KR101040921B1 - 테스트 핸들러의 보트 시스템 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 테스트 핸들러의 보트 시스템은 복수개의 센서에 부착되는 이물질을 제거할 수 있는 에어 블로워 시스템을 구비한다. 또한, 본 발명의 테스트 핸들러의 보트 시스템은 소팅부의 일측에 설치된 적어도 한개 이상의 지지부와, 지지부의 상부에 설치되며, 복수개의 센서가 설치되는 센서 안착부재와, 센서 안착부재의 상부에 설치되며, 경사면에 간격을 두고 형성된 복수개의 에어 블로워 홀이 형성되는 안내부재와, 센서 안착부재와 간격을 두고 설치되며, 그 일측에 복수개의 센서를 설치할 수 있도록 설치된 센서 베이스부재와, 센서 베이스부재에 설치된 센서를 커버하기 위한 커버부를 구비하는 점에 있다.
핸들러, 보트, 에어 블로워

Description

테스트 핸들러의 보트 시스템{Boat system of test handler}
본 발명은 테스트 핸들러의 보트 시스템에 관한 것으로, 보트 시스템에 설치되는 복수개의 센서에 부착되는 이물질을 제거할 수 있는 에어 블로워 시스템을 구비한 테스트 핸들러의 보트 시스템에 관한 것이다.
종래, 테스트 핸들러는 크게 로딩부, 버퍼부, 테스트부, 소팅부 및 언로딩부로 이루어진다. 상기 로딩부는 테스트할 전자부품을 위치시키며, 복수개의 스택커를 구비하게 된다. 또한, 버퍼부는 상기 로딩부의 스택커로부터 테스트 트레이의 전자부품을 공급받아 일시적으로 저장하는 역할을 하게 된다. 그리고, 상기 테스트부는 유입되는 T-tray(티이-트레이)의 반도체 소자(전자부품)을 테스트하기 위하여 소크챔버, 테스트챔버 및 디소크챔버로 이루어진다. 상기 소팅부는 T-tray(티이-트레이)로부터 반도체 소자를 소팅하게 된다. 그리고, 언로딩부는 테스트가 완료된 반도체 소자를 등급별로 분류하여 각각의 스택커에 공급하게 된다.
이와 같이 구성된 종래의 테스트 핸들러는 로딩부와 언로딩부 및 테스트부의 사이에 보트 시스템이 설치되지만, 상기 보트 시스템에서 발생되는 먼지나 이물질 등을 제거할 수 있는 장치를 별도로 구비하고 있지 않다. 따라서, 종래의 테스트 핸들러의 보트 시스템에 설치되는 복수개의 센서 등에 먼지나 이물질 등이 부착하게 되어 정확한 센서의 동작을 방해하게 되므로 이로 인해 반도체 소자(전자부품)는 물론 이로 인해 반도체 소자를 정확하게 검사할 수 없는 문제점이 발생하게 된다.
종래와 같이 구성된 테스트 핸들러는 보트 시스템 등에서 발생되는 먼지나 이물질 등을 제거할 수 있는 장치를 구비하지 않으므로 인해 반도체 소자의 불량률이 늘어나고, 이로 인해 작업 생산성이 떨어지게 되는 문제점을 내포하고 있었다.
본 발명은 이러한 종래기술의 문제점을 감안하여 안출된 것으로, 그 목적은 반도체 소자, 캐리어 및 트레이들의 이동을 감지하는 센서 등에 부착되는 먼지나 이물을 용이하게 제거할 수 있는 테스트 핸들러의 보트 시스템을 제공함에 있다.
본 발명의 다른 목적은 센서 등의 감지수단에 먼지나 이물질 등을 제거함에 의해 반도체 소자의 테스트 작업의 생산성을 개선시킬 수 있는 테스트 핸들러의 보트시스템을 제공함에 있다.
본 발명의 테스트 핸들러의 보트 시스템은 소팅부의 일측에 설치된 적어도 한개 이상의 지지부와, 지지부의 상부에 설치되며, 복수개의 센서가 설치되는 센서 안착부재와, 센서 안착부재의 상부에 설치되며, 경사면에 간격을 두고 형성된 복수개의 에어 블로워 홀가 형성되는 안내부재와, 센서 안착부재와 간격을 두고 설치되 며, 그 일측에 복수개의 센서를 설치할 수 있도록 설치된 센서 베이스부재와, 센서 베이스부재에 설치된 센서를 커버하기 위한 커버부를 구비하는 점에 있다.
본 발명의 테스트 핸들러의 보트시스템은 센서등의 감지수단에 먼지나 이물이 끼이는 것을 용이하게 제거할 수 있으므로 테스트 핸들러의 반도체 소자들의 테스트 작업 성능을 향상시킬 수 있고 아울러, 반도체 소자들의 불량률을 줄일 수 있는 이점을 제공한다.
(실시예)
본 발명의 테스트 핸들러의 보트시스템의 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.
본 발명의 테스트 핸들러의 보트시스템은 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 테스트할 반도체 소자(전자부품)을 위치시키며, 복수개의 스택커(10)를 구비한 로딩부(100) 및 테스트가 완료된 반도체 소자를 등급별로 분류하며, 복수개의 스택커(20)를 구비한 언로딩부(900)와, 유입된 T-tray(티이-트레이)의 반도체 소자를 테스트하기 위하여 소크 챔버(610), 테스트 챔버(620) 및 디소크 챔버(630)로 이루어진 테스트부(600)의 사이에 설치된다. 즉, 본 발명의 테스트 핸들러의 보트시스템은 로딩부 및 언로딩부(100,900)와 테스트부(600)의 사이에 설치된다.
상기 로딩부(100)의 후방에는 스택커(10)로부터 테스트 트레이(12)의 반도체 소자를 공급받아 일시적으로 저장하기 위한 버퍼(200)가 형성된다. 그리고, 상기 버퍼(200)의 일측에는 적어도 한 개 이상의 프리사이저(300)가 설치되며, 상기 프리사이저(300)는 좌,우로 이동가능하게 설치된다. 여기서는 도1에 도시된 바와 같이, 복수개의 프리사이저(300)를 적용한 것을 나타내고 있다. 상기 프리사이저(300)는 사용자의 요구에 따라 한쪽 방향으로 이동되는 것을 설치할 수도 있고, 양쪽 방향으로 이동될 수 있는 것을 설치할 수도 있다. 그러나, 일반적으로 프리사이저(300)는 비용 및 공간 활용 측면에서 한쪽 방향으로 이동되는 것을 많이 사용하고 있다.
상기 프리사이저(300)의 후방에는 반도체 소자를 안착시키기 위한 T-tray(티이-트레이)(400)가 설치된다. 그리고, 상기 티이-트레이(400)의 후방에는 로테이터(도시되지 않음)가 설치되고, 상기 로테이터에 의해 방향이 전환된 티이-트레이(400)가 테스트부(600)의 소크챔버(610)로 유입되게 된다. 소크챔버(610)에 유입된 티이-트레이(400)는 테스트를 하기 위하여 테스트 챔버(620)로 이동하게 되고, 테스트가 완료되면 다시 테스트 챔버(620)로부터 디소크 챔버(630)로 이동하게 된다.
그리고, 디소크 챔버(630)로부터 유출될 티이-트레이(400)는 도시되지 않는 로테이터에 의해 다시 방향 전환을 한 후, 배출된 티이-트레이(400)로부터 반도체 소자를 소팅하기 위한 복수개의 소팅테이블(510,520)을 구비한 소팅부(500)로 이동하게 된다.
본 발명의 보트 시스템은 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 소팅부(500)의 일측에 설치된 적어도 한개 이상의 지지부(700)와, 지지부(700)의 상부에 설치되 며, 복수개의 센서(720)가 설치되는 센서 안착부재(730)와, 센서 안착부재의 상부에 설치되며, 경사면(740)에 간격을 두고 형성된 복수개의 에어 블로워 홀(742)이 형성되는 안내부재(750)와, 센서 안착부재(730)와 간격을 두고 설치되며, 그 일측에 복수개의 센서(820)를 설치할 수 있도록 설치된 센서 베이스부재(800)와, 센서 베이스부재에 설치된 센서(820)를 커버하기 위한 커버부(850)로 구성된다.
여기서, 상기 지지부(700)는 복수개가 설치된 것을 적용하였고, 상기 지지부(700)는 그 일측에 적어도 한 개 이상의 집진장치(710)를 설치하게 된다. 상기 집진장치(710)는 공기 중의 먼지나 이물질을 흡인할 수 있는 흡인기능을 갖는 집진장치를 적용할 수도 있지만, 사용자의 요구에 따라 광촉매 등을 이용한 집진장치도 적용할 수 있다.
센서 안착부재(730)는 그 일측에 설치된 센서(720)들을 정렬하여 설치하기 위한 정렬부재(724)가 설치된다. 상기 정렬부재(724)는 "U"자 형태로 복수개가 연설되게 구성되며, 그 사이에 각기 2개의 센서(720)들이 설치된다. 여기서, 상기 센서(720)는 주로 테스트 트레이(12)의 이동을 감지하기 위한 센서들이다.
상기 센서 안착부재(730)의 상부에는 안내부재(750)이 설치된다. 상기 안내부재(750)는 양측면이 사다리꼴 형태로 이루어지고, 그 일측에 경사면(740)이 형성된다. 상기 경사면(740)에는 소정의 간격을 두고 복수개의 에어 블로워 홀(742)이 설치된다. 그리고, 상기 안내부재(750)의 상부면에는 소정 간격을 두고 안내부재 고정홀(756)이 형성되고, 상기 안내부재 고정홀(756)에는 체결수단(도시되지 않음)을 삽입하여 정렬부재(724)에 고정되게 된다. 또한, 상기 안내부재(750)는 그 후면 에 에어를 공급하기 위한 적어도 한 개 이상의 에어 피팅부(752)가 설치된다. 여기서는 각각의 안내부재(750)에 대하여 복수개의 에어 피팅부(752)을 적용하였지만, 경우에 따라서는 한 개를 설치할 수도 있다. 그리고, 상기 안내부재(750)는 그 측면에 공기의 압력을 조절하기 위한 공기압 조절부재(770)가 설치된다. 상기 공기압 조절부재(770)는 도시되지는 않았지만 그 측면에 관통홀을 형성하여 나사이동에 따라 미량의 공기를 외부로 방출함에 공기압을 조절할 수 있게 하였다. 즉, 공기압의 조절범위를 완전히 막힌 상태로부터 나사의 피치이동에 따라 공기압을 조정할 수 있게 구성하였다.
상기 센서 안착부재(730)와 간격을 두고 센서 베이스부재(800)가 설치된다.
상기 센서 베이스부재(800)는 도 4에 도시된 바와 같이, 그 일측에 복수개의 센서(820)들이 소정 간격을 두고 설치된다. 그리고, 상기 센서(820)들은 커버부(850)에 의해 커버되어 센서 베이스부재(800)에 설치된다.
이제, 상기와 같이 구성된 본 발명의 테스트 핸들러의 보트시스템의 동작관계에 대하여 설명하기로 한다.
테스트부(600)로부터 테스트가 완료된 T-tray(티이-트레이)(400)는 도시되지 않은 로테이터에 의해 방향이 전환된 후, 테스트 핸들러의 보트시스템으로 이동하게 된다. 상기 로테이터는 사용자가 테스트부(600)의 구성에 따라 적용되지 않을 수도 있다.
T-tray(티이-트레이)(400)의 테스트 검사 완료 후, 꺼내진 다음 수평으로 이동되는 영역(즉, 핸들러의 보트 시스템)에서, 안내부재(750)의 후면에 설치된 에어 피팅부(752)에 에어 공급장치(도시되지 않음)를 이용하여 에어를 공급하게 되면, 에어 블로워 홀(742)을 통하여 에어가 분출되게 된다.
상기 에어 블로워 홀(742)에서 분출되는 에어는 센서 안착부재(730)상에 설치된 복수개의 센서(720)에 일차적으로 불게 되어 먼지나 이물질 등을 제거하게 되고, 다시 에어의 순환 작용(대류 작용과 유사함)에 의해 센서 베이스부재(800)의 하부에 설치된 센서(820)에 부착되는 먼지나 이물질 등도 이차적으로 제거하게 된다. 상기 센서 안착부재(730)상에 설치된 복수개의 센서(720)들은 에어 피팅부(752)에 에어가 공급하게 되면 그 내부에서 먼지나 이물질 등을 에어 블로워 홀(742)로 배출시키게 되고 여기서 발생된 먼지나 이물질 등은 장비 하부측으로 떨어지면서 집진장치(710)에 의해 수거/제거되게 된다. 그리고, 상기 에어 블로워 홀(742)로부터 나온 에어가 센 경우에는 순환작용에 의해 센서 베이스부재(800)의 하부에 설치된 센서(820)에 부착된 먼지나 이물질 등도 떨어뜨려 제거하게 된다. 마찬가지로 상기 먼지나 이물질 등은 모두 집진장치(710)에 의해 수거/제거되게 된다.
또한, 상기 에어 블로워 홀(742)에서 분출되는 에어는 안내부재의 측면에 설치된 공기압 조절부재(770)를 이용하여 그 압력을 사용자가 적절히 조절할 수 있게 되어 있다. 즉, 에어가 너무 센 경우에는 반도체 소자에 먼지나 이물질 등이 순환하면서 부착되는 문제점이 있고, 너무 약한 경우에는 센서(820)에 부착된 먼지가 제거되지 않는 문제점이 있으므로 적절한 압력을 유지하는 것이 바람직하다.
상기 에어 블로워 홀(742)에서 분출되는 에어는 센서(720)에 부착된 먼지나 이물질은 물론 그 상부에 설치된 센서(820)측으로 분사되면서 센서(820)에 부착된 먼지나 이물질 등을 센서(820)로부터 이탈시켜 떨어지게 한다. 이와 같이 이탈된 먼지나 이물질 등은 지지부(700)의 일측에 설치된 집진장치(710)에 의해 회수되거나 제거되게 된다.
여기서, 상기 집진장치(710)는 한 개를 적용하였지만 경우에 따라서는 복수개 설치할 수도 있다. 상기 집진장치(710)는 공기 중의 먼지나 이물질을 흡인할 수 있는 집진장치(710)를 적용하면 공기 중에 부유된 먼지나 이물질 등을 용이하게 흡인하여 테스트 핸들러를 보다 청정한 상태로 유지할 수 있다. 그리고, 상기 집진장치(710)는 사용자의 요구에 따라서 광촉매를 이용한 집진장치도 적용할 수 있다.
이와 같이, 안내부재(750)의 경사면(740)에 형성된 에어 블로워 홀(742)을 통하여 배출된 에어를 이용하여 센서(720,820)에 부착된 먼지나 이물질 등을 제거할 수 있다.
본 발명의 테스트 핸들러의 보트시스템은 센서 등과 같은 감지수단을 구비한 반도체 소자를 테스트 하는 테스트 핸들러 분야나 반도체 테스트 장치 분야 등에 널리 적용 할 수 있다.
도 1은 본 발명의 테스트 핸들러 시스템의 보트시스템이 적용된 테스트 핸들러의 레이아웃을 설명하기 위한 평면도,
도 2는 본 발명의 요부인 테스트 핸들러의 보트시스템을 설명하기 위한 사시도,
도 3은 도 2의 요부인 보트시스템의 조립 사시도,
도 4는 도 3에 도시된 보트시스템의 분해 사시도.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호 설명 *
700: 지지부 710: 집진장치
730: 센서 안착부재 740: 경사면
750: 안내부재 770: 공기압 조절부재
800: 센서 베이스부재 720,820: 센서

Claims (7)

  1. 테스트할 반도체 소자(전자부품)을 위치시키며, 복수개의 스택커를 구비한 로딩부(100)의 스택커로부터 테스트 트레이의 반도체 소자를 공급받아 일시적으로 저장하기 위한 버퍼(200)와; 버퍼(200)의 일측에 설치되며, 좌,우로 이동가능한 적어도 한 개 이상의 프리사이저(300)와; 상기 프리사이저(300)로부터 반도체 소자를 안착시키기 위한 T-tray(티이-트레이)(400)와; 테스트가 완료되어 배출된 티이-트레이(400)로부터 반도체 소자를 소팅하기 위한 복수개의 소팅테이블(510,520)을 구비한 소팅부(500)를 구비한 테스트 핸들러의 보트시스템에 있어서,
    상기 보트시스템은 소팅부의 일측에 설치된 적어도 한 개 이상의 지지부(700)와,
    상기 지지부(700)의 상부에 설치되며, 복수개의 센서(720)가 설치되는 센서 안착부재(730)와,
    상기 센서 안착부재의 상부에 설치되며, 경사면(740)에 간격을 두고 형성된 복수개의 에어 블로워 홀(742)이 형성되는 안내부재(750)와,
    상기 센서 안착부재(730)와 간격을 두고 설치되며, 일측에 복수개의 센서(820)를 설치할 수 있도록 설치된 센서 베이스부재(800)와,
    상기 센서 베이스부재에 설치된 센서(820)를 커버하기 위한 커버부(850)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러의 보트시스템.
  2. 제1항에 있어서, 상기 지지부(700)는 일측에 적어도 한 개의 집진장치(710)를 설치하는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러의 보트시스템.
  3. 제1항에 있어서, 상기 센서 안착부재(730)는 일측에 설치된 센서(720)들을 정렬하여 설치하기 위한 정렬부재(724)가 설치되는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러의 보트시스템.
  4. 제1항에 있어서, 상기 안내부재(750)는 후면에 에어를 공급하기 위한 적어도 한 개 이상의 에어 피팅부(752)가 설치되는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러의 보트시스템.
  5. 제1항에 있어서, 상기 안내부재(750)는 측면에 공기의 압력을 조절하기 위한 공기압 조절부재(770)가 설치되는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러의 보트시스템.
  6. 복수개의 지지부와;
    상기 지지부의 일측에 설치되는 적어도 한 개 이상의 집진장치와;
    상기 지지부에 설치되며, 복수개의 센서가 설치되는 센서 안착부재와;
    복수개의 에어 블로워 홀이 형성되는 경사면을 갖는 안내부재와;
    상기 안내부재의 에어 블로워 홀에 에어를 공급하기 위한 에어 피팅부와;
    일측에 복수개의 센서들이 설치되는 센서 베이스부재로 이루어지며,
    상기 에어 피팅부에 에어를 공급하게 되면, 상기 복수개의 센서들의 먼지 및 이물질이 제거하여 떨어지게 되고, 먼지 및 이물질은 상기 집진장치에 의해 제거/집진되는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러의 보트시스템.
  7. 제6항에 있어서, 상기 에어 피팅부는 에어를 공급하게 되면 센서 안착부재에 설치된 센서들의 먼지 및 이물질을 일차적으로 제거하고, 다시 센서 베이스부재에 설치된 센서들의 먼지 및 이물질을 이차적으로 제거할 수 있도록 구성되는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러의 보트시스템.
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