KR20200121191A - 테스트 핸들러용 유저 트레이 정렬 장치, 테스트 핸들러용 유저 트레이 정렬 방법 및 테스트 핸들러 - Google Patents

테스트 핸들러용 유저 트레이 정렬 장치, 테스트 핸들러용 유저 트레이 정렬 방법 및 테스트 핸들러 Download PDF

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Abstract

유저 트레이가 스태커로부터 스테이지에 전달되는 과정에서 유저 트레이가 셋 플레이트에 기 설정된 정렬 위치에 정렬되도록 한 본 발명에 따른 테스트 핸들러용 유저 트레이 정렬 장치는 상기 유저 트레이가 지지되는 상기 셋 플레이트의 일면으로부터 돌출되어 상기 정렬 위치의 기준이 되는 기준 핀 및 상기 유저 트레이를 상기 기준 핀을 향해 가압하여 상기 유저 트레이가 상기 정렬 위치에 정렬되도록 하는 가압 유닛을 포함하므로, 유저 트레이가 스태커로부터 스테이지에 전달되는 과정에서 유저 트레이가 셋 플레이트에 기 설정된 정렬 위치에 정렬된 상태를 견고하게 유지할 수 있으므로, 공정의 불량을 해소하여 공정 시간을 단출할 수 있을 뿐만 아니라, 공정의 신뢰도를 향상시킬 수 있는 효과가 있다.

Description

테스트 핸들러용 유저 트레이 정렬 장치, 테스트 핸들러용 유저 트레이 정렬 방법 및 테스트 핸들러{USER TRAY ALIGN DEVICE FOR TEST HANDLER, USER TRAY ALIGN METHOD FOR TEST HANDLER, AND TEST HANDLER}
본 발명은 테스트 핸들러용 유저 트레이 정렬 장치, 테스트 핸들러용 유저 트레이 정렬 방법 및 테스트 핸들러에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 반도체 소자나 모듈 등과 같은 전자부품을 테스트 하는 데 사용하는 테스트 핸들러용 유저 트레이 정렬 장치, 테스트 핸들러용 유저 트레이 정렬 방법 및 테스트 핸들러에 관한 것이다.
테스트 핸들러는 전자부품, 예를 들어 반도체 소자나 모듈, SSD이 제조된 이후 검사하는 장치이다. 테스트 핸들러는 전자부품을 테스트 장치에 접속시키고 다양한 환경을 인위적으로 조성하여 전자부품의 정상 작동여부를 검사하고 검사 결과에 따라 양품, 재검사, 불량품 등과 같이 구별하여 분류하도록 구성된다.
테스트 핸들러는 테스트해야 할 피검체 또는 테스트가 완료된 피검체가 적재되어 있는 유저 트레이를 외부와 교환하는 방식으로 물류가 이루어지며, 지속적으로 검사가 이루어질 수 있도록 적절한 주기로 외부와 물류가 수행되어야 한다.
이와 같은 테스트 핸들러에 대하여 본 출원인에 의해 출원되어 등록된 대한민국 등록특허 제1734397호(2017. 05. 02. 등록) 등에 개시된 바 있다.
상기 등록특허와 같이 비교적 작은 크기의 전자부품과 같은 피검체의 물류를 수행하기 위해서는, 피검체가 적재된 유저 트레이의 기 설정된 정렬 위치를 견고하게 유지해야만, 이후 공정의 불량을 방지할 수 있으며 피검체 테스트 공정의 신뢰성을 확보할 수 있다.
따라서 테스트 핸들러를 운용함에 있어서, 유저 트레이에 수용된 피검체의 테스트를 하기 위한 물류가 시작되기 전에 유저 트레이를 기 설정된 정렬 위치에 정렬하는 기술이 요구된다.
대한민국 등록특허 제1734397호 (2017. 05. 02. 등록)
본 발명의 목적은 유저 트레이가 스태커로부터 스테이지에 전달되는 과정에서 유저 트레이가 셋 플레이트에 기 설정된 정렬 위치에 정렬되도록 한 테스트 핸들러용 유저 트레이 정렬 장치, 테스트 핸들러용 유저 트레이 정렬 방법 및 테스트 핸들러를 제공하기 위한 것이다.
스태커(stacker)로부터 전달된 유저 트레이를 스테이지로 노출시키는 셋 플레이트(set plate)의 기 설정된 정렬 위치에 상기 유저 트레이를 정렬하는 본 발명에 따른 테스트 핸들러용 유저 트레이 정렬 장치는 상기 유저 트레이가 지지되는 상기 셋 플레이트의 일면으로부터 돌출되어 상기 정렬 위치의 기준이 되는 기준 핀 및 상기 유저 트레이를 상기 기준 핀을 향해 가압하여 상기 유저 트레이가 상기 정렬 위치에 정렬되도록 하는 가압 유닛을 포함할 수 있다.
상기 테스트 핸들러용 유저 트레이 정렬 장치는 상기 가압 유닛에 연결되어 상기 가압 유닛의 구동을 제어하는 정렬 제어부를 더 포함할 수 있다.
상기 정렬 제어부는 상기 유저 트레이가 상기 스테이지에 노출될 때까지 상기 가압 유닛이 상기 유저 트레이의 가압하는 상태를 유지하도록 할 수 있다.
상기 정렬 제어부는 상기 유저 트레이가 상기 스테이지에 노출될 때까지 상기 가압 유닛이 상기 유저 트레이를 복수회 타격하고, 상기 유저 트레이가 상기 스테이지에 노출되면 상기 가압 유닛이 상기 유저 트레이의 가압하는 상태를 유지하도록 할 수 있다.
상기 유저 트레이는 장방형으로 마련되며, 상기 기준 핀은 상기 유저 트레이의 서로 이웃하는 두 변을 함께 지지하도록 배치되며, 상기 가압 유닛은 상기 기준 핀이 지지하는 상기 유저 트레이의 상기 두 변을 제외한 나머지 두 변을 가압할 수 있다.
상기 기준 핀은 상기 셋 플레이트로 전달되는 상기 유저 트레이가 상기 셋 플레이트의 내측에 안착되도록 상기 셋 플레이트의 내측을 향해 하향 경사지는 경사면을 포함할 수 있다.
한편, 테스트 핸들러의 스태커(stacker)로부터 전달된 유저 트레이를 스테이지로 노출시키는 셋 플레이트(set plate)의 기 설정된 정렬 위치에 상기 유저 트레이를 정렬하는 본 발명에 따른 테스트 핸들러용 유저 트레이 정렬 방법은 상기 유저 트레이가 상기 셋 플레이트에 지지되는 유저 트레이 지지 단계 및 가압 유닛이 기준 핀을 향해 상기 유저 트레이를 가압하여 상기 유저 트레이가 상기 기준 핀의 위치를 기준으로 하는 정렬 위치에 정렬되는 유저 트레이 정렬 단계를 포함할 수 있다.
상기 유저 트레이 정렬 단계는 상기 유저 트레이가 상기 스테이지에 노출될 때까지 상기 가압 유닛이 상기 유저 트레이의 가압하는 상태를 유지할 수 있다.
상기 유저 트레이 정렬 단계는 상기 유저 트레이가 상기 스테이지에 노출될 때까지 상기 가압 유닛이 상기 유저 트레이를 복수회 타격하고, 상기 유저 트레이가 상기 스테이지에 노출되면 상기 가압 유닛이 상기 유저 트레이의 가압하는 상태를 유지할 수 있다.
한편, 본 발명에 따른 테스트 핸들러는 피검체가 수용된 유저 트레이를 적재하는 스태커, 상기 스태커로부터 상기 유저 트레이를 전달받는 셋 플레이트, 상기 유저 트레이가 지지되는 상기 셋 플레이트의 일면으로부터 돌출되어 상기 유저 트레이 정렬 위치의 기준이 되는 기준 핀, 상기 유저 트레이를 상기 기준 핀을 향해 가압하여 상기 유저 트레이가 상기 정렬 위치에 정렬되도록 하는 가압 유닛, 상기 유저 트레이에 수용된 상기 피검체의 물류가 이루어지는 스테이지 및 상기 유저 트레이가 상기 스테이지에 노출되도록 상기 셋 플레이트를 승강 구동하는 승강 구동부를 포함할 수 있다.
상기 테스트 핸들러는 상기 가압 유닛에 연결되어 상기 가압 유닛의 구동을 제어하는 정렬 제어부를 더 포함할 수 있다.
상기 정렬 제어부는 상기 유저 트레이가 상기 스테이지에 노출될 때까지 상기 가압 유닛이 상기 유저 트레이의 가압하는 상태를 유지하도록 할 수 있다.
상기 정렬 제어부는 상기 유저 트레이가 상기 스테이지에 노출될 때까지 상기 가압 유닛이 상기 유저 트레이를 복수회 타격하고, 상기 유저 트레이가 상기 스테이지에 노출되면 상기 가압 유닛이 상기 유저 트레이의 가압하는 상태를 유지하도록 할 수 있다.
상기 유저 트레이는 장방형으로 마련되며, 상기 기준 핀은 상기 유저 트레이의 서로 이웃하는 두 변을 함께 지지하도록 배치되며, 상기 가압 유닛은 상기 기준 핀이 지지하는 상기 유저 트레이의 상기 두 변을 제외한 나머지 두 변을 가압할 수 있다.
상기 기준 핀은 상기 셋 플레이트로 전달되는 상기 유저 트레이가 상기 셋 플레이트의 내측에 안착되도록 상기 셋 플레이트의 내측을 향해 하향 경사지는 경사면을 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 테스트 핸들러용 유저 트레이 정렬 장치, 테스트 핸들러용 유저 트레이 정렬 방법 및 테스트 핸들러는 유저 트레이가 스태커로부터 스테이지에 전달되는 과정에서 유저 트레이가 셋 플레이트에 기 설정된 정렬 위치에 정렬된 상태를 견고하게 유지할 수 있으므로, 공정의 불량을 해소하여 공정 시간을 단출할 수 있을 뿐만 아니라, 공정의 신뢰도를 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 테스트 핸들러를 기능에 따른 공간으로 구분한 개념도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 테스트 핸들러의 스테이지를 평면상에서 기능에 따라 구분한 개념도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 스테이지에서의 피검체 및 테스트 트레이의 이동을 나타낸 개념도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 테시트 핸들러의 셋 플레이트를 나타낸 평면도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 테시트 핸들러용 유저 트레이 정렬 방법을 나타낸 순서도이다.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 테시트 핸들러의 셋 플레이트를 나타낸 평면도이다.
도 7은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 테시트 핸들러의 셋 플레이트를 나타낸 평면도이다.
본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니 되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다. 따라서 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 일 실시예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형 예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.
이하, 본 발명에 따른 테스트 핸들러용 유저 트레이 정렬 장치, 테스트 핸들러용 유저 트레이 정렬 방법 및 테스트 핸들러에 대하여 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
먼저, 피검체는 반도체 소자, 반도체 모듈, SSD 등 전기적으로 기능을 수행하는 소자를 뜻함을 전제로 설명하도록 한다. 또한 이하에서 유저 트레이(User Tray)란 피검체가 수용될 수 있도록 구성된 적재홈이 일정한 배열로 복수개 형성된 트레이를 뜻하며, 유저 트레이의 적재홈에는 별도의 고정 기능 없이 중력에 의해 피검체가 홈 내부에 정착되도록 구성될 수 있음을 전제로 설명하도록 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 테스트 핸들러를 기능에 따른 공간으로 구분한 개념도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 테스트 핸들러(1)는 스태커(2) 및 스테이지(100)를 포함할 수 있다.
스태커(2)는 테스트 핸들러(1)의 외부로부터 유저 트레이(10)를 반입하거나, 테스트 핸들러(1)의 외부로 유저 트레이(10)를 반출한다. 스태커(2)는 로딩 스태커(loading stacker), 언로딩 스태커(unloading stacker), 엠프티 스태커(empty stacker)로 구분할 수 있다.
로딩 스태커는 테스트 및 분류가 필요한 피검체(20)들이 수용된 유저 트레이(10)를 적재할 수 있다. 로딩 스태커는 테스트 핸들러(1)의 외부로부터 반입되는 유저 트레이(10)가 복수개 적층된 1롯트(lot)의 단위로 적재될 수 있는 크기로 마련된다.
언로딩 스태커는 테스트 및 분류가 완료된 피검체(20) 중 테스트 핸들러(1)의 외부로 반출하기 위한 피검체(20)가 수용된 유저 트레이(10)를 적재할 수 있다. 언로딩 스태커는 1롯트의 단위로 반출하기 전 복수로 적재해 놓을 수 있는 크기로 마련된다.
엠프티 스태커는 비어있는 유저 트레이(10)가 복수로 적재될 수 있도록 마련된다. 엠프티 스태커는 로딩 스태커로부터 피검체(20)의 이송이 완료된 후 비어있는 유저 트레이(10)를 이송받을 수 있다. 엠프티 스태커는 비어있는 유저 트레이(10)를 언로딩 스태커로 이송할 수 있다.
한편 로딩 스태커, 언로딩 스태커, 엠프티 스태커는 테스트 핸들러(1) 외부와의 물류, 테스트 핸들러(1) 내부에서의 물류 및 적재 목적에 따라 구분될 수 있으나, 자체의 구성은 서로 동일하거나 유사하게 구성될 수 있다.
각 스태커 모듈(500)은 공간의 효율적인 활용을 위하여 복수의 유저 트레이(10)를 수직방향으로 쌓아 적재할 수 있도록 구성될 수 있다. 또한 각 스태커 모듈(500)은 도 1에 표기된 y축 방향으로 수평이동하여 개폐될 수 있도록 구성되며, 외부로 노출된 위치에서 외부와 물류가 이루어지게 된다. 일 예로서 무인운반차(AGV; Automatic Guided Vehicle)는 복수의 유저 트레이(10)를 로딩 스태커에 전달하거, 복수의 유저 트레이(10)를 언로딩 스태커로부터 회수해 갈 수 있다.
또한, 로딩 스태커, 언로딩 스태커, 엠프티 스태커는 각각 복수로 마련될 수 있으며, 어느 하나가 외부와 물류하는 동안에도 내부적인 물류가 연속적으로 진행될 수 있도록 구성될 수 있다.
이하에서는 도 2 및 도 3을 참조하여 스테이지(100)의 구성 및 동작에 대하여 개략적으로 설명하도록 한다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 테스트 핸들러의 스테이지를 평면상에서 기능에 따라 구분한 개념도이며, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 스테이지에서의 피검체 및 테스트 트레이의 이동을 나타낸 개념도이다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 스테이지(100)에서는 피검체(20)의 테스트 전, 후의 물류가 이루어진다. 스테이지(100)는 로딩 사이트(L), 테스트 사이트(T), 언로딩 사이트(UL)를 포함하여 기능적으로 분류될 수 있다.
로딩 사이트(L)는 유저 트레이(10)로부터 복수의 피검체(20)를 픽업(pick up)하여 테스트 트레이(130)로 플레이스(place)할 수 있도록 구성된다. 로딩 사이트(L)에는 유저 트레이(10)로부터 테스트 트레이(130)로 피검체(20)를 이송하기 위한 핸드(110), 로딩 셔틀(120) 및 검사를 위한 스캐너(미도시)가 구비될 수 있다.
픽업위치에는 로딩 스태커에 적재되어 있던 유저 트레이(10)가 하나씩 교대로 공급될 수 있으며, 후술할 핸드(110)가 복수의 피검체(20)만을 유저 트레이(10)로부터 빼내어 이송을 수행한다. 적재되어 있던 모든 피검체(20)가 이송된 경우 빈 유저 트레이(10)와 피검체(20)가 수용된 유저 트레이(10)가 교체되어 지속적으로 피검체(20)를 공급할 수 있도록 구성된다.
한편, 픽업위치에는 어느 하나의 스태커 모듈(500)에서 적재되어 있던 유저 트레이(10)를 모두 소비하였거나, 고장이 난 경우에도 지속적으로 피검체(20)를 공급할 수 있도록 복수의 유저 트레이(10)가 노출될 수 있다. 이 경우 어느 하나의 유저 트레이(10)로부터 피검체(20)를 이송 중인 경우 다른 유저 트레이(10)는 스탠바이 상태로 대기하거나 새로운 유저 트레이(10)로 교체되도록 구성될 수 있다.
핸드(110)는 복수의 피검체(20)를 픽업하고 이송한 뒤 테스트 트레이(130) 또는 로딩 셔틀(120)에 적재할 수 있도록 구성된다. 핸드(110)는 복수로 구성되어 이송구간마다의 물류를 담당할 수 있도록 구성될 수 있다. 핸드(110)는 상측의 수평방향이동이 가능한 레일에 설치될 수 있으며, 하측을 향하여 어태치먼트가 바라볼 수 있도록 구성되며, 수직방향으로의 길이조절이 가능할수 있도록 리니어 액추에이터(미도시)가 구비될 수 있다. 어태치먼트는 일 예로 복수의 진공 포트가 구비되어 복수의 피검체(20)를 진공흡착할 수 있도록 구성될 수 있다. 또한 어태치먼트는 피검체(20)의 종류, 크기 및 형상을 고려하여 교체가 가능하도록 구성될 수 있다.
한편, 테스트 트레이(130)는 피검체(20)의 고정 및 테스트 수행시 열변형 등을 고려하여 적재홈마다 인서트가 구비되며, 적재홈 간의 간격이 유저 트레이(10)와 다를 수 있다. 일반적으로 테스트 트레이(130)의 적재홈 간의 간격이 유저 트레이(10)보다 크게 구성된다. 따라서 핸드(110)를 이용하여 픽업위치의 유저 트레이(10)로부터 복수의 피검체(20)를 픽업한 이후 피검체(20)간 간격을 넓혀 테스트 트레이(130)에 적재하게 된다. 구체적으로 x축 방향과 y축 방향으로 간격을 넓히기 위해 2번의 간격조절이 수행될 수 있으며, 이를 위해 픽업위치와 테스트 트레이(130) 사이에 로딩 셔틀(120)이 구비되며, 유저 트레이(10)로부터 로딩 셔틀(120)로 이송하면서 일방향으로의 간격을 조절하고, 로딩 셔틀(120)로부터 테스트 트레이(130)로 이송하면서 나머지 방향으로의 간격을 조절할 수 있다.
로딩 셔틀(120)은 유저 트레이(10)와 테스트 트레이(130) 사이에 구비되며, 복수의 피검체(20)가 1차적으로 정렬된 상태로 적재될 수 있도록 적재홈의 간격이 유저 트레이(10)보다 일 방향으로 넓혀진 배열로 구성될 수 있다. 또한 로딩 셔틀(120)은 물류의 효율을 위해 유저 트레이(10), 테스트 트레이(130) 및 핸드(110)의 위치를 고려하여 위치가 제어될 수 있다.
스캐너(미도시)는 이송되는 피검체(20)에 바코드가 있는 경우 이를 식별하기 위해 구비된다. 스캐너(미도시)는 핸드(110)가 피검체(20)를 픽업하여 이송하는 경로상에서 바코드를 인식할 수 있도록 구성될 수 있다. 스캐너는 피검체(20)의 형상, 크기 및 종류에 따라 바코드의 인식이 용이할 수 있도록 다양한 위치에 구비될 수 있다.
플레이스 위치에서는 비어있는 테스트 트레이(130)가 공급되며, 피검체(20)가 이송되어 적재가 이루어진다. 플레이스 위치에서 피검체(20)의 적재가 완료되면 이후 테스트 사이트(T)로 테스트 트레이(130)를 이송하며, 비어있는 새로운 테스트 트레이(130)를 공급받을 수 있도록 구성된다.
한편, 도시되지는 않았으나, 플레이스 위치에서는 테스트 트레이(130)에 피검체(20)가 안착된 이후 피검체(20)의 이탈을 방지할 수 있도록 구성되는 마스크 및 프리사이저(preciser)가 구비될 수 있다. 전술한 바와 같이, 테스트 트레이(130)에는 각 적재홈마다 인서트가 구비되며, 각각의 인서트에는 피검체(20)의 이탈을 방지할 수 있는 걸림부가 구비되어 있다. 각각의 걸림부의 기본위치는 피검체(20)의 이탈을 방지하는 위치로 설정된다.
테스트 트레이(130)에서 피검체(20)의 적재는 프리사이저로 인서트를 가압한 상태에서 마스크로 인서트의 걸림부를 확장하고 핸드(110)가 피검체(20)를 적재홈으로 이송하여 이루어진다.
마스크는 테스트 트레이(130)와 대응되는 형상으로 구성되며, 테스트 트레이(130)에 밀착되었을 때 각각의 인서트의 걸림부를 확장시킬 수 있도록 복수의 돌출부(312)가 구비된다.
프리사이저는 전술한 바와 같이 테스트 트레이(130)에 구비된 다소 유격이 있는 상태의 인서트를 일시적으로 고정하기 위해 구성된다. 프리사이저에는 각각의 인서트의 위치에 대응하는 복수의 가압핀이 구비되며, 프리사이저가 테스트 트레이(130)에 밀착되면서 인서트를 가압하여 테스트 트레이(130)와 일시적으로 고정시킬 수 있게 된다. 따라서 피검체(20)를 인서트에 안착시킬 때 위치오차를 최소화 할 수 있게 된다.
다만 도시되는 않았으나 마스크와 프리사이저를 독립적으로 승강시키기 위한 승강부가 추가로 구비될 수 있다.
테스트 사이트(T)는 테스트 트레이(130)에 적재된 복수의 피검체(20)를 테스트 트레이(130) 단위로 시험을 수행하며, 시험결과를 전송할 수 있도록 구성된다. 테스트 챔버(160)에서는 일 예로 피검체(20)를 -40℃ 내지 130℃의 온도로 변화시켜 기능을 점검하는 열부하 테스트가 진행될 수 있다.
테스트 사이트(T)에는 테스트 챔버(160)와 테스트 챔버(160) 전후에 구비되는 버퍼 챔버(150)가 구비될 수 있다. 버퍼 챔버(150)에는 복수의 테스트 트레이(130)가 적재될 수 있도록 구성되며, 열부하 테스트의 수행 전후에 예열 또는 후열처리가 이루어질 수 있도록 구성될 수 있다.
테스트 사이트(T)에서는 테스트 트레이(130)를 직립으로 세운 상태에서 테스트의 이송 및 테스트가 수행되도록 구성될 수 있어 전체적인 장비의 크기를 감소시킬 수 있다. 한편 구성이 상세히 도시되지 않았으나, 버퍼 챔버(150)의 전후에는 테스트 트레이(130)를 직립상태로 자세전환시키는 반전기(140)가 구비될 수 있다.
언로딩 사이트(UL)는 테스트 사이트(T)로부터 이송받는 테스트 트레이(130)로부터 피검체(20)를 테스트 결과에 따라 분류하고 이송하여 적재할 수 있도록 구성된다. 언로딩 사이트(UL)는 로딩 사이트(L)의 구성과 유사한 요소들이 구비될 수 있으며, 로딩 사이트(L)에서의 피검체(20)의 이송과 반대순서로 이루어 질 수 있다.
한편, 스태커(2)와 스테이지(100)의 사이에는 셋 플레이트(320)가 배치될 수 있다. 스태커(2)에 적재된 유저 트레이(10)는 도시되지 않은 트랜스퍼에 의해 셋 플레이트(320)에 지지된다. 셋 플레이트(320)는 승강 구동부(321)에 의해 승강 구동된다. 따라서 유저 트레이(10)는 스테이지(100)에 노출되며, 핸드(110)는 유저 트레이(10)에 적재된 피검체(20)의 물류를 수행할 수 있다.
여기서, 본 발명의 일 실시예에 따른 테스트 핸들러(1)는 셋 플레이트(320)에 지지되는 유저 트레이(10)를 셋 플레이트(320)에 기 설정된 정렬위치로 정렬하기 위한 정렬장치를 포함할 수 있다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 테시트 핸들러의 셋 플레이트를 나타낸 평면도이며, 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 테시트 핸들러용 유저 트레이 정렬 방법을 나타낸 순서도이다.
도 4 및 도 5를 참조하면, 유저 트레이(10)는 트랜스퍼(미도시)에 의해 스태커(2)로부터 셋 플레이트(320)에 지지될 수 있다.(단계;S10)
셋 플레이트(320)에 기 설정된 정렬위치로 정렬하기 위한 정렬장치는 기준 핀(322) 및 가압 유닛(323)을 포함할 수 있다.
기준 핀(322)은 유저 트레이(10)가 지지되는 셋 플레이트(320)의 일면으로부터 돌출될 수 있다. 기준 핀(322)은 경사면(322a)을 포함할 수 있다. 경사면(322a)은 셋 플레이트(320)의 내측을 향해 하향 경사지게 마련된다. 경사면(322a)은 셋 플레이트(320)로 전달되는 유저 트레이(10)가 셋 플레이트(320)의 내측으로 안착될 수 있도록 셋 플레이트(320)를 가이드한다.
기준 핀(322)은 유저 트레이(10)의 서로 이웃하는 두 변을 함께 지지할 수 있다. 도 4에서 기준 핀(322)은 복수로 마련되고, 복수의 기준 핀(322)은 유저 트레이(10)의 서로 이웃하는 두 변에 대응하는 위치에 각각 배치되는 것으로 도시하고 있다.
다른 실시예로, 도 6에 도시한 바와 같이 기준 핀(322)은 유저 트레이(10)의 어느 한 모서리의 형상에 대응하는 형상으로 절곡되어 유저 트레이(10)의 서로 이웃하는 두변을 함께 지지하도록 마련되어도 좋다.
또 다른 실시예로, 도 7에 도시한 바와 같이 유저 트레이(10)의 어느 한 모서리에는 기준 홈(322b)이 형성되고, 기준 핀(322)은 기준 홈(322b)에 대응하는 위치에 배치되어도 좋다.
이와 같은 기준 핀(322)은 셋 플레이트(320)의 기 설정된 정렬 위치에 유저 트레이(10)를 정럴하기 위한 기준이 된다.
가압 유닛(323)은 기준 핀(322)을 향해 유저 트레이(10)를 가압한다. 가압 유닛(323)으로는 공압실린더, 또는 유압실린더와 같은 리니어 액츄에이터를 사용할 수 있다.
가압 유닛(323)은 복수로 마련되고, 복수의 가압 유닛(323)은 기준 핀(322)에 의해 지지되는 서로 이웃하는 두 변을 제외한 나머지 두 변을 가압할 수 있다. 즉, 복수의 가압 유닛(323) 중 어느 하나는 도 4에 표기된 x축 방향으로 유저 트레이(10)를 가압하고, 복수의 가압 유닛(323) 중 나머지 하나는 도 4에 표기된 y축 방향으로 유저 트레이(10)를 가압할 수 있다.
따라서 유저 트레이(10)는 기준 핀(322)에 밀착되고, 정렬 위치의 기준이 되는 기준 핀(322)에 의해 기 설정된 정렬 위치에 정렬될 수 있다. (단계;S20)
여기서, 본 발명의 일 실시예에 따른 테스트 핸들러(1)는 가압 유닛(323)의 구동을 제어하는 정렬 제어부(323a)를 포함할 수 있다. 정렬 제어부(323a)는 가압 유닛(323)의 구동 횟수, 구동 간격, 구동 시간을 제어할 수 있다.
일 실시예로, 정렬 제어부(323a)는 가압 유닛(323)이 유저 트레이(10)를 가압하고 유저 트레이(10)가 기준 핀(322)에 정렬된 상태를 유지하기 위하여, 유저 트레이(10)가 스테이지(100)에 노출될 때까지 가압 유닛(323)이 유저 트레이(10)를 가압하는 상태를 유지하도록 가압 유닛(323)의 구동을 제어할 수 있다.
다른 실시예로, 정렬 제어부(323a)는 유저 트레이(10)가 셋 플레이트(320)에 지지되면, 유저 트레이(10)를 복수회로 타격하고, 유저 트레이(10)가 스테이지(100)에 노출되면 가압 유닛(323)이 유저 트레이(10)를 가압하는 상태를 유지하도록 가압 유닛(323)의 구동을 제어할 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 테스트 핸들러용 유저 트레이 정렬 장치, 테스트 핸들러용 유저 트레이 정렬 방법 및 테스트 핸들러는 유저 트레이가 스태커로부터 스테이지에 전달되는 과정에서 유저 트레이가 셋 플레이트에 기 설정된 정렬 위치에 정렬된 상태를 견고하게 유지할 수 있다.
따라서 본 발명에 따른 테스트 핸들러용 유저 트레이 정렬 장치, 테스트 핸들러용 유저 트레이 정렬 방법 및 테스트 핸들러는 공정의 불량을 해소하여 공정 시간을 단출할 수 있을 뿐만 아니라, 공정의 신뢰도를 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
앞에서 설명되고, 도면에 도시된 본 발명의 실시예는 본 발명의 기술적 사상을 한정하는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 발명의 보호범위는 청구범위에 기재된 사항에 의하여만 제한되고, 본 발명의 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상을 다양한 형태로 개량 변경하는 것이 가능하다. 따라서 이러한 개량 및 변경은 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 것인 한 본 발명의 보호 범위에 속하게 될 것이다.
1 : 테스트 핸들러 2 : 스태커
10 : 유저 트레이 20 : 피검체
100 : 스테이지 110 : 핸드
120 : 로딩 셔틀 130 : 테스트 트레이
140 : 반전기 150 : 버퍼 챔버
160 : 테스트 챔버 320 : 셋 플레이트
321 : 승강 구동부 322 : 기준 핀
322a : 경사면 322b : 기준 홈
323 : 가압 유닛 323a : 정렬 제어부

Claims (15)

  1. 스태커(stacker)로부터 전달된 유저 트레이를 스테이지로 노출시키는 셋 플레이트(set plate)의 기 설정된 정렬 위치에 상기 유저 트레이를 정렬하는 테스트 핸들러의 유저 트레이 정렬 장치에 있어서,
    상기 유저 트레이가 지지되는 상기 셋 플레이트의 일면으로부터 돌출되어 상기 정렬 위치의 기준이 되는 기준 핀;및
    상기 유저 트레이를 상기 기준 핀을 향해 가압하여 상기 유저 트레이가 상기 정렬 위치에 정렬되도록 하는 가압 유닛:을 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러의 유저 트레이 정렬 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 가압 유닛에 연결되어 상기 가압 유닛의 구동을 제어하는 정렬 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러의 유저 트레이 정렬 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 정렬 제어부는
    상기 유저 트레이가 상기 스테이지에 노출될 때까지 상기 가압 유닛이 상기 유저 트레이의 가압하는 상태를 유지하도록 하는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러의 유저 트레이 정렬 장치.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 정렬 제어부는
    상기 유저 트레이가 상기 스테이지에 노출될 때까지 상기 가압 유닛이 상기 유저 트레이를 복수회 타격하고,
    상기 유저 트레이가 상기 스테이지에 노출되면 상기 가압 유닛이 상기 유저 트레이를 가압하는 상태를 유지하도록 하는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러의 유저 트레이 정렬 장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 유저 트레이는 장방형으로 마련되며,
    상기 기준 핀은 상기 유저 트레이의 서로 이웃하는 두 변을 함께 지지하도록 배치되며,
    상기 가압 유닛은 상기 기준 핀이 지지하는 상기 유저 트레이의 상기 두 변을 제외한 나머지 두 변을 가압하는 것을 특징으로 테스트 핸들러의 유저 트레이 정렬 장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 기준 핀은
    상기 셋 플레이트로 전달되는 상기 유저 트레이가 상기 셋 플레이트의 내측에 안착되도록 상기 셋 플레이트의 내측을 향해 하향 경사지는 경사면을 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러의 유저 트레이 정렬 장치.
  7. 테스트 핸들러의 스태커(stacker)로부터 전달된 유저 트레이를 스테이지로 노출시키는 셋 플레이트(set plate)의 기 설정된 정렬 위치에 상기 유저 트레이를 정렬하는 테스트 핸들러의 유저 트레이 정렬 방법에 있어서,
    상기 유저 트레이가 상기 셋 플레이트에 지지되는 유저 트레이 지지 단계;및
    가압 유닛이 기준 핀을 향해 상기 유저 트레이를 가압하여 상기 유저 트레이가 상기 기준 핀의 위치를 기준으로 하는 정렬 위치에 정렬되는 유저 트레이 정렬 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러의 유저 트레이 정렬 방법.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 유저 트레이 정렬 단계는
    상기 유저 트레이가 상기 스테이지에 노출될 때까지 상기 가압 유닛이 상기 유저 트레이의 가압하는 상태를 유지하는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러의 유저 트레이 정렬 방법.
  9. 제7항에 있어서,
    상기 유저 트레이 정렬 단계는
    상기 유저 트레이가 상기 스테이지에 노출될 때까지 상기 가압 유닛이 상기 유저 트레이를 복수회 타격하고,
    상기 유저 트레이가 상기 스테이지에 노출되면 상기 가압 유닛이 상기 유저 트레이의 가압하는 상태를 유지하는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러의 유저 트레이 정렬 방법.
  10. 피검체가 수용된 유저 트레이를 적재하는 스태커;
    상기 스태커로부터 상기 유저 트레이를 전달받는 셋 플레이트;
    상기 유저 트레이가 지지되는 상기 셋 플레이트의 일면으로부터 돌출되어 상기 유저 트레이 정렬 위치의 기준이 되는 기준 핀;및
    상기 유저 트레이를 상기 기준 핀을 향해 가압하여 상기 유저 트레이가 상기 정렬 위치에 정렬되도록 하는 가압 유닛:
    상기 유저 트레이에 수용된 상기 피검체의 물류가 이루어지는 스테이지;및
    상기 유저 트레이가 상기 스테이지에 노출되도록 상기 셋 플레이트를 승강 구동하는 승강 구동부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 가압 유닛에 연결되어 상기 가압 유닛의 구동을 제어하는 정렬 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 정렬 제어부는
    상기 유저 트레이가 상기 스테이지에 노출될 때까지 상기 가압 유닛이 상기 유저 트레이의 가압하는 상태를 유지하도록 하는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러.
  13. 제11항에 있어서,
    상기 정렬 제어부는
    상기 유저 트레이가 상기 스테이지에 노출될 때까지 상기 가압 유닛이 상기 유저 트레이를 복수회 타격하고,
    상기 유저 트레이가 상기 스테이지에 노출되면 상기 가압 유닛이 상기 유저 트레이의 가압하는 상태를 유지하도록 하는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러.
  14. 제10항에 있어서,
    상기 유저 트레이는 장방형으로 마련되며,
    상기 기준 핀은 상기 유저 트레이의 서로 이웃하는 두 변을 함께 지지하도록 배치되며,
    상기 가압 유닛은 상기 기준 핀이 지지하는 상기 유저 트레이의 상기 두 변을 제외한 나머지 두 변을 가압하는 것을 특징으로 테스트 핸들러.
  15. 제10항에 있어서,
    상기 기준 핀은
    상기 셋 플레이트로 전달되는 상기 유저 트레이가 상기 셋 플레이트의 내측에 안착되도록 상기 셋 플레이트의 내측을 향해 하향 경사지는 경사면을 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러.
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