KR100553989B1

KR100553989B1 - 테스트 핸들러의 로더 핸드

Info

Publication number: KR100553989B1
Application number: KR1020040075641A
Authority: KR
Inventors: 구태흥; 나윤성
Original assignee: (주)테크윙
Priority date: 2004-09-21
Filing date: 2004-09-21
Publication date: 2006-02-22

Abstract

테스트 핸들러의 로더 핸드가 제공된다. 제공된 로더 핸드는 직교좌표 로봇에 연결되는 베이스플레이트와 이 베이스플레이트에서 연장된 한 조의 연결바와 이 연결바의 끝단에 고정되며 Y축피치 변환용 실린더가 고정 설치된 기준설치바와 상기 연결바에 수평가이드수단을 통해 결합되며 상기 Y축피치 변환용 실린더의 피스톤이 연결된 가변설치바를 포함하는 전후간격조절부와, 상기 기준설치바 및 가변설치바의 양측벽에 각, 각 수직 결합된 한 조의 전,후열 플레이트와 상기 각 플레이트에 고정 설치된 X축피치 변환용 실린더와 상기 X축피치 변환용 실린더의 피스톤에 연결된 X축이송블록을 포함하는 좌우간격조절부와, 상기 X축이송블록에 장,탈착할 수 있게 결합되며 다수의 가이드공이 천공된 캠플레이트와, 상기 전,후열 플레이트의 사이에 축결합된 한 조의 연결축을 매개체로 8개가 배치되며 상기 가이드공에 삽입 안내되는 캠팔로우어가 구비된 진공패드로 구성된다.

Description

테스트 핸들러의 로더 핸드{LOADER HAND FOR TEST HANDLER}

도 1은 한국공개특허 2003-29266호에 개시된 로더 핸드를 설명하기 위한 정면도이다.

도 2는 본 발명에 따른 로더 핸드가 테스트 핸들러에 설치된 상태를 설명하기 위한 테스트 핸들러의 평면구성도이다.

도 3은 본 발명에 따른 로더 핸드를 설명하기 위한 부분 분해사시도이다.

도 4a는 본 발명에 따른 로더 핸드에 있어, 진공패드를 발췌 도시한 사시도이다.

도 4b는 본 발명에 따른 로더 핸드에 있어, 진공패드를 발췌 도시한 측면도이다.

도 5는 본 발명에 따른 로더 핸드의 피치가변상태를 설명하기 위한 작용상태도이다.

도 6은 본 발명에 따른 로더 핸드의 진공패드가 반도체 디바이스를 테스트트레이에 로딩하는 상태를 설명하기 위한 측면 구성도이다.

<도면주요부위에 대한 부호의 설명>

1 : 로더 핸드 2 : 전후간격조절부

3 : 좌우간격조절부 4 : 캠플레이트

5 : 진공패드 6 : 반도체 디바이스

11,11' : 전,후열 패드부 21 : 베이스플레이트

22,22' : 연결바 23 : 기준설치바

24 : 가변설치바 25 : 수평가이드수단

26 : Y축피치 변환용 실린더 31 : 전열 플레이트

32 : 후열 플레이트 33 : X축피치 변환용 실린더

34 : X축이송블록 35 : 수직가이드수단

41 : 결합공 42 : 가이드공

51 : 가이드구 52 : 몸체

53 : 개별진공포트 54 : 흡착구

55 : 캠팔로우어 56 : 연결축

100 : 테스트 핸들러 200 : 디바이스로딩유닛

210 : 테스트트레이 220 : 로더용 직교좌표 로봇

300 : 유저트레이 300a,210a : 탑재공간

251,351 : 가이드블록 252,352 : 가이드레일

261 : Y축피치 변환용 실린더 331 : 피스톤

B : 볼트

본 발명은 테스트 핸들러의 로더 핸드에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 반도체 디바이스를 테스트트레이에 로딩하는 로더핸드에 관한 것이다.

반도체 디바이스는 소정의 조립공정을 거친 후 최종적으로 테스트 공정을 수행하므로써 양품과 불량을 선별하게 된다. 테스트 공정을 수행하는 테스트 핸들러는 테스트트레이에 안착된 반도체 디바이스를 자동으로 이송시키면서 테스트헤드와 접촉시키므로써 소정 테스트를 수행하며, 이 테스트 결과에 따라 반도체 디바이스들을 등급별로 분류하여 적재하는 기능을 수행한다.

본 출원인에 의해 선 출원 공개된 공개특허 2003-29266호에서는 유저트레이공급/출하부를 포함하는 스태커유닛과, 상기 유저트레이에 있는 반도체 디바이스를 테스트트레이에 로딩하는 디바이스로딩유닛과, 반도체 디바이스를 테스트하는 챔버유닛과, 반도체 디바이스를 상기 챔버유닛에서 언로딩하는 디바이스언로딩유닛과, 테스트결과에 따라 반도체 디바이스를 분류하는 분류유닛으로 구성되는 "테스트 핸들러"를 개시하고 있다.

이와 같은 공개특허 2003-29266호의 디바이스로딩유닛에는 로더용 직교좌표로봇에 연결되어 유저트레이에 담겨진 반도체 디바이스를 테스트트레이의 각 인서트에 로딩하는 로더 핸드가 설치되는데, 도 1은 공개특허 2003-29266호에 개시된 로더 핸드를 설명하기 위한 정면도이다.

도 1을 참조하면, 로더 핸드(180)는 전,후열(193,194) 배치구조를 갖는 8개의 진공패드(187a)와, 각 진공패드(187a)가 배치된 전, 후열(193,194)의 상호 간격을 조절하는 전후간격조절부(181)와, 각각의 진공패드(187a)간의 간격을 조절하는 좌우간격조절부(184)로 구성된다. 이때, 상기 전후간격조절부(181)는 로더용 직교좌표 로봇에 연결된 베이스플레이트(P)에 제 1실린더(182)와 제 1가이드레일(183)을 장착하여 전, 후열(193,194)의 진공패드(187a)를 이동시키고, 상기 좌우간격조절부(184)는 상기한 전, 후열(193,194)의 각 패드부(187)가 수직이동하게 결합된 플레이트의 양측에 제 2실린더(185)를 장착하여 상기 플레이트(186)를 상하로 이동시킨다. 아울러, 상기 패드부(187) 전면에는 각각의 진공패드(187a)가 이동할 상하거리와 수평거리에 맞추어 장공(188)이 형성된 캠플레이트(189)가 결합된다.

이때, 각 진공패드(187a)에는 캠팔로우어(190)가 돌출되어 상기한 캠플레이트(189)의 장공(188)에 삽입되고, 이러한 각 진공패드(187a) 상부에는 베어링(191)이 장착됨과 아울러 베어링(191)을 관통하는 수평축(192)으로 연결된다.

따라서, 상기 로더 핸드(180)는 유저트레이(도면에 미도시됨.)로부터 반도체 디바이스를 픽킹할 때 전,후열(193,194)의 간격이 좁혀지고, 패드부(187)가 하강하여 각 진공패드(187a)가 밀착된 상태로 있게 된다. 그리고, 유저트레이에서 반도체 디바이스를 픽킹 후 테스트트레이(도면에 미도시됨.)로 이송 적재할 때에는 테스트트레이상의 반도체 디바이스 탑재공간 간격에 맞게 전후간격조절부(181)의 제 1실린더(182)가 작동하여 전,후열(193,194)의 간격을 벌림과 동시에 좌우간격조절부(184)의 제 2실린더(185)의 작동으로 패드부(187)의 캠팔로우어(189)가 캠플레이트(189) 장공(188)의 안내를 받아 각 진공패드(187a)가 일정간격으로 넓혀진다.

하지만, 한국공개특허 2003-29266호에 개시된 테스트 핸들러의 로더 핸드는 각 진공패드(187a)의 좌,우간격을 조절하는 상기 캠플레이트(189)가 도 1에서와 같이 제 1가이드레일(183)이 설치된 베이스플레이트(P)에서 일체로 연장 형성됨에 따라 교체 사용할 수 없는 문제점이 있다. 이와 같은 문제점에 의해 취급할 반도체 디바이스의 종류가 다른 경우에는 로딩작업을 수행할 수 없는 문제점이 야기된다. 즉, 유저트레이 및 테스트트레이에 마련된 반도체 디바이스 탑재공간은 반도체 디바이스의 종류에 따라 그 피치를 달리하므로 이와 대응하는 캠플레이트(189)를 사용해야하는 것이다. 이에 따라서, 기존의 로더 핸드(180)는 해당 종류의 반도체 디바이스만을 로딩할 수 있으므로 그 적용범위에 한계가 있다.

이에, 본 발명은 공개특허 2003-29266호의 로더 핸드가 갖는 제반적인 문제점을 해결하고자 창안된 것으로,

본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 취급할 반도체 디바이스의 종류에 따라 변경되는 유저트레이 및 테스트트레이의 탑재공간 피치에 대응하게 각 진공패드간의 피치를 용이하게 가변할 수 있는 테스트 핸들러의 핸드 로더를 제공하는데 있다.

상기한 기술적 과제를 해결하기 위한 본 발명의 구체적인 수단으로는;

직교좌표 로봇에 연결되는 베이스플레이트와, 이 베이스플레이트에서 연장된 한 조의 연결바와, 이 연결바의 끝단에 고정되며 Y축피치 변환용 실린더가 고정 설치된 기준설치바와, 상기 연결바에 수평가이드수단을 통해 결합되며 상기 Y축피치 변환용 실린더의 피스톤이 연결된 가변설치바를 포함하는 전후간격조절부;

상기 기준설치바 및 가변설치바의 양측벽에 각, 각 수직 결합된 한 조의 전,후열 플레이트와, 상기 각 플레이트에 고정 설치된 X축피치 변환용 실린더와, 상기 X축피치 변환용 실린더의 피스톤에 연결된 X축이송블록을 포함하는 좌우간격조절부;

상기 X축이송블록에 장,탈착할 수 있게 결합되며, 다수의 가이드공이 천공된 캠플레이트; 및

상기 전,후열 플레이트의 사이에 축결합된 한 조의 연결축을 매개체로 8개가 배치되며, 상기 가이드공에 삽입 안내되는 캠팔로우어가 구비된 진공패드를 포함하는 테스트 핸들러의 로더 핸드를 구비한다.

바람직한 실시예로써, 상기 수평가이드수단은 상기 가변설치바의 하부면에 설치된 가이드블록과, 이 가이드블록에 대응하도록 상기 각 연결바의 상부면에 설치된 가이드레일로 구성된다.

바람직한 실시예로써, 상기 캠플레이트는 그 양단에 상기 X축이송블록에 볼트결합하기 위한 결합공이 구비된다.

바람직한 실시예로써, 상기 캠플레이트의 각 가이드공은 상기 X축피치 변환용 실린더의 피스톤을 전개할 때 상기 각 진공패드간의 간격이 벌어질 수 있도록 그 하부로 갈수록 폭이 넓어지게 구성된다.

바람직한 실시예로써, 상기 진공패드는 상기 연결축에 결합되며 그 일측에 상기 캠팔로우어가 돌출 형성되는 가이드구와, 이 가이드구의 일단에 연결되며 픽 업실린더가 구비되는 몸체와, 상기 몸체에 수직 설치된 개별진공포트와, 상기 개별진공포트의 하부에 구비된 흡착구를 포함하여 구성된다.

이하에서는, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부도면에 의거 상세히 설명하기로 한다.

도 2를 참조하면, 로더 핸드(1)는 테스트 핸들러(100)의 디바이스로딩유닛(200)에 포함된다. 이와 같은 디바이스로딩유닛(200)은 상기한 로더 핸드(1)이외에 반도체 디바이스가 로딩되는 테스트트레이(210)와, 이 테스트트레이(210)를 얼라인해주는 정렬모듈(도면에 미도시됨.)을 더 포함한다. 이때, 상기 로더 핸드(1)는 상기한 디바이스로딩유닛(200)에 마련된 로더용 직교좌표 로봇(220)에 연결되어 유저트레이(300)와 테스트트레이(210)간의 왕복이동하며 상기 유저트레이(300)에 담겨진 반도체 디바이스를 상기 테스트트레이(210)에 로딩하는 기능을 수행한다.

도 3은 본 발명에 따른 로더 핸드를 설명하기 위한 부분 분해사시도이고, 도 4a는 본 발명에 따른 로더 핸드에 있어, 진공패드를 발췌 도시한 사시도이고, 도 4b는 본 발명에 따른 로더 핸드에 있어, 진공패드를 발췌 도시한 측면도이다.

도 3을 참조하면, 로더 핸드(1)는 크게 전후간격조절부(2)와, 좌우간격조절부(3)와, 캠플레이트(4)와, 진공패드(5)로 그 구성요소를 나눌 수 있다.

상기 전후간격조절부(2)는 전술한 도 2에 도시된 로더용 직교좌표 로봇(220)에 연결되는 베이스플레이트(21)와, 이 베이스플레이트(21)에서 연장된 한 조의 연 결바(22,22')와, 이 연결바(22,22')의 끝단에 고정되는 기준설치바(23)와, 수평가이드수단(25)에 의해 상기 연결바(22,22')에 결합된 가변설치바(24)로 구성된다. 이와 같은 수평가이드수단(25)은 상기 연결바(22,22')의 하부면에 설치되는 가이드블록(251)과, 이 가이드블록(251)에 대응하도록 상기 각 연결바(22,22')의 상부면에 설치된 가이드레일(252)로 구성할 수 있다. 아울러, 상기 기준설치바(23)에는 Y축피치 변환용 실린더(26)가 고정 설치되는데, 이러한 Y축피치 변환용 실린더(26)의 피스톤(261)은 상기 가변설치바(24)에 연결된다. 이와 같은 구성에 따르면, 상기 전후간격조절부(2)는 상기 Y축피치 변환용 실린더(26)의 피스톤(261)을 전개, 삽입 작동시켜 상기 기준설치바(23)를 기준으로 가변설치바(24)를 수평 이동시킬 수 있어, 상기 기준설치바(23)와 상기 가변설치바(24)간의 전,후간격을 조절하는 기능을 수행한다.

상기 좌우간격조절부(3)는 상기 기준설치바(23)의 양측벽에 전열 플레이트31)를 수직설치하고, 상기 가변설치바(24)의 양측벽에는 후열 플레이트(32)를 수직 설치하되, 각 플레이트(31,32)에는 X축이송블록(34)과 연결된 X축피치 변환용 실린더(33)가 설치된 구성을 갖는다. 이때, 상기 X축피치 변환용 실린더(33)는 각 플레이트(31,32)에 고정 설치되고, 상기 X축이송블록(34)은 전술한 수평가이드수단(25)과 동일한 구성을 갖는 수직가이드수단(35), 예컨대 상기 X축이송블록(34)의 소정면에 설치된 가이드블록(351)과, 이 가이드블록(351)과 대응하도록 상기 각 플레이트(31,32)에 수직 설치된 가이드레일(352)로 구성되는 수직가이드수단(35)에 의해 각 플레이트(31,32)에 결합된다. 이에 따라, 상기 좌우간격조절부(3)는 상기 X축피치 변환용 실린더(33)의 피스톤(331)을 전개, 삽입 작동시켜 상기 X축이송블록(34)을 수직 이동시키는 동작을 수행하게 된다.

이때, 상기 전열 플레이트(31)에 결합된 X축이송블록(34) 및 상기 후열 플레이트(32)에 결합된 X축이송블록(34)에는 캠플레이트(4)가 장,탈착가능하게 결합된다. 이를 위해 상기 캠플레이트(4)의 양단에는 상기 X축이송블록(34)에 볼트(B)결합하기 위한 결합공(41)이 구비된다. 이에 따라, 상기 캠플레이트(4)는 상기 X축이송블록(34)과 함께 수직 이동하게 된다. 아울러, 상기 캠플레이트(4)에는 8개의 가이드공(42)이 소정간격을 두고 천공되는데, 이와 같은 각 가이드공(42)은 캠플레이트(4)의 상부에서는 그 이격폭이 좁게 형성되고, 하부로 갈수록 이격폭이 넓게 형성되는 구조를 갖는다.

상기 진공패드(5)는 상기 전,후열 플레이트(31,32)의 사이에 축결합된 한 조의 연결축(56)을 매개체로 8개가 소정간격을 두고 배치된다. 이에 따라, 상기 전열 플레이트(31)와 후열 플레이트(32)에는 8개의 진공패드(5)로 이루어지는 전, 후열 패드부(11,11')가 마련된다. 이와 같은 진공패드(5)는 도 4a 및 도 4b에서와 같이 상기 한 조의 연결축(56)에 결합된 가이드구(51)와, 이 가이드구(51)의 일단에 연결되며 픽업실린더(521)가 구비되는 몸체(52)와, 상기 몸체(52)에 수직 설치된 개별진공포트(53)와, 상기 개별진공포트(53)의 하부에 구비된 흡착구(54)로 구성된다. 이러한 진공패드(5)는 상기와 같이 몸체(52)에 픽업실린더(521) 및 개별진공포트(53)가 구비됨에 따라 개별 업/다운기능과 함께 개별흡착기능을 수행할 수 있고, 상기와 같이 픽업실린더(521)를 포함하는 몸체(52)의 두께를 최소화(15mm)하여 각 진공패드(5)간의 최소피치를 최소화(15mm까지 가능함.)할 수 있다.

이때, 상기 가이드구(51)는 상기한 연결축(56)에서 수평 이동할 수 있도록 그 내부에 볼 스프라인(511)이 설치됨과 아울러 상기 가이드구(51)의 일측에는 전술한 캠플레이트(4)의 가이드공(42)에 삽입 안내되는 캠팔로우어(55)가 돌출 형성된다.

이에, 상기와 같은 구성을 갖는 본 발명에 따른 테스트 핸들러의 로더 핸드의 작용상태에 대하여 살펴보기로 한다.

도 5는 본 발명에 따른 로더 핸드의 피치가변상태를 설명하기 위한 작용상태도이고, 도 6은 본 발명에 따른 로더 핸드의 진공패드가 반도체 디바이스를 테스트트레이에 로딩하는 상태를 설명하기 위한 측면구성도이다.

도 5를 참조하면, 로더 핸드(1)는 반도체 디바이스(6)가 담긴 유저트레이(300) 및 반도체 디바이스(6)를 로딩할 테스트트레이(210)에 마련된 반도체 디바이스 탑재공간(300a,210a)의 피치에 대응하게 전, 후열 패드부(11,11')의 각 진공패드(5)간 피치를 좁혔다가 넓히는 되풀이 동작을 수행한다.

우선, 유저트레이(300)에서 반도체 디바이스(6)를 픽킹할 때에는 유저트레이(300)의 탑재공간(300a) 피치(X, Y)가 좁게 형성됨에 따라 전, 후열 패드부(11,11')의 각 진공패드(5) 피치를 좁게 형성하게 된다. 이를 위해, 전후간격조절부(2)의 Y축피치 변환용 실린더(26)는 피스톤(261)이 삽입 작동되어 가변설치바(24)를 기준설치바(23)에 근접되게 수평이동시키므로써 전, 후열 패드부(11,11')의 간격을 유저트레이(300) 탑재공간(300a)의 Y피치와 대응하게 좁힌다. 이와 아울러, 좌우간격조절부(3)의 X축피치 변환용 실린더(33)는 그 피스톤(331)이 전개 작동되어 X축이송블록(34)을 수직방향으로 하강시키게 되는데, 이때에는 X축이송블록(34)에 결합된 각 캠플레이트(4)가 하강하고, 이러한 캠플레이트(4)의 가이드공(42)에 안내되는 각 진공패드(5)의 캠팔로우어(55)는 가이드공(42)내에서 상승함에 따라 각 패드부(11,11')의 진공패드(5)간의 간격 또한 유저트레이(300) 탑재공간(300a)의 X피치와 대응하게 좁혀지게 된다. 이와 같은 상태에서 전, 후열 패드부(11,11')의 각 진공패드(5)는 개별 업/다운동작과 개별흡착동작을 수행하므로써 유저트레이(300)에 담겨진 반도체 디바이스(6)를 픽킹하게 된다.

이후, 로더 핸드(1)는 로더용 직교좌표 로봇(도면에 미도시됨.)에 의해 테스트트레이(210)가 있는 위치까지 이송된 후 각 진공패드(5)가 픽킹한 반도체 디바이스(6)를 테스트트레이(210)에 로딩하게 되는데, 이때에는 테스트트레이(210)의 탑재공간(210a) 피치(X',Y')가 넓게 형성됨에 따라 전, 후열 패드부(11,11')의 각 진공패드(5) 피치 또한 넓게 변환하게 된다. 이를 구체적으로 설명하면, 전후간격조절부(2)의 Y축피치 변환용 실린더(26)는 피스톤(261)이 전개 작동되어 가변설치바(24)를 기준설치바(23)에 최대한 이격되도록 수평이동시키므로써 전, 후열 패드부(11,11')의 간격을 테스트트레이(210) 탑재공간(210a)의 Y'피치와 대응하게 넓힌다. 이와 아울러 좌우간격조절부(3)의 X축피치 변환용 실린더(33)은 그 피스톤(331)이 삽입 작동되어 X축이송블록(34)을 수직방향으로 승강시키게 되는데, 이때에는 X축이송블록(34)에 결합된 각 캠플레이트(4)가 승강하고, 이러한 캠플레이트(4)의 가이드공(42)에 안내되는 각 진공패드(5)의 캠팔로우어(55)는 가이드공(42) 내에서 하강함에 따라 각 패드부(11,11')의 진공패드(5)간의 간격 또한 테스트트레이(210) 탑재공간(210a)의 X'피치와 대응하게 넓혀지게 된다. 이와 같은 상태에서 전, 후열 패드부(11,11')의 각 진공패드(5)는 도 6에서와 같이 개별 업/다운동작을 수행하므로써 반도체 디바이스(6)를 테스트트레이(210)의 탑재공간(210a)에 로딩하게 된다.

여기서, 테스트할 반도체 디바이스(6)의 종류가 변경될 경우에는 이와 대응하게 유저트레이(300) 및 테스트트레이(210)에 마련된 반도체 디바이스 탑재공간(300a,210a)또한 그 피치가 다르게 구성된다. 이때에는, 로더 핸드(1)의 전, 후열 패드부(11,11') 및 이 패드부(11,11')를 구성하는 각 진공패드(5)의 피치를 변환해야하는데, 본 발명에서는 캠플레이트(4)가 X축이송블록(34)에서 장,탈착할 수 있게 구성됨에 따라 반도체 디바이스(6)의 종류에 대응하는 캠플레이트(4)를 교체할 수 있다. 따라서, 본 발명의 로더 핸드(1)는 여러 가지 종류의 반도체 디바이스(6)에 따라 각 진공패드(5)의 X축 피치를 가변할 수 있음으로써 그 적용범위를 확충할 수 있는 것이다.

이상과 같이 본 발명에 따른 테스트 핸들러의 로더 핸드는 좌우간격조절부의 X축이송블록에 캠플레이트를 장,탈착가능하게 설치하므로써, 취급할 반도체 디바이스의 종류에 대응하는 캠플레이트를 교체 설치할 수 있어, 각 진공패드간의 X축 피치를 용이하게 가변할 수 있는 장점이 있다.

Claims

직교좌표 로봇에 연결되는 베이스플레이트와, 이 베이스플레이트에서 연장된 한 조의 연결바와, 이 연결바의 끝단에 고정되며 Y축피치 변환용 실린더가 고정 설치된 기준설치바와, 상기 연결바에 수평가이드수단을 통해 결합되며 상기 Y축피치 변환용 실린더의 피스톤이 연결된 가변설치바를 포함하는 전후간격조절부;

상기 기준설치바 및 가변설치바의 양측벽에 각, 각 수직 결합된 한 조의 전, 후열 플레이트와, 상기 각 플레이트에 고정 설치된 X축피치 변환용 실린더와, 상기 X축피치 변환용 실린더의 피스톤에 연결된 X축이송블록을 포함하는 좌우간격조절부;

상기 X축이송블록에 장,탈착할 수 있게 결합되며, 다수의 가이드공이 천공된 캠플레이트; 및

상기 전, 후열 플레이트의 사이에 축결합된 한 조의 연결축을 매개체로 8개가 배치되며, 상기 가이드공에 삽입 안내되는 캠팔로우어가 구비된 진공패드를 포함하는 테스트 핸들러의 로더 핸드.
제 1항에 있어서,

상기 수평가이드수단은 상기 가변설치바의 하부면에 설치된 가이드블록과, 이 가이드블록에 대응하도록 상기 각 연결바의 상부면에 설치된 가이드레일로 구성된 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러의 로더 핸드.
제 1항에 있어서,

상기 캠플레이트는 그 양단에 상기 X축이송블록에 볼트결합하기 위한 결합공이 구비된 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러의 로더 핸드.
제 1항에 있어서,

상기 캠플레이트의 각 가이드공은 상기 X축피치 변환용 실린더의 피스톤을 전개할 때 상기 각 진공패드간의 간격이 벌어질 수 있도록 그 하부로 갈수록 폭이 넓어지게 구성된 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러의 로더 핸드.
제 1항에 있어서,

상기 진공패드는 상기 연결축에 결합되며 그 일측에 상기 캠팔로우어가 돌출 형성되는 가이드구와, 이 가이드구의 일단에 연결되며 픽업실린더가 구비되는 몸체와, 상기 몸체에 수직 설치된 개별진공포트와, 상기 개별진공포트의 하부에 구비된 흡착구를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러의 로더 핸드.