)藉由前述卸載取出單元(510)而將電子零件依等級別卸載在複數個使用者托盤(50)。

進行STEP305，使已結束卸載作業的前述第2卸載緩衝部(440)移動至前述卸載分類區域(ULSA)的第2卸載分類區域(ULSA-2)，使在卸載待機區域(ULWA)待機的第1卸載緩衝部(430)移動至第1卸載分類區域(ULSA-1)。前述STEP305係在第7c圖中表示箭號過程。在前述過程中，第1卸載緩衝部(430)與第2卸載緩衝部(440)的移動順序係可同時或依序進行。

(實施例4)

如第6d圖與第7d圖所示，進行STEP401，前述第1及第2卸載緩衝部(430、440)之中若在前述第1卸載分類區域(ULSA-1)的前述第1卸載緩衝部(430)先結束電子零件的裝載時，則使前述第1卸載緩衝部(430)經由卸載待機區域(ULWA)而移動至前述卸載部(500)的前述卸載取出區域(ULPA)。前述STEP401係在第7d圖中表示箭號過程。

進行STEP402，由位於前述卸載取出區域(ULPA)的前述第1卸載緩衝部(430)藉由前述卸載取出單元(510)將電子零件依等級別卸載在複數個使用者托盤(50)。

進行STEP403，若在前述第1卸載緩衝部(430)結束電子零件的卸載作業時，使前述第1卸載緩衝部(430)移動至前述第1卸載分類區域(ULSA-1)，並且在第2卸載分類區域(ULSA-2)結束電子零件的裝載而使在待機的前述第2卸載緩衝部(440)經由前述卸載待機區域(ULWA)而移動至前述卸載取出區域(ULPA)。前述STEP403係在第7d圖中表示箭號過程。

進行STEP404，由位於前述卸載取出區域(ULPA)的前述第2卸載緩衝部(440)藉由前述卸載取出單元(510)而將電子零件依等級別卸載於複數個使用者托盤(50)。

進行STEP405，使卸載作業已結束的前述第2卸載緩衝部(440)移動至前述卸載分類區域(ULSA)的第2卸載分類區域(ULSA-2)。前述STEP405係在第7d圖中表示箭號過程。

如前所述之前述第1及第2卸載緩衝部(430、440)的移動方法及路徑，係提示出依卸載分類作業與卸載作業的進行狀況，最有效率地在將前述卸載分類區域(ULSA)、卸載待機區域(ULWA)及卸載取出區域(ULPA)加以連結的直線移動路徑、與將前述卸載待機區域(ULWA)與卸載取出區域(ULPA)加以連結的下部移動路徑移動的方法。

以下參照所附圖示，說明本發明之試驗處理機的其他實施例。

第8圖係本發明之處理機的斜視圖，第9圖係第8圖所示之處理機的分解斜視圖，第10圖係概略顯示第9圖所示之處理機的俯視圖。

如第8圖至第10圖所示，本發明之試驗處理機(2000)係由裝載部(100)、裝載分類部(200)、試驗部(300)、卸載分類部(400)及卸載部(500)所構成。前述裝載部(100)、裝載分類部(200)係其構成要素與前述實施例大致相同，因此省略詳細說明，僅針對卸載分類部(400)加以說明。

在前述卸載分類部(400)設置有複數個卸載分類單元(410、420)、複數個卸載緩衝部(430a、440a、430b、440b)，使已裝載試驗完畢之電子零件的試驗托盤(20)位於此。

在本發明之試驗處理機(2000)中，卸載分類部(400)係由第1及第2卸載分類部(401、402)所構成，前述第1卸載分類部(401)係由第1卸載分類單元(410)、第1卸載緩衝部(430a)、及第3卸載緩衝部(430b)所構成，前述第2卸載分類部(402)係由第2卸載分類單元(420)、第2卸載緩衝部(440a)、及第4卸載緩衝部(440b)所構成。

如第10圖所示，前述卸載分類部(400)的第1及第2卸載分類部(401、402)係位於試驗托盤(20)的移送路徑上，前述第2卸載分類部(402)係位於由前述第1卸載分類部(401)在試驗托盤(20)的移送方法(箭號、)隔著預定距離處，在前述第1卸載分類部(401)中係將試驗托盤(20)的第1作業區域(WS1：1st Working Space)的電子零件藉由前述第1卸載分類單元(410)，在前述第2卸載分類部(402)中則是在前述試驗托盤(20)的全體區域中去掉前述第1作業區域(WS1)之後之區域的第2作業區域(WS2：2nd Working Space)的電子零件，藉由前述第2卸載分類單元(420)根據試驗結果資料加以分類(sorting)而使其安抵於前述第1至第4卸載緩衝部(430a、440a、430b、440b)。

前述第1、第2、第3及第4卸載緩衝部(430a、440a、430b、440b)係依序移動至具備有複數使用者托盤(50)及可朝X-Y方向移動的卸載取出單元(510)的卸載部(500)。

將安抵於位於前述卸載部(500)之前述第1、第2、第3及第4卸載緩衝部(430a、440a、430b、440b)的電子零件依等級別作分類，藉由前述卸載取出單元(510)，在前述複數使用者托盤(50)卸載電子零件。

以下，參照所附圖示，詳細說明本發明之試驗處理機的其他實施例的作業過程。

本發明之試驗處理機之作業過程的全體流程如第12a圖及第12b圖所示，在STEP1中，使裝載有所試驗之電子零件的顧客托盤(10)位於裝載部(100)，在STEP2中，藉由可由前述顧客托盤(10)朝X-Y方向移動的裝載取出單元(110)，依序將電子零件供給至移動裝載緩衝部(130)與固定裝載緩衝部(120)。

前述STEP2係依序進行：由前述顧客托盤(10)將電子零件供給至移動裝載緩衝部(130)的步驟、及在前述移動裝載緩衝部(130)結束供給電子零件之後，將電子零件供給至前述固定裝載緩衝部(120)的步驟。

在STEP3中，已結束裝載所試驗之電子零件的前述移動裝載緩衝部(130)係朝Y方向移動至裝載分類部(200)，在STEP4中，係將位於前述裝載分類部(200)的前述移動裝載緩衝部(130)的電子零件由裝載分類單元(210)供給至試驗托盤(20)。

在STEP5中，判斷是否在前述試驗托盤(20)已結束供給電子零件，若供給未結束時，前述移動裝載緩衝部(130)係在前述裝載分類部(200)在空的狀態下回到前述裝載部(100)的原本位置，由前述固定裝載緩衝部(120)與顧客托盤(10)依序供給電子零件。

接著，反覆進行前述STEP3、STEP4及STEP5至在前述試驗托盤(20)結束供給電子零件為止。

若供給結束，使在下一階段的STEP6中已耗盡電子零件的前述移動裝載緩衝部(130)回到前述裝載部(100)的原本位置，將供給已結束的試驗托盤(20)流入至試驗部(300)。

在STEP7中，將已流入至前述試驗部(300)的前述試驗托盤(20)的電子零件進行試驗。

在STEP8中，將前述試驗已結束的試驗托盤(20)由前述試驗部(300)排出而使其位於卸載分類部(400)。

在STEP9中，由位於前述卸載分類部(400)的第1卸載分類部(401)的試驗托盤(20)將電子零件藉由前述第1卸載分類單元(410)供給至第1及第3卸載緩衝部(430a、430b)之後，使前述第1及第3卸載緩衝部(430a、430b)依序移動至卸載部(500)，並且使前述試驗托盤(20)移動至第2卸載分類部(402)，將被裝載在前述試驗托盤(20)之剩餘的電子零件藉由第2卸載分類單元(420)供給至第2及第4卸載緩衝部(440a、440b)之後，使電磁零件已耗盡的前述試驗托盤(20)移動至裝載分類部(200)，使前述第2及第4卸載緩衝部(440a、440b)依序移動至卸載部(500)。

在STEP10中，藉由卸載取出單元(510)，由位於卸載部(500)之一側的前述第1至第4卸載緩衝部(430a、440a、430b、440b)將電子零件依等級別卸載於複數個使用者托盤(50)，使前述第1至第4卸載緩衝部(430a、440a、430b、440b)依序回到卸載分類部(400)。

前述STEP1至STEP10的一連串過程係自動反覆至被載置於前述複數個堆疊機(2)的顧客托盤(10)的電子零件已耗盡，或被填充至複數個堆疊機(5)的使用者托盤(50)為止。

以下參照所附圖示，詳細說明在本發明之試驗處理機之其他實施例之作業過程之中的前述STEP9的過程。

在第11a圖與第11b圖及第13圖中係在試驗處理機之作業過程中顯示STEP9的構成與流程圖。

如第11a圖與第11b圖及第13圖所示，進行STEP90，前述第1卸載分類單元(410)由位於第1卸載分類部(401)之前述試驗托盤(20)的第1作業區域(WS1)取出試驗完畢的電子零件，依序移動至前述第1及第3卸載緩衝部(430a、430b)正在待機的位置。

進行STEP91，前述第1卸載分類單元(410)由前述第1及第3卸載緩衝部(430a、430b)所取出的電子零件之中，將良品裝載於前述第1卸載緩衝部(430a)，將不良品裝載於前述第3卸載緩衝部(430b)。

若裝載結束，進行STEP92，以箭號方向使前述試驗托盤(20)移動至第2卸載分類部(402)，並且使前述第1及第3卸載緩衝部(430a、430b)依序移動至卸載部(500)。

進行STEP93，前述第2卸載分類單元(420)由位於第2卸載分類部(402)之試驗托盤(20)的第2作業區域(WS2)取出試驗完畢的電子零件，依序移動至前述第2及第4卸載緩衝部(440a、440b)正在待機的位置。

進行STEP94，在前述第2卸載分類單元(420)由前述第2及第4卸載緩衝部(440a、440b)所取出的電子零件之中，將良品裝載於前述第2卸載緩衝部(440a)、將不良品裝載於前述第4卸載緩衝部(440b)。

若裝載結束，進行STEP95，以箭號方向使前述試驗托盤(20)移動至裝載分類部(200)，並且使前述第2及第4卸載緩衝部(440a、440b)依序移動至卸載部(500)。

由通過STEP92與STEP95的過程而依序移動至前述卸載部(500)的前述第1至第4卸載緩衝部(430a、440a、430b、440b)藉由前述卸載取出單元(510)將電子零件依等級別卸載於複數個使用者托盤(50)，使電子零件已耗盡的前述第1至第4卸載緩衝部(430a、440a、430b、440b)依卸載已結束的順序回到卸載分類部(400)。

如第14圖所示，本發明之試驗處理機(3000)係由以下所構成：使所試驗的半導體元件(電子零件)位於其中，且具備有複數個堆疊機(2：第1圖参照)的裝載部(100)；將試驗完畢的半導體元件依等級別作分類，且具備有複數個堆疊機(5：參照第1圖)的卸載部(900)；用以將所被流入的T-tray(T-托盤：270)的半導體元件進行試驗之由均熱腔室(610)、試驗腔室(620)及非均熱腔室(630)所構成的試驗部(600)；及設置於前述裝載部(100)與卸載部(900)及試驗部(600)之間的晶舟系統(1500)。

在前述裝載部(100)的後方係被供給顧客托盤(10)的半導體元件而形成用以暫時儲存的緩衝部(230)。接著，在前述緩衝部(230)的一側係設置有至少一個以上的預分級機(250)，前述預分級機(250)係設置成可左右移動。在此如第14圖所示，顯示應用複數個預分級機(250)的情形。

前述預分級機(250)亦可依使用者的要求而設置朝單一方向移動者，亦可設置朝雙向移動者。但是，一般而言，預分級機(250)若在費用及空間活用的方面來看，大多使用朝單一方向移動者。

在前述預分級機(250)的後方設置有用以使半導體元件安抵的T-tray(T-托盤)(270)。接著，在前述T-托盤(270)的後方設置有轉子(未圖示)，藉由前述轉子來切換方向的T-托盤(270)流入至試驗部(600)的均熱腔室(610)。已流入至均熱腔室(610)的T-托盤(270)係為了進行試驗而移動至試驗腔室(620)，若試驗結束，即再次由試驗腔室(620)移動至非均熱腔室(630)。

接著，由非均熱腔室(630)所流出的T-托盤(270)係藉由未圖示的轉子而再次切換方向之後，由所被排出的T-托盤(270)移動至具備有用以分類半導體元件的複數個分類台(460、470)的卸載分類部(400)。

如第15圖及第16圖所示，前述晶舟系統(1500)係由以下所構成：設置在卸載分類部(400)之一側的至少一個以上的支持部(700)；設置在支持部(700)的上部且設置有複數個感測器(720)的感測器安抵構件(730)；設置在感測器安抵構件(730)的上部，且形成有隔著間隔形成在傾斜面(740)的複數個空氣鼓風孔(742)的導引構件(750)；與感測器安抵構件(730)隔著間隔設置，且以可在其一側設置複數個感測器(820)的方式所設置的感測器基底構件(800)；及用以覆蓋設置在感測器基底構件之感測器(820)的覆蓋部(850)。

在此，前述支持部(700)係適用設置有複數個者，前述支持部(700)係在其一側設置至少一個以上的集塵裝置(710)。前述集塵裝置(710)亦可適用可吸引空氣中的塵埃或異物之具有抽吸功能的集塵裝置，但是亦可視使用者的要求而使用光觸媒等的集塵裝置。

感測器安抵構件(730)係設置有用以整列設置被設置在其一側的感測器(720)等的整列構件(724)。前述整列構件(724)係以複數個以“U”字狀沿設的方式所構成，在其間分別設置有二個感測器(720)。在此，前述感測器(720)係主要用以感測試驗托盤(20)之移動的感測器。

在前述感測器安抵構件(730)的上部設置導引構件(750)。前述導引構件(750)係兩側面呈梯形狀，且在其一側形成有傾斜面(740)。在前述傾斜面(740)隔著預定間隔設置有複數個空氣鼓風孔(742)。接著，在前述導引構件(750)的上部面隔著預定間隔形成有導引構件固定孔洞(756)，在前述導引構件固定孔洞(756)係插入固結手段(未圖示)而被固定在整列構件(724)。此外，前述導引構件(750)係在其後面設置有用以供給空氣的至少一個以上的空氣接頭(air fitting)部(752)。在此係對各個導引構件(750)適用複數個空氣接頭部(752)，但是依情形，亦可設置一個。接著，前述導引構件(750)係在其側面設置用以調節空氣壓力的空氣壓調節構件(770)。前述空氣壓調節構件(770)雖未圖示，但在其側面形成貫穿孔而藉由螺絲移動將微量空氣釋放至外部，藉此可調節空氣壓。亦即，構成為可將空氣壓的調節範圍由完全堵塞的狀態藉由螺絲的間距進給來調整空氣壓。

與前述感測器安抵構件(730)隔著間隔設置感測器基底構件(800)。

如第17圖所示，前述感測器基底構件(800)係在其一側隔著預定間隔設置有複數個感測器(820)。接著，前述感測器(820)係藉由覆蓋部(850)予以覆蓋而設置在感測器基底構件(800)。

以下針對如前所述所構成之本發明之試驗處理機的動作關係加以說明。

由試驗部(600)試驗完畢的T-tray(T-托盤)(270)係藉由未圖示的轉子而使方向切換後，移動至試驗處理機的晶舟系統。前述轉子亦會有使用者因試驗部(600)的構成而不適用的情形。

T-tray(T-托盤)(270)的試驗檢查結束後，在被取出後，當在朝水平移動的區域(亦即處理機的晶舟系統)，使用空氣供給裝置(未圖示)將空氣供給至設置在導引構件(750)後面的空氣接頭部(752)時，會通過空氣鼓風孔(742)而使空氣噴出。

由前述空氣鼓風孔(742)所噴出的空氣係一次性噴吹在設置於感測器安抵構件(730)上的複數個感測器(720)來去除塵埃或異物等，再次藉由空氣的循環作用(與對流作用類似)而連附著在設置於感測器基底構件(800)下部的感測器(820)的塵埃或異物等亦予以二次性去除。設置在前述感測器安抵構件(730)上的複數個感測器(720)若對空氣接頭部(752)供給空氣，使空氣鼓風孔(742)排出塵埃或異物等至其內部，在此所發生的塵埃或異物等係一面落在裝備的下部側，一面藉由集塵裝置(710)予以回收/去除。接著，若由空氣鼓風孔(742)所噴出的空氣較強時，係藉由循環作用而連附著在被設置於感測器基底構件(800)下部的感測器(820)的塵埃或異物等亦掉落而予以去除。同樣地，前述塵埃或異物等係均藉由集塵裝置(710)予以回收/去除。

而且，由前述空氣鼓風孔(742)所噴出的空氣係可使用被設置在導引構件側面的空氣壓調節構件(770)而由使用者適當調節其壓力。亦即，若空氣過強時，會有塵埃或異物等一面循環一面附著在半導體元件的問題點，若過弱時，則會有未去除附著在感測器(820)的塵埃的問題點，因此以維持適當壓力為宜。

由前述空氣鼓風孔(742)所噴出的空氣係附著在感測器(720)的塵埃或異物當然一面噴射在設置於其上部的感測器(820)側，一面使附著在感測器(820)的塵埃或異物等由感測器(820)脫離而掉落。如上所示所脫離的塵埃或異物等係藉由設置在支持部(700)之一側的集塵裝置(710)予以回收或去除。

在此，前述集塵裝置(710)係適用一個，但是亦可依場合而設置複數個。前述集塵裝置(710)若適用可吸引空氣中的塵埃或異物的集塵裝置(710)時，則容易吸引在空氣中浮游的塵埃或異物等，而可在更為清淨的狀態下維持試驗處理機。接著，前述集塵裝置(710)亦可適用依使用者的要求而使用光觸媒的集塵裝置。

如上所示，使用通過形成在導引構件(750)之傾斜面(740)的空氣鼓風孔(742)而排出的空氣，可去除附著在感測器(720、820)的塵埃或異物等。

產業之可利用性

本發明之試驗處理機係可適用於可將電子零件以電性迅速進行試驗的試驗處理機領域或用以有效率地移送物品的移動裝置領域。

2．．．堆疊機

5．．．堆疊機

10．．．顧客托盤

20．．．試驗托盤

50．．．使用者托盤

100．．．裝載部

110．．．裝載取出單元

120．．．固定裝載緩衝部

130．．．移動裝載緩衝部

200．．．裝載分類部

210．．．裝載分類單元

230．．．緩衝部

250．．．預分級機

270．．．T-托盤

300、600．．．試驗部

400．．．卸載分類部

401．．．第1卸載分類部

402．．．第2卸載分類部

410、420．．．卸載分類單元

430、440、430a、440a、430b、440b．．．卸載緩衝部

460、470．．．分類台

500、900．．．卸載部

510．．．卸載取出單元

600．．．試驗部

610．．．均熱腔室

620．．．試驗腔室

630．．．非均熱腔室

700．．．支持部

710．．．集塵裝置

720、820．．．感測器

724．．．整列構件

730．．．感測器安抵構件

740．．．傾斜面

750．．．導引構件

752．．．空氣接頭部

756．．．導引構件固定孔洞

770．．．空氣壓調節構件

800．．．感測器基底構件

850．．．覆蓋部

1000、2000．．．試驗處理機

1500．．．晶舟系統

STEP1-10．．．步驟1-10

STEP90-95．．．步驟90-95

STEP101-105．．．步驟101-105

STEP201-205．．．步驟201-205

STEP301-305．．．步驟401-405

ULPA．．．卸載取出區域

ULSA．．．卸載分類區域

ULSA-1．．．第1卸載分類區域

ULSA-2．．．第2卸載分類區域

ULWA．．．卸載待機區域

WS1．．．第1作業區域

WS2．．．第2作業區域

第1圖係本發明之一實施例之處理機的斜視圖。

第2圖係第1圖所示之處理機之分解斜視圖。

第3圖係概略顯示第2圖所示之處理機的俯視圖。

第4圖係顯示本發明之處理機之卸載緩衝部之移動區域的圖示。

第5圖係顯示本發明之處理機之全體作業過程的流程圖。

第6a圖至第6d圖係顯示本發明之處理機之作業過程之實施例的流程圖。

第7a圖係至第7d圖係顯示本發明之處理機之卸載緩衝部之移動路徑之實施例的圖示。

第8圖係本發明之其他實施例之處理機的斜視圖。

第9圖係第8圖所示之處理機的分解斜視圖。

第10圖係概略顯示第9圖所示之處理機的俯視圖。

第11a圖及第11b圖係顯示本發明之處理機之卸載分類部之構造的概略圖。

第12a圖及第12b圖係顯示本發明之其他實施例之處理機全體作業過程的流程圖。

第13圖係用以詳細說明第12b圖所示之STEP9的流程圖。

第14圖係用以說明本發明之試驗處理機系統之晶舟系統所適用之試驗處理機之佈設的俯視圖。

第15圖係用以說明本發明之主要部位之試驗處理機之晶舟系統的斜視園。

第16圖係第15圖之主要部位之晶舟系統的組裝斜視圖。

第17圖係第16圖所示之晶舟系統的分解斜視圖。

10．．．顧客托盤

20．．．試驗托盤

50．．．使用者托盤

100．．．裝載部

110．．．裝載取出單元

120．．．固定裝載緩衝部

130．．．移動裝載緩衝部

200．．．裝載分類部

210．．．裝載分類單元

300．．．試驗部

400．．．卸載分類部

410、420．．．卸載分類單元

430、440．．．卸載緩衝部

500．．．卸載部

510．．．卸載取出單元

1000．．．試驗處理機

Claims (21)

1. 一種試驗處理機，其特徵在於包含：裝載部，係具備有已裝載所試驗電子零件的複數個堆疊機者；裝載取出單元，係設置在前述裝載部的一側，可朝X-Y方向移動者；固定裝載緩衝部，係用以由前述裝載部的堆疊機，藉由前述裝載取出單元暫時儲存所試驗的電子零件者；移動裝載緩衝部，係設置在前述固定裝載緩衝部的一側，藉由前述裝載取出單元而使所試驗的電子零件安抵，可朝Y方向移動者；裝載分類部，係設置有由前述移動裝載緩衝部接收所試驗的電子零件而安抵的試驗托盤者；裝載分類單元，係設置在前述裝載分類部，使前述電子零件安抵於前述試驗托盤，可朝X-Y方向移動者；試驗部，係前述試驗托盤由前述裝載分類部流入，而對前述電子零件進行試驗者；卸載分類部，係用以由試驗結束而被排出的試驗托盤對電子零件進行分類者；第1及第2卸載分類單元，係設置在前述卸載分類部，可朝X方向移動者；第1及第2卸載緩衝部，係藉由前述第1及第2卸載分類單元而使試驗完畢的電子零件安抵，可朝Y方向移動者；卸載部，係具備有可裝載由前述第1及第2卸載緩衝部所被分類的電子零件的複數個使用者托盤者；及卸載取出單元，係設置在前述卸載部，將已安抵於前述卸載分類部之第1及第2卸載緩衝部的電子零件依等級別作分類，使其安抵於前述使用者托盤，可朝X-Y方向移動者，前述第1及第2卸載分類單元係構成為：以分別將相當於前述試驗托盤之一半的電子零件予以分類的方式區分相互作業區域而進行作業，且在前述第1及第2卸載緩衝部與裝設有試驗完畢之電子零件的試驗托盤之間進行移動。
2. 如申請專利範圍第1項之試驗處理機，其中，前述第1及第2卸載緩衝部係彼此鄰接設置，在移動至卸載部時可彼此交替移動。
3. 一種試驗處理機之零件移送方法，其特徵在於包含以下步驟：使裝載有所試驗之電子零件的顧客托盤位於裝載部；由前述顧客托盤藉由可朝X-Y方向移動的裝載取出單元，依序將電子零件供給至移動裝載緩衝部與固定裝載緩衝部；已結束供給電子零件的前述移動裝載緩衝部係朝Y方向被移動至裝載分類部；裝載分類單元將位於前述裝載分類部的前述移動裝載緩衝部所裝載的電子零件供給至試驗托盤；判斷是否已結束在前述試驗托盤供給電子零件；使電子零件已耗盡的前述移動裝載緩衝部回到前述裝載部的原本位置，使已結束供給的試驗托盤流入至試驗部：對已流入試驗部的前述試驗托盤的電子零件進行試驗；使前述試驗完畢的試驗托盤由試驗部排出而位於卸載分類部；第1及第2卸載分類單元由試驗結束且被排出的前述試驗托盤將電子零件供給至第1及第2卸載緩衝部；及使已結束供給電子零件的第1及第2卸載緩衝部朝Y方向交替移動而位於卸載部之一側，藉由卸載取出單元，由前述第1及第2卸載緩衝部將電子零件依等級別卸載於複數個使用者托盤。
4. 如申請專利範圍第3項之試驗處理機之零件移送方法，其中，前述使用裝載取出單元而依序將電子零件供給至移動裝載緩衝部與固定裝載緩衝部的步驟係依序進行下列步驟：由前述顧客托盤將電子零件供給至移動裝載緩衝部；及在前述移動裝載緩衝部結束供給電子零件之後，對前述固定裝載緩衝部供給電子零件，且更包含步驟：由前述顧客托盤與前述固定裝載緩衝部將電子零件供給至在前述裝載分類部為空的狀態下回到前述裝載部之原本位置的前述移動裝載緩衝部。
5. 如申請專利範圍第3項之試驗處理機之零件移送方法，其中，前述第1及第2卸載分類單元由試驗結束且由試驗部被排出的試驗托盤將電子零件供給至第1及第2卸載緩衝部的步驟包含以下步驟：前述第1及第2卸載分類單元由前述試驗托盤取出試驗完畢的電子零件，且移動至前述卸載緩衝部所待機的位置；將前述第1及第2卸載分類單元所取出的電子零件中的良品，由前述第1及第2卸載緩衝部的最右側裝載；前述第1及第2卸載分類單元結束良品之電子零件的裝載之後，由前述第1及第2卸載緩衝部的最左側裝載不良品；及第1及第2卸載分類單元回到前述卸載分類部之原本位置。
6. 如申請專利範圍第3項之試驗處理機之零件移送方法，其中，前述第1及第2卸載分類單元由試驗結束且由試驗部被排出的試驗托盤將電子零件供給至第1及第2卸載緩衝部的步驟包含以下步驟：前述第1及第2卸載分類單元由前述試驗托盤取出試驗完畢的電子零件，且移動至有前述第1及第2卸載緩衝部的位置；將前述第1及第2卸載分類單元所取出的電子零件中的不良品，由第1及第2卸載緩衝部的最左側裝載；前述第1及第2卸載分類單元結束裝載不良品的電子零件之後，由前述第1及第2卸載緩衝部的最右側裝載良品；及第1及第2卸載分類單元回到前述卸載分類部之原本位置。
7. 如申請專利範圍第3項之試驗處理機之零件移送方法，其中，使已結束供給電子零件的第1及第2卸載緩衝部朝Y方向交替移動而位於卸載部之一側，藉由卸載取出單元，由前述第1及第2卸載緩衝部將電子零件依等級別卸載於複數個使用者托盤的步驟包含以下步驟：使位於卸載分類區域的第1卸載分類區域的第1卸載緩衝部移動至卸載待機區域，且使第2卸載分類區域的第2卸載緩衝部移動至前述卸載部的卸載取出區域；由前述第2卸載緩衝部藉由前述卸載取出單元將電子零件依等級別卸載於複數個使用者托盤；使前述第2卸載緩衝部移動至前述卸載分類區域的第1卸載分類區域，並且使位於前述卸載待機區域的前述第1卸載緩衝部移動至前述卸載取出區域；由前述第1卸載緩衝部藉由前述卸載取出單元將電子零件依等級別卸載於複數個使用者托盤；及使前述第1卸載緩衝部移動至前述卸載分類區域的第2卸載分類區域。
8. 如申請專利範圍第3項之試驗處理機之零件移送方法，其中，使已結束供給電子零件的第1及第2卸載緩衝部朝Y方向交替移動而位於卸載部之一側，藉由卸載取出單元，由前述第1及第2卸載緩衝部將電子零件依等級別卸載於複數個使用者托盤的步驟包含以下步驟：使第2卸載分類區域的第2卸載緩衝部移動至前述卸載部的卸載取出區域；由前述第2卸載緩衝部藉由前述卸載取出單元將電子零件依等級別卸載於複數個使用者托盤；使前述第2卸載緩衝部移動至卸載待機區域，且使位於前述第1卸載分類區域的前述第1卸載緩衝部移動至前述卸載取出區域；由前述第1卸載緩衝部藉由前述卸載取出單元將電子零件依等級別卸載於複數個使用者托盤；及使前述第1卸載緩衝部移動至前述卸載分類區域的第2卸載分類區域，且使在前述卸載待機區域待機的前述第2卸載緩衝部移動至第1卸載分類區域。
9. 如申請專利範圍第3項之試驗處理機之零件移送方法，其中，使已結束供給電子零件的第1及第2卸載緩衝部朝Y方向交替移動而位於卸載部之一側，藉由卸載取出單元，由前述第1及第2卸載緩衝部將電子零件依等級別卸載於複數個使用者托盤的步驟包含以下步驟：使前述第1卸載緩衝部經由卸載待機區域而移動至前述卸載部的前述卸載取出區域；由前述第1卸載緩衝部藉由前述卸載取出單元將電子零件依等級別卸載於複數個使用者托盤；使前述第1卸載緩衝部移動至前述卸載待機區域，並且使前述第2卸載緩衝部移動至前述卸載取出區域；由前述第2卸載緩衝部藉由前述卸載取出單元將電子零件依等級別卸載於複數個使用者托盤；及使前述第2卸載緩衝部移動至前述第2卸載分類區域，使在前述卸載待機區域待機的前述第1卸載緩衝部移動至前述第1卸載分類區域。
10. 如申請專利範圍第3項之試驗處理機之零件移送方法，其中，使已結束供給電子零件的第1及第2卸載緩衝部朝Y方向交替移動而位於卸載部之一側，藉由卸載取出單元，由前述第1及第2卸載緩衝部將電子零件依等級別卸載於複數個使用者托盤的步驟包含以下步驟：使前述第1卸載緩衝部經由卸載待機區域而移動至前述卸載部的前述卸載取出區域；由前述第1卸載緩衝部藉由前述卸載取出單元將電子零件依等級別卸載於複數個使用者托盤；使前述第1卸載緩衝部移動至前述第1卸載分類區域，並且使位於第2卸載分類區域的前述第2卸載緩衝部經由前述卸載待機區域而移動至前述卸載取出區域；由前述第2卸載緩衝部藉由前述卸載取出單元將電子零件依等級別卸載於複數個使用者托盤；及使前述第2卸載緩衝部移動至前述第2卸載分類區域。
11. 一種試驗處理機，其特徵在於包含：裝載部，係具備有已裝載所試驗電子零件的複數個堆疊機者；裝載取出單元，係設置在前述裝載部的一側，可朝X-Y方向移動者；固定裝載緩衝部，係用以由前述裝載部的堆疊機，藉由前述裝載取出單元暫時儲存所試驗的電子零件者；移動裝載緩衝部，係設置在前述固定裝載緩衝部的一側，藉由前述裝載取出單元而使所試驗的電子零件安抵，可朝Y方向移動者；裝載分類部，係設置有由前述移動裝載緩衝部接收所試驗的電子零件而安抵的試驗托盤者；裝載分類單元，係設置在前述裝載分類部，使前述電子零件安抵於前述試驗托盤，可朝X-Y方向移動者；試驗部，係前述試驗托盤由前述裝載分類部流入，而對前述電子零件進行試驗者；卸載分類部，係用以由試驗結束而在前述試驗部被排出的試驗托盤對電子零件進行分類者；第1及第2卸載分類單元，係設置在前述卸載分類部，可朝X-Y方向移動者；第1、第2、第3及第4卸載緩衝部，係藉由前述第1及第2卸載分類單元而使試驗完畢的電子零件安抵，可朝Y方向移動者；卸載部，係具備有可裝載由前述第1、第2、第3及第4卸載緩衝部所被分類的電子零件的複數個使用者托盤者；及卸載取出單元，係設置在前述卸載部，將已安抵於前述卸載分類部之第1、第2、第3及第4卸載緩衝部的電子零件依等級別作分類，使其安抵於前述使用者托盤，可朝X-Y方向移動者，前述卸載分類部係由第1卸載分類部與第2卸載分類部所構成，在前述第1卸載分類部將試驗托盤的第1作業區域的電子零件作分類，在前述第2卸載分類部將前述試驗托盤的第2作業區域的電子零件作分類。
12. 如申請專利範圍第11項之試驗處理機，其中，前述試驗托盤的第2作業區域係在前述試驗托盤的全體區域去掉前述第1作業區域所剩下的區域。
13. 如申請專利範圍第11項之試驗處理機，其中，前述卸載分類部係由第1及第2卸載分類部所構成，前述第1卸載分類部係以第1卸載分類單元、第1卸載緩衝部、及第3卸載緩衝部所構成，前述第2卸載分類部係以第2卸載分類單元、第2卸載緩衝部、及第4卸載緩衝部所構成。
14. 如申請專利範圍第11項或第13項之試驗處理機，其中，前述卸載分類部的第1及第2卸載分類部係位於試驗托盤的移送路徑上，前述第2卸載分類部係位於由前述第1卸載分類部朝試驗托盤的移送方向隔著預定距離處。
15. 如申請專利範圍第13項之試驗處理機，其中，前述第1及第2卸載緩衝部係位於裝載有電子零件的試驗托盤與卸載部之間，前述第3及第4卸載緩衝部係位於前述試驗托盤之左、右側的任一側而往返移動前述卸載分類部與前述卸載部之間。
16. 一種試驗處理機之零件移送方法，其特徵在於包含以下步驟：使裝載有所試驗之電子零件的顧客托盤位於裝載部；由前述顧客托盤藉由可朝X-Y方向移動的裝載取出單元，將電子零件依序供給至移動裝載緩衝部與固定裝載緩衝部；已結束供給電子零件的前述移動裝載緩衝部係朝Y方向被移動至裝載分類部；裝載分類單元將位於前述裝載分類部的前述移動裝載緩衝部所裝載的電子零件供給至試驗托盤；判斷是否已結束在前述試驗托盤供給電子零件；使電子零件已耗盡的前述移動裝載緩衝部回到前述裝載部的原本位置，使已結束供給的試驗托盤流入至試驗部；對已流入試驗部的前述試驗托盤的電子零件進行試驗；使前述試驗完畢的試驗托盤由試驗部排出而位於卸載分類部；由位於前述卸載分類部的第1卸載分類部的試驗托盤將電子零件藉由前述第1卸載分類單元供給至第1及第3卸載緩衝部之後，使前述第1及第3卸載緩衝部依序移動至卸載部，並且使前述試驗托盤移動至第2卸載分類部，將已裝載於前述試驗托盤的剩餘電子零件藉由第2卸載分類單元供給至第2及第4卸載緩衝部之後，使電磁零件已耗盡的前述試驗托盤移動至裝載分類部，使前述第2及第4卸載緩衝部依序移動至卸載部；及藉由卸載取出單元由位於卸載部之一側的前述第1至第4卸載緩衝部將電子零件依等級別卸載於複數個使用者托盤，使前述第1至第4卸載緩衝部依序回到卸載分類部。
17. 如申請專利範圍第16項之試驗處理機之零件移送方法，其中，由位於前述卸載分類部之第1卸載分類部的試驗托盤將電子零件藉由前述第1卸載分類單元供給至第1及第3卸載緩衝部之後，使前述第1及第3卸載緩衝部依序移動至卸載部，並且使前述試驗托盤移動至第2卸載分類部，將被裝載在前述試驗托盤的剩餘電子零件藉由第2卸載分類單元供給至第2及第4卸載緩衝部之後，使電磁零件已耗盡的前述試驗托盤移動至裝載分類部，使前述第2及第4卸載緩衝部依序移動至卸載部的步驟包含以下步驟：前述第1卸載分類單元由位於第1卸載分類部的前述試驗托盤取出試驗完畢的電子零件，且依序移動至前述第1及第3卸載緩衝部正在待機的位置；將前述1卸載分類單元所取出的電子零件中的良品裝載於前述第1卸載緩衝部，將不良品裝載於前述第3卸載緩衝部；若裝載結束，使前述試驗托盤移動至第2卸載分類部，且使前述第1及第3卸載緩衝部依序移動至卸載部；前述第2卸載分類單元由位於第2卸載分類部的前述試驗托盤取出所裝載之剩餘的電子零件，且依序移動至前述第2及第4卸載緩衝部正在待機的位置；將前述第2卸載分類單元所取出的電子零件中的良品裝載於前述第2卸載緩衝部，將不良品裝置於前述第4卸載緩衝部；及使電子零件已耗盡的前述試驗托盤移動至裝載分類部，且使前述第2及第4卸載緩衝部依序移動至卸載部的步驟(STEP95)。
18. 一種試驗處理機，其特徵在於包含：裝載部，係使所試驗的半導體元件(電子零件)位於其中，具備有複數個堆疊機者；緩衝部，係用以由前述裝載部的堆疊機被供給試驗托盤的半導體元件且予以暫時儲存者；預分級機，係設置在緩衝部的一側，可左、右移動的至少一個以上者；T-tray(T-托盤)，係用以使半導體元件由前述預分級機安抵者；卸載分類部，係具備有用以由試驗結束而被排出的T-托盤來對半導體元件進行分類的複數個分類台者；及晶舟系統，其包含：設置在前述卸載分類部之一側的至少一個以上的支持部；設置在前述支持部的上部且設置有複數個感測器的感測器安抵構件；設置在前述感測器安抵構件的上部且形成有隔著間隔形成在傾斜面的複數個空氣鼓風孔的導引構件；與前述感測器安抵構件隔著間隔設置，且以可在其一側設置複數個感測器的方式所設置的感測器基底構件；及用以覆蓋設置在前述感測器基底構件之感測器的覆蓋部。
19. 如申請專利範圍第18項之試驗處理機，其中，前述支持部係在其一側設置至少一個集塵裝置。
20. 如申請專利範圍第18項之試驗處理機，其中，前述導引構件係在其側面設置有用以調節空氣壓力的空氣壓調節構件。
21. 一種試驗處理機，其特徵在於包含：裝載部，係使所試驗的半導體元件(電子零件)位於其中，具備有複數個堆疊機者；緩衝部，係用以由前述裝載部的堆疊機被供給試驗托盤的半導體元件且予以暫時儲存者；預分級機，係設置在緩衝部的一側，可左、右移動的至少一個以上者；T-tray(T-托盤)，係用以使半導體元件由預分級機安抵者；卸載分類部，係具備有用以由試驗結束而被排出的T-托盤來對半導體元件進行分類的複數個分類台者；及晶舟系統，其包含：複數個支持部；設置在前述支持部之一側的至少一個以上的集塵裝置；設置在前述支持部且設置有複數個感測器的感測器安抵構件；具有形成有複數個空氣鼓風孔的傾斜面的導引構件；用以對前述導引構件的空氣鼓風孔供給空氣的空氣接頭部；及在其一側設置有複數個感測器的感測器基底構件，若對前述空氣接頭部供給空氣，前述複數個感測器的塵埃及異物等會被去除而掉落，該塵埃及異物等係藉由前述集塵裝置予以去除/集塵。